JP2014147990A5 - - Google Patents

Description

本発明の好ましい態様は、前記第１洗浄液供給機構および前記第２洗浄液供給機構は、前記研磨ヘッドカバーに取り付けられていることを特徴とする。
本発明の好ましい参考例は、前記第１洗浄液供給機構は、前記研磨ヘッドカバーの外周面の全体に洗浄液を供給することを特徴とする。
本発明の好ましい参考例は、前記第２洗浄液供給機構は、前記研磨ヘッドカバーの内周面の全体に洗浄液を供給することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第２洗浄液供給機構は、洗浄液が流れる洗浄液流路と、前記洗浄液流路に接続された複数の洗浄ノズルとを備え、前記複数の洗浄ノズルの先端開口部は前記研磨ヘッドカバーの内周面に近接または接触しており、該内周面に沿って洗浄液を供給することを特徴とする。

本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドカバーの外周面および／または内周面は、親水性の被膜で被覆されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドカバーの外周面および／または内周面は、撥水性の被膜で被覆されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドカバーの外周面には水平方向に延びる凸部または凹部が形成されており、前記凸部または凹部は前記第１洗浄液供給機構の下方に位置することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドカバーの内周面には水平方向に延びる凸部または凹部が形成されており、前記凸部または凹部は前記第２洗浄液供給機構の下方に位置することを特徴とする。
本発明の他の態様は、研磨面を有する研磨具を支持する研磨テーブルと、基板を保持して前記研磨面に押圧するためのトップリング、前記トップリングが固定されるトップリングシャフト、前記トップリングシャフトを介して前記トップリングを昇降させるトップリング昇降機構、および前記トップリング昇降機構が設置されるトップリングアームを備える研磨ヘッドと、前記トップリングシャフト、前記トップリング昇降機構、前記トップリングアーム、および前記トップリングの上部を覆う研磨ヘッドカバーと、前記研磨ヘッドカバーの外周面に洗浄液を供給する複数の洗浄ノズルとを備え、前記複数の洗浄ノズルは、前記研磨ヘッドカバーの外周面の上端に取り付けられており、前記研磨ヘッドカバーの外周面の全周に亘って配置されていることを特徴とする研磨装置である。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドカバーの外周面は親水性の被膜で被覆されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドカバーの外周面は撥水性の被膜で被覆されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドカバーの外周面には水平方向に延びる凸部または凹部が形成されており、前記凸部または凹部は前記複数の洗浄ノズルの下方に位置することを特徴とする。
本発明のさらに他の態様は、研磨面を有する研磨具を支持する研磨テーブルと、基板を前記研磨面に押圧するためのトップリングを有する研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドを覆う研磨ヘッドカバーと、前記研磨ヘッドカバーの内周面に洗浄液を供給する複数の洗浄ノズルとを備え、前記複数の洗浄ノズルは、前記研磨ヘッドカバーの内周面に沿って配置されていることを特徴とする研磨装置である。
本発明の好ましい態様は、前記複数の洗浄ノズルの先端開口部は、前記研磨ヘッドカバーの内周面に近接または接触しており、前記研磨ヘッドカバーの内周面に沿って前記洗浄液を供給することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドカバーの内周面は親水性の被膜で被覆されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドカバーの内周面は撥水性の被膜で被覆されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ヘッドカバーの内周面には水平方向に延びる凸部または凹部が形成されており、前記凸部または凹部は前記複数の洗浄ノズルの下方に位置することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記複数の洗浄ノズルは、前記研磨ヘッドカバーの内周面に沿って等間隔に配置されていることを特徴とする。

図３は、研磨ヘッド４を覆う研磨ヘッドカバー５０を備えた本発明の一実施形態に係る研磨装置を示す図である。図３に示すように、研磨ヘッド４のほぼ全体は研磨ヘッドカバー５０によって覆われている。研磨ヘッドカバー５０は、その下端が開口しており、楕円形の水平断面を有している。研磨ヘッドカバー５０は、トップリングシャフト１６、トップリングアーム１８、図示しないトップリング回転機構、およびトップリング昇降機構１７をその内部に収容し、さらにトップリング１５の上部を覆う形状を有している。したがって、トップリング１５の上部への研磨液の浸入、およびトップリング昇降機構１７等を含む研磨ヘッド４への研磨液の付着を防止することができる。

図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように、水平方向に延びる溝（凹部）５１または堰（凸部）５３を研磨ヘッドカバー５０の外周面５０ａに設けてもよい。溝５１または堰５３は、洗浄ノズル５６の下方に位置しており、外周面５０ａの全周に亘って水平に延びている。溝５１および堰５３の断面は三角形状を有している。洗浄ノズル５６から外周面５０ａ上に供給された洗浄液は、溝５１または堰５３上で水平方向に一旦広がり、その後に流下してある程度の幅を持った下方への流れを形成する。この下方への幅広の流れを維持するために、外周面５０ａには親水性の被膜が形成されていることが好ましい。洗浄液は外周面５０ａ上を広がったまま下方に流れ、外周面５０ａ上に均一な液膜を形成する。

図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、水平方向に延びる溝（凹部）７１または堰（凸部）７３を研磨ヘッドカバー５０の内周面５０ｂに設けてもよい。溝７１または堰７３は、洗浄ノズル６３の下方に位置しており、内周面５０ｂの全周に亘って水平に延びている。溝７１および堰７３の断面は三角形状を有している。洗浄ノズル６３から内周面５０ｂ上に供給された洗浄液は、溝７１または堰７３上で水平方向に一旦広がり、その後に流下してある程度の幅を持った下方への流れを形成する。この下方への幅広の流れを維持するために、内周面５０ｂには親水性の被膜が形成されていることが好ましい。洗浄液は内周面５０ｂ上を広がったまま下方に流れ、内周面５０ｂ上に均一な液膜を形成する。

Claims (17)

1. 研磨面を有する研磨具を支持する研磨テーブルと、
   基板を前記研磨面に押圧するためのトップリングを有する研磨ヘッドと、
   前記研磨ヘッドを覆う研磨ヘッドカバーと、
   前記研磨ヘッドカバーの外周面に洗浄液を供給する第１洗浄液供給機構と、
   前記研磨ヘッドカバーの内周面に洗浄液を供給する第２洗浄液供給機構とを備えたことを特徴とする研磨装置。
2. 前記第１洗浄液供給機構および前記第２洗浄液供給機構は、前記研磨ヘッドカバーに取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
3. 前記第２洗浄液供給機構は、洗浄液が流れる洗浄液流路と、前記洗浄液流路に接続された複数の洗浄ノズルとを備え、
   前記複数の洗浄ノズルの先端開口部は前記研磨ヘッドカバーの内周面に近接または接触しており、前記複数の洗浄ノズルは該内周面に沿って洗浄液を供給することを特徴とする請求項１または２に記載の研磨装置。
4. 前記研磨ヘッドカバーの外周面および／または内周面は、親水性の被膜で被覆されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の研磨装置。
5. 前記研磨ヘッドカバーの外周面および／または内周面は、撥水性の被膜で被覆されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の研磨装置。
6. 前記研磨ヘッドカバーの外周面には水平方向に延びる凸部または凹部が形成されており、前記凸部または凹部は前記第１洗浄液供給機構の下方に位置することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の研磨装置。
7. 前記研磨ヘッドカバーの内周面には水平方向に延びる凸部または凹部が形成されており、前記凸部または凹部は前記第２洗浄液供給機構の下方に位置することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の研磨装置。
8. 研磨面を有する研磨具を支持する研磨テーブルと、
   基板を保持して前記研磨面に押圧するためのトップリング、前記トップリングが固定されるトップリングシャフト、前記トップリングシャフトを介して前記トップリングを昇降させるトップリング昇降機構、および前記トップリング昇降機構が設置されるトップリングアームを備える研磨ヘッドと、
   前記トップリングシャフト、前記トップリング昇降機構、前記トップリングアーム、および前記トップリングの上部を覆う研磨ヘッドカバーと、
   前記研磨ヘッドカバーの外周面に洗浄液を供給する複数の洗浄ノズルとを備え、
   前記複数の洗浄ノズルは、前記研磨ヘッドカバーの外周面の上端に取り付けられており、前記研磨ヘッドカバーの外周面の全周に亘って配置されていることを特徴とする研磨装置。
9. 前記研磨ヘッドカバーの外周面は親水性の被膜で被覆されていることを特徴とする請求項８に記載の研磨装置。
10. 前記研磨ヘッドカバーの外周面は撥水性の被膜で被覆されていることを特徴とする請求項８に記載の研磨装置。
11. 前記研磨ヘッドカバーの外周面には水平方向に延びる凸部または凹部が形成されており、前記凸部または凹部は前記複数の洗浄ノズルの下方に位置することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の研磨装置。
12. 研磨面を有する研磨具を支持する研磨テーブルと、
    基板を前記研磨面に押圧するためのトップリングを有する研磨ヘッドと、
    前記研磨ヘッドを覆う研磨ヘッドカバーと、
    前記研磨ヘッドカバーの内周面に洗浄液を供給する複数の洗浄ノズルとを備え、
    前記複数の洗浄ノズルは、前記研磨ヘッドカバーの内周面に沿って配置されていることを特徴とする研磨装置。
13. 前記複数の洗浄ノズルの先端開口部は、前記研磨ヘッドカバーの内周面に近接または接触しており、前記研磨ヘッドカバーの内周面に沿って前記洗浄液を供給することを特徴とする請求項１２に記載の研磨装置。
14. 前記研磨ヘッドカバーの内周面は親水性の被膜で被覆されていることを特徴とする請求項１２または１３に記載の研磨装置。
15. 前記研磨ヘッドカバーの内周面は撥水性の被膜で被覆されていることを特徴とする請求項１２または１３に記載の研磨装置。
16. 前記研磨ヘッドカバーの内周面には水平方向に延びる凸部または凹部が形成されており、前記凸部または凹部は前記複数の洗浄ノズルの下方に位置することを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか一項に記載の研磨装置。
17. 前記複数の洗浄ノズルは、前記研磨ヘッドカバーの内周面に沿って等間隔に配置されていることを特徴とする請求項１２乃至１６のいずれか一項に記載の研磨装置。

Images