JP6017338B2 - 液処理装置、洗浄用治具および洗浄方法 - Google Patents
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Description
この第2の搬送部42は、ウエハWの裏面側周縁を保持する保持アーム44が進退自在、回転自在、昇降自在および搬送路46に沿って移動自在に設けられている。
なお、洗浄液は、第1処理液回収用タンク66および第2処理液回収用タンク68のうち何れの回収用タンクに送られるようになっていてもよい。
このことにより、回転カップ60における、傾斜部82の貫通孔84を通って洗浄用治具80から飛散する洗浄液(図5の矢印B参照)が当たる箇所とは異なる箇所に洗浄液を供給することができるようになり、回転カップ60の内側に対して洗浄液をよりまんべんなく供給することができるようになる。
26 第1の搬送部
40 処理ブロック
42 第2の搬送部
46 搬送路
50 液処理ユニット
52 基板保持台
52a 基板保持体
53 回転駆動軸
54 回転モータ
55 ノズル
56 洗浄液供給管
59 チャンバー
60 回転カップ(カップ)
62 液回収カップ(カップ)
64 昇降カップ
80 洗浄用治具
81 水平部
82 傾斜部
82a〜82c 第1〜第3の傾斜部分
84 貫通孔
86 案内部
88 端縁
89 貫通穴
90 洗浄用治具収納部
91 制御部
Claims (17)
- 基板を処理液で処理するための液処理装置であって、
基板を水平に保持する基板保持部と、
前記基板保持部を回転させる基板回転機構と、
前記基板保持部に保持された基板を囲い、基板に供給した後の処理液を受けるカップと、
少なくとも前記カップを洗浄するための円板状の洗浄用治具を収納する洗浄用治具収納部と、
前記基板保持部の上方に位置し、洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
を備え、
前記洗浄用治具が前記基板保持部により保持されたときに洗浄液が供給される上面において、前記洗浄用治具の外周縁の近傍に、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられ、かつ、前記洗浄用治具の前記上面の中央部分に、前記上面に供給された洗浄液を前記洗浄用治具を通過させて前記洗浄用治具の下方に案内する貫通穴が設けられており、前記洗浄液供給部が前記基板保持具により保持されて回転する前記洗浄用治具の前記上面に洗浄液を供給し、これにより、供給された洗浄液の一部が前記傾斜部から前記カップに向けて飛散するとともに供給された洗浄液の他の一部が前記貫通穴を通って前記基板保持部の基板保持台の上に落下する、液処理装置。 - 前記カップは、前記基板保持部に設けられた回転カップと、前記回転カップを囲む液回収カップを含み、
前記傾斜部は、前記回転カップと前記液回収カップとの間の隙間に向かって前記洗浄液が飛散するような形状を有する、請求項1記載の液処理装置。 - 基板を処理液で処理するための液処理装置であって、
基板を水平に保持する基板保持部と、
前記基板保持部を回転させる基板回転機構と、
前記基板保持部に保持された基板を囲い、基板に供給した後の処理液を受けるカップと、
少なくとも前記カップを洗浄するための円板状の洗浄用治具を収納する洗浄用治具収納部と、
前記基板保持部の上方に位置し、洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
を備え、
前記洗浄用治具が前記基板保持部により保持されたときに洗浄液が供給される上面において、前記洗浄用治具の外周縁の近傍に、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられ、かつ、前記洗浄用治具は水平部を有し、かつ、前記水平部と前記傾斜部とが接する位置において前記洗浄用治具に貫通孔が設けられ、前記洗浄液供給部が前記基板保持具により保持されて回転する前記洗浄用治具の前記上面に洗浄液を供給し、これにより、前記洗浄液の一部が前記傾斜部を介してカップの外面に供給されるとともに前記洗浄液の他の一部が前記貫通孔を通って前記カップの内面に供給される、液処理装置。 - 前記貫通孔は、前記洗浄用治具の周方向において複数設けられている、請求項3記載の液処理装置。
- 前記洗浄用治具の外周縁の近傍には、前記傾斜部の前記貫通孔から出た洗浄液を前記洗浄用治具の径方向外方に向かって水平方向に案内する案内部が設けられている、請求項3または4記載の液処理装置。
- 前記傾斜部には、少なくとも2段の傾斜部分が設けられている、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の液処理装置。
- カップ内で回転する基板に処理液を供給した後に少なくとも前記カップを洗浄するための洗浄用治具であって、
前記洗浄用治具は円板状であり、前記カップ内に配置されたときに洗浄液が供給される前記洗浄用治具の上面において、前記洗浄用治具の外周縁の近傍に、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられ、かつ、前記上面の中央部分に、前記上面に供給された洗浄液を前記洗浄用治具を通過させて前記洗浄用治具の下方に案内する貫通穴が設けられており、
前記カップ内で回転する前記洗浄用治具の前記上面に洗浄液を供給することにより、供給された洗浄液の一部が前記傾斜部から前記カップに向けて飛散するとともに供給された洗浄液の他の一部が前記貫通穴を通して基板保持台の上に落下するように構成されている、洗浄用治具。 - カップ内で回転する基板に処理液を供給した後に少なくとも前記カップを洗浄するための洗浄用治具であって、
前記洗浄用治具は円板状であり、前記カップ内に配置されたときに洗浄液が供給される前記洗浄用治具の上面において、前記洗浄用治具の外周縁の近傍に、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられ、かつ、前記洗浄用治具は水平部を有し、かつ、前記水平部と前記傾斜部とが接する位置において前記洗浄用治具に貫通孔が設けられており、前記カップ内で回転する前記洗浄用治具の前記上面に洗浄液を供給することにより、供給された洗浄液の一部が前記傾斜部からカップの外面に供給されるとともに供給された洗浄液の他の一部が前記貫通孔を通して前記カップの内面に供給されるように構成されている、洗浄用治具。 - 前記貫通孔は、前記洗浄用治具の周方向において複数設けられている、請求項8記載の洗浄用治具。
- 前記洗浄用治具の外周縁の近傍には、前記傾斜部の前記貫通孔から出た洗浄液を前記洗浄用治具の径方向外方に向かって略水平方向に案内する案内部が設けられている、請求項8または9記載の洗浄用治具。
- 前記傾斜部には、少なくとも2段の傾斜部分が設けられている、請求項7乃至10のいずれか一項に記載の洗浄用治具。
- 液処理装置における少なくともカップを洗浄するための洗浄方法であって、
円板状の洗浄用治具を基板保持部により保持させる工程と、
前記基板保持部を回転させて前記洗浄用治具を回転させる工程と、
回転している前記洗浄用治具の上面に上方から洗浄液を供給する工程と、
前記洗浄用治具に供給された洗浄液の一部を、当該洗浄用治具の外周縁の近傍において前記洗浄用治具の全周にわたって設けられた傾斜部の傾斜面に沿って、斜め上方に飛散させて前記カップを洗浄すると同時に、前記洗浄用治具に供給された洗浄液の他の一部を、前記洗浄用治具に設けられた貫通穴を介して前記洗浄用治具の下方に導き、前記洗浄用治具の下方にある前記基板保持部の基板保持台を洗浄する工程と、
を備えた、洗浄方法。 - 液処理装置における少なくともカップを洗浄するための洗浄方法であって、
円板状の洗浄用治具を基板保持部により保持させる工程と、
前記基板保持部を回転させて前記洗浄用治具を回転させる工程と、
回転している前記洗浄用治具の上面に上方から洗浄液を供給する工程と、
前記洗浄用治具に供給された洗浄液の一部を、当該洗浄用治具の外周縁の近傍において前記洗浄用治具の全周にわたって設けられた傾斜部の傾斜面に沿って、斜め上方に飛散させて前記カップの外面に供給すると同時に、供給された洗浄液の他の一部を前記洗浄用治具の水平部と前記傾斜部とが接する位置に設けられた貫通孔を通して前記カップの内面に供給する工程と、
を備えた、洗浄方法。 - 前記洗浄用治具に供給された洗浄液を、前記貫通孔を介して前記洗浄用治具の径方向外方に向かって水平方向に案内する、請求項13記載の洗浄方法。
- 回転している前記洗浄用治具に上方から洗浄液を供給する工程において、前記基板回転機構による前記洗浄用治具の回転速度を途中で変化させる、請求項12乃至14のいずれか一項に記載の洗浄方法。
- 回転している前記洗浄用治具に下方から洗浄液を供給する工程を更に備えた、請求項12乃至14のいずれか一項に記載の洗浄方法。
- 回転している前記洗浄用治具に上方から洗浄液を供給する際の前記洗浄用治具の回転速度よりも、回転している前記洗浄用治具に下方から洗浄液を供給する際の前記洗浄用治具の回転速度が大きくなっている、請求項16記載の洗浄方法。
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