JP5507526B2 - 検査治具 - Google Patents
検査治具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5507526B2 JP5507526B2 JP2011246516A JP2011246516A JP5507526B2 JP 5507526 B2 JP5507526 B2 JP 5507526B2 JP 2011246516 A JP2011246516 A JP 2011246516A JP 2011246516 A JP2011246516 A JP 2011246516A JP 5507526 B2 JP5507526 B2 JP 5507526B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor sheet
- pusher
- contact surface
- side contact
- inspection jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
しかしながら、センサーシートの製造時に反り等がある場合、特許文献1に記載の検査装置では、検査されるセンサーシートが必ずしも平坦とならない場合がある。このため、センサーシートが実際に使用される条件とは異なる条件下での検査となり、検査結果の信頼性が低下するおそれがある。
本発明の検査治具は、検出電極を有する静電容量センサーシートの検査をするために前記検出電極に接続される検査装置に適用される検査治具であって、前記静電容量センサーシートとの間に空気層を生じさせる凹部を有し前記静電容量センサーシートが載置される載置台と、前記凹部内に設けられ、前記載置台に載置された前記静電容量センサーシートの厚さ方向からみたときに前記検出電極と重なる位置で前記静電容量センサーシートを支持する柱状部と、前記検査装置と電気的に接続され前記柱状部との間に前記検出電極が挟まれるように前記静電容量センサーシートに押し当てられる押し子と、前記静電容量センサーシートの厚さ方向の一方の表面を前記柱状部に密着させる密着手段と、を備えることを特徴とする検査治具である。
本発明の第1実施形態の検査治具10について、検査治具10を備える検査装置1を例に説明する。図1は、検査装置およびセンサーシートを示すブロック図である。
図1に示すように、検査装置1は、静電容量の変化を検出するための静電容量センサーシート100(以下、単に「センサーシート100」と称する。)を検査する装置である。本実施形態で検査装置1によって検査されるセンサーシート100は、板状、シート状、あるいはフィルム状に形成された絶縁体からなる基板101と、基板101上に形成された検出電極102と、検出電極102に一端が接続された配線103とを有している。配線103の他端は、基板101の周縁部に配置されており、静電容量を検出する検出回路に接続するための端子となっている。
検査装置1は、センサーシート100を保持する検査治具10と、センサーシート100の端子に接続される検査回路30と、検査回路30による検査結果を表示する表示部40とを備える。
図2、図3、および図4に示すように、検査治具10は、載置台11と、柱状部15と、押し子17と、ガイド部材20とを備える。
図3および図4に示すように、載置台11は、センサーシート100が載置される台であり、センサーシート100が載置される載置面12を有する略直方体形状に形成されている。
図4および図5に示すように、載置台11には、平面視でセンサーシート100の周縁より僅かに内側に輪郭が位置する凹部13と、載置面12に直交する方向へ載置面12から突出した凸部14とが形成されている。
柱状部15の中心軸線方向における柱状部側密着面16の位置は、載置面12と面一となっている。これにより、柱状部15は、載置面12上に載置されたセンサーシート100を載置面12に沿って支持することができる。
押し子17における押し子側密着面18と反対側の端面には、検査装置1の検査回路30と電気的に接続するためのコードが取り付けられている。本実施形態では、押し子17は、検査装置1の検査回路30におけるグランドに接続される。
図3に示すように、ガイド部材20は、載置台11の凸部14によって、載置台11の載置面12との間に隙間が空けられた状態で支持される。
検査治具10は、静電容量の変化を検出する検査回路30を備えた検査装置1とともに使用される。なお、以下では、検査装置1が自己容量方式のセンサーシート100の検査を行う場合を例にして説明する。
図5に示すように、センサーシート100の外縁は、載置面12によって支持される。さらに、センサーシート100の検出電極102は、柱状部15の柱状部側密着面16によって支持される。センサーシート100の一方の表面100aは、凹部13によって生じる空気層と接している。
センサーシート100の1つの検出電極102のみを検査するときには、押し子17を貫通孔21に1つだけ挿入する。また、センサーシート100の複数の検出電極102を検査するときには、検査する部位に対応する貫通孔21に押し子17をそれぞれ挿入する。さらに、1つの検出電極102の複数の位置への同時入力を検査する場合には、検査対象となる位置に対応する貫通孔21にそれぞれ押し子17を挿入する。
検査が終了したら、押し子17およびガイド部材20を取り外し、センサーシート100を載置台11および検査回路30から取り外して一連の作業を終了する。
次に、上述の実施形態で説明した検査治具10の変形例について説明する。図7は、本変形例の検査治具を示す部分断面図である。
本変形例の検査治具10Aは、押し子17に代えて押し子17Aを備え、ガイド部材20に代えてガイド部材20Aを備える点で上述の検査治具10と構成が異なっている。
押し子本体17A1は、円柱形状に形成された軸部と、軸部の直径よりも細くガイド部材20Aの貫通孔21Aに挿入される円柱形状の挿入部とを備える。押し子本体17A1の挿入部の端面は、上述の押し子側密着面18と同様の押し子側密着面18が形成されている。
さらに、スペーサ19には、押し子本体17A1の押し子側密着面18と密着するスペーサ内密着面19cと、センサーシート100の他方の表面100bの形状に倣って形成された押し子側第二密着面19dとが形成されている。
貫通孔21Aは、スペーサ19を係止するための係止部22を有する。係止部22は、ガイド部材20Aの上面側においてフランジ19bの外寸より大きく、ガイド部材20Aの下面側においてフランジ19bの外寸より小さくなるように貫通孔21Aの内面に形成された段差からなる。
係止部22にスペーサ19が係止された状態では、押し子側第二密着面19dは、柱状部側密着面16と接触可能な程度までガイド部材20Aの下面よりも突出する。これにより、スペーサ19が押し子17に取り付けられた状態ではスペーサ19がガイド部材20Aと載置台11との間に落ち込むことなく押し子側第二密着面19dをセンサーシート100に押し付けることができる。
次に、上述の実施形態の他の変形例について説明する。図8は、本変形例の検査治具を図2のA−A線と同様の断面で示す断面図である。
本変形例の検査治具10Bは、載置面12上に、センサーシート100を位置決めするための位置決め部材11Bが設けられている点が上述の検査治具10と異なっている。
位置決め部材11Bは、たとえば載置台11に形成された凹部13の開口の周囲に沿って所定の間隔を開けて複数設けられた突起状に形成されている。位置決め部材11Bによって囲まれる領域内にセンサーシート100を入れ込むことにより、載置面12上でセンサーシート100を位置決めすることができる。
次に、上述の実施形態のさらに他の変形例について説明する。図9は、本変形例の検査治具を図2のA−A線と同様の断面で示す断面図である。
図9に示すように、本変形例の検査治具10Cは、センサーシート100の位置決めをすることができるとともに凹部13の底部とセンサーシート100との距離を調整できる点が上述の検査治具10と異なっている。
本変形例では、凹部13は、センサーシート100を内部に収容できる形状に開口されている。また、柱状部15に加えて、センサーシート100の外縁を支持する支持部材11Cをさらに備える。
また、柱状部15と支持部材11Cとは、載置台11に対して着脱自在であり、中心軸線方向の長さが異なる複数種類が用意されている。
本変形例では、中心軸線方向の長さが異なる柱状部15および支持部材11Cから1種類を選択して載置台11に取り付ける。これにより、柱状部15の上端は一平面上に揃い、センサーシート100を支持するための載置面12Aが生じる。また、支持部材11Cによって、センサーシート100における検出電極102の位置は位置決めされる。載置面12Aにセンサーシート100を載置することによって、上述の実施形態および変形例と同様にセンサーシート100の検出電極102に対する検査を行うことができる。
次に、上述の実施形態のさらに他の変形例について説明する。図10は、本変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図であり、図2のA−A線と同様の断面で示した図である。
図10に示すように、本変形例では、吸引通路15aの形状が異なっている。柱状部側密着面16に設けられた吸引通路15aの開口15a1は、柱状部側密着面16の平面視において、柱状部側密着面16の外周に沿った複数個所に形成されている。
本変形例では、センサーシート100を検査する際に、柱状部側密着面16の中央近傍ではセンサーシート100は平坦な状態で柱状部15に支持される。このため、本変形例の構成によれば、押し子17が接する部分を確実に平坦にしつつセンサーシート100を保持することができる。
なお、吸引通路15aは、各柱状部15に複数設けられていてもよい。
次に、本発明の第2実施形態の検査治具について説明する。図11は、本実施形態の検査治具の一部の構成を示す断面図であり、図2のA−A線と同様の断面で示した図である。
図11に示すように、本実施形態では、吸引通路15に代えて、柱状部側密着面16が粘着層(密着手段)23を備えている点が異なっている。
この場合、粘着層23は、センサーシート100に対する粘着力よりも柱状部15に対する粘着力の方が高いとさらに好ましい。これにより、検査治具10を用いた検査時に、検査対象となるセンサーシート100を検査治具10から取り外すときに粘着層23が柱状部15側に残る。
なお、粘着層23は柱状部15に固定されていてもよい。
次に、上述の実施形態の変形例について説明する。図12は、本変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図であり、図2のA−A線と同様の断面で示した図である。
図12に示すように、本変形例では、上述の第2実施形態で説明した粘着層23に代えて、材質及び形状が異なる粘着層(密着手段)23Aを備えている点が異なっている。
粘着層23Aは、センサーシート100(図11参照)の表面形状に倣って変形する柔軟な樹脂からなっている。また、粘着層23Aには、センサーシート100に接する側の面に、微小な凹部24が形成されている。本実施形態では、微小な凹部24は、各粘着層23Aに対して1つ以上設けられている。
次に、本発明の第3実施形態の検査治具について説明する。図13は、本実施形態の検査治具の一部の構成を示す断面図であり、図2のA−A線と同様の断面で示した図である。
図13に示すように、本実施形態では、センサーシート100の表面を柱状部側密着面16に押し付けるピン(密着手段)25をさらに備えている点が上記第1実施形態と異なっている。
ピン25は、ガイド部材20に設けられている。また、ピン25は、載置台11にガイド部材20が取り付けられた状態において、柱状部側密着面16の外周に沿う複数個所に突出端25aが向けられている。また、本実施形態では、ピン25は、柱状部15に対して1つ以上設けられている。なお、1つのピン25が複数の突出端25aを有していてもよい。
本実施形態の構成であっても、上述の第1実施形態、第2実施形態と同様の効果を奏する。
次に、上述の実施形態の変形例について説明する。図14は、本変形例の検査治具の一部の構成を示す平面図である。図15は、図14のB矢視図である。
図14及び図15に示すように、本変形例では、ピン(密着手段)25が、柱状部15の中心軸線に対して交差する方向に延び、且つ弾性を有している点が異なっている。
本変形例では、載置台11とガイド部材20との間にセンサーシート100が配された状態で載置台11とガイド部材20とを組み合わせると、ピン25の突出端25aがセンサーシート100に接する。さらに、ピン25はセンサーシート100に押し返されることによって弾性変形する。
このような構成であると、センサーシート100の厚さ寸法に誤差があってもセンサーシート100を過剰に圧迫することなくセンサーシート100を平坦な状態に矯正することができる。
次に、上述の実施形態の他の変形例について説明する。図16は、本変形例の検査治具の一部の構成を一部断面で示す斜視図である。図17は、本変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
図16及び図17に示すように、本変形例では、ピン(密着手段)25に代えて、ガイド部20に設けられた上部ピン26と、載置台11に設けられた下部ピン27とを有するピン(密着手段)28が、複数の柱状部15から離間した位置に配されている。
上部ピン26と下部ピン27とは、上部ピン26の突出端面と下部ピン27の突出端面とが、センサーシート100の厚さ寸法だけ隙間を開けて互いに対向するように対になっている。また、本変形例では、上部ピン26の突出端面及び下部ピン27の突出端面とは、いずれも平坦な平面となっている。
本変形例では、複数の柱状部15からピン28が離間して配置されているので、ピン28があることによるセンサーシート100の検査結果への影響を低く抑えることができる。
たとえば、上述の実施形態では、センサーシートを柱状部側密着面に吸着させることによりセンサーシートを平坦とする例を示したが、センサーシートは湾曲状態で保持されてもよい。一例を挙げると、複数の柱状部側密着面によって全体として湾曲した面が構成されるように複数の柱状部が設けられていれば、センサーシートが所定の湾曲形状を有している状態でセンサーシートを保持することができる。このような構成であれば、例えば湾曲面を有する筐体にセンサーシートが固定されるような使用方法に適用されるセンサーシートであっても好適に検査することができる。
また、上述の実施形態および変形例において示した構成要素は適宜に組み合わせて構成することが可能である。
10、10A、10B、10C 検査治具
11 載置台
12、12A 載置面
13 凹部
14 凸部
15 柱状部
15a 吸引通路(密着手段)
15a1、15a2 開口
16 柱状部側密着面
17、17A 押し子
17A1 押し子本体
18 押し子側密着面
19 スペーサ
19d 押し子側第二密着面
20、20A ガイド部材
21、21A 貫通孔
22 係止部
23、23A 粘着層(密着手段)
24 微小な凹部
25、28 ピン(密着手段)
25a 突出端
30 検査回路
40 表示部
100 センサーシート(静電容量センサーシート)
100a 一方の表面
100b 他方の表面
102 検出電極
Claims (8)
- 検出電極を有する静電容量センサーシートの検査をするために前記検出電極に接続される検査装置に適用される検査治具であって、
前記静電容量センサーシートとの間に空気層を生じさせる凹部を有し前記静電容量センサーシートが載置される載置台と、
前記凹部内に設けられ、前記載置台に載置された前記静電容量センサーシートの厚さ方向からみたときに前記検出電極と重なる位置で前記静電容量センサーシートを支持する柱状部と、
前記検査装置と電気的に接続され前記柱状部との間に前記検出電極が挟まれるように前記静電容量センサーシートに押し当てられる押し子と、
前記静電容量センサーシートの厚さ方向の一方の表面を前記柱状部に密着させる密着手段と、
を備えることを特徴とする検査治具。 - 請求項1に記載の検査治具であって、
前記密着手段は、
前記一方の表面の形状に倣って前記柱状部に形成された柱状部側密着面と、
前記柱状部側密着面に形成された開口と、
前記柱状部側密着面に接する前記一方の表面を前記開口を通じて吸引するために前記柱状部に形成された吸引通路と、
を備えることを特徴とする検査治具。 - 請求項1に記載の検査治具であって、
前記密着手段は、前記柱状部に設けられ、前記一方の表面の形状に倣った形状で前記一方の表面に対して再剥離可能に付着する柱状部側密着面を備えることを特徴とする検査治具。 - 請求項1に記載の検査治具であって、
前記密着手段は、
前記一方の表面の形状に倣って前記柱状部に形成された柱状部側密着面と、
前記静電容量センサーシートにおける前記一方の表面に対する他方の表面に接し、前記一方の表面を前記柱状部側密着面に押し付けるピンを備える
ことを特徴とする検査治具。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の検査治具であって、
前記押し子は、前記一方の表面に対する他方の表面に密着するように前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側密着面を有することを特徴とする検査治具。 - 請求項5に記載の検査治具であって、
前記押し子側密着面は直径が5mm以上20mm以下の円形に形成され、
前記柱状部側密着面は前記押し子側密着面の直径よりも大きい直径を有する円形に形成されている
ことを特徴とする検査治具。 - 請求項6に記載の検査治具であって、
前記載置台に着脱可能に取り付けられ前記押し子を前記柱状部へ向けて案内するガイド部材を有し、
前記ガイド部材には、前記柱状部の中心軸と同軸状に前記ガイド部材を貫通する貫通孔が形成され、
前記貫通孔の内寸は、前記押し子が進退自在に挿通されるとともに前記押し子の中心軸が前記柱状部の中心軸と略同軸となるように前記押し子を支持可能な内寸であり、
前記柱状部側密着面の外寸は、前記貫通孔の内寸と略等しい
ことを特徴とする検査治具。 - 請求項5から7のいずれか一項に記載の検査治具であって、
前記押し子は、
前記検査装置と電気的に接続され前記押し子側密着面が形成された押し子本体と、
前記押し子本体に対して着脱可能であり前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側第二密着面を有し押し子側密着面と前記静電容量センサーシートとの間に所定の隙間を生じさせるスペーサと、
を有し、
前記スペーサの誘電率は、前記静電容量センサーシートの使用時に前記静電容量センサーシートの厚さ方向に重ねられるパネルの誘電率と略同じであり、
前記所定の隙間の大きさは、前記パネルの厚さと略等しい
ことを特徴とする検査治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011246516A JP5507526B2 (ja) | 2011-11-10 | 2011-11-10 | 検査治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011246516A JP5507526B2 (ja) | 2011-11-10 | 2011-11-10 | 検査治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013105196A JP2013105196A (ja) | 2013-05-30 |
JP5507526B2 true JP5507526B2 (ja) | 2014-05-28 |
Family
ID=48624714
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011246516A Active JP5507526B2 (ja) | 2011-11-10 | 2011-11-10 | 検査治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5507526B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113707576A (zh) * | 2021-08-13 | 2021-11-26 | 矽品科技(苏州)有限公司 | 一种上片机料盒误用防呆装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001196425A (ja) * | 1999-10-25 | 2001-07-19 | Ibiden Co Ltd | ウエハプローバおよびウエハプローバに使用されるセラミック基板 |
JP2001296325A (ja) * | 2000-04-18 | 2001-10-26 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査方法および回路基板検査装置 |
JP2005292090A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Sony Corp | 検査装置、検査治具および検査方法 |
JP2010044730A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-25 | Nec Corp | タッチパネル検査装置およびタッチパネル検査方法 |
JP2011090358A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Aitesu:Kk | 静電容量式タッチパネルの検査装置、及び検査方法 |
JP2011108510A (ja) * | 2009-11-18 | 2011-06-02 | Victor Co Of Japan Ltd | 静電容量式スイッチ検査装置 |
JP5507487B2 (ja) * | 2011-03-17 | 2014-05-28 | 信越ポリマー株式会社 | 検査治具 |
-
2011
- 2011-11-10 JP JP2011246516A patent/JP5507526B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013105196A (ja) | 2013-05-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI637446B (zh) | 檢測夾具 | |
TWI775836B (zh) | 檢查治具以及基板檢查裝置 | |
TWI821332B (zh) | 檢查工具及檢查裝置 | |
TW201142324A (en) | Capacitive opens testing in low signal environments | |
JP5822042B1 (ja) | 検査治具、基板検査装置、及び検査治具の製造方法 | |
WO2006030573A1 (ja) | 回路基板検査装置 | |
JPH1164426A (ja) | プリント基板の検査装置およびプリント基板の検査 装置の組み立てキット | |
JP5507526B2 (ja) | 検査治具 | |
JP5098339B2 (ja) | 基板検査治具の製造方法 | |
KR101570215B1 (ko) | 전자 디바이스의 검사장치 | |
JP5507487B2 (ja) | 検査治具 | |
TW201617626A (zh) | 測試座 | |
JP2018004341A (ja) | 打点試験装置及び打点試験方法 | |
CN109683077A (zh) | 晶圆级多点测试结构 | |
JPS63302377A (ja) | 回路基板検査装置 | |
CN201867430U (zh) | 测试机台的定位结构 | |
KR200458562Y1 (ko) | 필름 시트 형 프로브를 가진 액정 패널 테스트 프로브 장치 | |
KR20130126566A (ko) | 가성불량 방지를 위한 핀 블록 및 이를 이용한 부품검사기 | |
JP7364100B2 (ja) | 検査方法 | |
US10184978B2 (en) | Probe card and method for producing a probe card | |
JPH1151999A (ja) | プリント配線基板の検査装置、プレート状検査治具及び検査方法 | |
TW201833561A (zh) | 探測針以及檢查單元 | |
CN210243693U (zh) | 基板用双模式检查夹具及基板用检查装置 | |
KR101966895B1 (ko) | 터치 센서 검사 장치 및 방법 | |
JPH1152000A (ja) | プリント配線基板の検査装置及び検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130812 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140212 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140218 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140319 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5507526 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |