KR20220027188A - 검사 지그 - Google Patents
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Abstract
플렉시블 기재(18)에 외부 접속 단자(19)가 형성된 플렉시블 기판(17)을 구비한 피검사 장치의 검사에 이용하는 검사 지그(10)이다. 검사 지그(10)는 검사 장치(11)와 흡착 부품(15)으로 이루어진다. 검사 장치(11)에는 검사 단자(13)가 형성되며, 검사 단자(13)에는 진공 흡착 구멍(14)이 형성되어 있다. 흡착 부품(15)은 흡착면(16)을 갖는다. 외부 접속 단자(19)에는 제 1 스루홀(20)이 형성되어 있다. 검사시에, 제 1 스루홀(20)과 진공 흡착 구멍(14)이 중첩되며, 흡착면(16)이 제 1 스루홀(20)을 덮도록 플렉시블 기재(18)의 표면에 흡착 부품(15)이 배치되며, 제 1 스루홀(20) 및 진공 흡착 구멍(14) 내를 진공으로 하는 것에 의해, 흡착면(16)이 플렉시블 기재(18)에 흡착되고, 외부 접속 단자(19)가 검사 단자(13)에 흡착된다.
Description
본 발명은 외부 접속용의 플렉시블 기판을 구비한 피검사 장치의 검사에 이용하는 검사 지그에 관한 것이다.
외부 접속용의 플렉시블 기판을 구비한 피검사 장치의 예로서, 광섬유망을 이용한 통신 용도의 광 모듈을 들 수 있다. 이와 같은 광 모듈이 구비하는 플렉시블 기판은, 일반적으로 미세한 도체 패턴을 갖는 단자를 갖는다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
상기의 피검사 장치를 검사할 때, 검사 장치와 가압 부품으로 이루어지는 검사 지그가 이용되어 왔다. 피검사 장치의 검사시는, 플렉시블 기판의 단자와 검사 장치의 단자의 위치맞춤을 하고, 가압 부품으로 플렉시블 기판을 검사 장치를 향하여 가압하는 것에 의해, 단자끼리를 밀착시켜, 단자간의 전기적 접속을 얻는다.
상술한 검사 지그를 이용한 경우, 플렉시블 기판의 단자와 검사 장치의 단자의 위치맞춤이 실패하는 일이 있다. 또한, 가압 부품을 가압할 때에, 단자끼리가 어긋나는 것에 의해, 위치맞춤이 실패할 가능성도 있다.
위치맞춤이 실패하면, 단자끼리의 전기적 접속이 없어지거나 불충분하게 되기 때문에, 위치맞춤의 성공 여부가 판정 가능한 것이 요구된다. 단자끼리의 전기적 접속에 문제가 있는 상태에서 피검사 장치의 전기 특성을 측정하면, 측정 결과는 잘못되게 된다. 위치맞춤의 실패를 알아차리지 않으면, 이 잘못된 측정 결과에 의해, 양품을 불량품으로 판단하는 등의 문제가 일어난다. 만약, 전기 특성의 측정 전에 위치맞춤의 실패를 판정할 수 있으면, 그와 같은 문제를 회피할 수 있기 때문에, 위치맞춤의 성공 여부가 판정 가능한 것이 요구된다.
그러나 종래, 위치맞춤이 성공했는지의 여부를 판정하는 것은 곤란했다. 이 판정을 위해, 육안 혹은 카메라로 확인하려고 하여도 가압 부품이 방해가 되어, 단자끼리의 중첩된 상태를 보거나, 촬영할 수 없기 때문이다.
본 발명은 상기의 문제를 해소하기 위해 이루어진 것으로서, 그 목적은, 외부 접속용의 플렉시블 기판을 구비한 피검사 장치를 검사할 때, 플렉시블 기판과 검사 장치의 단자끼리의 위치맞춤이 성공했는지의 여부를 용이하게 판정 가능한 검사 지그를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 검사 지그는, 플렉시블 기재와, 플렉시블 기재의 이면에 형성된 외부 접속 단자를 갖는 플렉시블 기판을 구비한 피검사 장치의 검사에 이용하는 검사 지그에 있어서, 검사 베이스와, 검사 베이스에 형성된 검사 단자를 갖는 검사 장치와, 흡착면을 갖는 흡착 부품을 구비하고, 외부 접속 단자에는, 플렉시블 기재를 포함하여 관통하는 제 1 스루홀이 형성되며, 검사 단자에는, 검사시에 배치하는 플렉시블 기판의 제 1 스루홀에 대응하는 위치에 진공 흡착 구멍이 형성되고, 검사시에, 외부 접속 단자와 검사 단자가 서로 마주보며, 또한 제 1 스루홀과 진공 흡착 구멍이 중첩되도록 피검사 장치가 배치되며, 흡착면이 제 1 스루홀을 덮도록 플렉시블 기재의 표면에 흡착 부품이 배치되고, 제 1 스루홀 및 진공 흡착 구멍 내를 진공으로 하는 것에 의해, 흡착면이 플렉시블 기재에 흡착되며, 또한 외부 접속 단자가 검사 단자에 흡착된다.
본 발명에 따른 검사 지그에 의하면, 외부 접속용의 플렉시블 기판을 구비한 피검사 장치를 검사할 때, 플렉시블 기판의 단자에 형성된 스루홀과 검사 장치의 단자에 형성된 진공 흡착 구멍을 통하여 흡착 부품을 진공 흡착하기 때문에, 흡착 부품에 힘을 가하여, 흡착 부품이 움직이는지의 여부를 조사하는 것만으로도, 플렉시블 기판과 검사 장치의 단자끼리의 위치맞춤이 성공했는지의 여부를 용이하게 판정할 수 있다.
도 1은 실시형태 1에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 사시도이다.
도 2는 실시형태 1에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 상면도 및 단면도이다.
도 3은 실시형태 1에 따른 검사 지그를 이용한 검사 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 실시형태 2에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 사시도이다.
도 5는 실시형태 2에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 상면도 및 단면도이다.
도 6은 실시형태 2에 따른 검사 지그를 이용한 검사 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 실시형태 2에 따른 검사 지그의 변형예 및 플렉시블 기판을 도시하는 사시도이다.
도 8은 실시형태 3에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 사시도이다.
도 9는 실시형태 3에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 상면도 및 단면도이다.
도 10은 실시형태 3에 따른 검사 지그를 이용한 검사 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 11은 실시형태 4에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 상면도 및 단면도이다.
도 12는 실시형태 4에 따른 흡착 지그를 도시하는 사시도이다.
도 13은 실시형태 4에 따른 검사 지그를 이용한 검사 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 14는 실시형태 4에 따른 검사 지그의 변형예 및 플렉시블 기판을 도시하는 상면도 및 단면도이다.
도 2는 실시형태 1에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 상면도 및 단면도이다.
도 3은 실시형태 1에 따른 검사 지그를 이용한 검사 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 실시형태 2에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 사시도이다.
도 5는 실시형태 2에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 상면도 및 단면도이다.
도 6은 실시형태 2에 따른 검사 지그를 이용한 검사 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 실시형태 2에 따른 검사 지그의 변형예 및 플렉시블 기판을 도시하는 사시도이다.
도 8은 실시형태 3에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 사시도이다.
도 9는 실시형태 3에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 상면도 및 단면도이다.
도 10은 실시형태 3에 따른 검사 지그를 이용한 검사 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 11은 실시형태 4에 따른 검사 지그 및 플렉시블 기판을 도시하는 상면도 및 단면도이다.
도 12는 실시형태 4에 따른 흡착 지그를 도시하는 사시도이다.
도 13은 실시형태 4에 따른 검사 지그를 이용한 검사 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 14는 실시형태 4에 따른 검사 지그의 변형예 및 플렉시블 기판을 도시하는 상면도 및 단면도이다.
실시형태 1
(구성)
본 발명의 실시형태 1에 따른 검사 지그의 구성을 설명한다. 검사 지그는 피검사 장치를 검사하기 위해서 이용하는 것이며, 여기에서는 피검사 장치는 외부 접속용의 플렉시블 기판을 구비한 광 모듈이다. 도 1은 실시형태 1에 따른 검사 지그(10) 및 플렉시블 기판(17)의 도면이다. 도 2의 (a)는 도 1을 위로부터 본 도면이며, 도 2의 (b)는 도 2의 (a)의 A-A에서의 단면도이다. 도 2의 (a)에서는 설명을 위해 각 부재를 투명으로 도시했다.
검사 지그(10)는 검사 장치(11) 및 흡착 부품(15)을 구비하고 있다. 검사 장치(11)는 검사 베이스(12)를 구비한다. 검사 베이스(12)에는 표면에 검사 단자(13)가 형성되어 있다. 검사 단자(13)를 위로부터 본 형상은 플렉시블 기판(17)의 외부 접속 단자(19)와 동일하다. 검사 단자(13)는 배선(도시하지 않음)을 통하여 측정 장치(도시하지 않음)와 전기적으로 연결된다.
검사 단자(13)에는 진공 흡착 구멍(14)이 형성되어 있다. 진공 흡착 구멍(14)은 플렉시블 기판(17)의 제 1 스루홀(20)에 대응하는 위치에 형성되어 있으며, 검사시에 플렉시블 기판(17)이 배치되면, 진공 흡착 구멍(14)과 제 1 스루홀(20)이 중첩된다. 진공 흡착 구멍(14)은 검사 단자(13)측의 단부가 개방되고, 타단측이 진공 흡인 장치(도시하지 않음)에 연결되어 있다. 또한, 검사 단자(13)는 두께가 있지만, 도 1에서는 두께의 도시는 생략했다. 또한, 도 2의 (a)에 있어서, 검사 단자(13) 및 진공 흡착 구멍(14)은 각각 플렉시블 기판(17)의 외부 접속 단자(19) 및 제 1 스루홀(20)과 중첩되기 때문에, 부호의 도시는 생략했다.
흡착 부품(15)은 플렉시블 기재(18)에 흡착하는 흡착면(16)을 갖는다. 흡착면(16)은, 플렉시블 기재(18)에 변형 등의 데미지를 주지 않도록 탄성체와 같이 부드러운 소재로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 흡착면(16)의 형상은 진공 흡착 구멍(14)에 대응하는 전체 제 1 스루홀(20)을 덮는 것이면 좋다.
플렉시블 기판(17)은 플렉시블 기재(18)를 갖는다. 플렉시블 기판(17)은 일단이 광 모듈 본체(도시하지 않음)와 접속되어 있다. 타단에는 플렉시블 기재(18)의 이면에 외부와 접속하기 위한 외부 접속 단자(19)가 형성되어 있다. 외부 접속 단자(19)는 배선(도시하지 않음)을 통하여 광 모듈 본체와 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 플렉시블 기재(18) 및 외부 접속 단자(19)는 어느쪽도 두께가 있지만, 도 1에서는 두께의 도시를 생략했다.
외부 접속 단자(19)에는 제 1 스루홀(20)이 형성되어 있다. 제 1 스루홀은 플렉시블 기재(18)를 포함하여 관통하고 있다.
(검사 방법)
외부 접속용의 플렉시블 기판(17)을 구비한 광 모듈의 검사 방법을 도 3을 이용하여 설명한다. 우선 광 모듈을 배치하고, 도 3의 (a)와 같이 검사 장치(11)의 검사 단자(13)와 플렉시블 기판(17)의 외부 접속 단자(19)가 서로 마주보고 접촉하여 제 1 스루홀(20)과 진공 흡착 구멍(14)이 중첩되도록 한다.
다음에 도 3의 (b)와 같이 흡착 부품(15)을 플렉시블 기재(18)의 표면에 배치한다. 그 때, 흡착면(16)이 제 1 스루홀(20)을 덮도록 한다.
다음에 진공 흡인 장치를 작동시켜, 도 3의 (c)와 같이 진공 흡착 구멍(14)과 제 1 스루홀(20) 내를 진공으로 하고, 흡착면(16)을 플렉시블 기재(18)에 흡착한다. 동시에 외부 접속 단자(19)가 검사 단자(13)에 흡착되어, 이들 사이의 전기적 접속을 확실히 얻을 수 있다.
다음에 흡착 부품(15)이 흡착되어 있는지의 여부를 조사한다. 그것을 위해서는 흡착 부품(15)을 적절한 힘으로 수평방향으로 가압해 보아도 좋으며, 상방으로 끌어올려보아도 좋다. 이와 같이 힘을 가하여도, 흡착 부품(15)은 흡착되어 있기 때문에, 움직이지 않는다.
다음에, 측정 장치를 이용하여 광 모듈의 전기 특성을 측정한다.
다음에, 진공 흡착을 정지하고, 흡착 부품(15)과 플렉시블 기판(17)을 분리한다.
지금까지, 검사 단자(13)와 외부 접속 단자(19)의 위치맞춤이 성공한 경우를 설명했지만, 지금부터 위치맞춤이 실패한 경우를 설명한다.
위치맞춤이 실패한 경우, 진공 흡착 구멍(14)과 제 1 스루홀(20)이 깔끔하게 중첩되어 있지 않다. 검사 단자(13)와 외부 접속 단자(19)에 어긋남이 있으면, 진공 흡착 구멍(14)과 제 1 스루홀(20)의 중첩이 완전히 없어지거나, 혹은 일부 밖에 중첩되지 않게 된다.
진공 흡착 구멍(14)과 제 1 스루홀(20)이 깔끔하게 중첩되어 있지 않은 경우, 흡착 부품(15)의 흡착력이 약해진다. 만약 진공 흡착 구멍(14)과 제 1 스루홀(20)의 중첩이 전혀 없으면, 제 1 스루홀(20) 내가 진공으로 되지 않기 때문에, 흡착 부품(15)은 흡착되지 않는다. 혹은 일부 밖에 중첩되어 있지 않으면, 흡착 부품(15)의 흡착력이 약해진다.
흡착 부품(15)의 흡착력이 너무 약하면, 흡착 부품(15)이 흡착되어 있는지의 여부를 조사하기 위해, 힘을 가하면, 흡착 부품(15)이 움직여 버리기 때문에, 위치맞춤의 실패를 판정할 수 있다.
(효과)
이상과 같이, 실시형태 1에 의하면, 검사시에 흡착 부품(15)에 힘을 가하여, 흡착 부품(15)이 움직이는지의 여부를 조사하는 것만으로도, 플렉시블 기판(17)의 외부 접속 단자(19)와 검사 장치(11)의 검사 단자(13)의 위치맞춤이 성공했는지의 여부를 판정할 수 있다. 또한, 흡착 부품(15)이 흡착될 때, 흡착 부품(15)에 걸리는 힘은 외부 접속 단자(19) 및 검사 단자(13)의 접촉면에 수직인 방향이며, 수평인 방향으로는 힘이 걸리지 않기 때문에, 위치 어긋남이 일어나기 어렵다.
(그 외)
또한, 피검사 장치는 광 모듈인 것으로 했지만, 광 모듈 이외의 장치여도 좋다.
또한, 검사 단자(13)의 형상은 외부 접속 단자(19)와 동일한 것으로 했지만, 외부 접속 단자(19)와 접촉 가능하며, 소정의 전기 특성 측정을 실시할 수 있는 전기적 접속을 얻을 수 있으면, 동일할 필요는 없다.
또한, 도 1 및 도 2에서는 진공 흡착 구멍(14)의 수는 제 1 스루홀(20)의 수와 동일하게 했지만, 플렉시블 기판(17)에 개방된 전체 스루홀과 진공 흡착 구멍(14)이 대응하고 있을 필요는 없다. 진공 흡착 구멍(14)과 대응하고 있지 않은 스루홀이 있는 경우는, 흡착 부품(15)이 덮는 것은 진공 흡착 구멍(14)과 대응하는 제 1 스루홀(20) 뿐이어도 상관없다.
또한, 플렉시블 기판(17)을 검사 장치(11)에 배치한 후에, 흡착 부품(15)을 플렉시블 기판(17) 상에 둔다고 했지만, 흡착 부품(15)을 플렉시블 기판(17) 상에 둔 후에 흡착 부품(15)과 플렉시블 기판(17)을 검사 장치(11)에 배치하여도 좋다.
또한, 검사 베이스(12)의 표면에 검사 단자(13)가 형성되어 있다고 했지만, 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 검사 단자(13)가 검사 베이스(12)의 이면에 형성되어 있어도 좋다. 이 경우, 검사 단자(13)의 하측에서 플렉시블 기판(17)을 위치맞춤하고, 플렉시블 기판(17) 아래에 흡착 부품(15)을 배치하고, 진공 흡착에 의해 흡착 부품(15)을 흡착한다. 흡착 부품(15)의 질량은 자중으로 떨어져 버리지 않는 정도이면 좋다.
실시형태 2
(구성)
본 발명의 실시형태 2에 따른 검사 지그의 구성을 설명한다. 도 4는 실시형태 2에 따른 검사 지그(30) 및 플렉시블 기판(17)의 도면이다. 도 5의 (a)는 도 4를 위로부터 본 도면이며, 도 5의 (b)는 도 5의 (a)의 B-B에서의 단면도이다. 검사 지그(30)는 실시형태 1에 따른 검사 지그(10)와 마찬가지이지만, 검사 베이스(12)의 표면으로부터 제 1 가이드부(41)가 나와 있는 점이 상이하다.
제 1 가이드부(41)는 검사 베이스(12)의 검사 단자(13)가 형성된 면에 형성되어 있다. 제 1 가이드부(41)는 핀형상의 돌기이며, 검사시에 배치하는 플렉시블 기판(17)의 외주를 따르는 위치에 형성되어 있다. 즉, 제 1 가이드부(41)는 플렉시블 기판(17)의 외주보다 외측에 위치하며, 제 1 가이드부(41)의 외주의 일부가 플렉시블 기판(17)의 외주와 접하도록 형성되어 있다. 여기에서, 제 1 가이드부(41)의 외주의 일부가 플렉시블 기판(17)의 외주와 접하도록 이란, 외주끼리가 반드시 접촉하는 것을 의미하고 있지 않으며, 가이드부(41)의 안내에 의한 위치맞춤이 소망하는 정밀도로 가능하면 외주끼리의 사이에 간극이 있어도 좋다. 또한, 제 1 가이드부(41)와 흡착 부품(35)이 간섭하는 경우는, 흡착 부품(35)에 간섭을 회피하기 위한 간섭 회피 구멍(42)을 형성하면 좋다.
(검사 방법)
실시형태 2에 따른 검사 지그를 이용한 검사 방법을 설명한다. 실시형태 2의 검사 방법은 실시형태 1과 마찬가지이만, 검사 장치(31)에 플렉시블 기판(17)을 배치할 때, 제 1 가이드부(41)에서 플렉시블 기판(17)을 안내하는 점이 상이하다.
우선 도 6의 (a)와 같이 검사 장치(31)의 검사 단자(13)와 플렉시블 기판(17)의 외부 접속 단자(19)의 위치맞춤을 한다. 그 때, 플렉시블 기판(17)은 제 1 가이드부(41)로 안내되고, 위치맞춤이 이루어진다. 다음에 도 6의 (b)와 같이 흡착 부품(35)을 플렉시블 기재(18)의 표면에 배치한다. 그 때, 흡착 부품(35)에 간섭 회피 구멍(42)이 있는 경우는, 제 1 가이드부(41)가 간섭 회피 구멍(42)에 끼워지도록 한다. 다음에 도 6의 (c)와 같이, 진공 흡착 구멍(14)과 제 1 스루홀(20) 내를 진공으로 한다. 다음에, 흡착 부품(35)을 수평으로 가압해보거나 상방으로 끌어올려보아, 흡착 부품(35)이 흡착되어 있는지의 여부를 조사하여, 위치맞춤의 성공 여부를 판정한다. 단, 흡착 부품(35)에 간섭 회피 구멍(42)이 있는 경우는, 흡착 부품(35)을 수평방향으로는 가압하지 않고, 상방으로 끌어올려 흡착 상태를 조사한다.
(효과)
이상과 같이 실시형태 2에 의하면, 제 1 가이드부(41)가 있기 때문에, 플렉시블 기판(17)의 외부 접속 단자(19)와 검사 장치(31)의 검사 단자(13)의 위치맞춤이 용이하게 된다. 단, 위치맞춤의 실패는 일어날 수 있기 때문에, 위치맞춤의 성공 여부 판정을 용이하게 할 수 있다는 효과는 실시형태 1과 마찬가지이다.
(그 외)
또한, 도 4 및 도 5에서는 제 1 가이드부(41)를 플렉시블 기판(17)의 좌우에 1개씩, 플렉시블 기판(17)의 단부측에 1개 배치했지만, 가이드부(41)의 배치 장소 및 수는 이것으로 한정되지 않는다.
또한, 제 1 가이드부(41)를 핀형상의 돌기로 했지만, 핀형상이 아니어도 좋다. 예를 들면 블록형상인 것, 벽형상인 것 등이어도 좋다. 제 2 가이드부(43)도 마찬가지이다.
또한, 도 7과 같이 플렉시블 기재(18b)에 제 2 스루홀(44)을 형성하고, 검사 베이스(12)에 핀형상의 돌기인 제 2 가이드부(43)를 형성하여도 좋다. 그 경우, 제 2 스루홀(44)은 플렉시블 기재(18b)의 외부 접속 단자(19)가 형성되어 있지 않은 장소에 형성된다. 제 2 가이드부(43)는 검사 베이스(12)의 검사 단자(13)가 형성된 면의 제 2 스루홀(44)에 대응하는 위치에, 제 2 스루홀(44)에 삽입 가능하게 형성된다. 제 2 가이드부(43)와 제 2 스루홀(44)의 직경은, 검사시의 취급의 용이함과 위치맞춤 정밀도를 고려하여, 적절히 결정하면 좋다. 도시하지 않지만, 흡착 부품에는 제 2 가이드부(43)를 피하기 위한 구멍을 형성한다. 또한, 제 1 가이드부(41)는 배치하지 않고, 제 2 가이드부(43)만을 배치하여도 좋다. 또한, 제 2 가이드부(43)와 제 2 스루홀은 각각 다수 있어도 좋다.
실시형태 3
(구성)
본 발명의 실시형태 3에 따른 검사 지그의 구성을 설명한다. 도 8은 실시형태 3에 따른 검사 지그(50) 및 플렉시블 기판(17)의 도면이다. 도 9의 (a)는 도 8을 위로부터 본 도면이며, 도 9의 (b)는 도 9의 (a)의 C-C에서의 단면도이다. 검사 지그(50)는 실시형태 1에 따른 검사 지그(10)와 마찬가지이지만, 검사 베이스(52)의 표면에 제 1 오목부(61)가 있는 점이 상이하다.
제 1 오목부(61)는 검사시에 배치하는 플렉시블 기판(17)의 외주의 형상에 맞추어 오목하다. 제 1 오목부(61)의 바닥에는 검사 단자(13)가 형성되어 있다. 제 1 오목부(61)의 깊이는 플렉시블 기재(18), 외부 접속 단자(19) 및 검사 단자(13)의 두께의 합계보다 얕게 되어 있어, 검사시에 흡착 부품(15)이 검사 베이스(52)와 간섭하지 않는다.
(검사 방법)
실시형태 3에 따른 검사 지그를 이용한 검사 방법을 설명한다. 실시형태 3의 검사 방법은 실시형태 1과 마찬가지이지만, 검사 장치(51)에 플렉시블 기판(17)을 배치할 때, 제 1 오목부(61)에서 플렉시블 기판(17)을 안내하는 점이 상이하다.
우선, 도 10의 (a)와 같이 검사 장치(51)의 검사 단자(13)와 플렉시블 기판(17)의 외부 접속 단자(19)의 위치맞춤을 한다. 그 때, 플렉시블 기판(17)은 제 1 오목부(61)로 안내되고, 위치맞춤이 된다. 다음에 도 10의 (b)와 같이 흡착 부품(15)을 플렉시블 기재(18)의 표면에 배치한다. 다음에 도 10의 (c)와 같이 진공 흡착 구멍(54)과 제 1 스루홀(20) 내를 진공으로 한다. 다음에, 흡착 부품(15)이 흡착되어 있는지의 여부를 조사하여 위치맞춤의 성공 여부를 판정한다.
(효과)
이상과 같이 실시형태 3에 의하면, 제 1 오목부(61)가 있기 때문에, 플렉시블 기판(17)의 외부 접속 단자(19)와 검사 장치(51)의 검사 단자(13)의 위치맞춤이 용이하게 된다. 단, 위치맞춤의 실패는 일어날 수 있기 때문에, 위치맞춤의 성공 여부 판정을 용이하게 할 수 있다는 효과는 실시형태 1과 마찬가지이다.
실시형태 4
(구성)
본 발명의 실시형태 4에 따른 검사 지그의 구성을 설명한다. 도 11의 (a)는 실시형태 4에 따른 검사 지그(70) 및 플렉시블 기판(17)을 위로부터 본 도면이며, 도 11의 (b)는 도 11의 (a)의 D-D에서의 단면도이다. 검사 지그(70)는 실시형태 1에 따른 검사 지그(10)와 마찬가지이지만, 흡착 부품(75)에 제 2 오목부(81)가 있으며, 또한 흡착 부품(75)이 검사 장치(11)와 연결 기구(도시하지 않음)와 연결되어 있는 점이 상이하다.
흡착 부품(75)에는, 도 12에 도시하는 바와 같이, 제 2 오목부(81)가 형성되어 있다. 도 12는 설명을 위해, 흡착 부품(75)의 상하를 반대로 하여 도시한 도면이다. 제 2 오목부(81)는 검사시에 배치하는 플렉시블 기판(17)의 외주의 형상에 맞추어 오목하다. 제 2 오목부(81)의 깊이는 플렉시블 기재(18), 외부 접속 단자(19) 및 검사 단자(13)의 두께의 합계보다 얕게 되어 있어, 검사시에 흡착 부품(75)이 검사 베이스(12)와 간섭하지 않는다. 제 2 오목부(81)의 바닥이 흡착면(76)으로 되어 있다.
흡착 부품(75)은 검사 장치(11)와, 검사 단자(13)에 가까워지고 멀어지는 방향으로 이동 가능하게 연결 기구로 연결되어 있다. 이 연결은, 피검사 장치와 함께, 흡착 부품(75)이 검사 장치(11)에 가까워지는 방향으로 연결 기구를 따라서 이동하는 것에 의해, 외부 접속 단자(19)와 검사 단자(13)가 위치맞춤되도록 되어 있다.
(검사 방법)
실시형태 4에 따른 검사 지그를 이용한 검사 방법을 설명한다. 실시형태 4의 검사 방법은 실시형태 1과 마찬가지이만, 검사 장치(11)에 플렉시블 기판(17)을 배치하기 전에, 제 2 오목부(81)에 플렉시블 기판(17)을 세트해두고, 그 후, 흡착 부품(75)과 플렉시블 기판(17)을 검사 단자(13)에 가까이하는 것에 의해 위치맞춤하는 점이 상이하다.
우선, 도 13의 (a)와 같이 플렉시블 기판(17)이 제 2 오목부(81)에 끼워지도록 광 모듈을 배치한다. 다음에, 도 13의 (b)와 같이 흡착 부품(75)과 플렉시블 기판(17)을 일체로 하여 검사 단자(13)에 가까워지는 방향으로 연결 기구를 따라서 이동시킨다. 그러면, 외부 접속 단자(19)와 검사 단자(13)가 위치맞춤되기 때문에, 외부 접속 단자(19)와 검사 단자(13)가 서로 마주보고 접촉하며, 제 1 스루홀(20)과 진공 흡착 구멍(14)이 중첩된다. 다음에, 도 13의 (c)와 같이 진공 흡착 구멍(14)과 제 1 스루홀(20) 내를 진공으로 한다. 다음에, 흡착 부품(75)이 흡착되어 있는지의 여부를 조사하여, 위치맞춤의 성공 여부를 판정한다.
(효과)
이상과 같이 실시형태 4에 의하면, 제 2 오목부(81)가 있으며, 또한 흡착 부품(75)과 검사 장치(11)가, 외부 접속 단자(19)와 검사 단자(13)의 위치맞춤이 되도록 연결되어 있기 때문에, 플렉시블 기판(17)의 외부 접속 단자(19)와 검사 장치(11)의 검사 단자(13)의 위치맞춤이 용이하게 된다. 단, 위치맞춤의 실패는 일어날 수 있기 때문에, 두 위치맞춤의 성공 여부 판정을 용이하게 할 수 있다는 효과는 실시형태 1과 마찬가지이다.
(그 외)
또한, 검사 장치(11b)에 핀형상의 돌기인 제 3 가이드부(82)를 형성하고, 흡착 부품(75b)에 가이드 구멍(83)을 형성하고, 검사시에 제 3 가이드부(82)를 가이드 구멍(83)에 삽입하는 구성이어도 좋다. 도 14의 (a)는 이 변형예의 검사 지그(70b) 및 플렉시블 기판(17)을 위로부터 본 도면이며, 도 14의 (b)는 도 14의 (a)의 E-E에서의 단면도이다. 도 14에 도시하는 바와 같이, 검사 장치(11b)의 검사 단자(13)가 형성된 면에는 검사시에 배치하는 플렉시블 기판(17)의 외측에 제 3 가이드부(82)가 형성되고, 흡착 부품(75b)에는 제 3 가이드부(82)에 대응하는 위치에, 제 3 가이드부(82)가 삽입 가능한 가이드 구멍(83)이 형성되어 있다. 제 3 가이드부(82)와 가이드 구멍(83)의 직경은, 검사시의 취급의 용이함과 위치맞춤 정밀도를 고려하여, 적절히 결정하면 좋다. 또한, 흡착 부품(75b)이 검사 장치(11b)와 연결되어 있지 않아도 좋다. 연결되어 있지 않아도 제 3 가이드부(82)가 가이드 구멍(83)에 끼워지는 것에 의해 위치맞춤이 용이하다. 또한, 제 3 가이드부(82)는 핀형상의 돌기가 아닌, 예를 들면, 블록형상인 것, 벽형상인 것 등이어도 좋다.
10, 30, 30b, 50, 70, 70b: 검사 지그
11, 31, 31b, 51: 검사 장치
12, 52: 검사 베이스
13: 검사 단자
14, 54: 진공 흡착 구멍
15, 35, 75, 75b: 흡착 부품
16, 36, 76: 흡착면
17, 17b: 플렉시블 기판
18, 18b: 플렉시블 기재
19: 외부 접속 단자
20: 제 1 스루홀
41: 제 1 가이드부
43: 제 2 가이드부
44: 제 2 스루홀
61: 제 1 오목부
81: 제 2 오목부
82: 제 3 가이드부
83: 가이드 구멍
11, 31, 31b, 51: 검사 장치
12, 52: 검사 베이스
13: 검사 단자
14, 54: 진공 흡착 구멍
15, 35, 75, 75b: 흡착 부품
16, 36, 76: 흡착면
17, 17b: 플렉시블 기판
18, 18b: 플렉시블 기재
19: 외부 접속 단자
20: 제 1 스루홀
41: 제 1 가이드부
43: 제 2 가이드부
44: 제 2 스루홀
61: 제 1 오목부
81: 제 2 오목부
82: 제 3 가이드부
83: 가이드 구멍
Claims (6)
- 플렉시블 기재와, 상기 플렉시블 기재의 이면에 형성된 외부 접속 단자를 갖는 플렉시블 기판을 구비한 피검사 장치의 검사에 이용하는 검사 지그에 있어서,
검사 베이스와, 상기 검사 베이스에 형성된 검사 단자를 갖는 검사 장치와,
흡착면을 갖는 흡착 부품을 구비하고,
상기 외부 접속 단자에는, 상기 플렉시블 기재를 포함하여 관통하는 제 1 스루홀이 형성되며,
상기 검사 단자에는, 검사시에 배치하는 상기 플렉시블 기판의 상기 제 1 스루홀에 대응하는 위치에 진공 흡착 구멍이 형성되며,
검사시에, 상기 외부 접속 단자와 상기 검사 단자가 서로 마주보며, 또한 상기 제 1 스루홀과 상기 진공 흡착 구멍이 중첩되도록 상기 피검사 장치가 배치되며, 상기 흡착면이 상기 제 1 스루홀을 덮도록 상기 플렉시블 기재의 표면에 상기 흡착 부품이 배치되며, 상기 제 1 스루홀 및 상기 진공 흡착 구멍 내를 진공으로 하는 것에 의해, 상기 흡착면이 상기 플렉시블 기재에 흡착되며, 또한 상기 외부 접속 단자가 상기 검사 단자에 흡착되는
검사 지그. - 제 1 항에 있어서,
상기 검사 베이스의 상기 검사 단자가 형성된 면에는, 검사시에 배치하는 상기 플렉시블 기판의 외주를 따르는 위치에 제 1 가이드부가 형성된
검사 지그. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 플렉시블 기재에는, 상기 외부 접속 단자가 형성되어 있지 않은 장소에 제 2 스루홀이 형성되고,
상기 검사 베이스의 상기 검사 단자가 형성된 면에는, 검사시에 배치하는 상기 플렉시블 기판의 상기 제 2 스루홀에 대응하는 위치에, 상기 제 2 스루홀에 삽입 가능한 제 2 가이드부가 형성된
검사 지그. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사 베이스에는, 검사시에 배치하는 상기 플렉시블 기판의 외주의 형상에 맞추어 오목하고, 상기 검사 단자가 바닥에 형성되며, 깊이가 상기 플렉시블 기재, 상기 외부 접속 단자 및 상기 검사 단자의 두께의 합계보다 얕은 제 1 오목부가 형성된
검사 지그. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 흡착 부품에는, 상기 플렉시블 기판의 외주의 형상에 맞추어 오목하고, 바닥에 상기 흡착면이 있으며, 깊이가 상기 플렉시블 기재, 상기 외부 접속 단자 및 상기 검사 단자의 두께의 합계보다 얕은 제 2 오목부가 형성되고,
상기 흡착 부품은 상기 검사 단자에 가까워지고 멀어지는 방향으로 이동 가능하게 상기 검사 장치와 연결 기구로 연결되며,
검사시에, 상기 플렉시블 기판이 상기 제 2 오목부에 끼워지도록 상기 피검사 장치가 배치되고, 상기 피검사 장치와 함께 상기 흡착 부품이 상기 검사 단자에 가까워지는 방향으로 상기 연결 기구를 따라서 이동하는 것에 의해, 상기 외부 접속 단자와 상기 검사 단자가 서로 마주보고 접촉하며, 또한 상기 제 1 스루홀과 상기 진공 흡착 구멍이 중첩되는
검사 지그. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사 베이스의 상기 검사 단자가 형성된 면에는, 검사시에 배치하는 상기 플렉시블 기판의 외측에 제 3 가이드부가 형성되고,
상기 흡착 부품에는, 상기 플렉시블 기판의 외주의 형상에 맞추어 오목하며, 바닥에 상기 흡착면이 있으며, 깊이가 상기 플렉시블 기재, 상기 외부 접속 단자 및 상기 검사 단자의 두께의 합계보다 얕은 제 2 오목부가 형성되고,
상기 흡착 부품에는, 또한 가이드 구멍이 형성되며,
검사시에, 상기 플렉시블 기판이 상기 제 2 오목부에 끼워지도록 상기 피검사 장치가 배치되며, 상기 피검사 장치와 함께 상기 흡착 부품을 상기 검사 단자에 가까워지는 방향으로 이동시키고, 상기 제 3 가이드부를 상기 가이드 구멍에 삽입하는 것에 의해, 상기 외부 접속 단자와 상기 검사 단자가 서로 마주보고 접촉하며, 또한 상기 제 1 스루홀과 상기 진공 흡착 구멍이 중첩되는
검사 지그.
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