JP2020075445A - 液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドチップの形成方法 - Google Patents
液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドチップの形成方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
(1)表面と、裏面と、表面と裏面とを繋ぐ厚さ方向に貫通すると共に厚さ方向と直交する第1の方向において互いに離間して隣り合うように設けられ、厚さ方向および第1の方向の双方と直交する第2の方向にそれぞれ延在する複数の吐出チャネル、を有するアクチュエータプレート。
(2)吐出チャネルの内面に設けられた電極。
ここで電極は、吐出チャネルの内面を、表面から裏面に向けて連続的に覆う第1の電極部分と、吐出チャネルの内面を、裏面から表面に向けて連続的に覆うと共に第1の電極部分の少なくとも一部と重なり合う第2の電極部分とを有する。
(A)表面と、裏面と、表面および裏面と直交する厚さ方向において表面から裏面に至る途中の位置まで掘り下げられると共に厚さ方向と直交する第1の方向において互いに離間して隣り合うように設けられ、厚さ方向および第1の方向の双方と直交する第2の方向にそれぞれ延在する複数の吐出溝と、を有するアクチュエータプレートを用意すること。
(B)吐出チャネルの内面に、表面側から第1の電極部分を蒸着すること。
(C)アクチュエータプレートを裏面側から厚さ方向に削ることにより、吐出チャネルを裏面に露出させること。
(D)裏面に露出した吐出チャネルの内面に、第1の電極部分と一部重なり合うように裏面側から第2の電極部分を蒸着することで、第1の電極部分と第2の電極部分とを含む電極を形成すること。
1.実施の形態(一対のヘッドチップの間に流路プレートが配置されると共にインク循環を行う、エッジシュート型のインクジェットヘッドの例。)
2.変形例
変形例1(一対のヘッドチップの間に流路プレートが配置されると共にインク循環を伴わない、エッジシュート型のインクジェットヘッドの例。)
変形例2(流路プレートの片側にヘッドチップを配置するようにした、インク循環を行う、エッジシュート型のインクジェットヘッドの例。)
3.その他の変形例
[プリンタ1の全体構成]
図1は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ1の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。このプリンタ1は、インクを利用して、被記録媒体としての記録紙Pに対して、画像や文字等の記録(印刷)を行うインクジェットプリンタである。
インクタンク3は、インクを内部に収容するタンクである。このインクタンク3としては、この例では図1に示したように、イエロー(Y),マゼンダ(M),シアン(C),ブラック(K)の4色のインクを個別に収容する、4種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインクを収容するインクタンク3Yと、マゼンダのインクを収容するインクタンク3Mと、シアンのインクを収容するインクタンク3Cと、ブラックのインクを収容するインクタンク3Kとが設けられている。これらのインクタンク3Y,3M,3C,3Kは、筺体10内において、X軸方向に沿って並んで配置されている。
インクジェットヘッド4は、後述する複数のノズル78から記録紙Pに対して液滴状のインクを噴射(吐出)して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド4としても、この例では図1に示したように、上記したインクタンク3Y,3M,3C,3Kにそれぞれ収容されている4色のインクを個別に噴射する、4種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインクを噴射するインクジェットヘッド4Yと、マゼンダのインクを噴射するインクジェットヘッド4Mと、シアンのインクを噴射するインクジェットヘッド4Cと、ブラックのインクを噴射するインクジェットヘッド4Kとが設けられている。これらのインクジェットヘッド4Y,4M,4C,4Kは、筺体10内において、Y軸方向に沿って並んで配置されている。
走査機構6は、記録紙Pの幅方向(Y軸方向)に沿って、インクジェットヘッド4を走査させる機構である。この走査機構6は、図1に示したように、Y軸方向に沿って延設された一対のガイドレール31,32と、これらのガイドレール31,32に移動可能に支持されたキャリッジ33と、このキャリッジ33をY軸方向に沿って移動させる駆動機構34と、を有している。また、駆動機構34は、ガイドレール31,32の間に配置された一対のプーリ35,36と、これらのプーリ35,36間に巻回された無端ベルト37と、プーリ35を回転駆動させる駆動モータ38と、を有している。
図2は、インク循環機構8の概略構成例を表した模式図である。インク循環機構8は、インクタンク3とインクジェットヘッド4との間でインクを循環させる機構であり、インク供給管81およびインク排出管82により構成される循環流路83と、インク供給管81に設けられた加圧ポンプ84と、インク排出管82に設けられた吸引ポンプ85とを備える。インク供給管81およびインク排出管82は、例えば、インクジェットヘッド4を支持する走査機構6の動作に追従可能な程度に可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。
次に、図1に加えて図3〜図8を参照して、インクジェットヘッド4の詳細構成例について説明する。図3は、インクジェットヘッド4の詳細構成例を、斜視図で表したものである。図4は、インクジェットヘッド4における、ヘッドチップ40A(後出)の吐出チャネル54(後出)とヘッドチップ40B(後出)のダミーチャネル55(後出)とを含むY−Z断面の構成例を表す断面図である。図5は、インクジェットヘッド4における、ヘッドチップ40Aのダミーチャネル55(後出)とヘッドチップ40Bの吐出チャネル54(後出)とを含むY-Z断面の構成例を表す断面図である。図6Aは、インクジェットヘッド4における、吐出チャネル54およびダミーチャネル55の延在方向(Z軸方向)と直交する断面(X−Y断面)を表す断面図である。図6Bは、図6Aに示したインクジェットヘッド4の断面(X−Y断面)を拡大して表す拡大断面図である。但し、図6Bでは、インクジェットヘッド4のうち、X軸方向の両端部(端部R4,L4)と、X軸方向の中央部C4とを表しており、端部R4と中央部C4との間の部分および端部L4と中央部C4との間の部分については図示を省略している。図6Bにおいて、一点鎖線で表した中心線CLは、インクジェットヘッド4におけるX軸方向の中心位置を示している。なお、後出の図9A〜9Jにおいても同様に、各製造過程における、インクジェットヘッド4のX軸方向の両端部(端部R4,L4)とX軸方向の中央部C4とを表しており、両端部(端部R4,L4)と中央部C4との間の部分については図示を省略している。図6Cは、図6Bに示した、インクジェットヘッド4のうちの端部L4の一部を拡大して表す断面図であり、図6Dは、図6Bに示した、インクジェットヘッド4のうちの中央部C4の一部を拡大して表す断面図である。なお、インクジェットヘッド4のうちの端部R4は、中心線CL(図6B)を対称軸として端部L4と実質的に線対称の断面構成を有するので、本明細書では端部R4の説明および図示を省略する。また、図6Eは、Y−Z平面に沿った吐出チャネル54の構成を拡大して表す概略図である。図7は、ヘッドチップ40の一部を拡大して表す部分破断斜視図である。
一対のヘッドチップ40A,40Bは互いに実質的に同一の構成を有しており、Y軸方向において流路プレート41を挟んで実質的に対称の姿勢をなすように実質的に対称の位置に設けられている。以下では、特に区別が必要のない場合は、一対のヘッドチップ40A,40Bをヘッドチップ40と総称して説明する。なお、ヘッドチップ40は本開示における「液体噴射ヘッドチップ」の一具体例に対する。ヘッドチップ40は、流路プレート41に近い位置から順にカバープレート52と、アクチュエータプレート51と、封止プレート53とを備える。
アクチュエータプレート51は、X軸方向を長手方向とすると共にZ軸方向を短手方向とする、X−Z面に沿って広がる板状部材であり、カバープレート52と対向する第1面51f1と、封止プレート53と対向する第2面51f2とを有する。なお、「第1面51f1」は本開示の「表面」に対応する一具体例であり、「第2面51f2」は本開示の「裏面」に対応する一具体例である。図7に示したように、第2面51f2は、端部領域R1とチャネル形成領域R2とを含んでいる。端部領域R1は封止プレート53と重なることなく外部に露出する部分であり、チャネル形成領域R2は吐出チャネル54およびダミーチャネル55が形成されると共に封止プレート53と重なり合う部分である。アクチュエータプレート51は、第1面51f1と第2面51f2とを繋ぐ厚さ方向(Y軸方向)において互いに異なる分極方向を有する2枚の圧電基板51aおよび圧電基板51bを積層した、いわゆるシェブロンタイプの積層基板である(図6Aおよび図6B参照)。それらの圧電基板51a,51bは、例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)等の圧電材料からなるセラミックス基板が好適に用いられる。
カバープレート52は、X軸方向を長手方向とすると共にZ軸方向を短手方向とする、XZ面に沿って広がる板状部材である。カバープレート52は、アクチュエータプレート51の第1面51f1と対向する対向面52f1を有する。
封止プレート53は、カバープレート52と同様、X軸方向を長手方向とすると共にZ軸方向を短手方向とする、XZ面に沿って広がる板状部材である。封止プレート53は、アクチュエータプレート51の下端面511およびカバープレート52の下端面521とZ軸方向において一致する下端面531と、Z軸方向において下端面531と反対側に位置する上端面532とを有している。上端面532は、Z軸方向において上端面512および上端面522の位置から後退した位置にある。封止プレート53は、アクチュエータプレート51の第2面51f2と対向する対向面53f1をさらに有する。封止プレート53は、対向面53f1がアクチュエータプレート51の第2面51f2のうちのチャネル形成領域R2と対向するように配置される。したがって、封止プレート53とカバープレート52とによって複数の吐出チャネル54および複数のダミーチャネル55が閉塞されるようになっている。封止プレート53は、開口や切り欠き、溝などを有しなくともよい。すなわち、単純な直方体でよいので、その構成材料として加工の困難な機能性材料や、高い加工精度が得にくい低価格材料を用いることもできる。すなわち、材料種の選択の自由度が向上する。
図3に示したように、一対のヘッドチップ40A,40Bは、各々の対向面52f2同士をY方向で対向させた状態で、Y軸方向に流路プレート41を挟んで配置されている。
流路プレート41は、Y軸方向においてヘッドチップ40Aとヘッドチップ40Bとの間に挟持されている。流路プレート41は、同一の部材により一体に形成されているとよい。図3に示したように、流路プレート41は、X軸方向を長手方向としY軸方向を短手方向とする矩形板状をなしている。Y軸方向から見て、流路プレート41の外形は、カバープレート52の外形と実質的に同じである。
図3に示したように、入口マニホールド42は、ヘッドチップ40A,40Bおよび流路プレート41のX軸方向の一端面に接合されている。入口マニホールド42には、一対の入口流路74に連通する供給路77が形成されている。供給路77における流路プレート41と反対側の端部はインク供給管81(図1参照)に接続されている。
帰還プレート43は、X軸方向を長手方向としY軸方向を短手方向とする矩形板状をなしている。帰還プレート43は、ヘッドチップ40A,40Bの下端面511,521,531および流路プレート41の下端面411にまとめて接合されている。すなわち、帰還プレート43は、ヘッドチップ40Aおよびヘッドチップ40Bにおける吐出チャネル54の開口54K側に配設されている。帰還プレート43は、ヘッドチップ40Aとヘッドチップ40Bとにおける吐出チャネル54の開口54Kと、ノズルプレート44の上面との間に介在するスペーサプレートである。帰還プレート43には、ヘッドチップ40A,40Bの吐出チャネル54と出口流路75との間を接続する複数の循環路76が形成されている。複数の循環路76は、第1循環路76aおよび第2循環路76bを含んでいる。複数の循環路76は、帰還プレート43をZ軸方向に貫通している。
図3に示したように、ノズルプレート44の外形は、X軸方向を長手方向としY軸方向を短手方向とする矩形板状をなしている。ノズルプレート44は、帰還プレート43の下端面に接合されている。ノズルプレート44には、ノズルプレート44をZ軸方向に貫通する複数のノズル78(噴射孔)が配列されている。複数のノズル78は、第1ノズル78aおよび第2ノズル78bを含む。複数のノズル78は、ノズルプレート44をZ軸方向に貫通している。
次に、インクジェットヘッド4の製造方法について説明する。本実施形態のインクジェットヘッド4の製造方法は、ヘッドチップ作製工程と、流路プレート作製工程と、プレート接合工程と、帰還プレート等接合工程と、を含む。なお、ヘッドチップ作製工程は、ヘッドチップ40Aとヘッドチップ40Bとで同様の方法により行うことが可能である。したがって、以下の説明ではヘッドチップ40Aにおけるヘッドチップ作製工程について説明する。
本実施の形態のインクジェットヘッド4の製造方法におけるヘッドチップ作製工程は、主に、アクチュエータプレート51に係る工程と、カバープレート52に係る工程とを含んでいる。これらのうち、アクチュエータプレート51に係る工程は、例えばウエハ準備工程、マスクパターン形成工程、チャネル形成工程および電極形成工程を含む。以下、図9A〜図9Jを参照して、主にアクチュエータプレート51に係る工程を説明する。
本実施の形態のインクジェットヘッド4の製造方法における流路プレート作製工程は、流路形成工程および個片化工程を含むものである。
図3に示したように、各種プレート接合工程では、ヘッドチップ40Aのカバープレート52およびヘッドチップ40Bのカバープレート52のそれぞれと流路プレート41とを接合する。具体的に、流路プレート41の主面41f1をヘッドチップ40Aの対向面52f2に貼り付けると共に、流路プレート41の主面41f2をヘッドチップ40Bの対向面52f2に貼り付ける。これにより、プレート接合体を作製する。なお、流路ウエハ130の両面にカバーウエハ120を1枚ずつ貼り合わせてからチップ分割(個片化)を行うことにより、ヘッドチップ40Aのカバープレート52と流路プレート41とヘッドチップ40Bのカバープレート52とが順に貼り合わされたプレート接合体を作製するようにしてもよい。
次いで、上述のプレート接合体に対して帰還プレート43およびノズルプレート44を接合する。そののち、共通電極パッド62および個別電極パッド64に対し外部配線基板45を実装する(図4,図5参照)。
(A.プリンタ1の基本動作)
このプリンタ1では、以下のようにして、記録紙Pに対する画像や文字等の記録動作(印刷動作)が行われる。なお、初期状態として、図1に示した4種類のインクタンク3(3Y,3M,3C,3K)にはそれぞれ、対応する色(4色)のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク3内のインクがインク循環機構8を介してインクジェットヘッド4内に充填された状態となっている。より具体的には、所定量のインクが、インク供給管81および流路プレート41を介してヘッドチップ40に供給され、液体供給路70を経て吐出チャネル54内に充填された状態となっている。
続いて、図1〜図8を参照して、インクジェットヘッド4における詳細動作(インクの噴射動作)について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド4(エッジシュートタイプ)では、以下のようにして、せん断(シェア)モードを用いたインクの噴射動作が行われる。なお、以下の噴射動作はインクジェットヘッド4に搭載された駆動回路(図示せず)により実行される。
次に、本実施の形態のヘッドチップ40、インクジェットヘッド4およびプリンタ1における作用および効果について詳細に説明する。
続いて、上記実施の形態の変形例(変形例1〜2)について説明する。なお、実施の形態における構成要素と実質的に同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
図14は、変形例1に係るインクジェットヘッド4Aにおける、吐出チャネル54に延在方向に沿った断面を表している。図13は、上記実施の形態のインクジェットヘッド4を表す図4に対応している。上記実施の形態のインクジェットヘッド4は、ヘッドチップ40とノズルプレート44との間に帰還プレート43が挿入され、インクタンク3とインクジェットヘッド4との間においてインク循環を行う構造を有している。これに対し、図13に示した変形例1に係るインクジェットヘッド4Aは、帰還プレート43を有していない。すなわち、ヘッドチップ40A,40Bの下端面511,521,531および流路プレート41の下端面411に、ノズルプレート44が接着剤等により接合されている。また、流路プレート41には、入口流路74が設けられているものの、出口流路75は設けられていない。したがって、インクジェットヘッド4Aでは、その内部におけるインク循環が行われずに、吐出チャネル54の開口54Kから吐出されるインクがノズルプレート44へ向かい、ノズル78から吐出されるようになっている。変形例1に係るインクジェットヘッド4Aは、上記の点を除き、他は上記実施の形態のインクジェットヘッド4と実質的に同じ構成を有するので、上記実施の形態のインクジェットヘッド4と同様の効果が期待できる。
図15は、変形例2に係るインクジェットヘッド4Bにおける、吐出チャネル54に延在方向に沿った断面を表している。図14は、上記実施の形態のインクジェットヘッド4を表す図4に対応している。上記実施の形態のインクジェットヘッド4は、1つの流路プレート41の両側にヘッドチップ40Aおよびヘッドチップ40Bが設けられた構造を有する。これに対し、図14に示した変形例2に係るインクジェットヘッド4Bは、1つの流路プレート41Bの片側のみにヘッドチップ40が設けられた構造を有している。変形例2に係るインクジェットヘッド4Bは、上記の点を除き、他は上記実施の形態のインクジェットヘッド4と実質的に同じ構成を有する。
以上、実施の形態および変形例をいくつか挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。
(1)
表面と、裏面と、前記表面と前記裏面とを繋ぐ厚さ方向に貫通すると共に前記厚さ方向と直交する第1の方向において互いに離間して隣り合うように設けられ、前記厚さ方向および前記第1の方向の双方と直交する第2の方向にそれぞれ延在する複数の吐出チャネル、を有するアクチュエータプレートと、
前記吐出チャネルの内面に設けられた電極と
を備え、
前記電極は、
前記吐出チャネルの内面を、前記表面から前記裏面に向けて連続的に覆う第1の電極部分と、
前記吐出チャネルの内面を、前記裏面から前記表面に向けて連続的に覆うと共に前記第1の電極部分の少なくとも一部と重なり合う第2の電極部分とを有する
液体噴射ヘッドチップ。
(2)
前記第1の電極部分は、前記表面から前記裏面に向かうほど膜厚が減少する箇所を有し、
前記第2の電極部分は、前記裏面から前記表面に向かうほど膜厚が減少する箇所を有する
上記(1)記載の液体噴射ヘッドチップ。
(3)
前記第1の電極部分および前記第2の電極部分は、前記吐出チャネルの前記内面を覆う第1の金属と、前記第1の金属を覆う第2の金属とを含む
上記(1)または上記(2)記載の液体噴射ヘッドチップ。
(4)
前記アクチュエータプレートは焼結された複数の粒子を有し、
前記第1の電極部分における前記複数の粒子に対する前記第1の金属と前記第2の金属との第1の積層方向と、前記第2の電極部分における前記複数の粒子に対する前記第1の金属と前記第2の金属との第2の積層方向と、が異なっている
上記(3)記載の液体噴射ヘッドチップ。
(5)
前記アクチュエータプレートは、前記裏面の端部領域に設けられて前記電極と接続された電極パッドをさらに有する
上記(1)記載の液体噴射ヘッドチップ。
(6)
前記アクチュエータプレートの前記表面と対向するように配置され、前記吐出チャネルと対向する液体流通孔を有するカバープレートをさらに備え、
前記吐出チャネルにおける前記第2の方向の端部は、前記カバープレートに対して傾斜して向き合う傾斜面を含み、
前記吐出チャネルにおける前記端部は、前記第2の電極部分が形成されずに前記内面または前記第1の電極部分が露出した露出部分を含んでいる
上記(1)から(5)のいずれか1つに記載の液体噴射ヘッドチップ。
(7)
前記アクチュエータプレートの前記裏面のうち前記端部領域以外のチャネル形成領域と対向するように配置され、前記吐出チャネルを閉塞する封止プレートをさらに備えた
上記(1)記載の液体噴射ヘッドチップ。
(8)
前記第1の電極部分は、前記厚さ方向において第1の深さを有し、
前記第2の電極部分は、前記厚さ方向において前記第1の深さよりも浅い第2の深さを有する
上記(5)記載の液体噴射ヘッドチップ。
(9)
上記(1)から上記(8)のいずれか1つに記載の液体噴射ヘッドチップを備えた液体噴射ヘッド。
(10)
帰還プレートをさらに備え、
前記吐出チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記裏面と交差する前方端面に露出した吐出端と、前記前方端面から前記アクチュエータプレートのうち前記前方端面とは反対側の後方端面と前記前方端面との間に位置する閉塞端とを有し、
前記帰還プレートは、前記アクチュエータプレートの前記前方端面を覆うように配置され、前記吐出チャネルと連通する循環路を含む
上記(9)記載の液体噴射ヘッド。
(11)
上記(9)または上記(10)に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドが取り付けられる基体と
を備えた液体噴射記録装置。
(12)
表面と、裏面と、前記表面および前記裏面と直交する厚さ方向において前記表面から前記裏面に至る途中の位置まで掘り下げられると共に前記厚さ方向と直交する第1の方向において互いに離間して隣り合うように設けられ、前記厚さ方向および前記第1の方向の双方と直交する第2の方向にそれぞれ延在する複数の吐出チャネルと、を有するアクチュエータプレートを用意することと、
前記吐出チャネルの内面に、前記表面側から第1の電極部分を蒸着することと、
前記アクチュエータプレートを前記裏面側から前記厚さ方向に削ることにより、前記吐出チャネルを前記裏面に露出させることと、
前記裏面に露出した前記吐出チャネルの内面に、前記第1の電極部分と一部重なり合うように前記裏面側から第2の電極部分を蒸着することで、前記第1の電極部分と前記第2の電極部分とを含む電極を形成することと
を含む
液体噴射ヘッドチップの形成方法。
(13)
前記アクチュエータプレートは、前記第1の方向において前記複数の吐出チャネルとそれぞれ隣り合うと共に前記第2の方向にそれぞれ延在する複数の非吐出チャネル、をさらに有し、
前記吐出チャネルの内面に前記表面側から前記第1の電極部分を蒸着する際に、前記非吐出チャネルの内面にも前記表面側から前記第1の電極部分を蒸着し、
前記アクチュエータプレートを前記裏面側から前記厚さ方向に削る際に、前記吐出チャネルと共に前記非吐出チャネルをも前記裏面に露出させ、
前記裏面に露出した前記吐出チャネルの内面に前記第2の電極部分を蒸着することにより、前記第1の電極部分と前記第2の電極部分とを含む前記電極としての共通電極を形成し、前記非吐出チャネルの内面にも前記第1の電極部分と一部重なり合うように前記裏面側から第2の電極部分を蒸着することで、前記非吐出チャネルの内面に前記第1の電極部分と前記第2の電極部分とを含む個別電極を形成し、
前記共通電極および前記個別電極を形成したのち、前記吐出チャネルを覆うことなく前記非吐出チャネルを覆うように前記裏面にマスクパターンを選択的に形成することと、
前記マスクパターンおよび前記裏面を全面的に覆うように導電膜を形成することと、
前記マスクパターンを除去することにより、共通電極パッドと、前記共通電極パッドと前記共通電極とを繋ぐ配線パターンとを形成する
上記(12)記載の液体噴射ヘッドチップの形成方法。
(14)
前記第1の電極部分を、前記吐出チャネルの内面に対して第1の蒸着角度で形成し、
前記第2の電極部分を、前記吐出チャネルの内面に対して前記第1の蒸着角度よりも大きな第2の蒸着角度で形成する
上記(12)または上記(13)に記載の液体噴射ヘッドチップの形成方法。
Claims (14)
- 表面と、裏面と、前記表面と前記裏面とを繋ぐ厚さ方向に貫通すると共に前記厚さ方向と直交する第1の方向において互いに離間して隣り合うように設けられ、前記厚さ方向および前記第1の方向の双方と直交する第2の方向にそれぞれ延在する複数の吐出チャネル、を有するアクチュエータプレートと、
前記吐出チャネルの内面に設けられた電極と
を備え、
前記電極は、
前記吐出チャネルの内面を、前記表面から前記裏面に向けて連続的に覆う第1の電極部分と、
前記吐出チャネルの内面を、前記裏面から前記表面に向けて連続的に覆うと共に前記第1の電極部分の少なくとも一部と重なり合う第2の電極部分とを有する
液体噴射ヘッドチップ。 - 前記第1の電極部分は、前記表面から前記裏面に向かうほど膜厚が減少する箇所を有し、
前記第2の電極部分は、前記裏面から前記表面に向かうほど膜厚が減少する箇所を有する
請求項1記載の液体噴射ヘッドチップ。 - 前記第1の電極部分および前記第2の電極部分は、前記吐出チャネルの前記内面を覆う第1の金属と、前記第1の金属を覆う第2の金属とを含む
請求項1または請求項2記載の液体噴射ヘッドチップ。 - 前記アクチュエータプレートは焼結された複数の粒子を有し、
前記第1の電極部分における前記複数の粒子に対する前記第1の金属と前記第2の金属との第1の積層方向と、前記第2の電極部分における前記複数の粒子に対する前記第1の金属と前記第2の金属との第2の積層方向と、が異なっている
請求項3記載の液体噴射ヘッドチップ。 - 前記アクチュエータプレートは、前記裏面の端部領域に設けられて前記電極と接続された電極パッドをさらに有する
請求項1記載の液体噴射ヘッドチップ。 - 前記アクチュエータプレートの前記表面と対向するように配置され、前記吐出チャネルと対向する液体流通孔を有するカバープレートをさらに備え、
前記吐出チャネルにおける前記第2の方向の端部は、前記カバープレートに対して傾斜して向き合う傾斜面を含み、
前記吐出チャネルにおける前記端部は、前記第2の電極部分が形成されずに前記内面または前記第1の電極部分が露出した露出部分を含んでいる
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドチップ。 - 前記アクチュエータプレートの前記裏面のうち前記端部領域以外のチャネル形成領域と対向するように配置され、前記吐出チャネルを閉塞する封止プレートをさらに備えた
請求項1記載の液体噴射ヘッドチップ。 - 前記第1の電極部分は、前記厚さ方向において第1の深さを有し、
前記第2の電極部分は、前記厚さ方向において前記第1の深さ寸法よりも浅い第2の深さ寸法を有する
請求項5記載の液体噴射ヘッドチップ。 - 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドチップを備えた液体噴射ヘッド。
- 帰還プレートをさらに備え、
前記吐出チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記裏面と交差する前方端面に露出した吐出端と、前記前方端面から前記アクチュエータプレートのうち前記前方端面とは反対側の後方端面と前記前方端面との間に位置する閉塞端とを有し、
前記帰還プレートは、前記アクチュエータプレートの前記前方端面を覆うように配置され、前記吐出チャネルと連通する循環路を含む
請求項9記載の液体噴射ヘッド。 - 請求項9または請求項10に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドが取り付けられる基体と
を備えた液体噴射記録装置。 - 表面と、裏面と、前記表面および前記裏面と直交する厚さ方向において前記表面から前記裏面に至る途中の位置まで掘り下げられると共に前記厚さ方向と直交する第1の方向において互いに離間して隣り合うように設けられ、前記厚さ方向および前記第1の方向の双方と直交する第2の方向にそれぞれ延在する複数の吐出チャネルと、を有するアクチュエータプレートを用意することと、
前記吐出チャネルの内面に、前記表面側から第1の電極部分を蒸着することと、
前記アクチュエータプレートを前記裏面側から前記厚さ方向に削ることにより、前記吐出チャネルを前記裏面に露出させることと、
前記裏面に露出した前記吐出チャネルの内面に、前記第1の電極部分と一部重なり合うように前記裏面側から第2の電極部分を蒸着することで、前記第1の電極部分と前記第2の電極部分とを含む電極を形成することと
を含む
液体噴射ヘッドチップの形成方法。 - 前記アクチュエータプレートは、前記第1の方向において前記複数の吐出チャネルとそれぞれ隣り合うと共に前記第2の方向にそれぞれ延在する複数の非吐出チャネル、をさらに有し、
前記吐出チャネルの内面に前記表面側から前記第1の電極部分を蒸着する際に、前記非吐出チャネルの内面にも前記表面側から前記第1の電極部分を蒸着し、
前記アクチュエータプレートを前記裏面側から前記厚さ方向に削る際に、前記吐出チャネルと共に前記非吐出チャネルをも前記裏面に露出させ、
前記裏面に露出した前記吐出チャネルの内面に前記第2の電極部分を蒸着することにより、前記第1の電極部分と前記第2の電極部分とを含む前記電極としての共通電極を形成し、前記非吐出チャネルの内面にも前記第1の電極部分と一部重なり合うように前記裏面側から前記第2の電極部分を蒸着することで、前記非吐出チャネルの内面に前記第1の電極部分と前記第2の電極部分とを含む個別電極を形成し、
前記共通電極および前記個別電極を形成したのち、前記吐出チャネルを覆うことなく前記非吐出チャネルを覆うように前記裏面にマスクパターンを選択的に形成することと、
前記マスクパターンおよび前記裏面を全面的に覆うように導電膜を形成することと、
前記マスクパターンを除去することにより、共通電極パッドと、前記共通電極パッドと前記共通電極とを繋ぐ配線パターンとを形成する
請求項12記載の液体噴射ヘッドチップの形成方法。 - 前記第1の電極部分を、前記吐出チャネルの内面に対して第1の蒸着角度で形成し、
前記第2の電極部分を、前記吐出チャネルの内面に対して前記第1の蒸着角度よりも大きな第2の蒸着角度で形成する
請求項12または請求項13に記載の液体噴射ヘッドチップの形成方法。
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