JP2020021912A - 光サブアッセンブリ及び光モジュール - Google Patents

光サブアッセンブリ及び光モジュール Download PDF

Info

Publication number
JP2020021912A
JP2020021912A JP2018147078A JP2018147078A JP2020021912A JP 2020021912 A JP2020021912 A JP 2020021912A JP 2018147078 A JP2018147078 A JP 2018147078A JP 2018147078 A JP2018147078 A JP 2018147078A JP 2020021912 A JP2020021912 A JP 2020021912A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
hole
element mounting
spacer
assembly
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018147078A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7245620B2 (ja
Inventor
野口 大輔
Daisuke Noguchi
大輔 野口
山本 寛
Hiroshi Yamamoto
寛 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lumentum Japan Inc
Original Assignee
Lumentum Japan Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lumentum Japan Inc filed Critical Lumentum Japan Inc
Priority to JP2018147078A priority Critical patent/JP7245620B2/ja
Priority to US16/456,751 priority patent/US10852493B2/en
Priority to CN201910635565.XA priority patent/CN110794524B/zh
Publication of JP2020021912A publication Critical patent/JP2020021912A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7245620B2 publication Critical patent/JP7245620B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

【課題】光素子の実装スペースの確保と特性インピーダンス整合とを両立した光サブアッセンブリを提供する。【解決手段】第1の面121と、第1の面の反対側に配置された第2の面122と、第1の面から第2の面までを貫通する第1の貫通孔123と、を含むアイレット120と、第1の貫通孔に挿入され、電気信号を伝送する第1のリード端子110と、第1の貫通孔と第1のリード端子との間に充填された誘電体130と、光信号と電気信号の少なくとも一方を他方に変換する光素子160が搭載された素子搭載基板140と、電気信号を光素子に伝送する第1の導体パターン152を含む中継基板150と、第1の面から第1の貫通孔の延伸方向に突出し、中継基板が載置される第3の面125と、素子搭載基板が載置される第4の面127と、を含む台座124と、第3の面と中継基板との間に介在し、中継基板の裏面と台座とを導通させるスペーサ170と、を含む。【選択図】図2

Description

本発明は、光サブアッセンブリ及び光モジュールに関する。
現在、インターネットや電話ネットワークの大部分が光通信網によって構築されている。光通信機器であるルータ/スイッチや伝送装置のインターフェースとして使用される光モジュールは、電気信号を光信号に変換する重要な役割を担っている。光モジュールは、一般的に、光素子を収容した光サブアッセンブリと、変調電気信号を含む信号を処理するIC等実装したプリント基板(以下PCB)と、その間を電気的に接続するフレキシブルプリント基板(以下FPC)を備えた形態をとる。
近年では、光モジュールは高速化のみならず、低価格化への要求が著しく、低コストでかつ、高速光信号を送受信可能な光モジュールの需要が高まっている。例えば、上述のような要求を満たす光モジュールとして、例えば缶状のパッケージに内包される金属製ステムからFPC等に差し込むリード端子が突出した形態を有するTO-CANパッケージ型の光サブアッセンブリ等を用いることが知られている。金属製ステムは、略円盤形状のアイレットと、アイレットから突出するように設けられた台座と、を含んで構成されている。
下記特許文献1、2においては、25Gbit/s級の変調電気信号を光素子に伝達させる技術が開示されている。
リード端子を電気的なインターフェースとするTO−CAN型の光サブアッセンブリは特性インピーダンスを所望の値に整合させることが困難であるが、下記特許文献1、2ではリード端子部でインダクタンスが大きくなることを防ぐため、リード端子直下に誘電体基板を挿入し、誘電体基板の高い誘電率によって、グラウンド導体となる台座との電気的な結合を強化し、インダクタンスをキャパシタンスによって緩和し、望ましくないインピーダンスの増加を防いでいる。
特開2017−50357号公報 特開2011−134740号公報
しかしながら、上記従来の構成においては、光素子の実装スペースの確保と、特性インピーダンス整合と、の両立が困難となっていた。即ち、リード端子が挿入される貫通孔と、誘電体と、リード端子とで構成される同軸線路の特性インピーダンスを整合すべく、貫通孔の直径を大きくする場合、当該貫通孔を避けるよう形成された台座とリード端子との距離が大きくなってしまう。そのため、誘電体基板とリード端子とを接続させるためには、誘電体基板の厚みを大きくする必要がある。一方、誘電体基板における特性インピーダンスを整合させる上で、誘電体基板の厚みが大きくなる場合においては、誘電体基板に設ける導体パターンの線路幅を大きくする必要がある。導体パターンの線路幅が大きくなると、光素子の実装スペースが小さくなってしまう。そのため、光素子の実装スペースの確保と、特性インピーダンス整合と、の両立が困難となっていた。
本開示は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、光素子の実装スペースの確保と、特性インピーダンス整合と、を両立することである。
上記課題を解決するために、本開示に係る光サブアッセンブリは、第1の面と、前記第1の面の反対側に配置された第2の面と、前記第1の面から前記第2の面までを貫通する第1の貫通孔と、を含むアイレットと、前記第1の貫通孔に挿入され、電気信号を伝送する第1のリード端子と、前記第1の貫通孔と前記第1のリード端子との間に充填された誘電体と、光信号と前記電気信号の少なくとも一方を他方に変換する光素子が搭載された素子搭載基板と、前記電気信号を前記光素子に伝送する第1の導体パターンを含む中継基板と、前記第1の面から前記第1の貫通孔の延伸方向に突出し、前記中継基板が載置される第3の面と、前記素子搭載基板が載置される第4の面と、を含む台座と、前記第3の面と前記中継基板との間に介在し、前記中継基板の裏面と前記台座とを導通させるスペーサと、を含む。
また、本開示に係る光モジュールは、上記光サブアッセンブリと、プリント基板と、前記プリント基板と前記光サブアッセンブリと電気的に接続されるフレキシブル基板と、を備える。
本開示の光サブアッセンブリ及びそれを備えた光モジュールによれば、光素子の実装スペースの確保と、特性インピーダンス整合と、を両立することができる。
図1は第1の実施形態に係る光モジュールの外観図である。 図2は第1の実施形態に係る光サブアッセンブリの内部構造を示す模式図である。 図3は第1の実施形態に係る光サブアッセンブリの断面構造を示す模式図である。 図4は第1の実施形態に係る光サブアッセンブリの模式的な平面図である 図5Aは第1の実施形態において高周波3次元電磁界シミュレータHFSS(High Frequency Structure Simulator)に用いたデータの表である。 図5Bは第1の実施形態に係るリード端子の突出量、及び大径部の直径と、反射特性と、の関係を高周波3次元電磁界シミュレータHFSS(High Frequency Structure Simulator)によって計算したグラフである。 図6は大径部の直径と反射特性との関係について30GHzでの振る舞いと40GHzでの振る舞いとを比較した図である。 図7は第1の実施形態における第1のリード端子の第1の面からの突出量別で、大径部の直径ごとに30GHzおよび40GHzのS11特性の関係をグラフ化した図である。 図8は第1の実施形態に係る光モジュールの模式的な上面図である。 図9は第1の実施形態に係る素子搭載基板とスペーサの各接続状態における透過特性を高周波3次元電磁界シミュレータHFSS(High Frequency Structure Simulator)によって計算したグラフである。 図10は第1の実施形態の他の実施例に係る光サブアッセンブリの模式的な平面図である。 図11は第1の実施形態の他の実施例に係る光サブアッセンブリの模式的な平面図である。 図12は比較例に係る光サブアッセンブリの模式的な平面図である。
本開示の第1の実施形態について、図面を用いて以下に説明する。
図1は、本実施形態における光通信用途の光モジュール1の外観図である。PCB200に搭載される駆動IC(図示せず)から、PCB200に半田等によって接続されるFPC300を介し、光サブアッセンブリ100に変調電気信号が伝達される。光サブアッセンブリ100は、光素子を収容し、かつ出射光をもしくは入射光を送受するインターフェースを備えている。光サブアッセンブリ100は、アイレット120と、光レセプタクル2を含む。この光レセプタクル2の具体的な構造については、図3を用いて後述する。なお、図示しないが光サブアッセンブリ100、PCB200、そしてFPC300は、金属製などの筐体に内蔵されて、光モジュール1は構成されている。
ここで、光サブアッセンブリ100の例としては、レーザダイオードなどの発光素子を内部に有し、電気信号を光信号に変換して送信する光送信モジュール(TOSA; Transmitter Optical Subassembly)や、内部にフォトダイオードに代表される受光素子を有し、受信した光信号を電気信号に変換する光受信モジュール(ROSA; Receiver Optical Subassembly)や、これらの両方の機能を内包した双方向モジュール(BOSA;Bidirectional Optical Subassembly)などがある。本願発明は、上記いずれの光サブアセンブリにも適用でき、本実施形態では光送信モジュールを例として説明する。
図2は、本開示の第1の実施形態に係る光サブアッセンブリ100の内部構造を示す模式的な斜視図である。光サブアッセンブリ100は、例えば、直径5.6mmの円盤形状をした、金属からなる導電性のアイレット120を有する。アイレット120は、第1の面121と、第1の面121の反対側に配置された第2の面122と、を有する。また、アイレット120は、第1の面121から第2の面122までを貫通する第1の貫通孔123、第2の貫通孔126を有する。
また、光サブアッセンブリ100は、アイレット120の第1の面121から第1の貫通孔123の延伸方向に突出する台座124を含む。台座124は、中継基板150が載置される第3の面125と、素子搭載基板140が載置される第4の面127と、を含む。素子搭載基板140には、光信号と電気信号の少なくとも一方を他方に変換する光素子160が搭載される。中継基板150は、電気信号を光素子160に伝送する第1の導体パターン152を含む。アイレット120と、この台座124と、により、ステムを構成している。
本実施形態において、素子搭載基板140は、光素子160と近い熱膨張係数を持つ窒化アルミニウムなどのセラミックからなり、光素子160が、素子搭載基板140にダイボンディングされている。素子搭載基板140は、表裏面にメタライズパタンを有しており、素子搭載基板140の裏面はグラウンド導体となるステムの台座124に接続されている。また、光素子160が搭載される素子搭載基板140の表面(搭載面)側には、伝送線路となる第2の導体パターン141(図8参照)が形成されている。
アイレット120の第1の貫通孔123には、電気信号を伝送する第1のリード端子110が挿入されており、第1の貫通孔123と第1のリード端子110との間には、誘電体130が充填されている。このアイレット120、誘電体130、及び第1のリード端子110によって、同軸線路を形成している。以下、この同軸線路を「ガラス同軸部」という。
本実施形態においては、第3の面125に直交する方向(図2における上下方向)において、第3の面125は、第4の面127よりもアイレット120の中心から離れた位置(図2における下方)に配置されている。後述するように、ガラス同軸部の特性インピーダンスを50オームに整合させる場合、例えば25オームに整合させる場合と比較して、第1の貫通孔123の直径を大きくする必要がある。ここで、製造プロセス上、第1のリード端子110の延伸方向から見て、第1の貫通孔123と台座124とは重畳しないことが望ましい。即ち、第1のリード端子110の延伸方向から見て、第1の貫通孔123と台座124とを重畳させない構成とすることにより、台座124とアイレット120とを一体形成する場合において、第1の貫通孔123を形成しやすく望ましい。この第1の貫通孔123と台座124とを重畳させない構成を採用すると、大きな直径を有する第1の貫通孔123を避けるように台座124を設ける必要があるため、台座124の中継基板150が載置される領域を、中央位置からずらす必要がある。一方で、光素子160は、アイレット120の中央位置に配置する必要がある。そのため、光素子160を載置する素子搭載基板140が載置される第4の面127を、中継基板150が載置される第3の面125よりもアイレット120の中心に近い位置(図2における上方)に配置する構成とすることにより、製造プロセス上の効率を下げることなく、光素子160の位置を中央位置に保ちながら、第1の貫通孔123の直径を大きくすることができ、ガラス同軸部の特性インピーダンスを50オームに整合させることができるのである。
また、ガラス同軸部の特性インピーダンスを50オームに整合させるためには、後述するように、第1の貫通孔123の直径を大きくする必要があるため、第1の貫通孔123を避けるように形成された台座124と第1のリード端子110との距離が大きくなってしまう。一方、中継基板150は、特性インピーダンスが50オームとなるマイクロストリップ線路を成す必要があるため、中継基板150の厚みを大きくしてしまうと、中継基板150に形成する第1の導体パターン152の線路幅を大きくする必要がある。中継基板150を構成する材料として窒化アルミニウムを用いた場合、その比誘電率は8.7であるため、例えば、中継基板150の厚みを0.5mmとすると、第1の導体パターン152の線路幅は0.5mm幅とする必要があり、中継基板150自体を大きくすることが必要となる。中継基板150を大きくすると、素子搭載基板140を小さくせざるを得なくなり、光素子160の実装スペースが小さくなってしまう。
この課題に対し、本実施形態においては、中継基板150と台座124との間に、スペーサ170を介在させ、このスペーサ170が、中継基板150の裏面と台座124とを導通させる構成としている。即ち、スペーサ170の上面にまで、台座124のグラウンド電位を持ち上げる構成としている。そのため、中継基板150の厚みを、例えば0.2mmのように薄くすることが可能となる。その結果として、第1のリード端子110と接続される誘電体基板である中継基板150上に形成する第1の導体パターン152の線路幅が大きくなることを抑制することができる。本実施形態においては、中継基板150に形成する第1の導体パターン152の線路幅を0.2mmとすることが可能となる。その結果として、中継基板150の大型化を抑制することができ、光素子160の実装スペースの確保と、特性インピーダンス整合との両立が可能となる。
なお、図4に示すように、第1のリード端子110の延伸方向から見て、グラウンド導体を含むスペーサ170は、誘電体130と重畳する構成となっている。このスペーサ170としては、例えば窒化アルミニウムなどのセラミックで構成するとともに、このセラミック基板内に、複数の埋め込みビアホールを設けることによって、スペーサ170の表裏を導通させる構成としてもよい。あるいは厚み0.3mmの金属板によりスペーサ170を構成してもよい。当然、上記に限らずスペーサ170の上面がグラウンド電位となればどのような構成であっても構わない。
図4は、図2に示した第1の実施形態に係る光サブアッセンブリ100の模式的な平面図である。
本実施形態においては、図4に示すように、第3の面125に直交する方向(図4における上下方向)において、第3の面125は、第4の面127よりもアイレットの中心から離れた位置(図4における下方)に配置された構成としている。なお、本実施形態においては、第3の面125と第4の面127とが略平行な構成としている。
また、スペーサ170の厚みよりも、第3の面125に直交する方向(図4における上下方向)における、第3の面125と、第4の面127との段差が大きい構成としている。このような構成とすることにより、スペーサ170によって、素子搭載基板140が押し上げられることなく、素子搭載基板140が第4の面127に対して傾き無く載置される構成を実現している。そのため、第3の面125に直交する方向(図4における上下方向)において、スペーサ170の表面は、素子搭載基板140の裏面よりもアイレット120の中心から離れた位置(図4における下方)に配置された構成としている。
また、第3の面125に直交する方向から見て、スペーサ170の表面の一部が、中継基板150と重畳せず露出している。また、素子搭載基板140の裏面の一部は、第4の面127に直交する方向から見て、第4の面127側から、第3の面125側にはみ出し、且つスペーサ170の表面の一部と対向する構成としている。なお、第4の面127側から第3の面125側にはみ出す素子搭載基板140の一部は、中継基板150と、2本以上のボンディングワイヤによって接続される構成としてもよい。
このように、素子搭載基板140の一部が、第4の面127に直交する方向から見て、第4の面127側から、第3の面125側にはみ出す構成とすることにより、素子搭載基板140の表面上の面積を担保し、素子搭載基板140上に、光素子160(レーザ)や、図8を用いて後述する変調素子186、第2の導体パターン141、グラウンドパターン146等を載置することを可能とすることができる。特に、図4に示すように、第1の貫通孔123の直径を大きくする場合、この第1の貫通孔123を避けるように、台座124における第3の面125を設ける必要があるため、第3の面125の面積を大きく構成する必要がある。その結果として、第4の面127の面積を小さくせざるを得ず、上述した光素子160等を載置することが困難となる。しかし、素子搭載基板140の一部が、第4の面127に直交する方向から見て、第4の面127側から、第3の面125側にはみ出す構成とすることにより、素子搭載基板140における表面(光素子160の搭載面)の面積を担保することができ、素子搭載基板140上に、光素子160等の部品を載置することが可能となる。
一方で、素子搭載基板140の一部が、第4の面127に直交する方向から見て、第4の面127側から、第3の面125側にはみ出す構成とすると、当該素子搭載基板140の一部は、グラウンド電位となる台座124と直接接触しない構成となるため、グラウンドが不安定となり、高周波領域における透過特性に影響を及ぼす可能性がある。
この課題に対し、図4に示すように、素子搭載基板140の裏面の一部と、スペーサ170の表面の一部との間には、素子搭載基板140の裏面の一部と、スペーサ170の表面の一部とを直接接続するグラウンド導体80を介在させている。グラウンド導体80は、第3の面125に直交する方向から見て、スペーサ170の表面の一部と、素子搭載基板140の裏面の一部とに、重畳するよう配置されている。
図9は、素子搭載基板140とスペーサ170の各接続状態における透過特性を高周波3次元電磁界シミュレータHFSS(High Frequency Structure Simulator)によって計算した結果である。
図9において、横軸は伝送される電気信号の周波数を示し、縦軸は、図2に示した第1のリード端子110における第2の面122と交差する位置から伝送された電気信号が、光素子160に直接接続される第2のワイヤ184(図8参照)に伝送されたときの信号レベル、即ち透過特性を表している。そのため、縦軸の値であるS21[dB]は大きい値であることが望ましい。
図9において、model 1は、図4に示したように、互いに対向する素子搭載基板140の裏面の一部と、スペーサ170の表面の一部との間に、グラウンド導体80として半田を介在させた構成の特性を示す。model 2は、図10に示すように、素子搭載基板140の裏面と、スペーサ170との対向部から、当該対向部以外にまでグラウンド導体80の形成領域を広げたものであり、グラウンド導体80を、素子搭載基板140の裏面と台座124の第3の面125とが対向する部分にまで設けた構成の特性を示す。model 3は、図11に示すように、素子搭載基板140の裏面と、スペーサ170の表面との対向部から、当該対向部以外にまでグラウンド導体80の形成領域を広げたものであり、グラウンド導体80が、素子搭載基板140の裏面と台座124の第3の面125とが対向する部分を充填するよう設けられた構成の特性を示す。model 4は、図12に示すように、素子搭載基板140の裏面と、スペーサ170の表面との対向部にグラウンド導体80を設けない構成の特性を示す。なお、全modelとも素子搭載基板140の裏面はメタライズがされており、第4の面127と接する面にてグラウンド電位となっている。すなわち、素子搭載基板140の第3の面125側に飛び出している領域の裏面もグラウンド電位となっている。また、ここではグラウンド導体80の例として半田を用いたが、グラウンド導体80の構成例はこれに限定されず、導電性接着剤などでも構わない。
図9に示す結果より、model 1、model 2、及びmodel 3の透過特性は、model 4の透過特性と比較して、特に30GHz〜40GHz帯において、1dB程度高い値を保っていることがわかる。
このように、本開示においては、素子搭載基板140の裏面の一部と、スペーサ170の表面の一部との間に、素子搭載基板140の裏面の一部と、スペーサ170の表面の一部とを直接接続するグラウンド導体80を介在させる構成とすることにより、素子搭載基板140の一部が、グラウンド電位となる台座124と直接接触しない構成であっても、グラウンドが不安定となるのを抑制し、高周波領域における透過特性への影響の発生を抑制することができる。
なお、本実施形態において、素子搭載基板140には、薄膜抵抗が蒸着されており、光素子160の直列抵抗によって、25〜75オームで終端される構成としてもよい。
本実施形態において、変調電気信号を伝送する第1のリード端子110は、図2に示すように、小径部114と、小径部114の端部に設けられ、小径部114よりも大きな直径を有する大径部115と、を含む。大径部115の少なくとも一部は、第1の面121側において、第1の面121から露出している。そして、大径部115と、中継基板150に載置された第1の導体パターン152とが、ろう接されている。例えば、第1のリード端子110の大径部115と中継基板150は、金錫合金などからなる半田70によって接続されている。
このような構成することにより、第1のリード端子110と中継基板150とがろう接された光モジュール1において、更なるインピーダンス整合を実現することができる。
即ち、第1のリード端子110と中継基板150とがろう接される場合には、第1のリード端子110と中継基板150との間の電気信号の伝達は直線的に行われる。これに対し、グラウンド導体を伝搬するリターン電流は、第1の貫通孔123を迂回し、台座124を経由し、更にスペーサ170を介して中継基板150に伝達されるため、インダクタンス成分の増加を招いてしまい、インピーダンス整合を行うことがより困難となる。しかしながら、上述した通り、第1のリード端子110が、第1の面121から突出する第1の端部111に大径部115を有する構成とすることにより、この大径部115と第1の貫通孔123の内周面との間の容量成分を大きくすることができる。そのため、インダクタンス成分を容量成分で緩和することができ、インピーダンス整合を行うことが可能となる。
特に、後述するように、ガラス同軸部の特性インピーダンスを50オーム付近にする際には、第1の貫通孔123の直径を大きくする必要があり、台座124と第1のリード端子110との距離が大きくなるため、リターン電流の経路の増加に伴うインダクタンス成分の増加を招く。そのため、上述した大径部115と第1の貫通孔123との間の容量成分を大きくすることによるインピーダンス整合の必要性とメリットは大きくなる。
なお、更に望ましくは、中継基板150に載置された第1の導体パターン152が、この第1のリード端子110の大径部115とろう接される部分に幅広部154を有する構成とすることが望ましい。このような構成とすることにより、幅広部154にもスタブとしての役割を担わせ、容量成分を増加させることができ、その結果、更なるインピーダンス整合を行うことが可能となる。
なお、特開2014−107733号公報などに開示されているように、中継基板の表層にリターンパスを設け、インダクタンスの寄生を防ぐ方法もあるが、本開示においては、上述したように、大径部115と第1の貫通孔123との間の容量成分を大きくすることによるインピーダンス整合を行う構成とすることにより、中継基板150の表面における部品搭載を可能とすることができる。即ち、中継基板150の表層にグラウンド導体となるリターンパスを設けると、中継基板150の表面に部品を搭載することが困難となるが、上述の構成とすることで、そのようなグラウンド導体を中継基板150の表層に設ける必要がなくなり、中継基板150の表面における部品搭載を可能とすることができる。
なお、光素子160は、直接変調型レーザ、電界吸収型変調器集積型レーザ、及びレーザとマッハツェンダー変調器を組み合わせたもののいずれであってもよいが、本実施形態においては、光素子160として、電界吸収型変調器集積型レーザ(以下、EML)を使用する。そのため、駆動インピーダンスは50オームである。変調電気信号は第1のリード端子110によって光サブアッセンブリ100の内部に伝達される。
なお、低速通信用途の光モジュールにおいては、ガラス同軸部の特性インピーダンスは、厳密に50オームに整合する必要は無く、例えば30オーム程度であってもよかった。例えば、リード端子径を0.25mm、誘電体130の直径を0.8mmとし、誘電体130として、比誘電率が6.7のガラスを用いることにより、ガラス同軸部を実現することができた。これは、低速用途においては、この特性インピーダンスであっても信号の伝送は可能であるため、小型化を優先していたためであった。しかし、例えば伝送レートが40Gbit/s以上の高速通信用途の光モジュールにおいては、広帯域でかつ特性インピーダンスが50オームに整合したTO−CAN型パッケージが必要になる。
しかし、第1のリード端子110を保持する誘電体130であるガラスの比誘電率は4〜7であり、ガラス同軸部の特性インピーダンスを50オームに整合させるためには、物理的なスペースを必要としてしまう。例えば、比誘電率が6.7のガラスで50オームに整合した同軸線路を設けるためには、直径が2mm以上に及ぶ第1の貫通孔123が必要となる。そのため、光モジュール1は自ずと、その制約を受けサイズが決定される。なお、50オーム±10オームに整合させれば、十分な特性は得られる。
本実施形態においては、第1のリード端子110の大径部115の直径が、小径部114である第2の端部112の直径の1.6倍以上、2.4倍以下の構成としている。具体例としては、第2の端部112における第1のリード端子110の直径が、0.25mmであるのに対し、大径部115の直径は0.4mmとしている。
図3は、本実施形態における光サブアッセンブリ100の断面構造を示す模式図である。図3に示すように、本実施形態に係る光サブアッセンブリ100は、光レセプタクル2と光パッケージ3とを含んでいる。そして、光レセプタクル2は、光レセプタクル本体20と、スタブ22と、スリーブ24とを備えている。
本実施形態に係る光レセプタクル本体20は、一体的に形成された樹脂部材を含んで構成されており、円柱状の外形を有する光パッケージ収容部20fと、光パッケージ収容部20fの外径より小さな外径を有する概略円柱形状の光ファイバ挿入部20dとを備えている。光パッケージ収容部20fと光ファイバ挿入部20dとは、それぞれの一端面同士が、連結されている。
光パッケージ収容部20fには、その外形状と同軸に円型の凹部20aが形成されており、円筒形をなしている。
光レセプタクル本体20には、光ファイバ挿入部20dの先端面から、この光ファイバ挿入部20dの外形状と同軸に延びて、光パッケージ収容部20fに形成された凹部20aの底面に至る貫通孔20bが形成されている。すなわち、光レセプタクル本体20には、凹部20aと、凹部20aから外部に貫通する貫通孔20bと、が形成されている。
貫通孔20bの内壁面の先端に形成されているテーパ部20cは、その径が外側に向かって増加するテーパ形状である。そのため、光ファイバ50を備えたコネクタを貫通孔20bに挿入しやすいようになっている。
光ファイバ挿入部20dには、その外周に沿ってフランジ20eが形成されている。
スタブ22は、ジルコニアなどを含んで構成されている。そして、スタブ22は、光レセプタクル本体20の光ファイバ挿入部20dに形成されている貫通孔20bとほぼ同径の概略円柱形状であり、スタブ22と同軸の光ファイバ50を保持している。そして、スタブ22は光レセプタクル本体20の光ファイバ挿入部20dに圧入などにより挿入固定されている。スタブ22の右側端面は斜め研磨されている。このようにして、光ファイバ50から入力される光と、その反射光との干渉を防止している。
光レセプタクル2のスタブ22の左側側面は、外部から貫通孔20bに挿入された光ファイバ50を備えたコネクタ(図示せず)と当接されて、コネクタが備える光ファイバ50と、スタブ22が保持する光ファイバ50との結合を行う。
スリーブ24は、弾性を有するジルコニアなどを含んで構成されている。そして、スリーブ24は、貫通孔20bとほぼ同径の円筒形状をしており、光レセプタクル本体20の内壁面に設けられた溝に埋め込まれている。このスリーブ24によって、光ファイバ挿入部20dに挿入される光ファイバ50の、貫通孔20b内における位置の調整ができるようになっている。
光パッケージ3は、球体のレンズ30を備えている。また、光パッケージ3は、レンズ30と略同径の開口が底面に形成された金属製の有底円筒状の部材であるレンズ支持部32を備えている。レンズ支持部32の開口は、レンズ支持部32の底面の形状と同軸に形成されている。そして、レンズ30はレンズ支持部32の開口に嵌め込まれている。すなわち、レンズ支持部32はレンズ30を支持する。
また、光パッケージ3は、上述したアイレット120、台座124と、を含むステムを備えている。
光レセプタクル2の凹部20aとアイレット120の第1の面121との接合面を接着固定することでサブアッセンブリ100は組み立てられる。このとき、アイレット120に溶接されたレンズ支持部32、このレンズ支持部32に嵌め込まれたレンズ30は、光レセプタクル2の凹部20aの中に入るように形成される。すなわち、レンズ30やレンズ支持部32は、光レセプタクル本体20の凹部20aに収容される。なお、光レセプタクル2と光パッケージ3とを接着する方法はこの限りではない。
図4は、図2に示した第1の実施形態に係る光サブアッセンブリ100の模式的な平面図である。図3に示したように、アイレット120の第1の面121には、レンズ支持部32が溶接されており、図4においては、このレンズ支持部32の内周32aの位置を一点鎖線で示している。本実施形態においては、直径5.6mmのアイレット120を使用しており、このアイレット120に組み合わせるレンズ支持部32としては、その内周32aが、3.2mmの直径を持つ円形状であるものを使用する例について説明する。
本実施形態においては、ガラス同軸部の特性インピーダンスを50オームに整合させるため、第1の貫通孔123の直径を、直流信号を伝達するための第2のリード端子116が挿入される第2の貫通孔126の直径の1.5倍以上としている。一方、第1の貫通孔123の直径が大きすぎると、アイレット120内での設計自由度が低下するため、第1の貫通孔123の直径を、第2の貫通孔126の直径の3倍以下としている。ガラス同軸部の具体例としては、誘電体130として、比誘電率が4〜5程度の低誘電ガラスを使用し、第1の貫通孔123の直径を1.5mmとしている。なお、比誘電率が4よりも低い低誘電材料のガラスを誘電体130として使用する場合においても、ガラス同軸部の特性インピーダンスを50オームに整合させるためには、第1の貫通孔123の直径を1.2mm程度にする必要がある。この場合、上述した、直径が3.2mm程度の内周32aを有するレンズ支持部32を使用すると、図4に示すように第1の貫通孔123の延伸方向から見た、レンズ支持部32の内周32a側に配置された第1の貫通孔123の面積が、レンズ支持部32の内周側の面積の14%以上となる。また、比誘電率が7程度のガラスを使用する場合には、ガラス同軸部の特性インピーダンスを50オームに整合させるためには、第1の貫通孔123の直径を2mm以上にする必要がある。この場合、上述した、直径が3.2mm程度の内周32aを有するレンズ支持部32を使用すると、第1の貫通孔123の延伸方向から見た、レンズ支持部32の内周32a側に配置された第1の貫通孔123の面積が、レンズ支持部32の内周側の面積の40%を占めることになる。
よって、本実施形態に係るアイレット120は、第1の貫通孔123の延伸方向から見た、レンズ支持部32の内周側に配置された第1の貫通孔123の面積が、組み合わせるレンズ支持部32の直径で定義される面積、即ちレンズ支持部32の内周側の面積の14%以上、40%以下としている。
なお、第1のリード端子110が大径部115を有する構成とすることにより、上述した特性面のメリットの他、製造上のメリットも得ることができる。即ち、中継基板150は低コスト化のため、面積を小さくすることが好ましい。しかしながら、搭載ばらつきが起こった場合に、第1のリード端子110と、中継基板150に形成した第1の導体パターン152と、が乖離すると、第1のリード端子110と第1の導体パターン152との間に金錫合金などからなる半田70が付かず、製造歩留まりを悪化させてしまう。この課題に対して、第1のリード端子110の第1の端部111が大径部115である構成とすることにより、中継基板150の位置が多少ずれたとしても、第1のリード端子110の第1の端部111と中継基板150の第1の導体パターン152とを半田70で接合することが可能となる。また、その結果として、中継基板150のサイズを縮小することができ、低コスト化にも寄与することができる。
次に、直径0.25mmの第1のリード端子110を用いた場合において、大径部115の直径と、第1の面121からの第1のリード端子110の突出量を変化させた場合における反射特性を高周波3次元電磁界シミュレータHFSS(High Frequency Structure Simulator)によって計算した結果を図5A、図5Bに示す。図5Aは、当該シミュレータに用いたデータの表であり、図5Bは、図5Aに記載のシミュレーション番号(S1〜S25)に対応した高周波3次元電磁界シミュレータHFSSの算出結果を示すグラフである。なお、第1の面121からの第1のリード端子110の突出量とは、第1の貫通孔123の延伸方向における、大径部115の端面と第1の面121との距離を意味する。図5Bにおいて、横軸は伝送される電気信号の周波数、縦軸は第1のリード端子110の第2の端部112側から伝送された電気信号が、第1の端部111に伝送され、再度、第2の端部112に戻ってきたときの信号レベルを表している。そのため、縦軸の値であるS11[dB]は、小さい値であることが望ましい。
図5Bに示すように、特に大径部115の直径と、第1のリード端子110の突出量(ピン高さ)での振る舞いは30GHz帯と40GHz帯とで異なり、特に40GHz帯では、大径部115の直径は0.55mm以上が好ましいが、逆に30GHz帯では、0.35mm程度が最適である。
図6は、大径部115の直径と反射特性との関係について、30GHzでの振る舞いと40GHzでの振る舞いとを比較した図である。このシミュレーションにおいては、第1のリード端子110の突出量(ピン高さ)を0.1mmとし、小径部114の直径を0.25mmとしている。
広帯域な伝送路を実現するためには、広い周波数範囲でS11は−15dB以下であることが好ましい。図6に示すように、小径部114の直径が0.25mmの第1のリード端子110を用いた場合において、大径部115の直径が0.4mm〜0.6mmであれば、伝送される電気信号の周波数が30GHzであっても40GHzであっても、S11を−15dB以下にすることができることがわかる。よって、本実施形態における第1のリード端子110の大径部115の直径は、第2の端部112などの小径部114の直径の1.6倍から2.4倍である構成とすることが望ましい。
図7は、第1のリード端子110の、第1の面121からの突出量(ピン高さ)別で、大径部の直径ごとに30GHzおよび40GHzのS11特性の関係をグラフ化した図である。なお、この図7においては、第1のリード端子110の突出量(ピン高さ)は、0.2mm以下の範囲で示している。この範囲を選択する理由は、以下のとおりである。まず、第1のリード端子110の突出量(ピン高さ)を0.2mmより大きくしてしまうと、大径部115の外周面と第1の貫通孔123との内周面との距離が離れてしまうため、大径部115の外周面と第1の貫通孔123の内周面との間の容量成分が小さくなってしまう。また、大径部115の外周面と第1の貫通孔123との内周面との間に介在するのが、誘電体130ではなく空気となることによって、大径部115の外周面と第1の貫通孔123との内周面との間の比誘電率が小さくなってしまう。そのため、上述した容量成分が小さくなってしまう。更に、大径部115の周囲の比誘電率が小さくなることにより、インダクタンス成分が大きくなってしまう。そのため、インダクタンス成分を容量成分で緩和することが難しくなり、特性インピーダンス整合が難しくなってしまう。従って、本実施形態においては、第1のリード端子110の突出量(ピン高さ)は、0.2mm以下の範囲としている。
図7に示すように、第1のリード端子110の突出量(ピン高さ)を0〜0.2mmの範囲で変化させた場合、第1のリード端子110の突出量(ピン高さ)が小さい方がS11をより小さくできることがわかるが、0〜0.2mmの範囲で第1のリード端子110の突出量(ピン高さ)を変化させても、各周波数(30GHz、40GHz)におけるS11の変化量は非常に小さく、理想的な大径部115の直径はいずれの状況においても、0.5mm程度であることがわかる。従って、本実施形態に係る光モジュール1における第1のリード端子110の突出量(ピン高さ)は0〜0.2mmが望ましいといえる。
図8は、本実施形態に係る光モジュール1の模式的な上面図である。本実施形態においては、図8に示すように、高周波線路の両側にグラウンド電位の柱となるビア142と、キャスタレーション144と、を配置している。ビア142は、貫通孔内に導体が充填されたものであり、素子搭載基板140の表裏面(光素子160を搭載する搭載面とその裏面)を導通させている。また、キャスタレーション144は、素子搭載基板140の表面から裏面にかけて設けられた凹部形状の切り欠き部を有し、この凹部形状の内周面に金属膜が形成されているものである。キャスタレーション144は、素子搭載基板140の表裏面(光素子160を搭載する搭載面とその裏面)を導通させている。素子搭載基板140の表面(搭載面)側に設けられたグラウンドパターン146はビア142、キャスタレーション144等を介して、素子搭載基板140の裏面のグラウンド層と導通されている。単なる表裏面の導通が目的であれば、ビア142の位置は特に制限されないが、高周波の観点では、ビア142の位置や個数は重要となる。本実施形態の場合、高周波信号が、中継基板150から素子搭載基板140に、複数の第1のワイヤ182で伝達され、その後、素子搭載基板140上の第2の導体パターン141を通り、第2のワイヤ184を介して変調素子186に伝達される。本実施形態における変調素子186としては、例えば電界吸収型変調器を用いることができる。この高周波の電気信号の伝達区間において、高周波信号の電磁界を閉じ込めるために高周波の電気信号の周りにグラウンド電位があることは特性上有利となる。本実施形態においては、中継基板150と素子搭載基板140との接続部付近で、素子搭載基板140の表面のグラウンドパターン146と裏面のグラウンド層とを、ビア142、及びキャスタレーション144で接続させている。また、素子搭載基板140の表面(搭載面)のグラウンドパターン146と、素子搭載基板140の裏面のグラウンド層とをつなぐ領域があることで、さらに高周波特性の劣化を低減することができる。
また、本実施形態においては、素子搭載基板140と中継基板150とを、複数の第1のワイヤ182で接続している。このような構成とすることにより、インダクタンス成分の増加を抑え、高周波領域におけるインピーダンス整合を可能としている。
一方、素子搭載基板140から、光素子160への電気信号の伝達については、1本の第2のワイヤ184で連絡している。これは、光素子160における寄生容量の増加を抑えるべく、光素子160の電極サイズを小さくする必要があるためである。そこで、この第2のワイヤ184におけるインダクタンス成分の発生を抑制するため、本実施形態の素子搭載基板140には、第2のワイヤ184の左右に強固なグラウンドパターン146を設けて、グランデッドコプレナー線路を構成している。そして、グラウンドを強固にするため、光素子160の発光点側にはキャスタレーション144、後方側にはビア142を設けて、強固なグラウンドとなる台座124と、グラウンドパターン146とを最短で接続されるようにしている。そして、素子搭載基板140のグラウンドパターン146が、台座124のグラウンド電位と第1の接続部(例えば、ビア142)、及び第2の接続部(例えば、キャスタレーション144)を介して接続されており、光素子160が搭載される搭載面に直交する方向から見て、第1の接続部と第2の接続部とを結ぶ線分が、第2の導体パターン141と光素子160とを接続する第2のワイヤ184と交差する構成としている。この構成により、光素子160と素子搭載基板140との間の接続が、例えば1本の第2のワイヤ184による接続であっても、インダクタンス成分の増加を低減することができ、高周波領域までのインピーダンス整合を実現することができる。
なお、本明細書中では、金属円盤を表すアイレットという文言を使用したが、アイレット120が円盤形状であることに本質的な意味はなく、多角柱などのその他の形状であってもかまわない。
なお、光サブアッセンブリ100は、光素子160であるレーザダイオードへのバイアスや、後方出力をモニタするフォトダイオードへのバイアス、及びレーザ温度をモニタするためのサーミスタ端子を備えていてもよい。
1 光モジュール、2 光レセプタクル、3 光パッケージ、20 光レセプタクル本体、20a 凹部、20b 貫通孔、20c テーパ部、20d 光ファイバ挿入部、20e フランジ、20f 光パッケージ収容部、22 スタブ、24 スリーブ、30 レンズ、32 レンズ支持部、32a 内周、50 光ファイバ、70 半田、80 グラウンド導体、100 光サブアッセンブリ、110 第1のリード端子、111 第1の端部、112 第2の端部、114 小径部、115 大径部、116 第2のリード端子、120 アイレット、121 第1の面、122 第2の面、123 第1の貫通孔、124 台座、125 第3の面、126 第2の貫通孔、127 第4の面、130 誘電体、140 素子搭載基板、141 第2の導体パターン、142 ビア、144 キャスタレーション、146 グラウンドパターン、150 中継基板、152 第1の導体パターン、154 幅広部、160 光素子、170 スペーサ、182 第1のワイヤ、184 第2のワイヤ、186 変調素子、200 PCB、300 FPC。

Claims (12)

  1. 第1の面と、前記第1の面の反対側に配置された第2の面と、前記第1の面から前記第2の面までを貫通する第1の貫通孔と、を含むアイレットと、
    前記第1の貫通孔に挿入され、電気信号を伝送する第1のリード端子と、
    前記第1の貫通孔と前記第1のリード端子との間に充填された誘電体と、
    光信号と前記電気信号の少なくとも一方を他方に変換する光素子が搭載された素子搭載基板と、
    前記電気信号を前記光素子に伝送する第1の導体パターンを含む中継基板と、
    前記第1の面から前記第1の貫通孔の延伸方向に突出し、前記中継基板が載置される第3の面と、前記素子搭載基板が載置される第4の面と、を含む台座と、
    前記第3の面と前記中継基板との間に介在し、前記中継基板の裏面と前記台座とを導通させるスペーサと、を含む、
    光サブアッセンブリ。
  2. 請求項1に記載の光サブアッセンブリであって、
    前記第3の面に直交する方向において、
    前記第3の面は、前記第4の面よりも前記アイレットの中心から離れた位置に配置され、且つ前記スペーサの表面は、前記素子搭載基板の裏面よりも前記アイレットの中心から離れた位置に配置された、
    光サブアッセンブリ。
  3. 請求項2に記載の光サブアッセンブリであって、
    前記第3の面に直交する方向における、前記第3の面と、前記第4の面との段差が、前記スペーサの厚みよりも大きい、
    光サブアッセンブリ。
  4. 請求項2に記載の光サブアッセンブリであって、
    前記スペーサの表面の一部が、前記第3の面に直交する方向から見て、前記中継基板と重畳せず露出しており、
    前記素子搭載基板の裏面の一部が、前記第4の面に直交する方向から見て、前記第4の面側から、前記第3の面側にはみ出し、且つ前記スペーサの表面の一部と対向するよう配置され、
    前記素子搭載基板の裏面の一部と、前記スペーサの表面の一部との間には、前記素子搭載基板の裏面の一部と、前記スペーサの表面の一部とを直接接続するグラウンド導体が介在する、
    光サブアッセンブリ。
  5. 請求項4に記載の光サブアッセンブリであって、
    前記グラウンド導体は、前記第3の面に直交する方向から見て、前記スペーサの表面の一部と、前記素子搭載基板の裏面の一部と、重畳するよう配置された、
    光サブアッセンブリ。
  6. 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光サブアッセンブリであって、
    前記第1の面に溶接されたレンズ支持部と、
    前記レンズ支持部の開口に固定されたレンズと、を更に含み、
    前記第1の貫通孔の延伸方向から見た、前記レンズ支持部の内周側に配置された前記第1の貫通孔の面積が、前記レンズ支持部の内周側の面積の14%以上、40%以下である、
    光サブアッセンブリ。
  7. 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光サブアッセンブリであって、
    前記素子搭載基板は、50±25オームの薄膜抵抗を含む、
    光サブアッセンブリ。
  8. 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の光サブアッセンブリであって、
    前記電気信号の伝送レートが40Gbit/s以上である、
    光サブアッセンブリ。
  9. 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光サブアッセンブリであって、
    前記第1の面から前記第2の面までを貫通する第2の貫通孔と、
    前記第2の貫通孔に挿入され、直流信号を伝送する第2のリード端子と、を更に含み、
    前記第1の貫通孔の直径が、前記第2の貫通孔の直径の1.5倍以上、3倍以下である、
    光サブアッセンブリ。
  10. 請求項1乃至9のいずれか一項に記載の光サブアッセンブリであって、
    前記素子搭載基板が、前記電気信号を前記光素子に伝送する第2の導体パターンを更に含み、
    前記第1の導体パターンと前記第2の導体パターンとが、複数の第1のワイヤによって接続された、
    光サブアッセンブリ。
  11. 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の光モジュールであって、
    前記素子搭載基板が、
    前記光素子の搭載面側に設けられ、前記電気信号を前記光素子に伝送する第2の導体パターンと、
    前記搭載面と前記素子搭載基板の裏面とを導通させ、前記台座のグラウンド電位と接続された第1の接続部、及び第2の接続部と、
    前記搭載面側に設けられ、前記第1の接続部、及び前記第2の接続部を介して前記台座のグラウンド電位と接続されたグラウンドパターンと、を更に含み、
    前記第2の導体パターンと前記光素子とが、第2のワイヤによって接続され、前記第2の導体パターン、前記第1の接続部、前記第2の接続部、および前記グラウントパターンにて、グランデットコプレナー線路を構成している、
    光サブアッセンブリ。
  12. 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の光サブアッセンブリと、
    プリント基板と、
    前記プリント基板と前記光サブアッセンブリと電気的に接続されるフレキシブル基板と、を備えた、
    光モジュール。

JP2018147078A 2018-08-03 2018-08-03 光サブアッセンブリ及び光モジュール Active JP7245620B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018147078A JP7245620B2 (ja) 2018-08-03 2018-08-03 光サブアッセンブリ及び光モジュール
US16/456,751 US10852493B2 (en) 2018-08-03 2019-06-28 Optical subassembly and optical module
CN201910635565.XA CN110794524B (zh) 2018-08-03 2019-07-15 光学子组件和光学模块

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018147078A JP7245620B2 (ja) 2018-08-03 2018-08-03 光サブアッセンブリ及び光モジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020021912A true JP2020021912A (ja) 2020-02-06
JP7245620B2 JP7245620B2 (ja) 2023-03-24

Family

ID=69588812

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018147078A Active JP7245620B2 (ja) 2018-08-03 2018-08-03 光サブアッセンブリ及び光モジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7245620B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020021911A (ja) * 2018-08-03 2020-02-06 日本ルメンタム株式会社 光サブアッセンブリ及び光モジュール
CN113327990A (zh) * 2020-02-28 2021-08-31 日本剑桥光电有限公司 光学模块
JP2022043008A (ja) * 2020-09-03 2022-03-15 ショット アクチエンゲゼルシャフト 電子部品用のヘッダ

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7295634B2 (ja) * 2018-12-17 2023-06-21 日本ルメンタム株式会社 光サブアッセンブリ及び光モジュール

Citations (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63211778A (ja) * 1987-02-27 1988-09-02 Sumitomo Electric Ind Ltd 光素子用パツケ−ジ
JP2003037329A (ja) * 2001-07-24 2003-02-07 Hitachi Cable Ltd 光送信器
JP2003332667A (ja) * 2002-05-13 2003-11-21 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体レーザモジュール
JP2004071890A (ja) * 2002-08-07 2004-03-04 Sumitomo Electric Ind Ltd 光モジュール
JP2004221095A (ja) * 2002-01-30 2004-08-05 Kyocera Corp 光半導体装置
JP2004335584A (ja) * 2003-05-01 2004-11-25 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体パッケージ
CN1674373A (zh) * 2005-03-31 2005-09-28 武汉电信器件有限公司 用于小体积高速激光器件封装的底座
JP2006216839A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Mitsubishi Electric Corp 光モジュール
JP2007227724A (ja) * 2006-02-24 2007-09-06 Mitsubishi Electric Corp 半導体発光装置
JP2008226988A (ja) * 2007-03-09 2008-09-25 Sumitomo Electric Ind Ltd 光電変換モジュール
US20090003003A1 (en) * 2004-08-25 2009-01-01 Byoung Jae Park Light Emitting Device, Light Emitting Device Package Structure, and Method of Manufacturing the Light Emitting Device Package Structure
JP2009105284A (ja) * 2007-10-24 2009-05-14 Sumitomo Electric Ind Ltd 回路素子パッケージ
JP2009130263A (ja) * 2007-11-27 2009-06-11 Mitsubishi Electric Corp 光モジュール
JP2009162942A (ja) * 2007-12-28 2009-07-23 Opnext Japan Inc 光レセプタクル、光モジュール及び光モジュールの製造方法
JP2009239113A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Shinko Electric Ind Co Ltd 光半導体素子用パッケージ
JP2010191346A (ja) * 2009-02-20 2010-09-02 Opnext Japan Inc 光モジュール
JP2010219716A (ja) * 2009-03-16 2010-09-30 Opnext Japan Inc 光送信機及び光送信モジュール
WO2010140473A1 (ja) * 2009-06-02 2010-12-09 三菱電機株式会社 半導体光変調装置
JP2011108938A (ja) * 2009-11-19 2011-06-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> To−can型tosaモジュール
JP2011108940A (ja) * 2009-11-19 2011-06-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> To−can型tosaモジュール用実装構成およびto−can型tosaモジュール
JP2011108939A (ja) * 2009-11-19 2011-06-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> To−can型tosaモジュール
JP2011108937A (ja) * 2009-11-19 2011-06-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> To−can型tosaモジュール
JP2011134740A (ja) * 2009-12-22 2011-07-07 Kyocera Corp 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置
JP2011134962A (ja) * 2009-12-25 2011-07-07 Sumitomo Electric Ind Ltd 光送信モジュール
JP2011197360A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Mitsubishi Electric Corp 半導体光変調装置
JP2013004833A (ja) * 2011-06-20 2013-01-07 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 高周波モジュール及びその高周波線路の接続方法
JP2014138190A (ja) * 2013-01-18 2014-07-28 Schott Ag トランジスタアウトラインハウジング及びその製造方法
JP2016225457A (ja) * 2015-05-29 2016-12-28 新光電気工業株式会社 半導体装置用ステム及び半導体装置
JP2017050357A (ja) * 2015-08-31 2017-03-09 日本オクラロ株式会社 光モジュール
JP2017123414A (ja) * 2016-01-08 2017-07-13 新光電気工業株式会社 光半導体素子用パッケージ
CN107508141A (zh) * 2017-08-16 2017-12-22 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 一种同轴封装的激光器及光模块
CN108075350A (zh) * 2017-12-19 2018-05-25 深圳市东飞凌科技有限公司 同轴封装激光器
JP2020013709A (ja) * 2018-07-19 2020-01-23 ショット日本株式会社 気密端子
JP2020021911A (ja) * 2018-08-03 2020-02-06 日本ルメンタム株式会社 光サブアッセンブリ及び光モジュール
JP6929113B2 (ja) * 2017-04-24 2021-09-01 日本ルメンタム株式会社 光アセンブリ、光モジュール、及び光伝送装置

Patent Citations (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63211778A (ja) * 1987-02-27 1988-09-02 Sumitomo Electric Ind Ltd 光素子用パツケ−ジ
JP2003037329A (ja) * 2001-07-24 2003-02-07 Hitachi Cable Ltd 光送信器
JP2004221095A (ja) * 2002-01-30 2004-08-05 Kyocera Corp 光半導体装置
JP2003332667A (ja) * 2002-05-13 2003-11-21 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体レーザモジュール
JP2004071890A (ja) * 2002-08-07 2004-03-04 Sumitomo Electric Ind Ltd 光モジュール
JP2004335584A (ja) * 2003-05-01 2004-11-25 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体パッケージ
US20090003003A1 (en) * 2004-08-25 2009-01-01 Byoung Jae Park Light Emitting Device, Light Emitting Device Package Structure, and Method of Manufacturing the Light Emitting Device Package Structure
JP2006216839A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Mitsubishi Electric Corp 光モジュール
CN1674373A (zh) * 2005-03-31 2005-09-28 武汉电信器件有限公司 用于小体积高速激光器件封装的底座
JP2007227724A (ja) * 2006-02-24 2007-09-06 Mitsubishi Electric Corp 半導体発光装置
JP2008226988A (ja) * 2007-03-09 2008-09-25 Sumitomo Electric Ind Ltd 光電変換モジュール
JP2009105284A (ja) * 2007-10-24 2009-05-14 Sumitomo Electric Ind Ltd 回路素子パッケージ
JP2009130263A (ja) * 2007-11-27 2009-06-11 Mitsubishi Electric Corp 光モジュール
JP2009162942A (ja) * 2007-12-28 2009-07-23 Opnext Japan Inc 光レセプタクル、光モジュール及び光モジュールの製造方法
JP2009239113A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Shinko Electric Ind Co Ltd 光半導体素子用パッケージ
JP2010191346A (ja) * 2009-02-20 2010-09-02 Opnext Japan Inc 光モジュール
JP2010219716A (ja) * 2009-03-16 2010-09-30 Opnext Japan Inc 光送信機及び光送信モジュール
WO2010140473A1 (ja) * 2009-06-02 2010-12-09 三菱電機株式会社 半導体光変調装置
JP2011108938A (ja) * 2009-11-19 2011-06-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> To−can型tosaモジュール
JP2011108940A (ja) * 2009-11-19 2011-06-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> To−can型tosaモジュール用実装構成およびto−can型tosaモジュール
JP2011108939A (ja) * 2009-11-19 2011-06-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> To−can型tosaモジュール
JP2011108937A (ja) * 2009-11-19 2011-06-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> To−can型tosaモジュール
JP2011134740A (ja) * 2009-12-22 2011-07-07 Kyocera Corp 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置
JP2011134962A (ja) * 2009-12-25 2011-07-07 Sumitomo Electric Ind Ltd 光送信モジュール
JP2011197360A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Mitsubishi Electric Corp 半導体光変調装置
JP2013004833A (ja) * 2011-06-20 2013-01-07 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 高周波モジュール及びその高周波線路の接続方法
JP2014138190A (ja) * 2013-01-18 2014-07-28 Schott Ag トランジスタアウトラインハウジング及びその製造方法
JP2016225457A (ja) * 2015-05-29 2016-12-28 新光電気工業株式会社 半導体装置用ステム及び半導体装置
JP2017050357A (ja) * 2015-08-31 2017-03-09 日本オクラロ株式会社 光モジュール
JP2017123414A (ja) * 2016-01-08 2017-07-13 新光電気工業株式会社 光半導体素子用パッケージ
JP6929113B2 (ja) * 2017-04-24 2021-09-01 日本ルメンタム株式会社 光アセンブリ、光モジュール、及び光伝送装置
CN107508141A (zh) * 2017-08-16 2017-12-22 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 一种同轴封装的激光器及光模块
CN108075350A (zh) * 2017-12-19 2018-05-25 深圳市东飞凌科技有限公司 同轴封装激光器
JP2020013709A (ja) * 2018-07-19 2020-01-23 ショット日本株式会社 気密端子
JP2020021911A (ja) * 2018-08-03 2020-02-06 日本ルメンタム株式会社 光サブアッセンブリ及び光モジュール

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020021911A (ja) * 2018-08-03 2020-02-06 日本ルメンタム株式会社 光サブアッセンブリ及び光モジュール
JP7249745B2 (ja) 2018-08-03 2023-03-31 日本ルメンタム株式会社 光サブアッセンブリ及び光モジュール
CN113327990A (zh) * 2020-02-28 2021-08-31 日本剑桥光电有限公司 光学模块
CN113327990B (zh) * 2020-02-28 2024-02-09 日本剑桥光电有限公司 光学模块
JP2022043008A (ja) * 2020-09-03 2022-03-15 ショット アクチエンゲゼルシャフト 電子部品用のヘッダ
JP7230141B2 (ja) 2020-09-03 2023-02-28 ショット アクチエンゲゼルシャフト 電子部品用のヘッダ

Also Published As

Publication number Publication date
JP7245620B2 (ja) 2023-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7295634B2 (ja) 光サブアッセンブリ及び光モジュール
JP7249745B2 (ja) 光サブアッセンブリ及び光モジュール
JP7245620B2 (ja) 光サブアッセンブリ及び光モジュール
CN110794524B (zh) 光学子组件和光学模块
KR101430634B1 (ko) 광 모듈
JP5104251B2 (ja) 光モジュール
US7127142B2 (en) Optical communication device
US20140099123A1 (en) Flexible printed circuit board and optical communication module including the same
US8723283B2 (en) Optical module
US11125957B2 (en) Optical module
JP7419188B2 (ja) 光サブアッセンブリ
JP2021044331A (ja) 光サブアッセンブリ及び光モジュール
JP2019046922A (ja) 光モジュール及び光伝送装置
JP5125235B2 (ja) 光送受信装置および光送受信モジュール
JP2019186380A (ja) 光モジュール
US20220302671A1 (en) Optical module
JP2019186379A (ja) 光モジュール
JP2008103774A (ja) 高周波光伝送モジュールおよび光伝送器
US8077750B2 (en) Optical transmitting module and optical transmitting device
JP2016181542A (ja) 高周波伝送線路および光回路
JP6754334B2 (ja) 終端回路および終端回路を構成する配線板
JP6722155B2 (ja) 終端回路および配線板
WO2021009912A1 (ja) 光電ファイバおよび通信装置
CN116068704A (zh) 一种光模块
KR20120091994A (ko) 광 모듈

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210721

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220427

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220517

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220701

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20221101

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20221209

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230221

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230313

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7245620

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150