JP2008155537A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、及び画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】リフィル性を向上させるとともに吐出効率を向上させ、高粘度液体の高周波吐出を可能とする。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室の前記ノズルが形成される側とは反対側に配置され、前記圧力室毎に設けられる供給路を介して前記複数の圧力室にそれぞれ連通し、前記複数の圧力室に供給するための液体が貯留される共通液室と、前記複数の圧力室と前記共通液室の間に配置され、前記圧力室毎に2つの独立駆動可能な圧電素子が設けられたアクチュエータ基板と、を備え、第1の圧電素子は前記圧力室内の液体に圧力変化を与えるとともに、第2の圧電素子は前記供給路の流路抵抗を変化させることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することにより、前記課題を解決する。
【選択図】 図2
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室の前記ノズルが形成される側とは反対側に配置され、前記圧力室毎に設けられる供給路を介して前記複数の圧力室にそれぞれ連通し、前記複数の圧力室に供給するための液体が貯留される共通液室と、前記複数の圧力室と前記共通液室の間に配置され、前記圧力室毎に2つの独立駆動可能な圧電素子が設けられたアクチュエータ基板と、を備え、第1の圧電素子は前記圧力室内の液体に圧力変化を与えるとともに、第2の圧電素子は前記供給路の流路抵抗を変化させることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することにより、前記課題を解決する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、及び画像形成装置に係り、特に、圧電素子の変位を利用して圧力室内の液体に圧力変化を与え、圧力室に連通するノズルから液滴を吐出する液体吐出ヘッドに関する。
インクジェット記録装置は、記録動作時の騒音が低く、ランニングコストが安く、また、多種態様の記録媒体に対して高品質な画像記録が可能であることなどから広く普及している。この記録装置は、記録ヘッドに設けられる複数の吐出口(ノズル)からインク滴を記録媒体に向かって吐出することにより記録を行うものである。記録ヘッドは、例えばノズル毎に吐出素子としての圧電素子を備え、圧電素子の変位を利用して圧力室内に充填されたインクに圧力変化を与え、圧力室に連通するノズルからインク滴を吐出する。
近年、インクジェット記録装置による記録画像の高品質化や高速記録化が望まれており、特に高粘度インクの高周波吐出の安定化を図ることが重要な技術課題の1つとなっている。このためには、圧力室へのインクの再充填を効率的に行えるようにリフィル性を向上させることが必要であり、これまでに様々なヘッド構造が提案されている。
例えば、特許文献1では、圧力室を上下に2分して吐出側と吸入側を設け、それぞれに圧電素子を取り付け、強制的なリフィルを可能としている。
また、特許文献2では、圧電ひずみ素子の駆動部内部にインク供給路を設け、圧電素子の変形により吐出と強制リフィルを同時に行うことが可能となっている。
特開平3−9845号公報
特開平9−1793号公報
しかしながら、特許文献1では、圧力室を上下に二分する点でも構造が複雑になり、気泡排除性が悪く流路全体の抵抗が大きくなって高粘度液体吐出や高周波吐出には2分した圧力室への再充填が間に合わなくなる。また、吐出用の圧電素子と吸入用の圧電素子を別に製作して組み込む必要があり工程数が増えてしまう。
また、特許文献2では、吐出と強制リフィルを別々に制御することができず、よりきめ細かい吐出の効率化は困難である。また、供給路自体の流路抵抗が変化するため、抵抗値のばらつきが吐出のばらつきに影響しやすく、高粘度液体吐出や高周波吐出には不利である。また、同文献記載のヘッド構造を実現するための製造方法は開示されておらず、複雑な製造プロセスが必要になると考えられる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、リフィル性を向上させるとともに吐出効率を向上させ、高粘度液体の高周波吐出を可能とする液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、及び画像形成装置を提供することを目的とする。
前記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、液滴を吐出する複数のノズルと、 前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室の前記ノズルが形成される側とは反対側に配置され、前記圧力室毎に設けられる供給路を介して前記複数の圧力室にそれぞれ連通し、前記複数の圧力室に供給するための液体が貯留される共通液室と、前記複数の圧力室と前記共通液室の間に配置され、前記圧力室毎に2つの独立駆動可能な圧電素子が設けられたアクチュエータ基板と、を備え、第1の圧電素子は前記圧力室内の液体に圧力変化を与えるとともに、第2の圧電素子は前記供給路の流路抵抗を変化させることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。
本発明によれば、圧力室のノズルが形成される側とは反対側に共通液室が配置された、いわゆる背面流路構造を採用することによって、共通液室から各圧力室への供給路が簡易化されるので流路抵抗を低く抑えることができ、リフィル性の向上に適したヘッド構成となる。更に、各圧力室と共通液室の間に配置されるアクチュエータ基板に圧力室毎に2つの独立駆動可能な圧電素子を設けたことにより、吐出動作やリフィル動作の最適化が無段階に可能となる。これにより、特に高粘度液体の高周波吐出の場合でも、強制的なリフィル動作が可能となり、圧力室に対する安定した液体供給を実現できるとともに、圧力室内の液体に対する加圧時の供給路側への逆流によるロスを低減することができ吐出効率も向上する。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の液体吐出ヘッドであって、前記アクチュエータ基板は、前記複数の圧力室の壁面となる振動板を備え、前記第1の圧電素子は圧電体の両面に電極が設けられた単層型圧電素子であり、前記振動板を挟んで前記圧力室に対向する位置に配置されていることを特徴とする。
請求項2の態様によれば、第1の圧電素子の伸縮変形により振動板をたわみ変形させることにより圧力室内の液体に圧力変化を与えることができ、第1の圧電素子の大型化を抑えつつ高密度配置が可能となるとともに、大変位を得ることができるので吐出効率を向上させることが可能となる。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は請求項2に記載の液体吐出ヘッドであって、前記第2の圧電素子は圧電体と電極が交互に複数積層された積層型圧電素子であり、前記供給路が前記第2の圧電素子の内部を貫通していることを特徴とする。
請求項3の態様によれば、第2の圧電素子の伸縮変形により供給路の内径が変化するので、供給路の流路抵抗を変化させることができる。これにより、特に高粘度液体の高周波吐出の場合でも、強制的なリフィル動作が可能となり、圧力室に対する安定した液体供給を実現できるともに、圧力室内の液体に対する加圧時の逆流によるロスを低減することができ吐出効率も向上する。
請求項4に記載の発明は、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドであって、前記第1及び第2の圧電素子は連動して駆動されることを特徴とする。
請求項4の態様によれば、配線数を増やすことなく、圧力室毎に設けられる2つの圧電素子(第1及び第2の圧電素子)の駆動制御が可能となる。
また、前記目的を達成するために、請求項5に記載の発明は、液滴を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室の前記ノズルが形成される側とは反対側に配置され、前記圧力室毎に設けられる供給路を介して前記複数の圧力室にそれぞれ連通し、前記複数の圧力室に供給するための液体が貯留される共通液室と、前記複数の圧力室と前記共通液室の間に配置され、前記圧力室毎に2つの独立駆動可能な圧電素子が設けられたアクチュエータ基板と、を備え、第1の圧電素子は前記圧力室内の液体に圧力変化を与えるとともに、第2の圧電素子は前記供給路の流路抵抗を増減させる液体吐出ヘッドの製造方法であって、圧電セラミックスのグリーンシートの積層と電極のパターニングを交互に繰り返すことによりグリーンシート積層体を形成する工程と、前記グリーンシート積層体を加圧して焼成することにより前記アクチュエータ基板を形成する工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
本発明によれば、圧電セラミックスのグリーンシートの積層と電極のパターニングを交互に繰り返して得られるグリーンシート積層体を加圧焼成することによりアクチュエータ基板を形成することができるので、部品点数を増やすことなく、単純な製造プロセスで、圧力室毎に2つの圧電素子(第1及び第2の圧電素子)を高密度に一括して形成することができるとともに各圧電素子の信頼性も向上する。また、アクチュエータ基板の厚さは厚く構成されるので強度が向上し、製造時におけるハンドリング性が向上し、破損などによる歩留まりの低下を防止することができる。
更に、前記目的を達成するために、請求項6に記載の発明は、請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置を提供する。
本発明によれば、高粘度液体の高周波吐出が可能となるので、記録画像の高品質化や高速記録化を実現することができる。
本発明によれば、圧力室のノズルが形成される側とは反対側に共通液室が配置された、いわゆる背面流路構造を採用することによって、共通液室から各圧力室への供給路が簡易化されるので流路抵抗を低く抑えることができ、リフィル性の向上に適したヘッド構成となる。更に、各圧力室と共通液室の間に配置されるアクチュエータ基板に圧力室毎に2つの独立駆動可能な圧電素子を設けたことにより、吐出動作やリフィル動作の最適化が無段階に可能となる。これにより、特に高粘度液体の高周波吐出の場合でも、強制的なリフィル動作が可能となり、圧力室に対する安定した液体供給を実現できるとともに、圧力室内の液体に対する加圧時の逆流によるロスを低減することができ吐出効率も向上する。
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
まず、本発明に係る画像形成装置の一実施形態としてのインクジェット記録装置について説明する。図1は、インクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。図1に示すように、このインクジェット記録装置10は、インクの色毎に設けられた複数の記録ヘッド12K、12C、12M、12Yを有する印字部12と、各記録ヘッド12K、12C、12M、12Yに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵/装填部14と、記録紙16を供給する給紙部18と、記録紙16のカールを除去するデカール処理部20と、前記印字部12のノズル面(インク吐出面)に対向して配置され、記録紙16の平面性を保持しながら記録紙16を搬送する吸着ベルト搬送部22と、印字部12による印字結果を読み取る印字検出部24と、印画済みの記録紙(プリント物)を外部に排紙する排紙部26と、を備えている。
図1では、給紙部18の一例としてロール紙(連続用紙)のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
ロール紙を使用する装置構成の場合、図1のように、裁断用のカッター28が設けられており、該カッター28によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター28は、記録紙16の搬送路幅以上の長さを有する固定刃28Aと、該固定刃28Aに沿って移動する丸刃28Bとから構成されており、印字裏面側に固定刃28Aが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃28Bが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター28は不要である。
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
給紙部18から送り出される記録紙16はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部20においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム30で記録紙16に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
デカール処理後、カットされた記録紙16は、吸着ベルト搬送部22へと送られる。吸着ベルト搬送部22は、ローラー31、32間に無端状のベルト33が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部12のノズル面及び印字検出部24のセンサ面に対向する部分が平面をなすように構成されている。
ベルト33は、記録紙16の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔(不図示)が形成されている。図1に示したとおり、ローラー31、32間に掛け渡されたベルト33の内側において印字部12のノズル面及び印字検出部24のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー34が設けられており、この吸着チャンバー34をファン35で吸引して負圧にすることによってベルト33上の記録紙16が吸着保持される。
ベルト33が巻かれているローラー31、32の少なくとも一方にモータ(不図示)の動力が伝達されることにより、ベルト33は図1において、時計回り方向に駆動され、ベルト33上に保持された記録紙16は、図1の左から右へと搬送される。
縁無しプリント等を印字するとベルト33上にもインクが付着するので、ベルト33の外側の所定位置(印字領域以外の適当な位置)にベルト清掃部36が設けられている。ベルト清掃部36の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。
なお、吸着ベルト搬送部22に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。従って、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
吸着ベルト搬送部22により形成される用紙搬送路上において印字部12の上流側には、加熱ファン40が設けられている。加熱ファン40は、印字前の記録紙16に加熱空気を吹きつけ、記録紙16を加熱する。印字直前に記録紙16を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
印字部12は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向(副走査方向)と直交する方向(主走査方向)に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている。印字部12を構成する各記録ヘッド12K、12C、12M、12Yは、本インクジェット記録装置10が対象とする最大サイズの記録紙16の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口(ノズル)が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
記録紙16の搬送方向(紙搬送方向)に沿って上流側(図1の左側)から黒(K)、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)の順に各色インクに対応した記録ヘッド12K、12C、12M、12Yが配置されている。記録紙16を搬送しつつ各記録ヘッド12K、12C、12M、12Yからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙16上にカラー画像を形成し得る。
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部12によれば、紙搬送方向(副走査方向)について記録紙16と印字部12を相対的に移動させる動作を一回行うだけで(すなわち、一回の副走査で)記録紙16の全面に画像を記録することができる。これにより、記録ヘッドが紙搬送方向と直交する方向(主走査方向)に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
なお本例では、KCMYの標準色(4色)の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出する記録ヘッドを追加する構成も可能である。
図1に示したように、インク貯蔵/装填部14は、各記録ヘッド12K、12C、12M、12Yに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各記録ヘッド12K、12C、12M、12Yと連通されている。また、インク貯蔵/装填部14は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段(表示手段、警告音発生手段等)を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
印字検出部24は、印字部12の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ(ラインセンサ等)を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
本例の印字検出部24は、少なくとも各記録ヘッド12K、12C、12M、12Yによるインク吐出幅(画像記録幅)よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤(R)の色フィルタが設けられた光電変換素子(画素)がライン状に配列されたRセンサ列と、緑(G)の色フィルタが設けられたGセンサ列と、青(B)の色フィルタが設けられたBセンサ列とからなる色分解ラインCCDセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
印字検出部24は、各色の記録ヘッド12K、12C、12M、12Yにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。
印字検出部24の後段には、後乾燥部42が設けられている。後乾燥部42は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
後乾燥部42の後段には、加熱・加圧部44が設けられている。加熱・加圧部44は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー45で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
このようにして生成されたプリント物は、排紙部26から排出される。本来プリントすべき本画像(目的の画像を印刷したもの)とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置10では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部26A、26Bへと送るために排紙経路を切り換える選別手段(不図示)が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター(第2のカッター)48によってテスト印字の部分を切り離す。カッター48は、排紙部26の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター48の構造は前述した第1のカッター28と同様であり、固定刃48Aと丸刃48Bとから構成されている。
また、図示を省略したが、本画像の排出部26Aには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。
なお、インク色ごとに設けられている各記録ヘッド12K、12C、12M、12Yの構造は共通しているので、以下では、これらを代表して符号50によって記録ヘッドを示すものとする。
次に、記録ヘッド50の構成について説明する。図2は、記録ヘッド50の概略構成を示した断面図であり、(a)は全体図、(b)は一部拡大図である。図2に示すように、本実施形態の記録ヘッド50は、ノズルプレート60、圧力室形成基板62、アクチュエータ基板64、配線基板66、及び共通液室形成基板68を順次積層して構成される。
記録ヘッド50のノズル面(インク吐出面)はノズルプレート60で構成され、ノズルプレート60には複数のインク吐出口(ノズル)51が形成される。なお、図示は省略したが、ノズルプレート60には2次元状(マトリクス状)に多数のノズル51が高密度に配列されている。
圧力室形成基板62には、圧力室52に相当する空間部が形成されている。圧力室52はノズル51毎に設けられており、圧力室52の下面端部にノズル51が連通する。圧力室52内部にはノズル51から吐出するためのインクが充填される。また、圧力室形成基板62には、インク供給路53の一部に相当する空間部が形成されている。インク供給路53は圧力室52毎に設けられており、圧力室52の側面端部にインク供給路53の一端が連通する。なお、インク供給路53はアクチュエータ基板64及び配線基板66を貫通し、インク供給路53の他端は共通液室55に連通する。
アクチュエータ基板64は、各圧力室52の上面を構成する振動板56と、振動板56の圧力室52側とは反対側に積層されるピエゾ層58とから構成される。ピエゾ層58には、2つの独立駆動可能な圧電素子70、80が圧力室52毎に設けられる。なお、アクチュエータ基板64の製造方法は後述するが、アクチュエータ基板64はPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)から成る圧電セラミックスの積層体として構成される。
第1の圧電素子70は、振動板56を挟んで各圧力室52に対向する位置にそれぞれ配置された単層型圧電素子であり、インク吐出用デバイスとして、図2の横方向に伸縮変形して振動板56をたわみ変形させることにより、圧力室52の容積を変化させ、圧力室52内のインクに圧力変化を与えるものである。第1の圧電素子70は、薄膜状の圧電体の両面に電極が配置されており、上面側の個別電極72、下面側の共通電極74はそれぞれ配線基板66に所定形状にパターニングされた電気配線90に各々接続される。なお、各圧力室52に対応する第1の圧電素子70の共通電極74はピエゾ層58の端部側に一括して引き出され、ピエゾ層58の貫通電極76を介して配線基板66の電気配線90に接続される。また、各第1の圧電素子70の上方(圧力室52側とは反対側)には所定広さの空間部78がそれぞれ形成されている。これにより、第1の圧電素子70の動作(変形)は拘束されず、振動板56を介して圧力室52内のインクに効率的に圧力を伝達することができ、記録ヘッド50の吐出効率が向上するとともに、配線基板66で密閉されるので結露などの影響が防止され信頼性が向上する。
第2の圧電素子80は、第1の圧電素子70に並んで配置された積層型圧電素子であり、その内部略中央をインク供給路53が貫通しており、リフィル用デバイスとして、図2の縦方向に伸縮変形してインク供給路53の内径(即ち、断面積)を増減させることにより、インク供給路53の流路抵抗を変化させるものである。第2の圧電素子80は、圧電体を挟んで個別電極82と共通電極84が交互に積層されている。第2の圧電素子80の各個別電極82は端部で一括して配線基板66側に引き出され、配線基板66の電気配線90に接続される。一方、第2の圧電素子80の各共通電極84は端部で一括して振動板56側に引き出され、第1の圧電素子70の共通電極74とともに一括してピエゾ層58の端部側に引き出され、貫通電極76を介して配線基板66の電気配線90に接続される。
配線基板66には、複数の電気配線90がパターニングされており、各電気配線90はそれぞれ対応する圧電素子70、80に対する駆動信号を伝達する。配線基板66は単層の配線基板でもよいし多層の配線基板でもよい。配線基板66の共通液室形成基板68側(共通液室55側)の面には、共通液室55内部のインクに対する電気配線90の接液を防止するために絶縁保護膜92が形成されている。
共通液室形成部材68には、共通液室55に相当する空間部(凹部)が形成され、配線基板66との接合によってその内部に共通液室55が構成される。共通液室55は各圧力室52に供給するためのインクが貯留される液体貯留部であり、その下面には圧力室52毎に設けられるインク供給路53がそれぞれ連通する。このように共通液室55と各圧力室52はそれぞれ対応するインク供給路53を介して連通しており、共通液室55から各圧力室52に対して各インク供給路53を経由してインク供給が行われ、各圧力室52にインクが充填される。
次に、各圧電素子70、80の動作について説明する前に、インクジェット記録装置10の制御系の構成について説明する。
図3は、インクジェット記録装置10の制御系を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置10は、通信インターフェース170、システムコントローラ172、画像メモリ174、モータドライバ176、ヒータドライバ178、プリント制御部180、画像バッファメモリ182、ヘッドドライバ184等を備えている。
通信インターフェース170は、ホストコンピュータ186から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース170にはシリアルインターフェースやパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ(不図示)を搭載してもよい。
ホストコンピュータ186から送出された画像データは通信インターフェース170を介してインクジェット記録装置10に取り込まれ、一旦画像メモリ174に記憶される。画像メモリ174は、通信インターフェース170を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ172を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ174は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなど磁気媒体を用いてもよい。
システムコントローラ172は、通信インターフェース170、画像メモリ174、モータドライバ176、ヒータドライバ178等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ172は、中央演算処理装置(CPU)及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ186との間の通信制御、画像メモリ174の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ188やヒータ189を制御する制御信号を生成する。
モータドライバ176は、システムコントローラ172からの指示に従ってモータ188を駆動するドライバ(駆動回路)である。ヒータドライバ178は、システムコントローラ172からの指示に従って後乾燥部42その他各部のヒータ189を駆動するドライバである。
プリント制御部180は、システムコントローラ172の制御に従い、画像メモリ174内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号(ドットデータ)をヘッドドライバ184に供給する制御部である。プリント制御部180において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいてヘッドドライバ184を介して記録ヘッド50のインク滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。
プリント制御部180には画像バッファメモリ182が備えられており、プリント制御部180における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ182に一時的に格納される。なお、図3において画像バッファメモリ182はプリント制御部180に付随する態様で示されているが、画像メモリ174と兼用することも可能である。また、プリント制御部180とシステムコントローラ172とを統合して1つのプロセッサで構成する態様も可能である。
ヘッドドライバ184は、プリント制御部180から与えられるドットデータに基づいて各色の記録ヘッド50の各圧電素子70、80(図2参照)を駆動するための駆動信号を生成し、圧電素子70、80に生成した駆動信号を供給する。ヘッドドライバ184には記録ヘッド50の駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。
特に、本実施形態においては、プリント制御部180の中に第1及び第2の圧電素子70、80の駆動制御を実行する圧電素子制御部180aが設けられており、圧電素子制御部180aによって、ヘッドドライバ184を介して各圧電素子70、80の動作が制御される。
印字検出部24は、図1で説明したように、ラインセンサを含むブロックであり、記録紙16に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況(吐出の有無、打滴のばらつきなど)を検出し、その検出結果をプリント制御部180に提供する。
プリント制御部180は、必要に応じて印字検出部24から得られる情報に基づいて記録ヘッド50に対する各種補正を行う。
次に、各圧電素子70、80の動作について説明する。
図4は、各圧電素子70、80に供給される駆動信号の一例(第1の駆動例)を示した電圧波形図であり、また、図5は、第1の駆動例における各圧電素子70、80の動作の様子を示した図である。図5中、各圧電素子70、80は電極構造を省略して簡易的に表示している。以下では、インク供給路53のうち、第2の圧電素子70内部を貫通する部分の流路を指すときは符号53aで表し、振動板56の圧力室52側に形成される部分の流路を指すときは符号53bで表す。
図4(a)は、第1の圧電素子70に供給される駆動信号の電圧波形であり、複数の台形状のパルス波形100が繰り返される。パルス波形100は、第1の波形(立ち上がり波形)102、第2の波形(立ち下がり波形)104、及び第3の波形(維持波形)106から構成される。図示するように、第1の波形102に相当する区間をT1、第3の波形106に相当する区間をT2、第2の波形104に相当する区間をT3、先のパルス波形100Aから次のパルス波形100Bまでの間に相当する区間をT4とする。一方、図4(b)は、第2の圧電素子80に供給される駆動信号の電圧波形であり、複数の3角形状のパルス波形110が繰り返される。パルス波形110は、区間T4に位置しており、第1の波形(立ち上がり波形)112と第2の波形(立ち下がり波形)114とから構成される。以下、このような駆動信号が各圧電素子70、80に供給されたときの動作について、図4、図5を参照しながら説明する。なお、図5(a)は、各圧電素子70、80に駆動信号が供給される前の状態(初期状態)を参考として示したものである。
まず、最初の区間T1においては、図4(a)に示す第1の波形102のとおり、第1の圧電素子70に対する印加電圧を時間の経過とともに徐々に増加させ、図5(b)に示すように、第1の圧電素子70を振動板56が圧力室52の反対側に凸形状となるように動作させる。これにより、圧力室52の容積は増加するのでノズル51のメニスカスが圧力室52側に引き込まれる。
次の区間T2においては、図4(a)に示す第3の波形106のとおり、第1の圧電素子70に印加される電圧は一定に保たれ、第1の圧電素子70は区間T1終了時の動作状態を維持する。つまり、メニスカスは圧力室52側に一端引き込まれた状態で静定状態を保つ。
次の区間T3においては、図4(a)に示す第2の波形104のとおり、第1の圧電素子70に対する印加電圧を徐々に減少させ、第1の圧電素子70を振動板56が元の状態(区間T1開始時の動作状態)となるように動作させる。この際、圧力室52の容積は減少するので圧力室52内のインクは加圧され、ノズル51からインク滴が吐出される。
一方、上述した区間T1〜T3においては、図4(b)及び図5(b)、(c)に示すように、第2の圧電素子80にはその内部を貫通するインク供給路53aの内径を初期状態(図5(a)参照)に比べて縮小した状態で維持する一定電圧が印加され、インク供給路53aの流路抵抗が初期状態に比べて大きくなっている状態でメニスカスの引き込みからインク吐出が行われる。従って、圧力室52からインク供給側(共通液室55側)へのインクの逆流が防止された状態で効率良くインク吐出動作を行うことができる。
次の区間T4においては、図4(b)に示した第1の波形112のとおり、第2の圧電素子80に対する印加電圧を徐々に増加させ、図5(d)に示すように、第2の圧電素子80をインク供給路53aの内径を初期状態に比べて拡大させるように動作させる。この際、インク供給路53aには共通液室55からインクが供給される。その後、図4(b)に示した第2の波形114のとおり、第2の圧電素子80に対する印加電圧を徐々に減少させ、第2の圧電素子80をインク供給路53aの内径を初期状態に比べて縮小させるように動作させる。これにより、インク供給路53a内のインクは加圧されるので、圧力室52に対するインク供給が強制的に行われる。
このような第2の圧電素子80による強制的なリフィル動作は、インク吐出動作が終了してから次のインク吐出動作が開始される間で行われることが好ましい。具体的には、図4(a)、(b)に示すように、先のパルス波形100Aと次のパルス波形100Bの間に相当する区間T4に少なくとも3角形状のパルス波形110の第2の波形(立ち下がり波形)114が配置されるようにし、より好ましくは、第1の波形112(立ち上がり波形)も区間T4に配置されるようにする。インク吐出動作とリフィル動作を別々に行うことにより、高粘度インクの高周波吐出が行われる場合でも圧力室52に対する安定したインク供給が可能となる。
第1の駆動例によれば、各圧力室52のノズル51側とは反対側に共通液室55が配置された背面流路構造を採用したことにより、共通液室55と各圧力室52を連通するインク供給路53の構造を簡易化でき、リフィル性の向上に適したヘッド構成となる。更に、各圧力室52と共通液室55の間に配置されるアクチュエータ基板64のピエゾ層58に、2つの独立駆動可能な圧電素子70、80を圧力室52毎に設けて、第1の圧電素子70を圧力室52内のインクに圧力変化を与える吐出用デバイスとし、第2の圧電素子80をその内部を貫通するインク供給路53の流路抵抗を変化させるリフィル用デバイスとしたことにより、部品数を増やすことなく、インク吐出動作やリフィル動作の最適化が無段階に可能となる。特に、高粘度インクの高周波吐出が行われる場合でもきめ細かい駆動制御が可能となり、圧力室52に対して強制的なリフィル動作が可能となるので安定したインク供給を実現できるとともに、インク吐出時には圧力損失を確実に抑えることが可能となるので吐出効率も向上させることができる。
第1の駆動例において、第2の圧電素子80の動作状態に応じて孔径が変化するインク供給路53aの最小径をP1、最大径をP2とし、振動板56の圧力室52側に形成されるインク供給路53bの孔径をQとしたとき、次式を満足することが好ましい。
P1<Q 且つ P2>Q
即ち、インク供給路53aの孔径(最小径)P1がインク供給路53bの孔径Qより大きくなるようにすることで、インク吐出動作時(図5(b)、(c)参照)において、インク供給路53aが供給絞りとして機能するので、圧力損失をより確実に抑えた状態で効率的にインク吐出を行うことができる。また、リフィル動作時(図5(e)参照)において、インク供給路53a内のインクの加圧力を高めることができ、強制的なリフィルを確実に行うことができる。
即ち、インク供給路53aの孔径(最小径)P1がインク供給路53bの孔径Qより大きくなるようにすることで、インク吐出動作時(図5(b)、(c)参照)において、インク供給路53aが供給絞りとして機能するので、圧力損失をより確実に抑えた状態で効率的にインク吐出を行うことができる。また、リフィル動作時(図5(e)参照)において、インク供給路53a内のインクの加圧力を高めることができ、強制的なリフィルを確実に行うことができる。
一方、インク供給路53aの孔径(最大径)P2がインク供給路53bの孔径Qより小さくなるようにすることで、リフィル動作時(図5(d)参照)においてインク供給路53a内により多くのインクが流入するので圧力室52に対するインク供給量を増加させることができ安定したリフィルが可能となる。また、インク供給路53aに比べて高精度なインク供給路53bによって、圧力室52に対するインク供給量のばらつきを抑えることができる。
なお、このような第1及び第2の圧電素子70、80に供給される駆動信号は、上述したプリント制御部180の圧電素子制御部180aによる制御に基づいて、ヘッドドライバ184で生成される。後述する他の駆動例についても同様である。
図6は、各圧電素子70、80に供給される駆動信号の他の例(第2の駆動例)を示した波形図である。図6中、図4と共通する部分については同一番号を付している。図6(a)の駆動信号は第1の圧電素子70に対して供給されるものであり、図4(a)に示した駆動信号と同一波形である。一方、図6(b)は第2の圧電素子80に対して供給されるものであり、第1の波形112が区間T4から(次の)区間T1をまたがるように配置されている点で図4(b)の駆動信号とは異なる。このように区間T1の所定時点で第2の圧電素子80に対する印加電圧の減少が終了してもよい。インク吐出動作の開始とリフィル動作の終了を時間的に重ねて行うことにより、強制的に圧電素子80が縮小する動作にてインクを圧力室52側へ供給するので、更なる高周波吐出への対応が可能となる。
図7は、各圧電素子70、80に供給される駆動信号の他の例(第3の駆動例)を示した波形図である。また、図8は、第3の駆動例における各圧電素子70、80の動作の様子を示した図である。図7、8中、図4、5と共通する部分については同一番号を付している。なお、図8に示した圧電素子70、80は、図5に示した圧電素子70、80の分極方向とそれぞれ逆方向に分極されているものとする。
まず、最初の区間T1においては、図7(a)に示す第1の波形102のとおり、第1の圧電素子70に対する印加電圧を時間の経過とともに徐々に増加させ、図8(b)に示すように、第1の圧電素子70を振動板56が圧力室52の反対側に凹形状(即ち、圧力室52側に凸形状)となるように動作させる。これにより、圧力室52の容積は減少するので圧力室52内のインクが加圧される。
次の区間T2においては、図7(a)に示す第3の波形106のとおり、第1の圧電素子70に印加される電圧は一定に保たれ、第1の圧電素子70は区間T1終了時の動作状態を維持する。つまり、メニスカスが圧力室52の外側に押し出された状態からインク滴が吐出される。
一方、上述した区間T1〜T2においては、図7(b)及び図8(a)、(b)に示すように、第2の圧電素子80にはその内部を貫通するインク供給路53aの内径を初期状態で維持し、インク供給路全体の流路抵抗がインク供給路53bによって規定された状態でインク吐出が行われる。従って、圧力室52からインク供給側(共通液室55側)へのインクの逆流は精度ばらつきの少ないインク供給路53bによって規定されるので吐出量のばらつきが防止される。
次の区間T3においては、図7(a)に示す第2の波形104のとおり、第1の圧電素子70に対する印加電圧を徐々に減少させ、第1の圧電素子70を振動板56が元の状態(区間T1開始時の動作状態)となるように動作させる。この際、圧力室52の容積は増加するので共通液室55から圧力室52にインクが補充される。
また、このとき、図7(b)に示した第1の波形122のとおり、第2の圧電素子80に対する印加電圧を徐々に減少させ、図8(c)に示すように、第2の圧電素子80をインク供給路53aの内径を初期状態に比べて拡大させるように動作させる。この際、インク供給路53aには共通液室55からインクが供給される。その後、図7(b)に示した第2の波形124のとおり、第2の圧電素子80に対する印加電圧を徐々に増加させ、第2の圧電素子80をインク供給路53aの内径を初期状態に戻すように動作させる。これにより、インク供給路53a内のインクは加圧されるので、圧力室52に対するインク供給が強制的に行われる。
このような第2の圧電素子80による強制的なリフィル動作は、インク吐出直後から次のインク吐出動作が開始される間で行われることが好ましい。具体的には、図7(a)、(b)に示すように、第1の圧電素子70が初期状態に戻る動作中に相当する区間T3に少なくとも3角形状のパルス波形120の第1の波形(立ち上がり波形)122が開始されるようにし、より好ましくは、第2の波形124(立ち下がり波形)は区間T3に完了されるようにする。インク吐出直後からリフィル動作を開始することより、高粘度インクの高周波吐出が行われる場合でも圧力室52に対して充分なインク供給が可能となる。
第3の駆動例によれば、各圧力室52のノズル51側とは反対側に共通液室55が配置された背面流路構造を採用したことにより、共通液室55と各圧力室52を連通するインク供給路53の構造を簡易化でき、リフィル性の向上に適したヘッド構成となる。更に、各圧力室52と共通液室55の間に配置されるアクチュエータ基板64のピエゾ層58に、2つの独立駆動可能な圧電素子70、80を圧力室52毎に設けて、第1の圧電素子70を圧力室52内のインクに圧力変化を与える吐出用デバイスとし、第2の圧電素子80をその内部を貫通するインク供給路53の流路抵抗を変化させるリフィル用デバイスとしたことにより、部品数を増やすことなく、インク吐出動作やリフィル動作の最適化が無段階に可能となる。特に、高粘度インクの高周波吐出が行われる場合でもきめ細かい駆動制御が可能となり、圧力室52に対して強制的なリフィル動作が可能となるので安定したインク供給を実現できるとともに、インク吐出時には圧力損失を精度ばらつきの少ない部分で規定するので吐出量のばらつきも抑えることができる。
第3の駆動例において、第2の圧電素子80の動作状態に応じて孔径が変化するインク供給路53aの最小径をP1、最大径をP2とし、振動板56の圧力室52側に形成されるインク供給路53bの孔径をQとしたとき、次式を満足することが好ましい。
P1≧Q
即ち、インク供給路53aの孔径(最小径)P1がインク供給路53bの孔径Qより小さくならないようにすることで、インク吐出動作時(図8(b)参照)において、インク供給路53bが供給絞りとして機能するので、圧力損失のばらつきを抑えた状態で吐出量ばらつきの少ないインク吐出を行うことができる。
即ち、インク供給路53aの孔径(最小径)P1がインク供給路53bの孔径Qより小さくならないようにすることで、インク吐出動作時(図8(b)参照)において、インク供給路53bが供給絞りとして機能するので、圧力損失のばらつきを抑えた状態で吐出量ばらつきの少ないインク吐出を行うことができる。
一方、インク供給路53aの孔径(最大径)P2がインク供給路53bの孔径Qより大きくなるようにすることで、リフィル動作時(図8(d)参照)においてインク供給路53a内により多くのインクが流入するので圧力室52に対するインク供給量を増加させることができ安定したリフィルが可能となる。
図9は、各圧電素子70、80に供給される駆動信号の他の波形例(第4の駆動例)を示した波形図である。図9中、図4と共通する部分については同一番号を付している。第4の駆動例は、圧力室52毎に設けられる2つの圧電素子70、80の個別電極72、82同士を短絡させて、第1及び第2の圧電素子70、80を連動して動作させる態様である。図9(a)の駆動信号は第1の圧電素子70に対して供給されるものであり、図4(a)に示した駆動信号と同一波形である。一方、図9(b)は第1の圧電素子70に供給される駆動信号と同じものであり、この駆動信号は第2の圧電素子80に対して供給される。ただし、第1の圧電素子70と第2の圧電素子80の分極方向は逆であるものとする。上側に凸状の台形状のパルス波130は、第1の波形(立ち上がり波形)132、第2の波形(立ち下がり波形)134、及び第3の波形(維持波形)136から構成される。区間T1では、第1の波形132によって第2の圧電素子80をインク供給路53の内径を縮小させるように動作させる。次の区間T2では、第3の波形136によって第2の圧電素子80の動作状態を維持する。次の区間T3では、第2の波形134によって第2の圧電素子80をインク供給路53の内径を拡大させるように動作させる。第4の駆動例におけるリフィル動作は、先のパルス波形130Aの第2の波形134が開始される時点から次のパルス波形130Bの第1の波形132が終了する時点(即ち、区間T3〜T5)で行われる。つまり、先のインク吐出動作の終了直前から次のインク吐出動作の開始直後にわたって強制的なリフィル動作が行われる。このように圧力室52毎に設けられる2つの圧電素子70、80の個別電極72、82同士を短絡させて、第1及び第2の圧電素子70、80を連動して動作させる態様によれば、ヘッド全体(特にアクチュエータ基板64や配線基板66)の配線数を少なく抑えることができるので、高密度化に適したヘッド構成となる。
図10は、記録ヘッド50の他の構成例を示した拡大断面図である。図10中、図2と共通する部分については同一番号を付している。本例では、図10に示すように、インク供給路53のうち配線基板66及びアクチュエータ基板64を貫通する部分の流路が、共通液室55側から圧力室52側に向かって内径が徐々に狭くなる断面逆テーパ状に構成される。このようなインク供給路53の構成によれば、図2に示したような流路の軸方向に沿って同径に構成された断面ストレート状の流路に比べてリフィル性を向上させることができる。
次に、本実施形態の記録ヘッド50の製造方法について説明する。
図11は、アクチュエータ基板64の製造工程を示した図である。アクチュエータ基板64の製造方法としては、まず、図11(a)に示すように、振動板56となる厚さ10μm程度のグリーンシート200に対して、インク供給路53に相当する孔部200aをパンチングなどの方法で形成する。続いて、図11(b)に示すように、グリーンシート200表面に電極202をスクリーン印刷などの方法でパターニングする。なお、本製造方法で用いられる各グリーンシート200、204、206(206A〜206D)は、チタン酸ジルコン酸鉛(ピエゾ)を原材料とする圧電セラミックスのグリーンシートである。
次に、図11(c)に示すように、各孔部204a、204bが形成されたグリーンシート204をグリーンシート200表面側(電極202が形成された面側)に位置決めして積層する。各孔部204a、204bの形成方法はグリーンシート200の孔部200aの場合と同様の方法で形成する。なお、後述する各グリーンシート206(206A〜206D)に形成される各孔部ついても同様である。孔部204aはインク供給路53に相当し、孔部204bはグリーンシート204を貫通する電極を形成するための孔部である。続いて、図11(d)に示すように、スクリーン印刷などの方法を用いてグリーンシート204表面及び孔部204b内部に電極202をパターニングする。
次に、図11(e)に示すように、各孔部206a、206b、206cが形成されたグリーンシート206(206A)をグリーンシート204表面側に位置決めして積層する。孔部206a、206cはそれぞれインク供給路53、空間部78に相当し、孔部206bはグリーンシート206を貫通する電極を形成するための孔部である。続いて、図11(f)に示すように、スクリーン印刷などの方法を用いてグリーンシート206表面及び孔部206b内部に電極202をパターニングする。
このようなグリーンシート206の積層と電極202のパターニングを複数繰り返し行うことにより、図11(g)に示すようなグリーンシート積層体210を得る。その後、グリーンシート積層体210が反らないように積層方向の両側から一定の圧力をかけつつ一括焼成する。このようにして圧電セラミックスの積層体としてのアクチュエータ基板64が完成し、吐出用デバイスとしての第1の圧電素子70とリフィル用デバイスとしての第2の圧電素子80がピエゾ層58内部に一括形成される。
圧力室形成基板62(図2参照)の製造方法については、例えば、単結晶シリコンの異方性エッチングやドライエッチング、ウェットエッチングしたSUSプレートを積層して接合することにより製作可能である。これにより、振動板56の圧力室52側のインク供給路53bを第2の圧電素子80の内部を貫通するインク供給路53aに比べて高精度に形成することができ、流路抵抗のばらつきを抑えることができ、吐出量のばらつきを抑えることが可能となる。記録ヘッド50の他の構成基板(ノズルプレート60、配線基板66、共通液室形成基板68)については、公知の方法を用いて製作すればよいため説明を省略する。
最後に、アクチュエータ基板64を含む記録ヘッド50の各構成基板60〜68を位置合わせしながら、図2に示したように順次積層して接合することにより、本実施形態の記録ヘッド50が完成する。
本実施形態の記録ヘッド50の製造方法によれば、圧電セラミックスのグリーンシートの積層と電極のパターニングを交互に繰り返して得られるグリーンシート積層体210を加圧焼成することによりアクチュエータ基板64を形成することができるので、部品点数を増やすことなく、単純な製造プロセスで、アクチュエータ基板64を構成するピエゾ層58内部に2つの圧電素子70、80を圧力室52毎に一括して高密度に形成することができるともに各圧電素子70、80の信頼性も向上する。また、圧電セラミックスの積層体として構成されるアクチュエータ基板64の厚さは厚く構成されるので強度が向上し、製造時におけるハンドリング性が向上し、破損などによる歩留まりの低下を防止することができる。また、大型のグリーンシートを使用して、小型のユニットを複数配置して切り出すことで得率が向上し、コストダウンが可能となる。
以上、本発明の液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、及び画像形成装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
10…インクジェット記録装置、50…記録ヘッド、51…ノズル、52…圧力室、53…インク供給路、55…共通液室、56…振動板、58…ピエゾ層、60…ノズルプレート、62…圧力室形成基板、64…アクチュエータ基板、66…配線基板、68…共通液室形成基板、70…第1の圧電素子、78…空間部、80…第2の圧電素子
Claims (6)
- 液滴を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、
前記圧力室の前記ノズルが形成される側とは反対側に配置され、前記圧力室毎に設けられる供給路を介して前記複数の圧力室にそれぞれ連通し、前記複数の圧力室に供給するための液体が貯留される共通液室と、
前記複数の圧力室と前記共通液室の間に配置され、前記圧力室毎に2つの独立駆動可能な圧電素子が設けられたアクチュエータ基板と、を備え、
第1の圧電素子は前記圧力室内の液体に圧力変化を与えるとともに、第2の圧電素子は前記供給路の流路抵抗を変化させることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記アクチュエータ基板は、前記複数の圧力室の壁面となる振動板を備え、
前記第1の圧電素子は圧電体の両面に電極が設けられた単層型圧電素子であり、前記振動板を挟んで前記圧力室に対向する位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第2の圧電素子は圧電体と電極が交互に複数積層された積層型圧電素子であり、前記供給路が前記第2の圧電素子の内部を貫通していることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第1及び第2の圧電素子は連動して駆動されることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 液滴を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室の前記ノズルが形成される側とは反対側に配置され、前記圧力室毎に設けられる供給路を介して前記複数の圧力室にそれぞれ連通し、前記複数の圧力室に供給するための液体が貯留される共通液室と、前記複数の圧力室と前記共通液室の間に配置され、前記圧力室毎に2つの独立駆動可能な圧電素子が設けられたアクチュエータ基板と、を備え、第1の圧電素子は前記圧力室内の液体に圧力変化を与えるとともに、第2の圧電素子は前記供給路の流路抵抗を増減させる液体吐出ヘッドの製造方法であって、
圧電セラミックスのグリーンシートの積層と電極のパターニングを交互に繰り返すことによりグリーンシート積層体を形成する工程と、
前記グリーンシート積層体を加圧して焼成することにより前記アクチュエータ基板を形成する工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011031181A (ja) * | 2009-08-03 | 2011-02-17 | Nec Corp | 噴射式塗布ユニット、噴射式塗布装置及び噴射式塗布方法 |
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JP2019155269A (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 株式会社リコー | 液滴吐出手段、液滴形成装置及び分注装置 |
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2006
- 2006-12-25 JP JP2006348307A patent/JP2008155537A/ja active Pending
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