JP2020096112A - 発光装置及びその製造方法 - Google Patents
発光装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020096112A JP2020096112A JP2018234017A JP2018234017A JP2020096112A JP 2020096112 A JP2020096112 A JP 2020096112A JP 2018234017 A JP2018234017 A JP 2018234017A JP 2018234017 A JP2018234017 A JP 2018234017A JP 2020096112 A JP2020096112 A JP 2020096112A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- laser
- shielding film
- emitting device
- mark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 5
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015363 Au—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018100 Ni-Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018532 Ni—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- WUUZKBJEUBFVMV-UHFFFAOYSA-N copper molybdenum Chemical compound [Cu].[Mo] WUUZKBJEUBFVMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBYXRAKIOMOBFF-UHFFFAOYSA-N copper tungsten Chemical compound [Cu].[W] SBYXRAKIOMOBFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S5/0071—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping for beam steering, e.g. using a mirror outside the cavity to change the beam direction
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/0225—Out-coupling of light
- H01S5/02257—Out-coupling of light using windows, e.g. specially adapted for back-reflecting light to a detector inside the housing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02208—Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/0225—Out-coupling of light
- H01S5/02255—Out-coupling of light using beam deflecting elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2301/00—Functional characteristics
- H01S2301/02—ASE (amplified spontaneous emission), noise; Reduction thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02208—Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
- H01S5/02216—Butterfly-type, i.e. with electrode pins extending horizontally from the housings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/023—Mount members, e.g. sub-mount members
- H01S5/02325—Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/3013—AIIIBV compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
- H01S5/4025—Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
- H01S5/4087—Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar emitting more than one wavelength
- H01S5/4093—Red, green and blue [RGB] generated directly by laser action or by a combination of laser action with nonlinear frequency conversion
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
Description
上方が開口した凹部が設けられているパッケージと、
前記凹部を覆うように前記パッケージに固定されているキャップと、
前記キャップと前記パッケージとに囲まれた空間内に配置された、レーザ光を出射する1以上のレーザ素子と、を備え、
前記キャップは、上面及び下面を有する透光性部材と、前記下面において前記レーザ光を外部へ取り出す光取出領域を避けて設けられた遮光膜と、を有し、
前記遮光膜は、上面視において、前記レーザ素子の少なくとも一部を覆う位置に設けられており、
前記遮光膜には、所定の情報を読み取り可能なマークが設けられている発光装置。
前記遮光膜の一部を加工することにより、所定の情報を読み取り可能なマークを形成する工程と、
凹部が設けられているパッケージと、前記凹部内に配置された1以上のレーザ素子と、を準備する工程と、
前記マークが形成された側を前記パッケージの側として、前記キャップを前記パッケージに前記凹部を覆うように固定する工程と、
を備える発光装置の製造方法。
パッケージ10は、凹部11が設けられた本体12と、凹部11の周りの本体12の表面に設けられた金属膜13と、を含む。パッケージ10は、セラミックを主材料として形成することができる。なお、セラミックに限らず金属で形成してもよい。パッケージ10の主材料としては、例えば、セラミックでは窒化アルミニウム、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、炭化ケイ素を、金属では銅、アルミニウム、鉄、複合物として銅モリブデン、銅-ダイヤモンド複合材料、銅タングステンを挙げることができる。あるいは、底部と枠部を、それぞれ主材料が異なる別個の部材として形成し、底部と枠部を接合してパッケージ10を形成してもよい。
金属膜13は、例えば、Ti、Pt、Auが透光性部材21側からこの順に積層された積層膜とする。金属膜13は、後述する接合部材60を接合するための部材であり、不要であれば省略してもよい。
キャップ20は、透光性部材21と遮光膜22を有する。透光性部材21は、下面と、上面と、側面とを有する。透光性部材21は、全体として透光性である。透光性部材21は例えば直方体の形状である。透光性部材21は、サファイア、ガラス等を主材料に用いて形成することができる。透光性部材21はサファイアから形成することが好ましい。サファイアはガラスよりも熱伝導率が高いため、後述する加工用レーザ光を用いてマーク23を形成する際に、加工時の熱を拡散する能力が高い。そのため、加工時の熱負荷によるマイクロクラック等のダメージを減らすことができ、これにより発光装置100の長期信頼性を向上させることができる。
レーザ素子30は、下面と、上面と、複数の側面とを有し、複数の側面の1つである光出射端面からレーザ光を放射する。レーザ素子30として、青色レーザ光を出射する青色レーザ素子31と、緑色レーザ光を出射する緑色レーザ素子32と、赤色レーザ光を出射する赤色レーザ素子33と、を有することができる。なお、これ以外の色の光を放射するレーザ素子30を用いてもよく、また、同じ色の光を放射するレーザ素子30を複数配置してもよい。また、配置されるレーザ素子30の数は、1つでもよく、複数でもよい。図1Aでは、光反射部材50の一方の側に全てのレーザ素子30を配置したが、光反射部材50の両側にそれぞれレーザ素子30を配置することもできる。
キャップ準備工程S101では、図5に示すように、上面21a(第1主面)及び下面21b(第2主面)を有する透光性部材21と、下面21bの一部に設けられた遮光膜22と、を有するキャップ20を準備する。この状態では、まだ遮光膜22にマークは設けられていない。
マーク形成工程S102では、遮光膜22の一部を加工することにより、所定の情報を読み取り可能なマーク23を形成する。マーク23は、所定の情報を読み取り可能な形状に形成されている。例えば、二次元コードや数桁の数字などは、マーク23の一例である。上述の図2に示すマーク23は、二次元コードを模式的に示すものである。二次元コードは、例えば、複数の正方形状のセルが行列状に整列されたパターンである。所定の情報の一例としては、製品型番、ロット番号、日付、シリアル番号、ランク情報、などを挙げることができる。マーク23からは、例えば、光学的に撮影された写真を読取装置(例えば、二次元コードを読み取るリーダ装置)で解読することにより情報が読み取られる。マーク23の大きさは、例えば、縦600μm、横600μmの矩形の範囲内に収まる大きさであってもよい。
パッケージ及びレーザ素子準備工程S103では、図7A及び図7Bに示すように、凹部11が設けられているパッケージ10と、凹部11内に配置された1以上のレーザ素子30と、を準備する。パッケージ及びレーザ素子準備工程S103は、少なくともキャップ固定工程S104の前に行えばよく、工程S101又は工程S102の前に行ってもよく、同時に行ってもよい。
キャップ固定工程S104では、マーク23が形成された側をパッケージ10の側として、キャップ20をパッケージ10に凹部11を覆うように固定する。これにより、図1A及び図1Bに示す発光装置100を得ることができる。
11 凹部
12 本体
13 金属膜
20 キャップ
21 透光性部材
21a 上面、21b 下面
22 遮光膜
23 マーク
30 レーザ素子
31 青色レーザ素子、32 緑色レーザ素子、33 赤色レーザ素子
40 サブマウント
50 光反射部材
60 接合部材
100 発光装置
200 加工用レーザ光源
300 吸引装置
400 レンズ
Claims (11)
- 上方が開口した凹部が設けられているパッケージと、
前記凹部を覆うように前記パッケージに固定されているキャップと、
前記キャップと前記パッケージとに囲まれた空間内に配置された、レーザ光を出射する1以上のレーザ素子と、を備え、
前記キャップは、上面及び下面を有する透光性部材と、前記下面において前記レーザ光を外部へ取り出す光取出領域を避けて設けられた遮光膜と、を有し、
前記遮光膜は、上面視において、前記レーザ素子の少なくとも一部を覆う位置に設けられており、
前記遮光膜には、所定の情報を読み取り可能なマークが設けられている発光装置。 - 前記レーザ素子からの前記レーザ光を前記透光性部材に向けて反射する光反射部材を備え、
上面視において、前記遮光膜は、前記光反射部材を囲む形状で設けられている請求項1に記載の発光装置。 - 前記レーザ素子は、光出射端面及び光反射端面を有し、
前記遮光膜は、前記光反射端面から出射する光が、直接又は前記凹部の内壁で反射されて到達する位置に設けられている請求項1又は2に記載の発光装置。 - 前記1以上のレーザ素子として、出射するレーザ光の視感度が異なる複数のレーザ素子を有する請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光装置。
- 上面視において、前記マークは、前記1以上のレーザ素子のうち最も視感度が低いレーザ光を出射するレーザ素子に最も近接して配置されている請求項3又は4に記載の発光装置。
- 前記1以上のレーザ素子として、青色レーザ光を出射する青色レーザ素子と、緑色レーザ光を出射する緑色レーザ素子と、赤色レーザ光を出射する赤色レーザ素子と、を有する請求項3〜5のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記マークは、前記遮光膜が有る部分と無い部分との組み合わせによって構成されている請求項1〜6のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記遮光膜は、前記透光性部材の外縁まで又は外縁の近傍まで延びており、
前記遮光膜の一部に接合部材を接続することにより、前記キャップと前記パッケージとが接合されている請求項1〜7のいずれか1項に記載の発光装置。 - 第1主面及び第2主面を有する透光性部材と、前記第2主面の一部に設けられた遮光膜と、を有するキャップを準備する工程と、
前記遮光膜の一部を加工することにより、所定の情報を読み取り可能なマークを形成する工程と、
凹部が設けられているパッケージと、前記凹部内に配置された1以上のレーザ素子と、を準備する工程と、
前記マークが形成された側を前記パッケージの側として、前記キャップを前記パッケージに前記凹部を覆うように固定する工程と、
を備える発光装置の製造方法。 - 前記マークを形成する工程において、前記透光性部材の前記第1主面の側から加工用レーザ光を照射することにより前記マークを形成する請求項9に記載の発光装置の製造方法。
- 前記マークを形成する工程において、前記透光性部材の前記第2主面の側に吸引装置を配置し、前記加工用レーザ光の照射時に、前記吸引装置を用いて、前記加工用レーザ光の照射によって生成された加工塵を吸引する請求項10に記載の発光装置の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018234017A JP7417029B2 (ja) | 2018-12-14 | 2018-12-14 | 発光装置及びその製造方法 |
US16/703,389 US11394170B2 (en) | 2018-12-14 | 2019-12-04 | Light emitting device and method for manufacturing light emitting device |
US17/845,464 US11855409B2 (en) | 2018-12-14 | 2022-06-21 | Light emitting device |
JP2023184411A JP2024001270A (ja) | 2018-12-14 | 2023-10-27 | 発光装置 |
US18/506,391 US20240113499A1 (en) | 2018-12-14 | 2023-11-10 | Light emitting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018234017A JP7417029B2 (ja) | 2018-12-14 | 2018-12-14 | 発光装置及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023184411A Division JP2024001270A (ja) | 2018-12-14 | 2023-10-27 | 発光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020096112A true JP2020096112A (ja) | 2020-06-18 |
JP7417029B2 JP7417029B2 (ja) | 2024-01-18 |
Family
ID=71071240
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018234017A Active JP7417029B2 (ja) | 2018-12-14 | 2018-12-14 | 発光装置及びその製造方法 |
JP2023184411A Pending JP2024001270A (ja) | 2018-12-14 | 2023-10-27 | 発光装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023184411A Pending JP2024001270A (ja) | 2018-12-14 | 2023-10-27 | 発光装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US11394170B2 (ja) |
JP (2) | JP7417029B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7152666B2 (ja) * | 2019-03-08 | 2022-10-13 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
JP7469592B2 (ja) | 2019-12-05 | 2024-04-17 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置 |
DE102022106938A1 (de) * | 2022-03-24 | 2023-09-28 | Ams-Osram International Gmbh | Gestapelte laseranordnung und verfahren zum erzeugen derselben |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS572673U (ja) * | 1980-06-04 | 1982-01-08 | ||
JPS5890635U (ja) * | 1981-12-14 | 1983-06-20 | 株式会社東芝 | 戸締りスイツチ |
JPH1099978A (ja) * | 1996-09-27 | 1998-04-21 | Hitachi Ltd | レーザー加工装置 |
JPH11354889A (ja) * | 1998-06-03 | 1999-12-24 | Sony Corp | 光学装置 |
JP2006184758A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Sony Corp | 光導波路及び光導波路モジュール |
JP2011138953A (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体レーザ装置および光ピックアップ装置 |
JP2012512508A (ja) * | 2008-12-18 | 2012-05-31 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 照明手段及び同照明手段を少なくとも1つ有するプロジェクタ |
JP2012222125A (ja) * | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Stanley Electric Co Ltd | 光半導体装置およびその製造方法、それを使う装置の製造方法 |
JP2016119477A (ja) * | 2014-12-23 | 2016-06-30 | エルジー イノテック カンパニー リミテッド | 発光素子及び照明システム |
US20180017741A1 (en) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Semiconductor package device and method of manufacturing the same |
JP2018133380A (ja) * | 2017-02-14 | 2018-08-23 | 古河電気工業株式会社 | 半導体レーザモジュール |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3034370B2 (ja) | 1991-12-26 | 2000-04-17 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JPH08213495A (ja) | 1995-02-02 | 1996-08-20 | Sumitomo Kinzoku Electro Device:Kk | 半導体用パッケージ用セラミック板へのマーク表示方法及び半導体用パッケージ用セラミック板 |
JP3931288B2 (ja) | 1998-04-17 | 2007-06-13 | 株式会社安川電機 | レーザマーキング装置およびマーキング方法 |
JP3864270B2 (ja) | 1998-08-12 | 2006-12-27 | 株式会社安川電機 | マーキング方法 |
JP2001199747A (ja) | 2000-01-17 | 2001-07-24 | Japan Science & Technology Corp | カラーフィルタ付ガラス基板のマーキング方法およびその装置 |
JP4605880B2 (ja) | 2000-10-10 | 2011-01-05 | 三洋電機株式会社 | 半導体装置 |
JP5008849B2 (ja) | 2005-09-08 | 2012-08-22 | ソニーモバイルディスプレイ株式会社 | レーザ加工方法及び透明樹脂層を有する表示装置の製造方法 |
JP2009006350A (ja) | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Sony Corp | レーザ加工装置とその加工方法、デブリ回収機構とその回収方法、並びに表示パネルの製造方法 |
JP4563491B1 (ja) | 2009-07-07 | 2010-10-13 | 株式会社片岡製作所 | レーザ加工機 |
JP2011124541A (ja) | 2009-11-12 | 2011-06-23 | Ricoh Co Ltd | 光デバイス、光走査装置及び画像形成装置、並びに光デバイスの製造方法 |
DE102010012604A1 (de) * | 2010-03-24 | 2011-09-29 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterlaserlichtquelle |
JP6236929B2 (ja) | 2012-09-26 | 2017-11-29 | 日本電気株式会社 | 気密封止パッケージ及びその製造方法 |
JP2014142729A (ja) | 2013-01-23 | 2014-08-07 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2014192647A (ja) | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子及び水晶振動子の製造方法 |
US9633883B2 (en) * | 2015-03-20 | 2017-04-25 | Rohinni, LLC | Apparatus for transfer of semiconductor devices |
JP2018139237A (ja) | 2015-07-16 | 2018-09-06 | 三菱電機株式会社 | レーザモジュール |
JP6477355B2 (ja) | 2015-08-20 | 2019-03-06 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
-
2018
- 2018-12-14 JP JP2018234017A patent/JP7417029B2/ja active Active
-
2019
- 2019-12-04 US US16/703,389 patent/US11394170B2/en active Active
-
2022
- 2022-06-21 US US17/845,464 patent/US11855409B2/en active Active
-
2023
- 2023-10-27 JP JP2023184411A patent/JP2024001270A/ja active Pending
- 2023-11-10 US US18/506,391 patent/US20240113499A1/en active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS572673U (ja) * | 1980-06-04 | 1982-01-08 | ||
JPS5890635U (ja) * | 1981-12-14 | 1983-06-20 | 株式会社東芝 | 戸締りスイツチ |
JPH1099978A (ja) * | 1996-09-27 | 1998-04-21 | Hitachi Ltd | レーザー加工装置 |
JPH11354889A (ja) * | 1998-06-03 | 1999-12-24 | Sony Corp | 光学装置 |
JP2006184758A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Sony Corp | 光導波路及び光導波路モジュール |
JP2012512508A (ja) * | 2008-12-18 | 2012-05-31 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 照明手段及び同照明手段を少なくとも1つ有するプロジェクタ |
JP2011138953A (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体レーザ装置および光ピックアップ装置 |
JP2012222125A (ja) * | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Stanley Electric Co Ltd | 光半導体装置およびその製造方法、それを使う装置の製造方法 |
JP2016119477A (ja) * | 2014-12-23 | 2016-06-30 | エルジー イノテック カンパニー リミテッド | 発光素子及び照明システム |
US20180017741A1 (en) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Semiconductor package device and method of manufacturing the same |
JP2018133380A (ja) * | 2017-02-14 | 2018-08-23 | 古河電気工業株式会社 | 半導体レーザモジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20200194968A1 (en) | 2020-06-18 |
US20220320822A1 (en) | 2022-10-06 |
JP7417029B2 (ja) | 2024-01-18 |
US11855409B2 (en) | 2023-12-26 |
US20240113499A1 (en) | 2024-04-04 |
US11394170B2 (en) | 2022-07-19 |
JP2024001270A (ja) | 2024-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20240113499A1 (en) | Light emitting device | |
JP6940749B2 (ja) | 発光装置 | |
JP4172196B2 (ja) | 発光ダイオード | |
JP6529713B2 (ja) | 発光装置 | |
JP3982561B2 (ja) | Led照明装置 | |
TW201605073A (zh) | 發光元件封裝結構及其製作方法 | |
JP2009272576A (ja) | 半導体発光装置 | |
JP2007208301A (ja) | Led照明装置 | |
JP2023126349A (ja) | 発光装置 | |
JP7152689B2 (ja) | 発光装置 | |
JP2022060370A (ja) | 発光装置 | |
JP7428129B2 (ja) | 発光装置および投射型表示装置 | |
JP7495628B2 (ja) | 光学部材の製造方法、光学部材、発光装置の製造方法、及び、発光装置 | |
CN219457640U (zh) | 发光装置 | |
JP6920602B2 (ja) | 発光装置及び発光装置の製造方法 | |
JP7495599B2 (ja) | 光学部材、又は、発光装置 | |
KR102369978B1 (ko) | 발광 소자 패키지 | |
CN111509554B (zh) | 载置部件以及发光装置 | |
WO2021251233A1 (ja) | 発光装置 | |
CN118174130A (zh) | 发光装置 | |
CN118174134A (zh) | 发光装置 | |
JP2021097216A (ja) | 発光装置 | |
JP2023173809A (ja) | 発光装置 | |
JP2024002207A (ja) | 半導体発光装置 | |
JP2021196557A (ja) | 光学部材、及び、発光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20190731 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220804 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230207 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20230801 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231027 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20231109 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231218 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7417029 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |