JP2018069678A - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】吐出チャンネル２間の液滴量や吐出速度のばらつきを低減させる。【解決手段】本発明による液体噴射ヘッド１は、液滴を吐出する吐出チャンネル２と液滴を吐出しないダミーチャンネル３が圧電体を含む隔壁６を介し基準方向Kに交互に配列するチャンネル列８を備え、隔壁６は吐出チャンネル２の側とダミーチャンネル３の側の両側面９の上端から下方に位置する２つの駆動電極７を備え、隔壁６の基準方向Ｋの厚さを壁厚Ｗとして、吐出チャンネルの内の一つである第一の吐出チャンネル２ａを挟む２つの隔壁６のうち薄い方の隔壁６は、吐出チャンネルの内の他の一つである第二の吐出チャンネル２ｂを挟む２つの隔壁６のうち薄い方の隔壁６よりも壁厚Ｗが薄い。【選択図】図１

Description

本発明は、被記録媒体に液滴を吐出して記録する液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法に関する。

近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字や図形を記録する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料などの液体を液体タンクから供給管を介して液体噴射ヘッドのチャンネルに供給し、チャンネルの液体に圧力を印加してチャンネルに連通するノズルから液滴として吐出する。液滴の吐出の際には、液体噴射ヘッドや被記録媒体を移動させて文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜や三次元構造を形成する。

近年、液体噴射ヘッドは高品質の記録が要求されている。例えば、吐出する液滴の体積が数ピコリットルと小さくなっている。このような微小なサイズの液滴を安定して吐出するため、チャンネル間の液滴量や吐出速度のばらつきを低減することが求められている。例えば特許文献１にはこの種の液体噴射ヘッドが記載されている。液体噴射ヘッドは、表面に隔壁を介して複数の溝が配列するアクチュエータ基板と、これら複数の溝の上部開口を覆いアクチュエータ基板の表面に接着されるカバープレート、溝に連通するノズルを備え、アクチュエータ基板及びカバープレートの端面に接着されるノズルプレートとを備える。アクチュエータ基板の溝がカバープレートにより覆われてチャンネルが構成される。

隔壁は溝の底面から上端までの略１／２の高さまでが誘電率の小さい低誘電体から成り、略１／２の高さから上端までが上方又は下方に分極処理が施される圧電体から成る。圧電体から成る各隔壁の両側面には駆動電極が設置される。隔壁の両側面の駆動電極に駆動信号が印加されると隔壁の圧電体が厚み滑り変形する。これにより、チャンネルに充填される液体に圧力波が生成され、チャンネルに連通するノズルから液滴が吐出される。

この液体噴射ヘッドでは、隔壁の上半分が圧電体から成り、下半分が低誘電体から成る。そのため、駆動電極が隔壁の両側面の下半分の領域にはみ出して形成されても、はみ出した領域には圧電体が存在しない。特許文献１では駆動電極を導体の斜め蒸着法により形成するので駆動電極の深さはチャンネルの位置に応じて変化する。しかし、隔壁の側面の１／２の高さよりも下方に駆動電極がはみ出しても、はみ出した領域は電歪効果を生じない。そのため、駆動電極の深さがばらついても液滴吐出条件を一定にすることが可能である。

特開２０１１−２４５７６８号公報

特許文献１のアクチュエータ基板は、圧電体と低誘電体を接着して形成するので、基板形成工程数が増加し製造方法が複雑となる。また、圧電体と低誘電体とは異種材料であり、熱膨張係数などの熱物性、ヤング率などの機械的物性、切削などの加工性が異なる。そのため、熱膨張係数や機械的剛性の差によって、アクチュエータ基板に反りなどが発生しやすい。アクチュエータ基板に反りが発生すると液滴吐出速度のばらつき低減効果が低下することが懸念される。また、アクチュエータ基板の溝形成の際に加工性が低下し、液滴吐出速度のばらつき低減効果が減ずる虞れがある。

本発明の液体噴射ヘッドは、液滴を吐出する吐出チャンネルと液滴を吐出しないダミーチャンネルが圧電体を含む隔壁を介し基準方向に交互に配列するチャンネル列を備え、前記隔壁は前記吐出チャンネルの側と前記ダミーチャンネルの側の両側面の上端から下方に位置する２つの駆動電極を備え、前記隔壁の前記基準方向の厚さを壁厚として、前記吐出チャンネルの内の一つである第一の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁のうち薄い方の前記隔壁は、前記吐出チャンネルの内の他の一つである第二の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁のうち薄い方の前記隔壁よりも壁厚が薄いこととした。これにより、吐出チャンネルの容積変化量を調整することができ、第一の吐出チャンネルと第二の吐出チャンネルの間の液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。

また、前記隔壁の両側面に位置する２つの前記駆動電極が前記基準方向において重なる面積を有効電極面積として、前記第一の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁の２つの有効電極面積うち大きい方の有効電極面積は、前記第二の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁の２つの有効電極面積のうち小さい方の有効電極面積よりも小さいこととした。これにより、吐出チャンネルの容積変化量を均等化することができ、第一の吐出チャンネルと第二の吐出チャンネルの間の液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。

また、前記チャンネル列の前記基準方向における中央の側に位置する前記隔壁の前記有効電極面積のほうが、前記チャンネル列の前記基準方向における端部の側に位置する前記隔壁の前記有効電極面積よりも大きいこととした。これにより、チャンネル列の端部の側に位置する隔壁の有効電極面積が減少するのを抑制することができ、複数の吐出チャンネルの容積変化量が均等化し、液滴の吐出量や吐出速度のばらつきが低減する。

また、前記第一の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁のうち、一方の前記隔壁の２つの前記駆動電極のうち深さの深い方の前記駆動電極と、他方の前記隔壁の２つの前記駆動電極のうち深さの深い方の前記駆動電極のいずれの深さも、前記第二の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁の４つの前記駆動電極のうち深さが最も深い前記駆動電極の深さよりも深いこととした。

また、前記第一の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁のうち壁厚が厚い方の前記隔壁は、前記第二の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁のうち壁厚が厚い方の前記隔壁よりも壁厚が厚いこととした。

また、前記チャンネル列の前記基準方向における中央と端部の間に位置する複数の前記吐出チャンネルのうち、前記第一の吐出チャンネルは端部の側に位置し、前記第二の吐出チャンネルは中央の側に位置することとした。これにより、チャンネル列の端部の側に位置する吐出チャンネルの左右の隔壁の壁厚差が増加するのを抑制することができ、複数の吐出チャンネルの容積変化量が均等化し、液滴の吐出量や吐出速度のばらつきが低減する。

また、前記チャンネル列の前記基準方向における一端の側に位置する前記隔壁の前記一端の側の側面の前記駆動電極は、他端の側に位置する前記隔壁の前記一端の側の側面の前記駆動電極よりも深さが深く、前記一端の側に位置する前記隔壁の前記他端の側の側面の前記駆動電極は、前記他端の側に位置する前記隔壁の前記他端の側の側面の前記駆動電極よりも深さが浅いこととした。これにより、駆動電極を斜め蒸着法により簡便に形成することができる。

また、前記吐出チャンネルが前記チャンネル列の中央の側から一端に、又は前記中央の側から他端の側に位置するに従い、前記吐出チャンネルを挟む一方又は他方の前記隔壁の壁厚は複数の前記吐出チャンネル毎に段階的に増加又は減少することとした。これにより、吐出チャンネル又はダミーチャンネルの形成に高精度の加工が不要となり、液体噴射ヘッドを簡便に低コストで製造することができる。

また、前記吐出チャンネルの前記基準方向における配列ピッチと前記ダミーチャンネルの前記基準方向における配列ピッチとが異なることとした。これにより、吐出チャンネルの位置に応じて吐出チャンネルを挟む２つの隔壁の壁厚を容易に変化させることができる。その結果、吐出チャンネルの容積変化量を容易に調整することができ、液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。

また、前記吐出チャンネルの前記配列ピッチをＰｃ、前記ダミーチャンネルの前記配列ピッチをＰａ、ピッチ変化率Ｐｒ＝（Ｐａ−Ｐｃ）／Ｐｃとして、ピッチ変化率Ｐｒは式（１）又は式（２）の関係を満たすこととした。これにより、吐出チャンネルの位置に対する吐出チャンネルの左隔壁と右隔壁の平均変位のばらつきが低減し、複数の吐出チャンネルの間の液滴の吐出量や吐出速度のばらつきが低減する。
０＜Ｐｒ＜０．０２５％・・・（１）、
０＞Ｐｒ＞−０．０２５％・・・（２）

また、前記チャンネル列を構成する複数の前記ダミーチャンネルは前記基準方向におけるチャンネル幅が同一であることとした。これにより、ダミーチャンネルを共通の工具を使用して形成することができ、複数の工具を用意する必要がなくなる。その結果、液体噴射ヘッドを短時間かつ低コストで製造することができる。

また、前記チャンネル列を構成する複数の前記吐出チャンネルは前記基準方向におけるチャンネル幅が前記ダミーチャンネルのチャンネル幅と同一であることとした。これにより、ダミーチャンネル及び吐出チャンネルを共通の工具を使用して形成することができ、複数の工具を用意する必要がなくなる。その結果、液体噴射ヘッドを一層短時間かつ低コストで製造することができる。

本発明の液体噴射装置は、上記いずれかに記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。これにより、吐出チャンネルの容積変化量を調整することができ、吐出チャンネル間の液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、圧電体を含む圧電体基板に吐出溝とダミー溝とを隔壁を介在して基準方向に交互に形成する溝形成工程と、前記隔壁の前記吐出溝の側と前記ダミー溝の側の両側面の上端から下方に位置する駆動電極を形成する電極形成工程と、前記圧電体基板の表面にカバープレートを接着するカバープレート接着工程と、前記圧電体基板にノズルプレートを接着するノズルプレート接着工程と、を備え、前記溝形成工程は、前記隔壁の基準方向の厚さを壁厚として、前記吐出溝の内の一つである第一の吐出溝を挟む２つの前記隔壁のうち薄い方の前記隔壁を、前記吐出溝の内の他の一つである第二の吐出溝を挟む２つの前記隔壁のうち薄い方の前記隔壁よりも壁厚を薄く形成することとした。これにより、吐出溝により構成する吐出チャンネルの容積変化量を調整することができ、第一の吐出溝により構成する第一の吐出チャンネルと第二の吐出溝により構成する第二の吐出チャンネルの間の液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。

また、前記電極形成工程は、前記圧電体基板の表面の法線方向に対し斜め方向から導体を蒸着する斜め蒸着法により形成することとした。

本発明による液体噴射ヘッドは、液滴を吐出する吐出チャンネルと液滴を吐出しないダミーチャンネルが圧電体を含む隔壁を介し基準方向に交互に配列するチャンネル列を備え、隔壁は吐出チャンネルの側とダミーチャンネルの側の両側面の上端から下方に位置する２つの駆動電極を備え、隔壁の基準方向の厚さを壁厚として、吐出チャンネルの内の一つである第一の吐出チャンネルを挟む２つの隔壁のうち薄い方の隔壁は、吐出チャンネルの内の他の一つである第二の吐出チャンネルを挟む２つの隔壁のうち薄い方の隔壁よりも壁厚が薄い。壁厚を変化させることにより、吐出チャンネルの容積変化量を調整することができ、第一の吐出チャンネルと第二の吐出チャンネルの間の液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。

本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの断面模式図である。 本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの部分分解斜視図である。 図２に示す液体噴射ヘッドの部分Ｚ−Ｚ線の断面模式図である。 本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの隔壁のチャンネル列方向の位置と駆動電極の深さとの間の関係を表すグラフである。 本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの、吐出チャンネルのチャンネル列方向の位置と壁厚との関係を表すグラフである。 本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの吐出チャンネルの位置と隔壁の変位量との間の関係のシミュレーション結果を表す図である。 本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの、吐出チャンネルのチャンネル列方向の位置と左隔壁及び右隔壁の平均変位Δａｖｅとの間の関係のシミュレーション結果を表すグラフである。 本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの、端部の吐出チャンネルの左隔壁及び右隔壁の平均変位Δａｖｅとピッチ変化率Ｐｒとの間の関係のシミュレーション結果を表すグラフである。 本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの、吐出チャンネルのチャンネル列方向の位置と壁厚との間の関係を表すグラフである。 本発明の第四実施形態に係る液体噴射装置の模式的な分解斜視図である。 本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法における溝形成工程及び電極形成工程後の圧電体基板の断面模式図である。 本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法の工程図を表す。 本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法の各工程の説明図である。 本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法の各工程の説明図である。

（第一実施形態）
図１は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド１の断面模式図である。液体噴射ヘッド１は、下基板１０ａと上基板１０ｂの間に液滴を吐出する吐出チャンネル２と液滴を吐出しないダミーチャンネル３を備える。吐出チャンネル２とダミーチャンネル３は圧電体を含む隔壁６を介して基準方向Ｋに交互に配列してチャンネル列８を構成する。隔壁６は、吐出チャンネル２の側とダミーチャンネル３の側の両側面９の上端から下方である深さ方向に位置する２つの駆動電極７を備える。隔壁６の基準方向Ｋの厚さを壁厚Ｗとして、吐出チャンネル２の内の一つである第一の吐出チャンネル２ａを挟む２つの隔壁６ａ、６ｂのうち薄い方の隔壁６ａは、吐出チャンネル２の内の他の一つである第二の吐出チャンネル２ｂを挟む２つの隔壁６ｃ、６ｄのうち薄い方の隔壁６ｃより壁厚Ｗが薄い（Ｗａ＜Ｗｃ）。なお、第一の吐出チャンネル２ａを挟む２つの隔壁６ａ、６ｂの壁厚Ｗが等しい場合は、「薄い方の隔壁６」は隔壁６ａ、６ｂのいずれでもよい。第二の吐出チャンネル２ｂにおいても同じである。このように、第一の吐出チャンネル２ａと第二の吐出チャンネル２ｂの間で隔壁６の壁厚Ｗを変化させることにより、吐出チャンネル２の容積変化量を調整することができ、その結果第一の吐出チャンネル２ａと第二の吐出チャンネル２ｂの間の液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。

隔壁６の両側面９に位置する２つの駆動電極７が基準方向Ｋにおいて重なる面積を有効電極面積Ｑとして、第一の吐出チャンネル２ａと第二の吐出チャンネル２ｂの間で駆動電極７の有効電極面積Ｑが異なる場合がある。例えば、第一の吐出チャンネル２ａを挟む２つの隔壁６ａ、６ｂの２つの有効電極面積Ｑａ、Ｑｂのうち大きい方の有効電極面積Ｑｂが、第二の吐出チャンネル２ｂを挟む２つの隔壁６ｃ、６ｄの２つの有効電極面積Ｑｃ、Ｑｄのうち小さい方の有効電極面積Ｑｃよりも小さい場合である。これにより、吐出チャンネル２の容積変化量を均等化することができ、液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。

以下、具体的に説明する。各隔壁６は圧電体、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）セラミックスを使用することができる。各隔壁６は、少なくとも隔壁６の高さの１／２よりも上方が、上方又は下方に分極処理が施されている。下基板１０ａ及び上基板１０ｂは絶縁体基板や圧電体基板を使用することができる。各吐出チャンネル２はそれぞれノズル１３ａに連通する。各吐出チャンネル２にはインク等の液体が充填される。各ダミーチャンネル３には液体が充填されない。各駆動電極７は導体膜から成り、例えば斜め蒸着法により形成することができる。各隔壁６の両側面９に設置する２つの駆動電極７のうち、深さＤの浅い方の駆動電極７は、側面９の上端から下端までの深さの１／２よりも浅い。浅い方の駆動電極７が１／２の深さよりも下方にはみ出して深いと、隔壁６の屈曲変位が減じて駆動効率が低下する。

第一の吐出チャンネル２ａを駆動するときは、駆動電極７ｂ、７ｃをＧＮＤ電位に接続し、駆動電極７ａ、７ｄに駆動電圧を印加する。すると、隔壁６ａ、６ｂは左右逆向きにくの字状に変位しチャンネルの容積が瞬間的に変化する。第二の吐出チャンネル２ｂも同様に、駆動電極７ｆ、７ｇをＧＮＤ電位に接続し、駆動電極７ｅ、７ｈに駆動電圧を印加すると、隔壁６ｃ、６ｄは左右逆向きにくの字状に変位し、チャンネルの容積が瞬間的に変化する。その結果、第一及び第二の吐出チャンネル２ａ、２ｂに充填される液体に圧力波が生じ、この圧力波が第一及び第二の吐出チャンネル２ａ、２ｂのそれぞれに連通するノズル１３ａに到達して液滴が吐出される。

ここで、隔壁６ａは、両側面９に位置する２つの駆動電極７ａ、７ｂが基準方向Ｋにおいて重なる領域である有効電極面積Ｑａに印加される電界によって、厚み滑り変形する。そのため、例えば有効電極面積Ｑａが小さければ、隔壁６ａの変形量は減少する。他の隔壁６ｂ〜６ｄにおいても同様である。一方、隔壁６ａの壁厚Ｗが薄くなると隔壁６ａの変形量が増加する。他の隔壁６ｂ〜６ｄにおいても同様である。なお、図１において、吐出チャンネル２側の駆動電極７ｂ、７ｃ、７ｆ、７ｇは紙面奥方向の電極幅が等しく、ダミーチャンネル３側の駆動電極７ａ、７ｄ、７ｅ、７ｈも紙面奥方向の電極幅が等しい。

本実施形態においては、第一の吐出チャンネル２ａを挟む２つの隔壁６ａ、６ｂの２つの有効電極面積Ｑａ、Ｑｂのうち大きい方の有効電極面積Ｑｂが、第二の吐出チャンネル２ｂの２つの隔壁６ｃ、６ｄの２つの有効電極面積Ｑｃ、Ｑｄのうち小さい方の有効電極面積Ｑｃよりも小さくなり、第一の吐出チャンネル２ａの容積変化量が第二の吐出チャンネル２ｂよりも低下する。これを、第一の吐出チャンネル２ａを挟む隔壁６ａ又は６ｂの壁厚Ｗを、第二の吐出チャンネル２ｂを挟む２つの隔壁６ｃ、６ｄのいずれの壁厚Ｗよりも薄く構成して、上記有効電極面積Ｑの減少に伴う容積変化量の低下を補う。

吐出チャンネル２の容積変化量は、一方の隔壁６の変化量と他方の隔壁６の変化量の合計変化量である。第一の吐出チャンネル２ａを挟む２つの隔壁６ａ、６ｂの４つの駆動電極７ａ〜７ｄのうち深さの最も浅い駆動電極７は隔壁６ａ又は６ｂのいずれに位置してもよい。つまり、有効電極面積Ｑの小さい隔壁６は隔壁６ａであっても隔壁６ｂであってもよい。同様に、第二の吐出チャンネル２ｂを挟む隔壁６ｃ、６ｄのうち壁厚Ｗが薄い方の隔壁６は隔壁６ｃであっても隔壁６ｄであってもよい。つまり、第一の吐出チャンネル２ａにおいて、有効電極面積Ｑの小さい方の隔壁６と壁厚Ｗが薄い方の隔壁６が一致しなくともよい。また、第一の吐出チャンネル２ａと第二の吐出チャンネル２ｂはダミーチャンネル３を挟んで隣接してもよいし離間してもよい。また、隔壁６は高さ略１／２を境に反対方向に分極処理が施されるシェブロン型の圧電体であってもよい。この場合は、浅い方の駆動電極７が１／２の深さよりも下方にはみ出してもよい。

より詳しく説明する。第一の吐出チャンネル２ａを挟む２つの隔壁６ａ、６ｂのうち、一方の隔壁６ａの２つの駆動電極７ａ、７ｂのうち深さの浅い方の駆動電極７ｂと、他方の隔壁６ｂの２つの駆動電極７ｃ、７ｄのうち深さの浅い方の駆動電極７ｄのいずれの深さも、第二の吐出チャンネル２ｂの最も浅い駆動電極７ｆの深さよりも浅い。また、第一の吐出チャンネル２ａを挟む２つの隔壁６ａ、６ｂのうち、一方の隔壁６ａの２つの駆動電極７ａ、７ｂのうち深さの深い方の駆動電極７ａと、他方の隔壁６ｂの２つの駆動電極７ｃ、７ｄのうち深さの深い方の駆動電極７ｃのいずれの深さも、第二の吐出チャンネル２ｂを挟む２つの隔壁６ｃ、６ｄの４つの駆動電極７ｅ〜７ｈのうち深さが最も深い駆動電極７ｅよりも深い。

また、チャンネル列８の２つの隔壁６のうち、左側に位置する隔壁６（例えば隔壁６ａ）の左側の側面９に位置する駆動電極７（例えば駆動電極７ａ）は、右側に位置する隔壁６（例えば隔壁６ｂ）の左側の側面９に位置する駆動電極７（例えば駆動電極７ｃ）よりも深さＤが深い。隔壁６ｂと隔壁６ｃの間、或いは隔壁６ｃと隔壁６ｄの間においても同様である。更に、チャンネル列８の２つの隔壁６のうち、左側に位置する隔壁６（例えば隔壁６ａ）の右側の側面９に位置する駆動電極７（例えば駆動電極７ｂ）は、右側に位置する隔壁６（例えば隔壁６ｂ）の右側の側面９に位置する駆動電極７（例えば駆動電極７ｄ）よりも深さＤが浅い。他の隔壁６の間においても同様である。

更に、第一の吐出チャンネル２ａを挟む２つの隔壁６ａ、６ｂのうち壁厚Ｗが厚い方の隔壁６ｂ（壁厚Ｗｂ）は、第二の吐出チャンネル２ｂを挟む２つの隔壁６ｃ、６ｄのうち壁厚Ｗが厚い方の隔壁６ｄ（壁厚Ｗｄ）よりも厚い（Ｗｂ＞Ｗｄ）。第一の吐出チャンネル２ａを挟む２つの隔壁６ａ、６ｂのうち壁厚Ｗが薄い方の隔壁６ａ（壁厚Ｗａ）は、第二の吐出チャンネル２ｂを挟む２つの隔壁６ｃ、６ｄのうち壁厚Ｗが薄い方の隔壁６ｃ（壁厚Ｗｃ）よりも薄い（Ｗｃ＞Ｗａ）。これにより、第一の吐出チャンネル２ａの隔壁６ａに設置する駆動電極７の有効電極面積Ｑａが、第二の吐出チャンネル２ｂの隔壁６ｃ及び６ｄに設置する駆動電極７のいずれの有効電極面積Ｑｃ、Ｑｄよりも小さくなり、第一の吐出チャンネル２ａの容積変化量が低下するのを、第一の吐出チャンネル２ａの隔壁６ａの壁厚Ｗａを、第二の吐出チャンネル２ｂの隔壁６ｃ及び６ｄのいずれの壁厚Ｗｃ、Ｗｄよりも薄く構成して上記容積変化量の低下を補う。

なお、図１に示す液体噴射ヘッド１の場合は、隔壁６の左側の側面９に位置する駆動電極７は、隔壁６の位置が基準方向Ｋに沿って右側に変化するにつれて深さが次第に浅くなり、同様に、隔壁６の右側の側面９に位置する駆動電極７は、隔壁６の位置が基準方向Ｋに沿って右側に変化するにつれて深さが次第に深くなる。また、吐出チャンネル２を挟む２つの隔壁６のうち、左側に位置する隔壁６の壁厚Ｗは、吐出チャンネル２の位置が右側に変化するにつれて次第に厚くなり、吐出チャンネル２を挟む２つの隔壁６のうち、右側に位置する隔壁６の壁厚Ｗは、吐出チャンネル２の位置が右側に変化するにつれて次第に薄くなる。

このような隔壁６の壁厚Ｗの変化は、各吐出チャンネル２の基準方向Ｋにおけるチャンネル幅Ｌｃ、及び、各ダミーチャンネル３の基準方向Ｋにおけるチャンネル幅Ｌａをそれぞれ一定かつ同一幅にし、吐出チャンネル２の基準方向Ｋにおける配列ピッチとダミーチャンネル３の基準方向Ｋにおける配列ピッチとを僅かに相違させることにより、容易に形成することができる。

また、本実施形態においては吐出チャンネル２のチャンネル幅Ｌｃとダミーチャンネル３のチャンネル幅Ｌａを同一としているが、本発明はこれに限定されず、吐出チャンネル２のチャンネル幅Ｌｃとダミーチャンネル３のチャンネル幅Ｌａが異なっていてもよい。駆動電極７を斜め蒸着法により形成する場合は、チャンネル幅Ｌｃとチャンネル幅Ｌａは同一とすることが好ましい。また、本実施形態においては有効電極面積Ｑの大小が隔壁６の両側面に設置する２つの駆動電極７のうち深さＤの浅い方の駆動電極７により左右されるが、本発明はこれに限定されず、図１の紙面奥方向の電極幅を考慮に入れて有効電極面積Ｑの大小を比較してもよい。また、本実施形態においてはノズルプレート１３が圧電体基板１１及びカバープレート１２の前方端ＦＥに接着されるが、本発明の液体噴射ヘッド１はこの構造に限定されず、ノズルプレート１３が各隔壁６の下端面に接着されるサイドシュート型であってもよい。

（第二実施形態）
図２〜図８を用いて本発明の第二実施形態について説明する。図２は本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１の部分分解斜視図である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。

図２に示すように、液体噴射ヘッド１は、上面ＵＳに吐出溝４とダミー溝５が隔壁６を介して基準方向Ｋに交互に配列する圧電体基板１１と、圧電体基板１１の上面ＵＳに吐出溝４とダミー溝５を覆うように接着されるカバープレート１２と、圧電体基板１１及びカバープレート１２の前方端ＦＥの端面に接着されるノズルプレート１３とを備える。カバープレート１２は吐出溝４及びダミー溝５の上部開口の全部又は一部を閉塞して吐出チャンネル２及びダミーチャンネル３を構成し、吐出チャンネル２とダミーチャンネル３は隔壁６を介して基準方向Ｋに交互に配列してチャンネル列８を構成する。

吐出溝４は圧電体基板１１の上面ＵＳの前方端ＦＥから後方端ＲＥの手前まで延在し、ダミー溝５は圧電体基板１１の上面ＵＳの前方端ＦＥから後方端ＲＥまでストレートに延在する。隔壁６は吐出溝４の側とダミー溝５の側の両側面９の上端から下方に位置する２つの駆動電極７を備える。圧電体基板１１の後方端ＲＥの側の上面ＵＳには後方端ＲＥの側に個別電極端子１４ｂを、個別電極端子１４ｂよりも吐出溝４の側に共通電極端子１４ａを備える。共通電極端子１４ａは吐出溝４の両側面９に設ける２つの駆動電極７と電気的に接続し、個別電極端子１４ｂは吐出溝４を挟む２つのダミー溝５の吐出溝４の側の両側面９の２つの駆動電極７と電気的に接続する。

カバープレート１２は、圧電体基板１１の後方端ＲＥの側の上面ＵＳに位置する共通電極端子１４ａ及び個別電極端子１４ｂを露出させて圧電体基板１１の上面ＵＳに接着される。カバープレート１２は液体供給室１２ａと液体供給室１２ａの底面から圧電体基板１１側に貫通するスリット１２ｂを備える。液体供給室１２ａは、各スリット１２ｂを介して複数の吐出溝４に連通するが、ダミー溝５には連通しない。ノズルプレート１３は基準方向Ｋに並ぶ複数のノズル１３ａを備える。各ノズル１３ａは各吐出チャンネル２に連通する。

圧電体基板１１はＰＺＴセラミックス等の圧電体から構成することができる。圧電体基板１１は上面ＵＳの垂直方向の上方又は下方に分極処理が施される。カバープレート１２に圧電体基板１１と同じ材料を使用すれば、温度が変化するときに圧電体基板１１とカバープレート１２の線膨張係数の差により圧電体基板１１が変形することを防ぐことができる。ノズルプレート１３はポリイミドフィルムや金属フィルムを使用することができる。液体供給室１２ａにインク等の液体を供給すると、スリット１２ｂを介して各吐出チャンネル２に液体が流入する。そして、共通電極端子１４ａと個別電極端子１４ｂの間に駆動電圧を印加することにより、各隔壁６に電界が印加されて各隔壁６は厚み滑り変形する。これにより、吐出チャンネル２の液体に圧力波が生成され、ノズル１３ａから液滴が吐出される。

図３（ａ）は、図２に示す液体噴射ヘッド１の部分Ｚ−Ｚ線の断面模式図であり、チャンネル列８の左端部、中央部、右端部を示す。チャンネル列８の方向（基準方向Ｋ）における吐出チャンネル２の配列ピッチをＰｃ、ダミーチャンネル３の配列ピッチをＰａとし、ピッチ変化率をＰｒ＝（Ｐａ−Ｐｃ）／Ｐｃと定義する。ここで、吐出チャンネル２の配列ピッチＰｃとは隣接する吐出チャンネル２間の距離であり、ダミーチャンネル３の配列ピッチＰａとは隣接するダミーチャンネル３間の距離である。ピッチ変化率Ｐｒは、吐出チャンネル２の配列ピッチＰｃとダミーチャンネル３の配列ピッチＰａとの差を吐出チャンネル２の配列ピッチＰｃにより除して規格化した値である。より具体的には、隣接する２つの吐出チャンネル２の左隔壁又は右隔壁の壁厚差を、距離Ｐｃに対する割合で表した値ある。

吐出チャンネル２の配列ピッチＰｃとダミーチャンネル３の配列ピッチＰａを相違させることにより、吐出チャンネル２の位置に応じて吐出チャンネル２を挟む２つの隔壁６の壁厚Ｗを容易に変化させることができる。その結果、吐出チャンネル２の容積変化量を容易に調整することができ、液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。図３（ａ）に示す液体噴射ヘッド１はピッチ変化率Ｐｒ＝＋０．０２％の場合である。図３（ｂ）はピッチ変化率Ｐｒ＝０％の従来例の場合であり、比較のために示す。なお、本実施形態においては、吐出チャンネル２及びダミーチャンネル３の配列ピッチＰｃ、Ｐａはチャンネル列８の左端から右端に亘って一定であり、ピッチ変化率Ｐｒはチャンネル列８の全体に亘る特徴を表す。

また、本実施形態では、チャンネル列８を構成する複数のダミーチャンネル３は基準方向Ｋにおけるチャンネル幅が同一である。これにより、ダミーチャンネル３を共通の工具を使用して形成することができ、複数の工具を用意する必要がなくなる。その結果、液体噴射ヘッド１を短時間かつ低コストで製造することができる。また、チャンネル列８を構成する複数の吐出チャンネル２は基準方向Ｋにおけるチャンネル幅がダミーチャンネル３のチャンネル幅と同一とすることができ、複数の工具を用意する必要がなくなる。その結果、液体噴射ヘッド１を一層短時間かつ低コストで製造することができる。

図３（ａ）に示すように、吐出チャンネル２とダミーチャンネル３が圧電体からなる隔壁６を介して基準方向Ｋに交互に配列してチャンネル列８を構成する。吐出チャンネル２及びダミーチャンネル３は上部がカバープレート１２により覆われ、下部は圧電体基板１１により閉塞される。各隔壁６は吐出チャンネル２側とダミーチャンネル３側の両側面９の上端から下方に位置する２つの駆動電極７を備える。駆動電極７は各隔壁６の間で、また、隔壁６の両側面９の間で深さＤが互いに異なる。また、吐出チャンネル２の配列ピッチＰｃとダミーチャンネル３の配列ピッチＰａは互いに異なり、そのため各隔壁６の壁厚Ｗも異なる。例えば、チャンネル列８の中央部では、隔壁６の両側面９に位置する駆動電極７の深さＤの差は小さく、吐出チャンネル２を挟む２つの隔壁６の壁厚Ｗの差も小さい。しかし、チャンネル列８の左端部及び右端部では、隔壁６の両側面９に位置する駆動電極７の深さＤの差が大きく、吐出チャンネル２を挟む２つの隔壁６の壁厚Ｗの差も大きい。

例えば、左端部に位置する第一の吐出チャンネル２ａを挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒのうち壁厚Ｗが薄い方の右隔壁６ｒは、第一の吐出チャンネル２ａより中央Ｃの側に位置する第二の吐出チャンネル２ｂを挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒのうち壁厚Ｗが薄いほうの右隔壁６ｒよりも壁厚Ｗが薄い。チャンネル列８の中央Ｃよりも左側に位置するすべての隔壁６において同様の関係を有する。また、右端部に位置する第一の吐出チャンネル２ａ’を挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒのうち基準方向Ｋの壁厚Ｗが薄い方の左隔壁６ｌは、第一の吐出チャンネル２ａ’より中央Ｃの側に位置する第二の吐出チャンネル２ｂ’を挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒのうち壁厚Ｗが薄いほうの左隔壁６ｌよりも壁厚Ｗが薄い。チャンネル列８の中央Ｃよりも右側に位置するすべての隔壁６において同様の関係を有する。

また、左端部に位置する第一の吐出チャンネル２ａを挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒの４つの駆動電極７のうち深さＤが最も浅い（左隔壁６ｌの右側面９に位置する）駆動電極７は、第一の吐出チャンネル２ａより中央Ｃの側に位置する第二の吐出チャンネル２ｂを挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒの４つの駆動電極７のうち深さＤが最も浅い（左隔壁６ｌの右側面９に位置する）駆動電極７よりも浅い。従って、第一の吐出チャンネル２ａを挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒの各有効電極面積Ｑのうち大きい方の右隔壁６ｒの有効電極面積Ｑは、第二の吐出チャンネル２ｂの左隔壁６ｌ、右隔壁６ｒの各有効電極面積Ｑのうち小さい方の左隔壁６ｌの有効電極面積Ｑよりも小さい。チャンネル列８の中央Ｃよりも左側に位置するすべての隔壁６において同様の関係を有する。

更に、右端部に位置する第一の吐出チャンネル２ａ’を挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒの４つの駆動電極７のうち深さＤが最も浅い（右隔壁６ｒの左側面９に位置する）駆動電極７は、第一の吐出チャンネル２ａ’より中央Ｃの側に位置する第二の吐出チャンネル２ｂ’を挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒの４つの駆動電極７のうち深さＤが最も浅い（右隔壁６ｒの左側面９に位置する）駆動電極７よりも浅い。従って、第一の吐出チャンネル２ａ’を挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒの各有効電極面積Ｑのうち大きい方の左隔壁６ｌの有効電極面積Ｑは、第二の吐出チャンネル２ｂ’の左隔壁６ｌ、右隔壁６ｒの各有効電極面積Ｑのうち小さい方の右隔壁６ｒの有効電極面積Ｑよりも小さい。チャンネル列８の中央Ｃよりも右側に位置するすべての隔壁６において同様の関係を有する。

これにより、第一の吐出チャンネル２ａ又は２ａ’の隔壁６に設置する駆動電極７の有効電極面積Ｑが、第二の吐出チャンネル２ｂ又は２ｂ’の隔壁６に設置する駆動電極７のいずれの有効電極面積Ｑよりも小さくなり、第一の吐出チャンネル２ａ’の容積変化量が低下するのを、第一の吐出チャンネル２ａ又は２ａ’の隔壁６の壁厚Ｗを、第二の吐出チャンネル２ｂ又は２ｂ’の隔壁６のいずれの壁厚Ｗよりも薄く構成して上記容積変化量の低下を補うことができる。なお、図３（ｂ）に示す従来の液体噴射ヘッドは、各吐出チャンネル２の位置及び各吐出チャンネル２に設置される駆動電極７の深さは本第二実施形態の液体噴射ヘッド１と同様であるが、ダミーチャンネル３の配列ピッチＰａ及び隔壁６の厚さが本第二実施形態の液体噴射ヘッド１と異なる。

図４は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの隔壁６のチャンネル列８方向の位置Ｘと駆動電極７の深さＤとの間の関係を表すグラフである。横軸がチャンネル列８の中央ＣをＸ＝０とする隔壁６の位置であり、縦軸が駆動電極７の深さＤである。各隔壁６の左側面９に位置する駆動電極７ｌの深さＤｌを破線で示し、各隔壁６の右側面９に位置する駆動電極７ｒの深さＤｒを実線で示す。図４に示すように、駆動電極７ｌの深さＤｌはチャンネル列８の左端から右端にかけて次第に浅くなる。駆動電極７ｒの深さＤｒはチャンネル列８の左端から右端にかけて次第に深くなる。そして、チャンネル列８の中央Ｃに位置する隔壁６は駆動電極７ｌの深さＤｌと駆動電極７ｒの深さＤｒがほぼ等しい（Ｄｌ≒Ｄｒ）。

従って、チャンネル列８の中央Ｃの側に位置する隔壁６の有効電極面積Ｑのほうが、チャンネル列８の端部（左端又は右端）の側に位置する隔壁６の有効電極面積Ｑよりも大きくなる。また、チャンネル列８の中央Ｃの側に位置する隔壁６の一端（左端又は右端）の側の側面９に位置する駆動電極７と他端（右端又は左端）の側の側面９に位置する駆動電極７との間の深さＤの差は、中央Ｃの側に位置する隔壁６のほうが端部（左端又は右端）の側に位置する隔壁６よりも小さくなる。

駆動電極７ｌの深さＤｌと駆動電極７ｒの深さＤｒがほぼ等しくなる隔壁６の位置を中央Ｃではなく端部の側に設定すると、図４から理解できるように、チャンネル列８の端部に位置する隔壁６の浅い方の駆動電極７が一層浅くなる。つまり、チャンネル列８の中央Ｃの側に位置する隔壁６の有効電極面積Ｑを端部の側に位置する隔壁６の有効電極面積Ｑよりも大きくすれば、チャンネル列８の端部の側に位置する隔壁６の有効電極面積Ｑが減少するのを抑制することができる。その結果、複数の吐出チャンネル２の容積変化量を均等化することができ、液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。

なお、本実施形態では、チャンネル列８の長さが１０８ｍｍ、吐出チャンネル２及びダミーチャンネル３の深さが３６０μｍ、吐出チャンネル２及びダミーチャンネル３のチャンネル幅がいずれも７６μｍである。また、チャンネル列８の中央Ｃで隔壁６の２つの駆動電極７ｌ、７ｒの深さＤが等しく、Ｄｌ＝Ｄｒ＝１３２μｍである。

図５は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１の、吐出チャンネル２のチャンネル列８方向の位置Ｘと壁厚Ｗとの関係を表すグラフである。横軸がチャンネル列８の中央ＣをＸ＝０とする吐出チャンネル２の位置であり、縦軸が隔壁６の壁厚Ｗである。本実施形態では、吐出チャンネル２の配列ピッチＰｃとダミーチャンネル３の配列ピッチＰａが異なる。そして、チャンネル列８の中央Ｃの吐出チャンネル２、つまりＸ＝０では吐出チャンネル２の左右の隔壁６の壁厚Ｗは同じである。ピッチ変化率をＰｒ＝（Ｐａ−Ｐｃ）／Ｐｃと定義し、吐出チャンネル２の左側の隔壁６を左隔壁、右側の隔壁６を右隔壁とする。

グラフＷ０はＰｒ＝０％のときの壁厚Ｗであり、従来例である。グラフＷ１はＰｒ＝−０．０２％のときの左隔壁の壁厚Ｗ、又は、Ｐｒ＝＋０．０２％のときの右隔壁の壁厚Ｗであり、グラフＷ２はＰｒ＝−０．０２％のときの右隔壁の壁厚Ｗ、又は、Ｐｒ＝＋０．０２％のときの左隔壁の壁厚Ｗであり、本実施形態の例である。グラフＷ３はＰｒ＝−０．０５％のときの左隔壁の壁厚Ｗ、又は、Ｐｒ＝＋０．０５％のときの右隔壁の壁厚Ｗであり、グラフＷ４はＰｒ＝−０．０５％のときの右隔壁の壁厚Ｗ、又は、Ｐｒ＝＋０．０５％のときの左隔壁の壁厚Ｗであり、比較例である。

ピッチ変化率Ｐｒ＝０％の場合は吐出チャンネル２の配列ピッチＰｃとダミーチャンネル３の配列ピッチＰａが等しく、どの位置Ｘにおいても左隔壁と右隔壁の壁厚Ｗが一致する。ピッチ変化率Ｐｒ＝−０．０２％の場合は、吐出チャンネル２がチャンネル列８の左端から右端に位置するにつれて、左隔壁の壁厚Ｗが次第に厚くなり、右隔壁の壁厚Ｗが次第に薄くなる。吐出チャンネル２の位置Ｘ＝０、つまり中央Ｃでは左隔壁と右隔壁の壁厚Ｗは等しい。また、吐出チャンネル２の位置Ｘがチャンネル列８の中央Ｃから左方（一方）又は中央から右方（他方）の側に順次変化するときに吐出チャンネル２に面する左隔壁と右隔壁の壁厚Ｗの差は次第に大きくなる。従って、左隔壁と右隔壁の壁厚Ｗを中央Ｃで等しくすれば、チャンネル列８の端部の側に位置する吐出チャンネル２の左隔壁と右隔壁の壁厚Ｗ差が増加するのを抑制することができる。その結果、複数の吐出チャンネル２の容積変化量を均等化することができ、液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。

このため、中央Ｃと左端（又は中央Ｃと右端）との間に位置する複数の吐出チャンネル２のうち、チャンネル列８の左端（又は右端）の側に位置する吐出チャンネル２を挟む２つの隔壁６のうち薄い方の隔壁６の壁厚Ｗは、中央Ｃの側に位置する吐出チャンネル２を挟む２つの隔壁６のうち薄い方の隔壁６の壁厚Ｗよりも薄くなる。更に、中央Ｃと左方（又は右方）の端部との間に位置する複数の吐出チャンネル２のうち、チャンネル列８の左端（又は右端）の側に位置する吐出チャンネル２を挟む２つの隔壁６のうち厚い方の隔壁６の壁厚Ｗは、中央Ｃの側に位置する吐出チャンネル２を挟む２つの隔壁６のうち厚い方の隔壁６の壁厚Ｗよりも厚くなる。ピッチ変化率Ｐｒ＝＋０．０２％及びピッチ変化率Ｐｒ＝±０．０５％の場合も同様である。

図６は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１の吐出チャンネル２の位置と隔壁６の変位量との間の関係のシミュレーション結果を表す図である。図６（ａ）はシミュレーション結果を示す表であり、図６（ｂ）は、駆動電極７に駆動信号を印加して左隔壁６ｌと右隔壁６ｒが変形した状態を表す断面模式図である。図６（ａ）において、縦方向にピッチ変化率Ｐｒ＝０％、−０．０２％、＋０．０２％、横方向に左端の吐出チャンネル２、中央の吐出チャンネル２、右端の吐出チャンネル２について、吐出チャンネル２を挟む左隔壁６ｌの最大変位ΔｍａｘＬと右隔壁６ｒの最大変位ΔｍａｘＲ、合計変位Δｔ＝ΔｍａｘＬ＋ΔｍａｘＲを示す。なお、最下行には左及び右隔壁６ｌ、６ｒのそれぞれの駆動電極７の深さＤｌ、Ｄｒを示す。

図６に示すように、ピッチ変化率Ｐｒ＝０％の場合は、中央の吐出チャンネル２と左端又は右端の吐出チャンネル２との間の合計変位Δｔの差が（３５．６−３３．１＝）２．５ｎｍである。これに対して、ピッチ変化率Ｐｒ＝−０．０２％の場合は、当該差が（３５．６−３４．６＝）１．０ｎｍであり、ピッチ変化率Ｐｒ＝＋０．０２％の場合は当該差が（３５．４−３３．８＝）１．６ｎｍであり、いずれもピッチ変化率Ｐｒ＝０％の場合よりも小さい。従って、ピッチ変化率Ｐｒが±０．０２％の場合はピッチ変化率Ｐｒが０％の従来例よりも吐出条件のばらつきが低減する。

図７は、第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１の、吐出チャンネル２のチャンネル列８方向の位置Ｘと左隔壁６ｌ及び右隔壁６ｒの平均変位Δａｖｅとの間の関係のシミュレーション結果を表すグラフである。平均変位Δａｖｅは、図６（ｂ）に示すように、隔壁６の駆動電極７に駆動信号を印加しないときと印加したときの間の変位断面積ΔＳ、ΔＳ’を吐出チャンネル２の高さｈで除した値であり、平均変位Δａｖｅ＝（ΔＳ＋ΔＳ’）／ｈ、である。グラフＶ０はピッチ変化率Ｐｒ＝０％、グラフＶ１は実線がピッチ変化率Ｐｒ＝−０．０２％、破線がピッチ変化率Ｐｒ＝＋０．０２％の場合、グラフＶ２は実線がピッチ変化率Ｐｒ＝−０．０４％、破線がピッチ変化率Ｐｒ＝＋０．０４％の場合をそれぞれ示す。平均変位Δａｖｅは吐出チャンネル２の位置にかかわらず一定であれば吐出条件が一定になることを意味する。

図７から、ピッチ変化率Ｐｒ＝０％の従来例では、グラフＶ０に示されるように、中央Ｃに位置する吐出チャンネル２に対して端部に位置する吐出チャンネル２は平均変位Δａｖｅが小さい。これに対してピッチ変化率Ｐｒ＝±０．０２％、±０．０４％では、グラフＶ１、Ｖ２に示されるように、中央Ｃに位置する吐出チャンネル２に対して端部に位置する吐出チャンネル２は平均変位Δａｖｅが大きい。そして、ピッチ変化率Ｐｒ＝±０．０２％では、ピッチ変化率Ｐｒ＝０％、±０．０４％の場合よりもグラフがフラットとなり、チャンネル列８内の平均変位Δａｖｅのばらつきが小さい。

図８は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１の、端部の吐出チャンネル２を挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒの平均変位Δａｖｅとピッチ変化率Ｐｒとの間の関係のシミュレーション結果を表すグラフである。横軸がピッチ変化率Ｐｒであり、縦軸が、中央Ｃに位置する吐出チャンネル２を挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒの平均変位Δａｖｅを１とするときの端部に位置する吐出チャンネル２を挟む左隔壁６ｌと右隔壁６ｒの平均変位Δａｖｅの相対値である。

図８からわかるように、ピッチ変化率Ｐｒが次の式（１）及び式（２）の関係を満たすときに、ピッチ変化率Ｐｒ＝０％の従来例よりも吐出チャンネル２の位置に対する平均変位Δａｖｅのばらつきが低減し、複数の吐出チャンネル２の間の液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。
する。
０＜Ｐｒ＜０．０２５％ ・・・・（１）
０＞Ｐｒ＞−０．０２５％ ・・・（２）
ピッチ変化率Ｐｒの絶対値が０．０２５％を超えると、中央Ｃに位置する吐出チャンネル２に対し端部側に位置する吐出チャンネル２の平均変位Δａｖｅが増加して、チャンネル列８内における液滴の吐出量や吐出速度のばらつきが増大する。

（第三実施形態）
図９は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド１の、吐出チャンネル２のチャンネル列８方向の位置Ｘと壁厚Ｗとの間の関係を表すグラフである。横軸がチャンネル列８の中央ＣをＸ＝０とする吐出チャンネル２の位置であり、縦軸が隔壁６の壁厚Ｗである。本実施形態では、吐出チャンネル２がチャンネル列８の中央Ｃの側から一端の側に、又は中央Ｃの側から他端の側に位置するに従い、吐出チャンネル２を挟む一方又は他方の隔壁６の壁厚Ｗは連続する複数の吐出チャンネル２毎に段階的に増加又は減少する。なお、破線で示すグラフＷ０、Ｗ１、Ｗ２はいずれも第二実施形態の場合であり、グラフＷ０はＰｒ＝０％のときの壁厚Ｗ、グラフＷ１はＰｒ＝−０．０２％のときの左隔壁の壁厚Ｗ、又は、Ｐｒ＝＋０．０２％のときの右隔壁の壁厚Ｗ、グラフＷ２はＰｒ＝−０．０２％のときの右隔壁の壁厚Ｗ、又は、Ｐｒ＝＋０．０２％のときの左隔壁の壁厚Ｗである。

グラフＷ５及びグラフＷ６は本実施形態の場合である。グラフＷ５は、例えば吐出チャンネル２の位置に対する左隔壁の壁厚ＷがグラフＷ１に沿っている。グラフＷ１と異なる点は、吐出チャンネル２が一端（左端）の側から他端（右端）の側に位置するに従い、左隔壁の壁厚Ｗが複数の左隔壁ごとに段階的に厚くなる（増加する）点である。グラフＷ６は、例えば吐出チャンネル２の位置に対する右隔壁の壁厚ＷがグラフＷ２に沿っている。グラフＷ２と異なる点は、吐出チャンネル２が一端の側から他端の側に位置するに従い、右隔壁の壁厚Ｗが複数の右隔壁ごとに段階的に薄くなる（減少する）点である。グラフＷ５が吐出チャンネル２の右隔壁でグラフＷ６が吐出チャンネル２の左隔壁であってもよい。本実施形態では、中央Ｃとその近傍において吐出チャンネル２の左隔壁と右隔壁の壁厚Ｗを一致させて、チャンネル列８の一端（左端）付近又は他端（右端）付近に位置する吐出チャンネル２の左隔壁と右隔壁の壁厚Ｗ差を最少にしている。

このように、隔壁６の壁厚Ｗを段階的に変化させても、第二実施形態の液体噴射ヘッド１と同様に吐出チャンネル２の位置に応じて液滴の吐出量や吐出速度がばらつくのを低減させることができる。加えて、隔壁６の壁厚Ｗを連続的に変化させる必要が無いので吐出チャンネル２又は／及びダミーチャンネル３の形成に高精度の加工が不要となり、液体噴射ヘッド１を簡便に低コストで製造することができる。

（第四実施形態）
図１０は本発明の液体噴射装置２０の模式的な分解斜視図である。本液体噴射装置２０は、上記第一〜第三実施形態のいずれかの液体噴射ヘッド１を使用する。液体噴射装置２０は、液体噴射ヘッド１、１’を往復移動させる移動機構６３と、液体噴射ヘッド１、１’に液体を供給する液体供給管５３、５３’と、液体供給管５３、５３’に液体を供給する液体タンク５１、５１’とを備えている。

具体的に説明する。液体噴射装置２０は、紙等の被記録媒体５４を主走査方向に搬送する一対の搬送手段６１、６２と、被記録媒体５４に液体を吐出する液体噴射ヘッド１、１’と、液体タンク５１、５１’に貯留した液体を液体供給管５３、５３’に押圧して供給するポンプ５２、５２’と、液体噴射ヘッド１、１’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構６３等を備えている。

一対の搬送手段６１、６２は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体５４を主走査方向に搬送する。移動機構６３は、副走査方向に延びた一対のガイドレール５６、５７と、一対のガイドレール５６、５７に沿って摺動可能なキャリッジユニット５８と、キャリッジユニット５８を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト５９と、この無端ベルト５９を図示しないプーリを介して周回させるモータ６０とを備えている。

キャリッジユニット５８は、複数の液体噴射ヘッド１、１’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類の液滴を吐出する。液体タンク５１、５１’は対応する色の液体を貯留し、ポンプ５２、５２’、液体供給管５３、５３’を介して液体噴射ヘッド１、１’に供給する。各液体噴射ヘッド１、１’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド１、１’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット５８を駆動するモータ６０の回転及び被記録媒体５４の搬送速度を制御することにより、被記録媒体５４上に任意のパターンを記録することできる。これにより、吐出チャンネルの容積変化量を調整することができ、吐出チャンネル間の液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。

なお、本実施形態は、移動機構６３がキャリッジユニット５８と被記録媒体５４を移動させて記録する液体噴射装置２０であるが、これに代えて、キャリッジユニットを固定し、移動機構が被記録媒体を二次元的に移動させて記録する液体噴射装置であってもよい。つまり、移動機構は液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させるものであればよい。

（第五実施形態）
次に、本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法について説明する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、圧電体基板に溝を形成する溝形成工程と、溝の側面に駆動電極を形成する電極形成工程と、圧電体基板の表面にカバープレートを接着するカバープレート接着工程と、ノズルプレートを接着するノズルプレート接着工程とを含む。

図１１は、本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法における溝形成工程及び電極形成工程後の圧電体基板１１の断面模式図である。溝形成工程は、圧電体を含む圧電体基板１１に吐出溝４とダミー溝５とを隔壁６を介在して基準方向Ｋに交互に形成する。吐出溝４及びダミー溝５はダイシングブレード等を用い圧電体基板１１を研削して形成することができる。隔壁６の基準方向Ｋの厚さを壁厚Ｗとして、吐出溝４の内の一つである第一の吐出溝４ａを挟む２つの隔壁６ａ、６ｂのうち薄い方の隔壁６ａを、吐出溝４の内の他の一つである第二の吐出溝４ｂを挟む２つの隔壁６ｃ、６ｄのうち薄い方の隔壁６ｃよりも壁厚Ｗを薄く形成する（Ｗａ＜Ｗｃ）。第一の吐出溝４ａと第二の吐出溝４ｂは隣接してもよいし離間してもよい。これにより、隔壁６の壁厚Ｗ以外の構成要素が相違することにより生ずる虞がある液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減することができる。つまり、隔壁６の壁厚Ｗを調整することにより、吐出溝により構成する吐出チャンネルの容積変化量を調整することができ、第一の吐出溝により構成する第一の吐出チャンネルと第二の吐出溝により構成する第二の吐出チャンネルの間の液滴の吐出量や吐出速度のばらつきを低減させることができる。

例えば、電極形成工程は、導電材料のスパッタリング法、蒸着法、メッキ法等により隔壁６の側面に駆動電極７を形成することができる。導電材料の斜め蒸着法によれば、隔壁６の吐出溝４の側とダミー溝５の側の両側面９の上端から下方である深さ方向に位置する駆動電極７を形成することができる。駆動電極７は、隔壁６の両側面９に位置する２つの駆動電極７が基準方向Ｋにおいて重なる面積を有効電極面積Ｑとして、第一の吐出溝４ａを挟む２つの隔壁６ａ、６ｂの２つの有効電極面積Ｑａ、Ｑｂのうち大きい方の有効電極面積Ｑｂを、第二の吐出溝４ｂを挟む２つの隔壁６ｃ、６ｄの２つの有効電極面積Ｑｃ、Ｑｄのうち小さい方の有効電極面積Ｑｃよりも小さく形成する（Ｑｂ＜Ｑｃ）。なお、ダミー溝５に面する駆動電極７の紙面奥方向の電極幅は等しく、吐出溝４に面する駆動電極７の紙面奥方向の電極幅も等しいものとする。

つまり、第一の吐出溝４ａを挟む隔壁６ａ、６ｂの２つの有効電極面積Ｑａ、Ｑｂのうち大きい方の有効電極面積Ｑｂが、第二の吐出溝４ｂを挟む隔壁６ｃ、６ｄの２つの有効電極面積Ｑｃ、Ｑｄのうち小さい方の有効電極面積Ｑｃよりも小さくなると、第一の吐出溝４ａの容積変化量が第二の吐出溝４ｂよりも低下する。これを、第一の吐出溝４ａの隔壁６ａ又は６ｂの壁厚Ｗを、第二の吐出溝４ｂを挟む隔壁６ｃ、６ｄのいずれの壁厚Ｗよりも薄く形成して、上記容積変化量の低下を補う。これにより、駆動条件のばらつきが低減する液体噴射ヘッド１を製造することができる。

（第六実施形態）
図１２は本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法の工程図を表す。図１３及び図１４は、本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法の各工程の説明図である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。

図１２に示すように、本第六実施形態に係る液体噴射ヘッド１の製造方法は、圧電体基板１１に感光性樹脂膜１７を設置する感光性樹脂膜設置工程Ｓ１と、圧電体基板１１に吐出溝４とダミー溝５を形成する溝形成工程Ｓ２と、隔壁６の側面９に駆動電極を形成する電極形成工程Ｓ３と、圧電体基板１１から感光性樹脂膜１７を除去する感光性樹脂膜除去工程Ｓ４と、圧電体基板１１にカバープレート１２を接着するカバープレート接着工程Ｓ５と、圧電体基板１１及びカバープレート１２の端面にノズルプレート１３を接着するノズルプレート接着工程Ｓ６と、を備える。

図１３（Ｓ１）は、感光性樹脂膜設置工程Ｓ１を説明するための圧電体基板１１の断面模式図である。まず、圧電体基板１１を準備し、上面ＵＳの垂直方向の上方又は下方に分極処理を施す。圧電体基板１１として例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）セラミックスなどの圧電体を用いることができる。圧電体基板１１は圧電体と誘電体の積層板であってもよい。また、上面ＵＳの垂直方向の上方と下方に分極処理を施した２枚の圧電体基板を積層した積層板であってもよい。次に、圧電体基板１１の上面ＵＳに感光性樹脂膜１７、例えばレジストを塗布してレジスト膜を形成する、あるいは、レジストフィルムを貼り付けて感光性樹脂膜１７を形成する。次に、フォトリソグラフィ工程を通して感光性樹脂膜１７のパターンを形成する。圧電体基板１１の上面ＵＳに電極端子を形成する領域から感光性樹脂膜１７を除去する。

図１３（Ｓ２ａ）及び（Ｓ２ｂ）は、溝形成工程Ｓ２を説明するための図である。図１３（Ｓ２ａ）はダイシングブレード１５を用いて吐出溝４を形成する状態を示し、図１３（２ｂ）は吐出溝４及びダミー溝５の配列方向に直交する基準方向Ｋの断面模式図である。図１３（Ｓ２ａ）に示すように、ダイシングブレード１５（ダイヤモンドカッターとも言う）を用いて圧電体基板１１の上面ＵＳを研削して、吐出溝４とダミー溝５を基準方向Ｋに交互に形成する。この場合に、図１３（Ｓ２ｂ）に示すように、吐出溝４の配列ピッチＰｃとダミー溝５の配列ピッチＰａをずらして形成する。例えば、ピッチ変化率Ｐｒ＝（Ｐａ−Ｐｃ）／Ｐｃとして、ピッチ変化率Ｐｒを式（１）又は式（２）の関係を満たし、溝列の中央Ｃにおいて吐出溝４を挟む両隔壁６の壁厚Ｗを等しくする。吐出溝４の溝幅とダミー溝５の溝幅を等しくすれば、ダイシングブレード１５の厚さを変更することなく溝列を形成することができる。

また、第三実施形態のように、吐出溝４の位置を溝列の中央Ｃの側から一方の端部の側へ、又は中央Ｃの側から他方の端部の側へ連続的に変化させるときに、吐出溝４を挟む一方又は他方の隔壁６の壁厚Ｗが連続する複数の吐出溝４ごとに段階的に変化するように形成することができる。従って、基準方向Ｋへの送り精度が粗い研削装置であっても適用することができる。

図１３（Ｓ３ａ）及び（Ｓ３ｂ）は、電極形成工程Ｓ３を説明するための図である。図１３（Ｓ３ａ）は、真空ベルジャー内において蒸着源１８から導体を蒸発させて圧電体基板１１の表面に導体膜１９を形成する斜め蒸着法を表し、図１３（Ｓ３ｂ）は、蒸着後の圧電体基板１１の断面模式図である。図１３（Ｓ３ａ）に示すように、まず、上面ＵＳの法線方向に対して角度θの斜め方向であり、吐出溝４及びダミー溝５の長手方向に直交する基準方向Ｋから導体を蒸着する。このとき、蒸着源１８から蒸発した導体は圧電体基板１１の上面ＵＳ、感光性樹脂膜１７の表面及び各隔壁６の一方の側の側面９に堆積する。隔壁６の側面９に堆積する導体膜１９は蒸着源１８に近い隔壁６のほうが蒸着源１８から遠い隔壁６よりも深い。次に、上面ＵＳの法線方向に対して角度−θの斜め方向であり、吐出溝４及びダミー溝５の長手方向に直交する基準方向Ｋから導体を再び蒸着する。蒸着源１８から蒸発した導体は圧電体基板１１の上面ＵＳ、感光性樹脂膜１７の表面及び各隔壁６の他方の側の側面９に堆積する。この場合も、隔壁６の側面９に堆積する導体膜１９は蒸着源１８に近い隔壁６のほうが蒸着源１８から遠い隔壁６よりも深い。なお、圧電体基板１１の上面ＵＳの法線方向に対して角度θ方向と角度−θ方向から導体を蒸着するので、中央Ｃに位置する隔壁６の両側面９に堆積する導体膜１９の深さは等しい。

図１４（Ｓ４）は、感光性樹脂膜除去工程Ｓ４を説明するための図である。図１４（Ｓ４）に示すように、感光性樹脂膜１７を除去し、同時にその上に堆積した導体膜１９を除去する（リフトオフ法という）。これにより、隔壁６の両側面の導体膜１９が電気的に分離し、それぞれの側面に駆動電極７を形成することができる。また、上面ＵＳの電極端子領域に電極端子を形成することができる。

図１４（Ｓ５）は、カバープレート接着工程Ｓ５を説明するための図であり、基準方向Ｋの断面模式図である。吐出溝４、ダミー溝５及び駆動電極７を形成した圧電体基板１１の上面ＵＳにカバープレート１２を接着剤により接着する。これにより、吐出溝４及びダミー溝５の上部開口の全部又は一部がカバープレート１２により覆われて吐出チャンネル２及びダミーチャンネル３を構成する。カバープレート１２は液体供給室１２ａと複数のスリット１２ｂを備え、各スリット１２ｂは液体供給室１２ａと各吐出溝４とをそれぞれ連通する。各ダミーチャンネル３は液体供給室１２ａとは連通しない。なお、カバープレート１２は線膨張率が圧電体基板１１と同等の材料を用いることが好ましい。従って、カバープレート１２として圧電体基板１１と同じ材料使用するのがよい。

図１４（Ｓ６）は、ノズルプレート接着工程Ｓ６を説明するための図であり、吐出チャンネル２の長手方向の断面模式図である。圧電体基板１１及びカバープレート１２の前方端ＦＥの端面にノズルプレート１３を接着する。ノズルプレート１３は各吐出チャンネル２に連通する複数のノズル１３ａを備える。ノズルプレート１３は、例えばポリイミドフィルムを使用することができる。なお、圧電体基板１１の後方端ＲＥの側の上面ＵＳには、吐出チャンネル２側の駆動電極７に電気的に接続する共通電極端子１４ａと、その吐出チャンネル２を挟む２つのダミーチャンネル３の当該吐出チャンネル２の側の駆動電極７に電気的に接続する個別電極端子１４ｂが露出する。

液体供給室１２ａに供給されるインク等の液体は、各スリット１２ｂを介して各吐出チャンネル２に流入する。そして、共通電極端子１４ａと個別電極端子１４ｂの間に駆動信号を印加して、吐出チャンネル２を挟む２つの隔壁６を厚み滑り変形させて、吐出チャンネル２内の液体に圧力波を生成し、ノズル１３ａから液滴を吐出させる。本発明の液体噴射ヘッド１の製造方法によれば、複雑な製造装置や製造方法を用いることなく吐出チャンネル２の位置に応じて隔壁６の壁厚Ｗを変えて、有効電極面積Ｑの変化による吐出チャンネル２の容積変化量のばらつきを低減させることができる。

１ 液体噴射ヘッド
２ 吐出チャンネル、２ａ 第一の吐出チャンネル、２ｂ 第二の吐出チャンネル
３ ダミーチャンネル
４ 吐出溝、４ａ 第一の吐出溝、４ｂ 第二の吐出溝
５ ダミー溝
６ 隔壁、６ｌ 左隔壁、６ｒ 右隔壁
７ 駆動電極
８ チャンネル列
９ 側面
１０ａ 下基板。１０ｂ 上基板
１１ 圧電体基板
１２ カバープレート、１２ａ 液体供給室、１２ｂ スリット
１３ ノズルプレート、１３ａ ノズル
１４ 電極端子、１４ａ 共通電極端子、１４ｂ 個別電極端子
１５ ダイシングブレード
１７ 感光性樹脂膜
１８ 蒸着源
１９ 導体膜
２０ 液体噴射装置
Ｋ 基準方向、Ｃ 中央、Ｐｒ ピッチ変化率、Ｐｃ 吐出チャンネルの配列ピッチＰｃ、Ｐａ ダミーチャンネルの配列ピッチ、Ｌｃ 吐出チャンネルのチャンネル幅、Ｌａ ダミーチャンネルのチャンネル幅、ＵＳ 上面、ＦＥ 前方端、ＲＥ 後方端、Ｗ 壁厚、Ｑ 有効電極面積、Ｄ 深さ

Claims (15)

1. 液滴を吐出する吐出チャンネルと液滴を吐出しないダミーチャンネルが圧電体を含む隔壁を介し基準方向に交互に配列するチャンネル列を備え、前記隔壁は前記吐出チャンネルの側と前記ダミーチャンネルの側の両側面の上端から下方に位置する２つの駆動電極を備え、
   前記隔壁の前記基準方向の厚さを壁厚として、前記吐出チャンネルの内の一つである第一の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁のうち薄い方の前記隔壁は、前記吐出チャンネルの内の他の一つである第二の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁のうち薄い方の前記隔壁よりも壁厚が薄い液体噴射ヘッド。
2. 前記隔壁の両側面に位置する２つの前記駆動電極が前記基準方向において重なる面積を有効電極面積として、前記第一の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁の２つの有効電極面積うち大きい方の有効電極面積は、前記第二の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁の２つの有効電極面積のうち小さい方の有効電極面積よりも小さい請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記チャンネル列の前記基準方向における中央の側に位置する前記隔壁の前記有効電極面積のほうが、前記チャンネル列の前記基準方向における端部の側に位置する前記隔壁の前記有効電極面積よりも大きい請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記第一の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁のうち、一方の前記隔壁の２つの前記駆動電極のうち深さの深い方の前記駆動電極と、他方の前記隔壁の２つの前記駆動電極のうち深さの深い方の前記駆動電極のいずれの深さも、前記第二の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁の４つの前記駆動電極のうち深さが最も深い前記駆動電極の深さよりも深い請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記第一の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁のうち壁厚が厚い方の前記隔壁は、前記第二の吐出チャンネルを挟む２つの前記隔壁のうち壁厚が厚い方の前記隔壁よりも壁厚が厚い請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記チャンネル列の前記基準方向における中央と端部の間に位置する複数の前記吐出チャンネルのうち、前記第一の吐出チャンネルは端部の側に位置し、前記第二の吐出チャンネルは中央の側に位置する請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記チャンネル列の前記基準方向における一端の側に位置する前記隔壁の前記一端の側の側面の前記駆動電極は、他端の側に位置する前記隔壁の前記一端の側の側面の前記駆動電極よりも深さが深く、
   前記一端の側に位置する前記隔壁の前記他端の側の側面の前記駆動電極は、前記他端の側に位置する前記隔壁の前記他端の側の側面の前記駆動電極よりも深さが浅い請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記吐出チャンネルが前記チャンネル列の中央の側から一端の側に、又は前記中央の側から他端の側に位置するに従い、前記吐出チャンネルを挟む一方又は他方の前記隔壁の壁厚は複数の前記吐出チャンネル毎に段階的に増加又は減少する請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 前記吐出チャンネルの前記基準方向における配列ピッチと前記ダミーチャンネルの前記基準方向における配列ピッチとが異なる請求項１〜８のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
10. 前記吐出チャンネルの前記配列ピッチをＰｃ、前記ダミーチャンネルの前記配列ピッチをＰａ、ピッチ変化率Ｐｒ＝（Ｐａ−Ｐｃ）／Ｐｃとして、ピッチ変化率Ｐｒは式（１）又は式（２）の関係を満たす請求項９に記載の液体噴射ヘッド。
    ０＜Ｐｒ＜０．０２５％・・・・（１）、
    ０＞Ｐｒ＞−０．０２５％・・・（２）
11. 前記チャンネル列を構成する複数の前記ダミーチャンネルは前記基準方向におけるチャンネル幅が同一である請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
12. 前記チャンネル列を構成する複数の前記吐出チャンネルは前記基準方向におけるチャンネル幅が前記ダミーチャンネルのチャンネル幅と同一である請求項１１に記載の液体噴射ヘッド。
13. 請求項１〜１２のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
    前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、
    前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
    前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
14. 圧電体を含む圧電体基板に吐出溝とダミー溝とを隔壁を介在して基準方向に交互に形成する溝形成工程と、
    前記隔壁の前記吐出溝の側と前記ダミー溝の側の両側面の上端から下方に位置する駆動電極を形成する電極形成工程と、
    前記圧電体基板の表面にカバープレートを接着するカバープレート接着工程と、
    前記圧電体基板にノズルプレートを接着するノズルプレート接着工程と、を備え、
    前記溝形成工程は、前記隔壁の基準方向の厚さを壁厚として、前記吐出溝の内の一つである第一の吐出溝を挟む２つの前記隔壁のうち薄い方の前記隔壁を、前記吐出溝の内の他の一つである第二の吐出溝を挟む２つの前記隔壁のうち薄い方の前記隔壁よりも壁厚を薄く形成する液体噴射ヘッドの製造方法。
15. 前記電極形成工程は、前記圧電体基板の表面の法線方向に対し斜め方向から導体を蒸着する斜め蒸着法により形成する請求項１４に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。

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