JP2019155752A - ヘッド用振動板部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents

Abstract

【課題】反りを抑制しつつ、層間剥離を低減する。【解決手段】ヘッド用振動板部材などを構成する金属部材１は、第１層１１と、第１層１１の平均結晶粒径と異なる平均結晶粒径の第２層１２とを含み、第１層１１と第２層１２との間に、第１層１１及び第２層１２よりも平均結晶粒径が小さい中間層１３が介在し、第２層１２の平均結晶粒径が第１層１１の平均結晶粒径よりも大きく、中間層１３の平均結晶粒径を第１層１１の平均結晶粒径よりも小さくしている。【選択図】図２

Description

本発明はヘッド用振動板部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。

従来、電鋳で制作する金属部材の反りを抑制するため、第１電鋳膜の平均粒径と第２電鋳膜の平均粒径を異ならせることが知られている（特許文献１）。

特開２０１３−１９３２９６号公報

特許文献１に開示の構成にあっては、第１層の平均結晶粒径が大きくなるため、第２層の表面（結晶粒の隙間）に入り込めず、第１層と第２層の密着性が低下して層間剥離を生じるという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、反りを抑制しつつ、層間剥離を低減することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る金属部材は、
第１層と、
前記第１層の平均結晶粒径と異なる平均結晶粒径の第２層と、を含み、
前記第１層と第２層との間に、前記第１層及び前記第２層よりも平均結晶粒径が小さい中間層が介在している
構成とした。

本発明によれば、反りを抑制しつつ、層間剥離を低減できる。

本発明の第１実施形態に係る金属部材の説明図である。 同金属部材の各層の模式的説明図である。 比較例１の金属部材の各層の模式的説明図である。 結晶粒径の制御の説明に供する電流密度の一例のプロファイルである。 同じく結晶粒径の制御の説明に供する電流密度の他の例プロファイルである。 本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の外観斜視説明図である。 同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の概略説明図である。 同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。 液体循環装置の一例のブロック説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の他の例の要部平面説明図である。 同装置の要部側面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態について図１及び図２を参照して説明する。図１は同実施形態に係る金属部材の説明図、図２は同金属部材の各層の模式的説明図である。

金属部材１は、第１層１１と、第１層１１の平均結晶粒径と異なる平均結晶粒径の第２層１２とを含み、第１層１１と第２層１２との間に、第１層１１及び第２層１２よりも平均結晶粒径が小さい中間層１３が介在している部材である。

本実施形態では、第２層１２の結晶粒１２ａの平均結晶粒径が第１層１１の結晶粒１１ａの平均結晶粒径よりも大きく、中間層１３の結晶粒１３ａの平均結晶粒径を第１層１１の結晶粒１１ａの平均結晶粒径よりも小さくしている。

したがって、例えば、第１層１１を形成した後に第２層１２を形成するとき、あるいは、第２層１２を形成した後に第１層１１を形成するときのいずれでも、第１層１１と第２層１２との間に第１層１１及び第２層１２よりも平均結晶粒径が小さい中間層１３が介在する。

これにより、第１層１１と第２層１２の粒径差からくる反りを抑制しつつ、中間層１３の小さな結晶粒１３ａが第１層１１の結晶粒１１ａ間及び第２層１２の結晶粒１２ａ間に入り込み易くなって密着性が向上し、層間剥離を低減することができる。

ここで、結晶粒径の確認方法は、例えば、厚み方向の断面に対し、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）、又は、ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）による観察を行う、或いは、ＥＢＳＤ（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｅｄ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）による解析を行えばよい。第１層１１と中間層１３との界面、中間層と第２層１２との界面の１μｍ程度の領域に対し、これらの解析を行うことで、結晶粒径を確認することができる。

ここで、比較例１について図３を参照して説明する。図３は同比較例１の模式的説明図である。

この比較例１は、本実施形態の中間層１３を設けないで、第１層１１上に第２層１２を形成したものである。

この比較例１では、例えば平均結晶粒径が小さい第１層１１上に平均結晶粒径が大きい第２層１２を形成する場合、第１層１１の結晶粒１１ａの間に第２層１２の結晶粒１２ａは入り込むことができない。そのため、第１層１１と第２層１２との密着性が不足して、比較例１の金属部材で例えばヘッド用振動板部材を構成した場合、繰り返し変位によって層間剥離を生じ易くなる。

これに対し、本実施形態に係る金属部材１は層間密着力が高くなるので、ヘッド用振動板部材を構成した場合、繰り返し変位によって層間剥離を生じ難くなる。

次に、本実施形態における結晶粒径の制御について図４及び図５を参照して説明する。図４３及び図５は同説明に供する結晶粒径の制御の説明に供する電流密度の異なるプロファイルである。

金属部材１を電鋳で形成する場合、電流密度を制御することで容易に結晶粒径を制御することができる。

一般的に、電流密度を大きくすると、結晶核の発生確率が高くなるため、結晶粒径を小さくすることができる。例えば、図４（ａ）に示すように、第１層１１のめっきを行うときの電流密度をＣ１とし、図３（ｂ）に示すように、第２層１２のめっきを行うときの初期領域の電流密度をＣ２、後続領域の電流密度をＣ３とする。

このとき、第１層１１の電流密度Ｃ１＞第２層１２の後続領域の電流密度Ｃ３、とすることで、第１層１１の結晶粒１１ａの平均結晶粒径よりも第２層１２の結晶粒１２ａの平均結晶粒径が大きくなる。

ここで、第２層１２のめっきを行うときの初期段階で、第１層１１のめっきをおこなうときの電流密度Ｃ１よりも大きい電流密度Ｃ３とする（Ｃ３＞Ｃ１）ことで、第１層１１の結晶粒１１ａより平均結晶粒径が小さい結晶粒１３ａの中間層１３が形成される。

そして、所定時間経過後の時点ｔ１で、電流密度Ｃ２とすることで、第１層１１の結晶粒１１ａより平均結晶粒径が大きい結晶粒１２ａの第２層１２が形成される。

また、電流密度Ｃ１と電流密度Ｃ２の比率で収縮量の差分を制御して反りを抑制することができる。

ここで、所望の電流密度に到達するまでの波形は、図４に示すように時点ｔ０から連続的に目標電流密度に到達する波形でも、図５に示すように時点ｔ０、ｔ１でステップ的に目標電流密度に到達する波形であってもよい。

これらの電流密度は、膜厚方向に対して相対的にこの関係となっていればよく、めっきを行うときの入力の電流を、上記のＣ１，Ｃ２，Ｃ３の関係とすることにより、各層の結晶粒径を制御することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図６及び図７を参照して説明する。図６は同液体吐出ヘッドの外観斜視説明図、図７は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。

この液体吐出ヘッド１００は、ノズル板１０１と、流路板１０２と、壁面部材としての本発明に係る金属部材で形成したヘッド用振動板部材１０３とを積層接合している。そして、振動板部材１０３の振動領域（振動板）１３０を変位させる圧電アクチュエータ１１１と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通流路部材１２０とを備えている。

ノズル板１０１は、液体を吐出する複数のノズル１０４を有している。

流路板１０２は、複数のノズル１０４に各々ノズル連通路１０５を介して通じる複数の個別液室１０６と、複数の個別液室１０６に各々通じる複数の供給側流体抵抗部１０７と、１又は２以上供給側流体抵抗部１０７に通じる１又は複数の供給側液導入部１０８などを形成している。

供給側液導入部１０８は、振動板部材１０３に設けた供給側フィルタ部１０９を介して供給側共通流路１１０に通じている。なお、流路板１０２は、複数枚の板状部材１０２Ａ〜１０２Ｅを積層して構成しているが、これに限るものではない。

振動板部材１０３は、本発明に係る金属部材１で構成している。

振動板部材１０３は、流路板１０２の個別液室１０６の壁面を形成する変形可能な振動領域１３０を有する。ここでは、振動板部材１０３は２層構造（限定されない）とし、流路板１０２側から薄肉部を形成する第１層（金属部材１の第１層１１）と、厚肉部を形成する第２層（金属部材１の中間層１３を含む第２層１２）で形成され、第１層で個別液室１０６に対応する部分に変形可能な振動領域１３０を形成している。

そして、振動板部材１０３の個別液室１０６とは反対側に、振動板部材１０３の振動領域１３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１１を配置している。

この圧電アクチュエータ１１１は、圧電部材にハーフカットダイシングによって溝加工して所要数の柱状の圧電素子１１２を所定の間隔で櫛歯状に形成している。そして、圧電素子１１２を振動板部材１０３の振動領域（振動板）１３０に接合している。

また、流路板１０２は、複数の個別液室１０６にノズル連通路１０５を介して各々通じる流路板１０２の面方向に沿う複数の個別回収流路１５６と、１又は２以上の個別回収流路１５６に通じる１又は複数の回収側液導出部１５８を形成している。回収側液導出部１５８は、振動板部材１０３の回収側フィルタ部１５９を介して回収側共通流路１５０に通じている。

共通流路部材１２０は、供給側開口部１０９を介して供給側液導入部１０８に連通する供給側共通流路１１０と、回収側開口１５０を介して回収側液導出部１５８に連通する回収側共通流路１５０を形成する。供給側共通流路１１０は供給ポート１７１に通じ、回収側共通流路１５０は回収ポート１７２に通じている。

この液体吐出ヘッド１００においては、例えば圧電素子１１２に与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子１１２が収縮し、振動板部材１０３の振動領域１３０が引かれて個別液室１０６の容積が膨張することで、個別液室１０６内に液体が流入する。

その後、圧電素子１１２に印加する電圧を上げて圧電素子１１２を積層方向に伸長させ、振動板部材１０３の振動領域１３０をノズル１０４に向かう方向に変形させて個別液室１０６の容積を収縮させることにより、個別液室１０６内の液体が加圧され、ノズル１０４から液体が吐出される。

また、ノズル１０４から吐出されない液体はノズル１０４を通過して個別回収流路１５６から回収側共通流路１５０に回収され、回収側共通流路１５０から外部の循環経路を通じて供給側共通流路１１０に再度供給される。

なお、ヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。

そして、この液体吐出ヘッド１００においては、振動板部材１０３を前記第１実施形態の金属部材１で構成している。

これにより、振動板部材１０３の振動領域１３０の振動（変位）が繰り返されても、層間剥離を生じることがなく、安定して液体吐出を行うことができる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図８及び図９を参照して説明する。図８は同装置の概略説明図、図９は同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。

この液体を吐出する装置である印刷装置５００は、連続体５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連続体５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連続体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連続体５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連続体５１０を搬出する搬出手段５０９などを備えている。

連続体５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。

この連続体５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上をヘッドユニット５５０及びヘッドユニット５５５に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が形成され、ヘッドユニット５５５から吐出される処理液で後処理が行われる。

ここで、ヘッドユニット５５０には、例えば、搬送方向上流側から、４色分のフルライン型ヘッドアレイ５５１Ａ、５５１Ｂ、５５１Ｃ、５５１Ｄ（以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ５５１」という。）が配置されている。

各ヘッドアレイ５５１は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続体５１０に対してブラックＫ，シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。

ヘッドアレイ５５１は、例えば、液体吐出ヘッド（これを、単に「ヘッド」ともいう。）１００をベース部材５５２上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。

次に、液体循環装置の一例について図１０を参照して説明する。図１０は同循環装置のブロック説明図である。なお、ここでは１つのヘッドのみ図示しているが、複数のヘッドを配列する場合には、マニホールドなどを介して複数のヘッドの供給側、回収側にそれぞれ供給側液体経路、回収側液体経路を接続することになる。

液体循環装置６００は、供給タンク６０１、回収タンク６０２、メインタンク６０３、第１送液ポンプ６０４、第２送液ポンプ６０５、コンプレッサ６１１、レギュレータ６１２、真空ポンプ６２１、レギュレータ６２２、供給側圧力センサ６３１、回収側圧力センサ６３２などで構成されている。

ここで、コンプレッサ６１１及び真空ポンプ６２１は、供給タンク６０１内の圧力と回収タンク６０２内の圧力とに差圧を生じさせる手段を構成している。

供給側圧力センサ６３１は、供給タンク６０１とヘッド１００との間であって、ヘッド１００の供給ポート１７１に繋がった供給側液体経路に接続されている。回収側圧力センサ６３２は、ヘッド１と回収タンク６０２との間であって、ヘッド１００の回収ポート１７２に繋がった回収側液体経路に接続されている。

回収タンク６０２の一方は、第１送液ポンプ６０４を介して供給タンク６０１と接続されており、回収タンク６０２の他方は第２送液ポンプ６０５を介してメインタンク６０３と接続されている。

これにより、供給タンク６０１から供給ポート１７１を通ってヘッド１００内に液体が流入し、回収ポート１７２から回収タンク６０２へ回収され、第１送液ポンプ６０４によって回収タンク６０２から供給タンク６０１へ液体が送られることによって、液体が循環する循環経路が構成される。

ここで、供給タンク６０１にはコンプレッサ６１１がつなげられており、供給側圧力センサ６３１で所定の正圧が検知されるように制御される。一方、回収タンク６０２には真空ポンプ６２１がつなげられており、回収側圧力センサ６３２で所定の負圧が検知されるよう制御される。

これにより、ヘッド１００内を通って液体を循環させつつ、メニスカスの負圧を一定に保つことができる。

また、ヘッド１００のノズル１０４から液体を吐出すると、供給タンク６０１及び回収タンク６０２内の液体量が減少していく。そのため、適宜、第２送液ポンプ６０５を用いて、メインタンク６０３から回収タンク６０２に液体を補充する。

なお、メインタンク６０３から回収タンク６０２への液体補充のタイミングは、回収タンク６０２内の液体の液面高さが所定高さよりも下がったときに液体補充を行うなど、回収タンク６０２内に設けた液面センサなどの検知結果によって制御することができる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の他の例について図１１及び図１２を参照して説明する。図１１は同装置の要部平面説明図、図１２は同装置の要部側面説明図である。

この印刷装置５００は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド１００及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド１００は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１００は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

液体吐出ヘッド１００は、前述した液体循環装置６００と接続されて、所要の色の液体が循環供給される。

この印刷装置５００は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド１００に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１００の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド１００のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの印刷装置５００においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１００を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１３を参照して説明する。図１３は同ユニットの要部平面説明図である。

この液体吐出ユニット４４０、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド１００で構成されている。

なお、この液体吐出ユニット４４０の例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０を更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１４を参照して説明する。図１４は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニット４４０は、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド１００と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１００と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ 金属部材
１１ 第１層
１２ 第２層
１３ 中間層
１００ 液体吐出ヘッド
１０１ ノズル板
１０４ ノズル
１０２ 流路板
１０３ 振動板部材
１０６ 個別液室
１１０ 供給側共通流路
１２０ 共通流路部材
１５０ 回収側共通流路
４０３ キャリッジ
４４０ 液体吐出ユニット
５００ 印刷装置（液体を吐出する装置）
５５０ ヘッドユニット
６００ 液体循環装置

Claims (8)

1. 第１層と、
   前記第１層の平均結晶粒径と異なる平均結晶粒径の第２層と、を含み、
   前記第１層と第２層との間に、前記第１層及び前記第２層よりも平均結晶粒径が小さい中間層が介在している
   ことを特徴とする金属部材。
2. 前記第２層の平均結晶粒径は、前記第１層の平均結晶粒径よりも大きい
   ことを特徴とする請求項１に記載の金属部材。
3. 前記中間層の厚みは、前記第１層及び前記第２層よりも厚みが薄い
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の金属部材。
4. 請求項１ないし３のいずれかに記載の金属部材を含む
   ことを特徴とするヘッド用振動板部材。
5. 請求項４に記載のヘッド用振動板部材を含む
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
6. 請求項５に記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
7. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
   ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ユニット。
8. 請求項５に記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項６若しくは７に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。

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