JP2016068383A - 積層フィルムおよびフレキシブル電子デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可とう性基材と、前記基材の少なくとも片面に接して設けられた有機層と、前記有機層上に接して設けられた薄膜層とを有し、前記有機層がアクリレート樹脂を含有し、前記薄膜層がSi、OおよびCを含有し、前記薄膜層の珪素分布曲線、酸素分布曲線および炭素分布曲線において、下記の条件(i)〜(iii)を全て満たす積層フィルム。(i)Siの原子数比、Oの原子数比及びCの原子数比が、前記薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、Oの原子数比>Siの原子数比>Cの原子数比である(ii)前記炭素分布曲線が少なくとも1つの極値を有する(iii)前記炭素分布曲線における炭素の原子数比の最大値および最小値の差の絶対値が0.05以上である
【選択図】図1
Description
前記有機層がアクリレート樹脂を含有し、
前記薄膜層が珪素原子、酸素原子および炭素原子を含有し、
前記薄膜層の膜厚方向における、前記薄膜層の表面からの距離と、前記距離に位置する点の前記薄膜層に含まれる珪素原子、酸素原子および炭素原子の合計数に対する珪素原子数の比率(珪素の原子数比)、酸素原子数の比率(酸素の原子数比)、炭素原子数の比率(炭素の原子数比)との関係をそれぞれ示す珪素分布曲線、酸素分布曲線および炭素分布曲線において、下記の条件(i)〜(iii):
(i)珪素の原子数比、酸素の原子数比および炭素の原子数比が、前記薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、下記式(1)で表される条件を満たすこと、
(酸素の原子数比)>(珪素の原子数比)>(炭素の原子数比)・・・(1)
(ii)前記炭素分布曲線が少なくとも1つの極値を有すること、
(iii)前記炭素分布曲線における炭素の原子数比の最大値および最小値の差の絶対値が0.05以上であること
を全て満たすことを特徴とする積層フィルムを提供する。
0.60≦W1/W0≦1.00 (2)
W2/W0≦0.10 (3)
0.01≦I2/I1<0.05 (4)
0.25≦I3/I1≦0.50 (5)
0.70≦I4/I3<1.00 (6)
[積層フィルム]
本発明に係る積層フィルムは、可とう性基材と、前記基材の少なくとも片面に接して設けられた有機層と、前記有機層上に接して設けられた薄膜層とを有し、
前記薄膜層が珪素原子、酸素原子および炭素原子を含有し、また、前記有機層がアクリレート樹脂を含有したものである。
本発明の積層フィルムにおいては、前記薄膜層の膜厚方向における、前記薄膜層の表面からの距離と、前記距離に位置する点の前記薄膜層に含まれる珪素原子、酸素原子および炭素原子の合計数に対する珪素原子数の比率(珪素の原子数比)、酸素原子数の比率(酸素の原子数比)、炭素原子数の比率(炭素の原子数比)との関係をそれぞれ示す珪素分布曲線、酸素分布曲線および炭素分布曲線において、下記の条件(i)〜(iii):
(i)珪素の原子数比、酸素の原子数比および炭素の原子数比が、前記薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、下記式(1)で表される条件を満たすこと、
(酸素の原子数比)>(珪素の原子数比)>(炭素の原子数比)・・・(1)
(ii)前記炭素分布曲線が少なくとも1つの極値を有すること、
(iii)前記炭素分布曲線における炭素の原子数比の最大値および最小値の差の絶対値が0.05以上であること
を全て満たす。
(1)アクリレート樹脂、アクリレートモノマーおよびアクリレートオリゴマーからなる群より選ばれる少なくとも1つの有機物を可とう性基材上に塗布して塗布膜を得る工程
前記有機物がアクリレートモノマーまたはアクリレートオリゴマーを含む場合は、さらに工程(2)を含むことが好ましい。
(2)前記塗布膜を硬化させて硬化膜を得る工程
工程(1)で得られる塗布膜を有機層とすることもできるし、工程(2)で得られる硬化膜を有機層とすることもできる。
本発明で用いる可とう性基材は、フィルム状またはシート状であり、その材質の例としては、樹脂または樹脂を含む複合材が挙げられる。
前記樹脂の例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、ポリカーボネート(PC)、ポリアリレート、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、環状ポリオレフィン(COP、COC)、ポリアミド、芳香族ポリアミド、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、エチレン−酢酸ビニル共重合体のケン化物、ポリアクリロニトリル、ポリアセタール、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルエーテルケトン等が挙げられる。
また、樹脂を含む複合材の例としては、ポリジメチルシロキサン等のシリコーン樹脂基板、ポリシルセスキオキサン等の有機無機ハイブリッド樹脂基板、ガラスコンポジット基板、ガラスエポキシ基板などが挙げられる。
可とう性基材の材質は、1種のみでもよいし、2種以上でもよい。
これらの中でも、可とう性基材の材質は、透明性および耐熱性が高く、熱線膨張率が低いという観点から、PET、PBT、PEN、環状ポリオレフィン、ポリイミド、芳香族ポリアミド、ガラスコンポジット基板またはガラスエポキシ基板が好ましい。
0.60≦W1/W0≦1.00 (1)
W2/W0≦0.10 (2)
<有機層の耐熱性評価>
可とう性基材上に有機層を形成し、該フィルムを二枚用い、有機層表面同士を重ね合わせた積層体サンプルを作製する。得られた積層体サンプルを両側からガラス板で挟み、所定温度で2時間加熱した後に、重ね合わせた二枚のフィルムを有機層界面で剥離し、剥離の難易度ついて、下記基準に基づき有機層の耐熱評価を行う。
評価基準:
・耐熱性不良:貼り付いて剥がれない、または剥がす際に抵抗はあるが剥がれる。
・耐熱性良好:変化(抵抗や外観)なく、剥がれる。
<工程(1)>で得られた有機層を硬化させる方法としては、例えば、光照射が挙げられる。
さらに前記薄膜層は珪素原子、酸素原子および炭素原子以外の元素、例えば、水素原子、窒素原子、ホウ素原子、アルミニウム原子、リン原子、イオウ原子、フッ素原子および塩素原子のうちの一以上の原子を含有していてもよい。
また前記薄膜層は、珪素原子(Si)、酸素原子(O)における薄膜層中の平均原子数比をO/Siで表した場合に、緻密性が高く、微細な空隙やクラック等の欠陥を少なくする観点で、1.50<O/Si<1.90の範囲にあると好ましく、1.55<O/Si<1.85の範囲にあるとより好ましく、1.60<O/Si<1.80の範囲にあるとさらに好ましく、1.65<O/Si<1.75の範囲にあると特に好ましい。
なお、前記平均原子数比C/SiおよびO/Siは、下記条件にてXPSデプスプロファイル測定を行い、得られた珪素原子、窒素原子、酸素原子および炭素原子の分布曲線から、それぞれの原子の厚み方向における平均原子濃度を求めた後、算出できる。
<XPSデプスプロファイル測定>
エッチングイオン種:アルゴン(Ar+)
エッチングレート(SiO2熱酸化膜換算値):0.05nm/sec
エッチング間隔(SiO2換算値):10nm
X線光電子分光装置:Thermo Fisher Scientific社製、機種名「VG Theta Probe」
照射X線:単結晶分光AlKα
X線のスポットおよびそのサイズ:800×400μmの楕円形。
0.01≦I2/I1<0.05 (4)
赤外分光測定から算出したピーク強度比I2/I1は、前記薄膜層中のSi−O−Siに対するSi−CH3の相対的な割合を表すと考えられる。前記式(4)で表される関係を満たす前記積層フィルムは、緻密性が高く、微細な空隙やクラック等の欠陥を少なくする観点から、ガスバリア性に優れ、かつ耐衝撃性に優れたものとなると考えられる。ピーク強度比I2/I1の範囲について、前記積層フィルムの緻密性を高く保持する観点から、0.01≦I2/I1<0.05の範囲が好ましく、0.02≦I2/I1<0.04の範囲がより好ましい。
積層フィルムの薄膜層の赤外分光測定は、プリズムにゲルマニウム結晶を用いたATRアタッチメント(PIKE MIRacle)を備えたフーリエ変換型赤外分光光度計(日本分光製、FT/IR−460Plus)によって測定できる。
0.25≦I3/I1≦0.50 (5)
赤外分光測定から算出したピーク強度比I3/I1は、前記薄膜層中のSi−O−Siに対するSi−CやSi−O等の相対的な割合を表すと考えられる。前記式(5)で表される関係を満たす前記積層フィルムは、高い緻密性を保持しつつ、炭素が導入されることから耐屈曲性に優れ、かつ耐衝撃性に優れたものとなると考えられる。ピーク強度比I3/I1の範囲について、前記積層フィルムの緻密性と耐屈曲性のバランスを保つ観点から、0.25≦I3/I1≦0.50の範囲が好ましく、0.30≦I3/I1≦0.45の範囲がより好ましい。
0.70≦I4/I3<1.00 (6)
赤外分光測定から算出したピーク強度比I4/I3は、前記薄膜層中のSi−Cに関連するピーク同士の比率を表すと考えられる。前記式(6)で表される関係を満たす前記積層フィルムは、高い緻密性を保持しつつ、炭素が導入されることから耐屈曲性に優れ、かつ耐衝撃性に優れたものとなると考えられる。ピーク強度比I4/I3の範囲について、前記積層フィルムの緻密性と耐屈曲性のバランスを保つ観点から、0.70≦I4/I3<1.00の範囲が好ましく、0.80≦I4/I3<0.95の範囲がより好ましい。
(i)珪素の原子数比、酸素の原子数比および炭素の原子数比が、前記第1薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、下記式(5)で表される条件を満たすこと、
(酸素の原子数比)>(珪素の原子数比)>(炭素の原子数比)・・・(5)
(ii)前記炭素分布曲線が少なくとも1つの極値を有すること、
(iii)前記炭素分布曲線における炭素の原子数比の最大値および最小値の差の絶対値が0.05以上であること。
|dC/dx|≦ 0.01
本発明の積層フィルムは、前記有機層上に、グロー放電プラズマを用いて、プラズマCVD法等の公知の真空成膜手法で前記薄膜層を形成することで製造できる。発生したプラズマは高密度かつ低温プラズマであることから、本発明で用いるような耐熱性の低い可とう性基材上に緻密な薄膜を形成する上で適しており、好ましい。
また、原料ガスとして、前記有機ケイ素化合物の他にモノシランを含有させ、形成するバリア膜のケイ素源として用いてもよい。
(CH3)6Si2O+12O2→6CO2+9H2O+2SiO2 ・・・・(A)
可とう性基材の搬送速度(ライン速度)は、原料ガスの種類や真空チャンバー内の圧力等に応じて適宜調整することができるが、前記のように基材を搬送ロールに接触させるときの、基材の搬送速度と同じであることが好ましい。
なお、電子デバイスのフレキシブル基板として用いる場合、前記積層フィルム上に直接素子を形成してもよいし、また別の基板上に素子を形成した後に前記積層フィルムを上から重ね合せてもよい。
可とう性基材上に有機層を形成し、該フィルムを二枚用い、有機層表面同士を重ね合わせた積層体サンプルを作製した。得られた積層体サンプルを両側からガラス板で挟み、180℃で2時間加熱した後に、重ね合わせた二枚のフィルムを有機層界面で剥離し、剥離の難易度について、下記基準に基づき有機層の耐熱評価を行った。
評価基準:
・耐熱性不良:貼り付いて剥がれない、または剥がす際に抵抗はあるが剥がれる。
・耐熱性良好:変化(抵抗や外観)なく、剥がれる。
可とう性基材上に有機層を形成し、積層体サンプルを作製した。得られた積層体サンプルについて、剛体振り子型物性試験器(エー・アンド・デイ社製、RPT−3000W)を用いて相対弾性率を測定した。昇温速度10℃/minで25℃から160℃まで昇温させて、25℃における弾性率に対する150℃における弾性率の低下率を算出した。
(i)JIS K5600に準拠し、試験面にカッターナイフを用いて、1mmの間隔で素地に達する6本の切り傷をつけ25個の碁盤目を作り、碁盤目部分にセロハンテープ(ニチバン株式会社製、セロテープ(登録商標)No.405(産業用)、粘着力:3.93N/10mm)を強く圧着させ、テープの端を60°の角度で引き剥がした結果の破断状況で有機層と薄膜層の密着性を評価した。
(ii)密着性測定(i)と同様に碁盤目を作り、100℃の熱水にサンプルを2時間浸漬し、乾かしてから、サンプルの碁盤目部分にセロハンテープ(ニチバン株式会社製、セロテープ(登録商標)No.405(産業用)、粘着力:3.93N/10mm)を強く圧着させ、テープの端を60°の角度で引き剥がした結果の破断状況で有機層と薄膜層の密着性を評価した。
密着性測定(i)および密着性測定(ii)の測定法において、25個の碁盤目のうち、目視で剥離が観察されなかった個数をカウントし、百分率で示した。
積層フィルムの全光線透過率は、スガ試験機社製の直読ヘーズコンピュータ(型式HGM−2DP)によって測定した。サンプルがない状態でバックグランド測定を行った後、積層フィルムをサンプルホルダーにセットして測定を行い、全光線透過率を求めた。
積層フィルムのガスバリア性は、温度40℃、湿度90%RHの条件において、カルシウム腐食法(特開2005−283561号公報に記載される方法)によって測定し、積層フィルムの水蒸気透過度を求めた。
可とう性基材上に薄膜層を形成し、小坂研究所製サーフコーダET200を用いて、無成膜部と成膜部の段差測定を行い、薄膜層の膜厚(T)を求めた。
二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人デュポンフィルム社製、Q65HA、厚み100μm、両面易接着処理)を基材として用い、前記基材の片面に有機塗布液としてフィラーを含まない紫外線硬化型アクリレートモノマー液(東亜合成(株)製、商品名:アロニックスUV−3701)をウェットコーティング法にて塗布し、80℃で1分間乾燥させた後、積算光量30mJ/cm2の条件で紫外線照射(ウシオ電機株式会社製、SP−9)し、厚み2μmの有機層を形成した。得られた有機層中に含まれるアクリレート樹脂成分の重量W1と、有機層の重量W0の比W1/W0は0.8であり、有機層中に含まれる有機珪素化合物成分の重量W2と、有機層の重量W0の比W2/W0は0であった。得られた基材/有機層フィルム1において、耐熱性評価1の手法により180℃以上の耐熱性を備えていることを確認し、耐熱性評価2の手法により弾性率の低下率が1%であることを確認した。
前記の有機層を塗布した基材(厚み102μm、幅700mm)を、真空チャンバー内の送り出しロールに装着した。真空チャンバー内を1×10−3Pa以下にした後、基材を0.6m/minの一定速度で搬送させながら前記有機層上に薄膜層の成膜を行った。
薄膜層を形成させるために用いたプラズマCVD装置においては、一対の成膜ロールからなる電極間でプラズマを発生させて、前記電極表面に密接しながら基材が搬送され、基材上に薄膜層が形成される。また、前記の一対の成膜ロールからなる電極は、磁束密度が電極および基材表面で高くなるように電極内部に磁石が配置されており、プラズマ発生時に電極および基材上でプラズマが高密度に拘束される。
薄膜層の成膜にあたっては、成膜ゾーンとなる電極間の空間に向けてヘキサメチルジシロキサンガスを100sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute、0℃、1気圧基準)、酸素ガスを900sccm導入し、電極ロール間に1.6kW、周波数70kHzの交流電力を供給し、放電してプラズマを発生させた。次いで、真空チャンバー内の排気口周辺における圧力が1.0Paになるように排気量を調節した後、プラズマCVD法により搬送基材上に薄膜層を形成した。このようにして得られた積層フィルム1において、前記の密着性測定法(i)および(ii)を実施したところ、それぞれ剥離していない箇所は100%で密着性は良好だった。なお、得られた積層フィルム1の薄膜層の厚みは700nm、全光線透過率は87%、水蒸気透過度は3×10−5g/m2/dayであった。得られた積層フィルム1における薄膜層の珪素分布曲線、酸素分布曲線、窒素分布曲線、炭素分布曲線を図1に示す。
また、積層フィルム1の薄膜層のみの赤外分光測定を実施するために、環状シクロオレフィンフィルム(日本ゼオン社製、ゼオノアZF16、厚み100μm、幅700mm)を基材として用いた場合についても、同様の操作にて薄膜層を形成して積層フィルム1’を得た。なお、得られた積層フィルム1’における薄膜層の厚みおよび構成は積層フィルム1と同様であった。得られた積層フィルム1’について赤外分光測定を行った。
得られた赤外吸収スペクトルから、950〜1050cm−1に存在するピーク強度(I1)と、1240〜1290cm−1に存在するピーク強度(I2)との吸収強度比(I2/I1)を求めると、I2/I1=0.03であった。また、950〜1050cm−1に存在するピーク強度(I1)と、770〜830cm−1に存在するピーク強度(I3)との吸収強度比(I3/I1)を求めると、I3/I1=0.37であった。また、770〜830cm−1に存在するピーク強度(I3)と、870〜910cm−1に存在するピーク強度(I4)との吸収強度比(I4/I3)を求めると、I4/I3=0.91であった。
有機塗布液にフィラーを含まない紫外線硬化型アクリレートモノマー液(トーヨーインク(株)製、商品名:LCH1559)を用いた以外は実施例1と同様にして、基材/有機層フィルム2および積層フィルム2を得た。得られた有機層中に含まれるアクリレート樹脂成分の重量W1と、有機層の重量W0の比W1/W0は0.6であり、有機層中に含まれる有機珪素化合物成分の重量W2と、有機層の重量W0の比W2/W0は0であった。基材/有機層フィルム2において、耐熱性評価1の手法により180℃以上の耐熱性を備えていることを確認し、耐熱性評価2の手法により弾性率の低下率が0%であることを確認した。また、得られた積層フィルム2において、前記の密着性測定法(i)および(ii)を実施したところ、それぞれ剥離していない箇所は100%で密着性は良好だった。なお、得られた積層フィルム2の薄膜層の厚みは700nm、全光線透過率は87%、水蒸気透過度は4×10−5g/m2/dayであった。
得られた積層フィルム7は、薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、(酸素の原子数比)>(珪素の原子数比)>(炭素の原子数比)との順番であり、炭素分布曲線が1つ以上の極値を持ち、炭素分布曲線における炭素の原子数比の最大値および最小値の差の絶対値が0.05以上である。
有機塗布液にフィラーを含まない紫外線硬化型ウレタンアクリレートモノマー液(荒川化学(株)製、商品名:ビームセット381)を用いた以外は実施例1と同様にして、基材/有機層フィルム3および積層フィルム3を得た。得られた有機層中に含まれるアクリレート樹脂成分の重量W1と、有機層の重量W0の比W1/W0は0.7であり、有機層中に含まれる有機珪素化合物成分の重量W2と、有機層の重量W0の比W2/W0は0であった。基材/有機層フィルム3において、耐熱性評価1の手法により180℃以上の耐熱性を備えていることを確認し、耐熱性評価2の手法により弾性率の低下率が0%であることを確認した。また、得られた積層フィルム3において、前記の密着性測定法(i)および(ii)を実施したところ、それぞれ剥離していない箇所は100%で密着性は良好だった。なお、得られた積層フィルム3の薄膜層の厚みは700nm、全光線透過率は87%、水蒸気透過度は5×10−5g/m2/dayであった。
得られた積層フィルム3は、薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、(酸素の原子数比)>(珪素の原子数比)>(炭素の原子数比)との順番であり、炭素分布曲線が1つ以上の極値を持ち、炭素分布曲線における炭素の原子数比の最大値および最小値の差の絶対値が0.05以上である。
二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人デュポンフィルム社製、Q65HA、厚み100μm、両面易接着処理)を基材として用い、有機塗布液にフィラーを含まない熱硬化型シリコーン樹脂液(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製、商品名:TSR144)を前記基材の片面にウェットコーティング法にて塗布し、100℃1時間で硬化させた後、厚み2μmの有機層を形成した。得られた有機層中に含まれるアクリレート樹脂成分の重量W1と、有機層の重量W0の比W1/W0は0であり、有機層中に含まれる有機珪素化合物成分の重量W2と、有機層の重量W0の比W2/W0は0.2であった。得られた基材/有機層フィルム4において、180℃以上の耐熱性を備えていることを確認した。さらに、得られた基材/有機層フィルム4上に、実施例1と同様にして薄膜層を形成し、積層フィルム4を得た。一方で、得られた積層フィルム4において、前記の密着性測定法(i)を実施したところ、剥離していない箇所は80%であり、密着性測定法(ii)を実施したところ、剥離していない箇所は20%であり、密着性不良が生じた。
有機塗布液にフィラーを含む熱硬化型エポキシ樹脂液(荒川化学(株)製、商品名:コンポセラン103D)を用い、150℃で1時間硬化させた後、厚み2μmの有機層を形成した。得られた有機層中に含まれるアクリレート樹脂成分の重量W1と、有機層中に含まれるフィラー成分を除いた重量W0の比W1/W0は0であり、有機層中に含まれる有機珪素化合物成分の重量W2と、有機層中に含まれるフィラー成分を除いた重量W0の比W2/W0は0であった。得られた基材/有機層フィルム5において、180℃以上の耐熱性を備えていることを確認した。さらに、得られた基材/有機層フィルム5上に、実施例1と同様にして薄膜層を形成し、積層フィルム5を得た。一方で、得られた積層フィルム5において、前記の密着性測定法(i)を実施したところ、剥離していない箇所は100%であり、密着性測定法(ii)を実施したところ、剥離していない箇所は16%であり、密着性不良が生じた。
実施例1で得られた基材/有機層フィルム1上に、グロー放電プラズマを用いた誘導結合プラズマCVD法により、薄膜層を形成した。誘導結合プラズマCVD法は前述のプラズマCVD法と違い、誘導コイルに対して高周波電力を印加することで誘導電界を形成し、プラズマを発生させる手法である。基材に用いた二軸延伸ポリエチレンナフタレートフィルムは片面に易接着処理を施した非対称構造をしており、易接着処理が施されていない面へ薄膜層の成膜を行った。成膜にあたって、成膜ゾーンにヘキサメチルジシロキサンガスを30sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute、0℃、1気圧基準)、酸素ガスを150sccm、アルゴンガスを100sccm導入し、誘導コイルに0.9kW、周波数13.56kHzの電力を供給し、放電してプラズマを発生させた。次いで、真空チャンバー内の圧力が2.5Paになるように排気量を調節した後、誘導結合プラズマCVD法により搬送基材上に薄膜層を形成し、積層フィルム6を得た。このようにして得られた積層フィルム6において、前記の密着性測定法(i)および(ii)を実施したところ、剥離していない箇所は100%で密着性は良好だった。なお、得られた積層フィルム6の薄膜層の厚みは1000nm、全光線透過率は90%、水蒸気透過度は1.3g/m2/dayであった。得られた積層フィルム6における薄膜層の珪素分布曲線、酸素分布曲線、窒素分布曲線、炭素分布曲線を図2に示す。
薄膜層の成膜時にヘキサメチルジシロキサンガスを100sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute、0℃、1気圧基準)、酸素ガスを600sccm導入した以外は、実施例1と同様にして積層フィルム7を作製した。なお、得られた積層フィルム7の薄膜層の厚みは700nm、全光線透過率は89%、水蒸気透過度は4×10−5g/m2/dayであった。積層フィルム7において、前記の密着性測定法(i)および(ii)を実施したところ、剥離していない箇所は100%で密着性は良好だった。
得られた赤外吸収スペクトルから、吸収強度比I2/I1=0.03であった。また、吸収強度比I3/I1=0.42であった。また、吸収強度比I4/I3=0.90であった。
得られた積層フィルム7は、薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、(酸素の原子数比)>(珪素の原子数比)>(炭素の原子数比)との順番であり、炭素分布曲線が1つ以上の極値を持ち、炭素分布曲線における炭素の原子数比の最大値および最小値の差の絶対値が0.05以上である。
薄膜層の成膜時にヘキサメチルジシロキサンガスを100sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute、0℃、1気圧基準)、酸素ガスを800sccm導入した以外は、実施例1と同様にして積層フィルム8を作製した。なお、得られた積層フィルム8の薄膜層の厚みは700nm、全光線透過率は88%、水蒸気透過度は1×10−5g/m2/dayであった。積層フィルム8において、前記の密着性測定法(i)および(ii)を実施したところ、剥離していない箇所は100%で密着性は良好だった。
得られた赤外吸収スペクトルから、吸収強度比I2/I1=0.03であった。また、吸収強度比I3/I1=0.39であった。また、吸収強度比I4/I3=0.90であった。
得られた積層フィルム8は、薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、(酸素の原子数比)>(珪素の原子数比)>(炭素の原子数比)との順番であり、炭素分布曲線が1つ以上の極値を持ち、炭素分布曲線における炭素の原子数比の最大値および最小値の差の絶対値が0.05以上である。
薄膜層の成膜時にヘキサメチルジシロキサンガスを100sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute、0℃、1気圧基準)、酸素ガスを2000sccm導入した以外は、実施例1と同様にして積層フィルム9を作製した。なお、得られた積層フィルム9の薄膜層の厚みは700nm、全光線透過率は88%、水蒸気透過度は2×10−5g/m2/dayであった。積層フィルム9において、前記の密着性測定法(i)および(ii)を実施したところ、剥離していない箇所は100%で密着性は良好だった。
得られた赤外吸収スペクトルから、吸収強度比I2/I1=0.03であった。また、吸収強度比I3/I1=0.29であった。また、吸収強度比I4/I3=0.84であった。
得られた積層フィルム9は、薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、(酸素の原子数比)>(珪素の原子数比)>(炭素の原子数比)との順番であり、炭素分布曲線が1つ以上の極値を持ち、炭素分布曲線における炭素の原子数比の最大値および最小値の差の絶対値が0.05以上である。
Claims (8)
- 可とう性基材と、前記基材の少なくとも片面に接して設けられた有機層と、前記有機層上に接して設けられた薄膜層とを有し、
前記有機層がアクリレート樹脂を含有し、
前記薄膜層が珪素原子、酸素原子および炭素原子を含有し、
前記薄膜層の膜厚方向における、前記薄膜層の表面からの距離と、前記距離に位置する点の前記薄膜層に含まれる珪素原子、酸素原子および炭素原子の合計数に対する珪素原子数の比率(珪素の原子数比)、酸素原子数の比率(酸素の原子数比)、炭素原子数の比率(炭素の原子数比)との関係をそれぞれ示す珪素分布曲線、酸素分布曲線および炭素分布曲線において、下記の条件(i)〜(iii):
(i)珪素の原子数比、酸素の原子数比および炭素の原子数比が、前記薄膜層の膜厚方向における90%以上の領域において、下記式(1)で表される条件を満たすこと、
(酸素の原子数比)>(珪素の原子数比)>(炭素の原子数比)・・・(1)
(ii)前記炭素分布曲線が少なくとも1つの極値を有すること、
(iii)前記炭素分布曲線における炭素の原子数比の最大値および最小値の差の絶対値が0.05以上であること
を全て満たす積層フィルム。 - 前記有機層はフィラー成分を含んでいてもよく、前記有機層の全体重量から、前記有機層中に含まれるフィラー成分を除いた重量W0に対する、前記アクリレート樹脂成分の重量W1を重量比W1/W0で表した場合、下記式(2)の範囲にある請求項1に記載された積層フィルム。
0.60≦W1/W0≦1.00 (2) - 前記有機層の全体重量から、前記有機層中に含まれるフィラー成分を除いた重量W0に対する、有機珪素化合物成分の重量W2を重量比W2/W0で表した場合、下記式(3)の範囲にある請求項1または2に記載された積層フィルム。
W2/W0≦0.10 (3) - 前記薄膜層表面に対して赤外分光測定を行った場合、950〜1050cm−1に存在するピーク強度(I1)と、1240〜1290cm−1に存在するピーク強度(I2)との強度比が下記式(4)の範囲にある請求項1〜3のいずれか一項に記載された積層フィルム。
0.01≦I2/I1<0.05 (4) - 前記薄膜層表面に対して赤外分光測定を行った場合、950〜1050cm−1に存在するピーク強度(I1)と、770〜830cm−1に存在するピーク強度(I3)との強度比が下記式(5)の範囲にある請求項1〜4のいずれか一項に記載された積層フィルム。
0.25≦I3/I1≦0.50 (5) - 前記薄膜層表面に対して赤外分光測定を行った場合、770〜830cm−1に存在するピーク強度(I3)と、870〜910cm−1に存在するピーク強度(I4)との強度比が下記式(6)の範囲にある請求項1〜5のいずれか一項に記載された積層フィルム。
0.70≦I4/I3<1.00 (6) - 前記薄膜層がプラズマCVD法により形成されたものである請求項1〜6のいずれか一項に記載された積層フィルム。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載された積層フィルムを基板として用いたフレキシブル電子デバイス。
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