JP2019051708A - ガスバリア性フィルムおよびフレキシブル電子デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
〔1〕可撓性基材を少なくとも含む基材層、アンダーコート層、および、無機薄膜層をこの順に少なくとも有するガスバリア性フィルムであって、
該ガスバリア性フィルムの23℃、50%RHにおける水蒸気透過度は、0.001g/m2/day以下であり、
該ガスバリア性フィルムの無機薄膜層側の最表面について、#0000番のスチールウールを用い、荷重50gf/cm2、速度60rpm/min、片道距離3cmの条件でスチールウール試験を行い測定される耐久回数Nが、式(1):
N≦200 (1)
を満たす、ガスバリア性フィルム。
〔2〕アンダーコート層は重合性官能基を有する光硬化性化合物の重合物を含有する、前記〔1〕に記載のガスバリア性フィルム。
〔3〕ガスバリア性フィルムの一方の最表面と他方の最表面との間の動摩擦係数は0.5以下である、前記〔1〕または〔2〕に記載のガスバリア性フィルム。
〔4〕アンダーコート層の赤外吸収スペクトルにおける1,000〜1,100cm−1の範囲の赤外吸収ピークの強度をIaとし、1,700〜1,800cm−1の範囲の赤外吸収ピークの強度をIbとすると、IaおよびIbは式(2):
0.05≦Ib/Ia≦1.0 (2)
を満たす、前記〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
〔5〕無機薄膜層は、珪素原子、酸素原子および炭素原子を少なくとも含有する、前記〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
〔6〕無機薄膜層に含まれる珪素原子、酸素原子および炭素原子の合計数に対する炭素原子の原子数比が、無機薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、連続的に変化する、前記〔5〕に記載のガスバリア性フィルム。
〔7〕無機薄膜層の膜厚方向における、該無機薄膜層の表面からの距離と、各距離における該無機薄膜層に含まれる珪素原子、酸素原子および炭素原子の合計数に対する炭素の原子数比との関係を示す炭素分布曲線が、8つ以上の極値を有する、前記〔5〕または〔6〕に記載のガスバリア性フィルム。
〔8〕前記無機薄膜層上に保護薄膜層を有し、該保護薄膜層は珪素化合物を含有する塗布液から得られた塗膜に改質処理を施して形成されたものである、前記〔1〕〜〔7〕のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
〔9〕前記〔1〕〜〔8〕のいずれかに記載のガスバリア性フィルムを有するフレキシブル電子デバイス。
本発明のガスバリア性フィルムは、可撓性基材を少なくとも含む基材層、アンダーコート層、および、無機薄膜層をこの順に少なくとも有する。
N≦200 (1)
を満たす。上記の耐久回数Nが200回を超える場合、無機薄膜層側の最表面の硬度が高くなりすぎることに起因して、高湿条件下での層間の密着性が低下する。無機薄膜層側の最表面の硬度が高いことは、無機薄膜層および/またはアンダーコート層が硬いことを表していると考えられ、このため、これらの2層間での密着性が得られず、高湿条件下での層間に隙間等が生じると考えられる。なお、アンダーコート層中のシロキサン由来のSi−O−Si結合に対するC=O二重結合の割合が相対的に高くなりすぎることが、アンダーコート層が硬くなりすぎる一因であると考えられる。なお、本願発明は、上記メカニズムに何ら限定されるものではない。上記の耐久回数Nは、高湿条件下での層間の密着性を高めやすい観点から、好ましくは200回以下、より好ましくは120回以下、さらに好ましくは70回以下である。
本発明のガスバリア性フィルムは、基材層、アンダーコート層、および、無機薄膜層をこの順に少なくとも有する。本発明のガスバリア性フィルムは、基材層と無機薄膜層との間に存在する少なくとも1層のアンダーコート層を有すればよく、上記順に存在するアンダーコート層を少なくとも有する限り、別の部分に積層されたさらなるアンダーコート層を有していてもよい。アンダーコート層は、平坦化層としての機能を有する層であってもよいし、アンチブロッキング層としての機能を有する層であってもよいし、これらの両方の機能を有する層であってもよい。アンダーコート層は単層でもよいし、2層以上の多層であってもよい。また、アンダーコート層に無機粒子が含まれていてもよい。
反応率[%]=[1−(ICC2/ICO2)/(ICC1/ICO1)]×100 (3)
により算出される。なお、C=C二重結合に由来する赤外吸収ピークは通常1,350〜1,450cm−1の範囲、例えば1,400cm−1付近に観察され、C=O二重結合に由来する赤外吸収ピークは通常1,700〜1,800cm−1の範囲、例えば1,700cm−1付近に観察される。
0.05≦Ib/Ia≦1.0 (2)
を満たすことが好ましい。ここで、1,000〜1,100cm−1の範囲の赤外吸収ピークは、アンダーコート層に含まれる化合物および重合物(例えば、重合性官能基を有する光硬化性化合物および/またはその重合物)中に存在するシロキサン由来のSi−O−Si結合に由来する赤外吸収ピークであり、1,700〜1,800cm−1の範囲の赤外吸収ピークは、アンダーコート層に含まれる化合物および重合物(例えば、重合性官能基を有する光硬化性化合物および/またはその重合物)中に存在するC=O二重結合に由来する赤外吸収ピークであると考えられる。そして、これらのピークの強度の比(Ib/Ia)は、アンダーコート層中のシロキサン由来のSi−O−Si結合に対するC=O二重結合の相対的な割合を表すと考えられる。ピークの強度の比(Ib/Ia)が上記所定の範囲である場合、アンダーコート層の均一性を高めやすいと共に、層間の密着性、特に高湿環境下での密着性を高めやすくなる。ピークの強度の比(Ib/Ia)は、好ましくは0.05以上、より好ましくは0.10以上、さらに好ましくは0.20以上である。ピーク強度の比が上記の下限以上である場合、アンダーコート層の均一性を高めやすい。これは、本願発明は後述するメカニズムに何ら限定されないが、アンダーコート層に含まれる化合物および重合物中に存在するシロキサン由来のSi−O−Si結合が多くなりすぎるとアンダーコート層中に凝集物が生じ、層が脆化する場合があり、このような凝集物の生成を低減しやすくなるためであると考えられる。ピークの強度の比(Ib/Ia)は、好ましくは1.0以下、より好ましくは0.8以下、さらに好ましくは0.5以下、とりわけ好ましくは0.4以下である。ピーク強度の比が上記の上限以下である場合、アンダーコート層の密着性を高めやすい。これは、本願発明は後述するメカニズムに何ら限定されないが、アンダーコート層に含まれる化合物および重合物中にシロキサン由来のSi−O−Si結合が一定量以上存在することにより、アンダーコート層の硬さが適度に低減されるためであると考えられる。アンダーコート層の赤外吸収スペクトルは、ATRアタッチメント(PIKE MIRacle)を備えたフーリエ変換型赤外分光光度計(日本分光(株)製、FT/IR−460Plus)により測定できる。
本発明のガスバリア性フィルムは、基材層、アンダーコート層、および、無機薄膜層をこの順に少なくとも有する。本発明のガスバリア性フィルムは、基材層の少なくとも一方の面に積層されたアンダーコート層の、基材層と接する表面とは反対側の表面に積層された少なくとも1層の無機薄膜層を有すればよく、上記順に存在する少なくとも1層の無機薄膜層を有する限り、別の部分に積層されたさらなる無機薄膜層を有していてもよい。無機薄膜層は、ガスバリア性を有する無機材料の層であれば特に限定されず、公知のガスバリア性を有する無機材料の層を適宜利用することができる。無機材料の例としては、金属酸化物、金属窒化物、金属酸窒化物、金属酸炭化物およびこれらのうちの少なくとも2種を含む混合物が挙げられる。無機薄膜層は単層膜であってもよいし、上記薄膜層を少なくとも含む2層以上が積層された多層膜であってもよい。
0.02<C/Si<0.50 (4)
C/Siは、同様の観点から、0.03<C/Si<0.45の範囲にあるとより好ましく、0.04<C/Si<0.40の範囲にあるとさらに好ましく、0.05<C/Si<0.35の範囲にあると特に好ましい。
<XPSデプスプロファイル測定>
エッチングイオン種:アルゴン(Ar+)
エッチングレート(SiO2熱酸化膜換算値):0.027nm/sec
スパッタ時間:0.5min
X線光電子分光装置:アルバック・ファイ(株)製、機種名「Quantera SXM」
照射X線:単結晶分光AlKα(1,486.6eV)
X線のスポットおよびそのサイズ:100μm
検出器:Pass Energy 69eV,Step size 0.125eV
帯電補正:中和電子銃(1eV)、低速Arイオン銃(10V)
0.01≦I2/I1<0.05 (5)
0.25≦I3/I1≦0.50 (6)
0.70≦I4/I3<1.00 (7)
(i)珪素の原子数比、酸素の原子数比および炭素の原子数比が、前記薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、式(8)で表される条件を満たす、および、
(酸素の原子数比)>(珪素の原子数比)>(炭素の原子数比) (8)
(ii)前記炭素分布曲線が好ましくは少なくとも1つ、より好ましくは8つ以上の極値を有する。
|dC/dx|≦0.01 (9)
本発明のガスバリア性フィルムは、可撓性基材を少なくとも含む基材層を有する。可撓性基材は、無機薄膜層を保持することができる可撓性の基材である。可撓性基材としては、樹脂成分として少なくとも1種の樹脂を含む樹脂フィルムを用いることができる。可撓性基材は透明な樹脂基材であることが好ましい。
本発明のガスバリア性フィルムの層構成は、基材層、アンダーコート層、および、無機薄膜層をこの順に少なくとも有する限り特に限定されない。具体的には、基材層/アンダーコート層/無機薄膜層(図1に示される構成)の3層構成であってもよいし、無機薄膜層/基材層/アンダーコート層/無機薄膜層(図2に示される構成)、アンダーコート層/基材層/アンダーコート層/無機薄膜層(図3に示される構成)、基材層/アンダーコート層/無機薄膜層/アンダーコート層などの4層構成であってもよいし、無機薄膜層/アンダーコート層/基材層/アンダーコート層/無機薄膜層(図4に示される構成)、アンダーコート層/無機薄膜層/基材層/アンダーコート層/無機薄膜層、アンダーコート層/無機薄膜層/基材層/アンダーコート層/無機薄膜層/アンダーコート層などの5層以上の構成であってもよい。なお、本発明のガスバリアフィルムの層構成における各層は、単層であってもよいし多層であってもよい。また、本発明のガスバリアフィルムの層構成に2以上の基材層が含まれる場合、該2以上の基材層は同一の層であってもよいし、互いに異なる層であってもよい。2以上のアンダーコート層、または、2以上の無機薄膜層が含まれる場合についても同様である。上記に記載した層以外に、さらなる層を有していてもよい。さらなる層としては、例えば易滑層、ハードコート層、透明導電膜層やカラーフィルター層などが挙げられる。なお、上記に述べたように、アンダーコート層は、平坦化層としての機能を有する層であってもよいし、アンチブロッキング層としての機能を有する層であってもよいし、これらの両方の機能を有する層であってもよい。したがって、アンダーコート層は、例えばアンチブロッキング層または平坦化層と言い換えることができる。上記層構成の例に示されるように、本発明のガスバリア性フィルムは、例えばアンダーコート層(第1のアンダーコート層)/基材層/アンダーコート層(第2のアンダーコート層)/無機薄膜層のような層構成を有してもよい。この場合、第1のアンダーコート層は、ガスバリア性フィルムの最表面に存在する層である。上記層構成の例からも明らかなように、本明細書において、アンダーコート層とは、いずれかの層の下に存在する層であることを意味するものではなく、例えばアンチブロッキング層または平坦化層と言い換えられるような層である。
本発明のガスバリア性フィルムは、好ましい第1実施形態において、基材層/アンダーコート層/無機薄膜層の層構成(図1に示される構成)を少なくとも有する。本実施形態において、アンダーコート層は平坦化層としての機能を有する層であってもよいし、アンチブロッキング層としての機能を有する層であってもよいが、平坦化層としての機能を有する層であることが好ましい。
本発明のガスバリア性フィルムは、好ましい第2実施形態において、無機薄膜層A/基材層/アンダーコート層/無機薄膜層Bの層構成(図2に示される構成)を少なくとも有する。本実施形態において、アンダーコート層は平坦化層としての機能を有する層であってもよいし、アンチブロッキング層としての機能を有する層であってもよいが、平坦化層としての機能を有する層であることが好ましい。本実施形態においては、ガスバリア性フィルムが少なくとも2つの無機薄膜層を有するため、これらを無機薄膜層Aおよび無機薄膜層Bと称する。無機薄膜層Aおよび無機薄膜層Bは、上記に述べたとおり、互いに同一の層であってもよいし、組成や層数等において互いに異なる層であってもよい。
本発明のガスバリア性フィルムは、好ましい第3実施形態において、アンダーコート層A/基材層/アンダーコート層B/無機薄膜層の層構成(図3に示される構成)を少なくとも有する。本実施形態においては、ガスバリア性フィルムが少なくとも2つのアンダーコート層を有するため、これらをアンダーコート層Aおよびアンダーコート層Bと称する。本実施形態において、アンダーコート層Aおよびアンダーコート層Bは、上記に述べたとおり、互いに同一の層であってもよいし、組成、機能、層数等において互いに異なる層であってもよい。本実施形態において、アンダーコート層Aおよびアンダーコート層Bはそれぞれ、平坦化層としての機能を有する層であってもよいし、アンチブロッキング層としての機能を有する層であってもよいが、アンダーコート層Aがアンチブロッキング層としての機能を有する層であり、アンダーコート層Bが平坦化層としての機能を有する層であることが好ましい。このような層構成を有する場合、ガスバリア性フィルムを製造時に巻取りを行う場合や、必要に応じて裁断したフィルムを重ねる場合に、バリアフィルムへのダメージが少なくなる。
本発明のガスバリア性フィルムは、好ましい第4実施形態において、無機薄膜層A/アンダーコート層A/基材層/アンダーコート層B/無機薄膜層Bの層構成(図4に示される構成)を少なくとも有する。本実施形態において、アンダーコート層Aおよびアンダーコート層Bは、上記に述べたとおり、互いに同一の層であってもよいし、組成、機能、層数等において互いに異なる層であってもよい。また、無機薄膜層Aおよび無機薄膜層Bは、上記に述べたとおり、互いに同一の層であってもよいし、組成や層数等において互いに異なる層であってもよい。本実施形態において、アンダーコート層Aおよびアンダーコート層Bはそれぞれ、平坦化層としての機能を有する層であってもよいし、アンチブロッキング層としての機能を有する層であってもよいが、アンダーコート層Aがアンチブロッキング層としての機能を有する層であり、アンダーコート層Bが平坦化層としての機能を有する層であることが好ましい。このような層構成を有する場合、フィルムのバリア性と搬送性を両立することができる。
可撓性基材上に無機薄膜層、アンダーコート層を形成し、小坂研究所製サーフコーダET200を用いて、無成膜部と成膜部の段差測定を行い、各層の膜厚(T)を求めた。
水蒸気透過度は、温度23℃、湿度50%RHの条件において、ISO/WD 15106-7(Annex C)に準拠してCa腐食試験法で測定した。
ガスバリア性フィルムのアンダーコート層上に積層された無機薄膜層側の最表面を、#0000番のスチールウールで50gf/cm2の荷重をかけながら、60rpm/minの速度で、片道距離3cm(往復距離6cm)の条件で摩擦させてスチールウール試験を行い、アンダーコート層上に積層された無機薄膜層側の最表面を目視で観察し、傷が生じるまでの往復摩擦回数を測定し、耐久回数Nとした。
動摩擦係数の測定は、JIS K7125(重り:201g、速度:100mm/mim)に基づいて行った。
JIS K5600に準じて、鉛筆硬度試験機〔(株)安田精機製作所〕を用いて評価
した。
ユアサシステム機器(株)製のDLDM111LHのU字折り返し試験機を用いて、フレキシビリティ性の評価を実施した。具体的には、アンダーコート層上に積層された無機薄膜層側を内側として、曲げ半径5mm、30rmp/minの往復速度で測定を行い、ガスバリア性フィルムにクラックが生じるまでの往復回数を測定し、耐屈曲回数とした。なお、耐屈曲回数が多いほど、フレキシビリティ性に優れていると言える。
(全光線透過率)
ガスバリア性フィルムの全光線透過率は、スガ試験機(株)製の直読ヘーズコンピュータ(型式HGM−2DP)によって測定した。サンプルがない状態でバックグランド測定を行った後、ガスバリア性フィルムをサンプルホルダーにセットして測定を行い、全光線透過率を求めた。
積層フィルムのヘーズは、スガ試験機(株)製の直読ヘーズコンピュータ(型式HGM−2DP)によって測定した。サンプルがない状態でバックグランド測定を行った後、積層フィルムをサンプルホルダーにセットして測定を行い、ヘーズを求めた。
積層フィルムの黄色度(b*)は、フィルム試料1枚をASTM E313に従って、分光測色計(CM3700d、コニカミノルタセンシング(株)製)を使用して測定した。
コーティング剤の反応率は、各工程において塗液を塗布、乾燥後、硬化前後に塗膜表面側からATRアタッチメント(PIKE MIRacle)を備えたフーリエ変換型赤外分光光度計(日本分光(株)製、FT/IR−460Plus)によって測定し、カルボニル基C=O由来のピーク(1,700cm−1)とアクリレート基C=C−C=O由来のピーク(1,400cm−1)の面積比を算出した。
反応率[%]=[1−(Sa1,400/Sa1,700)/(Sb1,400/Sb1,700)
アンダーコート層の赤外吸収測定は、プリズムにゲルマニウム結晶を用いたATRアタッチメント(PIKE MIRacle)を備えたフーリエ変換型赤外分光光度計(日本分光(株)製、FT/IR−460Plus)によって測定することができる。
ガスバリア性フィルムの無機薄膜層表面の原子数比は、X線光電子分光法(ULVAC PHI(株)製、QuanteraSXM)によって測定した。X線源としてはAlKα線(1486.6eV、X線スポット100μm)を用い、また、測定時の帯電補正のために、中和電子銃(1eV)、低速Arイオン銃(10V)を使用した。測定後の解析は、MultiPak V6.1A(アルバック・ファイ(株))を用いてスペクトル解析を行い、測定したワイドスキャンスペクトルから得られるSiの2p、Oの1s、Nの1s、およびCの1sそれぞれのバインディングエネルギーに相当するピークを用いて、Siに対するCの表面原子数比を算出した。表面原子数比としては、5回測定した値の平均値を採用した。
ガスバリア性フィルムの無機薄膜層表面の赤外分光測定は、プリズムにゲルマニウム結晶を用いたATRアタッチメント(PIKE MIRacle)を備えたフーリエ変換型赤外分光光度計(日本分光(株)製、FT/IR−460Plus)によって測定した。
図5に示す製造装置を用いて基材層上、または基材層上に積層されたアンダーコート層上に無機薄膜層を積層させた。具体的には、図5に示すように、アンダーコート層を有する樹脂フィルム基材を送り出しロ−ル5に装着し、真空チャンバー内を1×10−3Pa以下にした後、樹脂フィルム基材上に無機薄膜層の成膜を行った。無機薄膜層を形成させるために用いるプラズマCVD装置においては、一対のロール状電極表面にそれぞれ樹脂フィルム基材を密接させながら搬送させ、一対の電極間でプラズマを発生させて、原料をプラズマ中で分解させて樹脂フィルム基材上に無機薄膜層を形成させる。前記の一対の電極は、磁束密度が電極および樹脂フィルム基材表面で高くなるように電極内部に磁石が配置されており、プラズマ発生時に電極及び樹脂フィルム基材上でプラズマが高密度に拘束される。無機薄膜層の成膜にあたっては、成膜ゾーンとなる電極(成膜ロール7および成膜ロール8)間の空間に向けてヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)ガス、酸素ガスを導入し、電極ロール間に交流電力を供給し、放電してプラズマを発生させた。次いで、真空チャンバー内の排気口周辺における圧力が1Paになるように排気量を調節した後、プラズマCVD法により樹脂フィルム基材上に緻密な無機薄膜層を形成した。
〈成膜条件1〉
原料ガスの供給量:50sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute、0℃、1気圧基準)
酸素ガスの供給量:500sccm
真空チャンバー内の真空度:1Pa
プラズマ発生用電源からの印加電力:0.4kW
プラズマ発生用電源の周波数:70kHz
フィルムの搬送速度;3.0m/min
パス回数:28回
信頼性試験後のガスバリア性フィルムを測定試料とし、ASTM D3359に従い、密着性の測定を行った。具体的には、5cm×5cmのガスバリア性フィルムを60℃、湿度90%の環境下に250時間の条件で放置して信頼性試験を行い、試験後のフィルムについて、次の条件でクロスカット試験を行い、密着性を評価した。クロスカット試験は、清浄なガラス基板上に、ガスバリア性フィルムのアンダーコート層上に積層された無機薄膜層側の表面がガラス基板とは反対側となる様にガスバリア性フィルムを設置し、カッターガイドとカッターナイフを用いて、アンダーコート層上に積層された無機薄膜層に基材層に達する10本×10本(100マス)の切り傷をつける。切り傷による格子部(クロスカット部)にテープ(ニチバン(株)製、セロテープ(登録商標)、CT−12M)を格子部+20mmの範囲にわたり気泡等が入らない様、平らに貼り付ける。貼り付けたテープを60°の角度で0.5〜1秒の間に剥がし、格子部の状態を顕微鏡(例えば、(株)ハイロックス製、DIGITAL MICROSCOPE KH7700)を用いて観察し、剥離されず残ったマスの数を数えた。剥離されず残ったマスの数が多いほど、密着性が高いといえる。
後述する実施例および比較例において、アンダーコート層を形成するために使用した重合性官能基を有する光硬化性化合物を含む組成物(以下において「コーティング剤組成物」と称する)を使用した。
日本化工塗料(株)製、TOMAX FA−3292をコーティング組成物1として使用した。コーティング組成物1は、溶剤として酢酸エチルを8.1重量%、プロピレングリコールモノメチルエーテルを52.1重量%、固形分としてUV硬化オリゴマーを10−20重量%、シリカを20−30重量%、添加剤として光開始剤を含有する組成物である。
東亞合成(株)製のアロニックスUV−3701をコーティング組成物2として使用した。コーティング組成物2は、特殊アクリル酸エステル類を約80重量%、N-ビニル-2-ヒロリドンを17〜18重量%、添加剤として、それぞれ約2%のレべリング剤および光開始剤を含有する組成物である。
可撓性基材であるシクロオレフィンポリマーフィルム(COPフィルム、厚み:50μm、幅:350mm、日本ゼオン(株)製、商品名「ゼオノアフィルム(登録商標)、ZF−16」)の片面にコーティング剤組成物1(日本化工塗料(株)、TOMAX FA−3292)をグラビアコーティング法にて塗布し、100℃で1分乾燥させた後、高圧水銀ランプを用いて、積算光量500mJ/cm2の条件で紫外線照射し、反応率が80%であり、厚み1.5μmの有機層A1(アンダーコート)を積層させて、基材層となる積層フィルムを得た。このようにして得た積層フィルムの有機層A1側の表面に、上記無機薄膜層の製造方法に従い、無機薄膜層を積層させ、ガスバリア性フィルム1を得た。
実施例1で得たガスバリア性フィルムは、基材層/アンダーコート層(平坦化層)/無機薄膜層の層構成を有するフィルムであり、表裏を重ねた時の最表面間の動摩擦係数は0.30であった。
<XPSデプスプロファイル測定>
エッチングイオン種:アルゴン(Ar+)
エッチングレート(SiO2熱酸化膜換算値):0.027nm/sec
スパッタ時間:0.5min
X線光電子分光装置:アルバック・ファイ(株)製、機種名「Quantera SXM」
照射X線:単結晶分光AlKα(1,486.6eV)
X線のスポットおよびそのサイズ:100μm
検出器:Pass Energy 69eV,Step size 0.125eV
帯電補正:中和電子銃(1eV)、低速Arイオン銃(10V)
実施例1において、コーティング剤組成物1(日本化工塗料(株)、TOMAX FA−3292)に積算光量800mJ/cm2の条件で紫外線照射し、反応率が90%であったこと以外は実施例1と同様にして、ガスバリア性フィルム2を得た。
実施例2で得たガスバリア性フィルムは、基材層/アンダーコート層(平坦化層)/無機薄膜層の層構成を有するフィルムであり、表裏を重ねた時の最表面間の動摩擦係数は0.25であった。
実施例1において、コーティング剤組成物1(日本化工塗料(株)、TOMAX FA−3292)に積算光量350mJ/cm2の条件で紫外線照射し、反応率が75%であったこと以外は実施例1と同様にして、基材層となる積層フィルムを得た。このようにして得た積層フィルムの有機層A1側とコーティングしていない面(基材面)に、上記無機薄膜層の製造方法に従い、無機薄膜層を積層させ、ガスバリア性フィルム3を得た。
実施例3で得たガスバリア性フィルムは、無機薄膜層/基材層/アンダーコート層(平坦化層)/無機薄膜層の層構成を有するフィルムであり、表裏を重ねた時の最表面間の動摩擦係数は0.35であった。
可撓性基材であるシクロオレフィンポリマーフィルム(COPフィルム、厚み:50μm、幅:350mm、日本ゼオン(株)製、商品名「ゼオノアフィルム(登録商標)、ZF−16」)の片面にコーティング剤組成物2(東亜合成(株)、アロニックスUV3701)をグラビアコーティング法にて塗布し、100℃で1分乾燥させた後、高圧水銀ランプを用いて、積算光量300mJ/cm2の条件で紫外線照射し、反応率が80%であり、厚み1.5μmの有機層A2(平坦化層)を積層させ、基材層となる積層フィルムを得た。このようにして得た積層フィルムの有機層A2側の表面とコーティングしていない面(基材面)に、上記無機薄膜層の製造方法に従い、無機薄膜層を積層させ、ガスバリア性フィルム4を得た。
比較例1で得たガスバリア性フィルムは、無機薄膜層/基材層/アンダーコート層(平坦化層)/無機薄膜層の層構成を有するフィルムであり、表裏を重ねた時の最表面間の動摩擦係数は0.60であった。
比較例1において、コーティング剤組成物2(東亜合成(株)、アロニックスUV3701)に積算光量150mJ/cm2の条件で紫外線照射し、反応率が50%であったこと以外は比較例1と同様にして、ガスバリア性フィルム5を得た。
比較例2で得たガスバリア性フィルムは、無機薄膜層/基材層/アンダーコート層(平坦化層)/無機薄膜層の層構成を有するフィルムでああり、表裏を重ねた時の最表面間の動摩擦係数は0.80であった。
2 基材層
3 アンダーコート層
4 無機薄膜層
5 送り出しロール
6 搬送ロール
7 成膜ロール
8 成膜ロール
9 ガス供給管
10 プラズマ発生用電源
11 磁場発生装置
12 巻取りロール
13 フィルム
Claims (9)
- 可撓性基材を少なくとも含む基材層、アンダーコート層、および、無機薄膜層をこの順に少なくとも有するガスバリア性フィルムであって、
該ガスバリア性フィルムの23℃、50%RHにおける水蒸気透過度は、0.001g/m2/day以下であり、
該ガスバリア性フィルムの無機薄膜層側の最表面について、#0000番のスチールウールを用い、荷重50gf/cm2、速度60rpm/min、片道距離3cmの条件でスチールウール試験を行い測定される耐久回数Nが、式(1):
N≦200 (1)
を満たす、ガスバリア性フィルム。 - アンダーコート層は重合性官能基を有する光硬化性化合物の重合物を含有する、請求項1に記載のガスバリア性フィルム。
- ガスバリア性フィルムの一方の最表面と他方の最表面との間の動摩擦係数は0.5以下である、請求項1または2に記載のガスバリア性フィルム。
- アンダーコート層の赤外吸収スペクトルにおける1,000〜1,100cm−1の範囲の赤外吸収ピークの強度をIaとし、1,700〜1,800cm−1の範囲の赤外吸収ピークの強度をIbとすると、IaおよびIbは式(2):
0.05≦Ib/Ia≦1.0 (2)
を満たす、請求項1〜3のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。 - 無機薄膜層は、珪素原子、酸素原子および炭素原子を少なくとも含有する、請求項1〜4のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
- 無機薄膜層に含まれる珪素原子、酸素原子および炭素原子の合計数に対する炭素原子の原子数比が、無機薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、連続的に変化する、請求項5に記載のガスバリア性フィルム。
- 無機薄膜層の膜厚方向における、該無機薄膜層の表面からの距離と、各距離における該無機薄膜層に含まれる珪素原子、酸素原子および炭素原子の合計数に対する炭素の原子数比との関係を示す炭素分布曲線が、8つ以上の極値を有する、請求項5または6に記載のガスバリア性フィルム。
- 前記無機薄膜層上に保護薄膜層を有し、該保護薄膜層は珪素化合物を含有する塗布液から得られた塗膜に改質処理を施されたものである、請求項1〜7のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
- 請求項1〜8のいずれかに記載のガスバリア性フィルムを有するフレキシブル電子デバイス。
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