JP2019186475A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 基板保持装置と、基板の上面をスクラブする処理ヘッドとを備えた基板処理装置であって、
   前記基板保持装置は、
   前記基板を保持する基板ホルダと、
   前記基板ホルダに保持された前記基板を回転させる基板回転機構とを備え、
   前記基板ホルダは、前記基板の最外周面を保持する保持チャックを備えており、
   前記保持チャックは、前記基板が前記保持チャックに保持された状態において、前記基板の上面よりも上方に突出しないように、前記基板の上面よりも下方に配置されていることを特徴とする基板処理装置。
2. 前記保持チャックは、前記基板の周方向に沿って等間隔に配置された複数のチャック部材を備えていることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
3. 前記基板保持装置は、前記保持チャックの前記基板との接触面を洗浄する洗浄機構を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の基板処理装置。
4. 前記基板ホルダは、
   前記保持チャックを前記基板に近接する方向に移動させるプッシャと、
   前記保持チャックを前記基板から離間する方向に移動させるリリーサとを備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
5. 前記基板保持装置は、前記基板を吸引保持する基板吸引機構を備えていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
6. 前記基板保持装置は、前記基板を前記基板ホルダの上方まで押し上げる基板押し上げ機構を備えていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の基板処理装置。
7. 前記基板回転機構は、
   前記基板ホルダを支持するホルダ支持部材と、
   前記ホルダ支持部材に連結され、前記ホルダ支持部材を前記基板の軸心を中心として回転させる回転装置とを備えていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の基板処理装置。
8. 基板を保持する基板ホルダと、
   前記基板ホルダに保持された前記基板を回転させる基板回転機構とを備え、
   前記基板ホルダは、前記基板の最外周面を保持する保持チャックを備えており、
   前記保持チャックは、前記基板が前記保持チャックに保持された状態において、前記基板の上面よりも上方に突出しないように、前記基板の上面よりも下方に配置されていることを特徴とする基板保持装置。
9. 前記保持チャックは、前記基板の周方向に沿って等間隔に配置された複数のチャック部材を備えていることを特徴とする請求項８に記載の基板保持装置。
10. 前記基板保持装置は、前記保持チャックの前記基板との接触面を洗浄する洗浄機構を備えていることを特徴とする請求項８または９に記載の基板保持装置。
11. 前記基板ホルダは、
    前記保持チャックを前記基板に近接する方向に移動させるプッシャと、
    前記保持チャックを前記基板から離間する方向に移動させるリリーサとを備えていることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の基板保持装置。
12. 前記基板保持装置は、前記基板を吸引保持する基板吸引機構を備えていることを特徴とする請求項８乃至１１のいずれか一項に記載の基板保持装置。
13. 前記基板保持装置は、前記基板を前記基板ホルダの上方まで押し上げる基板押し上げ機構を備えていることを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか一項に記載の基板保持装置。
14. 前記基板回転機構は、
    前記基板ホルダを支持するホルダ支持部材と、
    前記ホルダ支持部材に連結され、前記ホルダ支持部材を前記基板の軸心を中心として回転させる回転装置とを備えていることを特徴とする請求項８乃至１３のいずれか一項に記載の基板保持装置。