JP2020161498A - 有機発光表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
101 基板
200 ディスプレイ部
201 バッファ層
202 活性層
203 ゲート絶縁膜
204 ゲート電極
205 層間絶縁膜
206 ソース電極
207 ドレイン電極
208 パッシベーション層
211 画素電極
213 画素定義膜
214 中間層
215 対向電極
220 保護層
222 キャッピング層
224 遮断層
300 封止層
301 第1無機膜
302 第1有機膜
303 第2無機膜
304 第2有機膜
305 第3無機膜
2300 封止層
2224 多孔性遮断層
2301 多孔性無機膜
TFT 薄膜トランジスタ
OLED 有機発光素子
Claims (31)
- 基板と、
前記基板上に形成された複数個の有機発光素子を有するディスプレイ部と、
前記ディスプレイ部を密封する封止層と、
前記ディスプレイ部と前記封止層との間に配される保護層と、を含み、
前記有機発光素子は、画素電極、前記画素電極上に配され、有機発光層を含む中間層、及び前記中間層上に配された対向電極を備え、
前記保護層は、前記対向電極の下の層と接する面以外の前記対向電極の側面および上面と接し前記対向電極を覆う有機化合物からなるキャッピング層と、前記キャッピング層上に位置する遮断層と、を含み、
前記遮断層は、前記キャッピング層と接して前記キャッピング層を覆い、
前記封止層は、少なくとも第1無機膜、第1有機膜及び第2無機膜が順次に積層された構造を有し、
前記第1無機膜は、前記キャッピング層と接する部分以外の前記遮断層の側面および上面と接し前記遮断層を覆い、
前記第2無機膜は、前記第1有機膜と接して前記第1有機膜を覆い、前記第1無機膜を取り囲むように設けられる有機発光表示装置。 - 前記遮断層は、フッ化リチウム(LiF)からなる請求項1に記載の有機発光表示装置。
- 前記第1無機膜は、酸化アルミニウム(AlOx)からなる請求項1または請求項2に記載の有機発光表示装置。
- 前記遮断層が前記キャッピング層を覆う請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の有機発光表示装置。
- 前記第1有機膜の面積が前記遮断層の面積よりも大きい請求項4に記載の有機発光表示装置。
- 前記第1無機膜の面積が前記第1有機膜の面積よりも大きい請求項1から請求項5のいずれか1つに記載の有機発光表示装置。
- 前記封止層は、前記第2無機膜上に形成された第2有機膜と、前記第2有機膜上に形成された第3無機膜とをさらに含む請求項1または請求項2に記載の有機発光表示装置。
- 前記第1無機膜の面積が前記第1有機膜の面積よりも大きい請求項7に記載の有機発光表示装置。
- 前記遮断層が前記キャッピング層を覆い、
前記第1有機膜の面積が前記遮断層の面積よりも大きく、前記第2有機膜の面積が前記第1有機膜の面積よりも大きい請求項7または請求項8に記載の有機発光表示装置。 - 前記第2無機膜及び前記第3無機膜の面積が前記第1無機膜の面積よりも大きい請求項7から請求項9のいずれか1つに記載の有機発光表示装置。
- 基板と、
前記基板上に形成された複数個の有機発光素子を有するディスプレイ部と、
前記ディスプレイ部を密封し、少なくとも多孔性無機膜、第1有機膜及び第2無機膜が順次に積層された封止層と、
前記ディスプレイ部と前記封止層との間に配される保護層と、を含み、
前記有機発光素子は、画素電極、前記画素電極上に配され、有機発光層を含む中間層、及び前記中間層上に配された対向電極を備え、
前記保護層は、前記対向電極の下の層と接する面以外の前記対向電極の側面および上面と接し前記対向電極を覆う有機化合物からなるキャッピング層と、前記キャッピング層上に位置する多孔性遮断層と、を含み、
前記多孔性遮断層は、前記キャッピング層と接して前記キャッピング層を覆い、
前記多孔性無機膜は、前記キャッピング層と接する部分以外の前記多孔性遮断層の側面および上面と接し前記多孔性遮断層を覆い、
前記第2無機膜は、前記第1有機膜と接して前記第1有機膜を覆い、前記多孔性無機膜を取り囲むように設けられる有機発光表示装置。 - 前記多孔性遮断層は、フッ化リチウム(LiF)からなる請求項11に記載の有機発光表示装置。
- 前記多孔性無機膜は、酸化アルミニウム(AlOx)からなる請求項11または請求項12に記載の有機発光表示装置。
- 前記第1有機膜の面積が前記多孔性遮断層の面積よりも大きい請求項11から請求項13のいずれか1つに記載の有機発光表示装置。
- 前記多孔性無機膜の面積が前記第1有機膜の面積よりも大きい請求項11から請求項14のいずれか1つに記載の有機発光表示装置。
- 前記封止層は、前記第2無機膜上に形成された第2有機膜と、前記第2有機膜上に形成された第3無機膜と、をさらに含む請求項11に記載の有機発光表示装置。
- 前記多孔性無機膜の面積が前記第1有機膜の面積よりも大きい請求項16に記載の有機発光表示装置。
- 前記多孔性遮断層が前記キャッピング層を覆い、
前記第1有機膜の面積が前記多孔性遮断層の面積よりも大きく、
前記第2有機膜の面積が前記第1有機膜の面積よりも大きい請求項16または請求項17に記載の有機発光表示装置。 - 前記第2無機膜及び前記第3無機膜の面積が前記多孔性無機膜の面積よりも大きい請求項16から請求項18のいずれか1つに記載の有機発光表示装置。
- 基板上に表示領域を定義し、対向電極を含むディスプレイ部を形成する段階と、
前記対向電極の下の層と接する面以外の前記対向電極の側面および上面と接し前記対向電極を覆うように有機化合物からなるキャッピング層を形成する段階と、
前記キャッピング層上に、前記キャッピング層と接するように遮断層を形成する段階と、
前記遮断層上に前記ディスプレイ部を密封する封止層を形成する段階と、
前記遮断層が前記キャッピング層を覆うように形成される段階と、を含み、
前記封止層を形成する段階は、
前記遮断層の上に、前記キャッピング層と接する部分以外の前記遮断層の側面および上面と接し前記遮断層を覆うように第1無機膜を形成する段階と、
前記第1無機膜の上に第1有機膜を形成する段階と、
前記第1有機膜の上に、前記第1有機膜と接して前記第1有機膜を覆い、前記第1無機膜を取り囲むように第2無機膜を形成する段階と、を含む有機発光表示装置の製造方法。 - 前記遮断層は、フッ化リチウム(LiF)からなる請求項20に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記第1無機膜は、スパッタリング法によって形成され、酸化アルミニウム(AlOx)からなる請求項20または請求項21に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記第1無機膜の面積が前記第1有機膜の面積よりも大きく形成される請求項20から請求項22のいずれか1つに記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記第1有機膜の面積が前記遮断層の面積よりも大きい請求項20から請求項23のいずれか1つに記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記第2無機膜上に第2有機膜を形成する段階と、前記第2有機膜上に第3無機膜を形成する段階と、をさらに含み、
前記第2無機膜と前記第3無機膜は、化学気相蒸着法(CVD)により形成される請求項20または請求項21に記載の有機発光表示装置の製造方法。 - 前記第1無機膜の面積が前記第1有機膜の面積よりも大きく形成される請求項25に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記遮断層が前記キャッピング層を覆うように形成され、
前記第1有機膜の面積が前記遮断層の面積よりも大きく、
前記第2有機膜の面積が前記第1有機膜の面積よりも大きく形成される請求項25または請求項26に記載の有機発光表示装置の製造方法。 - 前記第2無機膜及び前記第3無機膜の面積が前記第1無機膜の面積よりも大きく形成される請求項25から請求項27のいずれか1つに記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記遮断層は、ピンホール(Pin−hole)構造を有するフッ化リチウム(LiF)からなる請求項20から請求項28のいずれか1つに記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 基板と、
前記基板上に形成された複数個の有機発光素子を有するディスプレイ部と、
前記ディスプレイ部を密封し、少なくとも多孔性無機膜、第1有機膜及び第2無機膜が順次に積層された封止層と、
前記ディスプレイ部と前記封止層との間に配される保護層と、を含み、
前記有機発光素子は、画素電極、前記画素電極上に配され、有機発光層を含む中間層、及び前記中間層上に配された対向電極を備え、
前記保護層は、前記対向電極を覆い、有機化合物からなるキャッピング層と、前記キャッピング層上に位置し、前記キャッピング層と接する多孔性遮断層と、を含み、
前記多孔性遮断層は、フッ化リチウム(LiF)からなる有機発光表示装置。 - 基板上に表示領域を定義し、対向電極を含むディスプレイ部を形成する段階と、
前記対向電極を覆うように、有機化合物からなるキャッピング層を形成する段階と、
前記キャッピング層上に、前記キャッピング層と接するように遮断層を形成する段階と、
前記遮断層上に前記ディスプレイ部を密封する封止層を形成する段階と、を含み、
前記遮断層は、ピンホール(Pin−hole)構造を有するフッ化リチウム(LiF)からなる有機発光表示装置の製造方法。
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