JP7048296B2 - 液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 - Google Patents

Description

本開示は、液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。

液体噴射記録装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出（噴射）して画像や文字等の記録を行う、インクジェット方式の記録装置が提供されている（例えば、特許文献１参照）。この方式の液体噴射記録装置では、インクタンクからインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）へインクを供給し、このインクジェットヘッドのノズル孔から被記録媒体に対してインクを吐出することで、画像や文字等の記録が行われるようになっている。また、このようなインクジェットヘッドには、インクを吐出するヘッドチップが設けられている。

特開２０１４－２３３８７５号公報

このようなヘッドチップ等では、ノズル数の増大と小型化とが求められている。よって、ノズル数の増大や小型化に対応しつつ、製造容易性に優れた構成を有する液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望まれる。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドチップは、アクチュエータプレートと、カバープレートとを備える。アクチュエータプレートは、表面と、互いに離間して隣り合うように設けられた吐出溝および非吐出溝と、吐出溝の内面と表面のうち吐出溝の端部の周辺部分とを覆う第１の共通電極と、非吐出溝の内面と表面のうち非吐出溝の端部の周辺部分とを覆うと共に第１の共通電極と絶縁された第１の個別電極と、を有する。カバープレートは、アクチュエータプレートと対向するように配置され、第１の共通電極と当接する第２の共通電極と、第１の個別電極と当接する第２の個別電極と、を有する。ここで、第２の共通電極は、吐出溝および非吐出溝の延在方向において第２の個別電極と対向する対向部分と、吐出溝と非吐出溝との並び方向において第２の個別電極と並ぶと共に第２の個別電極に沿って延在する並進部分と、対向部分と並進部分とを繋ぐ連結部分とを含む。並び方向における並進部分の中心位置は、並び方向における対向部分の中心位置に対して並び方向へシフトした位置にある。第２の共通電極は、対向部分において第１の共通電極と当接している。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、上記本開示の一実施の形態に係る液体ヘッドチップを備えたものである。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドと、その液体噴射ヘッドが取り付けられるキャリッジとを備えたものである。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、ノズル数の増大や全体構成の小型化に対応しつつ、優れた製造容易性を確保できる。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。 図１に示した液体噴射ヘッドおよびインク循環機構の概略構成例を表す模式図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの分解斜視図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの断面図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの他の断面図である。 図１に示した液体噴射ヘッドにおける、吐出溝の延在方向と直交する断面を拡大して表す断面図である。 図３に示した液体噴射ヘッドチップの一部を拡大して表す分解図である。 図３に示した液体噴射ヘッドチップの一部を拡大して表す平面図である。 図３に示したカバープレートを拡大して表す斜視図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一工程を表す断面図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一工程を表す斜視図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一工程を表す断面図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一工程を表す斜視図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一工程を表す断面図である。 変形例１に係るヘッドチップの一部分を拡大して表す平面模式図である。 変形例２に係るヘッドチップの一部分を拡大して表す平面模式図である。 変形例３に係るヘッドチップの一部分を拡大して表す平面模式図である。 変形例４に係るヘッドチップの一部分を拡大して表す平面模式図である。 変形例５に係るヘッドチップの一部分を拡大して表す平面模式図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（カバープレート側共通電極がカバープレート側個別電極と同じ面のみに設けられ、４つの対向部分につき１つの並進部分を有するようにした例）
２．変形例
変形例１（カバープレート側共通電極が２つの対向部分につき１つの並進部分を有するようにした例）
変形例２（２つの対向部分につき１つの並進部分を有するカバープレート側共通電極が複数並ぶようにした例）
変形例３（クランク形状のカバープレート側共通電極が複数並ぶようにした例）
変形例４（カバープレート側共通電極が対向部分と並進部分とを同数ずつ有すると共に、複数の対向部分および複数の並進部分が一の連結部分により連結されるようにした例）
変形例５（クランク形状のカバープレート側共通電極が複数並ぶようにした他の例）
３．その他の変形例

＜１．実施の形態＞
［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。このプリンタ１は、インクを利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。

プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、供給チューブ５０と、走査機構６と、インク循環機構８とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

ここで、プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応し、インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。

搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２はそれぞれ、Ｙ軸方向（記録紙Ｐの幅方向）に沿って延設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ－Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等によって構成されている。

（インクタンク３）
インクタンク３は、インクを内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｂ）の４色のインクを個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインクを収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインクを収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインクを収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインクを収容するインクタンク３Ｂとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂはそれぞれ、収容するインクの色以外については同一の構成であるので、以下ではインクタンク３と総称して説明する。

（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル７８から記録紙Ｐに対して液滴状のインクを噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂにそれぞれ収容されている４色のインクを個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインクを噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインクを噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインクを噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインクを噴射するインクジェットヘッド４Ｂとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂはそれぞれ、利用するインクの色以外については同一の構成であるので、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成については、後述する（図２など参照）。

供給チューブ５０は、インクタンク３内からインクジェットヘッド４内へとインクを供給するためのチューブである。

（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール３１，３２と、これらのガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、このキャリッジ３３をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構３４と、を有している。また、駆動機構３４は、ガイドレール３１，３２の間に配置された一対のプーリ３５，３６と、これらのプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、プーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を有している。

プーリ３５，３６はそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って、各ガイドレール３１，３２における両端付近に対応する領域に配置されている。無端ベルト３７には、キャリッジ３３が連結されている。このキャリッジ３３は、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂを載置する平板状の基台３３ａと、この基台３３ａから垂直（Ｚ軸方向）に立ち上げられた壁部３３ｂとを有している。基台３３ａ上には、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂが、Ｙ軸方向に沿って並んで載置されている。

なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成されるようになっている。

（インク循環機構８）
図２は、インク循環機構８の概略構成例を表した模式図である。インク循環機構８は、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間でインクを循環させる機構であり、インク供給管８１およびインク排出管８２により構成される循環流路８３と、インク供給管８１に設けられた加圧ポンプ８４と、インク排出管８２に設けられた吸引ポンプ８５とを備える。インク供給管８１およびインク排出管８２は、例えば、インクジェットヘッド４を支持する走査機構６の動作に追従可能な程度に可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。

加圧ポンプ８４は、インク供給管８１内を加圧し、インク供給管８１を通してインクジェットヘッド４にインクを送り出すものである。加圧ポンプ８４の機能により、インクジェットヘッド４に対し、加圧ポンプ８４とインクジェットヘッド４との間のインク供給管８１内は正圧となっている。

吸引ポンプ８５は、インク排出管８２内を減圧し、インク排出管８２を通してインクジェットヘッド４からインクを吸引するものである。吸引ポンプ８５の機能により、インクジェットヘッド４に対して、吸引ポンプ８５とインクジェットヘッド４との間のインク排出管８２内は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ８４および吸引ポンプ８５の駆動により、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間を、循環流路８３を通して循環可能となっている。

［インクジェットヘッド４の詳細構成］
次に、図１に加えて図３～図８を参照して、インクジェットヘッド４の詳細構成例について説明する。図３は、インクジェットヘッド４の詳細構成例を、斜視図で表したものである。

図３に示したように、インクジェットヘッド４は、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂと、流路プレート４１と、入口マニホールド４２と、出口マニホールド（不図示）と、帰還プレート４３と、ノズルプレート（噴射プレート）４４とを備える。インクジェットヘッド４は、後出の吐出チャネル５４の延在方向（Ｚ軸方向）の先端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのうち、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間でインクを循環させる循環式（エッジシュート循環式）のものである。

（ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂ）
一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは互いに実質的に同一の構成を有しており、Ｙ軸方向において流路プレート４１を挟んで実質的に対称の姿勢をなすように実質的に対称の位置に設けられている。以下では、特に区別が必要のない場合は、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂをヘッドチップ４０と総称して説明する。なお、ヘッドチップ４０は本開示における「液体噴射ヘッドチップ」の一具体例に対する。ヘッドチップ４０は、アクチュエータプレート５１と、カバープレート５２とを備える。

（アクチュエータプレート５１）
アクチュエータプレート５１は、Ｘ軸方向を長手方向とすると共にＺ軸方向を短手方向とする、ＸＺ面に沿って広がる板状部材である。アクチュエータプレート５１は、厚さ方向（Ｙ軸方向）において互いに異なる分極方向を有する２枚の圧電基板を積層した、いわゆるシェブロンタイプの積層基板である（後出の図６参照）。それらの圧電基板は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料からなるセラミックス基板が好適に用いられる。

アクチュエータプレート５１のうちのカバープレート５２と対向する対向面５１ｆ１には、それぞれＺ軸方向へ直線状に延在する複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５が設けられている。吐出チャネル５４とダミーチャネル５５とは、Ｘ軸方向において互いに離間して交互に配置されている。吐出チャネル５４とダミーチャネル５５とは、駆動壁５６によって仕切られている。このため、アクチュエータプレート５１は、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の延在方向（Ｚ軸方向）と直交する断面（ＸＹ断面）において、凹状の溝部が複数並ぶ構造となっている（図６参照）。なお、対向面５１ｆ１は、本開示の「表面」に対応する一具体例である。

図４は、インクジェットヘッド４における、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４およびヘッドチップ４０Ｂのダミーチャネル５５を含む断面の構成例を表す断面図である。図５は、インクジェットヘッド４における、ヘッドチップ４０Ａのダミーチャネル５５およびヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４を含む断面の構成例を表す断面図である。図６は、インクジェットヘッド４における、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の延在方向（Ｚ軸方向）と直交する断面（ＸＹ断面）を拡大して表す断面図である。図７Ａは、ヘッドチップ４０の一部を拡大して表す分解図である。図７Ｂは、ヘッドチップ４０の一部を拡大して表す平面図であり、ＸＺ面内におけるアクチュエータプレート５１とカバープレート５２との位置関係を説明するものである。

吐出チャネル５４は、インクに対して圧力を印加するための圧力室として機能する部分である。吐出チャネル５４の上端部はアクチュエータプレート５１の上端面（帰還プレート４３と反対側の面）５１２に至らずにアクチュエータプレート５１内で終端している。これに対し吐出チャネル５４の下端部は、図７Ａに示したようにアクチュエータプレート５１の下端部５１ａに至るまで延在し、下端面（帰還プレート４３と対向する面）５１１に露出して帰還プレート４３と対向する開口５４Ｋを形成している。また、吐出チャネル５４の上端部近傍は、上端面５１２に向かうに従って深さ（Ｙ軸方向の寸法）が徐々に減少するように形成されている。

吐出チャネル５４の内面は、アクチュエータ側共通電極６１（以下、ＡＰ側共通電極６１という。）によって例えば全面的に覆われている。但し、ＡＰ側共通電極６１は、吐出チャネル５４の内面の一部のみを覆うものであってもよい。ＡＰ側共通電極６１は、対向面５１ｆ１のうち吐出チャネル５４の上端部の周辺部分５１ｅの一部を覆うアクチュエータ側共通パッド６２（以下、ＡＰ側共通パッド６２という。）と接続されている。これら、ＡＰ側共通電極６１とＡＰ側共通パッド６２とを合わせたものが本開示の「第１の共通電極」に対応する一具体例である。

ダミーチャネル５５のうちの対向する１対の側面は、アクチュエータ側個別電極６３（以下、ＡＰ側個別電極６３という。）によって全面的に覆われている。但し、ＡＰ側個別電極６３は、ダミーチャネル５５の側面の一部のみを覆うものであってもよい。また、ダミーチャネル５５における１対の側面を覆う１対のＡＰ側個別電極６３同士は互いに絶縁されている。ＡＰ側個別電極６３は、対向面５１ｆ１のうち吐出チャネル５４の上端部の周辺部分５１ｅの他の一部を覆うアクチュエータ側個別配線６４（以下、ＡＰ側個別配線６４という。）と接続されている。なお、本実施の形態では、ＡＰ側個別配線６４は、周辺部分５１ｅのうちＡＰ側共通パッド６２よりも上方に位置する部分をＸ軸方向に延在するように設けられている。ＡＰ側個別配線６４は、吐出チャネル５４を間に挟んで隣り合う一対のＡＰ側個別電極６３同士を接続している。これら、ＡＰ側個別電極６３とＡＰ側個別配線６４とを合わせたものが本開示の「第１の個別電極」に対応する一具体例である。ＡＰ側共通電極６１およびＡＰ側共通パッド６２は、ＡＰ側個別電極６３およびＡＰ側個別配線６４と電気的に絶縁されている。

アクチュエータプレート５１の対向面５１ｆ１には、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の延在方向（Ｚ軸方向）に沿って削られた並進溝５７と、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の幅方向（Ｘ軸方向）に沿って横断するように削られた横断溝５８とがさらに設けられている（図７Ａ参照）。並進溝５７は本開示の「並進溝」に対応する一具体例であり、横断溝５８は本開示の「横断溝」に対応する一具体例である。並進溝５７は、後出の並進部分６５２から離間して設けられており、横断溝５８は、後出の連結部分６５３から離間して設けられている。並進溝５７の底面および側面は、ＡＰ側個別配線６４によって覆われている。なお、横断溝５８は、ＡＰ側個別配線６４とＡＰ側共通パッド６２との間に設けられている。また、横断溝５８の最深部の深さは、吐出チャネル５４の最深部の深さおよびダミーチャネル５５の最深部の深さよりも浅く、並進溝５７の深さは一定であり、横断溝５８の最深部の深さよりも浅い。

（カバープレート５２）
カバープレート５２は、Ｘ軸方向を長手方向とすると共にＺ軸方向を短手方向とする、ＸＺ面に沿って広がる板状部材である。カバープレート５２は、アクチュエータプレート５１の対向面５１ｆ１と対向する対向面５２ｆ１を有し、カバープレート側共通電極６５（以下、ＣＰ側共通電極６５という。）と、カバープレート側個別電極６９（以下、ＣＰ側個別電極６９という。）と、を有する。

ＣＰ側共通電極６５は、ＡＰ側共通パッド６２と当接する部分を含むと共に上端部５２ｂに至るまで延在している。上端部５２ｂは対向面５２ｆ１のうち、アクチュエータプレート５１と重ならない部分である。ＣＰ側共通電極６５は、本開示の「第２の共通電極」の一具体例に対応するものであり、対向部分６５１と、並進部分６５２と、連結部分６５３と、分岐部分６５４とを有する。これら対向部分６５１、並進部分６５２および連結部分６５３は、それぞれ、本開示の「対向部分」、「並進部分」および「連結部分」に対応する一具体例である。対向部分６５１は、ＡＰ側共通パッド６２と当接する部分である。並進部分６５２は、Ｚ軸方向に沿って対向部分６９１（後出）と並進する部分である。並進部分６５２は、並進溝５７と対向する位置に設けられているものの、ＡＰ側個別電極６３やＡＰ側個別配線６４と導通しないように並進溝５７の底面および側面から離間している。連結部分６５３は、それら対向部分６５１と並進部分６５２とを繋ぐ部分である。図７Ａに示した例では、一の連結部分６５３に対し４つの対向部分６５１が接続された例を示している。したがって、この例は、複数の吐出チャネル５４が並ぶ並び方向（Ｘ軸方向）において隣り合う複数の連結部分同士が一体化（接続）されて一の連結部分６５３を構成したものといえる。なお、連結部分６５３は、横断溝５８と対応する位置に設けられているものの、ＡＰ側個別電極６３と導通しないように横断溝５８の底面および側面から離間している。分岐部分６５４は、並進部分６５２から見て連結部分６５３と反対側において並進部分６５２と接続され、並進部分６５２を基点として上端面５２２へ向かって延在している。図７Ａでは、一の並進部分６５２に対し、例えば４つの対向部分６５１が連結部分６５３を介して接続されると共に、４つの分岐部分６５４が並進部分６５２と接続された例を示している。したがって、この例は、複数の吐出チャネル５４が並ぶ並び方向（Ｘ軸方向）において隣り合う複数の並進部分同士が一体化されて一の並進部分６５２を構成したものといえる。なお、本実施の形態では、例えば図３に示したように、カバープレート５２において、並進部分６５２がＸ軸方向に沿った４箇所に設けられている。また、連結部分６５３は、４箇所の並進部分６５２の全てを繋ぐようにカバープレート５２の長手方向（Ｘ軸方向）へ延在している。

ＣＰ側個別電極６９は、ＡＰ側個別配線６４と当接する部分を含むと共に上端部５２ｂに至るまで延在している。具体的には、ＣＰ側個別電極６９は、ＡＰ側個別配線６４と対向して当接する対向部分６９１と、外部配線４５と接続される引出部分６９２とを有している。ＣＰ側個別電極６９は、本開示の「第２の個別電極」の一具体例に対応するものである。

この例では、例えば図７Ｂに示したように、Ｘ軸方向における並進部分６５２の中心位置６５２Ｘは、Ｘ軸方向における対向部分６５１の中心位置６５１Ｘ（６５１Ｘ１～６５１Ｘ４）に対してＸ軸方向へシフトした位置にある。また、Ｘ軸方向における対向部分６９１ａ～６９１ｄの中心位置６９Ｘ１～６９Ｘ４は、Ｘ軸方向における対向部分６５１ａ～６５１ｄの中心位置６５１Ｘ１～６５１Ｘ４に対し、並進部分６５２から離れる方向へシフトした位置にある。さらに、並進溝５７を挟んで隣り合う位置にある対向部分６９１ｂと対向部分６９１ｃとの間隔は、並進溝５７を挟まずに隣り合う位置にある対向部分６９１ａと対向部分６９１ｂとの間隔（あるいは対向部分６９１ｃと対向部分６９１ｄとの間隔）よりも大きいとよい。

図８は、カバープレート５２を流路プレート４１側から眺めた斜視図である。カバープレート５２には、カバープレート５２をＹ軸方向（厚さ方向）に貫通するとともに、吐出チャネル５４に連通する液体供給路７０が形成されている。液体供給路７０は、本開示の「貫通孔」に対応する一具体例である。液体供給路７０は、Ｙ軸方向の流路プレート４１側に開口する共通インク室７１と、共通インク室７１とそれぞれ連通すると共にＹ軸方向のアクチュエータプレート５１側に開口する複数のスリット７２とを含んでいる。複数のスリット７２は、複数の吐出チャネル５４と対応する位置に設けられている。共通インク室７１は、複数のスリット７２に対し共通に設けられており、複数のスリット７２を通じて各吐出チャネル５４と連通している。共通インク室７１は、ダミーチャネル５５には連通していない。

共通インク室７１は、カバープレート５２における流路プレート４１と対向する対向面５２ｆ２に形成されている。共通インク室７１は、Ｚ軸方向において、吐出チャネル５４の切り上がり部５４ｂと実質的に同じ位置に配置されている。共通インク室７１は、対向面５２ｆ１側に向けて窪むと共にＸ軸方向に延在する溝状に形成されている。共通インク室７１には、流路プレート４１を通じてインクが流入するようになっている。

複数のスリット７２は、アクチュエータプレート５１と対向する対向面５２ｆ１に形成されている。複数のスリット７２は、Ｙ軸方向において共通インク室７１の一部とそれぞれ重なり合う位置に配置されている。複数のスリット７２は、共通インク室７１と複数の吐出チャネル５４とに連通している。各スリット７２のＸ軸方向の幅は、各吐出チャネル５４のＸ軸方向の幅と実質的に同じであることが望ましい。

なお、カバープレート５２は、絶縁性を有し、かつアクチュエータプレート５１を形成する材料の熱伝導率と同等以上の熱伝導率を有する材料により形成されているとよい。例えば、アクチュエータプレート５１をＰＺＴにより形成した場合、カバープレート５２は、ＰＺＴまたはシリコンにより形成することが好ましい。これにより、ヘッドチップ４０Ａのカバープレート５２の温度とヘッドチップ４０Ｂのカバープレート５２の温度との差が低減され、インクジェットヘッド４内におけるインク温度の均一化を図ることができるからである。その結果、インクの吐出速度のばらつきが低減され、印字安定性が向上する。

（一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの配置関係）
図３に示したように、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは、各々の対向面５２ｆ２同士をＹ方向で対向させた状態で、Ｙ軸方向に流路プレート４１を挟んで配置されている。

ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５は、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の配列ピッチに対してＸ軸方向に半ピッチずれて配列されている。すなわち、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５と、ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５とが千鳥状に配列されている。

このため、図４に示したように、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４と、ヘッドチップ４０Ｂのダミーチャネル５５とがＹ軸方向で対向している。同様に、図５に示したように、ヘッドチップ４０Ａのダミーチャネル５５と、ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４とがＹ軸方向で対向している。なお、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂにおける各々の吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５のピッチは適宜変更可能である。

（流路プレート４１）
流路プレート４１は、Ｙ軸方向においてヘッドチップ４０Ａとヘッドチップ４０Ｂとの間に挟持されている。流路プレート４１は、同一の部材により一体に形成されているとよい。図３に示したように、流路プレート４１は、Ｘ軸方向を長手方向としＹ軸方向を短手方向とする矩形板状をなしている。Ｙ軸方向から見て、流路プレート４１の外形は、カバープレート５２の外形と実質的に同じである。

流路プレート４１のＹ軸方向における主面４１ａ（ヘッドチップ４０Ａと対向する面）には、ヘッドチップ４０Ａにおける対向面５２ｆ２が接合されている。流路プレート４１のＹ軸方向における主面４１ｂ（ヘッドチップ４０Ｂと対向する面）には、ヘッドチップ４０Ｂにおける対向面５２ｆ２が接合されている。

図４および図５に示したように、流路プレート４１の各主面４１ｆ１，４１ｆ２には、共通インク室７１に各別に連通する入口流路７４と、帰還プレート４３の循環路７６に各別に連通する出口流路７５とが形成されている。

図３に示したように、出口流路７５は、流路プレート４１の各主面４１ｆ１，４１ｆ２からＹ軸方向の内側に向けて窪むとともに、流路プレート４１の下端面４１１から上端面４１２へ向かうように窪んでいる。各出口流路７５の一端部は、流路プレート４１のＸ軸方向の他端面で開口している。各出口流路７５は、流路プレート４１のＸ軸方向の他端面から下方にクランク状に屈曲した後、Ｘ軸方向の一端側に向けて直線状に延びている。図４に示したように、出口流路７５のＺ軸方向の幅は、入口流路７４のＺ軸方向の幅よりも小さいとよい。また、出口流路７５のＹ軸方向の深さは、入口流路７４のＹ軸方向の深さと実質的に同じである。出口流路７５は、流路プレート４１のＸ軸方向の他端面において出口マニホールド（図示せず）に接続されている。出口マニホールドは、インク排出管８２（図１参照）に接続されている。

（入口マニホールド４２）
図３に示したように、入口マニホールド４２は、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂおよび流路プレート４１のＸ軸方向の一端面に接合されている。入口マニホールド４２には、一対の入口流路７４に連通する供給路７７が形成されている。供給路７７における流路プレート４１と反対側の端部はインク供給管８１（図１参照）に接続されている。

（帰還プレート４３）
帰還プレート４３は、Ｘ軸方向を長手方向としＹ軸方向を短手方向とする矩形板状をなしている。帰還プレート４３は、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの下端面５１１，５２１および流路プレート４１の下端面４１１にまとめて接合されている。すなわち、帰還プレート４３は、ヘッドチップ４０Ａおよびヘッドチップ４０Ｂにおける吐出チャネル５４の開口５４Ｋ側に配設されている。帰還プレート４３は、ヘッドチップ４０Ａとヘッドチップ４０Ｂとにおける吐出チャネル５４の開口５４Ｋと、ノズルプレート４４の上面との間に介在するスペーサプレートである。帰還プレート４３には、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの吐出チャネル５４と出口流路７５との間を接続する複数の循環路７６が形成されている。複数の循環路７６は、第１循環路７６ａおよび第２循環路７６ｂを含んでいる。複数の循環路７６は、帰還プレート４３をＺ軸方向に貫通している。

（ノズルプレート４４）
図３に示したように、ノズルプレート４４の外形は、Ｘ軸方向を長手方向としＹ軸方向を短手方向とする矩形板状をなしている。ノズルプレート４４は、帰還プレート４３の下端面に接合されている。ノズルプレート４４には、ノズルプレート４４をＺ軸方向に貫通する複数のノズル７８（噴射孔）が配列されている。複数のノズル７８は、第１ノズル７８ａおよび第２ノズル７８ｂを含む。複数のノズル７８は、ノズルプレート４４をＺ軸方向に貫通している。

図４に示したように、第１ノズル７８ａは、ノズルプレート４４のうち、帰還プレート４３の各第１循環路７６ａとＺ軸方向で対向する部分にそれぞれ形成されている。すなわち、第１ノズル
７８ａは、第１循環路７６ａと同ピッチで、Ｘ軸方向に間隔をあけて一直線上に配列されている。第１ノズル７８ａは、第１循環路７６ａにおけるＹ軸方向の外端部で第１循環路７６ａ内に連通している。これにより、各第１ノズル７８ａは、第１循環路７６ａを介してヘッドチップ４０Ａの対応する吐出チャネル５４にそれぞれ連通している。

図５に示したように、第２ノズル７８ｂは、ノズルプレート４４のうち、帰還プレート４３の各第２循環路７６ｂとＺ軸方向で対向する部分にそれぞれ形成されている。すなわち、第２ノズル７８ｂは、第２循環路７６ｂと同ピッチで、Ｘ軸方向に間隔をあけて一直線上に配列されている。第２ノズル７８ｂは、第２循環路７６ｂにおけるＹ軸方向の外側端部で第２循環路７６ｂ内に連通している。これにより、各第２ノズル７８ｂは、第２循環路７６ｂを介してヘッドチップ４０Ｂの対応する吐出チャネル５４にそれぞれ連通している。ダミーチャネル５５は、ノズル７８ａ，７８ｂには連通しておらず、帰還プレート４３により下方から覆われている。

［インクジェットヘッド４の製造方法］
次に、図１～図８に加えて図９～図１３を参照して、インクジェットヘッド４の製造方法について説明する。本実施形態のインクジェットヘッド４の製造方法は、ヘッドチップ作製工程と、流路プレート作製工程と、プレート接合工程と、帰還プレート等接合工程と、を含む。なお、ヘッドチップ作製工程は、ヘッドチップ４０Ａとヘッドチップ４０Ｂとで同様の方法により行うことが可能である。したがって、以下の説明ではヘッドチップ４０Ａにおけるヘッドチップ作製工程について説明する。

（ヘッドチップ作製工程）
本実施の形態のインクジェットヘッド４の製造方法におけるヘッドチップ作製工程は、アクチュエータプレート側の工程と、カバープレート側の工程とに分けることができる。そのうちアクチュエータプレート側の工程として、例えばウエハ準備工程、マスクパターン形成工程、チャネル形成工程および電極形成工程を含む。

ウエハ準備工程では、厚さ方向（Ｙ軸方向）に分極処理された２枚の圧電ウエハを用意し、各々の分極方向が逆向きとなるようにそれらを積層する。これにより、いわゆるシェブロンタイプのアクチュエータウエハが形成される。

続くマスクパターン形成工程では、電極形成工程で用いるマスクパターンを上述のアクチュエータウエハ上に形成する。

続くチャネル形成工程では、図示しないダイシングブレード等により、上述のアクチュエータウエハの表面に対して切削加工を行う。具体的には、上述のアクチュエータウエハの表面上に、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５がＸ軸方向に間隔をあけて平行をなすように、かつ交互に並ぶように形成する。

続く電極形成工程では、例えばめっき処理工程において、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５を覆う金属被膜を形成する。

図９は、上述のめっき処理工程に続くめっき被膜除去工程を表す断面図である。図９に示したように、めっき被膜除去工程では、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５を覆う金属被膜のうち、ダミーチャネル５５の底面に位置する部分を例えばレーザ光の照射により除去する。これにより、アクチュエータウエハ１１０のうち、吐出チャネル５４の内面にＡＰ側共通電極６１が形成され、ダミーチャネル５５の内面にＡＰ側個別電極６３が形成される。また、アクチュエータウエハ１１０の表面には、対応するＡＰ側共通電極６１およびＡＰ側個別電極６３にそれぞれ接続されるＡＰ側共通パッド６２およびＡＰ側個別配線６４（図７Ａ，図７Ｂ参照）が形成される。なお、レーザ光Ｌに代えてダイサーを用いてもよい。

本実施形態のヘッドチップ作製工程は、カバープレート側の工程として、共通インク室形成工程、スリット形成工程および電極・配線形成工程を含む。

図１０は、カバープレート側の工程に含まれる共通インク室形成工程を表す平面図である。また、図１１は、共通インク室形成工程に続くスリット形成工程を表す断面図であり、図１０に示したXI-XI切断線に沿った矢視方向の断面を表している。図１０に示したように、共通インク室形成工程では、まずカバーウエハ１２０に対して表面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、共通インク室７１を形成する。続いて、図１１に示すように、スリット形成工程において、カバーウエハ１２０に対して裏面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、共通インク室７１内に各別に連通するスリット７２を形成する。

なお、共通インク室形成工程およびスリット形成工程は、それぞれサンドブラストに限らず、ダイシング、切削等により行っても構わない。

続く電極・配線形成工程では、図７Ａに示したように、カバープレート５２にＣＰ側共通電極６５およびＣＰ側個別電極６９などの各種電極・配線をそれぞれ所定の位置に所定の形状をなすように形成する。具体的には、電極・配線形成工程では、各種電極および各種配線（ＣＰ側共通電極６５およびＣＰ側個別電極６９）を形成すべき領域に開口を有するマスク（図示せず）を配置する。そののち、そのマスクの上から蒸着等により電極材料を成膜する。あるいは、無電解めっきにより電極材料を成膜してもよい。これにより、マスクの開口を通してカバープレート５２の対向面５２ｆ１に各種電極および各種配線となる電極材料が成膜される。なお、マスクとしては、例えば感光性ドライフィルム等を用いることができる。電極材料を成膜したのち、カバープレート５２の全面からマスクを除去する。

最後に、アクチュエータプレート５１とカバープレート５２とを接合する。具体的には、対向面５１ｆ１を、対向面５２ｆ１に接着剤などにより貼り付ける。以上によりヘッドチップ４０Ａの作製が完了する。ヘッドチップ４０Ｂについても同様に作製可能である。

（流路プレート作製工程）
本実施の形態のインクジェットヘッド４の製造方法における流路プレート作製工程は、流路形成工程および個片化工程を含むものである。

図１２は、流路プレート作製工程を表す断面図である。図１２に示したように、流路形成工程では、まず流路ウエハ１３０に対して表面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、表面側の入口流路７４および表面側の出口流路７５をそれぞれ形成する。

加えて、流路形成工程では、流路ウエハ１３０に対して裏面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、裏面側の入口流路７４および裏面側の出口流路７５を形成する。なお、流路形成工程の各工程は、サンドブラストに限らず、ダイシング、切削等により行っても構わない。

流路形成工程に続く個片化工程では、ダイサー等を用いて出口流路７５におけるＸ軸方向直線部の軸線（図１２に示した仮想線Ｄ）に沿って流路ウエハ１３０を個片化する。これにより、流路プレート４１（図３参照）が完成する。

（各種プレート接合工程）
図１３は、プレート接合工程を表す断面図である。図１３に示したように、プレート接合工程では、ヘッドチップ４０Ａのカバープレート５２およびヘッドチップ４０Ｂのカバープレート５２のそれぞれと流路プレート４１とを接合する。具体的に、流路プレート４１の主面４１ｆ１をヘッドチップ４０Ａの対向面５２ｆ２に貼り付けると共に、流路プレート４１の主面４１ｆ２をヘッドチップ４０Ｂの対向面５２ｆ２に貼り付ける。 これにより、プレート接合体５Ａを作製する。なお、すべてのプレートをウエハ状態で貼り合わせてからのチップ分割（個片化）を行ってもよい。

（帰還プレート等接合工程）
次いで、プレート接合体５Ａに対して帰還プレート４３およびノズルプレート４４を接合する。その後、上端部５２ｂに対して外部配線４５（図４，図５参照）を実装する。

以上により、本実施形態のインクジェットヘッド４が完成する。

［動作および作用・効果］
（Ａ．プリンタ１の基本動作）
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインクがインク循環機構８を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。より具体的には、所定量のインクが、インク供給管８１および流路プレート４１を介してヘッドチップ４０に供給され、液体供給路７０を経て吐出チャネル５４内に充填された状態となっている。

このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に記録紙Ｐが挟持されつつ搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構３４における駆動モータ３８が、プーリ３５，３６をそれぞれ回転させることにより無端ベルト３７を動作させる。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２にガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）によって、４色のインクを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。

（Ｂ．インクジェットヘッド４における詳細動作）
続いて、図１～図８を参照して、インクジェットヘッド４における詳細動作（インクの噴射動作）について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド４（エッジシュートタイプ）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインクの噴射動作が行われる。なお、以下の噴射動作はインクジェットヘッド４に搭載された駆動回路（図示せず）により実行される。

本実施形態のような、エッジシュートタイプであって縦循環式のインクジェットヘッド４では、まず、図２に示した加圧ポンプ８４および吸引ポンプ８５を作動させることにより、循環流路８３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管８１を流通するインクは、図３に示したす入口マニホールド４２の供給路７７を通り、流路プレート４１の入口流路７４内へ流入する。入口流路７４内へ流入したインクは、共通インク室７１を通過した後、スリット７２を通って吐出チャネル５４内に供給される。吐出チャネル５４内に流入したインクは、帰還プレート４３の循環路７６を経由して出口流路７５内で再集合したのち、出口マニホールドを通過して図２に示したインク排出管８２に排出される。インク排出管８２に排出されたインクは、インクタンク３に戻されたのち、再びインク供給管８１に供給される。これにより、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間でインクが循環する。

そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、外部配線４５を介してＡＰ側共通電極６１とＡＰ側個別電極６３との間に駆動電圧を印加する。この際、例えばＡＰ側個別電極６３を駆動電位Ｖｄｄとし、ＡＰ側共通電極６１を基準電位ＧＮＤとする。ＡＰ側共通電極６１とＡＰ側個別電極６３との間に駆動電圧を印加すると、吐出チャネル５４を画成する２つ駆動壁５６に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁５６がダミーチャネル５５側へ突出するように変形する。すなわち、アクチュエータプレート５１は、厚さ方向（Ｙ軸方向）に分極処理された２枚の圧電基板が積層された構造を有するので、上記の駆動電圧を印加することで、駆動壁５６におけるＹ軸方向の中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル５４があたかも膨らむように変形する。

吐出チャネル５４を画成する２つの駆動壁５６の変形によって吐出チャネル５４の容積が増大すると、共通インク室７１内のインクがスリット７２を通って吐出チャネル５４内に誘導される。そして、吐出チャネル５４の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル５４の内部に伝搬する。この圧力波がノズル７８に到達したタイミングで、ＡＰ側共通電極６１とＡＰ側個別電極６３との間の駆動電圧をゼロにする。そうすることにより、２つの駆動壁５６の形状が復元し、一旦増大した吐出チャネル５４の容積が元の容積に戻る。この動作によって吐出チャネル５４の内部の圧力が増加し、吐出チャネル５４内のインクが加圧される。その結果、インクをノズル７８から吐出させることができる。この際、インクはノズル７８を通過する際に液滴状のインク滴となって吐出される。これにより、上述したように記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。

なお、インクジェットヘッド４の動作方法は上述した内容に限られない。例えば、通常状態の駆動壁５６が吐出チャネル５４の内側に変形し、吐出チャネル５４があたかも内側に凹むように構成しても構わない。この場合は、ＡＰ側共通電極６１とＡＰ側個別電極６３との間に印加する駆動電圧を上述した電圧とは正負逆の電圧にするか、電圧の正負は変えずにアクチュエータプレート５１の分極方向を逆にすることで実現可能である。また、吐出チャネル５４が外側に膨らむように変形させた後で、吐出チャネル５４が内側に凹むように変形させ、吐出時のインクの加圧力を高めるようにしても構わない。

（Ｃ．作用・効果）
次に、本実施の形態のヘッドチップ４０、インクジェットヘッド４およびプリンタ１における作用および効果について詳細に説明する。

本実施の形態では、Ｘ軸方向における並進部分６５２の中心位置６５２Ｘは、Ｘ軸方向における対向部分６５１の中心位置６５１Ｘ（６５１Ｘ１～６５１Ｘ４）に対してＸ軸方向へシフトした位置にある。このため、ＣＰ側共通電極６５のうちのＡＰ側共通パッド６２と接続された一端とは反対側の他端を、ＣＰ側個別電極６９との接触を回避しつつ上端面５２２側の上端部５２ｂへ引き出すことができる。また、上記のような配線のレイアウトを有することで、ＣＰ側共通電極６５およびＣＰ側個別電極６９の双方をカバープレート５２の一表面（対向面５２ｆ１）のみに設ければ足りる。このため、例えばカバープレート５２の対向面５２ｆ１だけでなく裏面（対向面５２ｆ２）や上端面５２２にもＣＰ側共通電極６５などを形成する態様と比較して、より簡便にＣＰ側共通電極６５およびＣＰ側個別電極６９を形成できる。また、ＣＰ側共通電極６５およびＣＰ側個別電極６９の形成方法として、めっき法や蒸着法以外の方法も選択でき、製造方法の自由度が向上する。

また、本実施の形態では、Ｘ軸方向における対向部分６９１ｂの中心位置６９Ｘ２および対向部分６９１ｃの中心位置６９Ｘ３は、Ｘ軸方向における対向部分６５１ｂの中心位置６５１Ｘ２および対向部分６５１ｃの中心位置６５１Ｘ３の各々に対して並進部分６５２から離れる方向へシフトした位置にある。このため、ヘッドチップ４０全体のＸ軸方向の寸法を抑えつつ、並進部分６５２を配置する領域を拡大することができる。このため、並進部分６５２の断面積を拡張することでＣＰ側共通電極６５の低抵抗化が図れる。また、並進部分６５２を形成することのできる面積が広がることで、並進部分６５２の形成が容易となる。したがって、本実施の形態におけるインクジェットヘッド４は、ノズル７８の数の増大や全体構成の小型化に対応しつつ、優れた製造容易性を実現できる。

また、本実施の形態では、Ｘ軸方向において隣り合う複数のＣＰ側共通電極６５における複数の並進部分６５２が一体化されている。このため、並進部分６５２を共通化しないで個別に設けた場合と比較して、隣り合うＣＰ側共通電極６５同士の隙間をより効率的に利用して並進部分６５２のＸＹ断面における断面積を拡大できる。すなわち、ヘッドチップ４０全体のＸ軸方向の寸法を抑えつつ、並進部分３５２を配置する領域をより拡大することができる。このため、ＣＰ側共通電極６５のさらなる低抵抗化が図れる。

また、本実施の形態では、アクチュエータプレート５１が、並進部分６５２とそれぞれ対向する位置において並進部分６５２から離間して設けられると共にＺ軸方向に沿って延在する並進溝５７、をさらに有するようにした。このため、並進溝５７を形成しない場合と比較して、ＣＰ側共通電極６５の並進部分６５２における幅（Ｘ軸方向の寸法）を維持しつつ厚さ（Ｙ軸方向の寸法）を大きくすることができる。よって、並進部分６５２のＸＹ断面における断面積の拡大が可能である。その結果、Ｘ軸方向の寸法拡大を抑えつつ、ＣＰ側共通電極６５の低抵抗化が図れる。なお、並進溝５７は並進部分６５２から離間するように設けられているので、並進部分６５２とＡＰ側個別電極６３およびＡＰ側個別配線６４との接触（短絡）が回避される。

また、本実施の形態では、並進溝５７を挟んで隣り合う位置にある対向部分６９１ｂと対向部分６９１ｃとの間隔は、並進溝５７を挟まずに隣り合う位置にある対向部分６９１ａと対向部分６９１ｂとの間隔や対向部分６９１ｃと対向部分６９１ｄとの間隔よりも大きくなっている。このため並進溝５７の幅が広いので、並進部分６５２の幅をより大きく確保できる。よって、ＣＰ側共通電極６５のさらなる低抵抗化が図れる。また、並進部分６５２を形成することのできる面積が広がることで、並進部分６５２の形成が容易となる。

また、本実施の形態では、アクチュエータプレート５１が、ＡＰ側共通パッド６２とＡＰ側個別配線６４との間において連結部分６５３から離間して設けられた横断溝５８をさらに有するようにした。このため、横断溝５８を形成しない場合と比較して、連結部分６５３の厚さを大きくすることで低抵抗化が可能である。また、横断溝５８の存在により、ダミーチャネル５５の内面を覆うＡＰ側個別電極６３と連結部分６５３との導通（短絡）を回避できる。

また、本実施の形態では、複数の連結部分６５３は互いに接続されてＸ軸方向に延在するようにしたので、複数の連結部分６５３を連結せずに個別に配置した場合と比べて、ＣＰ側共通電極６５の一部が破損（破断）した場合であっても、ＣＰ側共通電極６５としての機能を喪失せず、噴霧動作が可能となる。さらに、Ｘ軸方向に延在する一の連結部分６５３に対してＸ軸方向に並ぶ複数の並進部分６５２を接続するようにしたので、ＣＰ側共通電極６５におけるＸ軸方向での抵抗のばらつきを低減でき、安定性に優れた液体噴射動作が実現できる。

また、本実施の形態では、吐出チャネル５４が、下端部５１ａの下端面５１１に露出した開口５４Ｋを含み、ＣＰ側共通電極６５およびＣＰ側個別電極６９が、それぞれ上端部５２ｂに至るまで延在するようにした。このため、ＣＰ側共通電極６５およびＣＰ側個別電極６９の双方について、開口５４Ｋと反対側の上端部５２ｂにおいて外部配線４５との電気的接続を図ることができ、優れた利便性が得られる。

また、本実施の形態では、カバープレート５２が、アクチュエータプレート５１と対向する対向面５２ｆ１から流路プレート４１と対向する対向面５２ｆ２に至る液体供給路７０を、吐出チャネル５４と対応する位置に有するようにした。このため、流路プレート４１から液体供給路７０を通じて吐出チャネル５４へインクを供給できる。

＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１～５）について説明する。なお、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

［変形例１］
図１４は、変形例１に係るヘッドチップにおける要部を拡大して模式的に表す平面図である。上記実施の形態では、４つの対向部分６５１につき１つの並進部分６５２を設けるようにしたが、本開示はこれに限定されるものではない。例えば、図１４の変形例１に係るＣＰ側共通電極６５Ａのように、４つの対向部分６５１につき１つの並進部分６５２を設けるようにしてもよい。ＣＰ側共通電極６５ＡにおけるＸ軸方向での抵抗のばらつきをより低減でき、よりいっそう安定性に優れた液体噴射動作が実現できる。

［変形例２］
図１５は、変形例２に係るヘッドチップにおける要部を拡大して模式的に表す平面図である。上記実施の形態では、４つの対向部分６５１につき１つの並進部分６５２を設けるようにしたが、本開示はこれに限定されるものではない。例えば、図１５の変形例２に係るヘッドチップのように、２つの対向部分６５１につき１つの並進部分６５２と１つの連結部分６５３とを有する複数のＣＰ側共通電極６５Ｂが、互いに分離されてＸ軸方向に並ぶものであってもよい。

［変形例３］
図１６は、変形例３に係るヘッドチップにおける要部を拡大して模式的に表す平面図である。変形例３は、１つの対向部分６５１と１つの並進部分６５２とが１つの連結部分６５３によって連結されてなる複数のＣＰ側共通電極６５Ｃが、互いに分離されてＸ軸方向に並ぶようにしたものである。但し、となりあすＣＰ側共通電極６５Ｃ同士における、対向部分６５１に対する並進部分６５２のシフト方向は逆方向である。

［変形例４］
図１７は、変形例４に係るヘッドチップにおける要部を拡大して模式的に表す平面図である。変形例４は、複数の対向部分６５１と複数の並進部分６５２とを同数ずつ含み、１つの連結部分６５３によってそれら複数の対向部分６５１と複数の並進部分６５２とを連結して一体化してなる一のＣＰ側共通電極６５Ｄを有するようにしたものである。

［変形例５］
図１８は、変形例５に係るヘッドチップにおける要部を拡大して模式的に表す平面図である。変形例５は、１つの対向部分６５１と１つの並進部分６５２とが１つの連結部分６５３によって連結されてなる複数のＣＰ側共通電極６５Ｅが、互いに分離されてＸ軸方向に並ぶようにしたものである。但し、いずれのＣＰ側共通電極６５Ｅにおいても、対向部分６５１に対する並進部分６５２のシフト方向は同一である。

＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態および変形例をいくつか挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。

例えば、上記実施の形態等では、プリンタ、インクジェットヘッドおよびヘッドチップにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。

具体的には、例えば、上記実施の形態等では、ＣＰ側共通電極６５において、連結部分が対向部分や並進部分に対して直交する場合を例示したが、本開示はこれに限定されるものではなく、連結部分が対向部分や並進部分に対して斜めに延在するようにしてもよい。また、上記実施の形態等で説明した各電極やチャネルなどにおける長さ等の寸法比はあくまで例示であって各図に示したものに限定されない。

また、上記実施の形態等では、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間でインクを循環させるインク循環機構８を備えたプリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、本開示はこれに限定されない。本開示のインクジェットプリンタはインクが循環しない非循環型のインクジェットヘッドを備えたものであってもよい。

また、上記実施の形態等では、互いに異なる分極方向を有する２枚の圧電基板を積層したシェブロンタイプのアクチュエータプレートを例示したが、本開示のインクジェットヘッドは、いわゆるカンチレバータイプのアクチュエータプレートを有するものであってもよい。カンチレバータイプのアクチュエータプレートは、分極方向が厚み方向に沿って一方向に設定されている１つの圧電基板により形成されている。なお、このカンチレバータイプのアクチュエータプレートでは、例えば、駆動電極が深さ方向の上半分まで斜め蒸着によって取り付けられる。このため、この駆動電極が形成されている部分のみに駆動力が及ぶことによって、駆動壁が屈曲変形する。その結果、この場合においても、駆動壁がＶ字状に屈曲変形するので、吐出チャネルがあたかも膨らむように変形することになる。

また、上記実施の形態等では、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドを例示して説明したが、本開示はいわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドにおいても適用可能である。

さらに、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「ヘッドチップ」（ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂ）および「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド４）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「ヘッドチップ」および「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
表面と、互いに離間して隣り合うように設けられた吐出溝および非吐出溝と、前記吐出溝の内面と前記表面のうち前記吐出溝の端部の周辺部分とを覆う第１の共通電極と、前記非吐出溝の内面と前記表面のうち前記非吐出溝の端部の周辺部分とを覆うと共に前記第１の共通電極と絶縁された第１の個別電極と、を有するアクチュエータプレートと、
前記アクチュエータプレートと対向するように配置され、前記第１の共通電極と当接する第２の共通電極と、前記第１の個別電極と当接する第２の個別電極と、を有するカバープレートと
を備え、
前記第２の共通電極は、前記吐出溝および前記非吐出溝の延在方向において前記第２の個別電極と対向する対向部分と、前記吐出溝と前記非吐出溝との並び方向において前記第２の個別電極と並ぶと共に前記第２の個別電極に沿って延在する並進部分と、前記対向部分と前記並進部分とを繋ぐ連結部分とを含み、
前記並び方向における前記並進部分の中心位置は、前記並び方向における前記対向部分の中心位置に対して前記並び方向へシフトした位置にある
液体噴射ヘッドチップ。
（２）
前記並び方向における前記第２の個別電極の中心位置は、前記並び方向における前記対向部分の中心位置に対して前記並進部分から離れる方向へシフトした位置にある
上記（１）記載の液体噴射ヘッドチップ。
（３）
前記並び方向において隣り合う複数の前記第２の共通電極における複数の前記並進部分が一体化されている
上記（１）または（２）に記載の液体噴射ヘッドチップ。
（４）
前記アクチュエータプレートは、前記並進部分とそれぞれ対向する位置において前記並進部分から離間して設けられると共に前記延在方向に沿って延在する並進溝、をさらに有する
上記（１）から（３）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッドチップ。
（５）
前記並進溝を挟んで隣り合う位置にある複数の前記第２の個別電極同士の第１の間隔は、前記並進溝を挟まずに隣り合う位置にある複数の前記第２の個別電極同士の第２の間隔よりも大きい
上記（４）記載の液体噴射ヘッドチップ。
（６）
前記アクチュエータプレートは、前記第１の共通電極と前記第１の個別電極との間において前記連結部分から離間して設けられた横断溝をさらに有する
上記（１）から（５）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッドチップ。
（７）
複数の前記連結部分は互いに接続されている
上記（１）から（６）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッドチップ。
（８）
第１の端部と、前記第１の端部と反対側の第２の端部とをさらに備え、
前記吐出溝は、前記第１の端部に露出した開口を含み、
前記第２の共通電極および前記第２の個別電極は、それぞれ、前記第２の端部に至るまで延在している
上記（１）から（７）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッドチップ。
（９）
前記カバープレートは、
前記アクチュエータプレートと対向する対向面と、
前記対向面と反対側に位置する背面と、
前記吐出溝と対応する位置に設けられ、前記背面から前記対向面に至る貫通孔と
をさらに有する
上記（１）から（８）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッドチップ。
（１０）
上記（１）から上記（９）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッドチップを備えた液体噴射ヘッド。
（１１）
上記（１０）に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドが取り付けられるキャリッジと
を備えた液体噴射記録装置。

１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）…インクジェットヘッド、４０（４０Ａ，４０Ｂ）…ヘッドチップ、４１…流路プレート、４２…入口マニホールド、４３…帰還プレート、４４…ノズルプレート、５０…供給チューブ、５１…アクチュエータプレート、５１ａ…下端部、５１ｂ…上端部、５１ｆ１…対向面、５１１…下端面、５１２…上端面、５２…カバープレート、５２ｂ…上端部、５４…吐出チャネル、５４Ｋ…開口、５５…ダミーチャネル、５７，５８…溝、６…走査機構、３１，３２…ガイドレール、３３…キャリッジ、３３ａ…基台、３３ｂ…壁部、３４…駆動機構、３５，３６…プーリ、３７…無端ベルト、３８…駆動モータ、６１…ＡＰ側共通電極、６２…ＡＰ側共通パッド、６３…ＡＰ側個別電極、６４…ＡＰ側個別配線、６５…ＣＰ側共通電極、６５１…対向部分、６５２…並進部分、６５３…連結部分、６５４…分岐部分、６９…ＣＰ側個別電極、６９１…対向部分、６９２…引出部分、７０…液体供給路、７１…共通インク室、７２…スリット、７４…入口流路、７５…出口流路、７６…循環路、７７…供給路、７８…ノズル、８…インク循環機構、８１…インク供給管、８２…インク排出管、８３…循環流路、８４…加圧ポンプ、８５…吸引ポンプ、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向。

Claims (11)

1. 表面と、互いに離間して隣り合うように設けられた吐出溝および非吐出溝と、前記吐出溝の内面と前記表面のうち前記吐出溝の端部の周辺部分とを覆う第１の共通電極と、前記非吐出溝の内面と前記表面のうち前記非吐出溝の端部の周辺部分とを覆うと共に前記第１の共通電極と絶縁された第１の個別電極と、を有するアクチュエータプレートと、
   前記アクチュエータプレートと対向するように配置され、前記第１の共通電極と当接する第２の共通電極と、前記第１の個別電極と当接する第２の個別電極と、を有するカバープレートと
   を備え、
   前記第２の共通電極は、前記吐出溝および前記非吐出溝の延在方向において前記第２の個別電極と対向する対向部分と、前記吐出溝と前記非吐出溝との並び方向において前記第２の個別電極と並ぶと共に前記第２の個別電極に沿って延在する並進部分と、前記対向部分と前記並進部分とを繋ぐ連結部分とを含み、
   前記並び方向における前記並進部分の中心位置は、前記並び方向における前記対向部分の中心位置に対して前記並び方向へシフトした位置にあり、
   前記第２の共通電極は、前記対向部分において前記第１の共通電極と当接している
   液体噴射ヘッドチップ。
2. 前記並び方向における前記第２の個別電極の中心位置は、前記並び方向における前記対向部分の中心位置に対して前記並進部分から離れる方向へシフトした位置にある
   請求項１記載の液体噴射ヘッドチップ。
3. 前記並び方向において隣り合う複数の前記第２の共通電極における複数の前記並進部分が一体化されている
   請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドチップ。
4. 前記アクチュエータプレートは、前記並進部分とそれぞれ対向する位置において前記並進部分から離間して設けられると共に前記延在方向に沿って延在する並進溝、をさらに有する
   請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
5. 前記並進溝を挟んで隣り合う位置にある複数の前記第２の個別電極同士の第１の間隔は、前記並進溝を挟まずに隣り合う位置にある複数の前記第２の個別電極同士の第２の間隔よりも大きい
   請求項４記載の液体噴射ヘッドチップ。
6. 前記アクチュエータプレートは、前記第１の共通電極と前記第１の個別電極との間において前記連結部分から離間して設けられた横断溝をさらに有する
   請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
7. 複数の前記連結部分は互いに接続されている
   請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
8. 第１の端部と、前記第１の端部と反対側の第２の端部とをさらに備え、
   前記吐出溝は、前記第１の端部に露出した開口を含み、
   前記第２の共通電極および前記第２の個別電極は、それぞれ、前記第２の端部に至るまで延在している
   請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
9. 前記カバープレートは、
   前記アクチュエータプレートと対向する対向面と、
   前記対向面と反対側に位置する背面と、
   前記吐出溝と対応する位置に設けられ、前記背面から前記対向面に至る貫通孔と
   をさらに有する
   請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
10. 請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドチップを備えた液体噴射ヘッド。
11. 請求項１０に記載の液体噴射ヘッドと、
    前記液体噴射ヘッドが取り付けられるキャリッジと
    を備えた液体噴射記録装置。

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