JP2020061583A - 清掃用ノズルおよび、清掃方法 - Google Patents

Abstract

【課題】コスト、配設スペース等を考慮したうえで、適切に清掃作業を実行する。【解決手段】本発明に記載の清掃用ノズル１００は、基板に実装される部品を、エアの吸引により吸着保持し、エアの噴出により離脱する吸着ノズルが着脱可能に装着される装着部に、吸着ノズルの代わりに装着されるノズルである。そして、その清掃用ノズルが、装着部に装着された状態で、エアを噴出することで、清掃が行われる。つまり、清掃用ノズルを用意するだけで、適切に清掃を行うことが可能となる。これにより、低コストおよび、省スペースで、適切に清掃を行うことが可能となる。【選択図】図４

Description

本発明は、部品を基板に装着する装着作業機で清掃を行うための清掃用ノズル、および、清掃方法に関するものである。

部品を基板に装着する装着作業機では、装着作業機に配設されている器具等の作動を担保するべく、定期的に清掃されることが好ましい。下記特許文献１には、清掃用ブラシを装着ヘッドにより保持し、その清掃用ブラシにより、清掃作業を行うことが記載されている。また、下記特許文献２には、装着作業機に、エアブロー装置を設け、そのエアブロー装置によってエアを噴出することで、清掃作業を行うことが記載されている。

特開２００９−２６７０３８号公報 特開２００１−９４２９８号公報

上記特許文献に記載の技術によれば、ある程度、清掃作業を実行することが可能である。しかしながら、清掃用ブラシでは、器具の内部に入り込んでいる埃等を適切に除去することは困難である。また、装着作業機に、敢えてエアブロー装置等を配設することは、コスト、配設スペース等を考慮すると、好ましくない。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、コスト、配設スペース等を考慮したうえで、適切に清掃作業を実行することである。

上記課題を解決するために、本願に記載の清掃用ノズルは、基板に実装される部品を、エアの吸引により吸着保持し、エアの噴出により離脱する吸着ノズルが着脱可能に装着される装着部に、前記吸着ノズルの代わりに装着されるノズルであって、前記装着部に装着された状態で、エアの噴出により清掃を行うことを特徴とする。

上記課題を解決するために、本願に記載の清掃方法は、基板に実装される部品を、エアの吸引により吸着保持し、エアの噴出により離脱する吸着ノズルが着脱可能に装着される装着部を有する作業ヘッドと、前記作業ヘッドを移動させる移動装置とを備えた装着作業機に配設されている器具を清掃するための清掃方法であって、前記装着部に装着された前記吸着ノズル、若しくは、前記装着部に前記吸着ノズルの代わりに装着された清掃用ノズルからのエアの噴出により清掃を行うことを特徴とする。

本願に記載の清掃用ノズルは、基板に実装される部品を、エアの吸引により吸着保持し、エアの噴出により離脱する吸着ノズルが着脱可能に装着される装着部に、吸着ノズルの代わりに装着されるノズルである。そして、その清掃用ノズルが、装着部に装着された状態で、エアを噴出することで、清掃が行われる。これにより、清掃用ノズルを用意するだけで、適切に清掃を行うことが可能となる。

また、本願に記載の清掃方法では、装着部に装着された吸着ノズル、若しくは、清掃用ノズルによって、清掃が行われる。これにより、既存の設備だけ、若しくは、清掃用ノズルを用意するだけで、適切に清掃を行うことが可能となる。

電子部品装着装置を示す斜視図である。 吸着ノズルを示す斜視図である。 テープ化部品を示す平面図である。 清掃用ノズルを示す斜視図である。 制御プログラムのフローチャートを示す図である。 制御プログラムのフローチャートを示す図である。

以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。

＜電子部品装着装置の構成＞
図１に、電子部品装着装置１０を示す。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。

各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。

搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって固定的に保持される。

移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータの作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。

装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６の下端面には、吸着ノズル６０が設けられている。吸着ノズル６０は、図２に示すように、胴体筒６４とフランジ部６６とエア流通管６７と吸着管６８と掛止ピン６９とによって構成されている。胴体筒６４は、円筒状をなし、フランジ部６６は、胴体筒６４の外周面に張り出すようにして固定されている。エア流通管６７は、胴体筒６４の内部に配設されており、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。また、吸着管６８は、胴体筒６４の下端部から下方に向かって延び出した状態で、エア流通管６７に接続されている。掛止ピン６９は、胴体筒６４の径方向に延びるように、胴体筒６４の上端部に設けられている。吸着ノズル６０は、掛止ピン６９を利用して、装着ヘッド２６にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。

このような構造により、吸着ノズル６０は、吸着管６８において、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。つまり、吸着ノズル６０は、吸着管６８の先端部から吸引されるエアにより、電子部品を吸着保持し、吸着管６８の先端部から噴出されるエアにより、電子部品を離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させるノズル昇降装置（図示省略）と、吸着ノズル６０を軸線周りに自転させるノズル自転装置とを有している。これにより、装着ヘッド２６は、ノズル昇降装置によって、保持する電子部品の上下方向の位置を変更し、ノズル自転装置によって、保持する電子部品の姿勢を調整する。

供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、フレーム部３２の前方側の端部に配設されている。供給装置２８は、複数のテープフィーダ７０を有している。各テープフィーダ７０は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品７２は、図３に示すように、キャリアテープ７４と、電子部品７６と、トップカバーテープ７８とから構成されている。キャリアテープ７４には、多数の収容凹部８０および送り穴８２が等ピッチで形成されており、収容凹部８０に電子部品７６が収容されている。そして、電子部品７６が収容された収容凹部８０が、トップカバーテープ７８によって覆われている。

また、テープフィーダ７０の内部には、スプロケット（図示省略）が内蔵されており、そのスプロケットが、テープ化部品７２の送り穴８２に係合している。これにより、スプロケットが回転することで、テープ化部品７２が供給位置に向かって送り出される。なお、テープ化部品７２の配設経路に、剥離装置（図示省略）が配設されており、キャリアテープ７４からトップカバーテープ７８が剥離される。そして、トップカバーテープ７８が剥離されたテープ化部品７２が供給位置まで送り出されることで、供給位置において、電子部品７６が供給される。

なお、装着機１４では、通常のテープフィーダと、オートローディングフィーダとの２種類のテープフィーダ７０が採用されている。通常のテープフィーダでは、テープ化部品７２がテープフィーダ７０にセットされる際に、作業者が、手作業で、キャリアテープ７４からトップカバーテープ７８を剥がし、剥離装置にセットする。一方、オートローディングフィーダでは、テープ化部品７２の配設経路にカッター機構（図示省略）が設けられており、カッター機構の作動により、自動で、キャリアテープ７４からトップカバーテープ７８が剥がされ、剥離装置にセットされる。

また、図１に示すように、ノズルステーション３０は、複数の吸着ノズル６０を収容するノズルトレイ８８を有している。ノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ８８に収容されている吸着ノズル６０との交換が、移動装置２４等の作動により自動で行われる。

さらに、装着機１４は、マークカメラ（図示省略）および、パーツカメラ９０を有している。マークカメラは、下方を向いた状態でスライダ５０に取り付けられており、装着ヘッド２６とともに、フレーム部３２の上を移動させられる。これにより、マークカメラは、フレーム部３２上の任意の位置を撮像する。パーツカメラ９０は、フレーム部３２上の搬送装置２２と供給装置２８との間に、上を向いた状態で配設されている。これにより、パーツカメラ９０は、吸着ノズル６０に保持された電子部品を撮像する。

＜装着機による装着作業＞
装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して電子部品の装着作業が行われる。具体的には、回路基板が、作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって固定的に保持される。次に、マークカメラが、回路基板の上方に移動し、回路基板を撮像する。これにより、回路基板の保持位置等に関する情報が得られる。また、マークカメラは、テープフィーダ７０の上方に移動し、テープフィーダ７０に記されているフィーダマーク（図示省略）を撮像する。フィーダマークは、テープフィーダ７０の供給位置のキャリブレーションを行うためのマークである。そのテープフィーダ７０では、所定の供給位置において、電子部品が供給されている。そして、装着ヘッド２６が、テープフィーダ７０の供給位置の上方に移動し、フィーダマークの撮像により得られた情報に基づいて、装着ヘッド２６の位置が微調整される。そして、吸着ノズル６０が下降し、エアの吸引により電子部品を吸着保持する。続いて、電子部品を保持した装着ヘッド２６が、パーツカメラ９０の上方に移動し、パーツカメラ９０によって、吸着ノズル６０に保持された電子部品が撮像される。これにより、部品の保持位置等に関する情報が得られる。続いて、電子部品を保持した装着ヘッド２６が、回路基板の上方に移動し、回路基板の保持位置の誤差，部品の保持位置の誤差等を補正する。そして、吸着ノズル６０が、下降し、エアの噴出により電子部品を離脱することで、回路基板に電子部品が装着される。

＜テープフィーダの清掃＞
装着機１４では、上述したように、テープフィーダ７０によって供給された電子部品が、吸着ノズル６０によって吸着保持され、その電子部品が回路基板上に装着される。このような装着作業時には、テープフィーダ７０では、テープ化部品７２がスプロケットの回転により送り出され、キャリアテープ７４からトップカバーテープ７８が剥がされることで、供給位置において電子部品が供給される。この際、トップカバーテープ７８の剥離により、埃等が発生するため、テープフィーダ７０の清掃は、定期的に行われることが好ましい。

ただし、テープフィーダ７０の清掃のために、テープフィーダ７０を装着機１４から取り外し、その取り外されたテープフィーダ７０を機外で清掃し、再度、そのテープフィーダ７０を装着機１４に装着する作業には、ある程度の時間を要する。特に、装着機１４に、多くのテープフィーダ７０が装着されている場合には、それら多くのテープフィーダ７０の取り外し、清掃、再装着の作業には、多大な時間を要する。また、作業者の負担は相当大きい。このため、装着機１４では、自動でテープフィーダ７０の清掃作業が行われる。

具体的には、ノズルステーション３０のノズルトレイ８８に、清掃用ノズルが収納されている。清掃用ノズル１００は、図４に示すように、胴体筒１０２とフランジ部１０４とエア流通管１０６と噴出管１０８とブラシ１１０と掛止ピン１１２とによって構成されている。清掃用ノズル１００の胴体筒１０２とフランジ部１０４とエア流通管１０６と掛止ピン１１２とは、吸着ノズル６０の胴体筒６４とフランジ部６６とエア流通管６７と掛止ピン６９と同形状である。このため、清掃用ノズル１００を、吸着ノズル６０の代わりに、装着ヘッド２６に装着することが可能である。また、噴出管１０８は、エア流通管１０６に接続されている。これにより、エア流通管１０６への正圧の供給により、噴出管１０８の先端部からエアが噴出される。また、噴出管１０８の先端部には、エアが噴出される噴出孔（図示省略）を囲むとともに、下方に延び出すように、ブラシ１１０が、円環状に配設されている。また、ブラシ１１０は、先端部において、エアが噴出される噴出孔の下方に向かって収束するように、配設されている。つまり、ブラシ１１０は、先細り形状とされている。

また、装着機１４の表示パネル（図示省略）には、テープフィーダ７０の清掃を行うための清掃コマンドボタンが表示されており、そのボタンが操作されることで、清掃コマンド実行画面（図示省略）が、表示パネルに表示される。その清掃コマンド実行画面には、清掃対象のテープフィーダ７０を選択するための選択ボタン（図示省略）と、スタートボタン（図示省略）とが表示されている。この清掃コマンド実行画面において、選択ボタンの操作により、清掃対象のテープフィーダ７０が選択されることで、マークカメラがノズルステーション３０のノズルトレイ８８の上方に移動し、ノズルトレイ８８がマークカメラにより撮像される。そして、ノズルトレイ８８内に清掃用ノズル１００が収納されているか否かが、判断される。この際、ノズルトレイ８８に清掃用ノズル１００が収納されていない場合には、表示パネルに、ノズル収納案内画面が表示される。このノズル案内収納画面には、ノズルトレイ８８に清掃用ノズル１００が収納されていないため、ノズルトレイ８８への清掃用ノズル１００の収納を促すコメントが表示されている。これにより、作業者は、この画面を見ることで、ノズルトレイ８８に清掃用ノズル１００を収納する。

そして、作業者が、清掃コマンド実行画面のスタートボタンを操作することで、装着ヘッド２６がノズルトレイ８８の上方に移動し、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ８８に収納されている清掃用ノズル１００との交換が、ノズルステーション３０において行われる。装着ヘッド２６に清掃用ノズル１００が装着されると、清掃用ノズル１００による清掃作業が実行される。

清掃用ノズル１００による清掃作業時には、エア流通管１０６に正圧が供給されることで、噴出管１０８の先端部からエアが噴出される。つまり、噴出管１０８の先端部に円環状に配設されているブラシ１１０から、エアが噴出される。さらに、清掃用ノズル１００による清掃作業時には、清掃用ノズル１００は、ノズル自転装置の作動により、軸線周りに自転する。これにより、ブラシ１１０が、それの軸線を中心に自転する。この際、清掃用ノズル１００のブラシ１１０が、清掃対象のテープフィーダ７０のフィーダマークに接触されることで、フィーダマークに付着している埃等が取り除かれ、フィーダマークを適切に確認することが可能となる。また、エアを噴出するとともに、自転しているブラシ１１０が、清掃対象のテープフィーダ７０のスプロケットに接触することで、スプロケットに付着している埃等が取り除かれ、スプロケットの回転が担保される。

さらに、清掃対象のテープフィーダ７０が、オートローディングフィーダである場合には、エアを噴出するとともに、自転しているブラシ１１０が、清掃対象のオートローディングフィーダのカット機構に接触する。オートローディングフィーダのカット機構は、上述したように、キャリアテープ７４からトップカバーテープ７８を剥がす機構であるため、埃等が付着しやすい。また、トップカバーテープ７８がキャリアテープ７４に貼り合わされていた際の粘着物等が、カット機構に付着している虞がある。このため、清掃用ノズル１００によりカット機構を清掃することで、ブラシ１１０の自転により、付着物をカット機構から取り外し、その取り外された付着物をカット機構から吹き飛ばすことが可能となる。これにより、カット機構を適切に清掃することが可能となる。

上記作業手順に従って、１台のテープフィーダ７０の清掃作業が完了すると、次のテープフィーダ７０の清掃作業が実行され、清掃対象に選択されたテープフィーダ７０が順次、清掃される。そして、清掃対象に選択されたテープフィーダ７０の全ての清掃作業が完了すると、装着ヘッド２６がノズルトレイ８８の上方に移動し、装着ヘッド２６に装着されている清掃用ノズル１００と、ノズルトレイ８８に収納されている吸着ノズル６０との交換が、行われる。つまり、清掃作業が完了すると、清掃用ノズル１００がノズルトレイ８８に戻され、装着作業用に、装着ヘッド２６に吸着ノズル６０が装着される。これにより、清掃対象の完了したテープフィーダ７０を用いて、装着作業を実行することが可能となる。

このように、装着機１４では、ブラシ１１０の自転と、エアの噴出とにより、埃等を除去し、適切にテープフィーダ７０の清掃を行うことが可能となる。また、装着機１４では、テープフィーダ７０を装着機１４から取り外すことなく、装着機１４に装着された状態で、テープフィーダ７０が自動で清掃される。これにより、テープフィーダ７０の清掃時間を短くするとともに、作業者の負担を軽減することが可能となる。

また、装着機１４では、ノズルトレイ８８に収納されている清掃用ノズル１００が、吸着ノズル６０の代わりに装着ヘッド２６に装着され、その清掃用ノズル１００によって清掃が行われる。このため、清掃用ノズル１００を用意し、既存の移動装置２４、装着ヘッド２６、ノズルステーション３０等を利用することで、テープフィーダ７０の清掃を行うことが可能である。これにより、コストを殆どかけることなく、既存の装着機において、清掃用ノズル１００を用いた清掃作業を行うことが可能となる。さらに言えば、清掃用ノズル１００のブラシ１１０は、先細り形状とされている。このため、テープフィーダ７０の清掃により、ブラシ１１０の先端部が、多少、広がっても、清掃用ノズル１００を適切にノズルトレイ８８内に戻すことが可能となる。

また、清掃用ノズル１００による清掃作業の前に、テープフィーダ７０の汚れの程度を確認することが可能である。詳しくは、清掃作業前に、マークカメラにより、清掃対象のテープフィーダ７０のフィーダマーク、スプロケット、カット機構等を撮像する。そして、その撮像データに基づいて、フィーダマーク、スプロケット、カット機構等の汚れの程度を判定する。この際、例えば、殆ど埃等が付着していないと判定された場合には、その部位の清掃作業を行わず、埃等により、汚れの程度が酷い部位のみの清掃作業を行うことが可能である。このように、清掃作業の前にテープフィーダ７０の汚れの程度を確認することで、清掃作業に要する時間を短縮することが可能となる。

なお、上述した清掃用ノズル１００による清掃作業は、装着機１４の制御装置（図示省略）において、制御プログラムが実行されることによって行われる。以下に、その制御プログラムが実行される際のフローを、図５および図６を用いて説明する。

制御プログラムでは、まず、清掃コマンドボタンが操作された否かが、判断される（Ｓ１００）。清掃コマンドボタンが操作されていない場合（Ｓ１００のＮＯ）には、Ｓ１００の処理が繰り返される。一方、清掃コマンドボタンが操作されている場合（Ｓ１００のＹＥＳ）には、清掃コマンド実行画面において、清掃対象のテープフィーダ７０が選択されているか否かが、判断される（Ｓ１０２）。そして、清掃対象のテープフィーダ７０が選択されていない場合（Ｓ１０２のＮＯ）には、Ｓ１０２の処理が繰り返される。

一方、清掃対象のテープフィーダ７０が選択されている場合（Ｓ１０２のＹＥＳ）には、ノズルトレイ８８がマークカメラにより撮像され、その撮像データに基づいて、清掃用ノズル１００がノズルトレイ８８に収納されているか否かが、判断される（Ｓ１０４）。ノズルトレイ８８に清掃用ノズル１００が収納されていない場合（Ｓ１０４のＮＯ）には、表示パネルにノズル収納案内画面が表示される（Ｓ１０６）。そして、Ｓ１０４に戻る。一方、ノズルトレイ８８に清掃用ノズル１００が収納されている場合（Ｓ１０４のＹＥＳ）には、清掃コマンド実行画面においてスタートボタンが操作されたか否かが、判断される（Ｓ１０８）。

スタートボタンが操作されていない場合（Ｓ１０８のＮＯ）には、Ｓ１０８の処理が繰り返される。一方、スタートボタンが操作されている場合（Ｓ１０８のＹＥＳ）には、装着ヘッド２６がノズルトレイ８８の上方に移動し、装着ヘッド２６に装着されている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ８８に収納されている清掃用ノズル１００とが交換される（Ｓ１１０）。次に、清掃対象のテープフィーダ７０のフィーダマークが清掃用ノズル１００により清掃される（Ｓ１１２）。続いて、清掃対象のテープフィーダ７０のスプロケットが清掃用ノズル１００により清掃される（Ｓ１１４）。

次に、清掃対象のテープフィーダ７０がオートローディングフィーダであるか否かが、判断される（Ｓ１１６）。清掃対象のテープフィーダ７０がオートローディングフィーダである場合（Ｓ１１６のＹＥＳ）には、清掃対象のテープフィーダ７０のカット機構が清掃用ノズル１００により清掃される（Ｓ１１８）。そして、Ｓ１２０に進む。一方、清掃対象のテープフィーダ７０がオートローディングフィーダでない場合（Ｓ１１６のＮＯ）には、Ｓ１１８の処理がスキップされ、Ｓ１２０に進む。

Ｓ１２０では、清掃コマンド実行画面において選択されたテープフィーダ７０の全ての清掃作業が完了したか否かが、判断される（Ｓ１２０）。清掃コマンド実行画面において選択されたテープフィーダ７０の全ての清掃作業が完了していない場合（Ｓ１２０のＮＯ）には、Ｓ１１２に戻る。一方、清掃コマンド実行画面において選択されたテープフィーダ７０の全ての清掃作業が完了している場合（Ｓ１２０のＹＥＳ）には、制御プログラムの処理が終了する。

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、清掃用ノズル１００の噴出管１０８からエアが噴出されることで、清掃作業が実行されているが、噴出管１０８からエアを吸引することで、清掃作業を実行することが可能である。つまり、掃除機のように、噴出管１０８から埃等を吸引することで清掃作業を実行することが可能である。ただし、このような場合には、エア流通管１０６等の内部に、フィルタを配設し、正負圧供給装置への埃等の混入を防止する必要がある。

また、上記実施例では、清掃用ノズル１００による清掃対象が、テープフィーダ７０とされているが、装着機１４に配設されているノズルステーション３０、パーツカメラ９０等の種々の器具の清掃に、清掃用ノズル１００を用いることが可能である。

また、上記実施例では、ブラシ１１０が配設された清掃用ノズル１００を用いて清掃作業が実行されているが、ブラシ１１０の無い清掃用ノズルにより清掃作業を実行してもよい。さらに言えば、清掃用ノズル１００ではなく、吸着ノズル６０を用いて清掃作業を実行することも可能である。つまり、電子部品の装着作業に用いている吸着ノズル６０により、清掃対象の器具に向かって、エアを噴出することで、埃等を吹き飛ばして、清掃作業を行うことが可能である。このように、吸着ノズル６０を用いて清掃作業を行うことで、清掃用ノズル１００を用意する必要が無くなり、非常に低コストで清掃作業を行うことが可能となる。

１４：電子部品装着機（装着作業機） ２４：移動装置 ２６：装着ヘッド（作業ヘッド） ６０：吸着ノズル ７０：テープフィーダ（フィーダ型部品供給装置）（器具） １００：清掃用ノズル １１０：ブラシ

Claims (5)

1. 基板に実装される部品を、エアの吸引により吸着保持し、エアの噴出により離脱する吸着ノズルが着脱可能に装着される装着部に、前記吸着ノズルの代わりに装着されるノズルであって、前記装着部に装着された状態でエアの噴出により清掃を行う清掃用ノズル。
2. 当該清掃用ノズルが、
   先端部に配設されたブラシを備えることを特徴とする請求項１に記載の清掃用ノズル。
3. 前記ブラシが、先細り形状であることを特徴とする請求項２に記載の清掃用ノズル。
4. 基板に実装される部品を、エアの吸引により吸着保持し、エアの噴出により離脱する吸着ノズルが着脱可能に装着される装着部を有する作業ヘッドと、
   前記作業ヘッドを移動させる移動装置と
   を備えた装着作業機に配設されている器具を清掃するための清掃方法であって、
   前記装着部に装着された前記吸着ノズル、若しくは、前記装着部に前記吸着ノズルの代わりに装着された清掃用ノズルからのエアの噴出により清掃を行うことを特徴とする清掃方法。
5. 当該清掃方法が、
   前記装着作業機に配設されているフィーダ型部品供給装置を清掃するための清掃方法であることを特徴とする請求項４に記載の清掃方法。

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