JP2005345271A - 検査ソケット及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
検査ソケット及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005345271A JP2005345271A JP2004165545A JP2004165545A JP2005345271A JP 2005345271 A JP2005345271 A JP 2005345271A JP 2004165545 A JP2004165545 A JP 2004165545A JP 2004165545 A JP2004165545 A JP 2004165545A JP 2005345271 A JP2005345271 A JP 2005345271A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- socket
- electrode
- substrate
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Connecting Device With Holders (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
【解決手段】 検査ソケットは、一面に複数の電極を有する半導体装置を収容する収容部、及び収容部の底部に設けられ半導体装置下面の電極に先端が接触するように配置される複数の測定端子とを有するソケット本体と、収容部の半導体装置を測定端子に押し付ける開閉制御されるソケット本体に取り付けられる抑えアームとを有し、ソケット本体の測定端子が設けられる複数箇所には、測定端子に代えて、一端が半導体装置の電極に接触するように構成され、他端が真空吸引機構に接続されるように構成される筒状の吸着ノズルが配置され、真空吸引機構のオン動作時、吸着ノズルの一端に電極を真空吸着固定する。
【選択図】 図1
Description
前記被検査物を載置収容する収容部と、前記収容部の底部に前記被検査物の前記電極に先端が接触するように対応して配置される複数の測定端子とを有するソケット本体と、
前記ソケット本体に取り付けられ、前記収容部の前記半導体装置を前記測定端子に押し付ける開閉制御される抑えアームとを有し、
前記ソケット本体の前記測定端子が設けられる複数箇所には、前記測定端子に代えて、一端が前記被検査物の前記電極に接触するように構成され、他端が真空吸引機構に接続されるように構成される筒状の吸着ノズルが配置され、
前記真空吸引機構のオン動作時、前記吸着ノズルの一端に前記電極を真空吸着固定することを特徴とする。
第1の面及び前記第1の面の反対面となる第2の面を有し、デバイスホール及び前記デバイスホールの外側に配列される複数のビアホールを有する絶縁性の基板母材(樹脂テープ)と、前記基板母材の前記第1の面に形成され前記ビアホール内から前記デバイスホール内まで延在する複数のリードと、前記デバイスホール部分及び前記ビアホール部分を除き前記リードを選択的に覆う絶縁膜とを有する配線母基板(TABテープ)を準備する工程と、
主面に複数の電極を有する半導体チップの前記各電極が前記配線母基板の前記デバイスホールに対面するように前記半導体チップを前記基板母材の前記第1の面と反対面となる第2の面側に接着部材で固定する工程と、
前記デバイスホール内に延在する前記リードの先端を前記半導体チップの前記各電極に重ねて接続する工程と、
前記デバイスホールを含む部分を絶縁性樹脂で塞いで封止体を形成する工程と、
前記各ビアホール内に延在する前記リードにボール電極を形成する工程と、
前記配線母基板の不要部分を切断除去し、前記基板母材から形成される基板の一面に複数の電極を有する半導体装置を形成する工程と、
前記半導体装置を検査ソケットに装着して前記半導体装置の電気的特性検査を行う工程とを有し、
前記半導体装置の電気的特性検査を行う工程では、オープントップタイプの検査ソケットを用い、
前記オープントップタイプの検査ソケットは、
前記半導体装置を載置収容する収容部と、前記収容部の底部に前記半導体装置の前記電極に先端が接触するように対応して配置される複数の測定端子とを有するソケット本体と、
前記ソケット本体に取り付けられ、前記収容部の前記半導体装置を前記測定端子に押し付ける開閉制御される抑えアームとを有し、
前記ソケット本体の前記測定端子が設けられる複数箇所には、前記測定端子に代えて、一端が前記半導体装置の前記電極に接触するように構成され、他端が真空吸引機構に接続されるように構成される筒状の吸着ノズルが配置され、
前記真空吸引機構のオン動作時、前記吸着ノズルの一端に前記電極を真空吸着固定する構成になっていることを特徴とする。
前記(1)の手段によれば、(a)収容部に収容された被検査物と収容部の周面との隙間は0.35mm以下と狭いので、被検査物の電極それぞれは確実に測定端子に接触するようになり、確実に電気特定検査を行うことができる。従って、本願発明の検査ソケットの使用によって再現性良く電気特定検査を行うことができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
Claims (5)
- 基板の一面に整列配置された複数の電極を有する被検査物のオープントップタイプの検査ソケットであって、
前記被検査物を載置収容する収容部と、前記収容部の底部に前記被検査物の前記電極に先端が接触するように対応して配置される複数の測定端子とを有するソケット本体と、
前記ソケット本体に取り付けられ、前記収容部の前記半導体装置を前記測定端子に押し付ける開閉制御される抑えアームとを有し、
前記ソケット本体の前記測定端子が設けられる複数箇所には、前記測定端子に代えて、一端が前記被検査物の前記電極に接触するように構成され、他端が真空吸引機構に接続されるように構成される筒状の吸着ノズルが配置され、
前記真空吸引機構のオン動作時、前記吸着ノズルの一端に前記電極を真空吸着固定することを特徴とする検査ソケット。 - 前記吸着ノズルは前記被検査物の前記電極の配列が矩形枠列配列の場合、前記矩形枠列の各角部の電極に対応して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の検査ソケット。
- 前記収容部の周面と前記収容部に収容された被検査物との隙間が0.35mm以下となっていることを特徴とする請求項1に記載の検査ソケット。
- 第1の面及び前記第1の面の反対面となる第2の面を有し、デバイスホール及び前記デバイスホールの外側に配列される複数のビアホールを有する絶縁性の基板母材と、前記基板母材の前記第1の面に形成され前記ビアホール内から前記デバイスホール内まで延在する複数のリードと、前記デバイスホール部分及び前記ビアホール部分を除き前記リードを選択的に覆う絶縁膜とを有する配線母基板を準備する工程と、
主面に複数の電極を有する半導体チップの前記各電極が前記配線母基板の前記デバイスホールに対面するように前記半導体チップを前記基板母材の前記第1の面と反対面となる第2の面側に接着部材で固定する工程と、
前記デバイスホール内に延在する前記リードの先端を前記半導体チップの前記各電極に重ねて接続する工程と、
前記デバイスホールを含む部分を絶縁性樹脂で塞いで封止体を形成する工程と、
前記各ビアホール内に延在する前記リードにボール電極を形成する工程と、
前記配線母基板の不要部分を切断除去し、前記基板母材から形成される基板の一面に複数の電極を有する半導体装置を形成する工程と、
前記半導体装置を検査ソケットに装着して前記半導体装置の電気的特性検査を行う工程とを有し、
前記半導体装置の電気的特性検査を行う工程では、オープントップタイプの検査ソケットを用い、
前記オープントップタイプの検査ソケットは、
前記半導体装置を載置収容する収容部と、前記収容部の底部に前記半導体装置の前記電極に先端が接触するように対応して配置される複数の測定端子とを有するソケット本体と、
前記ソケット本体に取り付けられ、前記収容部の前記半導体装置を前記測定端子に押し付ける開閉制御される抑えアームとを有し、
前記ソケット本体の前記測定端子が設けられる複数箇所には、前記測定端子に代えて、一端が前記半導体装置の前記電極に接触するように構成され、他端が真空吸引機構に接続されるように構成される筒状の吸着ノズルが配置され、
前記真空吸引機構のオン動作時、前記吸着ノズルの一端に前記電極を真空吸着固定する構成になっていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記基板は絶縁性のテープで形成され、前記配線母基板はTABテープであることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004165545A JP2005345271A (ja) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | 検査ソケット及び半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004165545A JP2005345271A (ja) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | 検査ソケット及び半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005345271A true JP2005345271A (ja) | 2005-12-15 |
Family
ID=35497798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004165545A Pending JP2005345271A (ja) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | 検査ソケット及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005345271A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101007857B1 (ko) * | 2008-02-19 | 2011-01-14 | 주식회사 오킨스전자 | 테스트 소켓 |
US9625522B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-04-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Adaptor structure and apparatus for testing a semiconductor package including the same |
US9958500B2 (en) | 2015-07-08 | 2018-05-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Vacuum socket and semiconductor testing system including the same |
JPWO2021064788A1 (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | ||
CN113533924A (zh) * | 2021-08-13 | 2021-10-22 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种双面电极大功率器件测试装置 |
-
2004
- 2004-06-03 JP JP2004165545A patent/JP2005345271A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101007857B1 (ko) * | 2008-02-19 | 2011-01-14 | 주식회사 오킨스전자 | 테스트 소켓 |
US9625522B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-04-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Adaptor structure and apparatus for testing a semiconductor package including the same |
US9958500B2 (en) | 2015-07-08 | 2018-05-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Vacuum socket and semiconductor testing system including the same |
JPWO2021064788A1 (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | ||
WO2021064788A1 (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 三菱電機株式会社 | 検査治具 |
CN113533924A (zh) * | 2021-08-13 | 2021-10-22 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种双面电极大功率器件测试装置 |
CN113533924B (zh) * | 2021-08-13 | 2023-06-30 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种双面电极大功率器件测试装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9502390B2 (en) | BVA interposer | |
JP2005322921A (ja) | バンプテストのためのフリップチップ半導体パッケージ及びその製造方法 | |
JP5342422B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2001185651A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JPH11297889A (ja) | 半導体パッケージおよび実装基板、ならびにこれらを用いた実装方法 | |
JP2002514014A (ja) | チップ積層体およびそれの製造方法 | |
CN108695284A (zh) | 包括纵向集成半导体封装体组的半导体设备 | |
US20150014848A1 (en) | Semiconductor device and fabrication method thereof | |
JP2008537336A (ja) | 半導体と電子サブシステムのパッケージングのためのチップキャリア基板とプリント回路基板上の剛性波形パターンの構造 | |
JP2005332965A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US6507118B1 (en) | Multi-metal layer circuit | |
JP2008130932A (ja) | 側面電極付半導体チップ及びその製造方法並びにその半導体チップを積層した3次元実装モジュール | |
JP2010129505A (ja) | Icソケットおよびicソケット用ガイドプレート | |
US9258890B2 (en) | Support structure for stacked integrated circuit dies | |
JP3612155B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置用のリードフレーム | |
JP4556671B2 (ja) | 半導体パッケージ及びフレキシブルサーキット基板 | |
JP2005345271A (ja) | 検査ソケット及び半導体装置の製造方法 | |
TWI555101B (zh) | 封裝結構及其製法 | |
JP4970994B2 (ja) | 半導体パッケージ | |
JP5068133B2 (ja) | 半導体チップ積層構造体及び半導体装置 | |
JPH1197570A (ja) | 半導体装置およびその製造方法ならびに半導体装置の実装方法 | |
JPH08279588A (ja) | 半導体集積回路装置及び半導体集積回路装置の製造方法 | |
JP4704404B2 (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JPH10303151A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
US11688715B2 (en) | Semiconductor die with multiple contact pads electrically coupled to a lead of a lead frame |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20061218 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090715 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090904 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091007 |