JP2018133380A - 半導体レーザモジュール - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態に係る半導体レーザモジュールを示す平面構成図であり、図2は、実施形態に係る半導体レーザモジュールを示す側面構成図である。
10 LDサブマウント
11 半導体レーザ素子
12 コリメートレンズ
20 SOAサブマウント
21 半導体光増幅器
22 集光レンズ
31 第1ビームスプリッタ
32 アイソレータ
41 LD用熱電素子
42 SOA用熱電素子
50 波長ロッカー
51 第2ビームスプリッタ
52 第2受光素子
53 エタロンフィルタ
54 第1受光素子
60 光ファイバ
61 結合光学系
Claims (11)
- 半導体レーザ素子と、
前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を入射して、入射されたレーザ光を増幅する半導体光増幅器と、
前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光の波長をモニタするための受光素子と、
前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を平行光化するコリメートレンズと、
前記コリメートレンズによって平行光化されたレーザ光を前記半導体光増幅器の入射端面に集光する集光レンズと、
を筐体内に備え、
前記筐体を封止するリッドの内側面のうち、前記半導体レーザ素子と前記半導体光増幅器と前記受光素子と前記コリメートレンズと前記集光レンズとを覆う、前記リッドの内側面の領域にコーティングが施されていることを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 半導体レーザ素子と、
前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を入射して、入射されたレーザ光を増幅する半導体光増幅器と、
前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光の波長をモニタするための受光素子と、
前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を平行光化するコリメートレンズと、
前記コリメートレンズによって平行光化されたレーザ光を前記半導体光増幅器の入射端面に集光する集光レンズと、
を筐体内に備え、
前記筐体を封止するリッドの内側面のうち、前記半導体光増幅器と前記受光素子と前記コリメートレンズと前記集光レンズとを覆う、前記リッドの内側面の領域にコーティングが施されていることを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 半導体レーザ素子と、
前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を入射して、入射されたレーザ光を増幅する半導体光増幅器と、
前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光の波長をモニタするための受光素子と、
を筐体内に備え、
前記筐体を封止するリッドの内側面のうち、前記半導体光増幅器と前記受光素子とを覆う、前記リッドの内側面の領域にコーティングが施されていることを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 前記筐体を封止するリッドの内側面のうち、前記半導体レーザ素子の上方の領域に前記コーティングを施さないことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記筐体と前記リッドとをシーム溶接する箇所から、0.5mm以上の幅を残しての前記コーティングが施されていることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記受光素子は、光の波長に対して周期的な透過特性を有する波長依存光学素子を介して前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光の波長をモニタする第1受光素子と、前記波長依存光学素子を介さず前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光の波長をモニタする第2受光素子とからなり、
第1受光素子が取得するレーザ光の強度と第2受光素子が取得するレーザ光の強度との比を用いて、前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光の波長を測定することを特徴とする請求項1から請求項5の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記コーティングは、カーボンブラックが添加されていることを特徴とする請求項1から請求項6の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記コーティングは、熱可塑性樹脂を主原料としていることを特徴とする請求項1から請求項7の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記コーティングは、エポキシ樹脂を主原料としていることを特徴とする請求項1から請求項7の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記コーティングは、水分ゲッター剤であることを特徴とする請求項1から請求項7の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記コーティングは、アジピン酸ジメチルまたはアジピン酸アルキルが添加されていることを特徴とする請求項1から請求項7の何れか1項に記載の半導体レーザモジュール。
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