JP2004071890A - 光モジュール - Google Patents

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Makoto Ito
伊藤 誠
Takeshi Sekiguchi
関口 剛
Kenichiro Kawamoto
河本 健一郎
Sosaku Sawada
澤田 宗作
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Abstract

【課題】電気信号の入出力についてのインピーダンス整合が向上されるとともに、回路基板等への接続を容易化することが可能な光モジュールを提供する。
【解決手段】受光素子、受光素子が搭載される搭載部材30、及びリードピン40a〜40fを含む素子部と、スリーブ20を含むガイド部とからなる光受信サブアセンブリSAに対し、2本の信号ピン40a、40b、及び接地ピン40eが表面側に位置し、2本の電源ピン40c、40d、及び接地ピン40fが裏面側に位置するように配線基板WBを配置し、搭載部材30の基板固定部33及びカシメ部材34を介して固定する。配線基板WBは、フレキシブル基板61がリジッド基板62で裏打ちされた第1基板部6aと、フレキシブル基板61からなる第2基板部6bと、銅箔が露出された第3基板部6cとを有する。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、受光素子または発光素子などの半導体光学素子を有する光モジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体光学素子を有する光モジュールは、光信号を情報伝達媒体として用いる光通信システム等において用いられている。このような光モジュールとしては、例えば、光信号を受光素子によって電気信号に変換する光受信モジュールや、電気信号を発光素子によって光信号に変換する光送信モジュールなどがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
光モジュールの構成としては、受光素子または発光素子などの半導体光学素子と、光学素子が搭載される搭載部材と、光学素子に対して電気信号を入出力するためのリードピンとを備える構成が考えられる。
【0004】
例えば、図10(a)及び(b)に示す光受信モジュール101は、半導体光学素子である受光素子102と、受光素子102を搭載する搭載部材103と、複数(ここでは5本)のリードピン104〜108とを備えている。また、5本のリードピンのうち、搭載部材103に電気的に導通している接地ピン108以外の4本のリードピン104〜107は、搭載部材103の下面側の窪み部110に充填されたガラス部材109で封止されることによって、搭載部材103と絶縁されている。
【0005】
この光受信モジュールでは、図10(b)に示したように、リードピン104〜108が、搭載部材103に対して受光素子102の反対側に剥き出しに突出するように設けられている。このような構成においては、これらの剥き出しに設けられているリードピンに対し、電気信号の入出力についてのインピーダンス整合(z整合)を行うことができないという問題があった。
【0006】
すなわち、図10に示した構成の光受信モジュール101では、各リードピンの剥き出しとなっている部分については周囲が空気であるため、インピーダンス整合させることができない。このように、インピーダンス整合されていないリードピンを電気信号の入出力に用いると、例えば10GHz程度の高周波での特性を測定するような場合に誤差や不安定性が増大するなどの問題を生じる。また、このようなリードピンを有する構成では、回路基板等への接続の容易性などの点でも問題がある。
【0007】
本発明は、以上の問題点を解決するためになされたものであり、電気信号の入出力についてのインピーダンス整合が向上されるとともに、回路基板等への接続を容易化することが可能な光モジュールを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明による光モジュールは、(1)半導体光学素子、及び半導体光学素子に対して電気信号を入出力するためのリードピンを有する光サブアセンブリと、(2)フレキシブル基板を有し、リードピンが接続される配線パターンが形成されるとともに光サブアセンブリと一体に設けられた配線基板とを備え、(3)配線基板は、光サブアセンブリ側から順に、フレキシブル基板がリジッド基板によって裏打ちされた第1基板部、フレキシブル基板からなる第2基板部、及びフレキシブル基板の銅箔が露出されている第3基板部を有して構成され、その表面に、電気信号の入出力についてインピーダンス整合された、相補的な電気信号を伝送する配線パターンが形成されていることを特徴とする。
【0009】
上記した光モジュールにおいては、半導体光学素子を有する光サブアセンブリに対して、配線基板を一体に設けている。これにより、リードピンが接続されている配線基板上の配線パターンにおいて電気信号の入出力についてのインピーダンス整合を行うことが可能となり、光モジュールでのインピーダンス整合が向上される。また、リードピンが接続される配線基板をあらかじめ一体に設けておくことにより、他の回路基板等への接続が容易化される。
【0010】
さらに、光サブアセンブリと一体に設けられた配線基板を、第1〜第3基板部の3つの基板部から構成している。このような構成により、配線基板におけるインピーダンス整合、配線基板の機械的強度の保持、及び他の回路基板等への接続の容易化を、それぞれ好適に実現することができる。
【0011】
また、光サブアセンブリは、半導体光学素子が搭載される金属製の搭載部材と、一端側からフェルールを収容可能であって他端側に搭載部材が配置される樹脂製のスリーブとを有し、搭載部材及びスリーブは、調芯された状態で接着剤によって固定されていることを特徴とする。これにより、半導体光学素子を含む光モジュールにおける光軸を良好に設定し、かつ、設定された光軸を確実に保持することができる。
【0012】
また、光サブアセンブリは、リードピンとして、第1電気信号用の第1信号ピン、第1電気信号と相補的な第2電気信号用の第2信号ピン、第1電源電圧用の第1電源ピン、第2電源電圧用の第2電源ピン、接地用の第1接地ピン、及び接地用の第2接地ピン、の6本のリードピンを有し、第1信号ピン、第2信号ピン、及び第1接地ピンは、それぞれ配線基板の表面に形成された配線パターンに接続され、第1電源ピン、第2電源ピン、及び第2接地ピンは、それぞれ配線基板の裏面に形成された配線パターンに接続されていることを特徴とする。
【0013】
このように、配線基板の表面側に位置するリードピン及び表面の配線パターンを相補的な電気信号の伝送に用い、裏面側に位置するリードピン及び裏面の配線パターンを電源電圧の供給に用い、かつ、配線基板の表面側及び裏面側の両方に接地ピン及び接地配線パターンを設けることにより、半導体光学素子からの電気信号の入出力特性等を向上することができる。
【0014】
また、光サブアセンブリのリードピンは、配線基板に形成された対応する配線パターンに対して、レーザ溶接によって接続されていることを特徴とする。このように、リードピンと配線パターンとの接続をレーザ溶接によって行うことにより、配線基板の接続によって発生する光サブアセンブリへの余分な影響を抑制することができる。
【0015】
また、光サブアセンブリは、外側に突出するように基板固定部が設けられ、半導体光学素子が搭載される搭載部材と、基板固定部に対してレーザ溶接によって固定されたカシメ部材とを有し、配線基板は、光サブアセンブリに対して、第1基板部の所定部位がカシメ部材でかしめられることによって一体に固定されていることを特徴とする。これにより、光サブアセンブリと配線基板とを確実に一体化することができる。
【0016】
また、光サブアセンブリのリードピンは、半導体光学素子が搭載される搭載部材に対して、電気信号の入出力についてインピーダンス整合されていることを特徴とする。これにより、配線基板上の配線パターンでのインピーダンス整合と合わせて、電気信号の入出力についてのインピーダンス整合をさらに向上させることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面とともに本発明による光モジュールの好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
【0018】
図1は、本発明による光モジュールの一実施形態の外観構成を示す図であり、図1(a)は後述する配線基板を側面からみる側面図、図1(b)は配線基板を表面からみる平面図を示している。本実施形態の光モジュールは、半導体光学素子として半導体受光素子を用い、光信号を受光素子によって電気信号に変換して出力する光受信モジュールである。
【0019】
図1(a)及び(b)に示す光受信モジュールは、受光素子を有する光信号受信用の光サブアセンブリ(ROSA:Receiver Optical Sub−Assembly)である光受信サブアセンブリSAと、光受信サブアセンブリSAに対して一体に設けられた配線基板WBとから構成されている。
【0020】
光受信サブアセンブリSAの外周部分は、図1に示すように、スリーブ20によって構成されている。スリーブ20は、好ましくは樹脂製であり、その一端である光信号入力端20a側から、光信号入力用の光ファイバのフェルールを収容可能となっている。また、スリーブ20の他端である電気信号出力端20b側には、受光素子が搭載される好ましくは金属製の搭載部材30が配置されている。
【0021】
また、光受信サブアセンブリSAは、搭載部材30から配線基板WB側へと突出するように設けられた6本のリードピン40(リードピン40a〜40f)を有している。これらのリードピン40は、受光素子に対する電気信号の入出力、及び電源電圧の供給等に用いられる。
【0022】
光受信サブアセンブリSAの6本のリードピン40に対し、リードピン40が接続される配線パターンが形成された配線基板WBが設けられている。この配線基板WBは、光受信サブアセンブリSA側から順に、第1基板部6a、第2基板部6b、及び第3基板部6cの3つの基板部を有して構成されている。
【0023】
本実施形態における配線基板WBは、FPC基板などを用いたフレキシブル基板61と、ガラスエポキシ基板などを用いたリジッド基板62とからなる。この基板61、62のうち、フレキシブル基板61は、図1(a)に示すように、配線基板WBの表面側に、基板部6a〜6cの全体にわたって配置されている。また、リジッド基板62は、配線基板WBの裏面側に配置されている。
【0024】
基板部6a〜6cのうち、第1基板部6aは、光受信サブアセンブリSA側に位置するフレキシブル基板61の所定部分をリジッド基板62で裏打ちすることによって構成された基板部である。また、第2基板部6bは、フレキシブル基板61のみから構成された基板部である。また、第3基板部6cは、フレキシブル基板61において配線パターンを構成している銅箔が露出されている(いわゆるフライングリード)基板部である。
【0025】
このような構成からなる配線基板WBにおいて、その表面となるフレキシブル基板61の表面(図1(b))には、受光素子からの相補的な電気信号を伝送する配線パターンが形成されている。また、この配線基板WBの表面の配線パターンは、電気信号の入出力についてインピーダンス整合されたパターンで形成されている。
【0026】
なお、図1(b)においては、フレキシブル基板61の表面に形成された配線パターンの図示を省略している。配線基板WBにおける配線パターンの具体的な構成等については後述する。
【0027】
この配線基板WBに対して、光受信サブアセンブリSAの搭載部材30には、基板固定部33が設けられている。また、基板固定部33には、そのスリーブ20から突出した両端部に、それぞれカシメ部材34が取り付けられている。これらのカシメ部材34は、好ましくはレーザ溶接によって、搭載部材30の基板固定部33に対して固定されている。配線基板WBは、図2に示すように、その第1基板部6aの所定部位がカシメ部材34でかしめられることによって、光受信サブアセンブリSAに対して一体に固定されている。
【0028】
光受信サブアセンブリSAの具体的な構成について説明する。
【0029】
図3は、図1に示した光モジュールに用いられる光受信サブアセンブリの構成を一部破断して示す平面断面図である。なお、図3においては、光受信サブアセンブリSAに接続される配線基板WBの図示を省略している。
【0030】
光受信サブアセンブリSAは、半導体光学素子である受光素子10、及び受光素子10を搭載する搭載部材30を含む素子部1と、フェルールを収容するためのスリーブ20を含むガイド部2とを備える。素子部1の金属製の搭載部材30及びガイド部2の樹脂製のスリーブ20は、搭載部材30に搭載される受光素子10の光軸と、スリーブ20に収容されるフェルールの光軸とが一致するように調芯された状態で、接着剤(図示していない)によって固定されている。
【0031】
素子部1は、受光素子10と、搭載部材30と、入力される光信号を受光素子10へと集光するための集光レンズ15と、集光レンズ15を保持するためのレンズ保持部材16と、複数本(本実施形態においては6本)のリードピン40とを有する。
【0032】
レンズ保持部材16は、好ましくはステンレス鋼などの金属材料からなるキャップ状の部材であり、搭載部材30の外縁部に当接して設けられている。レンズ保持部材16には、受光素子10と対向する所定位置に開口が形成されており、この開口に集光レンズ15が接着剤により固定されている。集光レンズ15としては、ガラスレンズ、プラスチックレンズ等を用いることができる。
【0033】
搭載部材30は、受光素子10などの各部品が搭載される搭載面31を有している。また、搭載部材30に対し、その搭載面31とは反対側の面から突出する6本のリードピン40がそれぞれ固定されている。この搭載部材30は、好ましくはコバール、Fe−Ni合金、またはCuW等の金属材料からなり、金メッキが施されている。また、各リードピン40(40a〜40f)は、好ましくはニッケルメッキが施された銅等の金属材料からなる。
【0034】
図4及び図5は、光受信サブアセンブリに用いられる搭載部材の構成を示す図であり、図4(a)は光信号入力側からみる正面図、図4(b)は平面図、図5はI−I矢印断面図を示している。
【0035】
搭載部材30は、受光素子10の光軸となる中心軸C(図4(a)参照)を中心として、円形状の搭載面31を含む搭載部と、搭載部の外縁部に設けられたフランジ部32とを有している。フランジ部32は、搭載部材30とスリーブ20との固定や、搭載部材30とレンズ保持部材16との固定などに用いられる。
【0036】
搭載部及びフランジ部32からなる搭載部材30の形状は、接地電位特性、放熱特性などの点で良好な特性を有する。搭載部材30における搭載部の厚さは、例えば1.2mmである。また、フランジ部32の厚さは、例えば0.2mmである。
【0037】
また、本実施形態の搭載部材30では、中心軸Cを含み搭載面31と略垂直な所定の面が中心面S(図4(a)の一点鎖線)となっている。搭載部材30に対して接続される配線基板WBは、この中心面Sに沿って配置される。フランジ部32には、中心面Sの方向に沿って中心軸Cを挟む位置に、それぞれ外側に突出する略長方形状の基板固定部33が設けられている。基板固定部33は、上述したように、カシメ部材34がレーザ溶接によって固定される部分であり、これらの基板固定部33及びカシメ部材34を介して、配線基板WBと搭載部材30とが一体に固定される。
【0038】
搭載部材30の搭載部には、中心軸Cに沿った方向を長手方向として、円形状の4つの孔部35a〜35dが設けられている。これらの孔部35a〜35dのそれぞれは、スリーブ20側となる搭載面31から配線基板WB側となる面へと貫通するように形成されている。
【0039】
すなわち、図4(a)に示すように、中心面Sからみて配線基板WBの表面側(図中での一点鎖線の上側)には、搭載部の左右にそれぞれ孔部35a、35bが設けられている。これらの孔部35a、35bには、それぞれ対応するリードピン40a、40bが挿通されている。ここで、リードピン40aは、受光素子10からの第1電気信号の出力に用いられる第1信号ピンである。また、リードピン40bは、第1電気信号と相補的な第2電気信号の出力に用いられる第2信号ピンである。
【0040】
また、中心面Sからみて配線基板WBの裏面側(図中での一点鎖線の下側)には、搭載部の左右にそれぞれ孔部35c、35dが設けられている。これらの孔部35c、35dには、それぞれ対応するリードピン40c、40dが挿通されている。ここで、リードピン40cは、第1電源電圧(VDD)の供給に用いられる第1電源ピンである。また、リードピン40dは、第2電源電圧(VPD)の供給に用いられる第2電源ピンである。
【0041】
リードピン40a〜40dは、その一端が搭載面31から所定の長さ突出した状態で、対応する孔部35a〜35dに挿通されている。そして、図5に示すように、孔部35a〜35dのそれぞれをガラス樹脂によって封止したガラス封止部36によって搭載部材30に対して固定されている。これにより、リードピン40a〜40dは、それぞれ搭載部材30に対して電気的に絶縁されている。
【0042】
これらのリードピン40は、例えば直径0.3mmである。また、リードピン40が挿通される孔部35は、例えば直径0.75mmである。また、搭載面31から突出しているリードピン40a〜40dの端部は、ワイヤリングを容易にするため、それぞれネールヘッド状に加工されている。
【0043】
また、中心面Sからみた表面側には、リードピン40a、40bの間の所定位置に、さらにリードピン40eが設けられている。リードピン40eは、接地用の第1接地ピンである。このリードピン40eは、そのネールヘッド状に加工された先端部が搭載面31の反対側に形成された窪み部37eに落とし込まれて、搭載部材30に電気的に導通した状態で溶接加工によって固定されている。
【0044】
また、中心面Sからみた裏面側には、リードピン40c、40dの間の所定位置に、さらにリードピン40fが設けられている。リードピン40fは、接地用の第2接地ピンである。このリードピン40fは、そのネールヘッド状に加工された先端部が搭載面31の反対側に形成された窪み部37fに落とし込まれて、搭載部材30に電気的に導通した状態で溶接加工によって固定されている。
【0045】
ここで、これらのリードピン40a〜40fは、光受信サブアセンブリSAからの電気信号の入出力について、搭載部材30に対してインピーダンス整合されている。このインピーダンス整合は、リードピンの外径、搭載部の孔部の内径、ガラス封止部の形状、及び各部の誘電率などの設定によって行われる。また、リードピン相互の間隔は、図4(a)での横方向の間隔は、例えば1mmである。また、縦方向の間隔は、リードピンによって挟み込む配線基板WBの厚さに依存し、例えば1.7mmである。
【0046】
光受信サブアセンブリSAにおいては、図3に示すように、受光素子10、搭載部材30、及びリードピン40a〜40fを有する素子部1に対し、ガイド部2が設けられている。このガイド部2は、スリーブ20と、割スリーブ21と、固定部材22と、キャピラリ23とを有する。
【0047】
スリーブ20は、筒状に形成された好ましくは樹脂製のスリーブであり、その円筒状の内部に光信号入力端20a側からフェルール(図示していない)を収容可能となっている。また、スリーブ20の電気信号出力端20b側には、受光素子10及び搭載部材30を含む上述した素子部1が配置されている。
【0048】
割スリーブ21は、好ましくはジルコニアなどの金属材料からなり、スリーブ20の内側に、固定部材22を介してスリーブ20に対して固定されて配置されている。この割スリーブ21は、キャピラリ23を位置決めし、また、スリーブ20内に収容されるフェルールを位置決めする。また、キャピラリ23は、好ましくはジルコニアなどの金属材料からなり、光ファイバ(図示していない)を収納している。
【0049】
図6は、光受信サブアセンブリにおける素子部の構成を示す正面図である。ここでは、上述したように、半導体光学素子として半導体受光素子10を用いた場合での素子部1の構成を示している。なお、図6においては、受光素子10に対向する位置に設置される集光レンズ15、及びレンズ保持部材16の図示を省略している。
【0050】
本実施形態の素子部1においては、搭載部材30の搭載面31上には、半導体受光素子10に加えて、ダイキャップコンデンサ41、半導体電子素子51、及びダイキャップコンデンサ48などの光受信サブアセンブリSAの各部品が搭載されている。
【0051】
ダイキャップコンデンサ41は、一方の面側に搭載部材30の搭載面31に接する電極42を有し、他方の面側に並設された少なくとも3つ(本実施形態においては4つ)の電極43〜46を有する。このダイキャップコンデンサ41は、電極43が搭載面31の中央部に位置するように配置され、電極42が搭載部材30と電気的に接続されている。
【0052】
搭載面31の中央部に位置する電極43に対して、その両側に位置する電極44、45は、それぞれ搭載部材30にワイヤボンディングされて電気的に接続されている。これにより、電極44、45は、それぞれ接地電位とされる。また、電極44、45と、搭載部材30とを電気的に接続するワイヤは、それぞれ複数本(図6においては2本)とされている。
【0053】
一方、最外に位置する電極46は、第1電源ピンであるリードピン40cにワイヤボンディングされている。また、電極46と、第1電源ピン40cとを電気的に接続するワイヤは、複数本(図6においては2本)とされている。
【0054】
半導体受光素子10は、例えばフォトダイオードであり、受光部11、第1電極(電源電極)12、第2電極13、及び第3電極(信号出力電極)14を有する。また、受光素子10は、第1電極12と第2電極13との間に直列接続して設置した抵抗素子(図示していない)と、この抵抗素子に並列接続したダイオード(図示していない)とを有する。
【0055】
この受光素子10は、ダイキャップコンデンサ41の電極43上に配置されている。言い換えると、ダイキャップコンデンサ41は、電極43上に配置された受光素子10、及びその受光部11が搭載面31の中央部に位置するように配置されている。
【0056】
第1電極12は、受光素子10に電源電圧を印加するためのものであり、受光素子10における1つの角部に近接して設けられている。この第1電極12は、第2電源ピンであるリードピン40dにワイヤボンディングされている。これにより、受光素子10に対して、第2電源ピン40d及びワイヤを介して電源電圧VPDが供給される。
【0057】
第3電極14は、受光部11に入射した光が変換されて得られた電気信号を出力するためのものであり、第1電極12が近接して設けられた角部に対して隣り合う角部に近接して設けられている。
【0058】
第2電極13は、電極12、14のそれぞれが近接して設けられた角部を結ぶ辺とは反対側の辺に沿って設けられている。この第2電極13は、ダイキャップコンデンサ41の電極43にワイヤボンディングされている。これにより、ダイキャップコンデンサ41の電極42、43によって構成されるコンデンサ部分と抵抗素子とがCRフィルタを構成することとなり、受光素子10の安定した動作が実現可能となる。
【0059】
半導体電子素子51は、例えば前置増幅器としてのプリアンプICであり、受光素子10から出力された電気信号に対して、増幅、電流−電圧変換などの必要な電気処理を行う。電子素子51は、第1電極(電源電極)52、第2電極53(信号入力電極)、第3電極(第1信号出力電極)54、第4電極(第2信号出力電極)55、第5電極56、及び接地電極57、58を有する。
【0060】
電子素子51は、その第2電極53が受光素子10の第3電極14と対向するように、ダイキャップコンデンサ41に隣接して、搭載面31上に配置されている。図6においては、この電子素子51は、第1信号ピン40a及び第2信号ピン40bの間に配置されている。
【0061】
第1電極52は、電子素子51に電源電圧を印加するためのものである。この第1電極52は、ダイキャップコンデンサ41の電極のうちで最外に位置する電極46にワイヤボンディングされている。これにより、電子素子51に対して、第1電源ピン40c、ダイキャップコンデンサ41の電極46、及びワイヤを介して電源電圧VDDが供給される。また、第1電極52と、電極46とを電気的に接続するワイヤは、複数本(図6においては3本)とされている。
【0062】
第2電極53は、受光素子10から出力された電気信号を入力するためのものである。この第2電極53は、受光素子10の第3電極14にワイヤボンディングされている。これにより、電子素子51に対して、ワイヤを介して受光素子10からの電気信号が入力される。
【0063】
第3電極54は、受光素子10から出力された電気信号を電気処理した電気信号(第1電気信号)を出力するためのものである。この第3電極54は、第1信号ピンであるリードピン40aにワイヤボンディングされている。これにより、電子素子51において処理された第1電気信号は、ワイヤ及び第1信号ピン40aを介して出力される。
【0064】
第4電極55は、第3電極54から出力される電気信号とは位相が180°異なる相補的な電気信号(第2電気信号)を出力するためのものである。この第4電極55は、第2信号ピンであるリードピン40bにワイヤボンディングされている。これにより、電子素子51において処理された相補的な第2電気信号は、ワイヤ及び第2信号ピン40bを介して出力される。
【0065】
また、これらの第3電極54及び第4電極55は、第2電極53が近接して配置される1辺に直交しかつ互いに対向する2辺、すなわち、リードピン40a、40bに近接する2辺にそれぞれ近接して配置されている。
【0066】
第5電極56は、ダイキャップコンデンサ48の電極にワイヤボンディングされている。ダイキャップコンデンサ48は、電子素子51の内部回路で用いる平滑化コンデンサとして機能し、高域遮断フィルタのカットオフ周波数を決定するためのものである。
【0067】
接地電極57は、第2電極53の両側に設けられ、ダイキャップコンデンサ41の電極44、45にそれぞれワイヤボンディングされて電気的に接続されている。これにより、接地電極57は、電極44、45及びワイヤを介して搭載部材30に電気的に接続された状態となり、接地電位とされる。
【0068】
接地電極58は、搭載面31にそれぞれワイヤボンディングされて電気的に接続されており、接地電位とされる。
【0069】
次に、配線基板WBの具体的な構成について説明する。
【0070】
配線基板WBは、フレキシブル基板61及びリジッド基板62からなり(図1(a)及び(b)参照)、上述したように3つの基板部6a〜6cを有して構成されている。第1基板部6aでは、フレキシブル基板61(例えばFPC基板)がリジッド基板62(例えばガラスエポキシ基板)によって裏打ちされ、その機械的強度が増強されている。フレキシブル基板61の厚さは、例えば0.1mmである。また、フレキシブル基板61とリジッド基板62とを合わせた配線基板WBの厚さは、リードピンの縦方向の間隔に対応し、例えば1.7mmである。また、第1基板部6aの長さは、例えば5.5mmである。
【0071】
第2基板部6bは、通常のフレキシブル基板61のみからなる。また、フレキシブル基板61の光受信サブアセンブリSAとは反対側の端部は、銅箔が露出された第3基板部6cとなっており、他の回路基板等への接続などに用いられる。第2基板部6bの長さは、例えば4.5mmである。また、第3基板部6cの長さは、例えば1mmである。
【0072】
光受信サブアセンブリSAにおいては、上述したように、配線基板WBの表面側となる位置に、第1信号ピン40a、第2信号ピン40b、及び第1接地ピン40eの3本のリードピンが設けられている。また、配線基板WBの裏面側となる位置に、第1電源ピン40c、第2電源ピン40d、及び第2接地ピン40fの3本のリードピンが設けられている。
【0073】
配線基板WBは、これら3本ずつのリードピンによって挟み込まれた状態で、基板固定部33及びカシメ部材34を介して搭載部材30を含む光受信サブアセンブリSAに固定される。そして、リードピン40a〜40fのそれぞれは、配線基板WBに形成された対応する配線パターンに対して、好ましくはレーザ溶接によって接続される。
【0074】
第1信号ピン40a、第2信号ピン40b、及び第1接地ピン40eは、配線基板WBの表面、すなわち、フレキシブル基板61の表面に形成された配線パターンに、それぞれ電気的に接続される。これに対応して、フレキシブル基板61の表面には、第1信号ピン40aに接続されて受光素子10からの第1電気信号の伝送に用いられる第1信号配線パターン、第2信号ピン40bに接続されて相補的な第2電気信号の伝送に用いられる第2信号配線パターン、及び第1接地ピン40eに接続される接地配線パターンが設けられている。
【0075】
第1電源ピン40c、第2電源ピン40d、及び第2接地ピン40fは、配線基板WBの裏面、すなわち、リジッド基板62の裏面に形成された配線パターンに、それぞれ電気的に接続される。これに対応して、リジッド基板62の裏面には、第1電源ピン40cに接続されて電子素子51への電源電圧VDDの供給に用いられる第1電源配線パターン、第2電源ピン40dに接続されて受光素子10への電源電圧VPDの供給に用いられる第2電源配線パターン、及び第2接地ピン40fに接続される接地配線パターンが設けられている。
【0076】
ここで、配線基板WBのフレキシブル基板61の表面に形成されている第1信号配線パターン、第2信号配線パターン、及び接地配線パターンを含む配線パターンは、光受信サブアセンブリSAからの電気信号の入出力についてインピーダンス整合されている。このインピーダンス整合は、各信号配線パターンの幅、信号配線パターンと接地配線パターンとの間隔、及びフレキシブル基板61の厚さなどの設定によって行われる。
【0077】
上述した実施形態の光モジュールにおいては、半導体受光素子10を有する光受信サブアセンブリSAに対して、配線基板WBを一体に設けている。これにより、光受信サブアセンブリSAのリードピン40a〜40fが接続されている配線基板WB上の配線パターンにおいて電気信号の入出力についてのインピーダンス整合を行うことが可能となる。したがって、リードピンが剥き出しとなっている場合等に比べ、光モジュールでのインピーダンス整合が向上される。また、このとき、例えば10GHz程度の高周波での特性を測定するような場合にも、その誤差や不安定性が低減される。
【0078】
さらに、上記実施形態では、リードピン40a〜40fは、その付根の部分において、搭載部材30に対してインピーダンス整合されている。これにより、配線基板WB上の配線パターンでのインピーダンス整合と合わせて、全体でのインピーダンス整合をさらに向上させることができる。
【0079】
また、フレキシブル基板61からなり、その配線パターンがインピーダンス整合される配線基板WBにおいて、フレキシブル基板61をリジッド基板62で裏打ちした第1基板部6aを設けている。これにより、配線基板WBにおけるインピーダンス整合と、配線基板WBの機械的強度の保持とを好適に両立することができる。
【0080】
また、リードピン40a〜40fが接続される配線基板WBをあらかじめ一体に設けておく構成では、他の回路基板等への接続を容易化することができる。特に、上記した光モジュールでは、配線基板WBにおいて、フレキシブル基板61の銅箔が露出されている第3基板部6cを設けている。このような基板部6cを用いることにより、回路基板等への接続を容易に行える。
【0081】
ここで、例えば、図10に示した光モジュール101では、搭載部材103の略中央の位置に接地ピン108が設けられている。このような構成では、すべてのリードピンを回路基板等に接続するには、接地ピンまたは他のリードピンを折り曲げることが必要となる。これに対して、図1に示した構成の光モジュールによれば、リードピン40を折り曲げるなどの加工を行う必要がない。
【0082】
また、配線基板WBにフレキシブル基板61を用いることにより、他の回路基板等への接続を行った場合に、接続によって配線基板WBに対して発生する応力を逃がすことができる。
【0083】
上記実施形態では、光受信サブアセンブリSAにおいて、配線基板WBに対して表面側に、2本の信号ピン40a、40b及び1本の接地ピン40eを設けている。また、裏面側に、2本の電源ピン40c、40d及び1本の接地ピン40fを設けている。これにより、配線基板WBの表面側及び裏面側のリードピン及び配線パターンについて、それぞれGSG(Ground−Signal−Ground)構造をとることができる。したがって、受光素子10からの電気信号の入出力特性等を向上することが可能となる。
【0084】
また、例えば、接地ピンが配線基板の裏面側にのみ設けられている構成では、表面側の信号配線パターンでGSG構造を実現するためには、配線基板に形成されたスルーホールによって、表面の配線パターンを裏面の接地配線パターンに接続する。このような構成では、スルーホールを介することにより、接地電位自体が弱くなる場合がある。
【0085】
これに対して、上記のように配線基板WBの両側に接地ピン40e、40f、及びそれに対応する接地配線パターンを設けることにより、接地電位を好適に保持することができる。ただし、このような接地ピン等の構成については、具体的な配線基板の構成等に応じて、配線基板の一方側にのみ接地ピンを設ける構成を用いても良い。
【0086】
また、上記実施形態では、金属製の搭載部材30と、樹脂製のスリーブ20とが、調芯された状態で接着剤によって固定されている。これにより、受光素子10を含む光モジュールにおける光軸を良好に設定し、かつ、設定された光軸を確実に保持することができる。また、樹脂製のスリーブ20を接着剤で固定する構成は、金属製のスリーブを溶接固定する構成に比べて低コストである。ただし、このスリーブ20については、金属製のものを用いても良い。
【0087】
さらに、光受信サブアセンブリSAのリードピン40a〜40fと、配線基板WB上の配線パターンとの接続を、レーザ溶接によって行っている。また、搭載部材30の基板固定部33と、カシメ部材34との接続についても、同様にレーザ溶接によって行っている。このように、各部の半田等による電気的接続をレーザ溶接で行うことにより、搭載部材30とスリーブ20とが一体に固定された光受信サブアセンブリSAにおける余分な影響の発生、例えば搭載部材30とスリーブ20との間での光軸のずれの発生などを抑制することができる。
【0088】
また、光受信サブアセンブリSAの搭載部材30と、配線基板WBとを、配線基板WBの第1基板部6aの所定部位をカシメ部材34でかしめることによって一体に固定している。これにより、光受信サブアセンブリSA及び配線基板WBを確実に一体化することができる。
【0089】
次に、配線基板WBに形成される配線パターンの具体的な構成例について説明する。
【0090】
図7は、配線基板WBにおけるフレキシブル基板61の表面に形成された配線パターンを示す図である。フレキシブル基板61の表面には、その中央部に、第1接地ピン40eが接続される接地(GND)配線パターン70が形成されている。また、接地配線パターン70の外側には、それぞれ、第1信号ピン40aが接続される第1信号(SIG)配線パターン71と、第2信号ピン40bが接続される第2信号(/SIG)配線パターン72とが形成されている。
【0091】
第1信号配線パターン71及び第2信号配線パターン72は、例えば2.54mmの間隔をおいて形成され、その間に、接地配線パターン70が形成されている。また、これらの配線パターン70〜72は、上述したようにインピーダンス整合されたパターンによって形成される。
【0092】
さらに、配線パターン71、72の外側には、それぞれ、接地(GND)配線パターン73と、接地(GND)配線パターン74とが形成されている。これらの接地配線パターン73、74は、金属製のカシメ部材34を介して搭載部材30と電気的に接続されている。
【0093】
これらの配線パターン70〜74は、リードピン40e、40a、40b、及びカシメ部材34に接続される光受信サブアセンブリSA側の辺から反対側の辺へと伸びるパターンで形成されている。また、接地配線パターン70、73、及び74には、それぞれ多数のスルーホール(ヴィアホール)70a、73a、及び74aが設けられている。
【0094】
また、第1基板部6aのうち、リードピン40e、40a、40b、及びカシメ部材34に接続される所定部分では、それぞれの配線パターンの銅箔が露出されている。また、第3基板部6cに含まれる部分でも、それぞれの配線パターンの銅箔が露出されている。
【0095】
また、配線パターン73、74の外側には、それぞれ、第1電源(VDD)配線パターン75と、第2電源(VPD)配線パターン76とが形成されている。これらの配線パターン75、76は、光受信サブアセンブリSAと反対側の辺を含むパターンで形成されている。また、電源配線パターン75、及び76には、それぞれスルーホール75a、及び76aが設けられている。また、第3基板部6cに含まれる部分では、それぞれの配線パターンの銅箔が露出されている。
【0096】
図8は、配線基板WBにおけるフレキシブル基板61の裏面に形成された配線パターンを示す図である。フレキシブル基板61の裏面には、その大部分に、接地(GND)配線パターン80が形成されている。裏面の接地配線パターン80は、スルーホール70a、73a、及び74aを介して、表面の接地配線パターン70、73、及び74と電気的に接続されている。
【0097】
なお、接地配線パターン70、73、及び74の接地配線パターン80への接続においては、それぞれ多数のスルーホール70a、73a、及び74aを設けることにより、寄生インピーダンスの増大を抑制している。
【0098】
また、配線パターン80の外側には、それぞれ、第1電源(VDD)配線パターン85と、第2電源(VPD)配線パターン86とが形成されている。これらの配線パターン85、86は、光受信サブアセンブリSAと反対側の辺を含むパターンで形成されている。裏面の第1電源配線パターン85は、スルーホール75aを介して、表面の第1電源配線パターン75と電気的に接続されている。同様に、裏面の第2電源配線パターン86は、スルーホール76aを介して、表面の第2電源配線パターン76と電気的に接続されている。
【0099】
図9は、配線基板WBにおけるリジッド基板62の裏面に形成された配線パターンを示す図である。リジッド基板62の裏面には、その中央部に、第2接地ピン40fが接続される接地(GND)配線パターン90が形成されている。また、接地配線パターン90の外側には、それぞれ、第1電源ピン40cが接続される第1電源(VDD)配線パターン95と、第2電源ピン40dが接続される第2電源(VPD)配線パターン96とが形成されている。
【0100】
接地配線パターン90と、第1電源配線パターン95または第2電源配線パターン96との間隔は、例えば1.27mmである。また、第1電源配線パターン95及び第2電源配線パターン96については、インピーダンス整合を考慮する必要がなく、広いパターンとすることが好ましい。
【0101】
さらに、配線パターン95、96の外側には、それぞれ、接地(GND)配線パターン93と、接地(GND)配線パターン94とが形成されている。これらの接地配線パターン93、94は、金属製のカシメ部材34を介して搭載部材30と電気的に接続されている。
【0102】
配線パターン90、95、及び96は、リードピン40f、40c、及び40dに接続される光受信サブアセンブリSA側の辺から反対側の辺へと伸びるパターンで形成されている。また、配線パターン93、94は、カシメ部材34に接続される光受信サブアセンブリSA側の辺を含むパターンで形成されている。
【0103】
接地配線パターン90、93、及び94には、それぞれ多数のスルーホール90a、93a、及び94aが設けられている。リジッド基板62の裏面の接地配線パターン90、93、及び94は、スルーホール90a、93a、及び94aを介して、フレキシブル基板61の裏面の接地配線パターン80と電気的に接続されている。
【0104】
第1電源配線パターン95には、スルーホール95aが設けられている。リジッド基板62の裏面の第1電源配線パターン95は、スルーホール95aを介して、フレキシブル基板61の裏面の第1電源配線パターン85と電気的に接続されている。同様に、第2電源配線パターン96には、スルーホール96aが設けられている。リジッド基板62の裏面の第2電源配線パターン96は、スルーホール96aを介して、フレキシブル基板61の裏面の第2電源配線パターン86と電気的に接続されている。
【0105】
なお、接地配線パターン90と第1電源配線パターン95との間、及び接地配線パターン90と第2電源配線パターン96との間には、チップコンデンサを設置しておくことが好ましい。光受信サブアセンブリSAの内部にも、図6に示したように、VDD、VPD−GND間にダイキャップコンデンサを設けているが、ダイキャップコンデンサの容量は数十pF程度までである。これに対して、リジッド基板62の裏面で光受信サブアセンブリSAに近い位置に、容量数千pF〜数万pF程度のチップコンデンサを設けることにより、電源からのノイズの回り込みを効果的に防止することができる。
【0106】
また、上記した構成では、接地ピン40e、及び40fに加えて、配線基板WBを搭載部材30に固定するためのカシメ部材34をもGND接続経路として用いている。このように、GND接続経路を太くすることにより、GNDの寄生インピーダンスの増大が抑制される。
【0107】
本発明による光モジュールは、上記した実施形態に限られるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、上記実施形態では、光モジュールとして、半導体光学素子として半導体受光素子を用い、受光素子を有する光受信サブアセンブリ(ROSA)と、配線基板とからなる光受信モジュールについて説明したが、本発明による光モジュールは、半導体光学素子として半導体発光素子を用い、発光素子を有する光送信サブアセンブリ(TOSA:Transmitter Optical Sub−Assembly)と、配線基板とからなる光送信モジュールに対しても同様に適用可能である。
【0108】
ただし、光送信モジュールでは、光送信サブアセンブリに設けられるリードピンは、信号(SIG)ピン、電源(VDD)ピン、及び接地(GND)ピンの3本で良い。この場合、配線基板の表面側に配置される3本のリードピンをそれぞれ信号ピン、接地ピン、電源ピンとすることで、上述した光受信モジュールと同様の効果が得られる。また、このとき、配線基板の裏面側の中央部に接地ピンを設けることが、耐雑音特性などの点で好ましい。
【0109】
【発明の効果】
本発明による光モジュールは、以上詳細に説明したように、次のような効果を得る。すなわち、半導体光学素子を有する光サブアセンブリに対して配線基板を一体に設け、リードピンが接続される配線基板上の配線パターンにおいてインピーダンス整合を行う構成の光モジュールによれば、光モジュールでの電気信号の入出力についてのインピーダンス整合が向上される。また、リードピンが接続される配線基板をあらかじめ一体に設けておくことにより、他の回路基板等への接続が容易化される。
【0110】
また、配線基板を、フレキシブル基板がリジッド基板によって裏打ちされた第1基板部、フレキシブル基板からなる第2基板部、及びフレキシブル基板の銅箔が露出されている第3基板部から構成することにより、配線基板におけるインピーダンス整合、配線基板の機械的強度の保持、及び他の回路基板等への接続の容易化を、それぞれ好適に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】光モジュールの一実施形態の外観構成を示す(a)側面図、及び(b)平面図である。
【図2】光モジュールにおける光受信サブアセンブリと配線基板との固定について示す斜視図である。
【図3】光受信サブアセンブリの構成を一部破断して示す平面断面図である。
【図4】搭載部材の構成を示す(a)正面図、及び(b)平面図である。
【図5】搭載部材の断面構成を示すI−I矢印断面図である。
【図6】光受信サブアセンブリにおける素子部の構成を示す正面図である。
【図7】配線基板におけるフレキシブル基板の表面に形成された配線パターンを示す図である。
【図8】配線基板におけるフレキシブル基板の裏面に形成された配線パターンを示す図である。
【図9】配線基板におけるリジッド基板の裏面に形成された配線パターンを示す図である。
【図10】光モジュールの構成例について示す(a)正面図、及び(b)側面断面図である。
【符号の説明】
SA…光受信サブアセンブリ(光サブアセンブリ)、1…素子部、2…ガイド部、10…受光素子(半導体光学素子)、15…集光レンズ、16…レンズ保持部材、20…スリーブ、20a…光信号入力端、20b…電気信号出力端、21…割スリーブ、22…固定部材、23…キャピラリ、30…搭載部材、31…搭載面、32…フランジ部、33…基板固定部、34…カシメ部材、35a〜35d…孔部、36…ガラス封止部、37e、37f…窪み部、40…リードピン、40a…第1信号ピン、40b…第2信号ピン、40c…第1電源ピン、40d…第2電源ピン、40e…第1接地ピン、40f…第2接地ピン、41、48…ダイキャップコンデンサ、51…半導体電子素子、
WB…配線基板、6a…第1基板部、6b…第2基板部、6c…第3基板部、61…フレキシブル基板(FPC基板)、62…リジッド基板(ガラスエポキシ基板)、70〜76…配線パターン、70a、73a〜76a…スルーホール、80、85、86…配線パターン、90、93〜96…配線パターン、90a、93a〜96a…スルーホール。

Claims (6)

  1. 半導体光学素子、及び前記半導体光学素子に対して電気信号を入出力するためのリードピンを有する光サブアセンブリと、
    フレキシブル基板を有し、前記リードピンが接続される配線パターンが形成されるとともに前記光サブアセンブリと一体に設けられた配線基板とを備え、
    前記配線基板は、前記光サブアセンブリ側から順に、前記フレキシブル基板がリジッド基板によって裏打ちされた第1基板部、前記フレキシブル基板からなる第2基板部、及び前記フレキシブル基板の銅箔が露出されている第3基板部を有して構成され、その表面に、前記電気信号の入出力についてインピーダンス整合された、相補的な電気信号を伝送する配線パターンが形成されていることを特徴とする光モジュール。
  2. 前記光サブアセンブリは、前記半導体光学素子が搭載される金属製の搭載部材と、一端側からフェルールを収容可能であって他端側に前記搭載部材が配置される樹脂製のスリーブとを有し、前記搭載部材及び前記スリーブは、調芯された状態で接着剤によって固定されていることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
  3. 前記光サブアセンブリは、前記リードピンとして、第1電気信号用の第1信号ピン、前記第1電気信号と相補的な第2電気信号用の第2信号ピン、第1電源電圧用の第1電源ピン、第2電源電圧用の第2電源ピン、接地用の第1接地ピン、及び接地用の第2接地ピン、の6本のリードピンを有し、
    前記第1信号ピン、前記第2信号ピン、及び前記第1接地ピンは、前記配線基板の表面に形成された配線パターンに接続され、前記第1電源ピン、前記第2電源ピン、及び前記第2接地ピンは、前記配線基板の裏面に形成された配線パターンに接続されていることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
  4. 前記光サブアセンブリの前記リードピンは、前記配線基板に形成された対応する配線パターンに対して、レーザ溶接によって接続されていることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
  5. 前記光サブアセンブリは、外側に突出するように基板固定部が設けられ、前記半導体光学素子が搭載される搭載部材と、前記基板固定部に対してレーザ溶接によって固定されたカシメ部材とを有し、前記配線基板は、前記光サブアセンブリに対して、前記第1基板部の所定部位が前記カシメ部材でかしめられることによって一体に固定されていることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
  6. 前記光サブアセンブリの前記リードピンは、前記半導体光学素子が搭載される搭載部材に対して、前記電気信号の入出力についてインピーダンス整合されていることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005286305A (ja) * 2004-03-02 2005-10-13 Mitsubishi Electric Corp 光半導体装置
JP2006100511A (ja) * 2004-09-29 2006-04-13 Hitachi Cable Ltd 電子部品の実装構造及びそれを用いた光トランシーバ
JP2007294660A (ja) * 2006-04-25 2007-11-08 Opnext Japan Inc 受光素子モジュール
JP2009054654A (ja) * 2007-08-23 2009-03-12 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 光モジュール
JP2009302438A (ja) * 2008-06-17 2009-12-24 Opnext Japan Inc 光半導体装置
JP2011238857A (ja) * 2010-05-12 2011-11-24 Sumitomo Electric Ind Ltd 光半導体装置及びフレキシブル基板
JP2018186130A (ja) * 2017-04-24 2018-11-22 日本オクラロ株式会社 光アセンブリ、光モジュール、及び光伝送装置
JP2020021912A (ja) * 2018-08-03 2020-02-06 日本ルメンタム株式会社 光サブアッセンブリ及び光モジュール
JP2020021911A (ja) * 2018-08-03 2020-02-06 日本ルメンタム株式会社 光サブアッセンブリ及び光モジュール
KR20220027188A (ko) 2019-09-30 2022-03-07 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 검사 지그

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005286305A (ja) * 2004-03-02 2005-10-13 Mitsubishi Electric Corp 光半導体装置
JP4492280B2 (ja) * 2004-09-29 2010-06-30 日立電線株式会社 電子部品の実装構造及びそれを用いた光トランシーバ
US7348497B2 (en) 2004-09-29 2008-03-25 Hitachi Cable, Ltd. Mounting structure for electronic components
JP2006100511A (ja) * 2004-09-29 2006-04-13 Hitachi Cable Ltd 電子部品の実装構造及びそれを用いた光トランシーバ
JP2007294660A (ja) * 2006-04-25 2007-11-08 Opnext Japan Inc 受光素子モジュール
JP2009054654A (ja) * 2007-08-23 2009-03-12 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 光モジュール
JP2009302438A (ja) * 2008-06-17 2009-12-24 Opnext Japan Inc 光半導体装置
JP2011238857A (ja) * 2010-05-12 2011-11-24 Sumitomo Electric Ind Ltd 光半導体装置及びフレキシブル基板
JP2018186130A (ja) * 2017-04-24 2018-11-22 日本オクラロ株式会社 光アセンブリ、光モジュール、及び光伝送装置
JP2020021912A (ja) * 2018-08-03 2020-02-06 日本ルメンタム株式会社 光サブアッセンブリ及び光モジュール
JP2020021911A (ja) * 2018-08-03 2020-02-06 日本ルメンタム株式会社 光サブアッセンブリ及び光モジュール
JP7245620B2 (ja) 2018-08-03 2023-03-24 日本ルメンタム株式会社 光サブアッセンブリ及び光モジュール
JP7249745B2 (ja) 2018-08-03 2023-03-31 日本ルメンタム株式会社 光サブアッセンブリ及び光モジュール
KR20220027188A (ko) 2019-09-30 2022-03-07 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 검사 지그
US11971320B2 (en) 2019-09-30 2024-04-30 Mitsubishi Electric Corporation Inspection jig

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