JP2020093259A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 基板を印刷するためのシステムであって、
   前記システムは、
   内部を画定するガスエンクロージャと、
   前記ガスエンクロージャアセンブリの前記内部に収納されている印刷システムと
   を備え、
   前記印刷システムは、
   少なくとも１つのプリントヘッドを備えるプリントヘッドアセンブリと、
   基板を支持するための基板支持装置と、
   前記プリントヘッドアセンブリに対して前記基板を位置付けるための運動システムと
   を備え、
   前記運動システムは、
   Ｙ軸線形空気ベアリング運動システムであって、前記Ｙ軸線形空気ベアリング運動システムは、
   前記基板支持によって支持されるときに前記基板を握持するための基板グリッパアセンブリであって、前記基板グリッパアセンブリは、Ｘ−Ｙ−Ｚデカルト座標系のＺ軸の周りにＸ−Ｙ平面において回転可能であり、Ｙ軸方向において並進で移動可能である、基板グリッパアセンブリと、
   前記Ｚ軸の周りに前記基板グリッパアセンブリの回転を制御するように構成されたグリッパ運動制御アセンブリと
   を備える、Ｙ軸線形空気ベアリング運動システムと、
   Ｘ軸線形空気ベアリング運動システムと
   を備える、システム。
2. 前記グリッパ運動制御アセンブリは、前記基板グリッパアセンブリによって握持される基板の所定の配向を前記Ｙ軸方向に対して維持するように、前記Ｚ軸の周りに前記基板グリッパアセンブリを回転するように構成されている、請求項１に記載のシステム。
3. 前記グリッパ運動制御アセンブリは、前記基板グリッパアセンブリによって握持される基板の配向を＋／−４３００マイクロラジアン以内で前記Ｙ軸と平行に維持するように、前記Ｚ軸の周りに前記基板グリッパアセンブリを回転するように構成されている、請求項２に記載のシステム。
4. 前記基板支持装置は、浮動式テーブルを備え、
   前記基板グリッパアセンブリは、前記浮動式テーブルによって支持される前記基板の周囲部分を握持するように、前記浮動式テーブルの側に沿って位置付けられ、前記基板グリッパアセンブリは、前記Ｙ軸方向に前記浮動式テーブルに対して移動するように構成されている、請求項１〜３のいずれかに記載のシステム。
5. 前記基板支持装置は、約６１０ｍｍ×７２０ｍｍから約２８５０ｍｍ×３０５０ｍｍに及ぶサイズの基板を支持するように構成されている、請求項１〜４のいずれかに記載のシステム。
6. 前記ガスエンクロージャに連結されたガス循環および濾過システムをさらに備え、前記ガス循環および濾過システムは、前記ガスエンクロージャの前記内部に低粒子環境を維持するように構成され、前記低粒子環境は、サイズが２μｍ以上の粒子に対して、１分あたり基板の１平方メートルあたり約１００個以下の粒子の基板上堆積率仕様を満たす、請求項１〜５のいずれかに記載のシステム。
7. 前記ガスエンクロージャに連結されたガス精製システムをさらに備え、前記ガス精製システムは、前記ガスエンクロージャの前記内部の環境内のガスの１つ以上の反応種のそれぞれを１００ｐｐｍ未満に維持するように構成されている、請求項１〜６のいずれかに記載のシステム。
8. 前記反応種は、水蒸気および酸素から選択される、請求項７に記載のシステム。
9. 前記基板グリッパアセンブリは、真空力で前記基板を握持するように動作可能な真空チャックバーを備える、請求項１〜８のいずれかに記載のシステム。
10. 前記グリッパ運動制御システムは、前記グリッパアセンブリが前記Ｙ軸方向に移動させられると、前記Ｚ軸の周りに前記グリッパアセンブリを動的に回転するように構成されている、請求項１〜９のいずれかに記載のシステム。
11. 前記Ｙ軸線形空気ベアリング運動システムは、
    前記基板支持装置の側に沿って位置し、前記Ｙ軸に平行して延在する、ビームと、
    前記ビームに沿って並進で移動可能なＹ軸キャリッジアセンブリであって、前記Ｙ軸キャリッジアセンブリは、前記ビーム上に前記Ｙ軸キャリッジアセンブリを支えるための複数の空気ベアリングを備える、Ｙ軸キャリッジアセンブリと
    を備え、
    前記Ｙ軸キャリッジアセンブリは、前記基板グリッパアセンブリに連結されている、請求項１〜１０のいずれかに記載のシステム。
12. 前記グリッパ運動制御システムは、前記Ｙ軸キャリッジの側に沿って配列されている、２つのモータアセンブリと枢動アセンブリとを備え、前記枢動アセンブリは、前記２つのモータアセンブリの間に位置し、前記２つのモータアセンブリは、それぞれ、反対の方向に前記基板グリッパアセンブリを前記枢動アセンブリの周りに回転させるために、前記基板グリッパアセンブリの反対の端に運動を与えるように配列されている、請求項１１に記載のシステム。
13. 前記基板支持装置は、前記基板の表面上に前記プリントヘッドからの材料を堆積させるための位置に基板を支持するように構成され、前記Ｚ軸は、前記基板支持装置によって支持されるときに前記基板の前記表面に垂直である、請求項１〜１２のいずれかに記載のシステム。
14. 前記運動システムは、前記基板上に前記プリントヘッドアセンブリによる材料の堆積の間に、前記Ｙ軸方向に、前記基板支持装置によって支持される基板を移動させるように構成されている、請求項１〜１３のいずれかに記載のシステム。
15. 前記Ｘ軸線形空気ベアリング運動システムは、前記基板上に前記プリントヘッドアセンブリによる材料の堆積の間に、Ｘ軸に平行の方向に沿って前記プリントヘッドアセンブリを移動させるように構成されている、請求項１〜１４のいずれかに記載のシステム。