JP2012064800A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 単一のウェーハを回転させながら洗浄する枚葉式のウェーハ洗浄装置であって、
   回転可能に軸支されると共に中心部に開口を有するステージと、
   前記ステージ上において前記ウェーハを支持する支持部材と、
   前記ステージの前記開口内に設けられ、前記ウェーハの裏面に処理液又はガスを供給する少なくとも一つのノズルと、
   前記開口内において前記ノズルを保持するノズル保持部材とを備え、
   前記ノズル保持部材の上部は、前記開口よりも小径な略円柱形状を有し、且つ、前記ステージの前記開口に装入されており、
   前記ノズルの先端は前記ノズル保持部材を貫通して前記ノズル保持部材の上面に露出していることを特徴とするウェーハ洗浄装置。
2. 前記ノズル保持部材と前記ステージとの境界の段差が実質的にないことを特徴とする請求項１に記載のウェーハ洗浄装置。
3. 前記ノズル保持部材の前記上面は、前記ステージの回転の中心から外周方向に向かって下りの傾斜面を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のウェーハ洗浄装置。
4. 前記ノズル保持部材の上面は前記ステージの上面と実質的に面一であることを特徴とする請求項１又は２に記載のウェーハ洗浄装置。
5. 前記ノズル保持部材の上面は前記ステージの上面よりも上方に位置することを特徴とする請求項１に記載のウェーハ洗浄装置。
6. 前記ノズルの先端に残った前記処理液の一部は、前記ノズル保持部材と前記ステージとの間の隙間を通って排出されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のウェーハ洗浄装置。
7. 前記ノズル保持部材の少なくとも表面がポリテトラフロロエチレンからなることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のウェーハ洗浄装置。