KR20200111889A - 디스플레이 패널 및 이를 포함하는 디스플레이 장치 - Google Patents

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KR20200111889A
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김민주
김원호
이근수
채경찬
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Abstract

본 발명은 제1 영역, 제2 영역 및 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이의 제3 영역을 포함하는, 기판; 상기 제2 영역에 위치하는 화소회로 및 상기 화소회로와 전기적으로 연결되며, 화소전극, 대향전극 및 상기 화소전극과 상기 대향전극 사이에 개재되되 발광층 및 적어도 하나의 유기물층을 구비한 중간층을 갖는 표시요소를 포함하는, 표시층; 상기 제3 영역에 위치하는, 제1 금속층; 상기 제1 금속층 상에 위치하며 적어도 하나의 컨택부를 갖는, 유기절연층; 및 상기 유기절연층 상에 위치하며 상기 컨택부를 통해 상기 제1 금속층과 컨택하는, 제2 금속층;을 구비하고, 상기 제2 금속층은 제1 홀을 갖고, 상기 유기절연층은 상기 제1 홀에 대응하는 제2 홀 또는 제1 리세스를 가지며, 상기 제2 홀 또는 상기 제1 리세스 내에 위치하되 상기 적어도 하나의 유기물층의 일부를 포함하는 잔여물층을 구비하고, 상기 잔여물층은 상기 제1 금속층과 중첩하여 위치하는, 디스플레이 패널을 제공한다.

Description

디스플레이 패널 및 이를 포함하는 디스플레이 장치{Display panel and display apparatus including the same}
본 발명은 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시영역 내측에 컴포넌트가 위치한 영역을 구비한 디스플레이 패널 및 이를 포함하는 디스플레이 장치에 관한 것이다.
근래에 디스플레이 장치는 그 용도가 다양해지고 있다. 또한, 디스플레이 장치의 두께가 얇아지고 무게가 가벼워 그 사용의 범위가 광범위해지고 있는 추세이다.
디스플레이 장치 중 표시영역이 차지하는 면적을 확대하면서, 디스플레이 장치에 접목 또는 연계하는 다양한 기능들이 추가되고 있다. 면적을 확대하면서 다양한 기능을 추가하기 위한 방안으로서 표시영역에 다양한 구성요소를 배치할 수 있는 표시 장의 연구가 이루어지고 있다.
본 발명의 표시영역 내에 다양한 종류의 컴포넌트들을 배치할 수 있는 제1 영역을 갖는 디스플레이 패널과 이를 포함하는 디스플레이 장치를 제공할 수 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 관점에 따르면, 제1 영역, 제2 영역 및 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이의 제3 영역을 포함하는, 기판; 상기 제2 영역에 위치하는 화소회로 및 상기 화소회로와 전기적으로 연결되며, 화소전극, 대향전극 및 상기 화소전극과 상기 대향전극 사이에 개재되되 발광층 및 적어도 하나의 유기물층을 구비한 중간층을 갖는 표시요소를 포함하는, 표시층; 상기 제3 영역에 위치하는, 제1 금속층; 상기 제1 금속층 상에 위치하며 적어도 하나의 컨택부를 갖는, 유기절연층; 및 상기 유기절연층 상에 위치하며 상기 컨택부를 통해 상기 제1 금속층과 컨택하는, 제2 금속층;을 구비하고, 상기 제2 금속층은 제1 홀을 갖고, 상기 유기절연층은 상기 제1 홀에 대응하는 제2 홀 또는 제1 리세스를 가지며, 상기 제2 홀 또는 상기 제1 리세스 내에 위치하되 상기 적어도 하나의 유기물층의 일부를 포함하는 잔여물층을 구비하고, 상기 잔여물층은 상기 제1 금속층과 중첩하여 위치하는, 디스플레이 패널이 제공된다.
본 실시예에 따르면, 상기 제1 금속층과 상기 유기절연층 사이에 개재되는 무기절연층을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 제2 홀은 상기 무기절연층의 상면의 적어도 일부를 노출할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 제2 홀은 상기 무기절연층까지 연장되어 상기 제1 금속층의 상면의 적어도 일부를 노출할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 컨택부는 상기 유기절연층에 정의된 제1 개구 및 상기 무기절연층에 정의된 제2 개구를 갖고, 상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층은 상기 컨택부를 통해 서로 연결될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 화소회로는 상기 표시요소와 전기적으로 연결되는 박막트랜지스터 및 스토리지 커패시터를 포함하며, 상기 제2 금속층은 상기 표시요소와 상기 박막트랜지스터를 연결하는 콘택메탈층과 동일 물질을 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 박막트랜지스터는 반도체층, 상기 반도체층과 중첩하는 게이트전극 및 상기 반도체층과 전기적으로 연결된 연결전극을 포함하고, 상기 제1 금속층은 상기 연결전극과 동일 물질을 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 디스플레이 패널은, 제1 방향을 따라 연장되어 상기 표시요소에 데이터 신호를 전달하는 데이터선을 더 포함하고, 상기 데이터선은 상기 제1 금속층 및 상기 제2 금속층 중 적어도 하나와 동일 물질을 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 적어도 하나의 유기물층은 홀 수송층, 홀 주입층, 전자주입층, 및 전자 수송층 중 하나 또는 그 이상을 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 디스플레이 패널은, 상기 제1 영역을 둘러싸도록 상기 제3 영역 상에 배치되는 격벽; 및 상기 제1 홀 및 상기 제2 홀 또는 상기 제1 리세스를 각각 포함하는 적어도 하나의 그루브;를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 그루브는 상기 격벽을 기준으로, 상기 제2 영역과 인접하여 배치된 제1 그루브 및 상기 제1 영역과 인접하여 배치된 제2 그루브를 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 제1 금속층은 상기 제1 그루브 하부에 위치할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 제1 금속층은 불연속적으로 상기 제1 그루브 및 상기 제2 그루브 하부에 각각 위치할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 제1 금속층은 상기 제1 그루브, 상기 격벽 및 상기 제2 그루브 하부에 위치할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 적어도 하나의 그루브는 상기 제2 그루브보다 상기 제1 영역에 인접하여 위치한 제3 그루브를 더 포함하고, 상기 유기절연층의 상면을 기준으로 정의되는, 상기 제1 그루브 및 상기 제2 그루브의 깊이는 상기 제3 그루브의 깊이 보다 ?汰? 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 유기절연층의 아래에 배치된 적어도 하나의 하부 절연층을 더 포함하며, 상기 적어도 하나의 하부 절연층은 무기절연층을 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 제3 그루브의 바닥면은 상기 기판의 상면 및 상기 적어도 하나의 하부 절연층의 상면 사이의 가상의 면 상에 위치할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 제1 금속층은 전기적 신호와 단절된 플로팅메탈일 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 제1 금속층은 상기 제1 영역을 둘러싸는 링 형상을 가질 수 있다.
본 실시예에 따르면, 평면상에서, 상기 제1 금속층의 폭은 상기 제2 홀의 폭보다 클 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 유기절연층의 상기 적어도 하나의 컨택부는 상기 그루브를 사이에 두고 위치한 제1 컨택부 및 제2 컨택부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 무기절연층은 상기 제2 홀에 대응하여 상기 무기절연층을 관통하는 제3 홀 또는 제2 리세스를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따르면, 제1 영역, 제2 영역 및 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이의 제3 영역을 포함하는 기판을 구비한, 디스플레이 패널; 및 상기 제1 영역에 대응하도록 배치된 전자요소를 포함하는, 컴포넌트;를 구비하며, 상기 디스플레이 패널은, 상기 제2 영역에 위치하는 화소회로 및 상기 화소회로와 전기적으로 연결되며, 화소전극, 대향전극 및 상기 화소전극과 상기 대향전극 사이의 중간층을 갖는 표시요소를 포함하는, 표시층; 및 상기 제3 영역에 위치하며, 제1 금속층, 상기 제1 금속층 상부에 위치한 제2 금속층 및 상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층 사이에 개재되는 유기절연층을 포함하며, 상기 유기절연층에 정의된 적어도 하나의 컨택부를 통해 상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층이 서로 컨택하는, 다층막;을 구비하며, 상기 다층막은 상기 컨택부에 인접하여 상기 다층막에 정의되는 적어도 하나의 그루브를 갖고, 상기 중간층에 포함된 적어도 하나의 유기물층은 상기 그루브에 의해 단절되는, 디스플레이 장치를 제공한다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예들에 관한 디스플레이 패널은 제1 영역을 중심으로 수분과 같은 외부 불순물이 표시요소들을 손상시키는 것을 방지할 수 있다. 그러나 이와 같은 효과는 예시적인 것으로, 실시예들에 따른 효과는 후술하는 내용을 통해 자세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치를 간략하게 나타낸 단면도들이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치를 간략하게 나타낸 단면도이다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널을 개략적으로 나타낸 단면도들이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 디스플레이 패널을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 디스플레이 패널 중 어느 하나의 화소를 개략적으로 나타낸 등가회로도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 일부를 나타낸 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 일부를 나타낸 평면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다.
도 10a 내지 도 10c는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 제조 공정을 나타낸 단면도들 및 평면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 일부를 나타낸 평면도이다.
도 12는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 단면도이다.
도 13a 및 도 13b는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 제조 공정을 나타낸 단면도들이다.
도 14a, 도 14b 및 도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 제조 공정을 나타낸 단면도들이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 표시 패널디스플레이 패널의 일부를 나타낸 평면도이다.
도 17은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 표시 패널디스플레이 패널의 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
본 명세서에서 "A 및/또는 B"은 A이거나, B이거나, A와 B인 경우를 나타낸다. 그리고, "A 및 B 중 적어도 하나"는 A이거나, B이거나, A와 B인 경우를 나타낸다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우, 또는/및 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우, 및/또는 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 1을 참조하면, 디스플레이 장치(1)는 제1 영역(OA) 및 제1 영역(OA)을 적어도 부분적으로 둘러싸는 제2 영역인 표시영역(DA)을 포함한다. 디스플레이 장치(1)는 표시영역(DA)에 배치된 복수의 화소들에서 방출되는 빛을 이용하여 소정의 이미지를 제공할 수 있다. 제1 영역(OA)은 표시영역(DA)에 의해 전체적으로 둘러싸일 수 있다. 제1 영역(OA)은 도 2a를 참조하여 후술할 컴포넌트가 배치되는 영역일 수 있다.
제1 영역(OA)과 제2 영역인 표시영역(DA) 사이에는 제3 영역으로서 중간영역(MA)이 배치되며, 표시영역(DA)은 제4영역인 외곽영역(PA)에 의해 둘러싸일 수 있다. 중간영역(MA) 및 외곽영역(PA)은 화소들이 배치되지 않은 일종의 비표시영역일 수 있다. 중간영역(MA)은 표시영역(DA)에 의해 전체적으로 둘러싸이고, 표시영역(DA)은 외곽영역(PA)에 의해 전체적으로 둘러싸일 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(1)로서, 유기 발광 디스플레이 장치를 예로 하여 설명하지만, 본 발명의 디스플레이 장치는 이에 제한되지 않는다. 다른 실시예로서, 본 발명의 디스플레이 장치(1)는 퀀텀닷 발광 디스플레이 장치(Quantum dot Light Emitting Display)와 같은 디스플레이 장치일 수 있다.
도 1에는 제1 영역(OA)이 하나 구비되며 대략 원형인 것을 도시하고 있으나 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 제1 영역(OA)의 개수는 2개 이상일 수 있으며, 각각의 형상은 원형, 타원형, 다각형, 별 형상, 다이아몬드 형상 등 다양하게 변경될 수 있음은 물론이다.
도 2a, 도 2b 및 도 3은 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치를 간략하게 나타낸 단면도로서, 도 1의 II-II'선에 따른 단면에 대응할 수 있다.
도 2a를 참조하면, 디스플레이 장치(1)는 디스플레이 패널(10), 디스플레이 패널(10) 상에 배치되는 입력감지층(40), 및 광학 기능층(50)을 포함할 수 있으며, 이들은 윈도우(60)로 커버될 수 있다. 디스플레이 장치(1)는 휴대폰(mobile phone), 노트북, 스마트 워치와 같은 다양한 종류의 전자 기기일 수 있다.
디스플레이 패널(10)은 이미지를 표시할 수 있다. 디스플레이 패널(10)은 표시영역(DA)에 배치된 화소들을 포함한다. 화소들은 표시요소 및 이와 연결된 화소회로를 포함할 수 있다. 표시요소는 유기발광다이오드, 또는 퀀텀닷 유기발광다이오드 등을 포함할 수 있다.
입력감지층(40)은 외부의 입력, 예컨대 터치 이벤트에 따른 좌표정보를 획득한다. 입력감지층(40)은 감지전극(sensing electrode 또는 touch electrode) 및 감지전극과 연결된 트레이스라인(trace line)들을 포함할 수 있다. 입력감지층(40)은 디스플레이 패널(10) 위에 배치될 수 있다. 입력감지층(40)은 뮤추얼 캡 방식 또는/및 셀프 캡 방식으로 외부 입력을 감지할 수 있다.
입력감지층(40)은 디스플레이 패널(10) 상에 직접 형성되거나, 별도로 형성된 후 광학 투명 점착제(optical clear adhesive)와 같은 점착층을 통해 결합될 수 있다. 예컨대, 입력감지층(40)은 디스플레이 패널(10)을 형성하는 공정 이후에 연속적으로 형성될 수 있으며, 이 경우 입력감지층(40)은 디스플레이 패널(10)의 일부로 이해될 수 있으며, 입력감지층(40)과 디스플레이 패널(10) 사이에는 점착층이 개재되지 않을 수 있다. 도 2a에는 입력감지층(40)이 디스플레이 패널(10)과 광학 기능층(50) 사이에 개재된 것을 도시하지만, 다른 실시예로서, 입력감지층(40)은 광학 기능층(50) 위에 배치될 수 있다.
광학 기능층(50)은 반사 방지층을 포함할 수 있다. 반사 방지층은 윈도우(60)를 통해 외부에서 디스플레이 패널(10)을 향해 입사하는 빛(외부광)의 반사율을 감소시킬 수 있다. 반사 방지층은 위상지연자(retarder) 및 편광자(polarizer)를 포함할 수 있다. 위상지연자는 필름타입 또는 액정 코팅타입일 수 있고, θ/2 위상지연자 및/또는 θ/4 위상지연자를 포함할 수 있다. 편광자 역시 필름타입 또는 액정 코팅타입일 수 있다. 필름타입은 연신형 합성수지 필름을 포함하고, 액정 코팅타입은 소정의 배열로 배열된 액정들을 포함할 수 있다. 위상지연자 및 편광자는 보호필름을 더 포함할 수 있다. 위상지연자 및 편광자 자체 또는 보호필름이 반사방지 층의 베이스층으로 정의될 수 있다.
다른 실시예로, 반사 방지층은 블랙매트릭스와 컬러필터들을 포함할 수 있다. 컬러필터들은 디스플레이 패널(10)의 화소들 각각에서 방출되는 빛의 색상을 고려하여 배열될 수 있다. 또 다른 실시예로, 반사 방지층은 상쇄간섭 구조물을 포함할 수 있다. 상쇄간섭 구조물은 서로 다른 층 상에 배치된 제1 반사층과 제2 반사층을 포함할 있다. 제1 반사층 및 제2 반사층에서 각각 반사된 제1 반사광과 제2 반사광은 상쇄 간섭될 수 있고, 그에 따라 외부광 반사율이 감소될 수 있다.
광학 기능층(50)은 렌즈층을 포함할 수 있다. 렌즈층은 디스플레이 패널(10)에서 방출되는 빛의 출광 효율을 향상시키거나, 색편차를 줄일 수 있다. 렌즈층은 오목하거나 볼록한 렌즈 형상을 가지는 층을 포함하거나, 또는/및 굴절률이 서로 다른 복수의 층을 포함할 수 있다. 광학 기능층(50)은 전술한 반사 방지층 및 렌즈층을 모두 포함하거나, 이들 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 광학 기능층(50)은 디스플레이 패널(10) 및/또는 입력감지층(40)을 형성하는 공정 이후에 연속적으로 형성될 수 있다. 이 경우, 광학 기능층(50) 디스플레이 패널(10) 및/또는 입력감지층(40) 사이에는 점착층이 개재되지 않을 수 있다.
디스플레이 패널(10), 입력감지층(40), 및/또는 광학 기능층(50)은 개구를 포함할 수 있다. 이와 관련하여, 도 2a에는 디스플레이 패널(10), 입력감지층(40), 및 광학 기능층(50)이 각각 제1 내지 제3 개구(10H, 40H, 50H)를 포함하며, 제1 내지 제3 개구(10H, 40H, 50H)들이 서로 중첩되는 것을 도시한다. 제1 내지 제3 개구(10H, 40H, 50H)들은 제1 영역(OA)에 대응하도록 위치한다.
다른 실시예로, 디스플레이 패널(10), 입력감지층(40), 및 광학 기능층(50) 중 하나 또는 그 이상은 개구를 포함하지 않을 수 있다. 예컨대, 디스플레이 패널(10), 입력감지층(40), 및 광학 기능층(50) 중에서 선택된 어느 하나, 또는 두 개의 구성요소는 개구를 포함하지 않을 수 있다. 또는, 디스플레이 패널(10), 입력감지층(40), 및 광학 기능층(50)은, 도 3에 도시된 바와 같이 개구를 포함하지 않을 수 있다.
제1 영역(OA)은 전술한 바와 같이 디스플레이 장치(1)에 다양한 기능을 부가하기 위한 컴포넌트(20)가 위치하는 일종의 컴포넌트 영역(예, 센서 영역, 카메라 영역, 스피커 영역, 등)일 수 있다. 컴포넌트(20)는 도 2a에 도시된 바와 같이 제1 내지 제3 개구(10H, 40H, 50H)와 대응하도록 배치되되 디스플레이 패널(10)의 아래에 배치될 수 있다. 또는, 도 2b에 도시된 바와 같이 제1 내지 제3 개구(10H, 40H, 50H) 내에 적어도 일부가 삽입되어 위치할 수 있다. 또는, 컴포넌트(20)는 도 3에 도시된 바와 같이 관통홀이 구비되지 않은 디스플레이 패널(10)의 아래에 배치될 수 있다.
컴포넌트(20)는 전자요소를 포함할 수 있다. 예컨대, 컴포넌트(20)는 빛이나 음향을 이용하는 전자요소일 수 있다. 예컨대, 전자요소는 적외선 센서와 같이 빛을 출력하거나 또는/및 수신하는 센서, 빛을 수광하여 이미지를 촬상하는 카메라, 빛이나 음향을 출력하고 감지하여 거리를 측정하거나 지문을 인식하는 센서, 빛을 출력하는 소형 램프이거나, 소리를 출력하는 스피커 등을 포함할 수 있다. 빛을 이용하는 전자요소의 경우, 가시광, 적외선광, 자외선광 등과 같이 다양한 파장 대역의 빛을 이용할 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 영역(OA)은 컴포넌트(20)로부터 외부로 출력되거나 외부로부터 전자요소를 향해 진행하는 빛 또는/및 음향이 투과할 수 있는 투과영역(transmission area)으로 이해될 수 있다.
다른 실시예로, 디스플레이 장치(1)가 스마트 워치나 차량용 계기판으로 이용되는 경우, 컴포넌트(20)는 시계 바늘이나 소정의 정보(예, 차량 속도 등)를 지시하는 바늘과 같은 부재일 수 있다. 디스플레이 장치(1)가 시계 바늘이나 차량용 계기판을 포함하는 경우, 컴포넌트(20)가 윈도우(60)를 관통하여 외부로 노출될 수 있으며, 윈도우(60)는 제1 영역(OA)에 대응하는 개구를 포함할 수 있다.
컴포넌트(20)는 전술한 바와 같이 디스플레이 패널(10)의 기능과 관계된 구성요소(들)를 포함하거나, 디스플레이 패널(10)의 심미감을 증가시키는 액세서리와 같은 구성요소 등을 포함할 수 있다. 도 2a, 도 2b 및 도 3에는 도시되지 않았으나 윈도우(60)와 광학 기능층(50) 사이에는 광학 투명 점착제 등을 포함하는 층이 위치할 수 있다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널을 개략적으로 나타낸 단면도들이다.
도 4a를 참조하면, 디스플레이 패널(10)은 기판(100) 상에 배치된 표시층(200)을 포함한다. 기판(100)은 글래스재를 포함하거나 고분자 수지를 포함할 수 있다. 기판(100)은 다층으로 형성될 수 있다. 예컨대, 기판(100)은 도 4a의 확대도에 도시된 바와 같이, 제1 베이스층(101), 제1 배리어층(102), 제2 베이스층(103) 및 제2 배리어층(104)을 포함할 수 있다.
제1 베이스층(101) 및 제2 베이스층(103)은 각각 고분자 수지를 포함할 수 있다. 예컨대, 제1 베이스층(101) 및 제2 베이스층(103)은 폴리에테르술폰(PES, polyethersulfone), 폴리아릴레이트(PAR, polyarylate), 폴리에테르 이미드(PEI, polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelenene napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide: PPS), 폴리이미드(polyimide: PI), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate: CAP) 등과 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다. 전술한 고분자 수지는 투명할 수 있다.
제1 배리어층(102) 및 제2 배리어층(104)은 외부 이물질의 침투를 방지하는 배리어층으로서, 실리콘나이트라이드(SiNx), 실리콘옥사이드(SiOx)와 같은 무기물을 포함하는 단일 층 또는 다층일 수 있다.
표시층(200)은 복수의 화소들을 구비한다. 표시층(200)은 각 화소마다 배치되는 표시요소들을 포함하는 표시요소층(200A), 및 각 화소마다 배치되는 화소회로와 절연층들을 포함하는 화소회로층(200B)을 포함할 수 있다. 표시요소층(200A)은 화소전극, 대향전극, 및 이들 사이에 개재되는 적층 구조를 가질 수 있으며, 각 표시요소는 유기발광다이오드(organic light-emitting diode, OLED)일 수 있다. 각 화소회로는 박막트랜지스터 및 스토리지 커패시터를 포함할 수 있다.
표시층(200)의 표시요소들은 박막봉지층(300)과 같은 봉지부재로 커버될 수 있으며, 박막봉지층(300)은 적어도 하나의 무기봉지층과 적어도 하나의 유기봉지층을 포함할 수 있다. 디스플레이 패널(10)이 고분자 수지를 포함하는 기판(100), 및 무기봉지층과 유기봉지층을 포함하는 박막봉지층(300)을 구비하는 경우, 디스플레이 패널(10)의 유연성(flexibility)을 향상시킬 수 있다.
디스플레이 패널(10)은 디스플레이 패널(10)을 관통하는 관통부(10H)를 포함할 수 있다. 관통부(10H)는 제1 영역(OA)에 위치할 수 있으며, 이 경우 제1 영역(OA)은 일종의 개구영역일 수 있다. 도 4a는 기판(100) 및 박막봉지층(300)이 각각 디스플레이 패널(10)의 관통부(10H)에 대응하는 관통홀(100H, 300H)을 포함하는 것을 도시한다. 표시층(200)도 제1 영역(OA)에 대응하는 관통홀(200H)을 포함할 수 있다.
다른 실시예로, 도 4b에 도시된 바와 같이 기판(100)은 제1 영역(OA)에 대응하는 관통홀을 포함하지 않을 수 있다. 표시층(200)은 제1 영역(OA)에 대응하는 관통홀(200H)을 포함할 수 있다. 박막봉지층(300)은 제1 영역(OA)에 대응하는 관통홀을 포함하지 않을 수 있다. 다른 실시예로, 도 4c에 도시된 바와 같이 표시층(200)은 제1 영역(OA)에 대응하는 관통홀(200H)을 포함하지 않을 수 있다.
도 4a 내지 도 4c에는 제1 영역(OA)에는 표시요소층(200A)이 배치되지 않은 것을 도시하나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 다른 실시예로서, 도 4d에 도시된 바와 같이 제1 영역(OA)에는 보조표시요소층(200C)이 위치할 수 있다. 보조표시요소층(200C)은 표시요소층(200A)의 표시요소와 다른 구조 또는/및 다른 방식으로 동작하는 표시요소를 포함할 수 있다.
일 실시예로, 표시요소층(200A)의 각 화소가 능동형 유기발광다이오드를 포함하고 보조표시요소층(200C)은 수동형 유기발광다이오드를 포함하는 화소들을 구비할 수 있다. 보조표시요소층(200C)이 수동형 유기발광다이오드의 표시요소를 포함하는 경우, 해당 수동형 유기발광다이오드 아래에는 화소회로를 이루는 구성요소들이 존재하지 않을 수 있다. 예컨대, 화소회로층(200B) 중 보조표시요소층(200C) 아래의 부분은 트랜지스터 및 스토리지 커패시터를 포함하지 않는다.
또 다른 실시예로, 보조표시요소층(200C)은 표시요소층(200A)과 동일한 타입(예, 능동형 유기발광다이오드)의 표시요소를 포함할 수 있으나, 그 아래의 화소회로의 구조가 다를 수 있다. 예컨대, 보조표시요소층(200C) 아래의 화소회로(예, 기판과 트랜지스터 사이에 차광막을 갖는 화소회로 등)는 표시요소층(200A) 아래의 화소회로와 다른 구조를 포함할 수 있다. 또는, 보조표시요소층(200C)의 표시요소들은 표시요소층(200A)의 표시요소들과 다른 제어 신호에 따라 동작할 수 있다. 보조표시요소층(200C)이 배치된 제1 영역(OA)에는 비교적 높은 투과율을 요하지 않는 컴포넌트(예컨대, 적외선 센서 등)가 배치될 수 있다. 이 경우, 제1 영역(OA)은 컴포넌트 영역이자 보조 표시영역으로 이해될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 디스플레이 패널을 개략적으로 나타낸 평면도이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 디스플레이 패널 중 어느 하나의 화소를 개략적으로 나타낸 등가회로도이다.
도 5를 참조하면, 디스플레이 패널(10)은 제1 영역(OA), 제2 영역인 표시영역(DA), 제3 영역인 중간영역(MA), 및 제4영역인 외곽영역(PA)을 포함할 수 있다. 도 5는 디스플레이 패널(10) 중 기판(100)의 모습으로 이해될 수 있다. 예컨대, 기판(100)이 제1 영역(OA), 표시영역(DA), 중간영역(MA), 및 외곽영역(PA)을 갖는 것으로 이해될 수 있다.
디스플레이 패널(10)은 표시영역(DA)에 배치된 복수의 화소(P)들을 포함한다. 각 화소(P)는 도 6에 도시된 바와 같이 화소회로(PC), 및 화소회로(PC)에 연결된 표시요소로서 유기발광다이오드(OLED)를 포함할 수 있다. 화소회로(PC)는 제1 박막트랜지스터(T1), 제2 박막트랜지스터(T2), 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다. 각 화소(P)는 유기발광다이오드(OLED)를 통해 예컨대, 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 빛을 방출할 수 있다.
제2 박막트랜지스터(T2)는 스위칭 박막트랜지스터로서, 스캔라인(SL) 및 데이터라인(DL)에 연결되며, 스캔라인(SL)으로부터 입력되는 스위칭 전압에 기초하여 데이터라인(DL)으로부터 입력된 데이터 전압을 제1 박막트랜지스터(T1)로 전달할 수 있다. 스토리지 커패시터(Cst)는 제2 박막트랜지스터(T2)와 구동전압선(PL)에 연결되며, 제2 박막트랜지스터(T2)로부터 전달받은 전압과 구동전압선(PL)에 공급되는 제1전원전압(ELVDD)의 차이에 해당하는 전압을 저장할 수 있다.
제1 박막트랜지스터(T1)는 구동 박막트랜지스터로서, 구동전압선(PL)과 스토리지 커패시터(Cst)에 연결되며, 스토리지 커패시터(Cst)에 저장된 전압 값에 대응하여 구동전압선(PL)으로부터 유기발광다이오드(OLED)를 흐르는 구동 전류를 제어할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)는 구동 전류에 의해 소정의 휘도를 갖는 빛을 방출할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)의 대향전극(예, 캐소드)은 제2전원전압(ELVSS)을 공급받을 수 있다.
도 6은 화소회로(PC)가 2개의 박막트랜지스터와 1개의 스토리지 커패시터를 포함하는 것을 설명하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 박막트랜지스터의 개수 및 스토리지 커패시터의 개수는 화소회로(PC)의 설계에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 예컨대, 화소회로(PC)는 전술한 2개의 박막트랜지스터 외에 4개 또는 5개 또는 그 이상의 박막트랜지스터들을 더 포함할 수 있다.
다시 도 5를 참조하면, 중간영역(MA)은 평면상에서 제1 영역(OA)을 둘러쌀 수 있다. 중간영역(MA)은 빛을 방출하는 유기발광다이오드와 같은 표시요소가 배치되지 않은 영역으로, 중간영역(MA)에는 제1 영역(OA) 주변에 배치된 화소(P)들에 신호를 제공하는 신호라인들이 지나갈 수 있다. 외곽영역(PA)에는 각 화소(P)에 스캔신호를 제공하는 스캔 드라이버(1100), 각 화소(P)에 데이터신호를 제공하는 데이터 드라이버(1200), 및 제1전원전압 및 제2전원전압을 제공하기 위한 메인 전원배선(미도시)들 등이 배치될 수 있다. 도 5에는 데이터 드라이버(1200)가 기판(100)의 일 측변에 인접하게 배치된 것을 도시하나, 다른 실시예에 따르면, 데이터 드라이버(1200)는 디스플레이 패널(10)의 일 측에 배치된 패드와 전기적으로 접속된 FPCB(flexible Printed circuit board) 상에 배치될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 일부를 나타낸 평면도이다.
도 7을 참조하면, 제1 영역(OA)을 중심으로 화소(P)들이 표시영역(DA)에 배치된다. 일부 화소(P)들은 제1 영역(OA)을 중심으로 상호 이격될 수 있으며, 제1 영역(OA)은 화소(P)들 사이에 정의될 수 있다. 예컨대, 평면상에서 제1 영역(OA)을 중심으로 위와 아래에 각각 화소(P)들이 배치되고, 제1 영역(OA)을 중심으로 좌우에 각각 화소(P)들이 배치될 수 있다.
화소(P)들에 신호를 공급하는 신호라인들 중 제1 영역(OA)과 인접한 신호라인들은 제1 영역(OA)을 우회할 수 있다. 도 7의 평면상에서 표시영역(DA)을 지나는 데이터라인들 중 적어도 하나의 데이터라인(DL)은, 제1 영역(OA)의 위와 아래에 각각 배치된 화소(P)들에 데이터신호를 제공하도록 y방향으로 연장되되, 중간영역(MA)에서 제1 영역(OA)의 가장자리를 따라 우회할 수 있다. 평면상에서, 표시영역(DA)을 지나는 스캔라인들 중 적어도 하나의 스캔라인(SL)은, 제1 영역(OA)의 좌우에 각각 배치된 화소(P)들에 스캔신호를 제공하도록 x방향으로 연장되되, 중간영역(MA)에서 제1 영역(OA)의 가장자리를 따라 우회할 수 있다.
스캔라인(SL)의 우회 부분(circuitous portion or bypass portion, SL-D)은 표시영역(DA)을 가로지르는 연장 부분(SL-L)과 동일한 층 상에 위치하며, 일체로 형성될 수 있다. 데이터라인(DL)들 중 적어도 하나의 데이터라인(DL)의 우회 부분(DL-D1)은 표시영역(DA)을 가로지르는 연장 부분(DL-L1)과 서로 다른 층 상에 형성될 수 있으며, 데이터라인(DL)의 우회 부분(DL-D1)과 연장 부분(DL-L1)은 콘택홀(CNT)을 통해 접속될 수 있다. 데이터라인(DL)들 중 적어도 하나의 데이터라인(DL)의 우회 부분(DL-D2)은 연장 부분(DL-L2)과 동일한 층 상에 위치하며, 일체로 형성될 수 있다.
중간영역(MA) 중 스캔라인(SL)들 및 데이터라인(DL)들이 우회하는 영역과 제1 영역(OA) 사이에는 하나 또는 그 이상의 그루브(G)가 위치할 수 있다. 평면 상에서, 그루브(G)들은 각각 제1 영역(OA)을 둘러싸는 링 형상일 수 있으며, 그루브(G)들은 상호 이격되어 배치될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 일부를 나타낸 평면도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도로서, 도 8의 IX-IX'선에 따른 단면에 대응할 수 있다. 또한, 도 10a 내지 도 10c는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 제조 공정을 나타낸 단면도들 및 평면도로서, 중간영역을 나타낸다.
도 8을 참조하면, 중간영역(MA) 상에는 제1 영역(OA)을 둘러싸도록 배치된 격벽(PW) 및 적어도 하나 이상의 그루브(G)가 구비될 수 있다.
일 실시예로, 적어도 하나 이상의 그루브(G)는 복수 개 구비될 수 있으며, 격벽(PW)을 중심으로 양측에 위치할 수 있다. 도 8에서 그루브(G)들 중 적어도 하나는 격벽(PW)을 중심으로 표시영역(DA)과 인접한 외측에 구비되고, 그루브(G)들 중 다른 일부는 격벽(PW)을 중심으로 제1 영역(OA)과 인접한 내측에 구비될 수 있다. 다른 실시예로, 제1 영역(OA)과 인접한 격벽(PW)의 내측에는 2개 이상의 그루브(G)들이 구비될 수도 있다.
한편, 중간영역(MA)의 그루브(G)들과 중첩하도록 제1 금속층(MTL1)이 배치될 수 있다. 도 8에서는 제1 금속층(MTL1)이 모든 그루브(G)들과 중첩되는 것으로 도시되나, 다른 실시예로 제1 금속층(MTL1)은 그루브(G)들 중 일부와 중첩될 수도 있다.
도 9의 표시영역(DA)을 참조하면, 기판(100)은 글래스재 또는 고분자 수지를 포함할 수 있다. 일 실시예로서 기판(100)은 앞서 도 3a의 확대도에 도시된 바와 같이 복수의 서브층들을 포함할 수 있다.
기판(100) 상에는 불순물이 박막트랜지스터(TFT)의 반도체층(Act)으로 침투하는 것을 방지하기 위해 형성된 버퍼층(201)이 형성될 수 있다. 버퍼층(201)은 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드 및 실리콘옥사이드와 같은 무기 절연물을 포함할 수 있으며, 전술한 무기 절연물을 포함하는 단층 또는 다층일 수 있다.
버퍼층(201) 상에는 화소회로(PC)가 배치될 수 있다. 화소회로(PC)는 박막트랜지스터(TFT) 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함한다. 박막트랜지스터(TFT)는 반도체층(Act), 게이트전극(GE) 및 연결전극인 소스전극(SE) 및 드레인전극(DE)을 포함할 수 있다. 도 9에 도시된 박막트랜지스터(TFT)는 도 6을 참조하여 설명한 구동 박막트랜지스터에 대응할 수 있다. 화소회로(PC)의 데이터라인(DL)은 도 9에는 도시되지 않았으나 화소회로(PC)에 포함된 스위칭 박막트랜지스터와 전기적으로 연결된다. 본 실시예에서는 게이트전극(GE)이 게이트절연층(203)을 가운데 두고 반도체층(Act) 상에 배치된 탑 게이트 타입을 도시하였으나, 다른 실시예에 따르면 박막트랜지스터(TFT)는 바텀 게이트 타입일 수 있다.
반도체층(Act)은 폴리 실리콘을 포함할 수 있다. 또는, 반도체층(Act)은 비정질(amorphous) 실리콘을 포함하거나, 산화물 반도체를 포함하거나, 유기 반도체 등을 포함할 수 있다. 게이트전극(GE)은 저저항 금속 물질을 포함할 수 있다. 게이트전극(GE)은 몰리브데넘(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다.
반도체층(Act)과 게이트전극(GE) 사이의 게이트절연층(203)은 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드, 알루미늄옥사이드, 티타늄옥사이드, 탄탈륨옥사이드, 및 하프늄옥사이드 등과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다. 게이트절연층(203)은 전술한 물질을 포함하는 단층 또는 다층일 수 있다.
반도체층(Act)과 전기적으로 연결되는 연결전극인 소스전극(SE) 및 드레인전극(DE)은 데이터라인(DL)과 동일한 층 상에 위치할 수 있으며, 동일한 물질을 포함할 수 있다. 소스전극(SE), 드레인전극(DE), 및 데이터라인(DL)은 전도성이 좋은 재료를 포함할 수 있다. 소스전극(SE) 및 드레인전극(DE)은 몰리브데넘(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다. 일 실시예로, 소스전극(SE), 드레인전극(DE) 및 데이터라인(DL)은 Ti/Al/Ti의 다층으로 형성될 수 있다.
스토리지 커패시터(Cst)는 제1 층간절연층(205)을 사이에 두고 중첩하는 하부 전극(CE1)과 상부 전극(CE2)을 포함할 수 있다. 스토리지 커패시터(Cst)는 박막트랜지스터(TFT)와 중첩될 수 있다. 이와 관련하여, 도 9는 박막트랜지스터(TFT)의 게이트전극(GE)이 스토리지 커패시터(Cst)의 하부 전극(CE1)인 것을 도시하고 있다. 다른 실시예로서, 스토리지 커패시터(Cst)는 박막트랜지스터(TFT)와 중첩하지 않을 수 있다. 스토리지 커패시터(Cst)는 제2 층간절연층(207)으로 커버될 수 있다. 스토리지 커패시터(Cst)의 상부 전극(CE2)은 몰리브데넘(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다.
제1 층간절연층(205) 및 제2 층간절연층(207)은 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드, 알루미늄옥사이드, 티타늄옥사이드, 탄탈륨옥사이드, 하프늄옥사이드 등과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다. 제1 층간절연층(205) 및 제2 층간절연층(207)은 전술한 물질을 포함하는 단층 또는 다층일 수 있다.
박막트랜지스터(TFT) 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함하는 화소회로(PC)는 무기절연층(208)으로 커버될 수 있다. 무기절연층(208)은 디스플레이 장치의 제조 공정에서 알루미늄과 같이 에천트에 의해 손상될 수 있는 금속을 포함하는 배선 등이 에칭 환경에 노출되는 것을 방지할 수 있다. 무기절연층(208)은 중간영역(MA)까지 연장되어 형성될 수 있다.
무기절연층(208)은 산화규소(SiOx), 질화규소(SiNx) 또는/및 산질화규소(SiON)와 같은 무기물을 포함할 수 있으며, 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다. 일 실시예로, 무기절연층(208)은 질화규소(SiNx)를 포함할 수 있다. 무기절연층(208)은 약 500Å 이상의 두께를 가질 수 있다. 또 다른 실시예로, 무기절연층(208)은 1,000Å 이상이거나, 1,500Å 이상이거나, 2,000Å 이상이거나, 2,500Å 이상이거나, 3,000Å 이상이거나, 3,500Å 이상이거나, 4,000Å 이상이거나, 4,500Å 이상이거나, 5,000Å 이상이거나, 5,500Å 이상이거나, 6,000Å 이상이거나, 6,500Å 이상일 수 있다. 또는, 무기절연층(208)은 7,000Å 내지 10,000Å의 두께를 가질 수 있다.
무기절연층(208) 상에는 제1 유기절연층(209)이 배치될 수 있다. 제1 유기절연층(209)은 상면이 대략 편평한 면을 포함할 수 있다.
화소회로(PC)는 화소전극(221)과 전기적으로 연결될 수 있다. 예컨대, 도 9에 도시된 바와 같이 박막트랜지스터(TFT)와 화소전극(221) 사이에는 콘택메탈층(CM)이 개재될 수 있다. 콘택메탈층(CM)은 제1 유기절연층(209)에 형성된 콘택홀을 통해 박막트랜지스터(TFT)와 접속할 수 있으며, 화소전극(221)은 콘택메탈층(CM) 상의 제2 유기절연층(211)에 형성된 콘택홀을 통해 콘택메탈층(CM)에 접속할 수 있다. 콘택메탈층(CM)은 몰리브데넘(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다. 일 실시예로, 콘택메탈층(CM)은 Ti/Al/Ti의 다층으로 형성될 수 있다.
제1 유기절연층(209) 및 제2 유기절연층(211)은 Polymethylmethacrylate(PMMA)나 Polystylene(PS)과 같은 일반 범용고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자, 및 이들의 블렌드와 같은 유기 절연물을 포함할 수 있다. 일 실시예로, 제1 유기절연층(209) 및 제2 유기절연층(211)은 폴리이미드를 포함할 수 있다.
화소전극(221)은 제2 유기절연층(211) 상에 형성될 수 있다. 화소전극(221)은 인듐틴옥사이드(ITO; indium tin oxide), 인듐징크옥사이드(IZO; indium zinc oxide), 징크옥사이드(ZnO; zinc oxide), 인듐옥사이드(In2O3: indium oxide), 인듐갈륨옥사이드(IGO; indium gallium oxide) 또는 알루미늄징크옥사이드(AZO; aluminum zinc oxide)와 같은 도전성 산화물을 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 화소전극(221)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크로뮴(Cr) 또는 이들의 화합물을 포함하는 반사막을 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 화소전극(221)은 전술한 반사막의 위/아래에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3로 형성된 막을 더 포함할 수 있다.
화소전극(221) 상에는 화소정의막(215)이 형성될 수 있다. 화소정의막(215)은 화소전극(221)의 상면을 노출하는 개구를 포함하되, 화소전극(221)의 가장자리를 커버할 수 있다. 화소정의막(215)은 유기 절연물을 포함할 수 있다. 또는, 화소정의막(215)은 실리콘나이트라이드(SiNx)나 실리콘옥시나이트라이드(SiON), 또는 실리콘옥사이드(SiOx)와 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다. 또는, 화소정의막(215)은 유기절연물 및 무기절연물을 포함할 수 있다.
중간층(222)은 발광층(222b)을 포함한다. 중간층(222)은 발광층(222b)의 아래에 배치된 제1 기능층(222a) 및/또는 발광층(222b)의 위에 배치된 제2 기능층(222c)을 포함할 수 있다. 발광층(222b)은 소정의 색상의 빛을 방출하는 고분자 또는 저분자 유기물을 포함할 수 있다.
제1 기능층(222a)은 단층 또는 다층일 수 있다. 예컨대 제1 기능층(222a)이 고분자 물질로 형성되는 경우, 제1 기능층(222a)은 단층구조인 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer)으로서, 폴리에틸렌 디히드록시티오펜(PEDOT: poly-(3,4)-ethylene-dihydroxy thiophene)이나 폴리아닐린(PANI: polyaniline)으로 형성할 수 있다. 제1 기능층(222a)이 저분자 물질로 형성되는 경우, 제1 기능층(222a)은 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer)과 홀 수송층(HTL)을 포함할 수 있다.
한편, 제2 기능층(222c)은 언제나 구비되는 것은 아니다. 예컨대, 제1 기능층(222a)과 발광층(222b)을 고분자 물질로 형성하는 경우, 제2 기능층(222c)을 형성하는 것이 바람직하다. 제2 기능층(222c)은 단층 또는 다층일 수 있다. 제2 기능층(222c)은 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer) 및/또는 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer)을 포함할 수 있다.
중간층(222) 중 발광층(222b)은 표시영역(DA)에서 각 화소마다 배치될 수 있다. 발광층(222b)은 화소전극(221)과 대응하도록 패터닝될 수 있다. 발광층(222b)과 달리, 중간층(222) 중 제1 기능층(222a) 및/또는 제2 기능층(222c)은 표시영역(DA)뿐만 아니라 중간영역(MA)에도 존재할 수 있다.
대향전극(223)은 일함수가 낮은 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 대향전극(223)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크로뮴(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca) 또는 이들의 합금 등을 포함하는 (반)투명층을 포함할 수 있다. 또는, 대향전극(223)은 전술한 물질을 포함하는 (반)투명층 상에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3과 같은 층을 더 포함할 수 있다. 대향전극(223)은 표시영역(DA)뿐만 아니라 중간영역(MA) 상에도 형성될 수 있다. 제1 기능층(222a), 제2 기능층(222c), 및 대향전극(223)은 열 증착법에 의해 형성될 수 있다.
캐핑층(230)은 대향전극(223) 상에 위치할 수 있다. 예컨대, 캐핑층(230)은 LiF를 포함할 수 있으며, 열 증착법에 의해 형성될 수 있다. 일부 실시예에서, 캐핑층(230)은 생략될 수 있다.
화소정의막(215) 상에는 스페이서(217)가 형성될 수 있다. 스페이서(217)는 폴리이미드와 같은 유기 절연물을 포함할 수 있다. 또는, 스페이서(217)는 무기 절연물을 포함하거나, 유기절연물 및 무기절연물을 포함할 수 있다.
스페이서(217)는 화소정의막(215)과 다른 물질을 포함하거나, 화소정의막(215)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예컨대, 화소정의막(215)과 스페이서(217)는 하프톤 마스크를 이용한 마스크 공정에서 함께 형성될 수 있다. 일 실시예로서, 화소정의막(215) 및 스페이서(217)는 폴리이미드를 포함할 수 있다.
유기발광다이오드(OLED)는 박막봉지층(300)으로 커버된다. 박막봉지층(300)은 적어도 하나의 유기봉지층 및 적어도 하나의 무기봉지층을 포함할 수 있으며, 도 8은 박막봉지층(300)이 제1 및 제2 무기봉지층(310, 330) 및 이들 사이에 개재된 유기봉지층(320)을 포함하는 것을 도시한다. 다른 실시예에서 유기봉지층의 개수와 무기봉지층의 개수 및 적층 순서는 변경될 수 있다.
제1 무기봉지층(310) 및 제2 무기봉지층(330)은 알루미늄옥사이드, 티타늄옥사이드, 탄탈륨옥사이드, 하프늄옥사이드, 징크옥사이드, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드 하나 이상의 무기물을 포함할 수 있다. 제1 무기봉지층(310) 및 제2 무기봉지층(330)은 전술한 물질을 포함하는 단일 층 또는 다층일 수 있다.
유기봉지층(320)은 폴리머(polymer)계열의 물질을 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 폴리이미드 및 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다. 일 실시예로, 유기봉지층(320)은 아크릴레이트(acrylate)를 포함할 수 있다.
제1 무기봉지층(310) 및 제2 무기봉지층(330)의 두께는 서로 다를 수 있다. 제1 무기봉지층(310)의 두께가 제2 무기봉지층(330)의 두께 보다 클 수 있다. 또는, 제2 무기봉지층(330)의 두께가 제1 무기봉지층(310)의 두께 보다 크거나, 제1 무기봉지층(310) 및 제2 무기봉지층(330)의 두께는 서로 동일할 수 있다.
도 9의 중간영역(MA)을 참조하면, 중간영역(MA)은 제1 영역(OA)으로부터 상대적으로 먼 제1 서브중간영역(SMA1) 및 제1 영역(OA)에 상대적으로 가까운 제2 서브중간영역(SMA2)을 포함할 수 있다. 중간영역(MA)에는, 제1 영역(OA)을 우회하는 라인들 및 그루브(G)들이 배치될 수 있다.
라인들, 예컨대 도 9에 도시된 바와 같이 데이터라인(DL)들은 제1 서브중간영역(SMA1)에 위치할 수 있다. 도 9에 도시된 제1 서브중간영역(SMA1)의 데이터라인(DL)들은, 앞서 도 7을 참조하여 설명한 데이터라인(DL)들의 우회하는 부분(예컨대, DL-D1, DL-D2)들에 해당한다. 제1 서브중간영역(SMA1)은 전술한 데이터라인(DL)들과 같은 라인들이 우회하는 라인영역 또는 우회영역으로 이해될 수 있다.
데이터라인(DL)들은 절연층을 개재한 채 서로 교번적으로 배치될 수 있다. 예컨대, 이웃하는 데이터라인(DL)들 중 하나는 절연층(예, 제1 유기절연층(209))의 아래에 배치되고 다른 하나는 절연층(예, 제1 유기절연층(209))의 위에 배치되는 것과 같이, 교번적으로 배치된다. 데이터라인(DL)들이 절연층을 사이에 두고 교번적으로 배치되는 경우, 데이터라인들 사이의 거리(d, 피치)를 줄일 수 있다. 도 9에는 제1 서브중간영역(SMA1)에 위치하는 데이터라인(DL)들을 도시하고 있으나, 도 7을 참조하여 설명한 스캔라인(SL)들, 예컨대 스캔라인(SL)들의 우회 부분들도 제1 서브중간영역(SMA1)에 위치할 수 있다.
제2 서브중간영역(SMA2)에는 하나 또는 그 이상의 그루브(G)들이 배치될 수 있다. 중간층(222)에 포함된 유기물층, 예컨대 제1 기능층(222a) 및/또는 제2 기능층(222c)은 그루브(G)에 의해 단절(또는 분리)될 수 있다. 제2 서브중간영역(SMA2)은 그루브영역 또는 유기물층의 단절영역(또는 분리영역)으로 이해될 수 있다. 제1 기능층(222a) 및/또는 제2 기능층(222c)과 마찬가지로, 열증착법에 의해 형성되는 대향전극(223)도 그루브(G)에서 단절될 수 있다. LiF 등을 포함하는 캐핑층(230)도 그루브(G)에서 단절될 수 있다.
이처럼 그루브(G)에 의해 단절(또는 분리)된 층들의 일부는 그루브(G) 내에 잔여물층(GP)으로 잔존할 수 있다. 잔여물층(GP)은 그루브(G)의 바닥면 상에 위치할 수 있는데, 도 9에서 잔여물층(GP)은 무기절연층(208) 상에 위치할 수 있다. 일 실시예로, 그루브(G) 내의 잔여물층(GP)은 제1 기능층(222a)의 일부(222aP), 제2 기능층(222c)의 일부(222cP), 대향전극(223)의 일부(223P) 및 캐핑층(230)의 일부(230P)를 포함할 수 있다. 이들은 제조 공정 상 형성 순서에 따라, 제1 기능층(222a)의 일부(222aP), 제2 기능층(222c)의 일부(222cP), 대향전극(223)의 일부(223P) 및 캐핑층(230)의 일부(230P) 순으로 순차적으로 그루브(G) 내에 적층될 수 있다.
그루브(G)는 기판(100)과 화소전극(221) 사이에 개재되는 다층막(ML: Multi-layered film)에 형성될 수 있다. 다층막(ML)은 유기층을 포함하는 제1 서브층과 무기층을 포함하는 제2 서브층을 포함할 수 있다. 이와 관련하여 도 9는 다층막(ML)이 제1 금속층(MTL1), 무기절연층(208), 제1 유기절연층(209) 및 제2 금속층(MTL2)을 포함하는 것을 개시한다.
제1 금속층(MTL1)은 박막트랜지스터(TFT)의 연결전극인 소스전극(SE) 및 드레인전극(DE)과 동일한 층(제2 층간절연층) 상에 위치할 수 있으며, 소스전극(SE) 및 드레인전극(DE)과 동일한 마스크 공정에서 형성될 수 있다. 제1 금속층(MTL1)은 소스전극(SE) 및 드레인전극(DE)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예컨대, 제1 금속층(MTL1)은 금속을 포함할 수 있으며, 예컨대 Ti/Al/Ti와 같이 3개의 서브층들을 포함할 수 있다.
제2 금속층(MTL2)은 콘택메탈층(CM)과 동일한 층(제1 유기절연층) 상에 위치할 수 있으며, 콘택메탈층(CM)과 동일한 마스크 공정에서 형성될 수 있다. 제2 금속층(MTL2)은 콘택메탈층(CM)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예컨대, 제2 금속층(MTL2)은 금속을 포함할 수 있으며, 예컨대, Ti/Al/Ti와 같이 3개의 서브층들을 포함할 수 있다.
도 9 및 도 10a를 함께 참조하여 그루브(G)에 대해 자세히 설명한다.
도 9 및 도 10a를 참조하면, 다층막(ML)의 그루브(G)는 중간층(222)을 형성하는 공정 이전에 형성될 수 있다. 그루브(G)는 언더컷 구조를 가질 수 있다. 그루브(G)는 제2 금속층(MTL2)에 형성된 제1 홀(210h) 및 제1 유기절연층(209)에 형성된 제2 홀(209h)을 포함할 수 있다. 도 10a는 서로 중첩하는 제1 홀(210h)과 제2 홀(209h)이 그루브(G)를 이루는 것을 도시하고 있다.
그루브(G)의 바닥면은 기판(100)의 상면과 제1 유기절연층(209)의 상면 사이에 위치하는 가상의 면 상에 위치할 수 있는데, 이와 관련하여 도 10a는 그루브(G)의 바닥면이 무기절연층(208)의 상면(208a)과 동일한 가상의 면 상에 위치하는 것을 도시한다. 즉, 그루브(G)는 무기절연층(208)의 상면(208a)의 적어도 일부를 노출할 수 있다.
다른 실시예로, 그루브(G)의 바닥면은 제1 금속층(MTL1)의 상면(MTL1a, 도 10a 참조)과 무기절연층(208)의 상면(208a) 사이의 가상의 면 상에 위치할 수 있다. 이 경우, 그루브(G)는 제2 금속층(MTL2)에 형성된 제1 홀(210h), 제1 유기절연층(209)에 형성된 제2 홀(209h) 및 무기절연층(208)에 형성된 리세스를 포함할 수 있다. 리세스는 무기절연층(208)을 관통하지는 않으나 무기절연층(208)의 일부가 제거되어 기판(100) 측으로 오목하게 들어간 부분을 의미할 수 있다.
제1 홀(210h)을 정의하는 제2 금속층(MTL2)의 단부들은 그 아래에 배치된 제1 유기절연층(209)의 내 측면보다 그루브(G)의 중심을 향해 더 돌출될 수 있다. 예컨대, 제1 홀(210h)의 제1 폭(W1)은 제2 홀(209h)의 제2 폭(W2) 보다 작은 값을 가질 수 있으며, 여기서 제2 홀(209h)의 제2 폭(W2)은 제1 홀(210h)을 정의하는 제2 금속층(MTL2)의 단부들 바로 아래 부분의 폭일 수 있다. 그루브(G) 및/또는 제1 홀(210h)의 중심을 향해 돌출된 제2 금속층(MTL2)의 단부들은 한 쌍의 처마(또는 한 쌍의 돌출 팁 또는 팁, PT)을 형성할 수 있다. 각각의 팁(PT)의 돌출 길이(d1)는 후술할 제2 홀(209h)의 깊이(h1)보다 작을 수 있다. 예컨대, 팁(PT)의 돌출 길이(d1)는 예컨대 약 1㎛ 내지 1.5 ㎛를 가질 수 있다.
전술한 바와 같이 팁(PT)를 형성하는 제2 금속층(MTL2)의 제1 단부는 도 9에 도시된 바와 같이 노출될 수 있으나, 다른 단부, 예컨대 팁(PT)의 반대편에 위치하는 제2 단부(210e)는 제2 유기절연층(211)으로 커버될 수 있다.
제2 홀(209h)의 깊이(h1)는 제1 유기절연층(209)의 두께(t1)와 동일할 수 있다. 제2 홀(209h)의 깊이(h1)는 그루브(G)의 깊이에 해당할 수 있다. 일 실시예로, 그루브(G)의 깊이는 약 1.5㎛ 이상일 수 있다. 예컨대, 그루브(G)의 깊이는 약 3㎛ 이상, 바람직하게는 약 2㎛ 이상 일 수 있다.
제1 유기절연층(209)은 제1 개구(209OD)를 포함할 수 있다. 제1 개구(209OD)는 그루브(G)와 인접하게 배치되되, 소정의 간격으로 이격되어 배치될 수 있다. 일 실시예로 도 10a에 도시된 바와 같이 제1 개구(209OD)들은 그루브(G)의 양 옆에 배치될 수 있다. 예컨대, 그루브(G)를 중심으로 하나의 제1 개구(209OD)는 표시영역(DA) 측에 배치되고 다른 하나의 제1 개구(209OD)는 제1 영역(OA) 측에 배치될 수 있다.
무기절연층(208)은 제2 개구(208OD)를 포함할 수 있다. 제2 개구(208OD)는 제1 개구(209OD)에 대응하여 배치될 수 있다. 즉, 제2 개구(208OD)는 제1 개구(209OD)에서 연장 형성될 수 있다. 제2 개구(208OD) 및 제1 개구(209OD)는 표시영역(DA)의 콘택메탈층(CM)과 드레인전극(DE)을 연결하는 콘택홀을 형성하는 공정에서 함께 형성될 수 있다.
제2 금속층(MTL2)과 제1 금속층(MTL1)은 그루브(G)와 인접하여 배치된 적어도 하나의 컨택부(CT)를 통해 직접 접촉할 수 있다. 도 10a는 적어도 하나의 컨택부(CT)가 그루브(G)를 사이에 두고 위치한 제1 컨택부(CT1) 및 제2 컨택부(CT2)를 포함하는 것으로 도시되나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 컨택부(CT1) 및 제2 컨택부(CT2)는 도 10b에 도시된 것과 같이 그루브(G)를 따라 소정 간격 이격되어 구비될 수 있다.
컨택부(CT)는 제1 유기절연층(209)에 정의된 제1 개구(209OD) 및 무기절연층(208)에 정의된 제2 개구(208OD)를 포함할 수 있다. 즉, 제2 금속층(MTL2)은 제1 개구(209OD) 및 제2 개구(208OD)를 통해 제1 유기절연층(209) 아래의 하부 무기층, 예컨대 제1 금속층(MTL1)과 직접 접촉할 수 있다. 제1 개구(209OD) 및 제2 개구(208OD)를 통해 서로 접촉하는 제2 금속층(MTL2)과 제1 금속층(MTL1)은 무기접촉영역(ICR)을 형성할 수 있다.
기판(100) 상의 층들 중 유기물을 포함하는 층은 수분이 진행하는 경로가 될 수 있다. 일 실시예로, 도 9에 도시된 바와 같이 디스플레이 패널(10-1)이 제1 영역(OA)에 대응하는 관통부(10H)를 포함하는 경우, 관통부(10H)를 통해 기판(100)의 상면과 나란한 방향 (x방향, 이하 측 방향이라 함, lateral direction)을 따라 수분이 진행할 수 있으나, 본 발명의 실시예에 따르면 중간영역(MA)이 무기접촉영역(ICR)을 포함함으로써 수분이 제1 유기절연층(209)을 통해 표시영역(DA)으로 진행하는 것을 차단할 수 있다.
그루브(G)들 사이에는 격벽(PW)이 배치될 수 있다. 격벽(PW)은 순차적으로 적층된 복수의 서브-유기절연층을 포함할 수 있다. 일 실시예로, 도 10a에 도시된 바와 같이 격벽(PW)은 제1 유기절연층(209)의 일부(209P), 제2 유기절연층(211)의 일부(211P), 화소정의막(215)의 일부(215P) 및 스페이서(217)의 일부(217P)가 적층된 구조를 가질 수 있다. 다른 실시예로, 제1 유기절연층(209)의 일부(209P), 제2 유기절연층(211)의 일부(211P), 화소정의막(215)의 일부(215P) 및 스페이서(217)의 일부(217P) 중 하나 또는 그 이상은 생략될 수 있으며, 이 경우 기판(100)으로부터 격벽(PW)의 상면까지의 높이는 기판(100)으로부터 스페이서(217)의 상면까지의 높이에 비하여 작은 값을 가질 수 있다.
한편, 도 10b는 도 8의 X를 확대한 부분에 대응한다.
도 10a 및 도 10b를 참조하면, 제1 금속층(MTL1)의 폭(W3)은 제2 홀(209h)의 제2 폭(W2) 보다 크게 구비될 수 있다. 제2 홀(209h)의 제2 폭(W2)은 그루브(G)의 폭을 의미할 수 있다. 물론, 도 10a에 도시된 것과 같이 그루브(G)의 폭은 그루브(G)의 입구에 해당하는 제1 홀(210h)의 제1 폭(W1)으로 해석될 수도 있다.
도 9 및 도 10c를 참조하면, 도 10c는 도 10a과 그루브(G) 형상에서 차이가 있다. 도 10c의 그루브(G)는 제2 금속층(MTL2)에 형성된 제1 홀(210h), 제1 유기절연층(209)에 형성된 제2 홀(209h) 및 무기절연층(208)에 형성된 제3 홀(208h)을 포함할 수 있다.
도 10c는 서로 중첩하는 제1 홀(210h), 제2 홀(209h) 및 제3 홀(208h)이 그루브(G)를 이루는 것을 도시하고 있다. 그루브(G)의 바닥면은 기판(100)의 상면과 제1 유기절연층(209)의 상면 사이에 위치하는 가상의 면 상에 위치할 수 있는데, 이와 관련하여 도 10c는 그루브(G)의 바닥면이 제1 금속층(MTL1)의 상면(MTL1a)과 동일한 가상의 면 상에 위치하는 것을 도시한다. 즉, 그루브(G)는 제1 금속층(MTL1)의 상면(MTL1a)의 적어도 일부를 노출할 수 있다.
본 실시예에서, 그루브(G)의 깊이(h1')는 제2 홀(209h) 및 제3 홀(208h)의 깊이를 더한 것과 동일할 수 있다. 따라서, 그루브(G)의 깊이(h1')는 제1 유기절연층(209)의 두께(t1) 보다 클 수 있다. 일 실시예로, 그루브(G)의 깊이는 약 1.5㎛ 이상일 수 있다. 예컨대, 그루브(G)의 깊이는 약 3㎛ 이상, 바람직하게는 약 2㎛ 이상 일 수 있다.
도 11은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 일부를 나타낸 평면도이고, 도 12는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 단면도로서, 도 11의 XII-XII'선에 따른 단면에 대응할 수 있다. 또한, 도 13a 및 도 13b는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 제조 공정을 나타낸 단면도들로서, 중간영역을 나타낸다.
도 11을 참조하면, 중간영역(MA) 상에는 제1 영역(OA)을 둘러싸도록 배치된 격벽(PW) 및 적어도 하나 이상의 그루브(G)가 구비될 수 있다. 도 11에서 격벽(PW) 및 그루브(G)의 배치는 도 8과 동일하나, 제1 금속층(MTL1)의 형상에서 차이가 있다.
제1 금속층(MTL1)은 중간영역(MA)의 그루브(G)들과 중첩하도록 배치될 수 있다. 도 11에서 제1 금속층(MTL1)은 그루브(G)들과 이들 사이에 배치된 격벽(PW)과 중첩될 수 있다.
도 12에 있어서 중간영역(MA), 특히 제2 서브중간영역(SMA2)을 제외한 영역은 전술한 도 9와 동일한바, 이하에서는 제2 서브중간영역(SMA2)을 중심으로 설명한다.
도 12의 중간영역(MA)을 참조하면, 제2 서브중간영역(SMA2)에는 하나 또는 그 이상의 그루브(G)들이 배치될 수 있다. 중간층(222)에 포함된 유기물층, 예컨대 제1 기능층(222a) 및/또는 제2 기능층(222c)은 그루브(G)에 의해 단절(또는 분리)될 수 있다.
그루브(G)는 기판(100)과 화소전극(221) 사이에 개재되는 다층막(ML)에 형성될 수 있다. 다층막(ML)은 유기층을 포함하는 제1 서브층과 무기층을 포함하는 제2 서브층을 포함할 수 있다. 이와 관련하여 도 12는 다층막(ML)이 제1 금속층(MTL1), 무기절연층(208), 제1 유기절연층(209) 및 제2 금속층(MTL2)을 포함하는 것을 개시한다.
본 실시예에서, 제1 금속층(MTL1)은 그루브(G)들과 이들 사이에 배치된 격벽(PW)과 대응하도록 배치될 수 있다. 그루브(G)들은, 격벽(PW)을 기준으로 표시영역(DA) 측에 위치한 제1 그루브(G1) 및 제1 영역(OA) 측에 위치한 제2 그루브(G2)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 그루브(G1)와 제2 그루브(G2)는 격벽(PW)과 최인접한 그루브일 수 있다.
제1 금속층(MTL1)은 제1 그루브(G1)와 제2 그루브(G2)의 하부에 배치되되, 제1 그루브(G1)와 제2 그루브(G2)사이에 위치한 격벽(PW)의 하부에 배치되도록 연장될 수 있다. 제1 금속층(MTL1)이 제1 그루브(G1)와 제2 그루브(G2) 하부뿐만 아니라 격벽(PW)의 하부에도 배치됨에 따라, 도 9에 비해 기판(100)에서 격벽(PW)의 상면까지의 높이를 더 높게 형성할 수 있다.
제1 금속층(MTL1)은 제1 그루브(G1), 격벽(PW) 및 제2 그루브(G2)의 하부에 연속적으로 배치되나, 제1 영역(OA)에 대응하도록 구비된 관통부(10H)의 에지(10HE) 부분에는 구비되지 않을 수 있다. 관통부(10H)를 형성하기 위한 스크라이빙 또는 커팅 공정에서 커팅 라인 부분에 금속층이 배치되는 경우 커팅이 용이하지 않기 때문이다. 예를 들어, 레이저 커팅 방식을 이용하는 경우, 커팅 라인 부분에 금속층이 배치되면 금속층에 레이저 반사가 일어나 금속층 하부의 막들의 작업이 용이하지 않을 수 있다.
도 12 및 도 13a를 함께 참조하여 그루브(G)에 대해 자세히 설명한다. 한편, 도 13a의 실시예는 전술한 도 10a와 유사하며 제1 금속층(MTL1)의 형상에서 차이가 있다. 이하에서는 도 10a과 동일한 부재번호에 대한 설명은 도 10a의 설명을 원용하고 차이점 위주로 설명한다.
도 12 및 도 13a를 참조하면, 다층막(ML)의 그루브(G1, G2)는 중간층(222)을 형성하는 공정 이전에 형성될 수 있다. 그루브(G1, G2)는 언더컷 구조를 가질 수 있다. 그루브(G1, G2)는 제2 금속층(MTL2)에 형성된 제1 홀(210h) 및 제1 유기절연층(209)에 형성된 그루브 또는 제2 홀(209h)을 포함할 수 있다.
도 13a는 서로 중첩하는 제1 홀(210h)과 제2 홀(209h)이 그루브(G1, G2)를 이루는 것을 도시하고 있다. 그루브(G1, G2)의 바닥면은 기판(100)의 상면과 제1 유기절연층(209)의 상면 사이에 위치하는 가상의 면 상에 위치할 수 있는데, 이와 관련하여 도 13a는 그루브(G1, G2)의 바닥면이 무기절연층(208)의 상면과 동일한 가상의 면 상에 위치하는 것을 도시한다. 즉, 그루브(G1, G2)는 무기절연층(208)의 상면의 적어도 일부를 노출할 수 있다.
그루브(G1, G2) 양측에는 제1 및 제2 개구(209OD, 208OD)가 형성되며, 이를 통해 제1 금속층(MTL1)과 제2 금속층(MTL2)이 직접 접촉하는 무기접촉영역(ICR)을 형성할 수 있다.
그루브(G1, G2) 사이에는 격벽(PW)이 배치될 수 있다. 격벽(PW)은 순차적으로 적층된 복수의 서브-유기절연층을 포함할 수 있다. 일 실시예로, 도 13a에 도시된 바와 같이 격벽(PW)은 제1 금속층(MTL1)의 일부(MP), 무기절연층(208)의 일부(208P), 제1 유기절연층(209)의 일부(209P), 제2 유기절연층(211)의 일부(211P), 화소정의막(215)의 일부(215P) 및 스페이서(217)의 일부(217P)가 적층된 구조를 가질 수 있다.
한편 도 13b를 참조하면, 도 13b의 그루브(G1, G2)는 제1 홀(210h), 제2 홀(209h) 및 제3 홀(208h)로서 정의되는 것에서 도 13a와 차이가 있다.
그루브(G1, G2)는 제2 금속층(MTL2)에 형성된 제1 홀(210h), 제1 유기절연층(209)에 형성된 제2 홀(209h) 및 무기절연층(208)에 형성된 제3 홀(208h)을 포함할 수 있다. 그루브(G1, G2)의 바닥면은 기판(100)의 상면과 제1 유기절연층(209)의 상면 사이에 위치하는 가상의 면 상에 위치할 수 있는데, 이와 관련하여 도 13b는 그루브(G1, G2)의 바닥면이 제1 금속층(MTL1)의 상면(MTL1a)과 동일한 가상의 면 상에 위치하는 것을 도시한다. 즉, 그루브(G1, G2)는 제1 금속층(MTL1)의 상면(MTL1a)의 적어도 일부를 노출할 수 있다.
따라서, 본 실시예에서 그루브(G1, G2)의 깊이(h1')는 제2 홀(209h) 및 제3 홀(208h)의 깊이를 더한 것과 동일할 수 있다. 그루브(G1, G2)의 깊이(h1')는 제1 유기절연층(209)의 두께(t1) 보다 클 수 있다.
도 14a, 도 14b 및 도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 제조 공정을 나타낸 단면도들로서, 중간영역에 대응한다. 도 14a 및 도 14b는 도 10a를 기준으로 이후 공정을 도시한다.
다시 도 9, 도 10a 및 도 14a를 참조하면, 그루브(G)가 형성된 이후에 중간층(222)이 형성될 수 있다. 중간층(222)의 제1 기능층(222a) 및/또는 제2 기능층(222c)은 각각 표시영역(DA) 및 중간영역(MA)에 위치하도록 오픈 마스크 등을 이용하여 일체로 형성될 수 있다. 이 때, 제1 기능층(222a) 및/또는 제2 기능층(222c)은 그루브(G)에 의해 단절 또는 분리될 수 있다.
기판(100) 상의 층들 중 유기물을 포함하는 층은 수분의 진행하는 경로가 될 수 있다. 제1 기능층 및/또는 제2 기능층은 유기물을 포함하기에 전술한 투습 경로가 될 수 있으나, 전술한 그루브(G)에 의해 단절 또는 분리되므로, 수분이 제1 기능층(222a) 및/또는 제2 기능층(222c)을 통해 유기발광다이오드(OLED)로 진행하는 것을 방지할 수 있다.
제1 기능층(222a) 및/또는 제2 기능층(222c)과 마찬가지로, 열증착법에 의해 형성되는 대향전극(223)도 그루브(G)에서 단절될 수 있다. LiF 등을 포함하는 캐핑층(230)도 그루브(G)에서 단절될 수 있다.
이처럼 그루브(G)에 의해 단절(또는 분리)된 층들의 일부는 그루브(G) 내에 잔여물층(GP)으로 잔존할 수 있다. 일 실시예로, 그루브(G) 내의 잔여물층(GP)은 제1 기능층(222a)의 일부(222aP), 제2 기능층(222c)의 일부(222cP), 대향전극(223)의 일부(223P) 및 캐핑층(230)의 일부(230P)를 포함할 수 있다.
다른 실시예로서, 도 14b와 같이 캐핑층(230)이 실리콘나이트라이드, 실리콘옥사이드 또는 실리콘옥시나이트라이드와 같은 무기물을 포함하는 경우, 캐핑층(230)은 그루브(G)에 의해 단절되지 않고 연속적으로 형성될 수 있다. 다른 실시예로, 캐핑층(230)은 생략될 수 있다. 도 14b와 같이 캐핑층(230)이 그루브(G)에 의해 단절되지 않고 연속적으로 형성되는 경우, 잔여물층(GP)은 제1 기능층(222a)의 일부(222aP), 제2 기능층(222c)의 일부(222cP) 및 대향전극(223)의 일부(223P)를 포함할 수 있다.
도 14a 또는 도 14b의 중간층(222), 대향전극(223) 및 캐핑층(230) 구조는 전술한 도 11 내지 도 13b의 실시예에도 동일하게 적용될 수 있음은 물론이다.
도 9 및 도 15를 참조하면, 박막봉지층(300)이 형성될 수 있다. 박막봉지층(300)은 표시영역(DA)의 유기발광다이오드(OLED)를 커버하여 유기발광다이오드(OLED)가 외부의 불순물에 의해 손상되거나 열화되는 것을 방지할 수 있다.
박막봉지층(300)은 적어도 하나의 유기봉지층 및 적어도 하나의 무기봉지층을 포함할 수 있다. 화학기상증착법 등으로 형성되는 제1 무기봉지층(310)은 전술한 제1 기능층(222a), 제2 기능층(222c), 및/또는 대향전극(223) 보다 스텝 커버리지가 상대적으로 우수할 수 있으며, 제1 무기봉지층(310)은 도 9d에 도시된 바와 같이 연속적으로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 무기봉지층(310)은 그루브(G)의 내부 표면(inner surface)을 전체적으로 커버할 수 있다.
유기봉지층(320)은 기판(100)에 모노머 또는 폴리머를 도포하고 이를 경화하여 형성할 수 있다. 제1 영역(OA)을 향하는 유기봉지층(320)의 단부는 격벽(PW)의 일측에 인접하게 배치될 수 있다. 격벽(PW)은 유기봉지층(320)의 단부가 기판(100)의 에지(본 실시예에서는, 중간영역(MA)과 제1 영역(OA)의 경계)까지 오버플로우(overflow)되는 것을 방지하는 댐과 같은 기능을 할 수 있다.
제2 무기봉지층(330)은 유기봉지층(320) 상에 위치할 수 있으며, 제2 무기봉지층(330)은 중간영역(MA) 중 일부 영역에서 제1 무기봉지층(310)과 직접 접촉할 수 있다. 예컨대, 도 9 및 도 15에 도시된 바와 같이, 중간영역(MA) 중 제1 영역(OA)에 인접한 일부 영역에서 제1 무기봉지층(310)과 제2 무기봉지층(330)은 서로 접촉할 수 있다.
도 9에 도시된 디스플레이 패널(10-1)의 단면도는 제1 영역(OA)을 둘러싸는 구조로 이해할 수 있다. 예컨대, 도 9의 그루브(G)들은 각각 도 8에 도시된 바와 같이 기판(100)의 상면에 수직한 방향에서 보았을 때 제1 영역(OA)을 둘러싸는 링 형상일 수 있다. 유사하게, 격벽(PW)도 기판(100)의 상면에 수직한 방향에서 보았을 때 제1 영역(OA)을 둘러싸는 링 형상일 수 있다. 유사하게, 도 9에 도시된 구성요소, 예컨대 중간영역(MA)에 구비된 구성요소들은 기판(100)의 상면에 수직한 방향에서 보았을 때 제1 영역(OA)을 둘러싸는 형상을 가질 수 있다.
도 16은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 일부를 나타낸 평면도이고, 도 17은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 단면도로서, 도 16의 XVII-XVII'선에 따른 단면에 대응할 수 있다.
도 16을 참조하면, 중간영역(MA) 상에는 제1 영역(OA)을 둘러싸도록 배치된 격벽(PW) 및 적어도 하나 이상의 그루브(G)가 구비될 수 있다. 적어도 하나 이상의 그루브(G)는 격벽(PW)을 기준으로, 표시영역(DA) 측에 배치되는 제1 그루브(G1)와 제1 영역(OA) 측에 배치되는 제2 그루브(G2) 및 제3 그루브(G3)를 구비할 수 있다. 이때, 제2 그루브(G2)는 격벽(PW)을 기준으로 제1 영역(OA) 측에 배치되는 그루브들 중 격벽(PW)에 최인접한 그루브를 의미할 수 있다.
제1 금속층(MTL1)은 중간영역(MA)의 그루브들(G1, G2, G3, G') 중 일부와 중첩하도록 배치될 수 있다. 도 16에서 제1 금속층(MTL1)은 제1 그루브(G1) 및 제2 그루브(G2)와 중첩되나, 제3 그루브(G3)와는 중첩되지 않을 수 있다. 한편, 도 16에서 제1 금속층(MTL1)은 불연속적으로 제1 그루브(G1) 및 제2 그루브(G2)와 중첩하여 배치되나, 제1 금속층(MTL1)은 도 11과 같이 격벽(PW)과도 중첩되도록 일체(一體)로 구비될 수도 있다.
제1 금속층(MTL1)은 제1 그루브(G1)에 대응하여 배치되는 제1 서브금속층(MTL11) 및 제2 그루브(G2)에 대응하여 배치되는 제2 서브금속층(MTL12)를 포함할 수 있다. 제1 서브금속층(MTL11)은 상대적으로 제1 영역(OA)에 인접하여 배치되고, 제2 서브금속층(MTL12)은 상대적으로 표시영역(DA)에 인접하여 배치될 수 있다. 제1 서브금속층(MTL11) 및 제2 서브금속층(MTL12)은 모두 제1 영역(OA)을 둘러싸는 링 형상을 가질 수 있으며, 이 경우 제1 서브금속층(MTL11)의 직경(R11)은 제2 서브금속층(MTL12)의 직경(R12)보다 클 수 있다.
도 17을 참조하면, 디스플레이 패널(10-3)은 중간영역(MA)에 배치된 그루브들(G1, G2, G3, G')을 제외한 다른 구성요소들의 특징은 앞서 도 9를 참조하여 설명한 디스플레이 패널(10-1)과 실질적으로 동일하다.
디스플레이 패널(10-9)은 중간영역(MA)에 배치된 3개 이상의 그루브들(G1, G2, G3, G')을 포함할 수 있다. 이웃한 그루브들(G1, G2, G3, G') 사이에는 무기접촉영역(ICR)이 배치되며, 각 그루브(G1, G2, G3, G')에 의해 제1 기능층(222a), 제2 기능층(222c), 대향전극(223) 및/또는 캐핑층(230)이 단절될 수 있다.
디스플레이 패널(10-3)은 제1 영역(OA)에 위치하는 관통부(10H)를 포함할 수 있는데, 관통부(10H)는 제1 영역(OA)에 위치하는 구성요소들을 스크라이빙 또는 커팅 공정에 의해 제거함으로써 형성될 수 있다. 스크라이빙 또는 커팅 공정은 커팅 라인(SCL)을 따라 진행될 수 있으며, 도 17은 커팅 라인(SCL)을 따라 스크라이빙 또는 커팅 공정 등이 수행되어 제주된 디스플레이 패널(10-9)을 도시한다.
커팅 라인(SCL)은 그루브들(G1, G2, G3, G') 중 어느 하나의 그루브(G')를 지나갈 수 있다. 이 경우, 그루브(G')에 의해 단절된 제1 기능층(222a), 제2 기능층(222c), 대향전극(223), 및/또는 캐핑층(230)을 포함하는 적층체가 관통부(10H)를 향할 수 있다. 다른 실시예로서, 커팅 라인(SCL)은 그루브(G)들 중 이웃하는 2개의 그루브(G)들 사이에 위치할 수 있으며, 이 경우 관통부(10H)를 정의하는 디스플레이 패널의 측면은 도 9에 도시된 바와 같을 수 있다.
제1 서브금속층(MTL11)은 제1 그루브(G1)에 대응하여 배치되고, 제2 서브금속층(MTL12)은 제2 그루브(G2)에 대응하여 배치되나, 제3 그루브(G3) 하부에는 제1 금속층(MTL1)이 배치되지 않을 수 있다. 즉, 제1 금속층(MTL1)은 격벽(PW)과 최인접하여 표시영역(DA) 측에 배치된 제1 그루브(G1)의 하부, 격벽(PW)과 최인접하여 제1 영역(OA) 측에 배치된 제2 그루브(G2)의 하부에 위치하며, 그 외에 다른 그루브들(G3, G') 하부에는 배치되지 않을 수 있다.
특히, 스크라이빙 또는 커팅 공정 등이 수행되는 커팅 라인(SCL)과 중첩되는 최외곽 그루브(G')의 하부에는 제1 금속층(MTL1)이 배치되지 않을 수 있다. 이는, 관통부(10H)를 형성하기 위한 스크라이빙 또는 커팅 공정에서 커팅 라인인 커팅 라인(SCL) 부분에 금속층이 배치되는 경우 커팅이 용이하지 않을 수 있기 때문이다. 예를 들어, 레이저 커팅 방식을 이용하는 경우, 커팅 라인 부분에 금속층이 배치되면 금속층에 레이저 반사가 일어나 금속층 하부의 막들의 커팅 작업이 용이하지 않을 수 있다.
제1 금속층(MTL1)의 유, 무에 따라, 제1 금속층(MTL1)이 배치되지 않은 그루브(G3)의 깊이(h2)는 제1 금속층(MTL1)이 위치한 그루브(G1, G2)의 깊이(h1) 보다 깊게 형성될 수 있다.
도 17에서는 제1 금속층(MTL1)이 배치되지 않은 그루브(G3)의 바닥면이 제2 층간절연층(207)의 상면과 동일한 가상의 면 상에 위치하는 것을 도시하나, 다른 실시예로, 그루브(G3)의 바닥면은 기판(100)의 상면과 제1 유기절연층(209)의 상면 사이에 위치하는 가상의 면 상에 위치할 수 있다.
도 8 내지 도 17을 참조하여 설명한 디스플레이 패널(10-1, 10-2, 10-3)은 제1 영역(OA)과 대응하는 관통부(10H)를 포함하는 것을 도시하고 있으나, 다른 실시예로서 디스플레이 패널(10-1, 10-2, 10-3)은 앞서 도 3b 내지 도 3d을 참조하여 설명한 바와 같이 제1 영역(OA)과 대응하는 제1 개구를 포함하지 않을 수도 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것 이다.
OA: 제1영역
DA: 제2영역(표시영역)
MA: 제3영역(중간영역)
PA: 제4영역(외곽영역)
ML: 다층 막
G, G1, G2, G3, G'; 그루브
CT, CT1, CT2: 컨택부
PW: 격벽
ICR: 무기접촉영역
MTL1: 제1 금속층
MTL2: 제2 금속층
201: 버퍼층
203: 게이트절연층
205: 제1 층간절연층
207: 제2 층간절연층
208: 무기절연층
209: 제1 유기절연층
211: 제2 유기절연층
221: 화소전극
222: 중간층
223: 대향전극

Claims (22)

  1. 제1 영역, 제2 영역 및 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이의 제3 영역을 포함하는, 기판;
    상기 제2 영역에 위치하는 화소회로 및 상기 화소회로와 전기적으로 연결되며, 화소전극, 대향전극 및 상기 화소전극과 상기 대향전극 사이에 개재되되 발광층 및 적어도 하나의 유기물층을 구비한 중간층을 갖는 표시요소를 포함하는, 표시층;
    상기 제3 영역에 위치하는, 제1 금속층;
    상기 제1 금속층 상에 위치하며 적어도 하나의 컨택부를 갖는, 유기절연층; 및
    상기 유기절연층 상에 위치하며 상기 컨택부를 통해 상기 제1 금속층과 컨택하는, 제2 금속층;을 구비하고,
    상기 제2 금속층은 제1 홀을 갖고, 상기 유기절연층은 상기 제1 홀에 대응하는 제2 홀 또는 제1 리세스를 가지며,
    상기 제2 홀 또는 상기 제1 리세스 내에 위치하되 상기 적어도 하나의 유기물층의 일부를 포함하는 잔여물층을 구비하고, 상기 잔여물층은 상기 제1 금속층과 중첩하여 위치하는, 디스플레이 패널.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 금속층과 상기 유기절연층 사이에 개재되는 무기절연층을 더 포함하는, 디스플레이 패널.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 홀은 상기 무기절연층의 상면의 적어도 일부를 노출하는, 디스플레이 패널.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제2 홀은 상기 무기절연층까지 연장되어 상기 제1 금속층의 상면의 적어도 일부를 노출하는, 디스플레이 패널.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 컨택부는 상기 유기절연층에 정의된 제1 개구 및 상기 무기절연층에 정의된 제2 개구를 갖고, 상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층은 상기 컨택부를 통해 서로 연결되는, 디스플레이 패널.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 화소회로는 상기 표시요소와 전기적으로 연결되는 박막트랜지스터 및 스토리지 커패시터를 포함하며,
    상기 제2 금속층은 상기 표시요소와 상기 박막트랜지스터를 연결하는 콘택메탈층과 동일 물질을 포함하는, 디스플레이 패널.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 박막트랜지스터는 반도체층, 상기 반도체층과 중첩하는 게이트전극 및 상기 반도체층과 전기적으로 연결된 연결전극을 포함하고,
    상기 제1 금속층은 상기 연결전극과 동일 물질을 포함하는, 디스플레이 패널.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 디스플레이 패널은,
    제1 방향을 따라 연장되어 상기 표시요소에 데이터 신호를 전달하는 데이터선을 더 포함하고,
    상기 데이터선은 상기 제1 금속층 및 상기 제2 금속층 중 적어도 하나와 동일 물질을 포함하는, 디스플레이 패널.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 유기물층은 홀 수송층, 홀 주입층, 전자주입층, 및 전자 수송층 중 하나 또는 그 이상을 포함하는, 디스플레이 패널.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 디스플레이 패널은,
    상기 제1 영역을 둘러싸도록 상기 제3 영역 상에 배치되는 격벽; 및
    상기 제1 홀 및 상기 제2 홀 또는 상기 제1 리세스를 각각 포함하는 적어도 하나의 그루브;를 더 포함하고,상기 적어도 하나의 그루브는 상기 격벽을 기준으로, 상기 제2 영역과 인접하여 배치된 제1 그루브 및 상기 제1 영역과 인접하여 배치된 제2 그루브를 포함하는, 디스플레이 패널.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 금속층은 상기 제1 그루브 하부에 위치하는, 디스플레이 패널.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제1 금속층은 불연속적으로 상기 제1 그루브 및 상기 제2 그루브 하부에 각각 위치하는, 디스플레이 패널.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 제1 금속층은 상기 제1 그루브, 상기 격벽 및 상기 제2 그루브 하부에 위치하는, 디스플레이 패널.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 그루브는 상기 제2 그루브보다 상기 제1 영역에 인접하여 위치한 제3 그루브를 더 포함하고,
    상기 유기절연층의 상면을 기준으로 정의되는, 상기 제1 그루브 및 상기 제2 그루브의 깊이는 상기 제3 그루브의 깊이 보다 ?汰?, 디스플레이 패널.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 유기절연층의 아래에 배치된 적어도 하나의 하부 절연층을 더 포함하며, 상기 적어도 하나의 하부 절연층은 무기절연층을 포함하는, 디스플레이 패널.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제3 그루브의 바닥면은 상기 기판의 상면 및 상기 적어도 하나의 하부 절연층의 상면 사이의 가상의 면 상에 위치하는, 디스플레이 장치.
  17. 제1항에 있어서,
    상기 제1 금속층은 전기적 신호와 단절된 플로팅메탈인, 디스플레이 패널.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제1 금속층은 상기 제1 영역을 둘러싸는 링 형상을 갖는, 디스플레이 패널.
  19. 제17항에 있어서,
    평면상에서, 상기 제1 금속층의 폭은 상기 제2 홀의 폭보다 큰, 디스플레이 패널.
  20. 제1항에 있어서,
    상기 유기절연층의 상기 적어도 하나의 컨택부는 상기 그루브를 사이에 두고 위치한 제1 컨택부 및 제2 컨택부를 포함하는, 디스플레이 패널.
  21. 제2항에 있어서,
    상기 무기절연층은 상기 제2 홀에 대응하여 상기 무기절연층을 관통하는 제3 홀 또는 제2 리세스를 포함하는, 디스플레이 패널.
  22. 제1 영역, 제2 영역 및 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이의 제3 영역을 포함하는 기판을 구비한, 디스플레이 패널; 및
    상기 제1 영역에 대응하도록 배치된 전자요소를 포함하는, 컴포넌트;
    를 구비하며,
    상기 디스플레이 패널은,
    상기 제2 영역에 위치하는 화소회로 및 상기 화소회로와 전기적으로 연결되며, 화소전극, 대향전극 및 상기 화소전극과 상기 대향전극 사이의 중간층을 갖는 표시요소를 포함하는, 표시층; 및
    상기 제3 영역에 위치하며, 제1 금속층, 상기 제1 금속층 상부에 위치한 제2 금속층 및 상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층 사이에 개재되는 유기절연층을 포함하며, 상기 유기절연층에 정의된 적어도 하나의 컨택부를 통해 상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층이 서로 컨택하는, 다층막;을 구비하며,
    상기 다층막은 상기 컨택부에 인접하여 상기 다층막에 정의되는 적어도 하나의 그루브를 갖고, 상기 중간층에 포함된 적어도 하나의 유기물층은 상기 그루브에 의해 단절되는, 디스플레이 장치.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200111889A (ko) 2019-03-19 2020-10-05 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 패널 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
CN110085553B (zh) * 2019-04-22 2021-06-22 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Oled阵列基板及其制作方法
CN110491913B (zh) * 2019-07-31 2021-11-02 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制备方法
KR20210024292A (ko) * 2019-08-21 2021-03-05 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN112164760B (zh) * 2020-09-28 2023-05-30 京东方科技集团股份有限公司 显示面板和电子装置
KR20220087664A (ko) 2020-12-17 2022-06-27 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널
CN113053922B (zh) * 2021-03-15 2023-03-28 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制备方法
KR20230070113A (ko) * 2021-11-12 2023-05-22 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이를 포함하는 전자기기

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI508279B (zh) * 2012-01-19 2015-11-11 Joled Inc 顯示器及其製造方法,單元,轉印方法,有機電致發光單元及其製造方法,以及電子裝置
KR102020805B1 (ko) * 2012-12-28 2019-09-11 엘지디스플레이 주식회사 투명 유기 발광 표시 장치 및 투명 유기 발광 표시 장치 제조 방법
KR20150011231A (ko) 2013-07-22 2015-01-30 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR102419179B1 (ko) * 2015-09-11 2022-07-11 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102427249B1 (ko) 2015-10-16 2022-08-01 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치
US10205122B2 (en) * 2015-11-20 2019-02-12 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display and method of manufacturing the same
KR20170133812A (ko) 2016-05-26 2017-12-06 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 표시장치
KR20180000771A (ko) * 2016-06-23 2018-01-04 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR102626961B1 (ko) * 2016-07-27 2024-01-17 엘지디스플레이 주식회사 하이브리드 타입의 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기발광 표시장치
JP6807223B2 (ja) 2016-11-28 2021-01-06 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
KR20180076429A (ko) 2016-12-27 2018-07-06 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치 및 그 제조방법
KR102612998B1 (ko) * 2016-12-30 2023-12-11 엘지디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이를 이용한 멀티 스크린 표시 장치
KR102527993B1 (ko) * 2018-01-05 2023-05-04 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 및 그의 제조방법
KR102021029B1 (ko) 2018-10-16 2019-09-16 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR20200111889A (ko) 2019-03-19 2020-10-05 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 패널 및 이를 포함하는 디스플레이 장치

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