JP2014033178A5 - - Google Patents

Description

本発明は、回転する基板に処理液を供給して当該基板を洗浄する液処理装置において、液処理装置に設けられたカップを洗浄する技術に関する。

本発明は、基板を処理液で処理するための液処理装置であって、基板を水平に保持する基板保持部と、前記基板保持部を回転させる基板回転機構と、前記基板保持部に保持された基板を囲い、基板に供給した後の処理液を受けるカップと、少なくとも前記カップを洗浄するための円板状の洗浄用治具を収納する洗浄用治具収納部と、前記基板保持部の上方に位置し、洗浄液を供給する洗浄液供給部と、を備え、前記洗浄液供給部は、前記洗浄用治具が前記基板保持部により保持されたときに洗浄液が供給される上面において、前記洗浄用治具の外周縁の近傍に、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられている前記洗浄用治具に洗浄液を供給する、液処理装置を提供する。

また、本発明は、カップ内で回転する基板に処理液を供給した後に少なくとも前記カップを洗浄するための洗浄用治具であって、円板状であるとともに、前記カップ内に配置されたときに洗浄液が供給される上面において、前記洗浄用治具の外周縁の近傍に、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられている洗浄用治具を提供する。

さらに、本発明は、液処理装置における少なくともカップを洗浄するための洗浄方法であって、円板状の洗浄用治具を基板保持部により保持させる工程と、前記基板保持部を回転させて前記洗浄用治具を回転させる工程と、回転している前記洗浄用治具に上方から洗浄液を供給する工程と、前記洗浄用治具に供給された洗浄液を、当該洗浄用治具の外周縁の近傍において前記洗浄用治具の全周にわたって設けられた傾斜部の傾斜面に沿って、斜め上方に飛散させて前記カップを洗浄する工程と、を備えた、洗浄方法を提供する。

本発明によれば、洗浄用治具の外周縁の近傍に、当該洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられているため、カップにおける所望の箇所に洗浄液を的確に供給することができ、カップをまんべんなく洗浄することができる。

Claims (19)

1. 基板を処理液で処理するための液処理装置であって、
   基板を水平に保持する基板保持部と、
   前記基板保持部を回転させる基板回転機構と、
   前記基板保持部に保持された基板を囲い、基板に供給した後の処理液を受けるカップと、
   少なくとも前記カップを洗浄するための円板状の洗浄用治具を収納する洗浄用治具収納部と、
   前記基板保持部の上方に位置し、洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
   を備え、
   前記洗浄液供給部は、前記洗浄用治具が前記基板保持部により保持されたときに洗浄液が供給される上面において、前記洗浄用治具の外周縁の近傍に、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられている前記洗浄用治具に洗浄液を供給する、液処理装置。
2. 前記洗浄用治具の前記上面の中央部分に、前記上面に供給された洗浄液を前記洗浄用治具を通過させて前記洗浄用治具の下方に案内する貫通穴が設けられている、請求項１記載の液処理装置。
3. 前記カップは、前記基板保持部に設けられた回転カップと、前記回転カップを囲む液回収カップを含み、
   前記傾斜部は、前記回転カップと前記液回収カップとの間の隙間に向かって前記洗浄液が飛散するような形状を有する、請求項１または２記載の液処理装置。
4. 前記洗浄用治具は、水平部と前記傾斜部とを有し、
   前記水平部と前記傾斜部とが接する位置に貫通孔が設けられている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液処理装置。
5. 前記貫通孔は、前記洗浄用治具の周方向において複数設けられている、請求項４記載の液処理装置。
6. 前記洗浄用治具の外周縁の近傍には、前記傾斜部の前記貫通孔から出た洗浄液を前記洗浄用治具の径方向外方に向かって水平方向に案内する案内部が設けられている、請求項４または５記載の液処理装置。
7. 前記傾斜部には、少なくとも２段の傾斜部分が設けられている、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液処理装置。
8. カップ内で回転する基板に処理液を供給した後に少なくとも前記カップを洗浄するための洗浄用治具であって、
   円板状であるとともに、前記カップ内に配置されたときに洗浄液が供給される上面において、前記洗浄用治具の外周縁の近傍に、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられている洗浄用治具。
9. 前記上面の中央部分に、前記上面に供給された洗浄液を前記洗浄用治具を通過させて前記洗浄用治具の下方に案内する貫通穴が設けられている、請求項８記載の洗浄用治具。
10. 前記傾斜部には貫通孔が設けられている、請求項８または９記載の洗浄用治具。
11. 前記貫通孔は、前記洗浄用治具の周方向において複数設けられている、請求項１０記載の洗浄用治具。
12. 前記洗浄用治具の外周縁の近傍には、前記傾斜部の前記貫通孔から出た洗浄液を前記洗浄用治具の径方向外方に向かって略水平方向に案内する案内部が設けられている、請求項１０または１１記載の洗浄用治具。
13. 前記傾斜部には、少なくとも２段の傾斜部分が設けられている、請求項８記載の洗浄用治具。
14. 液処理装置における少なくともカップを洗浄するための洗浄方法であって、
    円板状の洗浄用治具を基板保持部により保持させる工程と、
    前記基板保持部を回転させて前記洗浄用治具を回転させる工程と、
    回転している前記洗浄用治具に上方から洗浄液を供給する工程と、
    前記洗浄用治具に供給された洗浄液を、当該洗浄用治具の外周縁の近傍において前記洗浄用治具の全周にわたって設けられた傾斜部の傾斜面に沿って、斜め上方に飛散させて前記カップを洗浄する工程と、
    を備えた、洗浄方法。
15. 前記カップを洗浄する工程と同時に、回転する前記洗浄用治具の上方から供給された洗浄液の一部を、前記洗浄用治具に設けられた貫通穴を介して前記洗浄用治具の下方に導き、前記洗浄用治具の下方にある部材を洗浄する工程をさらに備えた、請求項１４記載の洗浄方法。
16. 前記洗浄用治具に供給された洗浄液を、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって水平方向にも案内する、請求項１４または１５記載の洗浄方法。
17. 回転している前記洗浄用治具に上方から洗浄液を供給する工程において、前記基板回転機構による前記洗浄用治具の回転速度を途中で変化させる、請求項１４乃至１６のいずれか一項に記載の洗浄方法。
18. 回転している前記洗浄用治具に下方から洗浄液を供給する工程を更に備えた、請求項１４乃至１７のいずれか一項に記載の洗浄方法。
19. 回転している前記洗浄用治具に上方から洗浄液を供給する際の前記洗浄用治具の回転速度よりも、回転している前記洗浄用治具に下方から洗浄液を供給する際の前記洗浄用治具の回転速度が大きくなっている、請求項１８記載の洗浄方法。