JP2010179631A - インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ヘッド幅が狭く、吐出安定性を向上させたインクジェットヘッドを実現する。
【解決手段】圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁面に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させるインクジェットヘッドであって、前記インクチャンネルにインクを供給する供給流路と、前記インクチャンネル内に充填されたインクを循環させる循環流路と、を備え、前記インクチャンネルは、前記ノズルのインク吐出方向に平行な方向が長手方向となるように細長く延設され、前記インクチャンネルには、前記供給流路に連通する供給口が設けられるとともに、前記循環流路に連通する排出口が設けられる。
【選択図】 図２

Description

本発明は、圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁面（隔壁表面）に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させるインクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置に関するものである。

一般にインクジェット記録装置は、インクジェットヘッドのノズルからインク液滴を記録媒体に向かって吐出することにより記録を行うものであり、記録動作時の騒音が低く、ランニングコストが安く、高解像、高品質な画像記録が可能であり、様々な分野で幅広く利用されている。

従来、インクジェットヘッドには、インク吐出原理として圧電素子のせん断モード変形を利用したものが知られている。このインクジェットヘッドは、圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁面に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させている。

また、せん断モード変形を利用したインクジェットヘッドとして、インクチャンネル内のインクを循環させるタイプのものも知られている（例えば、特許文献１、２参照）。このインクジェットヘッドでは、インクが充填されるインクチャンネル（又は圧力室）に供給口及び排出口が設けられ、供給口から流入したインクはインクチャンネルに連通するノズルからその一部がインク液滴となって吐出されるとともに、残りのインクは排出口から排出されて循環が行われる。このようにインクチャンネル内のインクを循環させることにより、インク増粘などによる吐出不良を防止することができる。

特開２００７−１６８０９６号公報 特開２００８−２０１０２３号公報

ところで、せん断モード変形を利用し、且つインクチャンネル内のインクを循環させるタイプのインクジェットヘッドにおいて、インクの吐出力を高めるためには、インクチャンネルを長手方向に長く延ばして流路長を長くすることが有効である。

しかしながら、特許文献１及び２に記載される従来のインクジェットヘッドでは、インクチャンネルがインクの吐出方向に対して垂直な方向が長手方向となるように細長く延設された構造となっており、インクチャンネルを長手方向に長くすると、インクジェットヘッドの幅方向（インク吐出方向及びインクチャンネル配列方向；ヘッド幅方向）の長さが大きくなってしまう。すなわち、ヘッド幅の小さなインクジェットヘッドを構成することは難しく、インクジェットヘッドを幅方向に複数並べて高密度化ヘッドを実現することも困難である。

なお、インクの吐出力を高める方法として、駆動電極に印加される駆動電圧を高めて、インクチャンネルの隔壁に生じる電界強度を高めることも考えられるが、この方法では、消費電力の上昇を招き、圧電体の寿命の低下も懸念されるため好ましくない。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、せん断モード変形を利用し、且つインクチャンネル内のインクを循環させるタイプのインクジェットヘッドにおいて、ヘッド幅が狭く、吐出安定性を向上させることができるインクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明によるインクジェットヘッドは、圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁面に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させるインクジェットヘッドであって、前記インクチャンネルにインクを供給する供給流路と、前記インクチャンネル内に充填されたインクを循環させる循環流路と、を備え、前記インクチャンネルは、前記ノズルのインク吐出方向に平行な方向が長手方向となるように細長く延設され、前記インクチャンネルには、前記供給流路に連通する供給口が設けられるとともに、前記循環流路に連通する排出口が設けられることを特徴とする。

本発明によれば、せん断モード変形を利用し、且つインクチャンネル内のインクを循環させるタイプのインクジェットヘッドにおいて、インクチャンネルがインク吐出方向に平行な方向が長手方向となるように細長く延設されるので、インクジェットヘッドの幅方向（インク吐出方向及びインクチャンネル配列方向に垂直な方向）の長さを大きくすることなく、インクチャンネルの長手方向の長さを大きくすることでインク吐出力を高めることができる。また、インク吐出動作の有無に関係なく、インクチャンネル内のインクを適宜循環させることができる。したがって、ヘッド幅の狭く、吐出安定性を向上させたインクジェットヘッドを実現することができる。これにより、インクジェットヘッドを幅方向に複数並べて高密度ヘッドを構成することも可能となる。

本発明の一態様によれば、前記インクチャンネルの長手方向に沿って、前記ノズル、前記排出口、及び前記供給口が順に配置され、好ましくは、前記インクチャンネルを長手方向に沿って前記ノズル側から順に前方領域、中間領域、後方領域に均等分割したときに、前記前方領域内に前記排出口が配置され、より好ましくは、前記排出口は、前記ノズルの近傍領域に配置される。

このように前方領域内（好ましくはノズルの近傍領域）に排出口を配置することで、気泡の排出性を向上させることができる。なお、本明細書において、「ノズルの近傍領域」とは、上記の前方領域をさらにインクチャンネルの長手方向に沿って２つの領域に均等分割したときに、ノズル側の領域をいう。

また本発明の他の態様によれば、前記インクチャンネルを長手方向に沿って前記ノズル側から順に前方領域、中間領域、後方領域に均等分割したときに、前記後方領域内に前記供給口が配置される。

このように後方領域内に供給口を配置することで、インクチャンネル内のインクの循環を促進させることができる。

さらに好ましい態様として、上記２つの態様を組み合わせた態様がある。すなわち、前方領域（好ましくはノズルの近傍領域）に排出口が配置されるとともに、後方領域内に供給口が配置される。本態様によれば、インク循環性能及び気泡排出性の両方を向上させることができる。

また本発明の別の他の態様によれば、圧電性材料で構成され、前記複数のインクチャンネルが区画形成されたアクチュエータ部材と、前記アクチュエータ部材の一面側に接合され、前記供給流路及び前記循環流路が形成された流路形成部材と、を備えたことを特徴とする。

また本発明のさらに別の他の態様によれば、圧電性材料で構成され、前記複数のインクチャンネルが区画形成されたアクチュエータ部材と、前記アクチュエータ部材の一面側に接合され、前記供給流路が形成された第１の流路形成部材と、前記アクチュエータ部材の前記一面側とは反対の他面側に接合され、前記循環流路が形成された第２の流路形成部材と、を備えたことを特徴とする。

また、他の本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁面に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、圧電性材料で構成され、前記複数のインクチャンネルが区画形成されるとともに、該インクチャンネルが前記ノズルのインク吐出方向に平行な方向が長手方向となるように細長く延設されたアクチュエータ部材を形成する工程と、前記インクチャンネルにインクを供給する供給流路、及び前記インクチャンネル内に充填されたインクを循環させる循環流路が形成された流路形成部材を前記アクチュエータ部材の一面側に接合する工程と、を含み、前記インクチャンネルには、前記供給流路に連通する供給口が設けられるとともに、前記循環流路に連通する排出口が設けられることを特徴とする。

また、さらに他の本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁面に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、圧電性材料で構成され、前記複数のインクチャンネルが区画形成されるとともに、該インクチャンネルが前記ノズルのインク吐出方向に平行な方向が長手方向となるように細長く延設されたアクチュエータ部材を形成する工程と、前記インクチャンネルにインクを供給する供給流路が形成された第１の流路形成部材を前記アクチュエータ部材の一面側に接合する工程と、前記インクチャンネル内に充填されたインクを循環させる循環流路が形成された第２の流路形成部材を前記アクチュエータ部材の前記一面側とは反対の他面側に接合する工程と、を含み、前記インクチャンネルには、前記供給流路に連通する供給口が設けられるとともに、前記循環流路に連通する排出口が設けられることを特徴とする。

さらに別の発明によるインクジェット記録装置は、本発明によるインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする。

本発明によれば、せん断モード変形を利用し、且つインクチャンネル内のインクを循環させるタイプのインクジェットヘッドにおいて、インクチャンネルがインク吐出方向に平行な方向が長手方向となるように細長く延設されるので、インクジェットヘッドの幅方向（インク吐出方向及びインクチャンネル配列方向に垂直な方向）の長さを大きくすることなく、インクチャンネルの長手方向の長さを大きくすることでインク吐出力を高めることができる。また、インク吐出動作の有無に関係なく、インクチャンネル内のインクを適宜循環させることができる。したがって、ヘッド幅の狭く、吐出安定性を向上させたインクジェットヘッドを実現することができる。これにより、インクジェットヘッドを幅方向に複数並べて高密度ヘッドを構成することも可能となる。

本発明に係るインクジェットヘッドの構成例を示した分解斜視図 図１のインクジェットヘッドの側面断面図 図１のインクジェットヘッドの一部を示した正面断面図 図１のインクジェットヘッドの製造方法を示した工程図 本発明に係るインクジェットヘッドの他の構成例を示した側面断面図 図５のインクジェットヘッドの製造方法を示した工程図 インクジェット記録装置の概略を示す全体構成図 インクジェット記録装置の印字部周辺を示した要部平面図 インクジェット記録装置の制御系を示す要部ブロック図

以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。

〔インクジェットヘッドの構成例〕
図１は本発明に係るインクジェットヘッドの構成例を示した分解斜視図である。また、図２は図１のインクジェットヘッドの側面断面図、図３は図１のインクジェットヘッドの一部（アクチュエータ部材）を示した正面断面図である。

図１に示すインクジェットヘッド１０Ａは、圧電素子のせん断モード変形を利用したヘッドであり、圧電性材料からなる隔壁（側壁）３８により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネル２０を有し、前記インクチャンネル２０の内壁面（隔壁３８の表面）に形成された駆動電極４０への駆動電圧に応じて、前記隔壁３８を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル２０内に充填されているインクをそのインクチャンネル２０に連通したノズル２２より吐出させるものである。

このインクジェットヘッド１０Ａは、インクチャンネル２０となる溝部が複数形成されたアクチュエータ部材１２の前端面１２ａにノズルプレート１４が接合されるとともに、アクチュエータ部材１２の前記インクチャンネル（溝部）２０が形成される面（上端面）１２ｃにカバー基板１６が接合された構成となっている。なお、アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃの後方（後端面１２ｂ側）には、インク吐出用の駆動信号を伝達するためのフレキシブルプリント配線板４４の一端が接合される。

アクチュエータ部材１２は、２つの圧電体３４、３６からなる２層の積層構造を有し、各圧電体３４、３６は、強誘電性を有する圧電材料、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料等で構成されている。各圧電体３４、３６は互いに向き合う方向に分極処理が施されており、具体的には、図３に示すように、１層目の圧電体３４は矢印Ｐ１方向に、２層目の圧電体３６は矢印Ｐ２方向に、それぞれ分極されている。

各圧電体３４、３６を構成する圧電材料は同一であってもよいし、異なる圧電材料で構成されていてもよい。但し、圧電体３４、３６同士の圧電特性を均一にして吐出安定化を図る観点から、各圧電体３４、３６を構成する圧電材料は同一であることが好ましい。本例では、各圧電体３４、３６は同一のセラミックス材料（ＰＺＴ）で構成されている。

アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃには、互いに平行な複数のインクチャンネル（溝部）２０が櫛歯状に区画形成されている。各インクチャンネル２０は互いに同一形状であり、アクチュエータ部材１２の前端面１２ａからその反対側の後端面１２ｂに向かって細長く延設され、前端面１２ａ側は一定の深さに形成され、後端面１２ｂに近づくに従い次第に浅くなるように形成されている（図２参照）。このように各インクチャンネル２０は、それぞれ各ノズル２２のインク吐出方向に平行な方向（すなわち、前端面１２ａから後端面１２ｂに向かう方向）に細長く延設されている。

各インクチャンネル（溝部）２０の両側の隔壁（側壁）３８の表面（側面）には、駆動電圧印加用の駆動電極４０が形成されている。また、インクチャンネル２０の浅い領域では側面だけでなく底面にも駆動電極４０が形成されている。

アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃには、各インクチャンネル２０よりも後方側（後端面１２ｂ側）に取出電極４２がインクチャンネル毎にそれぞれ形成されており、各取出電極４２はそれぞれ対応するインクチャンネル２０の駆動電極４０と電気的に接続されている。

アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃの後方側（後端面１２ｂ側）に一端が接続されるフレキシブルプリント配線板４４には、各取出電極４２に対応した導電性パターンが形成されており、その導電性パターンと各取出電極４２は電気的に接続されている。なお、フレキシブルプリント配線板４４の他端は不図示の駆動回路に接続され、この駆動回路からフレキシブルプリント配線板４４を介して各駆動電極４０に所定の駆動電圧が印加されるようになっている。

ノズルプレート１４には、各インクチャンネル２０にそれぞれ対応する複数のノズル（ノズル孔）２２が形成されている。このノズルプレート１４は、各ノズル２２がそれぞれ対応するインクチャンネル２０と連通するように位置合わせされた状態でアクチュエータ部材１２の前端面１２ａに接合されている。

アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃに接合されるカバー基板１６は、セラミックス材料又は樹脂材料等から形成されており、各インクチャンネル２０内にインクを供給する供給流路２４が設けられるとともに、各インクチャンネル２０内のインクを循環させる循環流路２６が設けられている。

各流路２４、２６は、カバー基板１６におけるアクチュエータ部材１２との接合面にそれぞれ開口している。具体的には、カバー基板１６がアクチュエータ部材１２に接合された状態において、供給流路２４の一端は各インクチャンネル２０の長手方向後端部（後端面１２ｂ側）となる位置で開口するとともに、循環流路２６の一端は各インクチャンネル２０の長手方向前端部（前端面１２ａ側）となる位置で開口しており、各流路２４、２６はインクチャンネル２０と連通している。

このようにして、各インクチャンネル２０には、長手方向後端部に供給流路２４の一端に相当する供給口２４ａが設けられるとともに、長手方向前端部に循環流路２６の一端に相当する排出口２６ａが設けられる。

また、各流路２４、２６の他端は、不図示のインク供給部（例えばインクタンク）に各々接続されており、ポンプ（不図示）の駆動制御に応じて、インク供給部から供給流路２４を経由して供給口２４ａからインクチャンネル２０にインクが供給され、そのうちの一部はインクチャンネル２２に連通するノズル２２から液滴となって吐出されるとともに、残りのインクは排出口２６ａから循環流路２６を経由してインク供給部に戻されて再びインクチャンネル２０に循環するようになっている。

次に、上記インクジェットヘッド１０Ａの動作について説明する。

各インクチャンネル２０にインクが充填された状態において、入力画像データに従って、例えば図３（ａ）に示すインクチャンネル２０-3が選択されると、選択されたインクチャンネル２０-3の内壁面に形成された駆動電極４０に所定の駆動電圧が印加される。このとき、インクチャンネル２０-3の両側の側壁３８Ａ、３８Ｂには各圧電体３４、３６の分極方向Ｐ１、Ｐ２と直交する方向Ｑ１、Ｑ２の電界が印加され、各側壁３８Ａ、３８Ｂは、圧電厚みすべり効果によってインクチャンネル２０-3の内部方向に変形する（図３（ｂ））。この変形によってインクチャンネル２０-3の容積が減少してインクチャンネル２０-3内のインクが加圧され、インクチャンネル２０-3に連通するノズル２２からインクの一部が液滴（インク液滴）となって吐出される。その後、駆動電圧の印加が停止され、各側壁３８Ａ、３８Ｂが元の状態に復帰する際、供給流路２４の一端に設けられる供給口２４ａからインクチャンネル２０-3にインクが供給される。

また、インクチャンネル２０内のインクの一部は、上述したようにしてノズル２２から液滴として吐出されるとともに、残りのインクは排出口２６ａから循環流路２６を経由してインク供給部に回収され、インク供給部内のインクとともに再びインクチャンネル２０に循環させられる。

ところで、図１〜図３に示したインクジェットヘッド１０Ａでは、インクチャンネル２０がインク吐出方向に平行な方向が長手方向となるように細長く延設されるので、インクジェットヘッド１０Ａの幅方向（インク吐出方向及びインクチャンネル配列方向に垂直な方向）の長さ（圧電体部長さ）Ｗを大きくすることなく、インクチャンネル２０の長手方向の長さＬを大きくすることでインク吐出力を高めることができ、吐出安定化を図ることができる（図１参照）。

例えば、従来のインクジェットヘッドのようにインクチャンネルがインク吐出方向に対して垂直な方向が長手方向となるように細長く延設される場合にはヘッド幅は６ｍｍ程度となるが、本実施形態に係るインクジェットヘッド１０Ａでは、ヘッド幅（図１のＷで示す長さ）が３００μｍ程度となり、従来に比べて１／１０以下のヘッド幅で実現することが可能となる。

また、インクチャンネル２０には、供給流路２４の一端に相当する供給口２４ａが設けられるとともに、循環流路２６の一端に相当する排出口２６ａが設けられるので、インク吐出動作の有無に関係なく、インクチャンネル２０内のインクを適宜循環させることができる。

このように本実施形態に係るインクジェットヘッド１０Ａによれば、ヘッド幅が狭く、吐出安定性の高いヘッドを実現することができる。これにより、複数のインクジェットヘッド１０Ａを幅方向に並べて高密度ヘッドを構成することも可能となり、さらなる画像品質の向上を図ることができる。

本実施形態において、インクチャンネル２０における供給口２４ａ及び排出口２６ａが設けられる位置は特に限定されるものではないが、インクチャンネル２０の長手方向に沿って当該インクチャンネル２０をノズル２２側から前方領域２０ａ、中央領域２０ｂ、後方領域２０ｃの３つの領域に均等分割したときに、図２に示した例のように、前方領域２０ａ（より好ましくはノズル近傍領域）に排出口２６ａが配置される態様が好ましい。なお、ノズル近傍領域とは、前方領域２０ａをインクチャンネル２０の長手方向に沿って２つの領域に均等分割したときにノズル２２側の領域をいう。

前方領域２０ａ（より好ましくはノズル２２の近傍領域）に排出口２６ａが配置される態様によれば、ノズル２２からインクチャンネル２０内に気泡が混入しても、その気泡を排出口２６ａから容易に排出することができ、吐出安定化を図ることが可能となる。また、長時間にわたってインク吐出動作が行われないと、前方領域２０ａ（特にノズル近傍領域）のインクは、インクの乾燥が進行してインク増粘が発生しやすく、吐出不良を招く要因となるが、前方領域２０ａに配置された排出口２６ａからインクを排出して循環させることで、インク吐出動作の有無にかかわらず、前方領域２０ａのインクを積極的に循環させることが可能となり、インク増粘等による吐出不良を未然に防止することができる。

また、インク循環を促進させる観点から、インクチャンネル２０の後方領域２０ｃに供給口２４ａが配置される態様が好ましい。図２に示した例のように、インクチャンネル２０の長手方向両端部に供給口２４ａ及び排出口２６ａが設けられていると、インクチャンネル２０の長手方向に沿ってインクが全体的に循環するようになり、さらなる吐出安定化を図ることが可能となる。

次に、図１に示したインクジェットヘッド１０Ａの製造方法について図４を参照しながら説明する。図４は図１のインクジェットヘッド１０Ａの製造方法を示した工程図である。

まず、図４（ａ）に示すように、それぞれ所定の方向に分極処理された圧電体３４、３６を貼り付け、２層の圧電体３４、３６からなる積層構造を有するアクチュエータ部材１２を作製する。各圧電体３４、３６は互いに向き合う方向に分極処理されている。即ち、１層目の圧電体３４は矢印Ｐ１方向に分極され、２層目の圧電体３６は矢印Ｐ２方向に分極されている。

次に、図４（ｂ）に示すように、ダイサーなどの切削手段を用いて、アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃに複数のインクチャンネル（溝部）２０を櫛歯状に切断加工する。

次に、図４（ｃ）に示すように、アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃに複数の取出電極４２をインクチャンネル毎にそれぞれ形成する。本例では、各インクチャンネル２０よりも後方（後端面１２ｂ側）の位置にそれぞれ取出電極４２を形成している。

次に、図４（ｄ）に示すように、各インクチャンネル（溝部）２０の側面に駆動電極４０を形成する。このとき、インクチャンネル２０の浅い領域には側面だけでなく底面にも駆動電極４０を形成し、各取出電極４２とそれぞれ対応するインクチャンネル２０の側面に形成される駆動電極４０と電気的な接続を行う。

次に、図４（ｅ）に示すように、アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃにカバー基板１６を接合する。このとき、少なくとも各取出電極４２の後端部が表面に露出した状態となるようにカバー基板１６を接合する。

次に、図４（ｆ）に示すように、アクチュエータ部材１２の前端面１２ａにノズルプレート１４を接合する。このとき、各ノズル２２がそれぞれ対応するインクチャンネル２０と連通するように位置合わせした状態でノズルプレート１４の接合を行う。

そして最後に、図４（ｇ）に示すように、アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃの後方（後端面１２ｂ側）にフレキシブルプリント配線板４４の一端を接合する。このとき、フレキシブルプリント配線板４４に形成される導電性パターンと各取出電極４２との電気的な接続を行う。なお、フレキシブルプリント配線板４４の他端は不図示の駆動回路に接続される。このようにして、本実施形態に係るインクジェットヘッド１０Ａを得ることができる。

〔インクジェットヘッドの他の構成例］
図５は、本発明に係るインクジェットヘッドの他の構成例を示した側面断面図である。図５中、図１〜図３に示した構成と同一又は類似する要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。

図１〜図３に示したインクジェットヘッド１０Ａでは、アクチュエータ部材１２の一方の面（上端面１２ｃ）にカバー基板１６が接合され、このカバー基板１６に供給流路２４及び循環流路２６が設けられていたが、図５に示すインクジェットヘッド１０Ｂでは、アクチュエータ部材１２の一方の面（上端面１２ｃ）に上部カバー基板５０が接合されるとともに、その反対側の面（下端面１２ｄ）に下部カバー基板５２が接合され、上部カバー基板５０に供給流路２４が設けられ、下部カバー基板５２に循環流路２６が設けられた構成となっている。

供給流路２４の一端は、上部カバー基板５０のアクチュエータ部材１２との接合面に開口している。具体的には、上部カバー基板５０がアクチュエータ部材１２の上端面１２ｃに接合された状態において、供給流路２４の一端が各インクチャンネル２０の長手方向後端部（後端面１２ｂ側）に対応する位置に開口しており、その開口部によってインクチャンネル２０に対するインクの供給口２４ａが構成されている。

循環流路２６の一端は、下部カバー基板５２のアクチュエータ部材１２との接合面に開口している。具体的には、下部カバー基板５２がアクチュエータ部材１２の下端面１２ｄに接合された状態において、循環流路２６の一端が各インクチャンネル２０の長手方向後端部（後端面１２ｂ側）に対応する位置に開口している。また、アクチュエータ部材１２における各インクチャンネル２０の底面にはそれぞれ排出口（貫通孔）５４が形成されており、循環流路２６の一端は各インクチャンネル２０の排出口５４に連通している。

図５に示したインクジェットヘッド１０Ｂによれば、図１〜図３に示したインクジェットヘッド１０Ａと同様、インクチャンネル２０がインク吐出方向に平行な方向が長手方向となるように細長く延設されるので、ヘッド幅を大きくすることなく、インクチャンネルの長手方向の長さを大きくすることでインク吐出力を高めることができ、吐出安定化を図ることができる。また、インク吐出動作の有無に関係なく、インクチャンネル２０内のインクを適宜循環させることができる。よって、ヘッド幅が狭く、吐出安定性の高いヘッドを実現することができる。また、複数のインクジェットヘッド１０Ｂを幅方向に並べて高密度ヘッドを構成することも可能となり、さらなる画像品質の向上を図ることができる。

次に、図５に示したインクジェットヘッド１０Ｂの製造方法について図６を参照しながら説明する。図６は図５のインクジェットヘッド１０Ｂの製造方法を示した工程図である。図６中、図４に示した構成と同一又は類似の要素には同一の符号を付して、その説明を省略する。

まず、図６（ａ）に示すように、互いに向き合う方向（矢印Ｐ１、Ｐ２方向）にそれぞれ分極処理された圧電体３４、３６を貼り付け、２層の圧電体３４、３６からなる積層構造を有するアクチュエータ部材１２を作製する。

次に、図６（ｂ）に示すように、アクチュエータ部材１２の下端面１２ｄに、循環流路５２が設けられた下部カバー基板５２を接合する。

次に、図６（ｃ）に示すように、ダイサーなどの切削手段を用いて、アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃに複数のインクチャンネル（溝部）２０を櫛歯状に切断加工する。また、各インクチャンネル２０の底面にそれぞれ排出口（貫通孔）５４を形成し、循環流路５２の一端が各インクチャンネル２０の排出口５４と連通した状態となるようにする（図６（ｄ））。

次に、図６（ｅ）に示すように、アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃにおける各インクチャンネル２０よりも後方（後端面１２ｂ側）の位置に、複数の取出電極４２をインクチャンネル毎にそれぞれ形成する。

次に、図６（ｆ）に示すように、各インクチャンネル（溝部）２０の側面に駆動電極４０を形成する。このとき、インクチャンネル２０の浅い領域には側面だけでなく底面にも駆動電極４０を形成し、各取出電極４２とそれぞれ対応するインクチャンネル２０の側面に形成される駆動電極４０と電気的な接続を行う。

次に、図６（ｇ）に示すように、アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃに、供給流路５０が設けられた上部カバー基板１６を接合する。このとき、少なくとも各取出電極４２の後端部が表面に露出した状態で接合を行う。

次に、図６（ｈ）に示すように、アクチュエータ部材１２の前端面１２ａにノズルプレート１４を接合する。このとき、ノズルプレート１４に設けられる各ノズル２２がそれぞれ対応するインクチャンネル２０と連通するように位置合わせした状態で接合を行う。

そして最後に、図６（ｉ）に示すように、アクチュエータ部材１２の上端面１２ｃの後端部にフレキシブルプリント配線板４４の一端を接合して、フレキシブルプリント配線板４４に形成される導電性パターンと各取出電極４２との電気的な接続を行う。なお、フレキシブルプリント配線板４４の他端は不図示の駆動回路に接続される。このようにして、図５に示したインクジェットヘッド１０Ｂを得ることができる。

〔インクジェット記録装置〕
次に、本発明に係るインクジェット記録装置の一実施形態について説明する。

図７は、本実施形態に係るインクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。図７に示すように、このインクジェット記録装置１００は、インクの色毎に設けられた複数のインクジェットヘッド（以下、単に「ヘッド」と称する。）１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙを有する印字部１１２と、各ヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１１４と、記録紙１１６を供給する給紙部１１８と、記録紙１１６のカールを除去するデカール処理部１２０と、前記印字部１１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１１６の平面性を保持しながら記録紙１１６を搬送する吸着ベルト搬送部１２２と、印字部１１２による印字結果を読み取る印字検出部１２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部１２６と、を備えている。

図７では、給紙部１１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。

ロール紙を使用する装置構成の場合、図７のように、裁断用のカッター１２８が設けられており、該カッター１２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター１２８は、記録紙１１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃１２８Ａと、該固定刃１２８Ａに沿って移動する丸刃１２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃１２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃１２８Ｂが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター１２８は不要である。

複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。

給紙部１１８から送り出される記録紙１１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部１２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム１３０で記録紙１１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。

デカール処理後、カットされた記録紙１１６は、吸着ベルト搬送部１２２へと送られる。吸着ベルト搬送部１２２は、ローラー１３１、１３２間に無端状のベルト１３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１１２のノズル面及び印字検出部１２４のセンサ面に対向する部分が平面をなすように構成されている。

ベルト１３３は、記録紙１１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（不図示）が形成されている。図７に示したとおり、ローラー１３１、１３２間に掛け渡されたベルト１３３の内側において印字部１１２のノズル面及び印字検出部１２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー１３４が設けられており、この吸着チャンバー１３４をファン１３５で吸引して負圧にすることによってベルト１３３上の記録紙１１６が吸着保持される。

ベルト１３３が巻かれているローラー１３１、１３２の少なくとも一方にモータ（不図示）の動力が伝達されることにより、ベルト１３３は図７において、時計回り方向に駆動され、ベルト１３３上に保持された記録紙１１６は、図７の左から右へと搬送される。

縁無しプリント等を印字するとベルト１３３上にもインクが付着するので、ベルト１３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部１３６が設けられている。ベルト清掃部１３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。

なお、吸着ベルト搬送部１２２に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。従って、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。

吸着ベルト搬送部１２２により形成される用紙搬送路上において印字部１１２の上流側には、加熱ファン１４０が設けられている。加熱ファン１４０は、印字前の記録紙１１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙１１６を加熱する。印字直前に記録紙１１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。

印字部１１２には、記録紙１１６の搬送方向（紙搬送方向）に沿って上流側（図７の左側）から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応したヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙが配置されている。記録紙１１６を搬送しつつ各ヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１１６上にカラー画像を形成し得る。

各ヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙは、それぞれ、図１〜図３に示したインクジェットヘッド１０Ａ（又は図５に示したインクジェットヘッド１０Ｂ）に相当するものである。各ヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙは、記録紙１１６の全幅（画像形成可能幅）に対応した長さのノズル列を有するライン型ヘッドで構成されている（図８参照）。また、図示は省略するが、インクジェットヘッド１０Ａ（又は１０Ｂ）に相当する短尺のヘッドを複数繋ぎ合わせることで長尺化することにより、全体として記録紙１１６の全幅に対応する長さのノズル列を有するライン型ヘッドで構成されていてもよい。

また、各ヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙは、記録紙１１６の全幅に満たない長さのノズル列を有する短尺ヘッドを紙搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシリアル型ヘッドで構成されていてもよい。

各ヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙがライン型ヘッドで構成される態様によれば、紙搬送方向（副走査方向）について記録紙１１６と印字部１１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録紙１１６の全面に画像を記録することができる。これにより、各ヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙがシリアル型ヘッドで構成される態様に比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。

なお本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出するヘッドを追加する構成も可能である。

図７に示したように、インク貯蔵／装填部１１４は、各ヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各ヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段等）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。

印字検出部１２４は、印字部１１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ等）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。

本例の印字検出部１２４は、少なくとも各ヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤（Ｒ）の色フィルタが設けられた光電変換素子（画素）がライン状に配列されたＲセンサ列と、緑（Ｇ）の色フィルタが設けられたＧセンサ列と、青（Ｂ）の色フィルタが設けられたＢセンサ列とからなる色分解ラインＣＣＤセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。

印字検出部１２４は、各色のヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。

印字検出部１２４の後段には、後乾燥部１４２が設けられている。後乾燥部１４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。

多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。

後乾燥部１４２の後段には、加熱・加圧部１４４が設けられている。加熱・加圧部１４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー１４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。

このようにして生成されたプリント物は、排紙部１２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１００では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部１２６Ａ、１２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える選別手段（不図示）が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）１４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター１４８は、排紙部１２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター１４８の構造は前述した第１のカッター１２８と同様であり、固定刃１４８Ａと丸刃１４８Ｂとから構成されている。また、図示を省略したが、本画像の排出部１２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。

図９は、インクジェット記録装置１００の制御系を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置１００は、通信インターフェース１７０、システムコントローラ１７２、画像メモリ１７４、モータドライバ１７６、ヒータドライバ１７８、プリント制御部１８０、画像バッファメモリ１８２、ヘッドドライバ１８４等を備えている。

通信インターフェース１７０は、ホストコンピュータ１８６から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース１７０にはＵＳＢ（Universal Serial Bus）、ＩＥＥＥ１３９４、イーサネット（登録商標）、無線ネットワークなどのシリアルインターフェースやセントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ（不図示）を搭載してもよい。ホストコンピュータ１８６から送出された画像データは通信インターフェース１７０を介してインクジェット記録装置１００に取り込まれ、一旦画像メモリ１７４に記憶される。

画像メモリ１７４は、通信インターフェース１７０を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ１７２を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ１７４は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなど磁気媒体を用いてもよい。

システムコントローラ１７２は、通信インターフェース１７０、画像メモリ１７４、モータドライバ１７６、ヒータドライバ１７８等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ１７２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ１８６との間の通信制御、画像メモリ１７４の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ１８８やヒータ１８９を制御する制御信号を生成する。

モータドライバ１７６は、システムコントローラ１７２からの指示に従ってモータ１８８を駆動するドライバ（駆動回路）である。ヒータドライバ１７８は、システムコントローラ１７２からの指示に従って後乾燥部１４２その他各部のヒータ１８９を駆動するドライバである。

プリント制御部１８０は、システムコントローラ１７２の制御に従い、画像メモリ１７４内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号（ドットデータ）をヘッドドライバ１８４に供給する制御部である。プリント制御部１８０において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいてヘッドドライバ１８４を介してヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙのインク滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。

プリント制御部１８０には画像バッファメモリ１８２が備えられており、プリント制御部１８０における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ１８２に一時的に格納される。なお、図９において画像バッファメモリ１８２はプリント制御部１８０に付随する態様で示されているが、画像メモリ１７４と兼用することも可能である。また、プリント制御部１８０とシステムコントローラ１７２とを統合して１つのプロセッサで構成する態様も可能である。

ヘッドドライバ１８４は、プリント制御部１８０から与えられるドットデータに基づいて各色のヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙのインクチャンネル２０（図１参照）を駆動するための駆動信号を生成し、インクチャンネル２０に対応する駆動電極４０に生成した駆動信号を供給する。ヘッドドライバ１８４にはヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。

印字検出部１２４は、図７で説明したように、ラインセンサを含むブロックであり、記録紙１１６に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況（吐出の有無、打滴のばらつきなど）を検出し、その検出結果をプリント制御部１８０に提供する。

プリント制御部１８０は、必要に応じて印字検出部１２４から得られる情報に基づいてヘッド１１２Ｋ、１１２Ｃ、１１２Ｍ、１１２Ｙに対する各種補正を行う。

以上、本発明のインクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。

１０Ａ、１０Ｂ…インクジェットヘッド、１２…アクチュエータ部材、１４…ノズルプレート、１６…カバー基板、２０…インクチャンネル、２２…ノズル、２４…供給流路、２６…循環流路、３４、３６…圧電体、３８…側壁、４０…電極、４２…取出電極、４４…フレキシブルプリント配線板、１００…インクジェット記録装置

Claims (10)

1. 圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁面に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させるインクジェットヘッドであって、
   前記インクチャンネルにインクを供給する供給流路と、
   前記インクチャンネル内に充填されたインクを循環させる循環流路と、を備え、
   前記インクチャンネルは、前記ノズルのインク吐出方向に平行な方向が長手方向となるように細長く延設され、
   前記インクチャンネルには、前記供給流路に連通する供給口が設けられるとともに、前記循環流路に連通する排出口が設けられることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
   前記インクチャンネルの長手方向に沿って、前記ノズル、前記排出口、及び前記供給口が順に配置されることを特徴とするインクジェットヘッド。
3. 請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
   前記インクチャンネルを長手方向に沿って前記ノズル側から順に前方領域、中間領域、後方領域に均等分割したときに、前記前方領域内に前記排出口が配置されることを特徴とするインクジェットヘッド。
4. 請求項３に記載のインクジェットヘッドにおいて、
   前記排出口は、前記ノズルの近傍領域に配置されることを特徴とするインクジェットヘッド。
5. 請求項２乃至４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
   前記インクチャンネルを長手方向に沿って前記ノズル側から順に前方領域、中間領域、後方領域に均等分割したときに、前記後方領域内に前記供給口が配置されることを特徴とするインクジェットヘッド。
6. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
   圧電性材料で構成され、前記複数のインクチャンネルが区画形成されたアクチュエータ部材と、
   前記アクチュエータ部材の一面側に接合され、前記供給流路及び前記循環流路が形成された流路形成部材と、を備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
7. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
   圧電性材料で構成され、前記複数のインクチャンネルが区画形成されたアクチュエータ部材と、
   前記アクチュエータ部材の一面側に接合され、前記供給流路が形成された第１の流路形成部材と、
   前記アクチュエータ部材の前記一面側とは反対の他面側に接合され、前記循環流路が形成された第２の流路形成部材と、
   を備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
8. 圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁面に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
   圧電性材料で構成され、前記複数のインクチャンネルが区画形成されるとともに、該インクチャンネルが前記ノズルのインク吐出方向に平行な方向が長手方向となるように細長く延設されたアクチュエータ部材を形成する工程と、
   前記インクチャンネルにインクを供給する供給流路、及び前記インクチャンネル内に充填されたインクを循環させる循環流路が形成された流路形成部材を前記アクチュエータ部材の一面側に接合する工程と、を含み、
   前記インクチャンネルには、前記供給流路に連通する供給口が設けられるとともに、前記循環流路に連通する排出口が設けられることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
9. 圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁面に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
   圧電性材料で構成され、前記複数のインクチャンネルが区画形成されるとともに、該インクチャンネルが前記ノズルのインク吐出方向に平行な方向が長手方向となるように細長く延設されたアクチュエータ部材を形成する工程と、
   前記インクチャンネルにインクを供給する供給流路が形成された第１の流路形成部材を前記アクチュエータ部材の一面側に接合する工程と、
   前記インクチャンネル内に充填されたインクを循環させる循環流路が形成された第２の流路形成部材を前記アクチュエータ部材の前記一面側とは反対の他面側に接合する工程と、を含み、
   前記インクチャンネルには、前記供給流路に連通する供給口が設けられるとともに、前記循環流路に連通する排出口が設けられることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
10. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。

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