KR20220067416A - 주행 장치 및 이를 이용한 약액 토출 장치 - Google Patents

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KR20220067416A
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이언석
성보람찬
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세메스 주식회사
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Abstract

주행 장치는 주행로, 주행부, 하중 흡수부, 및 하중 지지부를 포함할 수 있다. 상기 주행로는 주행 경로를 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 주행부는 상기 주행로의 길이 방향을 따라 주행할 수 있게 상기 주행로의 폭 방향을 따라 일측면, 상기 일측면으로부터 연장되는 상기 상부면, 및 상기 상부면으로부터 연장되는 상기 일측면과 반대쪽의 타측면까지 마주하게 둘러싸도록 구비될 수 있다. 상기 하중 흡수부는 상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 흡수할 수 있게 구비되되, 상기 주행로의 일측면 및 타측면 중 어느 한 군데와 상기 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다. 상기 하중 지지부는 상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 상기 주행로와 일정 간격을 유지한 상태로 주행 경로를 따라 주행할 수 있게 상기 주행부에 가해지는 하중을 일정하게 지지하도록 구비되되, 상기 주행로의 상부면과 상기 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 주행로의 일측면 및 타측면 중 상기 하중 흡수부가 배치되지 않은 나머지 한 군데와 상기 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다.

Description

주행 장치 및 이를 이용한 약액 토출 장치{APPARATUS FOR DRIVING AND APPARATUS FOR DISPENSING DROPLET USING THE SAME}
본 발명은 주행 장치 및 이를 이용한 약액 토출 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 주행로를 따라 주행하는 주행부를 구비하는 주행 장치 및 기판에 약액을 토출하기 위한 약액 토출부를 지지한 상태에서 갠트리를 따라 주행하는 주행부를 구비하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.
유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판에 약액을 토출하는 약액 토출 공정을 수행하고 있다.
약액 토출 공정에서는 기판에 약액을 토출하도록 구비되는 잉크젯 헤드 등과 같은 약액 토출부를 지지한 상태에서 주행 경로를 제공하도록 구비되는 갠트리 등과 같은 주행로를 따라 주행하는 주행부를 포함하는 약액 토출 장치를 사용하고 있다.
최근 디스플레이 소자로 제조하기 위한 기판은 대면적화 되어 가는 추세에 있고, 이에 대응할 수 있게 약액 토출 장치 또한 대형화되어 가고 있다.
특히, 대형화되어 가는 약액 토출 장치에서의 약액 토출부의 경우 다수개의 잉크젯 헤드가 단일 모듈을 갖도록 구비될 수 있기 때문에 크기 및 무게가 증가하고 있다.
그리고 주행부가 크기 및 무게가 증가한 약액 토출부를 지지한 상태에서 주행로를 따라 주행할 때 약액 토출부로부터 주행로에 가해지는 하중이 크게 증가할 수 있다.
이에, 언급한 하중 증가로 인하여 주행로의 구조가 불안정해지는 상황이 발생할 수 있고, 그 결과 약액 토출부의 변위 증가가 초래될 수도 있을 것이다.
언급한 바와 같이, 약액 토출부이 변위 증가가 초래될 경우 약액 토출부 자체에 대한 기계적 손상이 발생할 수도 있을 뿐만 아니라 약액을 설정된 지점에 정확하게 토출시키지 못하는 공정 불량까지도 발생할 수도 있을 것이다.
본 발명의 일 과제는 주행로를 주행하는 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있는 주행 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 과제는 약액 토출부를 지지한 상태에서 갠트리를 주행하는 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 과제는 약액 토출부의 양측면을 지지한 상태에서 제1 갠트리 및 제2 갠트리를 주행하는 제1 주행부 또는/및 제2 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치는 주행로, 주행부, 하중 흡수부, 및 하중 지지부를 포함할 수 있다. 상기 주행로는 주행 경로를 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 주행부는 상기 주행로의 길이 방향을 따라 주행할 수 있게 상기 주행로의 폭 방향을 따라 일측면, 상기 일측면으로부터 연장되는 상기 상부면, 및 상기 상부면으로부터 연장되는 상기 일측면과 반대쪽의 타측면까지 마주하게 둘러싸도록 구비될 수 있다. 상기 하중 흡수부는 상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 흡수할 수 있게 구비되되, 상기 주행로의 일측면 및 타측면 중 어느 한 군데와 상기 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다. 상기 하중 지지부는 상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 상기 주행로와 일정 간격을 유지한 상태로 주행 경로를 따라 주행할 수 있게 상기 주행부에 가해지는 하중을 일정하게 지지하도록 구비되되, 상기 주행로의 상부면과 상기 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 주행로의 일측면 및 타측면 중 상기 하중 흡수부가 배치되지 않은 나머지 한 군데와 상기 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 하중 흡수부는 에어 베어링 및 상기 에어 베어링에 댐핑(damping) 기능을 갖는 부재가 부가되는 구조를 갖도록 구비되고, 상기 하중 지지부는 에어 베어링으로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 댐핑 기능을 갖는 부재는 스프링 플레이트(spring plate)일 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 하중 흡수부는 상기 주행로의 타측면과 상기 주행부 사이에 배치되게 구비되고, 상기 하중 지지부는 상기 주행로의 일측면과 상기 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 주행부는 상기 주행로의 일측면에는 폭 방향 전체를 커버하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 주행로의 타측면에는 폭 방향 일부를 커버하는 길이를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 주행부의 주행시 상기 주행부에 구동력을 제공하도록 구비되는 구동부, 및 상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 상기 구동부의 구동력에 대한 제어를 통하여 상기 주행부의 주행 경로를 보정하도록 구비되는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 갠트리, 약액 토출부, 주행부, 하중 흡수부, 및 하중 지지부를 포함할 수 있다. 상기 갠트리는 주행 경로를 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 약액 토출부는 기판에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 주행부는 상기 약액 토출부 일측을 지지하도록 구비되고, 상기 약액 토출부 일측을 지지한 상태에서 상기 갠트리의 일측면 길이 방향을 따라 주행할 수 있게 상기 갠트리의 폭 방향을 따라 일측면, 상기 일측면으로부터 연장되는 상부면, 및 상기 상부면으로부터 연장되는 상기 일측면과 반대쪽의 타측면까지 마주하게 둘러싸도록 구비될 수 있다. 상기 하중 흡수부는 상기 약액 토출부의 주행을 위한 상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 흡수할 수 있게 구비되되, 상기 갠트리의 일측면 및 타측면 중 어느 한 군데와 상기 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다. 상기 하중 지지부는 상기 약액 토출부의 주행을 위한 상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 상기 갠트리와 일정 간격을 유지한 상태로 주행 경로를 따라 주행할 수 있게 상기 주행부에 가해지는 하중을 일정하게 지지하도록 구비되되, 상기 갠트리의 상부면과 상기 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 갠트리의 일측면 및 타측면 중 상기 하중 흡수부가 배치되지 않은 나머지 한 군데와 상기 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 하중 흡수부는 에어 베어링 및 상기 에어 베어링에 댐핑 기능을 갖는 부재가 부가되는 구조를 갖도록 구비되고, 상기 하중 지지부는 에어 베어링으로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 댐핑 기능을 갖는 부재는 스프링 플레이트일 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 하중 흡수부는 상기 갠트리의 타측면과 상기 주행부 사이에 배치되게 구비되고, 상기 하중 지지부는 상기 갠트리의 일측면과 상기 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 주행부는 상기 갠트리의 일측면에는 폭 방향 전체를 커버하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 갠트리의 타측면에는 폭 방향 일부를 커버하는 길이를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 주행부의 주행시 상기 주행부에 구동력을 제공하도록 구비되는 구동부, 및 상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 상기 구동부의 구동력에 대한 제어를 통하여 상기 주행부의 주행 경로를 보정하도록 구비되는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 제1 갠트리, 제2 갠트리, 약액 토출부, 제1 주행부, 제2 주행부, 하중 흡수부, 및 하중 지지부를 포함할 수 있다. 상기 제1 갠트리는 주행 경로를 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 제2 갠트리는 주행 경로를 제공하도록 구비되되, 상기 제1 갠트리와 마주하게 구비될 수 있다. 상기 약액 토출부는 기판에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 제1 주행부는 상기 약액 토출부 일측을 지지하도로 구비되고, 상기 약액 토출부 일측을 지지한 상태에서 상기 제1 갠트리의 일측면 길이 방향을 따라 주행할 수 있게 상기 제1 갠트리의 폭 방향을 따라 일측면, 상기 제1 갠트리의 일측면으로부터 연장되는 제1 갠트리의 상부면, 및 상기 제1 갠트리의 상부면으로부터 연장되는 상기 제1 갠트리의 일측면과 반대쪽의 상기 제1 갠트리의 타측면까지 마주하게 둘러싸도록 구비될 수 있다. 상기 제2 주행부는 상기 약액 토출부 타측을 지지하도록 구비되고, 상기 약액 토출부 타측을 지지한 상태에서 상기 제2 갠트리의 일측면 길이 방향을 따라 주행할 수 있게 상기 제2 갠트리의 폭 방향을 따라 일측면, 상기 제2 갠트리의 일측면으로부터 연장되는 제2 갠트리의 상부면, 및 상기 제2 갠트리의 상부면으로부터 연장되는 상기 제2 갠트리의 일측면과 반대쪽의 상기 제1 갠트리의 타측면까지 마주하게 둘러싸도록 구비될 수 있다. 상기 하중 흡수부는 상기 약액 토출부의 주행을 위한 상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부의 주행시 상기 제1 주행부 또는/및 상기 제2 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 흡수할 수 있게 구비되되, 상기 제1 갠트리의 일측면, 상기 제1 갠트리의 타측면, 상기 제2 갠트리의 일측면, 및 상기 제2 갠트리의 타측면 네 군데 중에서 한 군데 내지 세 군데와 상기 제1 주행부 또는/및 상기 제2 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다. 상기 하중 지지부는 상기 약액 토출부의 주행을 위한 상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부의 주행시 상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부가 상기 갠트리와 일정 간격을 유지한 상태로 주행 경로를 따라 주행할 수 있게 상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부에 가해지는 하중을 일정하게 지지하도록 구비되되, 상기 제1 갠트리의 상부면과 상기 제1 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 상부면과 상기 제2 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 제1 갠트리의 일측면, 상기 제1 갠트리의 타측면, 상기 제2 갠트리의 일측면, 및 상기 제2 갠트리의 타측면 네 군데 중에서 상기 하중 흡수부가 배치되지 않은 한 군데 내지 세 군데와 상기 제1 주행부 또는/및 상기 제2 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 하중 흡수부는 에어 베어링 및 상기 에어 베어링에 댐핑 기능을 갖는 부재가 부가되는 구조를 갖도록 구비되고, 상기 하중 지지부는 에어 베어링으로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 댐핑 기능을 갖는 부재는 스프링 플레이트일 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 갠트리의 일측면, 상기 제1 갠트리의 타측면, 상기 제2 갠트리의 일측면, 및 상기 제2 갠트리의 타측면 네 군데 중에서 상기 하중 흡수부는 상기 제1 갠트리의 타측면과 상기 제1 주행부 사이에 배치되게 구비되고, 상기 하중 지지부는 상기 제1 갠트리의 상부면과 상기 제1 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 상부면과 상기 제2 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 제1 갠트리의 일측면과 상기 제1 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 갠트리의 일측면, 상기 제1 갠트리의 타측면, 상기 제2 갠트리의 일측면, 및 상기 제2 갠트리의 타측면 네 군데 중에서 상기 하중 흡수부는 상기 제1 갠트리의 타측면과 상기 제1 주행부 사이, 상기 제2 갠트리의 일측면과 상기 제2 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 타측면과 상기 제2 주행부 사이에 배치되게 구비되고, 상기 하중 지지부는 상기 제1 갠트리의 상부면과 상기 제1 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 상부면과 상기 제2 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 제1 갠트리의 일측면과 상기 제1 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 갠트리의 일측면, 상기 제1 갠트리의 타측면, 상기 제2 갠트리의 일측면, 및 상기 제2 갠트리의 타측면 네 군데 중에서 상기 하중 흡수부는 상기 제1 갠트리의 타측면과 상기 제1 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 타측면과 상기 제2 주행부 사이에 배치되게 구비되고, 상기 하중 지지부는 상기 제1 갠트리의 상부면과 상기 제1 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 상부면과 상기 제2 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 제1 갠트리의 일측면과 상기 제1 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 일측면과 상기 제2 주행부 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 주행부는 상기 제1 갠트리의 일측면에는 폭 방향 전체를 커버하는 길이를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 제1 갠트리의 타측면에는 폭 방향 일부를 커버하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 제2 주행부는 상기 제2 갠트리의 일측면에는 폭 방향 전체를 커버하는 길이를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 제2 갠트리의 타측면에는 폭 방향 일부를 커버하는 길이를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 주행부의 주행시 상기 제1 주행부에 구동력을 제공하도록 구비되는 제1 구동부, 상기 제2 주행부의 주행시 상기 제2 주행부에 구동력을 제공하도록 구비되는 제2 구동부, 및 상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부 각각의 주행시 상기 제1 주행부 또는/및 상기 제2 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 상기 제1 구동부 또는/및 제2 구동부 각각의 구동력에 대한 제어를 통하여 상기 제1 주행부 또는/및 상기 제2 주행부 각각의 주행 경로를 보정하도록 구비되는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치는 주행로를 주행하는 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있도록 구비될 수 있기 때문에 최근 크기 및 무게가 증가하는 추세에 있는 주행부에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
특히, 언급한 주행 장치를 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에 적용할 수 있기에 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 약액 토출부를 지지한 상태에서 갠트리를 주행하는 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있을 것이고, 나아가 약액 토출부의 양측면을 지지한 상태에서 제1 갠트리 및 제2 갠트리를 주행하는 제1 주행부 또는/및 제2 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있기 때문에 약액 토출부의 하중이 계속해서 증가함에도 불구하고 주행로의 구조를 안정적으로 확보할 수 있을 것이고, 그 결과 약액 토출부의 변위가 증가하는 것을 최소화할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 약액 토출부 자체에 대한 기계적 손상을 최소화할 수 있는 이점을 기대할 수 있을 것이고, 아울러 약액 토출부가 배치되는 위치를 안정적으로 유지할 수 있기 때문에 약액을 설정된 지점에 정확하게 토출시키는 이점을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치에서의 하중 흡수부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치에서의 하중 흡수부 및 하중 지지부가 배치되는 구조를 설명하기 위한 도면들이다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 주행로(11), 주행부(13), 하중 흡수부(15), 하중 지지부(17), 구동부(19), 제어부(21) 등을 포함할 수 있다.
주행로(11)는 주행 경로를 제공하도록 구비될 수 있는 것으로써, 예를 들면 약액 토출 장치에 구비되는 갠트리, OHT(Overhaed Hoist Transport)에 구비되는 주행 레일 등일 수 있다.
주행부(13)는 주행로(11)를 주행할 수 있게 구비되는 것으로써, 특히 주행로(11)의 길이 방향을 따라 주행할 수 있게 구비될 수 있다.
언급한 주행로(11)의 길이 방향은 주로 직선 방향일 수 있고, 나아가 일부 구간에 곡선 구간이 포함될 수도 있을 것이다.
주행부(13)는 주행로(11)를 보다 안정적으로 주행할 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 주행로(11)의 폭 방향을 따라 둘러싸도록 구비될 수 있다.
이에 본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 주행부(13)는 주행로(11)의 폭 방향을 따라 주행로(11)의 일측면, 일측면으로부터 연장되는 상부면, 및 상부면으로부터 연장되는 일측면과 반대쪽의 타측면까지 마주하게 둘러싸도록 구비될 수 있다.
따라서 주행부(13)는 주행로(11)의 일측면, 상부면, 및 타측면과 마주한 상태에서 주행로(11)를 따라 주행할 수 있을 것이다.
특히, 주행로(11)를 따라 주행하는 주행부(13)가 주행로(11)와 일정 간격을 유지하지 못하고 어느 한쪽으로 치우칠 경우 주행 경로를 이탈하는 상황이 발생할 수 있고, 그 결과 주행부(13)의 주행에 지장을 끼칠 수 있다.
하중 지지부(17)는 주행부(13)의 주행시 주행부(13)가 주행로(11)와 일정 간격을 유지한 상태로 주행 경로를 따라 주행할 수 있게 구비되는 것으로써, 특히 주행부(13)에 가해지는 하중을 일정하게 지지하도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 하중 지지부(17)를 구비하여 주행부(13)에 가해지는 하중을 일정하게 지지하도록 함으로써 주행부(13)의 주행시 주행부(13)가 주행로(11)와 일정 간격을 유지할 수 있는 것이다.
그러나 주행부(13)는 고정된 부재가 아니라 주행로(11)를 따라 주행하는 움직이는 부재이기 때문에 하중 지지부(17)를 구비함에도 불구하고 계속적인 움직임으로 인하여 주행로(11)와 계속적으로 일정 간격을 유지한다는 것이 매우 힘들 것이고, 그 결과 주행부(13)의 주행시 주행부(13)가 주행로(11)와 일정 간격을 유지하지 못하고 주행 경로를 이탈하는 상황이 빈번하게 발생할 수 있을 것이다.
이와 같이, 주행부(13)가 주행 경로를 이탈할 경우에는 이탈 하중이 발생할 수 있고, 그리고 이탈 하중은 주행로(11)에 그대로 전달될 수 있고, 그 결과 주행로(11)가 구조가 불안정해지는 상황, 즉 주행 경로가 변형되는 상황까지 발생할 수도 있을 것이다.
하중 흡수부(15)는 주행부(13)의 주행시 주행부(13)가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 흡수할 수 있게 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 하중 흡수부(15)를 구비함으로써 주행부(13)의 주행시 주행부(13)가 주행 경로를 이탈하는 상황이 발생하여도 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있기 때문에 이탈 하중이 주행로(11)에 그대로 전달되는 상황을 최소화할 수 있고, 그 결과 주행로(11)의 구조가 불안정해지는 상황 또는 최소화할 수 있을 것이다.
이하, 하중 지지부 및 하중 흡수부에 대하여 보다 상세하게 설명하기로 한다.
하중 지지부(17)는 주행부(13)가 주행로(11)와 일정 간격을 유지하도록 해야 하기 때문에 주행로(11)와 주행부(13) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
하중 흡수부(15)는 주행부(13)가 주행 경로를 이탈할 경우 주행로(11)에 가해지는 이탈 하중을 흡수하도록 해야 하기 때문에 주행로(11)와 주행부(13) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
이와 같이, 하중 지지부(17) 및 하중 흡수부(15) 모두 주행로(11)와 주행부(13) 사이에 배치되게 구비될 수 있지만, 배치 위치는 서로 달리하도록 구비될 수 있다.
특히, 주행부(13)의 주행시 주행부(13)는 주행로(11)의 상부면과는 일정 간격을 유지한 상태에서 주행로(11)의 일측면 또는/및 타측면을 따라 좌측 또는/및 우측으로 치우치면서 주행할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)의 경우 하중 흡수부(15)는 주행로(11)의 일측면 및 타측면 중 어느 한 군데와 주행부(13) 사이에 배치되게 구비될 수 있고, 하중 지지부(17)는 주행로(11)의 상부면과 주행부(13) 사이에 배치됨과 아울러 주행로(11)의 일측면 및 타측면 중 하중 흡수부(15)가 배치되지 않은 나머지 한 군데와 주행부(13) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
즉, 하중 흡수부(15)는 주행로(11)의 일측면 및 타측면 중 어느 한 군데와 주행부(13) 사이에 그리고 하중 지지부(17)는 주행로(11)의 상부면과 함께 주행로(11)의 일측면 및 타측면 중 나머지 한 군데와 주행부(13) 사이에 배치되게 구비될 수 있는 것이다.
그리고 하중 흡수부(15) 및 하중 지지부(17) 모두 주행부(13)가 주행로(11)와 일정 간격을 유지할 수 있어야 하기 때문에 에어 베어링으로 구비될 수 있다.
이와 같이, 에어 베어링을 구비함으로써 에어 베어링이 제공하는 공기압에 의해 주행부(13)에 가해지는 하중을 일정하게 지지함으로써 주행부(13)가 주행로(11)와 일정 간격을 유지한 상태로 주행 경로를 따라 주행할 수 있는 것이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치에서의 하중 흡수부를 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 하중 흡수부(15)는 주행부(13)가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 흡수할 수 있어야 하기 때문에 에어 베어링(31)에 댐핑(damping) 기능을 갖는 부재가 부가되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
하중 흡수부(15)에서의 댐핑 기능을 갖는 부재의 예로서는 에어 베어링(31)에 결합될 수 있는 스프링 플레이트(spring plate)(33)를 들 수 있다.
이와 같이, 하중 흡수부(15)는 주행부(13)와 주행로(11) 사이가 공기압(35)에 의해 일정 간격을 유지하도록 함과 아울러 이탈 하중을 흡수할 수 있도록 구비될 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 하중 지지부(17) 및 하중 흡수부(15)를 구비함으로써 주행부(13)가 주행로(11)와 일정 간격을 유지한 상태로 주행할 수 있을 뿐만 아니라 주행부(13)가 주행 경로를 이탈할 경우 발생하는 이탈 하중을 충분하게 흡수할 수 있을 것이다.
다시 도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)에서의 하중 지지부(17) 및 하중 흡수부(15)는 배치되는 위치를 달리할 수 있는데, 특히 하중 지지부(17)는 주행부(13)의 주행시 주행 기준면에 배치되는 것이 상대적으로 유리할 수 있다.
주행 기준면은 주행 경로에 대한 기준 경로를 제공하는 것으로써, 주행로(11)와 인접한 위치일 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)에서의 하중 지지부(17)는 주행로(11)와 인접한 위치인 주행로(11)의 일측면과 주행부(13) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
그리고 하중 지지부(17)가 주행로(11)의 일측면과 주행부(13) 사이에 배치될 수 있기 때문에 하중 흡수부(15)는 주행로(11)의 타측면과 주행부(13) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 하중 흡수부(15)가 주행로(11)의 타측면과 주행부(13) 사이에 배치되게 구비될 수 있고, 하중 지지부(17)가 주행로(11)의 상부면과 주행부(13) 사이에 배치되게 구비됨과 아울러 주행로(11)의 일측면과 주행부(13) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
또한, 주행부(13)는 주행로(11)의 일측면으로 기울어지지 않는 구조를 가지면 되기 때문에 주행로(11)의 타측면 쪽에서의 주행부(13)는 주행로(11)의 폭 방향 전체를 커버하는 길이를 갖도록 구비될 필요가 없을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)에서의 주행부(13)는 주행로(11)의 일측면에는 폭 방향 전체를 커버하는 길이를 갖도록 구비될 수 있고, 주행로(11)의 타측면에는 폭 방향 일부를 커버하는 길이를 갖도록 구비될 수 있다.
또한, 주행로(11)의 일측면에서 폭 방향 전체를 커버하는 길이를 갖는 주행부(13)는 주행을 위한 목적물이 매달려 지지되는 구조를 갖도록 구비되어야 하기 때문에 주행을 위하여 폭 방향 전체를 커버함과 아울러 목적물이 매달려 지지되기 위하여 아래쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치에서의 하중 흡수부 및 하중 지지부가 배치되는 구조를 설명하기 위한 도면들이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 언급한 바와 같이 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 하중 흡수부(15)가 주행로(11)의 타측면과 주행부(13) 사이에 배치되게 구비될 수 있고, 하중 지지부(17)가 주행로(11)의 상부면과 주행부(13) 사이에 배치되게 구비됨과 아울러 주행로(11)의 일측면과 주행부(13) 사이에 배치되게 구비될 수 있고, 주행부(13)가 주행로(11)의 일측면에는 폭 방향 전체를 커버하는 길이를 갖도록 구비될 수 있고, 주행로(11)의 타측면에는 폭 방향 일부를 커버하는 길이를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 주행로(11)의 일측면과 주행부(13) 사이에 배치되는 하중 지지부(17)의 개수 및 주행로(11)의 타측면과 주행부(13) 사이에 배치되는 하중 흡수부(15)의 개수를 달리할 수 있을 것이다.
일예로, 도 4에서와 같이 하중 지지부(17)가 주행로(11)의 일측면과 주행로(11)의 일측면 전체를 커버하는 길이를 갖는 주행부(13) 사이에 구비될 수 있기 때문에 2행2열 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이고, 더불어 2개가 1열 구조를 갖도록 주행로(11)의 상부면과 주행부(13) 사이에 구비될 수 있을 것이고, 도 5에서와 같이 하중 흡수부(15)가 주행로(11)의 타측면과 주행로(11)의 타측면 일부를 커버하는 길이를 갖는 주행부(13) 사이에 구비될 수 있기 때문에 1행2열 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
이와 달리, 주행로(11)의 일측면과 주행로(11)의 일측면 전체를 커버하는 길이를 갖는 주행부(13) 사이에 하중 흡수부(15)가 구비될 수도 있기 때문에 이 경우에는 하중 흡수부(15)가 2행2열 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이고, 주행로(11)의 타측면과 주행로(11)의 타측면 일부를 커버하는 길이를 갖는 주행부(13) 사이에 하중 지지부(17)가 구비될 수도 있기 때문에 이 경우에는 하중 지지부(17)가 1행2열 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이고, 나아가 2개가 1열 구조를 갖도록 주행로(11)의 상부면과 주행부(13) 사이에 구비될 수 있을 것이다.
하중 지지부(17)의 개수 및 하중 흡수부(15)의 개수는 언급한 구조 이외에도 다양한 배치 구조 및 다양한 개수를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
언급한 바와 같이 본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 주행 장치(100)는 하중 지지부(17) 및 하중 흡수부(15)를 구비함으로써 주행부(13)가 주행로(11)와 일정 간격을 유지한 상태에서 안정적으로 주행함과 더불어 주행부(13)의 주행시 주행부(13)가 주행 경로를 이탈하는 상황이 발생하여도 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있을 것이다.
다시 도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 주행로(11)의 길이 방향이 주로 직선 방향일 수 있다.
그리고 구동부(19)는 주행부(13)의 주행시 주행부(13)에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다.
이에, 주행로(11)의 직선 방향을 따라 주행부(13)가 주행해야 하기 때문에 구동부(19)는 직선적인 구동력을 발생시킬 수 있는 리니어 모터 등으로 이루어질 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 리니어 모터 등으로 이루어지는 구동부(19)를 사용하여 주행부(13)에 직선 방향을 따라 구동할 수 있는 구동력을 제공함으로써 주행부(13)는 주행로(11)의 길이 방향인 직선 방향을 따라 주행할 수 있고, 나아가 주행로(11)의 양방향을 왕복해서 주행할 수 있을 것이다.
언급한 바에 따르면, 주행부(13)의 주행시 주행부(13)가 주행 경로를 이탈하는 상황이 발생할 수 있고, 이에 하중 흡수부(15)가 주행 경로의 이탈로 인해 발생하는 이탈 하중을 흡수할 수는 있지만, 주행부(13)가 주행 경로를 이탈한 상태에 있기 때문에 주행 경로를 보정해야 할 필요가 있을 것이다.
제어부(21)는 주행부(13)의 주행시 주행부(13)가 주행 경로를 이탈할 경우 구동부(19)의 구동력에 대한 제어를 통하여 주행부(13)의 주행 경로를 보정하도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 하중 지지부(17)에 의해 주행로(11)와 주행부(13)가 일정 간격을 유지한 상태에서 주행로(11)가 제공하는 주행 경로를 따라 주행부(13)가 주행할 수 있고, 주행부(13)의 주행시 주행부(13)가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 하중 흡수부(15)가 흡수함과 아울러 제어부(21)에 의한 구동부(19)의 제어를 통하여 이탈한 주행부(13)의 주행 경로를 보정할 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 주행부(13)가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 용이하게 흡수함과 아울러 이탈한 경로의 보정을 통하여 이탈 하중을 용이하게 감소시킬 수 있기 때문에 주행부(13)에 매달려 지지되는 최근 크기 및 무게가 증가하는 추세에 있는 목적물에 보다 용이하게 적용할 수 있을 것이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치에 잉크젯 헤드 등과 같은 약액 토출부가 매달려 지지되는 구성을 갖는 약액 토출 장치에 대하여 설명하기로 한다.
다만, 이하에서는 잉크젯 헤드 등과 같은 약액 토출부가 매달려 지지되는 구성을 갖는 약액 토출 장치에 대하여 설명하지만, 이에 한정되지는 않을 것이다.
예를 들면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치는 OHT(Overhaed Hoist Transport) 등에도 적용될 수 있을 것이다.
그리고 이하에서는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치가 적용되는 구성이기 때문에 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 도면들이다.
먼저 도 6을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200)는 외팔보(cantilever) 구성을 갖도록 구비되는 것으로써, 도 1 내지 도 5에서의 주행 장치를 구비함과 아울러 잉크젯 헤드 등과 같은 약액 토출부(61)를 구비할 수 있다.
언급한 약액 토출부(61)로 이루어질 수 있는 잉크젯 헤드는 약액의 토출을 위한 다수개의 노즐이 배치되게 구비될 수 있다.
잉크젯 헤드에 배치되는 다수개의 노즐은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있고, 노즐들에는 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 구비될 수 있고, 그리고 압전 소자의 동작에 의해 노즐들을 통하여 기판 상으로 약액을 토출시킬 수 있고, 특히 노즐들로부터 토출되는 약액은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200)는 기판이 놓이는 스테이지, 기판을 이송시키는 이송부 등을 더 구비할 수 있다.
기판이 놓이는 스테이지는 기판이 부상된 상태를 유지할 수 있게 기판에 부상력을 제공하도록 구비되는 부상 스테이지일 수 있다.
이와 같이, 스테이지가 부상 스테이지일 경우에는 스테이지로부터 기판이 이면으로 에어를 분사하는 에어 분사 부재 및 진공으로 흡인하는 진공 흡인 부재가 구비될 수 있을 것이다.
이송부는 스테이지에 놓이는 기판을 이송시킬 수 있게 구비될 수 있는 것으로써 기판의 일측면 또는 양측면을 파지하여 스테이지를 따라 이송시킬 수 있게 구비될 수 있다.
이에, 이송부는 스테이지의 일측 또는 양측을 따라 구비되는 가이드 레일, 기판의 일측면 또는 양측면을 파지한 상태에서 가이드 레일을 따라 주행하는 파지부, 그리고 언급한 파지부에 구동력을 제공하는 구동 부재 등으로 이루어질 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200)에서의 약액 토출부(61)는 잉크젯 헤드가 패키지 구성을 갖도록 구비될 수 있는데, 예들 들면 3개의 잉크젯 헤드가 하나의 모듈 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 언급한 하나의 모듈 구조가 다수개가 구비되는 구성을 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200)에서의 약액 토출부(61)는 그 크기가 상대적으로 클 뿐만 아니라 그 무게 또한 상대적으로 무거울 것이다.
그러므로 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200)는 최근 크기 및 무게가 증가하는 추세에 있는 약액 토출부(61)를 보다 용이하게 적용할 수 있게 도 1 내지 도 5에서의 주행 장치를 구비할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200)에서는 주행부(13)가 약액 토출부(61) 일측을 지지하도록 구비될 수 있다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200)에서는 약액 토출부(61)가 지지되는 주행부(13)의 주행 경로를 제공할 수 있는 갠트리(63)가 구비될 수 있다.
언급한 갠트리(63)는 스테이지를 따라 기판이 이송되는 이송 방향과 수직한 수직 방향을 갖도록 구비될 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200)는 스테이지를 따라 제1 방향으로 기판을 이송시킴과 아울러 갠트리(63)를 따라 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 약액 토출부(61)가 지지되는 주행부(13)를 주행시키면서 기판에 약액을 토출시키는 공정을 수행할 수 있다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200)의 경우에도 도 1 내지 도 5에서의 주행 장치와 마찬가지로 하중 지지부(17) 및 하중 흡수부(15)를 구비함으로써 주행부(13)가 갠트리(63)와 일정 간격을 유지한 상태에서 안정적으로 주행함과 더불어 주행부(13)의 주행시 주행부(13)가 주행 경로를 이탈하는 상황이 발생하여도 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200)는 주행부(13)가 크기 및 무게가 증가한 약액 토출부(61)를 지지한 상태에서 갠트리(63)를 따라 주행할 때 약액 토출부(61)로부터 갠트리(63)에 가해지는 하중이 크게 증가하여도 안정적인 주행이 가능할 뿐만 아니라 주행부(13)가 주행 경로를 이탈함에 의해 이탈 하중이 발생하여도 이를 용이하게 흡수할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200)는 약액 토출부(61)로부터 가해지는 하중이 증가하여도 갠트리(63)의 구조를 안정적으로 유지할 수 있고, 그 결과 약액 토출부(61)가 손상되는 정도를 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 약액을 설정된 지점에 계속해서 정확하게 토출시킬 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200) 또한 구동부(19) 및 제어부(21)를 구비함으로써 주행부(13)의 주행시 주행부(13)가 주행 경로를 이탈할 경우 구동부(19)의 구동력에 대한 제어를 통하여 주행부(13)의 주행 경로를 보정하도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(200)는 하중 지지부(17)에 의해 갠트리(63)와 주행부(13)가 일정 간격을 유지한 상태에서 갠트리(63)가 제공하는 주행 경로를 따라 약액 토출부(61)가 지지되는 주행부(13)가 주행할 수 있고, 주행부(13)의 주행시 주행부(13)가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 하중 흡수부(15)가 흡수함과 아울러 제어부(21)에 의한 구동부(19)의 제어를 통하여 이탈한 주행부(13)의 주행 경로를 보정할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 주행부(13)가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 용이하게 흡수함과 아울러 이탈한 경로의 보정을 통하여 이탈 하중을 용이하게 감소시킬 수 있기 때문에 주행부(13)에 매달려 지지되는 최근 크기 및 무게가 증가하는 추세에 있는 약액 토출부(61)를 구비하는 약액 토출 장치(200)에 보다 용이하게 적용할 수 있을 것이다.
언급한 도 6에서의 약액 토출 장치는 외팔보(cantilever) 구성을 갖도록 구비되지만, 이하 도 7 내지 도 9에서의 약액 토출 장치는 도 1 내지 도 5에서의 주행 장치가 듀얼 구성을 갖도록 구비될 수 있다.
다만, 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)는 제1 갠트리(75), 제2 갠트리(77), 제1 주행부(71), 제2 주행부(73)를 제외하고는 유사한 구성을 갖도록 구비될 수 있다.
즉, 도 7 내지 도 9에서의 약액 토출 장치(300)에도 도 1 내지 도 5에서의 주행 장치가 듀얼 구성을 갖도록 구비될 수 있고, 더불어 도 6에서의 약액 토출부(61), 스테이지, 이송부 등이 구비될 수 있다.
따라서 이하에서는 도 1 내지 도 5, 그리도 도 6에서의 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
먼저 도 7 내지 도 9에서와 같이 주행 장치가 듀얼 구성을 갖도록 구비되는 약액 토출 장치(300)는 제1 갠트리(75)와 제2 갠트리(77)는 서로 마주하게 구비될 수 있고, 약액 토출부(61)는 기판에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다.
그리고 제1 주행부(71)는 약액 토출부(61) 일측을 지지하도록 구비될 수 있고, 제2 주행부(73)는 약액 토출부(61) 타측을 지지하도록 구비될 수 있다.
또한 하중 흡수부(15)는 약액 토출부(61)의 주행을 위한 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)의 주행시 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 흡수할 수 있게 구비될 수 있는데, 특히 제1 갠트리(75)의 일측면, 제1 갠트리(75)의 타측면, 제2 갠트리(77)의 일측면, 및 제2 갠트리(77)의 타측면 네 군데 중에서 한 군데 내지 세 군데와 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
아울러 하중 지지부(17)는 약액 토출부(61)의 주행을 위한 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)의 주행시 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)가 갠트리와 일정 간격을 유지한 상태로 주행 경로를 따라 주행할 수 있게 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)에 가해지는 하중을 일정하게 지지하도록 구비될 수 있는데, 제1 갠트리(75)의 상부면과 제1 주행부(71) 사이, 및 제2 갠트리(77)의 상부면과 제2 주행부(73) 사이에 배치됨과 아울러 제1 갠트리(75)의 일측면, 제1 갠트리(75)의 타측면, 제2 갠트리(77)의 일측면, 및 제2 갠트리(77)의 타측면 네 군데 중에서 하중 흡수부(15)가 배치되지 않은 한 군데 내지 세 군데와 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
특히, 도 7 내지 도 9에서와 같이 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 듀얼 구성의 약액 토출 장치(300)는 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)가 개별 구동하도록 구비될 수 있고, 이에 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)의 주행시 제1 주행부(71)에 지지되게 구비되는 약액 토출부(61)의 일측에 대한 위치와 제2 주행부(73)에 지지되게 구비되는 약액 토출부(61)의 타측에 대한 위치 사이에 오차가 발생할 수 있고, 그 결과 제1 주행부(71)가 주행 경로를 이탈하거나 또는 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈하는 상항이 발생할 수 있을 것이다.
이에, 도 7 내지 도 9에서와 같이 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)의 경우에도 하중 지지부(17) 및 하중 흡수부(15)를 구비함으로써 제1 주행부(71)가 제1 갠트리(75)와 일정 간격을 유지한 상태 및 제2 주행부(73)가 제2 갠트리(77)와 일정 간격을 유지한 상태에서 안정적으로 주행함과 더불어 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)의 주행시 제1 주행부(71)가 주행 경로를 이탈하는 상황 또는/및 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈하는 상황이 발생하여도 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있을 것이다.
그리고 도 7 내지 도 9에서와 같이 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 듀얼 구서을 갖는 약액 토출 장치(300)는 제1 주행부(71)에 구동력을 제공하는 제1 구동부, 제2 주행부(73)에 구동력을 제공하는 제2 구동부 그리고 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73) 각각의 주행시 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈할 경우 제1 구동부 또는/및 제2 구동부 각각의 구동력에 대한 제어를 통하여 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73) 각각의 주행 경로를 보정하는 제어부를 구비함으로써 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73) 각각의 주행시 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈할 경우 제1 구동부 또는/및 제2 구동부 각각의 구동력에 대한 제어를 통하여 제1 주행부(71) 또는 제2 주행부(73) 각각 주행 경로를 보정할 수 있을 것이다.
언급한 제1 구동부 및 제2 구동부 각각은 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73) 각각에 구동력을 제공하도록 구비되는 것을 제외하고는 도 1 내지 도 5의 주행 장치에서 설명한 구동부와 동일한 구성을 갖도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(300)는 하중 지지부(17)에 의해 제1 주행로와 제1 주행부(71) 그리고 제2 주행로와 제2 주행부(73)가 일정 간격을 유지한 상태에서 제1 주행로 및 제2 주행로가 제공하는 주행 경로를 따라 약액 토출부(61) 양측이 지지되는 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)가 주행할 수 있고, 제1 주행부(71)의 주행 및 제2 주행부(73)의 주행시 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 하중 흡수부(15)가 흡수함과 아울러 제어부에 의한 제1 구동부 또는/및 제2 구동부의 제어를 통하여 이탈한 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)의 주행 경로를 보정할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 용이하게 흡수함과 아울러 이탈한 경로의 보정을 통하여 이탈 하중을 용이하게 감소시킬 수 있기 때문에 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)에 양측이 매달려 지지되는 최근 크기 및 무게가 증가하는 추세에 있는 약액 토출부(61)를 구비하는 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)에 보다 용이하게 적용할 수 있을 것이다.
이하 도 7 내지 도 9에서와 같이 주행 장치가 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치에 대하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
먼저, 도 7에서의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)는 제1 갠트리(75), 제2 갠트리(77), 제1 주행부(71), 제2 주행부(73)를 구비할 수 있다.
도 7의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)에서의 하중 흡수부(15)는 제1 갠트리(75)의 일측면, 제1 갠트리(75)의 타측면, 제2 갠트리(77)의 일측면, 및 제2 갠트리(77)의 타측면 네 군데 중에서 제1 갠트리(75)의 타측면과 제1 주행부(71) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
도 7의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)에서의 하중 지지부(17)는 제1 갠트리(75)의 상부면과 제1 주행부(71) 사이, 및 제2 갠트리(77)의 상부면과 제2 주행부(73) 사이에 배치됨과 아울러 제1 갠트리(75)의 일측면과 제1 주행부(71) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
특히, 도 7의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)의 경우 약액 토출부(61)의 타측에 배치되는 제2 주행부(73)와 제2 갠트리(77) 사이에는 하중 지지부(17) 및 하중 흡수부(15)가 배치되지 않는 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, 이는 제2 주행부(73)의 주행에 따른 자유도를 확보하기 위함으로써 제2 주행부(73)와 제2 갠트리(77) 사이에 하중 지지부(17) 및 하중 흡수부(15)가 배치되지 않음으로 인하여 제2 주행부(73)가 주행에 따른 구속 요인이 제거될 수 있기 때문이다.
또한, 제2 주행부(73)와 제2 갠트리(77)의 타측면에도 하중 지지부(17) 및 하중 흡수부(15)가 배치되지 않는 구조를 가지기 때문에 제2 주행부(73)가 제2 갠트리(77)의 타측면 일부를 커버하도록 연장되지 않는 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, 이는 제2 주행부(73)가 제2 갠트리(77)의 일측면 전체 및 제2 갠트리(77)의 상부면을 커버하는 구조를 가짐으로써 제2 주행부(73)가 약액 토출부(61)의 타측을 지지할 수 있을 뿐만 아니라 제1 주행부(71)에 의해 약액 토출부(61)의 일측이 충분하게 지지되는 구조를 가질 수 있기 때문이다.
이와 같이, 도 7의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)는 주행 장치가 듀얼 구성을 가짐에도 불구하고 하중 지지부(17) 및 하중 흡수부(15)를 구비함으로써 제1 주행부(71)가 제1 갠트리(75)와 일정 간격을 유지한 상태 및 제2 주행부(73)가 제2 갠트리(77)와 일정 간격을 유지한 상태에서 안정적으로 주행함과 더불어 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)의 주행시 제1 주행부(71)가 주행 경로를 이탈하는 상황 또는/및 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈하는 상황이 발생하여도 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있을 것이다.
또한, 도 7의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)는 구동부 및 제어부를 구비함으로써 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)의 주행시 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈할 경우 구동부의 구동력에 대한 제어를 통하여 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)의 주행 경로를 보정하도록 구비될 수 있다.
계속해서, 도 8에서의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)도 마찬가지로 제1 갠트리(75), 제2 갠트리(77), 제1 주행부(71), 제2 주행부(73)를 구비할 수 있다.
도 8의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)에서의 하중 흡수부(15)는 제1 갠트리(75)의 일측면, 제1 갠트리(75)의 타측면, 제2 갠트리(77)의 일측면, 및 제2 갠트리(77)의 타측면 네 군데 중에서 제1 갠트리(75)의 타측면과 제1 주행부(71) 사이, 제2 갠트리(77)의 일측면과 제2 주행부(73) 사이, 및 제2 갠트리(77)의 타측면과 제2 주행부(73) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
도 8의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)에서의 하중 지지부(17)는 제1 갠트리(75)의 일측면, 제1 갠트리(75)의 타측면, 제2 갠트리(77)의 일측면, 및 제2 갠트리(77)의 타측면 네 군데 중에서 제1 갠트리(75)의 상부면과 제1 주행부(71) 사이, 및 제2 갠트리(77)의 상부면과 제2 주행부(73) 사이에 배치됨과 아울러 제1 갠트리(75)의 일측면과 제1 주행부(71) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
이와 같이, 도 8의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)는 제1 갠트리(75)의 상부면, 제2 갠트리(77)의 상부면과 함께 주행 기준면으로써의 제1 갠트리(75)의 일측면과 제1 주행부(71) 사이에 하중 지지부(17)가 구비될 수 있고, 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)의 주행시 주행 경로를 이탈함에 의해 발생할 수 있는 이탈 하중을 흡수할 수 있도록 제1 갠트리(75)의 타측면과 제1 주행부(71) 사이, 제2 갠트리(77)의 일측면 및 제2 갠트리(77)의 타측면과 제2 주행부(73) 사이에 하중 흡수부(15)가 구비될 수 있다.
여기서 제1 갠트리(75)의 일측면과 제1 주행부(71) 사이에도 하중 지지부(17)가 아닌 하중 흡수부(15)가 배치되도록 구비될 경우에는 하중 흡수부(15)가 제공하는 댐핑 기능으로 인하여 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)의 주행시 유동성이 매우 커질 수 있고, 그 결과 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)에 의한 안정적인 운행에 지장을 초래할 수 있다.
이에, 도 8에서의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)에서와 같이 제1 갠트리(75)의 일측면, 제1 갠트리(75)의 타측면, 제2 갠트리(77)의 일측면, 및 제2 갠트리(77)의 타측면 네 군데 중에서 어느 한 군데에는 하중 지지부(17)가 반드시 구비되어야 할 것이고, 주행 기준면으로써 기능을 갖는 제1 갠트리(75)의 일측면 또는 제2 갠트리(77)의 일측면 두 군데 중에서 어느 한 군에 하중 지지부(17)가 구비되는 것이 보다 바람직할 수 있다.
이와 같이, 도 8의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)는 주행 장치가 듀얼 구성을 가짐에도 불구하고 하중 지지부(17) 및 하중 흡수부(15)를 구비함으로써 제1 주행부(71)가 제1 갠트리(75)와 일정 간격을 유지한 상태 및 제2 주행부(73)가 제2 갠트리(77)와 일정 간격을 유지한 상태에서 안정적으로 주행함과 더불어 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)의 주행시 제1 주행부(71)가 주행 경로를 이탈하는 상황 또는/및 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈하는 상황이 발생하여도 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있을 것이다.
또한, 도 8의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)는 구동부 및 제어부를 구비함으로써 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)의 주행시 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈할 경우 구동부의 구동력에 대한 제어를 통하여 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)의 주행 경로를 보정하도록 구비될 수 있다.
아울러, 도 9에서의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)의 경우에도 제1 갠트리(75), 제2 갠트리(77), 제1 주행부(71), 제2 주행부(73)를 구비할 수 있다.
도 9의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)에서의 하중 흡수부(15)는 제1 갠트리(75)의 일측면, 제1 갠트리(75)의 타측면, 제2 갠트리(77)의 일측면, 및 제2 갠트리(77)의 타측면 네 군데 중에서 제1 갠트리(75)의 타측면과 제1 주행부(71) 사이, 및 제2 갠트리(77)의 타측면과 제2 주행부(73) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
도 9의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)에서의 하중 지지부(17)는 제1 갠트리(75)의 일측면, 제1 갠트리(75)의 타측면, 제2 갠트리(77)의 일측면, 및 제2 갠트리(77)의 타측면 네 군데 중에서 제1 갠트리(75)의 상부면과 제1 주행부(71) 사이,및 제2 갠트리(77)의 상부면과 제2 주행부(73) 사이에 배치됨과 아울러 제1 갠트리(75)의 일측면과 제1 주행부(71) 사이, 및 제2 갠트리(77)의 일측면과 제2 주행부(73) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
이와 같이, 도 9의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)는 주행 장치가 듀얼 구성을 가짐에도 불구하고 하중 지지부(17) 및 하중 흡수부(15)를 구비함으로써 제1 주행부(71)가 제1 갠트리(75)와 일정 간격을 유지한 상태 및 제2 주행부(73)가 제2 갠트리(77)와 일정 간격을 유지한 상태에서 안정적으로 주행함과 더불어 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)의 주행시 제1 주행부(71)가 주행 경로를 이탈하는 상황 또는/및 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈하는 상황이 발생하여도 이탈 하중을 용이하게 흡수할 수 있을 것이다.
또한, 도 9의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)는 구동부 및 제어부를 구비함으로써 제1 주행부(71) 및 제2 주행부(73)의 주행시 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)가 주행 경로를 이탈할 경우 구동부의 구동력에 대한 제어를 통하여 제1 주행부(71) 또는/및 제2 주행부(73)의 주행 경로를 보정하도록 구비될 수 있다.
언급한 도 7 내지 도 9에서의 듀얼 구성을 갖는 약액 토출 장치(300)는 하중 흡수부(15) 및 하중 지지부(17)가 배치되는 위치만을 달리할 뿐 하중 흡수부(15) 및 하중 지지부(17) 각각이 제1 갠트리(75)의 일측면, 제1 갠트리(75)의 타측면, 제2 갠트리(77)의 일측면, 및 제2 갠트리(77)의 타측면 네 군데 중에서 어느 한 군데 각각에 배치되게 구비되면 무방할 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치 및 약액 토출 장치는 대면적 기판을 대상으로 약액 토출 공정을 수행할 수 있게 그 크기 및 무게가 증가 추세에 있는 약액 토출부에 적용하는 것이 적절하기 때문에 최근의 대면적을 갖는 기판을 대상으로 하는 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 주행로 13 : 주행부
15 : 하중 흡수부 17 : 하중 지지부
19 : 구동부 21 : 제어부
61 ; 약액 토출부 63 : 갠트리
71 : 제1 주행부 73 : 제2 주행부
75 : 제1 갠트리 77 : 제2 갠트리
100 : 주행 장치 200, 300 : 약액 토출 장치

Claims (20)

  1. 주행로;
    상기 주행로의 길이 방향을 따라 주행할 수 있게 상기 주행로의 폭 방향을 따라 일측면, 상기 일측면으로부터 연장되는 상기 상부면, 및 상기 상부면으로부터 연장되는 상기 일측면과 반대쪽의 타측면까지 마주하게 둘러싸도록 구비되는 주행부;
    상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 흡수할 수 있게 구비되되, 상기 주행로의 일측면 및 타측면 중 어느 한 군데와 상기 주행부 사이에 배치되게 구비되는 하중 흡수부; 및
    상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 상기 주행로와 일정 간격을 유지한 상태로 주행 경로를 따라 주행할 수 있게 상기 주행부에 가해지는 하중을 일정하게 지지하도록 구비되되, 상기 주행로의 상부면과 상기 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 주행로의 일측면 및 타측면 중 상기 하중 흡수부가 배치되지 않은 나머지 한 군데와 상기 주행부 사이에 배치되게 구비되는 하중 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 하중 흡수부는 에어 베어링 및 상기 에어 베어링에 댐핑(damping) 기능을 갖는 부재가 부가되는 구조를 갖도록 구비되고, 상기 하중 지지부는 에어 베어링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 댐핑 기능을 갖는 부재는 스프링 플레이트(spring plate)인 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 하중 흡수부는 상기 주행로의 타측면과 상기 주행부 사이에 배치되게 구비되고, 상기 하중 지지부는 상기 주행로의 일측면과 상기 주행부 사이에 배치되게 구비되는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 주행부는 상기 주행로의 일측면에는 폭 방향 전체를 커버하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 주행로의 타측면에는 폭 방향 일부를 커버하는 길이를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 주행부의 주행시 상기 주행부에 구동력을 제공하도록 구비되는 구동부; 및
    상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 상기 구동부의 구동력에 대한 제어를 통하여 상기 주행부의 주행 경로를 보정하도록 구비되는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  7. 갠트리;
    기판에 약액을 토출하도록 구비되는 약액 토출부;
    상기 약액 토출부 일측을 지지하도록 구비되고, 상기 약액 토출부 일측을 지지한 상태에서 상기 갠트리의 일측면 길이 방향을 따라 주행할 수 있게 상기 갠트리의 폭 방향을 따라 일측면, 상기 일측면으로부터 연장되는 상부면, 및 상기 상부면으로부터 연장되는 상기 일측면과 반대쪽의 타측면까지 마주하게 둘러싸도록 구비되는 주행부;
    상기 약액 토출부의 주행을 위한 상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 흡수할 수 있게 구비되되, 상기 갠트리의 일측면 및 타측면 중 어느 한 군데와 상기 주행부 사이에 배치되게 구비되는 하중 흡수부; 및
    상기 약액 토출부의 주행을 위한 상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 상기 갠트리와 일정 간격을 유지한 상태로 주행 경로를 따라 주행할 수 있게 상기 주행부에 가해지는 하중을 일정하게 지지하도록 구비되되, 상기 갠트리의 상부면과 상기 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 갠트리의 일측면 및 타측면 중 상기 하중 흡수부가 배치되지 않은 나머지 한 군데와 상기 주행부 사이에 배치되게 구비되는 하중 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 하중 흡수부는 에어 베어링 및 상기 에어 베어링에 댐핑 기능을 갖는 부재가 부가되는 구조를 갖도록 구비되고, 상기 하중 지지부는 에어 베어링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 댐핑 기능을 갖는 부재는 스프링 플레이트인 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  10. 제7 항에 있어서,
    상기 하중 흡수부는 상기 갠트리의 타측면과 상기 주행부 사이에 배치되게 구비되고, 상기 하중 지지부는 상기 갠트리의 일측면과 상기 주행부 사이에 배치되게 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  11. 제7 항에 있어서,
    상기 주행부는 상기 갠트리의 일측면에는 폭 방향 전체를 커버하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 갠트리의 타측면에는 폭 방향 일부를 커버하는 길이를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  12. 제7 항에 있어서,
    상기 주행부의 주행시 상기 주행부에 구동력을 제공하도록 구비되는 구동부; 및
    상기 주행부의 주행시 상기 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 상기 구동부의 구동력에 대한 제어를 통하여 상기 주행부의 주행 경로를 보정하도록 구비되는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  13. 제1 갠트리;
    상기 제1 갠트리와 마주하게 구비되는 제2 갠트리;
    기판에 약액을 토출하도록 구비되는 약액 토출부;
    상기 약액 토출부 일측을 지지하도로 구비되고, 상기 약액 토출부 일측을 지지한 상태에서 상기 제1 갠트리의 일측면 길이 방향을 따라 주행할 수 있게 상기 제1 갠트리의 폭 방향을 따라 일측면, 상기 제1 갠트리의 일측면으로부터 연장되는 제1 갠트리의 상부면, 및 상기 제1 갠트리의 상부면으로부터 연장되는 상기 제1 갠트리의 일측면과 반대쪽의 상기 제1 갠트리의 타측면까지 마주하게 둘러싸도록 구비되는 제1 주행부;
    상기 약액 토출부 타측을 지지하도록 구비되고, 상기 약액 토출부 타측을 지지한 상태에서 상기 제2 갠트리의 일측면 길이 방향을 따라 주행할 수 있게 상기 제2 갠트리의 폭 방향을 따라 일측면, 상기 제2 갠트리의 일측면으로부터 연장되는 제2 갠트리의 상부면, 및 상기 제2 갠트리의 상부면으로부터 연장되는 상기 제2 갠트리의 일측면과 반대쪽의 상기 제1 갠트리의 타측면까지 마주하게 둘러싸도록 구비되는 제2 주행부;
    상기 약액 토출부의 주행을 위한 상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부의 주행시 상기 제1 주행부 또는/및 상기 제2 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 발생할 수 있는 이탈 하중을 흡수할 수 있게 구비되되, 상기 제1 갠트리의 일측면, 상기 제1 갠트리의 타측면, 상기 제2 갠트리의 일측면, 및 상기 제2 갠트리의 타측면 네 군데 중에서 한 군데 내지 세 군데와 상기 제1 주행부 또는/및 상기 제2 주행부 사이에 배치되게 구비되는 하중 흡수부; 및
    상기 약액 토출부의 주행을 위한 상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부의 주행시 상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부가 상기 갠트리와 일정 간격을 유지한 상태로 주행 경로를 따라 주행할 수 있게 상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부에 가해지는 하중을 일정하게 지지하도록 구비되되, 상기 제1 갠트리의 상부면과 상기 제1 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 상부면과 상기 제2 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 제1 갠트리의 일측면, 상기 제1 갠트리의 타측면, 상기 제2 갠트리의 일측면, 및 상기 제2 갠트리의 타측면 네 군데 중에서 상기 하중 흡수부가 배치되지 않은 한 군데 내지 세 군데와 상기 제1 주행부 또는/및 상기 제2 주행부 사이에 배치되게 구비되는 하중 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 하중 흡수부는 에어 베어링 및 상기 에어 베어링에 댐핑 기능을 갖는 부재가 부가되는 구조를 갖도록 구비되고, 상기 하중 지지부는 에어 베어링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 댐핑 기능을 갖는 부재는 스프링 플레이트인 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  16. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 갠트리의 일측면, 상기 제1 갠트리의 타측면, 상기 제2 갠트리의 일측면, 및 상기 제2 갠트리의 타측면 네 군데 중에서 상기 하중 흡수부는 상기 제1 갠트리의 타측면과 상기 제1 주행부 사이에 배치되게 구비되고, 상기 하중 지지부는 상기 제1 갠트리의 상부면과 상기 제1 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 상부면과 상기 제2 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 제1 갠트리의 일측면과 상기 제1 주행부 사이에 배치되게 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  17. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 갠트리의 일측면, 상기 제1 갠트리의 타측면, 상기 제2 갠트리의 일측면, 및 상기 제2 갠트리의 타측면 네 군데 중에서 상기 하중 흡수부는 상기 제1 갠트리의 타측면과 상기 제1 주행부 사이, 상기 제2 갠트리의 일측면과 상기 제2 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 타측면과 상기 제2 주행부 사이에 배치되게 구비되고, 상기 하중 지지부는 상기 제1 갠트리의 상부면과 상기 제1 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 상부면과 상기 제2 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 제1 갠트리의 일측면과 상기 제1 주행부 사이에 배치되게 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  18. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 갠트리의 일측면, 상기 제1 갠트리의 타측면, 상기 제2 갠트리의 일측면, 및 상기 제2 갠트리의 타측면 네 군데 중에서 상기 하중 흡수부는 상기 제1 갠트리의 타측면과 상기 제1 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 타측면과 상기 제2 주행부 사이에 배치되게 구비되고, 상기 하중 지지부는 상기 제1 갠트리의 상부면과 상기 제1 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 상부면과 상기 제2 주행부 사이에 배치됨과 아울러 상기 제1 갠트리의 일측면과 상기 제1 주행부 사이, 및 상기 제2 갠트리의 일측면과 상기 제2 주행부 사이에 배치되게 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  19. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 주행부는 상기 제1 갠트리의 일측면에는 폭 방향 전체를 커버하는 길이를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 제1 갠트리의 타측면에는 폭 방향 일부를 커버하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 제2 주행부는 상기 제2 갠트리의 일측면에는 폭 방향 전체를 커버하는 길이를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 제2 갠트리의 타측면에는 폭 방향 일부를 커버하는 길이를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  20. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 주행부의 주행시 상기 제1 주행부에 구동력을 제공하도록 구비되는 제1 구동부;
    상기 제2 주행부의 주행시 상기 제2 주행부에 구동력을 제공하도록 구비되는 제2 구동부; 및
    상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부 각각의 주행시 상기 제1 주행부 또는/및 상기 제2 주행부가 주행 경로를 이탈할 경우 상기 제1 구동부 또는/및 제2 구동부 각각의 구동력에 대한 제어를 통하여 상기 제1 주행부 또는/및 상기 제2 주행부 각각의 주행 경로를 보정하도록 구비되는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
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