JP7364100B2

JP7364100B2 - 検査方法

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Publication number: JP7364100B2
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Inventors: 俊英岡
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Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
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Filing date: 2023-01-13
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Description

本発明は、外部接続用のフレキシブル基板を備えた被検査装置の検査に用いる検査治具を用いた検査方法に関するものである。

外部接続用のフレキシブル基板を備えた被検査装置の例として、光ファイバー網を用いた通信用途の光モジュールが挙げられる。このような光モジュールが備えるフレキシブル基板は一般に、微細な導体パターンを持つ端子を有する（例えば特許文献１参照）。

上記の被検査装置を検査する際、検査装置と押さえ部品からなる検査治具が用いられてきた。被検査装置の検査時は、フレキシブル基板の端子と検査装置の端子の位置合わせをし、押さえ部品でフレキシブル基板を検査装置に向けて押すことで端子同士を密着させ、端子間の電気的接続を得る。

特開２００４－０７１８９０号公報

上述した検査治具を用いた場合、フレキシブル基板の端子と検査装置の端子の位置合わせが失敗することがある。また押さえ部品を押す際に端子同士がずれることで、位置合わせが失敗する可能性もある。

位置合わせが失敗すると端子同士の電気的接続が失われたり不十分になったりするため、位置合わせの成否が判定可能であることが望まれる。端子同士の電気的接続に問題がある状態で被検査装置の電気特性を測定すると、測定結果は誤ったものになる。位置合わせの失敗に気付かなければ、この誤った測定結果によって良品を不良品と判断する等の問題が起こる。もし電気特性の測定前に位置合わせの失敗を判定できれば、そのような問題を回避できるため、位置合わせの成否が判定可能であることが望まれる。

しかし従来、位置合わせが成功したかどうかを判定するのは困難だった。この判定のために目視あるいはカメラで確認しようにも押さえ部品が邪魔になり、端子同士の重なり具合を見たり撮影したりできないからである。

本発明は上記の問題を解消するためになされたもので、その目的は、外部接続用のフレキシブル基板を備えた被検査装置を検査する際、フレキシブル基板と検査装置の端子同士の位置合わせが成功したかどうかを容易に判定可能な検査方法を提供することである。

この発明に係る検査方法は、フレキシブル基材と、フレキシブル基材の裏面に形成された外部接続端子とを有するフレキシブル基板を備えた被検査装置の検査に用いる検査治具を用いた検査方法であって、検査治具は、検査ベースと、検査ベースに形成された検査端子とを有する検査装置と、吸着面を有する吸着部品とを備え、外部接続端子には、フレキシブル基材を含めて貫通する第１のスルーホールが形成され、検査端子には、検査時に配置するフレキシブル基板の第１のスルーホールに対応する位置に真空吸着孔が形成され、検査時に、外部接続端子と検査端子が向かい合い、かつ、第１のスルーホールと真空吸着孔が重なるように被検査装置が配置され、吸着面が第１のスルーホールを覆うようにフレキシブル基材の表面に吸着部品が配置され、第１のスルーホールおよび真空吸着孔の中を真空にすることで、吸着面がフレキシブル基材に吸着され、かつ、外部接続端子が検査端子に吸着され、外部接続端子と検査端子の位置合わせは、吸着部品に水平方向に力を加えた際、または吸着部品を上方に引き上げた際、吸着部品が動かない場合に成功したと判定し、吸着部品が動く場合に失敗したと判定する。

本発明に係る検査方法によれば、外部接続用のフレキシブル基板を備えた被検査装置を検査する際、フレキシブル基板の端子に形成されたスルーホールと検査装置の端子に形成された真空吸着孔を通じて吸着部品を真空吸着するため、吸着部品に力を加え、吸着部品が動くかどうかを調べるだけで、フレキシブル基板と検査装置の端子同士の位置合わせが成功したかどうかを容易に判定できる。

実施の形態１に係る検査治具およびフレキシブル基板を示す斜視図である。実施の形態１に係る検査治具およびフレキシブル基板を示す上面図および断面図である。実施の形態１に係る検査治具を用いた検査方法を説明するための断面図である。実施の形態２に係る検査治具およびフレキシブル基板を示す斜視図である。実施の形態２に係る検査治具およびフレキシブル基板を示す上面図および断面図である。実施の形態２に係る検査治具を用いた検査方法を説明するための断面図である。実施の形態２に係る検査治具の変形例およびフレキシブル基板を示す斜視図である。実施の形態３に係る検査治具およびフレキシブル基板を示す斜視図である。実施の形態３に係る検査治具およびフレキシブル基板を示す上面図および断面図である。実施の形態３に係る検査治具を用いた検査方法を説明するための断面図である。実施の形態４に係る検査治具およびフレキシブル基板を示す上面図および断面図である。実施の形態４に係る吸着治具示す斜視図である。実施の形態４に係る検査治具を用いた検査方法を説明するための断面図である。実施の形態４に係る検査治具の変形例およびフレキシブル基板を示す上面図および断面図である。

実施の形態１．
（構成）
本発明の実施の形態１に係る検査治具の構成を説明する。検査治具は被検査装置を検査するために用いるものであり、ここでは被検査装置は、外部接続用のフレキシブル基板を備えた光モジュールである。図１は実施の形態１に係る検査治具１０およびフレキシブル基板１７の図である。図２（ａ）は図１を上から見た図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ－Ａでの断面図である。図２（ａ）では説明のため各部材を透明で示した。

検査治具１０は検査装置１１および吸着部品１５を備えている。検査装置１１は検査ベース１２を備える。検査ベース１２には表面に検査端子１３が形成されている。検査端子１３を上から見た形状は、フレキシブル基板１７の外部接続端子１９と同じである。検査端子１３は、配線（図示せず）を通じて測定装置（図示せず）と電気的につながる。

検査端子１３には真空吸着孔１４が形成されている。真空吸着孔１４は、フレキシブル基板１７の第１のスルーホール２０に対応する位置に形成されており、検査時にフレキシブル基板１７が配置されると、真空吸着孔１４と第１のスルーホール２０が重なる。真空吸着孔１４は検査端子１３側の端が開放され、他端側が真空吸引装置（図示せず）につながっている。なお検査端子１３は厚みがあるが、図１では厚みの図示は省略した。また図２（ａ）において検査端子１３および真空吸着孔１４は、それぞれフレキシブル基板１７の外部接続端子１９および第１のスルーホール２０と重なるため、符号の図示は省略した。

吸着部品１５は、フレキシブル基材１８に吸着する吸着面１６を有する。吸着面１６は、フレキシブル基材１８に変形等のダメージを与えないよう弾性体のような柔らかい素材で形成されているのが望ましい。吸着面１６の形状は、真空吸着孔１４に対応する全ての第１のスルーホール２０を覆うものであればよい。

フレキシブル基板１７はフレキシブル基材１８を有する。フレキシブル基板１７は一端が光モジュール本体（図示せず）と接続されている。他端にはフレキシブル基材１８の裏面に外部と接続するための外部接続端子１９が形成されている。外部接続端子１９は、配線（図示せず）を通じて光モジュール本体と電気的に接続されている。なおフレキシブル基材１８および外部接続端子１９はどちらも厚みがあるが、図１では厚みの図示を省略した。

外部接続端子１９には第１のスルーホール２０が形成されている。第１のスルーホールはフレキシブル基材１８を含めて貫通している。

（検査方法）
外部接続用のフレキシブル基板１７を備えた光モジュールの検査方法を図３を用いて説明する。まず光モジュールを配置し、図３（ａ）のように検査装置１１の検査端子１３とフレキシブル基板１７の外部接続端子１９が向かい合って接触し、第１のスルーホール２０と真空吸着孔１４が重なるようにする。

次に図３（ｂ）のように吸着部品１５をフレキシブル基材１８の表面に配置する。その際、吸着面１６が第１のスルーホール２０を覆うようにする。

次に真空吸引装置を作動させ、図３（ｃ）のように真空吸着孔１４と第１のスルーホール２０の中を真空にし、吸着面１６をフレキシブル基材１８に吸着する。同時に外部接続端子１９が検査端子１３に吸着され、これらの間の電気的接続が確実に得られる。

次に吸着部品１５が吸着されているかどうかを調べる。そのためには吸着部品１５を適切な力で水平方向に押してみてもよいし、上方に引き上げてみてもよい。このように力を加えても、吸着部品１５は吸着されているため動かない。

次に測定装置を用いて光モジュールの電気特性を測定する。

次に真空吸着を停止して、吸着部品１５とフレキシブル基板１７を取り外す。

ここまで検査端子１３と外部接続端子１９の位置合わせが成功した場合を説明したが、ここから位置合わせが失敗した場合を説明する。

位置合わせが失敗している場合、真空吸着孔１４と第１のスルーホール２０がきれいに重なっていない。検査端子１３と外部接続端子１９にずれがあると、真空吸着孔１４と第１のスルーホール２０の重なりが全くなくなるか、あるいは一部しか重ならなくなる。

真空吸着孔１４と第１のスルーホール２０がきれいに重なっていない場合、吸着部品１５の吸着力が弱くなる。もし真空吸着孔１４と第１のスルーホール２０の重なりが全くなければ、第１のスルーホール２０の中が真空にならないため、吸着部品１５は吸着されない。あるいは一部しか重なっていなければ、吸着部品１５の吸着力が弱くなる。

吸着部品１５の吸着力が弱すぎれば、吸着部品１５が吸着されているかどうかを調べるために力を加えると吸着部品１５が動いてしまうため、位置合わせの失敗が判定できる。

（効果）
以上のとおり実施の形態１によれば、検査時に吸着部品１５に力を加え、吸着部品１５が動くかどうかを調べるだけで、フレキシブル基板１７の外部接続端子１９と検査装置１１の検査端子１３の位置合わせが成功したかどうかを判定できる。また吸着部品１５が吸着される際、吸着部品１５に掛かる力は外部接続端子１９および検査端子１３の接触面に垂直な方向であり、水平な方向には力が掛からないため、位置ずれが起こりにくい。

（その他）
なお被検査装置は光モジュールであるとしたが、光モジュール以外の装置であってもよい。

また検査端子１３の形状は外部接続端子１９と同じとしたが、外部接続端子１９と接触可能であり、所定の電気特性測定が実施できるような電気的接続が得られれば、同じである必要はない。

また図１および図２では真空吸着孔１４の数は第１のスルーホール２０の数と同じとしたが、フレキシブル基板１７に開けられた全てのスルーホールと真空吸着孔１４が対応している必要はない。真空吸着孔１４と対応していないスルーホールがある場合は、吸着部品１５が覆うのは真空吸着孔１４と対応する第１のスルーホール２０だけでかまわない。

またフレキシブル基板１７を検査装置１１に配置したあとに吸着部品１５をフレキシブル基板１７の上に置くとしたが、吸着部品１５をフレキシブル基板１７の上に置いたあとに吸着部品１５とフレキシブル基板１７を検査装置１１に配置してもよい。

また検査ベース１２の表面に検査端子１３が形成されているとしたが、これに限定されない。例えば検査端子１３が検査ベース１２の裏面に形成されていてもよい。この場合、検査端子１３の下側でフレキシブル基板１７を位置合わせし、フレキシブル基板１７の下に吸着部品１５を配置し、真空吸着によって吸着部品１５を吸着する。吸着部品１５の質量は、自重で落ちてしまわない程度であればよい。

実施の形態２．
（構成）
本発明の実施の形態２に係る検査治具の構成を説明する。図４は実施の形態２に係る検査治具３０およびフレキシブル基板１７の図である。図５（ａ）は図４を上から見た図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＢ－Ｂでの断面図である。検査治具３０は実施の形態１に係る検査治具１０と同様だが、検査ベース１２の表面から第１のガイド部４１が出ている点が異なる。

第１のガイド部４１は、検査ベース１２の検査端子１３が形成された面に形成されている。第１のガイド部４１はピン状の突起であり、検査時に配置するフレキシブル基板１７の外周に沿う位置に形成されている。すなわち第１のガイド部４１はフレキシブル基板１７の外周より外側に位置し、第１のガイド部４１の外周の一部がフレキシブル基板１７の外周と接するように形成されている。ここで第１のガイド部４１の外周の一部がフレキシブル基板１７の外周と接するようにとは、外周同士が必ず接触することを意味しておらず、ガイド部４１の案内による位置合わせが所望の精度で可能なら外周同士の間に隙間があってもよい。また第１のガイド部４１と吸着部品３５が干渉する場合は、吸着部品３５に干渉を回避するための干渉回避穴４２を形成すればよい。

（検査方法）
実施の形態２に係る検査治具を用いた検査方法を説明する。実施の形態２の検査方法は実施の形態１と同様だが、検査装置３１にフレキシブル基板１７を配置する際、第１のガイド部４１でフレキシブル基板１７を案内する点が異なる。

まず図６（ａ）のように検査装置３１の検査端子１３とフレキシブル基板１７の外部接続端子１９の位置合わせをする。その際、フレキシブル基板１７は第１のガイド部４１で案内されて、位置合わせがなされる。次に図６（ｂ）のように吸着部品３５をフレキシブル基材１８の表面に配置する。その際、吸着部品３５に干渉回避穴４２がある場合は、第１のガイド部４１が干渉回避穴４２にはまるようにする。次に図６（ｃ）のように真空吸着孔１４と第１のスルーホール２０の中を真空にする。次に吸着部品３５を水平に押してみるか上方に引き上げてみて吸着部品３５が吸着されているかどうかを調べ、位置合わせの成否を判定する。ただし吸着部品３５に干渉回避穴４２がある場合は、吸着部品３５を水平方向には押さず、上方に引き上げて吸着具合を調べる。

（効果）
以上のとおり実施の形態２によれば、第１のガイド部４１があるため、フレキシブル基板１７の外部接続端子１９と検査装置３１の検査端子１３の位置合わせが容易になる。ただし位置合わせの失敗は起こりうるため、位置合わせの成否判定が容易にできるという効果は実施の形態１と同様にある。

（その他）
なお図４、図５では第１のガイド部４１をフレキシブル基板１７の左右に１本ずつと、フレキシブル基板１７の端部側に１本配置したが、ガイド部４１の配置場所および数はこれに限らない。

また第１のガイド部４１をピン状の突起としたが、ピン状でなくてもよい。例えばブロック状のもの、壁状のものなどでもよい。第２のガイド部４３も同様である。

また図７のようにフレキシブル基材１８ｂに第２のスルーホール４４を形成し、検査ベース１２にピン状の突起である第２のガイド部４３を形成してもよい。その場合、第２のスルーホール４４はフレキシブル基材１８ｂの外部接続端子１９が形成されていない場所に形成される。第２のガイド部４３は、検査ベース１２の検査端子１３が形成された面の第２のスルーホール４４に対応する位置に、第２のスルーホール４４に挿入可能に形成される。第２のガイド部４３と第２のスルーホール４４の径は、検査時の扱いやすさと位置合わせ精度を考慮し、適宜決めればよい。図示しないが、吸着部品には第２のガイド部４３を避けるための穴を形成する。また第１のガイド部４１は配置せず、第２のガイド部４３だけを配置してもよい。また第２のガイド部４３と第２のスルーホールはそれぞれ複数あってもよい。

実施の形態３．
（構成）
本発明の実施の形態３に係る検査治具の構成を説明する。図８は実施の形態３に係る検査治具５０およびフレキシブル基板１７の図である。図９（ａ）は図８を上から見た図であり、図９（ｂ）は図９（ａ）のＣ－Ｃでの断面図である。検査治具５０は実施の形態１に係る検査治具１０と同様だが、検査ベース５２の表面に第１の凹部６１がある点が異なる。

第１の凹部６１は、検査時に配置するフレキシブル基板１７の外周の形状に合わせてくぼんでいる。第１の凹部６１の底には検査端子１３が形成されている。第１の凹部６１の深さはフレキシブル基材１８、外部接続端子１９および検査端子１３の厚さの合計より浅くなっており、検査時に吸着部品１５が検査ベース５２と干渉しない。

（検査方法）
実施の形態３に係る検査治具を用いた検査方法を説明する。実施の形態３の検査方法は実施の形態１と同様だが、検査装置５１にフレキシブル基板１７を配置する際、第１の凹部６１でフレキシブル基板１７を案内する点が異なる。

まず図１０（ａ）のように検査装置５１の検査端子１３とフレキシブル基板１７の外部接続端子１９の位置合わせをする。その際、フレキシブル基板１７は第１の凹部６１で案内されて、位置合わせがなされる。次に図１０（ｂ）のように吸着部品１５をフレキシブル基材１８の表面に配置する。次に図１０（ｃ）のように真空吸着孔５４と第１のスルーホール２０の中を真空にする。次に吸着部品１５が吸着されているかどうかを調べ、位置合わせの成否を判定する。

（効果）
以上のとおり実施の形態３によれば、第１の凹部６１があるため、フレキシブル基板１７の外部接続端子１９と検査装置５１の検査端子１３の位置合わせが容易になる。ただし位置合わせの失敗は起こりうるため、位置合わせの成否判定が容易にできるという効果は実施の形態１と同様にある。

実施の形態４．
（構成）
本発明の実施の形態４に係る検査治具の構成を説明する。図１１（ａ）は実施の形態４に係る検査治具７０およびフレキシブル基板１７を上から見た図であり、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＤ－Ｄでの断面図である。検査治具７０は実施の形態１に係る検査治具１０と同様だが、吸着部品７５に第２の凹部８１があり、さらに吸着部品７５が検査装置１１と連結機構（図示せず）で連結されている点が異なる。

吸着部品７５には、図１２に示すように第２の凹部８１が形成されている。図１２は説明のために吸着部品７５の上下を逆にして示した図である。第２の凹部８１は、検査時に配置するフレキシブル基板１７の外周の形状に合わせてくぼんでいる。第２の凹部８１の深さはフレキシブル基材１８、外部接続端子１９および検査端子１３の厚さの合計より浅くなっており、検査時に吸着部品７５が検査ベース１２と干渉しない。第２の凹部８１の底が吸着面７６になっている。

吸着部品７５は検査装置１１と、検査端子１３に近づくおよび遠ざかる方向に移動可能に連結機構で連結されている。この連結は、被検査装置とともに吸着部品７５が検査装置１１に近づく方向に連結機構に従って移動することで、外部接続端子１９と検査端子１３が位置合わせされるようになされている。

（検査方法）
実施の形態４に係る検査治具を用いた検査方法を説明する。実施の形態４の検査方法は実施の形態１と同様だが、検査装置１１にフレキシブル基板１７を配置する前に、第２の凹部８１にフレキシブル基板１７をセットしておき、そのあと吸着部品７５とフレキシブル基板１７を検査端子１３に近づけることで位置合わせする点が異なる。

まず図１３（ａ）のようにフレキシブル基板１７が第２の凹部８１にはまるように光モジュールを配置する。次に図１３（ｂ）のように吸着部品７５とフレキシブル基板１７を一体として検査端子１３に近づく方向に連結機構に従って移動させる。すると外部接続端子１９と検査端子１３が位置合わせされるため、外部接続端子１９と検査端子１３が向かい合って接触し、第１のスルーホール２０と真空吸着孔１４が重なる。次に図１３（ｃ）のように真空吸着孔１４と第１のスルーホール２０の中を真空にする。次に吸着部品７５が吸着されているかどうかを調べ、位置合わせの成否を判定する。

（効果）
以上のとおり実施の形態４によれば、第２の凹部８１があり、また吸着部品７５と検査装置１１が、外部接続端子１９と検査端子１３の位置合わせがなされるように連結されているため、フレキシブル基板１７の外部接続端子１９と検査装置１１の検査端子１３の位置合わせが容易になる。ただし位置合わせの失敗は起こりうるため、位置合わせの成否判定が容易にできるという効果は実施の形態１と同様にある。

（その他）
なお検査装置１１ｂにピン状の突起である第３のガイド部８２を形成し、吸着部品７５ｂにガイド穴８３を形成し、検査時に第３のガイド部８２をガイド穴８３に挿入する構成でもよい。図１４（ａ）はこの変形例の検査治具７０ｂおよびフレキシブル基板１７を上から見た図であり、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のＥ－Ｅでの断面図である。図１４に示すように、検査装置１１ｂの検査端子１３が形成された面には検査時に配置するフレキシブル基板１７の外側に第３のガイド部８２が形成され、吸着部品７５ｂには第３のガイド部８２に対応する位置に、第３のガイド部８２が挿入可能なガイド穴８３が形成されている。第３のガイド部８２とガイド穴８３の径は、検査時の扱いやすさと位置合わせ精度を考慮し、適宜決めればよい。また吸着部品７５ｂが検査装置１１ｂと連結されていなくてもよい。連結されていなくても第３のガイド部８２がガイド穴８３にはまることで位置合わせが容易である。また第３のガイド部８２はピン状の突起でなく、例えばブロック状のもの、壁状のものなどでもよい。

１０，３０，３０ｂ，５０，７０，７０ｂ検査治具
１１，３１，３１ｂ，５１検査装置
１２，５２検査ベース
１３検査端子
１４，５４真空吸着孔
１５，３５，７５，７５ｂ吸着部品
１６，３６，７６吸着面
１７，１７ｂフレキシブル基板
１８，１８ｂフレキシブル基材
１９外部接続端子
２０第１のスルーホール
４１第１のガイド部
４３第２のガイド部
４４第２のスルーホール
６１第１の凹部
８１第２の凹部
８２第３のガイド部
８３ガイド穴

Claims

フレキシブル基材と、前記フレキシブル基材の裏面に形成された外部接続端子とを有するフレキシブル基板を備えた被検査装置の検査に用いる検査治具を用いた検査方法であって、
前記検査治具は、
検査ベースと、前記検査ベースに形成された検査端子とを有する検査装置と、
吸着面を有する吸着部品とを備え、
前記外部接続端子には、前記フレキシブル基材を含めて貫通する第１のスルーホールが形成され、
前記検査端子には、検査時に配置する前記フレキシブル基板の前記第１のスルーホールに対応する位置に真空吸着孔が形成され、
検査時に、前記外部接続端子と前記検査端子が向かい合い、かつ、前記第１のスルーホールと前記真空吸着孔が重なるように前記被検査装置が配置され、前記吸着面が前記第１のスルーホールを覆うように前記フレキシブル基材の表面に前記吸着部品が配置され、前記第１のスルーホールおよび前記真空吸着孔の中を真空にすることで、前記吸着面が前記フレキシブル基材に吸着され、かつ、前記外部接続端子が前記検査端子に吸着され、
前記外部接続端子と前記検査端子の位置合わせは、前記吸着部品に水平方向に力を加えた際、または前記吸着部品を上方に引き上げた際、前記吸着部品が動かない場合に成功したと判定し、前記吸着部品が動く場合に失敗したと判定する検査方法。
前記検査ベースの前記検査端子が形成された面には、検査時に配置する前記フレキシブル基板の外周に沿う位置に第１のガイド部が形成された請求項１に記載の検査方法。
前記フレキシブル基材には、前記外部接続端子が形成されていない場所に第２のスルーホールが形成され、
前記検査ベースの前記検査端子が形成された面には、検査時に配置する前記フレキシブル基板の前記第２のスルーホールに対応する位置に、前記第２のスルーホールに挿入可能な第２のガイド部が形成された請求項１または２に記載の検査方法。
前記検査ベースには、検査時に配置する前記フレキシブル基板の外周の形状に合わせてくぼみ、前記検査端子が底に形成され、深さが前記フレキシブル基材、前記外部接続端子および前記検査端子の厚さの合計より浅い第１の凹部が形成された請求項１～３のいずれか１項に記載の検査方法。
前記吸着部品には、前記フレキシブル基板の外周の形状に合わせてくぼみ、底に前記吸着面があり、深さが前記フレキシブル基材、前記外部接続端子および前記検査端子の厚さの合計より浅い第２の凹部が形成され、
前記吸着部品は、前記検査端子に近づくおよび遠ざかる方向に移動可能に前記検査装置と連結機構で連結され、
検査時に、前記フレキシブル基板が前記第２の凹部にはまるように前記被検査装置が配置され、前記被検査装置とともに前記吸着部品が前記検査端子に近づく方向に前記連結機構に従って移動することで前記外部接続端子と前記検査端子が向かい合って接触し、かつ、前記第１のスルーホールと前記真空吸着孔が重なる請求項１～３のいずれか１項に記載の検査方法。
前記検査ベースの前記検査端子が形成された面には、検査時に配置する前記フレキシブル基板の外側に第３のガイド部が形成され、
前記吸着部品には、前記フレキシブル基板の外周の形状に合わせてくぼみ、底に前記吸着面があり、深さが前記フレキシブル基材、前記外部接続端子および前記検査端子の厚さの合計より浅い第２の凹部が形成され、
前記吸着部品には、さらに、ガイド穴が形成され、
検査時に、前記フレキシブル基板が前記第２の凹部にはまるように前記被検査装置が配置され、前記被検査装置とともに前記吸着部品を前記検査端子に近づく方向に移動させて前記第３のガイド部を前記ガイド穴に挿入することで前記外部接続端子と前記検査端子が向かい合って接触し、かつ、前記第１のスルーホールと前記真空吸着孔が重なる請求項１～３のいずれか１項に記載の検査方法。