JP2017193125A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017193125A JP2017193125A JP2016085304A JP2016085304A JP2017193125A JP 2017193125 A JP2017193125 A JP 2017193125A JP 2016085304 A JP2016085304 A JP 2016085304A JP 2016085304 A JP2016085304 A JP 2016085304A JP 2017193125 A JP2017193125 A JP 2017193125A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- side wall
- channel
- substrate
- liquid
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【課題】側壁3を大きく変形させて駆動効率の向上を図る。【解決手段】本発明による液体噴射ヘッド1は、チャンネル2aとこれに隣接する隣接チャンネル2bの間に位置し、上方向に分極する圧電体3aと下方向に分極する圧電体3bが分極境界Bを挟んで高さ方向に積層する側壁3と、チャンネル2aの上部に位置し側壁3の上端面UPに係止する第一基板4と、チャンネル2aの下部に位置し側壁3の下端面BPに係止する第二基板5と、を備え、側壁3はチャンネル2aの側及び隣接チャンネル2bの側の両方の側面に側面の上端から下端に亘る側面電極6a、6bを備え、分極境界Bは側壁3の高さの1/2よりも下方に位置し、第二基板5は第一基板4よりも剛性が小さい。【選択図】図1
Description
本発明は、被記録媒体に液滴を吐出して記録する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字や図形を記録する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料などの液体を液体タンクから供給管を介して液体噴射ヘッドのチャンネルに供給し、チャンネルの液体に圧力を印加してチャンネルに連通するノズルから液滴として吐出する。液滴の吐出の際には、液体噴射ヘッドや被記録媒体を移動させて文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜や三次元構造を形成する。
この種の液体噴射ヘッドとして、圧電体の厚み滑り変形を利用するシアモードタイプが知られている。シアモードタイプは圧電体基板の表面に吐出溝とダミー溝を交互に配列し、吐出溝とダミー溝の間に圧電体から成る側壁を形成する。側壁の吐出溝の側の側壁面とダミー溝の側の側壁面に駆動電極を形成して側壁を2つの駆動電極により挟む。吐出溝の側の駆動電極には共通電位、例えばGNDの電位を与え、ダミー溝の側の駆動電極には高い電位の駆動電圧を与える。これにより側壁を変形させて吐出溝に連通するノズルから液滴を吐出する。近年、高密度記録の要請から吐出溝の数が増加している。吐出溝の数が増加するとヘッド部の温度が上昇しやすくなり、駆動効率が低下する。そのため、駆動効率を上昇させて液滴の吐出に要するエネルギーを小さくすることが重要となっている。つまり、小さなエネルギーで側壁を大きく変位させ、ヘッド部の温度上昇を抑制し駆動効率を改善することが求められる。
例えば、特許文献1には、上半分の分極方向と下半分の分極方向が反対側を向くシェブロン構造基板を用いて作成されるサイドシュート構造型の液体噴射ヘッドが開示されている(特許文献1の図8)。液体噴射ヘッドは、上半分の分極方向と下半分の分極方向が反対側を向く圧電体から成り、並列に設置される複数の側壁と、複数の側壁の下端面に設置されるノズルプレートと、複数の側壁の上端面に設置されるカバープレートの積層構造を備える。側壁を間に挟んで吐出溝とダミー溝が交互に配列する。ノズルプレートは吐出溝に連通するノズルを備える。カバープレートは、複数の吐出溝に液体を供給する供給口と複数の吐出溝から液体を排出する排出口を備える。そして、吐出溝には液体が充填され、ダミー溝には液体が充填されない。各側壁はノズルプレート側の下端からカバープレート側の上端に亘る側面に駆動電極を備える。
吐出溝の側の駆動電極をGNDの電位に、両隣のダミー溝の側の駆動電極に駆動電圧を印加して側壁を屈曲させ、吐出溝内に充填される液体に圧力波を生じさせてノズルから液滴を吐出する。側壁の下端から上端に亘る駆動電極に駆動電圧を印加するので、例えば特許文献1の図6に示されるような、側壁の側面の上半分又は下半分に形成される駆動電極に駆動電圧を印加する場合よりも駆動効率を向上させることができる。
特許文献1の液体噴射ヘッドでは、吐出溝とダミー溝の間の側壁の分極境界は側壁の高さの1/2に位置する。そして、側壁の上端面に設置されるカバープレートは、通常、側壁と同じ材料が使用される。一方、側壁の下端面に設置されるノズルプレートはカバープレートよりも剛性が小さい。そのため、駆動電極に駆動電圧を印加して側壁を変形させるときに、ノズルプレートが変形して液滴の吐出性能に影響を与える可能性がある。例えば、側壁の下端部がノズルプレートの面方向に変位して吐出効率を低下させる虞がある。また、ノズルプレートが液滴の吐出方向に変位して液滴の吐出方向を変化させる虞がある。そこで、シェブロン構造の側壁を用い、側壁の両側面に下端から上端に亘る駆動電極を設置し、側壁の上端面に設置する基板よりも側壁の下端面に設置する基板の方の剛性を小さくする場合において、駆動効率を向上させることが可能な液体噴射ヘッドを提供する。
本発明の液体噴射ヘッドは、チャンネルとこれに隣接する隣接チャンネルの間に位置し、上方向に分極する圧電体と下方向に分極する圧電体が分極境界を挟んで高さ方向に積層する側壁と、前記チャンネルの上部に位置し前記側壁の上端面に係止する第一基板と、前記チャンネルの下部に位置し前記側壁の下端面に係止する第二基板と、を備え、前記側壁は前記チャンネルの側及び前記隣接チャンネルの側の両方の側面に前記側面の上端から下端に亘る側面電極を備え、前記分極境界は前記側壁の高さの1/2よりも下方に位置し、前記第二基板は前記第一基板よりも剛性が小さいこととした。
また、前記分極境界は前記側壁の高さの1/4よりも上方に位置することとした。
また、前記側壁は、前記上端面又は前記下端面に前記チャンネルの側又は前記隣接チャンネルの側の前記側面電極と電気的に接続する端面電極を備えることとした。
また、前記側壁は、前記上端面及び前記下端面のそれぞれに前記チャンネルの側又は前記隣接チャンネルの側の前記側面電極と電気的に接続する端面電極を備えることとした。
また、前記端面電極は、印加される駆動電圧のうち低電圧が印加される前記側面電極に電気的に接続し前記駆動電圧のうち高電圧が印加される前記側面電極には電気的に接続しないこととした。
また、前記端面電極は、前記上端面又は前記下端面の前記低電圧が印加される前記側面電極の側の端部から前記側壁の厚さ方向に延在することとした。
また、前記端面電極は前記側壁の厚さ方向の幅が前記上端面又は前記下端面の前記側壁の厚さ方向の幅の略1/2であることとした。
前記側壁に連続する圧電体基板を備え、前記圧電体基板の上面が前記上端面と同一平面を成し、前記圧電体基板の下面が前記下端面と同一平面を成すこととした。
前記側壁は、前記上端面又は前記下端面に前記チャンネルの側又は前記隣接チャンネルの側の前記側面電極と電気的に接続する端面電極を備え、前記圧電体基板は、その上面又は下面に前記端面電極と電気的に接続する端子電極を備えることとした。
前記上方向に分極する圧電体が上方に位置し、前記下方向に分極する圧電体が下方に位置し、前記チャンネルは液体を保持し、前記隣接チャンネルは液体を保持せず、前記チャンネルと前記隣接チャンネルは交互に配列することとした。
また、前記第一基板は複数の前記チャンネルに液体を供給する液体供給室を備え、前記第二基板は前記チャンネルに連通するノズルを備えることとした。
また、前記第一基板は複数の前記チャンネルに液体を供給する液体供給室を備え、前記側壁は前記上端面、前記下端面及び前記側面のそれぞれに交差する側端面を備え、前記側端面に前記チャンネルに連通するノズルを備えるノズルプレートが固定されることとした。
本発明の液体噴射装置は、上記の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。
本発明による液体噴射ヘッドは、チャンネルとこれに隣接する隣接チャンネルの間に位置し、上方向に分極する圧電体と下方向に分極する圧電体が分極境界を挟んで高さ方向に積層する側壁と、チャンネルの上部に位置し側壁の上端面に係止する第一基板と、チャンネルの下部に位置し側壁の下端面に係止する第二基板と、を備え、側壁はチャンネルの側及び隣接チャンネルの側の両方の側面に側面の上端から下端に亘る側面電極を備え、分極境界は側壁の高さの1/2よりも下方に位置し、第二基板は第一基板よりも剛性が小さい。これにより、側壁が大きく変形し駆動効率の向上を図ることができる。
(第一実施形態)
図1は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分断面模式図である。図2は液体噴射ヘッドの分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位の関係を表すグラフである。以下の説明において、高さ方向がz方向、チャンネル2a及び隣接チャンネル2bの配列方向がx方向、チャンネル2a又は隣接チャンネル2bの奥行き方向がy方向である。
図1は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分断面模式図である。図2は液体噴射ヘッドの分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位の関係を表すグラフである。以下の説明において、高さ方向がz方向、チャンネル2a及び隣接チャンネル2bの配列方向がx方向、チャンネル2a又は隣接チャンネル2bの奥行き方向がy方向である。
図1に示すように、液体噴射ヘッド1は、複数の側壁3、3’と、側壁3、3’の上端面UPに係止する第一基板4と、側壁3、3’の下端面BP、BP’に係止し第一基板4よりも剛性の小さい第二基板5と、を備える。側壁3は、チャンネル2aとこのチャンネル2aに隣接する隣接チャンネル2bの間に位置する。側壁3’は、チャンネル2aとこのチャンネル2aに隣接する隣接チャンネル2b’の間に位置する。側壁3、3’は上方向に分極する圧電体3aと下方向に分極する圧電体3bが分極境界Bを挟んで高さ方向に積層する。分極境界Bは側壁3、3’の高さHcの1/2の高さよりも下方に位置する。第一基板4はチャンネル2a及び隣接チャンネル2bの上部に位置し、第二基板5はチャンネル2a及び隣接チャンネル2bの下部に位置する。側壁3は、チャンネル2aの側及び隣接チャンネル2bの側の両方の側面にその側面の上端から下端に亘る側面電極6a、6bをそれぞれ備える。側壁3’も同様に、チャンネル2aの側及び隣接チャンネル2b’の側の両方の側面にその側面の上端から下端に亘る側面電極6a’、6b’をそれぞれ備える。この構成により、側壁3、3’の平均変位ΔXaveが増加し、駆動効率の向上を図ることができる。
具体的に説明する。側壁3は圧電体材料、例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)セラミックスを使用することができる。側壁3は、上方向(+z方向)に分極する圧電体3aと下方向(−z方向)に分極する圧電体3bとが接着剤により接合され、接合面が分極境界Bを成す。側壁3は、圧電体3aが下方向に分極し、圧電体3bが上方向に分極してもよい。第一基板4はセラミックス材料や合成樹脂材料を使用することができる。第一基板4として側壁3と同じ熱膨張係数の材料、例えばPZTセラミックスを使用すれば、環境の温度変化による液体噴射ヘッド1の歪を防止することができる。第二基板5は、金属薄板、セラミックス材料、合成樹脂フィルム等を用いることができ、例えばポリイミドフィルムを使用することができる。第一基板4としてPZTセラミックスを使用し第二基板5としてポリイミドフィルムを使用すれば、第二基板5は第一基板4よりも剛性が小さい。分極境界Bの高さHbは、チャンネル2aの高さHcの1/2よりも下方とする。
第一基板4は側壁3、3’の上端面UP、UP’に接着剤により接着され、第二基板5は側壁3、3’の下端面BP、BP’に接着剤により接着される。これにより、2つの側壁3、3’、第一基板4及び第二基板5に囲まれるチャンネル2aと、チャンネル2aを挟む隣接チャンネル2b、2b’が構成される。側壁3、3’は、チャンネル2aの側の側面にその側面の上端から下端に亘る側面電極6a、6a’と、隣接チャンネル2b、2b’の側の側面にその側面の上端から下端に亘る側面電極6b、6b’をそれぞれ備える。側面電極6a、6a’、6b、6b’は、金属材料や半導体材料などの導体膜から成り、例えばNi、Au、Ag、Cu、Cr、Al等の金属薄膜をめっき法や斜め蒸着法等により形成することができる。
本実施形態では、チャンネル2aが液滴を吐出する吐出チャンネルであり、隣接チャンネル2b、2b’が液滴を吐出しない非吐出チャンネルである。第二基板5はノズルプレートであり、チャンネル2aに連通するノズル10を備える。従って、液滴は下方である−z方向に吐出される。チャンネル2a及び隣接チャンネル2b、2b’は、チャンネルの並び方向であるx方向の幅がそれぞれ30μm〜100μmであり、チャンネルの奥行き方向であるy方向の幅が0.4mm〜4mmであり、チャンネルの高さ方向であるz方向の幅が150μm〜400μmである。また、側壁3のx方向の幅が30μm〜100μmである。
液体噴射ヘッド1は次のように駆動する。側壁3、3’のチャンネル2aの側の2つの側面電極6a、6a’と側壁3、3’の隣接チャンネル2b、2b’の側の2つの側面電極6b、6b’との間に駆動電圧を印加する。すると、チャンネル2aを挟む2つの側壁3、3’は互いに逆方向に“くの字”状に変形し、チャンネル2aの容積が瞬間的に増加又は減少する。側壁3、3’の“くの字”状の変形は分極境界Bの位置が最も大きい。これにより、チャンネル2aに充填される液体に圧力波が生じる。実際にはチャンネル2aの容積が一旦増加するように側壁3、3’を変形させてチャンネル2aに液体を引き込み、次にチャンネル2aの容積が縮小するように側壁3、3’を変形させて圧力波を生成する。この圧力波がノズル10に達してノズル10から液滴が吐出される。
チャンネル2aと隣接チャンネル2b(2b’)はx方向に交互に配列する。本実施形態では吐出チャンネルであるチャンネル2aに液体を充填し非吐出チャンネルである隣接チャンネル2b、2b’には液体を充填しない。側壁3、3’のチャンネル2aの側の側面電極6a、6a’を一定電圧にし、側壁3、3’の隣接チャンネル2b、2b’の側の側面電極6b、6b’にそれぞれ個別の駆動電圧を印加すれば、導電性の液体を使用しても側面電極6a、6a’が電気化学反応等により腐食するのを抑制することができる。また、側面電極6a、6a’をGNDに接続すれば、どのチャンネル2aの側面電極6a、6a’もGND電位となり、また、隣接チャンネル2b、2b’には液体が充填されないので、電気化学反応等により腐食するのを防止し、信頼性の向上を図ることができる。
なお、本第一実施形態は第二基板5をノズルプレートとして液滴を−z方向を吐出する構成であるが、本発明はこれに限定されず、ノズルプレートを側壁3、3’の側端面SP(第七実施形態の図13を参照)に設置して、液滴をy方向に吐出するエッジシュート型としてもよい。また、本第一実施形態は、チャンネル2aを吐出チャンネル、隣接チャンネル2bを非吐出チャンネルとして構成するが、本発明はこの構成に限定されず、チャンネル2a及び隣接チャンネル2bをすべて吐出チャンネルとして構成し、各吐出チャンネルを例えば3サイクルで間歇的に駆動する構成であってもよい。
図2は、本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド1の、分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位との関係を示すシミュレーション結果である。横軸は分極境界Bの位置Pを表し、縦軸は側壁3の平均変位ΔXaveを表す。分極境界Bの位置Pは、側壁3の高さ(チャンネル2aの高さと同じ)をHc、分極境界Bの高さをHbとして、P=Hb/Hcにより表す。側壁3の平均変位ΔXaveは、側壁3のxz平面における変形面積ΔSをチャンネル2aの高さHc、つまり側壁3の高さで除した式(1)の値である。
ΔXave=ΔS/Hc・・・・(1)
ΔXave=ΔS/Hc・・・・(1)
図2中の実線のグラフG1が本発明の液体噴射ヘッド1の平均変位ΔXaveであり、破線のグラフG0が従来の液体噴射ヘッドの平均変位ΔXaveである。ここで、従来の液体噴射ヘッドは、第二基板5が第一基板4と同じ剛性を有する。本シミュレーションにおいては、側壁3の高さが200μm、側壁3のx方向の幅が45μm、チャンネル2aのx方向の幅が40μmであり、側壁3がPZTセラミックスで分極境界Bを挟んで上下方向に分極処理が施され、第一基板4が未分極のPZTセラミックスであり、第二基板5が厚さ50μmのポリイミドフィルムである。また、従来の液体噴射ヘッドは、第二基板5が第一基板4と同じPZTセラミックスを使用する点が本発明の構成と異なる。その他の構成及び印加する駆動電圧は本発明と同じである。
破線のグラフG0に示すように、第一基板4と第二基板5が同じ剛性のPZTセラミックスの場合は、分極境界Bの位置Pが1/2、即ち側壁3の半分の高さのときに平均変位ΔXaveが最大となる。これに対し、実線のグラフG1に示す本発明では、分極境界Bの位置Pが側壁3の高さHcの1/4〜1/2のときに従来の液体噴射ヘッドの最大の平均変位ΔXaveよりも大きく、分極境界Bの位置Pが側壁3の高さHcの略3/8のときに平均変位ΔXaveが最大となる。従って、分極境界Bの位置Pは側壁3の高さHcに対して、好ましくは1/4〜1/2とし、より好ましくは略3/8とするのがよい。同じ駆動電圧を印加するとき、本発明の液体噴射ヘッド1の方が従来の液体噴射ヘッドよりも側壁3の平均変位ΔXaveが大きく、駆動効率を向上させることができる。
(第二実施形態)
図3は本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分断面模式図である。図4は液体噴射ヘッド1の分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位ΔXave及び第二基板5の変位Δzの関係を表すグラフである。第一実施形態と異なる点は、側壁3の下端面BPに端面電極7を備える点であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。以下の説明においては主に第一実施形態と異なる構成について説明し、同一の構成については説明を省略する。同一の部分及び同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図3は本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分断面模式図である。図4は液体噴射ヘッド1の分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位ΔXave及び第二基板5の変位Δzの関係を表すグラフである。第一実施形態と異なる点は、側壁3の下端面BPに端面電極7を備える点であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。以下の説明においては主に第一実施形態と異なる構成について説明し、同一の構成については説明を省略する。同一の部分及び同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図3に示すように、側壁3は、チャンネル2aの側及び隣接チャンネル2bの側の両方の側面にその側面の上端から下端に亘る側面電極6a、6bをそれぞれ備える。側壁3は、更に、下端面BPのチャンネル2aの側の側面電極6aと電気的に接続する端面電極7aを備える。チャンネル2aを挟んで対向する側壁3’にも、下端面BP’のチャンネル2aの側の側面電極6a’と電気的に接続する端面電極7a’を備える。
側壁3、第一基板4、第二基板5等の構成や材質は第一実施形態と同様である。また、側壁3、3’の分極境界Bの高さHbは、側壁3、3’の高さ、つまりチャンネル2aの高さHcの1/2よりも下方に位置する。側壁3は、チャンネル2a及び隣接チャンネル2bの側の両方の側面にその側面の上端から下端に亘る側面電極6a、6bをそれぞれ備え、側壁3’は、チャンネル2a及び隣接チャンネル2b’の側の両方の側面にその側面の上端から下端に亘る側面電極6a’、6b’をそれぞれ備えることも、第一実施形態と同様である。ここで、側壁3、3’のチャンネル2aの側の側面電極6a、6a’には駆動電圧のうち低電圧が印加され、隣接チャンネル2b、2b’の側の側面電極6b、6b’には駆動電圧のうち高電圧が印加される。例えば、側壁3、3’のチャンネル2aの側の側面電極6a、6a’がGNDに接続され、側壁3、3’の隣接チャンネル2b、2b’の側の側面電極6b、6b’に駆動電圧が印加される。
端面電極7aは、低電圧が印加される側面電極6aに電気的に接続し、側壁3の下端面BPの側面電極6aの側の端部から側壁3の厚さ方向(x方向)に向けて延在する。端面電極7a’は、低電圧が印加される側面電極6a’に電気的に接続し、側壁3’の下端面BP’の側面電極6a’の側の端部から側壁3’の厚さ方向に向けて延在する。言い換えると、チャンネル2aの側の側面電極6a、6a’はそれぞれ側壁3、3’の下端面BP、BP’まで折れ曲がって延在する。
図4(a)は、分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位ΔXaveの関係を示すシミュレーション結果である。図4(b)は、分極境界Bの位置Pと第二基板5のz方向の変位Δzの関係を示すシミュレーション結果である。図4(a)の横軸は分極境界Bの位置Pを表し、縦軸は側壁3の平均変位ΔXaveを表す。図4(b)の横軸は分極境界Bの位置を表し、縦軸はチャンネル2aの領域の第二基板5のz方向の変位Δzを表す。破線により示すグラフG1、G3が第一実施形態の液体噴射ヘッド1の場合であり、実線により示すグラフG2、G4が本第二実施形態の液体噴射ヘッド1の場合である。
図4(a)に示すように、側壁3の平均変位ΔXaveは、第一実施形態の液体噴射ヘッド1と同様に本第二実施形態の液体噴射ヘッド1においても、分極境界Bの位置Pが1/4〜1/2のときに平均変位ΔXaveが高く、分極境界Bの位置Pが側壁3の高さHcの略3/8のとき平均変位ΔXaveが最大となる。従って、分極境界Bの位置Pは、好ましくは1/4〜1/2とし、より好ましくは略3/8とするのがよい。これにより、駆動効率を向上させることができる。
更に、図4(b)に示すように、第二基板5のz方向の変位Δzは、分極境界Bの位置Pが高くなる第一基板4の側に近づくほど第二基板5は−z方向に凹み、分極境界Bの位置Pが第二基板5の側に近づくほど第二基板5は上方の+z方向に盛り上がる。そして、分極境界Bの位置Pが1/4〜1/2の範囲において、第一実施形態の液体噴射ヘッド1のグラフG3よりも本第二実施形態の液体噴射ヘッド1のグラフG4は下方に略0.5×10-9mスライドする。そして、側壁3のΔXaveが最大となる分極境界Bの位置Pが略3/8において、グラフG4の第二基板5の変位ΔzはグラフG3の略半分の大きさに減少する。また、端面電極7aの幅Wは、他のシミュレーションによれば、側壁3の下端面BPのx方向の幅Woに対して1/3よりも大きいときにz方向の変位Δzが小さい。そこで、製造方法を考慮すれば、端面電極7a、7a’のx方向の幅Wは、好ましくは側壁3、3’の下端面BP、BP’のx方向の幅Woの1/3〜2/3とする。端面電極7a、7a’のx方向の幅Wを下端面BP、BP’のx方向の幅Woの2/3よりも広くすると端面電極7a、7a’が側面電極6bに近づいて短絡しやすくなり、1/3よりも狭くするとz方向の変位Δzが次第に大きくなる。端面電極7a、7a’のx方向の幅Wは、より好ましくは下端面BP、BP’のx方向の幅Woの略1/2とするのがよい。端面電極7a、7a’の製造が容易であり、かつ、第二基板5のz方向の変位Δzを小さく抑制することができる。
これにより、ノズル10から吐出する液滴の吐出方向のばらつきを低減させることができる。このように、側壁3、3’の下端面BP、BP’にそれぞれ端面電極7a、7a’を設置し、側面電極6a、6a’を下端面BP、BP’にそれぞれ延設して、側壁3、3’の高さ方向(z方向)の変位Δzを抑制することができる。そのため、第二基板5として剛性の小さい基板、例えばポリイミドフィルムを使用しても、剛性の高い材料の補強板を設置する必要が無い。
(第三実施形態)
図5は本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分分解斜視図である。図6は本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド1の説明図である。図6(a)は液体噴射ヘッド1のチャンネル2aの断面模式図であり、図6(b)は液体噴射ヘッド1の隣接チャンネル2bの断面模式図であり、図6(c)は液体噴射ヘッド1の圧電体基板8を第二基板5の側から見る背面模式図である。本第三実施形態はサイドシュート型の液体噴射ヘッド1の例である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図5は本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分分解斜視図である。図6は本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド1の説明図である。図6(a)は液体噴射ヘッド1のチャンネル2aの断面模式図であり、図6(b)は液体噴射ヘッド1の隣接チャンネル2bの断面模式図であり、図6(c)は液体噴射ヘッド1の圧電体基板8を第二基板5の側から見る背面模式図である。本第三実施形態はサイドシュート型の液体噴射ヘッド1の例である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図5に示すように、液体噴射ヘッド1は、側壁3に連続する圧電体基板8と、側壁3の上端面UPに係止する第一基板4と、側壁3の下端面BPに係止する第二基板5とを備える。圧電体基板8の上面USが側壁3の上端面UPに連続し、圧電体基板8の下面BSが側壁3の下端面BPに連続する。側壁3はチャンネル2aとこれに隣接する隣接チャンネル2bの間に位置し、上方向(+z方向)に分極する圧電体3aと下方向(―z方向)に分極する圧電体3bが分極境界Bを挟んで高さ方向に積層する(図6(a)、(b)を参照)。分極境界Bは側壁3の高さHcの1/2の高さよりも下方(−z方向)に位置する。第一基板4はチャンネル2a及び隣接チャンネル2bの上部に位置する。第二基板5は、チャンネル2a及び隣接チャンネル2bの下部に位置し、第一基板4よりも剛性が小さい。側壁3は、チャンネル2aの側及び隣接チャンネル2bの側の両方の側面に、その側面の上端から下端に亘る側面電極6a及び側面電極6bをそれぞれ備える。
具体的に説明する。圧電体基板8は上方向に分極する圧電体3aと下方向に分極する圧電体3bを接着剤により重ねて接合される積層板から成る。圧電体基板8は、y方向に細長い形状を有し、圧電体基板8の上面USから下面BSに貫通する吐出溝2x及びダミー溝2yを備える。側壁3の上端面UPに第一基板4が設置され、下端面BPに第二基板5が設置され、吐出溝2x及びダミー溝2yはそれぞれチャンネル2a及び隣接チャンネル2bを構成する。吐出溝2xとダミー溝2yは側壁3を介してx方向に交互に配列する。即ち、圧電体基板8と側壁3は連続し、圧電体基板8の上面USが側壁3の上端面UPと同一平面を成し、圧電体基板8の下面BSが側壁3の下端面BPと同一平面を成す。圧電体基板8は、側壁3と同様に、圧電体3aと圧電体3bの間に分極境界Bを有する。分極境界Bは圧電体基板8のz方向の高さの1/2の高さよりも下方に位置する。圧電体3a、3bはPZTセラミックスを使用することができる。分極境界Bは、好ましくは圧電体基板8のz方向の高さの1/4〜1/2とし、より好ましくは圧電体基板8のz方向の高さの略3/8とする。理由は第一及び第二実施形態と同様である。なお、本発明においては、圧電体基板8は側壁3の領域を除いて分極処理を施さなくてもよい。
図6(a)、(b)に示すように、吐出溝2xは長手方向(y方向)の端部が下面BSから上面USに切り上がる傾斜面を成す。ダミー溝2yは長手方向の一端が上面USから下面BSに切り下がる傾斜面を成し、他端が下面BSに開口し圧電体基板8の他端まで延在する浅溝2zから成る。ダミー溝2yは、中央部が上面USに開口する貫通孔から成り、貫通孔の浅溝2z側の端部が上面USから浅溝2zの底面に切り下がる傾斜面を成す。吐出溝2x及びダミー溝2yは円盤状の研削板、例えばダイシングブレードを用いて形成する。そのため溝の端部に研削板の外形が転写される。例えば、吐出溝2xは上面USから下面BSに向けて研削するので溝の端部に下面BSから上面USに切り上がる傾斜面が残り、ダミー溝2yは下面BSから上面USに向けて研削するので上面US側の開口端部に上面USから下方(−z方向)に切り下がる傾斜面が残る。そして、圧電体基板8の上面USにはy方向の長さの長い吐出溝2xとy方向の長さの短いダミー溝2yがx方向に交互に配列する。
図6(a)〜(c)に示すように、側壁3は、吐出溝2x側の側面に、側面の下端から上端に亘る側面電極6aを備え、ダミー溝2y側の側面に、側面の下端から上端に亘る側面電極6bを備える。側面電極6aは吐出溝2xが下面BSに開口する開口部に対応する領域の両側面に位置する。側面電極6bはダミー溝2yが上面USに開口する開口部に対応する領域の両側面から浅溝2zの端部までの両側面に位置する。側壁3は吐出溝2x側の下端面BPに側面電極6aと電気的に接続する端面電極7aを備える。圧電体基板8はその下面BSの端部近傍に端子電極9を備える。端子電極9は共通端子9aと個別端子9bを含み、共通端子9aが端面電極7aと電気的に接続し、個別端子9bは側面電極6bと電気的に接続する。個別端子9bは下面BSの端部に位置し、吐出溝2xに隣接する2つの側面電極6bに電気的に接続する。共通端子9aは下面BSの個別端子9bよりも吐出溝2x側に位置し、吐出溝2xを挟む2つの側面電極6aに2つの端面電極7aを介して電気的に接続する。端面電極7aは側壁3の厚さ方向(x方向)の幅Wが側壁3の下端面BPのx方向の幅Woの略1/2である。側面電極6a、6b、端面電極7a、共通端子9a及び個別端子9bは導体材料の蒸着法、スパッタリング法、或いはめっき法などの既知の方法により基板表面に堆積し、フォトリソグラフィ法などの既知の方法によりパターンを形成することができる。
第一基板4は圧電体基板8の上面USと側壁3の上端面UPに接着剤により接着される。第一基板4のy方向の幅は圧電体基板8のy方向の幅と同じである。第一基板4は2つの液体供給室4a、4bを備える。一方の液体供給室4aは複数の吐出溝2xの一方の端部に連通し、他方の液体供給室4bは複数の吐出溝2xの他方の端部に連通する。圧電体基板8の上面US(つまり側壁3の上端面UP)に開口するダミー溝2yのy方向の長さは吐出溝2xのy方向の長さよりも短いので、液体供給室4a、4bをダミー溝2yに連通しないように構成することができる。第一基板4はセラミックス材料やプラスチック材料を使用することができる。第一基板4として圧電体基板8と同じ熱膨張係数の材料、例えばPZTセラミックスを使用すれば、環境の温度変化による液体噴射ヘッド1の歪を防止することができる。第一基板4としてPZTセラミックスを使用すれば、ヤング率は約70GPaである。
第二基板5は圧電体基板8の下面BSと側壁3の下端面BPに接着剤により接着される。第二基板5は複数のノズル10を備える。複数のノズル10は複数の吐出溝2xにそれぞれ連通する。ノズル10は吐出溝2xのy方向の中央に位置する。第二基板5は第一基板4よりも剛性が小さい。第二基板5として金属薄板、合成樹脂フィルム等を使用することができる。第二基板5として厚さ50μmのポリイミドフィルムを使用すれば、ヤング率は約3GPaであり、第一基板4よりも剛性が小さい。圧電体基板8に第一基板4と第二基板5を設置することにより、吐出溝2xがチャンネル2aを構成し、ダミー溝2yが隣接チャンネル2bを構成する。そして、共通端子9a、個別端子9bに図示しないフレキシブル基板を設置し、図示しない駆動電圧生成回路からフレキシブル基板を介して駆動電圧が供給される。
液体噴射ヘッド1は次のように駆動する。第一基板4の液体供給室4a又は液体供給室4b、或いは両方の液体供給室4a、4bに液体を供給し、吐出溝2x、つまりチャンネル2aに液体を充填する。液体供給室4a、4bはダミー溝2y、つまり隣接チャンネル2bには連通せず、液体は供給されない。そして、図示しない駆動回路により生成する駆動電圧を図示しないフレキシブル基板を介して共通端子9aと個別端子9bの間に供給する。この際に、共通端子9aを低電圧、例えばGNDの電位を与え、個別端子9bに高電圧の駆動電圧を与える。これにより、側壁3のチャンネル2aの側の側面電極6a及び側壁3の下端面BPの端面電極7aが低電圧となり、チャンネル2aを挟む2つの隣接チャンネル2bのチャンネル2aの側の2つの側面電極6bに高電圧の駆動電圧が印加され、チャンネル2aを挟む2つの側壁3が厚みすべり変形して、チャンネル2a内の液体に圧力波が生成される。この圧力波が第二基板5のノズル10に到達してノズル10から液滴が吐出される。
このように、分極境界Bの位置P(=分極境界Bの高さHb/側壁3の高さHc)を側壁3の高さHcの1/2よりも低くすることにより側壁3を大きく変形させることができ、駆動効率を向上させることができる。更に、分極境界Bの位置Pは、側壁3の高さHcに対して好ましくは1/4〜1/2とし、より好ましくは略3/8とする。同じ駆動電圧で駆動効率を一層向上させることができる。
また、チャンネル2aを挟む2つの側壁3は第二実施形態と同様に駆動され、第二基板5のz方向の変位Δzを小さく抑えることができる。製造方法を考慮すれば、端面電極7aのx方向の幅Wは、好ましくは下端面BPのx方向の幅Woの1/3〜2/3とする。第二実施形態と同様に、端面電極7aのx方向の幅Wを下端面BPのx方向の幅Woの2/3よりも広く形成しようとすると、端面電極7aが側面電極6bに近づいて短絡しやすくなり、1/3よりも狭くするとz方向の変位Δzが次第に大きくなる。端面電極7aのx方向の幅Wは、より好ましくは略1/2とするのがよい。端面電極7aの製造が容易で、第二基板5のz方向の変位Δzを小さく抑制することができる。また、どのチャンネル2aの側面電極6aもGND電位となり、かつ、どの隣接チャンネル2bにも液体が充填されないので、側面電極6a、6bの電気化学反応等による腐食を防止し、信頼性が向上する。また、共通端子9a及び個別端子9bは圧電体基板8の第二基板5の側の下面BSに設けているので、駆動回路を搭載する回路基板と電気的に接続するフレキシブル基板を容易に接続することができる。
(第四実施形態)
図7は本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分断面模式図である。図8は液体噴射ヘッド1の分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位ΔXave及び第二基板5の変位Δzの関係を表すグラフである。第二実施形態と異なる点は、側壁3の上端面UPに端面電極7を備える点であり、その他の構成は第二実施形態と同様である。以下の説明においては主に第二実施形態と異なる構成について説明し、同一の構成については説明を省略する。同一の部分及び同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図7は本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分断面模式図である。図8は液体噴射ヘッド1の分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位ΔXave及び第二基板5の変位Δzの関係を表すグラフである。第二実施形態と異なる点は、側壁3の上端面UPに端面電極7を備える点であり、その他の構成は第二実施形態と同様である。以下の説明においては主に第二実施形態と異なる構成について説明し、同一の構成については説明を省略する。同一の部分及び同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図7に示すように、側壁3は、チャンネル2aの側及び隣接チャンネル2bの側の両方の側面にその側面の上端から下端に亘る側面電極6a、6bをそれぞれ備える。側壁3は、更に、上端面UPのチャンネル2aの側の側面電極6aと電気的に接続する端面電極7bを備える。チャンネル2aを挟んで対向する側壁3’にも、上端面UP’のチャンネル2aの側の側面電極6a’と電気的に接続する端面電極7b’を備える。
側壁3、3’、第一基板4、第二基板5等の構成や材質は第一実施形態又は端面電極7を除く第二実施形態と同様である。側壁3、3’の分極境界Bの高さHbは、側壁3、3’の高さ、つまりチャンネル2aの高さHcの1/2よりも下方に位置する。側壁3のチャンネル2aの側と隣接チャンネル2bの側の両側面に、その側面の上端から下端に亘る側面電極6a、6bをそれぞれ備え、側壁3’のチャンネル2aの側と隣接チャンネル2b’の側の両側面に、その側面の上端から下端に亘る側面電極6a’、6b’をそれぞれ備えることも、第一又は第二実施形態と同様である。ここで、側壁3、3’のチャンネル2aの側の側面電極6a、6a’には駆動電圧のうち低電圧が印加され、側壁3、3’の隣接チャンネル2b、2b’の側の側面電極6b、6b’には駆動電圧のうち高電圧が印加される。例えば、チャンネル2aの側の側面電極6a、6a’がGNDに接続され、隣接チャンネル2b、2b’の側面電極6b、6b’に高電圧の駆動電圧が印加される場合である。したがって、端面電極7b、7b’には低電圧が印加される。つまり、端面電極7b、7b’は、印加される駆動電圧のうち低電圧が印加される側面電極6a、6a’に電気的に接続し、駆動電圧のうち高電圧が印加される側面電極6b、6b’には電気的に接続しない。
端面電極7bは、側壁3の上端面UPの低電圧が印加される側面電極6aの側の端部から側壁3の厚さ方向(x方向)に向けて延在する。端面電極7b’は、側壁3’の上端面UP’の低電圧が印加される側面電極6a’の側の端部から側壁3’の厚さ方向に向けて延在する。言い換えると、側壁3、3’のチャンネル2aの側の側面電極6a、6a’はそれぞれ側壁3、3’の上端面UP、UP’まで延在する。
図8(a)は、分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位ΔXaveの関係を示すシミュレーション結果である。図8(b)は、分極境界Bの位置Pと第二基板5のz方向の変位Δzの関係を示すシミュレーション結果である。図8(a)の横軸は分極境界Bの位置Pを表し、縦軸は側壁3の平均変位ΔXaveを表す。図8(b)の横軸は分極境界Bの位置Pを表し、縦軸はチャンネル2aの領域の第二基板5のz方向の変位Δzを表す。破線により示すグラフG2、G4が側壁3の下端面BPに端面電極7aを設ける第二実施形態の液体噴射ヘッド1の場合であり、実線等により示すグラフG5a〜G5d、G6a〜G6dが本第四実施形態の液体噴射ヘッド1の場合である。なお、図8の各グラフは、端面電極7b、7b’のx方向の幅をW、側壁3、3’の上端面UPのx方向の幅をWoとして、グラフG5a、G6aはW/Wo=2/9の場合、グラフG5b、G6bはW/Wo=4/9の場合、グラフG5c、G6cはW/Wo=6/9の場合、グラフG5d、G6dはW/Wo=8/9の場合である。
図8(a)に示すように、側壁3の平均変位ΔXaveは、第二実施形態の液体噴射ヘッド1のグラフG2と同様に本第四実施形態の液体噴射ヘッド1のグラフG5a〜G5dにおいて、分極境界Bの位置Pが1/4〜1/2のときに平均変位ΔXaveが高く、分極境界Bの位置Pが側壁3の高さHcの略3/8のとき平均変位ΔXaveが最大となる。特に、W/Wo=2/9〜6/9の範囲では、本第四実施形態の側壁3、3’の平均変位ΔXaveは第二実施形態の側壁3、3’の平均変位ΔXaveと同等、又は、第二実施形態の側壁3、3’の平均変位ΔXaveよりも僅かに大きい。従って、分極境界Bの位置Pは、好ましくは1/4〜1/2とし、より好ましくは略3/8とするのがよい。また、端面電極7b、7b’のx方向の幅Wは側壁3、3’の上端面UPの幅Woに対して6/9=2/3を超えないようにする。これにより、駆動効率を向上させることができる。
更に、図8(b)に示すように、第二基板5のz方向の変位Δzは、分極境界Bの位置Pが1/4〜1/2の範囲において、本第四実施形態の第二基板5のz方向の変位Δzは第二実施形態の第二基板5の変位Δzよりも下方側、つまり−z方向に凹む方向にスライドする。そして、側壁3のΔXaveが最大となる分極境界Bの位置Pが略3/8において、グラフG6b、G6cに示されるW/Wo=4/9〜6/9の範囲では、本第四実施形態の第二基板5のz方向の変位Δzは第二実施形態の第二基板5のz方向の変位Δzよりも小さい。特に、グラフG6bとグラフG6cからW/Woが概ね5/9で第二基板5の変位Δzがほぼ0となることが言える。そこで、製造方法を考慮すれば、端面電極7bのx方向の幅Wは、好ましくは上端面UPのx方向の幅Woの1/3〜2/3とする。端面電極7bのx方向の幅Wを上端面UPのx方向の幅Woの2/3よりも広く形成しようとすると、端面電極7bが側面電極6bに近づいて短絡しやすくなり、1/3よりも狭くするとz方向の変位Δzが次第に大きくなる。端面電極7b’についても同様である。
その結果、ノズル10から吐出する液滴の吐出方向の変位を低減させることができる。このように、側壁3、3’の上端面UP、UP’にそれぞれ端面電極7b、7b’を設置し、側面電極6a、6a’を上端面UP、UP’にそれぞれ延設して、第二基板5の高さ方向(z方向)の変位Δzを抑制することができる。そのため、第二基板5として剛性の小さい基板、例えばポリイミドフィルムを使用しても、剛性の高い材料の補強板を設置する必要が無い。なお、本第四実施形態の端面電極7を第三実施形態の液体噴射ヘッド1に適用することができる。この場合に、第三実施形態の側面電極6aに対応する領域の端面電極7aを除去すればよい。
(第五実施形態)
図9は本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分断面模式図である。図10は液体噴射ヘッド1の分極境界Bの位置と側壁3の平均変位及び第二基板5の変位の関係を表すグラフである。第二又は第四実施形態と異なる点は、側壁3の下端面BP及び上端面UPにそれぞれ端面電極7a及び端面電極7bを備える点であり、その他の構成は第二又は第四実施形態と同様である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図9は本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分断面模式図である。図10は液体噴射ヘッド1の分極境界Bの位置と側壁3の平均変位及び第二基板5の変位の関係を表すグラフである。第二又は第四実施形態と異なる点は、側壁3の下端面BP及び上端面UPにそれぞれ端面電極7a及び端面電極7bを備える点であり、その他の構成は第二又は第四実施形態と同様である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図9に示すように、側壁3は、チャンネル2aの側及び隣接チャンネル2bの側の両方の側面にその側面の上端から下端に亘る側面電極6a、6bをそれぞれ備える。側壁3は、更に、上端面UP及び下端面BPのそれぞれにチャンネル2aの側の側面電極6aと電気的に接続する端面電極7b及び端面電極7aを備える。チャンネル2aを挟んで対向する側壁3’にも、チャンネル2aの側及び隣接チャンネル2b’の側の両方の側面にその側面の上端から下端に亘る側面電極6a’、6b’を備える。側壁3’は、上端面UP’及び下端面BP’のそれぞれにチャンネル2aの側の側面電極6a’と電気的に接続する端面電極7b’及び端面電極7a’を備える。
側壁3、3’、第一基板4、第二基板5等の構成や材質は端面電極7を除いて第一実施形態と同様である。側壁3、3’の分極境界Bの高さHbは、側壁3、3’の高さ、つまりチャンネル2aの高さHcの1/2よりも下方に位置する。側壁3のチャンネル2aの側と隣接チャンネル2bの側の両側面に、その側面の上端から下端に亘る側面電極6a、6bをそれぞれ備え、側壁3’のチャンネル2aの側と隣接チャンネル2b’の側の両側面に、その側面の上端から下端に亘る側面電極6a’、6b’をそれぞれ備えることは第一〜第四実施形態と同様である。ここで、側壁3、3’のチャンネル2aの側の側面電極6a、6a’には駆動電圧のうち低電圧が印加され、側壁3、3’の隣接チャンネル2b、2b’の側の側面電極6b、6b’には駆動電圧のうち高電圧が印加される。例えば、側壁3、3’のチャンネル2aの側の側面電極6a、6a’がGNDに接続され、側壁3、3’の隣接チャンネル2b、2b’の側面電極6b、6b’に高電圧の駆動電圧が印加される場合である。従って、端面電極7a、7a’、7b、7b’には低電圧が印加される。つまり、端面電極7a、7a’、7b、7b’は、印加される駆動電圧のうち低電圧が印加される側面電極6a、6a’に電気的に接続し、駆動電圧のうち高電圧が印加される側面電極6b、6b’には電気的に接続しない。
端面電極7aは、側壁3の下端面BPの低電圧が印加される側面電極6aの側の端部から側壁3の厚さ方向(x方向)に向けて延在する。端面電極7bは、側壁3の上端面UPの低電圧が印加される側面電極6aの側の端部から側壁3の厚さ方向(x方向)に向けて延在する。チャンネル2aを挟んで対向する側壁3’の側面電極6a’、6b’、端面電極7a’、7b’についても同様である。言い換えると、チャンネル2aの側の側面電極6aは側壁3の下端面BP及び上端面UPまで延在し、側面電極6a’は側壁3’の下端面BP’及び上端面UP’まで延在する。
図10(a)は、分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位ΔXaveの関係を示すシミュレーション結果である。図10(b)は、分極境界Bの位置Pと第二基板5のz方向の変位Δzの関係を示すシミュレーション結果である。図10(a)の横軸は分極境界Bの位置Pを表し、縦軸は側壁3の平均変位ΔXaveを表す。図10(b)の横軸は分極境界Bの位置を表し、縦軸はチャンネル2aの領域の第二基板5のz方向の変位Δzを表す。破線により示すグラフG2、G4が側壁3の下端面BPに端面電極7aを設ける第二実施形態の液体噴射ヘッド1の場合であり、実線等により示すグラフG7a〜G7d、G8a〜G8dが本第五実施形態の液体噴射ヘッド1の場合である。なお、図10の各グラフは、端面電極7a、7a’、7b、7b’のそれぞれのx方向の幅をW、側壁3、3’の下端面BP、BP’、上端面UP、UP’の各x方向の幅をWoとして、グラフG7a、G8aはW/Wo=2/9の場合、グラフG7b、G8bはW/Wo=4/9の場合、グラフG7c、G8cはW/Wo=6/9の場合、グラフG7d、G8dはW/Wo=8/9の場合である。
図10(a)に示すように、側壁3の平均変位ΔXaveは、第二実施形態の液体噴射ヘッド1のグラフG2と同様に本第五実施形態の液体噴射ヘッド1のグラフG7a〜G7dにおいても、分極境界Bの位置Pが1/4〜1/2のときに平均変位ΔXaveが高く、分極境界Bの位置Pが側壁3の高さHcの略3/8のとき平均変位ΔXaveが最大となる。特に、W/Wo=2/9〜6/9の範囲では、本第五実施形態の側壁3、3’の平均変位ΔXaveは第二実施形態の側壁3、3’の平均変位ΔXaveと同等、又は、第二実施形態の側壁3、3’の平均変位ΔXaveよりも僅かに大きい。従って、分極境界Bの位置Pは、好ましくは1/4〜1/2とし、より好ましくは略3/8とするのがよい。また、端面電極7a、7a’、7b、7b’のx方向のそれぞれの幅Wは側壁3、3’の下端面BP、BP’、上端面UP、UP’のx方向のそれぞれの幅Woに対して6/9=2/3を超えないようにする。これにより、駆動効率を向上させることができる。
更に、図10(b)に示すように、第二基板5のz方向の変位Δzは、分極境界Bの位置Pが1/4〜1/2の範囲において、本第五実施形態の第二基板5のz方向の変位Δzは第二実施形態の第二基板5の変位Δzよりも下方側、つまり−z方向に凹む方向にスライドする。そして、側壁3のΔXaveが最大となる分極境界Bの位置Pが略3/8において、グラフG8a、G8bに示されるW/Wo=2/9〜4/9の範囲では、本第五実施形態の第二基板5のz方向の変位Δzは第二実施形態の第二基板5のz方向の変位Δzよりも小さい。特に、グラフG8aとグラフG8bからW/Woが概ね3/9=1/3で第二基板5の変位Δzがほぼ0となることが言える。そこで、端面電極7a、7a’、7b、7b’のx方向のそれぞれの幅Wは、好ましくは側壁3、3’の下端面BP、BP’、上端面UP、UP’のx方向のそれぞれの幅Woの2/9〜4/9とし、より好ましくは1/3とする。W/Woが2/9〜4/9の範囲から外れるとz方向の変位Δzが次第に大きくなる。端面電極7b’についても同様である。
その結果、ノズル10から吐出する液滴の吐出方向の変位を低減させることができる。このように、側壁3、3’の下端面BP、BP’及び上端面UP、UP’に側面電極6a、6a’から延在する端面電極7a、7a’、7b、7b’をそれぞれ延設して、第二基板5の高さ方向(z方向)の変位Δzを抑制することができる。そのため、第二基板5として剛性の小さい基板、例えばポリイミドフィルムを使用しても、剛性の高い材料の補強板を設置する必要が無い。なお、本第五実施形態の端面電極7を第三実施形態の液体噴射ヘッド1に適用することができる。
(第六実施形態)
図11は本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分断面模式図である。図12は液体噴射ヘッド1の分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位ΔXaveの関係を表すグラフである。図11(a)は、側壁3の下端面BPに設置される端面電極7aが隣接チャンネル2bの側の側面電極6bに電気的に接続する断面模式図である。図11(b)は、側壁3の上端面UPに設置される端面電極7bが隣接チャンネル2bの側の側面電極6bに電気的に接続する断面模式図である。その他の構成は第一実施形態と同様である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図11は本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分断面模式図である。図12は液体噴射ヘッド1の分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位ΔXaveの関係を表すグラフである。図11(a)は、側壁3の下端面BPに設置される端面電極7aが隣接チャンネル2bの側の側面電極6bに電気的に接続する断面模式図である。図11(b)は、側壁3の上端面UPに設置される端面電極7bが隣接チャンネル2bの側の側面電極6bに電気的に接続する断面模式図である。その他の構成は第一実施形態と同様である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図11(a)に示すように、側壁3は、チャンネル2aの側及び隣接チャンネル2bの側の両方の側面にその側面の上端から下端に亘る側面電極6a、6bをそれぞれ備える。側壁3は、更に、下端面BPの隣接チャンネル2bの側の側面電極6bと電気的に接続する端面電極7aを備える。チャンネル2aを挟んで対向する側壁3’にも、下端面BP’の隣接チャンネル2bの側の側面電極6b’と電気的に接続する端面電極7a’を備える。
側壁3、3’、第一基板4、第二基板5等の構成や材質は端面電極7a、7a’を除いて第一実施形態と同様である。側壁3、3’の分極境界Bの高さHbは、側壁3、3’の高さ、つまりチャンネル2aの高さHcの1/2よりも下方に位置する。側壁3のチャンネル2aの側と隣接チャンネル2bの側の両側面に、その側面の上端から下端に亘る側面電極6a、6bをそれぞれ備え、側壁3’のチャンネル2aの側と隣接チャンネル2b’の側の両側面に、その側面の上端から下端に亘る側面電極6a’、6b’をそれぞれ備えることは第一〜第五実施形態と同様である。ここで、側壁3、3’のチャンネル2aの側の側面電極6a、6a’には駆動電圧のうち低電圧が印加され、側壁3、3’の隣接チャンネル2b、2b’の側の側面電極6b、6b’には駆動電圧のうち高電圧が印加される。例えば、側壁3、3’のチャンネル2aの側の側面電極6a、6a’がGNDに接続され、側壁3、3’の隣接チャンネル2b、2b’の側の側面電極6b、6b’に駆動電圧が印加される場合である。従って、端面電極7a、7a’には高電圧の駆動電圧が印加される。つまり、端面電極7a、7a’は、印加される駆動電圧のうち高電圧が印加される側面電極6b、6b’に電気的に接続し、駆動電圧のうち低電圧が印加される側面電極6a、6a’には電気的に接続しない。
端面電極7aは、側壁3の下端面BPの高電圧が印加される側面電極6bの側の端部から側壁3の厚さ方向(x方向)に向けて延在する。端面電極7a’は、側壁3’の下端面BP’の高電圧が印加される側面電極6b’の側の端部から側壁3’の厚さ方向に向けて延在する。言い換えると、側壁3、3’の隣接チャンネル2b、2b’の側の側面電極6b、6b’はそれぞれ側壁3、3’の下端面BP、BP’までそれぞれ延在する。
図12は分極境界Bの位置Pと側壁3の平均変位ΔXaveの関係を示すシミュレーション結果である。横軸は分極境界Bの位置Pを表し、縦軸は側壁3の平均変位ΔXaveを表す。破線で示すグラフG0は第二基板5の剛性が第一基板4と同等である従来の液体噴射ヘッドである。実線により示すグラフG9が図11(a)に示す液体噴射ヘッド1の場合である。図12に示すように、グラフG9は、分極境界Bの位置Pが側壁3の高さHcの9/32〜31/64(略1/4〜略1/2)のときに従来の液体噴射ヘッドの最大の平均変位ΔXaveよりも大きく、分極境界Bの位置Pが側壁3の高さの略3/8のとき平均変位ΔXaveが最大となる。
また、図11(b)に示すように、側壁3は、チャンネル2aの側及び隣接チャンネル2bの側の両方の側面にその側面の上端から下端に亘る側面電極6a、6bをそれぞれ備える。側壁3は、更に、上端面UPの隣接チャンネル2bの側の側面電極6bと電気的に接続する端面電極7bを備える。チャンネル2aを挟んで対向する側壁3’にも、上端面UP’の隣接チャンネル2b’の側の側面電極6b’と電気的に接続する端面電極7b’を備える。その他の構成は図11(a)に示す液体噴射ヘッド1と同様である。
図12の一点鎖線で示すグラフG10が図11(b)に示す液体噴射ヘッド1の場合である。図12に示すように、グラフG10は、分極境界Bの位置Pが側壁3の高さHcの15/64〜33/64(略1/4〜略1/2)のときに従来の液体噴射ヘッドの平均変位ΔXaveよりも大きく、分極境界Bの位置Pが側壁3の高さの略3/8のとき平均変位ΔXaveが最大となる。また、グラフG10は分極境界Bの位置Pが側壁3の高さHcの15/64〜33/64のときにグラフG9よりも平均変位ΔXaveが僅かに大きい。
このように、端面電極7を駆動電圧が高い方の側面電極6bに接続する場合でも、従来の液体噴射ヘッドよりも側壁3の平均変位ΔXaveを増加させることができ、液体噴射ヘッド1の駆動効率を向上させることができる。
(第七実施形態)
図13は本発明の第七実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分分解斜視図である。本第七実施形態はエッジシュート型の液体噴射ヘッド1の例である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図13は本発明の第七実施形態に係る液体噴射ヘッド1の部分分解斜視図である。本第七実施形態はエッジシュート型の液体噴射ヘッド1の例である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図13に示すように、液体噴射ヘッド1は、側壁3に連続する圧電体基板8と、側壁3の上端面UPに係止する第一基板4と、側壁3の下端面BPに係止する第二基板5とを備える。圧電体基板8の上面USが側壁3の上端面UPと同一平面を成し、圧電体基板8の下面BSが側壁3の下端面BPと同一平面を成す。側壁3はチャンネル2aとこれに隣接する隣接チャンネル2bの間に位置し、上方向(+z方向)に分極する圧電体3aと下方向(−z方向)に分極する圧電体3bが分極境界Bを挟んで高さ方向に積層する。分極境界Bは側壁3の高さHcの1/2の高さよりも下方(−z方向)に位置する。第一基板4はチャンネル2a及び隣接チャンネル2bの上部に位置し、第二基板5はチャンネル2a及び隣接チャンネル2bの下部に位置し、第一基板4よりも剛性が小さい。側壁3は、チャンネル2aの側の側面及び隣接チャンネル2bの側の側面の両方の側面に上端から下端に亘る側面電極6a、6bをそれぞれ備える。更に、側壁3は、上端面UP、下端面BP及び側面のそれぞれに交差する側端面SPを備える。そして、側壁3の側端面SPにチャンネル2aに連通するノズル10を備えるノズルプレート11が固定される。第一基板4は複数のチャンネル2aに液体を供給する液体供給室4aを備える。
具体的に説明する。圧電体基板8は上方向に分極する圧電体3aと下方向に分極する圧電体3bを接着剤により重ねて接合される積層板からなる。圧電体基板8は前方端(−y方向の端部)から後方端(+y方向の端部)の手前に亘る吐出溝2xと、前方端から後方端に亘るダミー溝2yを備え、吐出溝2xとダミー溝2yは側壁3を挟んでx方向に互いに交互に配置される。吐出溝2x及びダミー溝2yは圧電体基板8を円盤状の研削板、例えばダイシングブレードを用いて上面USから下面BSに貫通するように形成する。そのため、吐出溝2xとダミー溝2yの間に形成される側壁3は、上端面UPと圧電体基板8の上面USが同一平面を成し、下端面BPと圧電体基板8の下面BSが同一平面を成し、側端面SPと圧電体基板8の前方側の端面FEが同一平面を成す。吐出溝2x及びダミー溝2yは、側壁3の上端面UPに第一基板4が設置され、下端面BPに第二基板5が設置されてそれぞれチャンネル2a及び隣接チャンネル2bを構成する。
第一基板4は、圧電体基板8の上面US及び側壁3の上端面UPに接着される。第一基板4は、前方側の端面FEが圧電体基板8の前方側の端面FEと同一平面を成し、後方側の端部は圧電体基板8の後方側の端部よりも前方側に位置し、圧電体基板8の後方側の端部近傍の上面USが露出する。第一基板4は、後方側に液体供給室4aを備え、液体供給室4aはその底面から側壁3側に貫通する複数のスリット4cを備える。各スリット4cは各吐出溝2xにそれぞれ連通し、液体供給室4aに供給される液体を各吐出溝2xに供給可能に構成される。ダミー溝2yは液体供給室4aの底部により塞がれるので液体供給室4aとダミー溝2yは連通しない。
第二基板5は、圧電体基板8の下面BS及び側壁3の下端面BPに接着される。第二基板5は、前方側の端面FEが圧電体基板8の前方側の端面FEと同一平面を成し、後方側は少なくとも吐出溝2xの下端面BP側の開口を閉塞するように設置される。ノズルプレート11は、側壁3の側端面SP、圧電体基板8の端面FE、第一基板4の前方側の端面及び第二基板5の前方側の端面FEに接着される。第一基板4としてPZTセラミックスを使用することができる。第二基板5として、第一基板4よりも剛性の小さい合成樹脂、金属薄板、セラミックス等を使用することができる。第二基板5は第一基板4よりも薄く形成することができるので、液体噴射ヘッド1のz方向の厚さを薄くすることができる。ノズルプレート11としてポリイミドフィルムを使用することができる。
圧電体基板8は、側壁3と同様に、圧電体3aと圧電体3bの間に分極境界Bを有する。分極境界Bは圧電体基板8のz方向の高さの1/2の高さよりも下方に位置する。圧電体3a、3bはPZTセラミックスを使用することができる。分極境界Bは、好ましくは圧電体基板8のz方向の高さの1/4〜1/2とし、より好ましくは圧電体基板8のz方向の高さの略3/8とする。理由は第一及び第二実施形態と同様である。なお、本発明においては、圧電体基板8は側壁3の領域を除いて分極処理を施さなくてもよい。
側壁3は、吐出溝2x側の側面の全面に側面電極6aを備え、ダミー溝2y側の側面の全面に側面電極6bを備える。側壁3は吐出溝2x側の上端面UPに側面電極6aと電気的に接続する端面電極7bを備える。圧電体基板8はその上面USの後方側の端面RE近傍に端子電極9を備える。端子電極9は共通端子9aと個別端子9bを含み、共通端子9aが端面電極7bと電気的に接続し、個別端子9bは吐出溝2xを挟む2つのダミー溝2yの吐出溝2x側の側面電極6bと電気的に接続する。なお、上面USと上端面UPは同一平面である。
個別端子9bは上面USの後方側の端部に位置する。共通端子9aは上面USの個別端子9bよりも前方側(−y方向の側)に位置し、吐出溝2xを挟む2つの側面電極6aに電気的に接続する。端面電極7bは、側壁3の厚さ方向(x方向)の幅Wが側壁3の上端面UPのx方向の幅Woの略1/2であり、側壁3のy方向の幅が側壁3の前方側の端部から吐出溝2xの後方側の端部に亘る。共通端子9aと個別端子9bに印加する駆動電圧のうち、共通端子9aに低電圧を、個別端子9bに高電圧を印加する。これにより、どのチャンネル2aの側面電極6aも低電圧となり、かつ、どの隣接チャンネル2bにも液体が充填されないので、側面電極6a、6bの電気化学反応等による腐食を防止し、信頼性が向上する。側面電極6a、6b、端面電極7b、共通端子9a及び個別端子9bは導体材料の蒸着法、スパッタリング法、或いはめっき法などの既知の方法により基板表面に堆積し、フォトリソグラフィ法などの既知の方法によりパターンを形成することができる。
液体噴射ヘッド1は次のように駆動する。第一基板4の液体供給室4aに液体を供給し、吐出溝2x、つまりチャンネル2aに液体を充填する。液体供給室4aはダミー溝2y、つまり隣接チャンネル2bには連通せず、液体は供給されない。そして、図示しない駆動回路により生成する駆動電圧を図示しないフレキシブル基板を介して共通端子9aと個別端子9bの間に供給する。この際に、共通端子9aを低電圧、例えばGNDの電位を与え、個別端子9bに高電圧の駆動電圧を与える。これにより、側壁3のチャンネル2aの側の側面電極6a及び側壁3の上端面UPの端面電極7bが低電圧となり、チャンネル2aを挟む2つの隣接チャンネル2bのチャンネル2aの側の2つの側面電極6bに高電圧の駆動電圧が与えられ、チャンネル2aを挟む2つの側壁3が厚みすべり変形する。これにより、チャンネル2a内の液体に圧力波が生成され、この圧力波がノズルプレート11のノズル10に到達して液滴が吐出される。
なお、本実施形態は第四実施形態と基本構成が同じであり、従って作用効果も同様となる。また、本実施形態では側壁3の上端面UPに端面電極7bを設けたが、これに代えて、又は、端面電極7bとともに側壁3の下端面BPに端面電極7aを設けることができる。この場合は第二実施形態又は第五実施形態と基本構成が同じとなり、作用効果も同様となる。また、端面電極7bを駆動電圧のうち低電圧が印加される側面電極6aと電気的に接続するが、これに代えて、駆動電圧のうち高電圧が印加される側面電極6bと電気的に接続してもよい。この場合は第六実施形態と基本構成が同じとなり、作用効果も同様となる。
また、本実施形態では、圧電体基板8と第二基板5は異なる板体から構成するが、これに代えて、圧電体基板8と第二基板5を同一材料から構成することができる。つまり、本実施形態よりも厚さの厚い圧電体基板8を準備し、吐出溝2x及びダミー溝2yを底部に圧電体基板8の一部が残るように研削する。この圧電体基板8の一部(吐出溝2x及びダミー溝2yの底部)を第二基板5とし、第一基板4の剛性よりも小さく構成する。分極境界Bは吐出溝2x及びダミー溝2yの底面からの高さHbとし、側壁3は吐出溝2x及びダミー溝2yの底面からの高さをHcとして、分極境界Bの位置Pを側壁3の高さHcの1/2よりも低くする。その他の構成は上記第七実施形態と同じである。
(第八実施形態)
図14は、本発明の第八実施形態に係る液体噴射装置50の模式的な斜視図である。本液体噴射装置50は、上記第一〜第七実施形態のいずれかの液体噴射ヘッド1を使用する。液体噴射装置50は、液体噴射ヘッド1、1’を往復移動させる移動機構63と、液体噴射ヘッド1、1’に液体を供給する液体供給管53、53’と、液体供給管53、53’に液体を供給する液体タンク51、51’とを備えている。
図14は、本発明の第八実施形態に係る液体噴射装置50の模式的な斜視図である。本液体噴射装置50は、上記第一〜第七実施形態のいずれかの液体噴射ヘッド1を使用する。液体噴射装置50は、液体噴射ヘッド1、1’を往復移動させる移動機構63と、液体噴射ヘッド1、1’に液体を供給する液体供給管53、53’と、液体供給管53、53’に液体を供給する液体タンク51、51’とを備えている。
具体的に説明する。液体噴射装置50は、紙等の被記録媒体54を主走査方向に搬送する一対の搬送手段61、62と、被記録媒体54に液体を吐出する液体噴射ヘッド1、1’と、液体タンク51、51’に貯留した液体を液体供給管53、53’に押圧して供給するポンプ52、52’と、液体噴射ヘッド1、1’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構63等を備えている。
一対の搬送手段61、62は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体54を主走査方向に搬送する。移動機構63は、副走査方向に延びた一対のガイドレール56、57と、一対のガイドレール56、57に沿って摺動可能なキャリッジユニット58と、キャリッジユニット58を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト59と、この無端ベルト59を図示しないプーリを介して周回させるモータ60とを備えている。
キャリッジユニット58は、複数の液体噴射ヘッド1、1’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの4種類の液滴を吐出する。液体タンク51、51’は対応する色の液体を貯留し、ポンプ52、52’、液体供給管53、53’を介して液体噴射ヘッド1、1’に供給する。各液体噴射ヘッド1、1’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド1、1’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット58を駆動するモータ60の回転及び被記録媒体54の搬送速度を制御することにより、被記録媒体54上に任意のパターンを記録することできる。
なお、本実施形態は、移動機構63がキャリッジユニット58と被記録媒体54を移動させて記録する液体噴射装置50であるが、これに代えて、キャリッジユニットを固定し、移動機構が被記録媒体を二次元的に移動させて記録する液体噴射装置であってもよい。つまり、移動機構は液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させるものであればよい。
1 液体噴射ヘッド
2a チャンネル、2b 隣接チャンネル、2x 吐出溝、2y ダミー溝、2z 浅溝
3 側壁、3a、3b 圧電体
4 第一基板、4a、4b 液体供給室、4c スリット
5 第二基板
6、6a、6b 側面電極
7 7a、7b 端面電極
8 圧電体基板
9 端子電極、9a 共通端子、9b 個別端子
10 ノズル
11 ノズルプレート
B 分極境界、UP 上端面、BP 下端面、SP 側端面
US 上面、BS 下面、FE 前方側の端面、RE 後方側の端面
Hb 分極境界の高さ、Hc 側壁の高さ
W 端面電極のx方向の幅、Wo 側壁の上端面又は下端面のx方向の幅
ΔXave 側壁の平均変位、Δz z方向の変位
2a チャンネル、2b 隣接チャンネル、2x 吐出溝、2y ダミー溝、2z 浅溝
3 側壁、3a、3b 圧電体
4 第一基板、4a、4b 液体供給室、4c スリット
5 第二基板
6、6a、6b 側面電極
7 7a、7b 端面電極
8 圧電体基板
9 端子電極、9a 共通端子、9b 個別端子
10 ノズル
11 ノズルプレート
B 分極境界、UP 上端面、BP 下端面、SP 側端面
US 上面、BS 下面、FE 前方側の端面、RE 後方側の端面
Hb 分極境界の高さ、Hc 側壁の高さ
W 端面電極のx方向の幅、Wo 側壁の上端面又は下端面のx方向の幅
ΔXave 側壁の平均変位、Δz z方向の変位
Claims (13)
- チャンネルとこれに隣接する隣接チャンネルの間に位置し、上方向に分極する圧電体と下方向に分極する圧電体が分極境界を挟んで高さ方向に積層する側壁と、
前記チャンネルの上部に位置し前記側壁の上端面に係止する第一基板と、
前記チャンネルの下部に位置し前記側壁の下端面に係止する第二基板と、を備え、
前記側壁は前記チャンネルの側及び前記隣接チャンネルの側の両方の側面に前記側面の上端から下端に亘る側面電極を備え、前記分極境界は前記側壁の高さの1/2よりも下方に位置し、前記第二基板は前記第一基板よりも剛性が小さい液体噴射ヘッド。 - 前記分極境界は前記側壁の高さの1/4よりも上方に位置する請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記側壁は、前記上端面又は前記下端面に前記チャンネルの側又は前記隣接チャンネルの側の前記側面電極と電気的に接続する端面電極を備える請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記側壁は、前記上端面及び前記下端面のそれぞれに前記チャンネルの側又は前記隣接チャンネルの側の前記側面電極と電気的に接続する端面電極を備える請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記端面電極は、印加される駆動電圧のうち低電圧が印加される前記側面電極に電気的に接続し前記駆動電圧のうち高電圧が印加される前記側面電極には電気的に接続しない請求項3又は4に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記端面電極は、前記上端面又は前記下端面の前記低電圧が印加される前記側面電極の側の端部から前記側壁の厚さ方向に延在する請求項5に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記端面電極は前記側壁の厚さ方向の幅が前記上端面又は前記下端面の前記側壁の厚さ方向の幅の略1/2である請求項3〜6のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記側壁に連続する圧電体基板を備え、前記圧電体基板の上面が前記上端面と同一平面を成し、前記圧電体基板の下面が前記下端面と同一平面を成す請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記側壁は、前記上端面又は前記下端面に前記チャンネルの側又は前記隣接チャンネルの側の前記側面電極と電気的に接続する端面電極を備え、
前記圧電体基板は、その上面又は下面に前記端面電極と電気的に接続する端子電極を備える請求項8に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記上方向に分極する圧電体が上方に位置し、前記下方向に分極する圧電体が下方に位置し、
前記チャンネルは液体を保持し、前記隣接チャンネルは液体を保持せず、前記チャンネルと前記隣接チャンネルは交互に配列する請求項1〜9のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記第一基板は複数の前記チャンネルに液体を供給する液体供給室を備え、
前記第二基板は前記チャンネルに連通するノズルを備える請求項1〜10のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記第一基板は複数の前記チャンネルに液体を供給する液体供給室を備え、
前記側壁は前記上端面、前記下端面及び前記側面のそれぞれに交差する側端面を備え、
前記側端面に前記チャンネルに連通するノズルを備えるノズルプレートが固定される請求項1〜10のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016085304A JP2017193125A (ja) | 2016-04-21 | 2016-04-21 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016085304A JP2017193125A (ja) | 2016-04-21 | 2016-04-21 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017193125A true JP2017193125A (ja) | 2017-10-26 |
Family
ID=60155830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016085304A Pending JP2017193125A (ja) | 2016-04-21 | 2016-04-21 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017193125A (ja) |
-
2016
- 2016-04-21 JP JP2016085304A patent/JP2017193125A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5752906B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5580759B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP6139319B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4218594B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP6209383B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP6393130B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP6266392B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2015120296A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
KR20110130355A (ko) | 액체 분사 헤드, 액체 분사 장치 및 액체 분사 헤드의 제조 방법 | |
JP2007090871A (ja) | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 | |
US9227402B2 (en) | Liquid jet head and liquid jet apparatus | |
JP5539046B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2006116953A (ja) | 液体噴射装置及びその製造方法 | |
JP6073660B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2014091310A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2014091273A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2017193125A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2018051981A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置 | |
JP3087315B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
JP3298755B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP7266991B2 (ja) | 液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドチップの形成方法 | |
JP2018069678A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP7032604B1 (ja) | ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置 | |
JP7288750B2 (ja) | ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 | |
JP5045152B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170913 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20170922 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20180611 |