JP2019048354A - 研磨パッド固定具および研磨パッド - Google Patents

Abstract

【解決手段】 研磨パッド４を研磨装置２の研磨定盤５に固定するための研磨パッド固定具７および当該研磨パッド固定具７を備えた研磨パッド４に関する。研磨パッド固定具７は、無数の係合突起１３を有するオス側面ファスナー部材１１Ａおよび上記係合突起１３に係合する無数の被係合部１４を有するメス側面ファスナー部材１１Ｂからなる面ファスナー１１を備え、さらに上記面ファスナー１１と上記研磨パッド４の研磨層との間に、厚さ５〜１５ｍｍのクッション材１２を設けたことを特徴とする。【効果】 面ファスナーを用いて研磨パッドを固定する場合において、研磨ムラの発生を可及的に防止することができる。【選択図】 図２

Description

本発明は研磨パッド固定具および研磨パッドに関し、詳しくは研磨装置の研磨定盤に研磨パッドを固定するための研磨パッド固定具および当該研磨パッド固定具を備えた研磨パッドに関する。

従来、レンズ、平行平面板、反射ミラー等の光学材料、シリコンウェハ、液晶用ガラス基板、半導体基板等といった被研磨物では、高度な平坦性が要求されるため研磨パッドを使用した研磨加工が行われている。また、近年、ガラス、金属、セラミック等からなる平面と曲面を有する板状物においても、研磨パッドを使用した研磨加工が行われるようになってきている。
通常、これら被研磨物の研磨加工には、被研磨物を片面研磨加工する片面研磨装置が用いられ、このような上記片面研磨装置は、対向して設けられた保持定盤および研磨定盤を備え、保持定盤に被研磨物が保持され、研磨定盤に被研磨物を研磨する研磨層を有した研磨パッドが装着されている。
そして研磨加工時には研磨パッドの研磨面にスラリーを供給し、被研磨物に圧力をかけながら、上記研磨定盤と保持定盤とを相対的に回転させることで被研磨物を研磨加工するようになっている。
上記研磨加工において使用により研磨層が磨耗した研磨パッドは交換する必要があるが、研磨パッドを両面テープによって研磨定盤に固定した場合には、研磨定盤に接着剤が残留（糊残り）することがある。
接着剤が残留していると、新たな研磨パッドを貼付したときに糊残り部分が盛り上がり、研磨パッドの研磨面の平坦性が損なわれることから、研磨パッドを交換するときには、研磨定盤に残留している接着剤を完全に除去する清掃作業が必要となり、清掃作業による装着の作業性を低下させる。
そこで、上記研磨パッドを面ファスナーからなる研磨パッド固定具により研磨定盤に固定することが知られている（特許文献１）。このような研磨パッド固定具では、交換時にオス側面ファスナー部材をメス側面ファスナー部材から離脱させるのみでよく、交換毎の清掃作業が不要となることから、作業効率がよいという利点がある。

特開２０１０−２７４３３８号公報

しかしながら、上記面ファスナーによって構成された研磨パッド固定具を用いた場合、上記研磨加工時に研磨パッドを被研磨物に圧接させると、オス側面ファスナー部材を構成する係合突起が研磨パッドの研磨層の研磨面と反対面側を変形させる。そして、当該変形が研磨面に伝播すると、被研磨物に研磨ムラを生じさせる場合があった。特にそのような傾向は、研磨圧が比較的高い４００ｇｆ／ｃｍ^２以上の条件で研磨加工を行った場合に顕著であり、特に、被研磨面が平面と曲面を有し、被研磨面の場所によって研磨圧が伝わる押圧力に差が生じる場合において、押圧力が高くなる場所の研磨ムラが顕著であった。
このような問題に鑑み、本発明は研磨ムラの発生を可及的に防止することが可能な研磨パッド固定具と、当該研磨パッド固定具を備えた研磨パッドを提供するものである。

すなわち請求項１の発明にかかる研磨パッド固定具は、研磨パッドを研磨装置の研磨定盤に固定するための研磨パッド固定具において、
研磨パッド固定具は無数の係合突起を有するオス側面ファスナー部材と、上記係合突起に係合する無数の被係合部を有するメス側面ファスナー部材とからなる面ファスナーを備えており、
上記面ファスナーにおける上記研磨パッド側の面に、厚さ５〜１５ｍｍのクッション材を設けたことを特徴としている。
また請求項６の発明にかかる研磨パッドは、被研磨物を研磨するための研磨面を有する研磨層を備えた研磨パッドにおいて、
上記研磨層の研磨面と反対面側に請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の研磨パッド固定具を備えたことを特徴としている。

上記発明によれば、面ファスナーと上記研磨パッドとの間にクッション材を設けることで、研磨パッドを被研磨物に圧接した際に、オス側面ファスナー部材の係合突起による変形を上記クッション材によって吸収することで、研磨ムラを生じやすい研磨圧４００ｇｆ／ｃｍ^２以上という条件での研磨においても、研磨ムラの発生を抑えることができ、曲面を有する被研磨物の研磨ムラも抑制することができる。
さらに上記クッション材の厚さを５〜１５ｍｍの範囲とすることで、以下の実験結果からも明らかなように、この効果が顕著になることが確認できた。

本実施例にかかる研磨装置の概略図 研磨定盤および研磨パッドの拡大断面図

以下図示実施例について説明すると、図１は被研磨物１を研磨する研磨装置２の概略図を示し、当該研磨装置２は上方に位置して複数の被研磨物１を保持する保持定盤３と、下方に位置して研磨パッド４が固定される研磨定盤５と、上記被研磨物１と研磨パッド４との間にスラリーを供給するスラリー供給手段６とを備えている。
上記被研磨物１としては、光学材料、シリコンウェハ、液晶用ガラス基板、半導体基板の他、ガラス、金属、セラミック等による平面と曲面を有する板状物を研磨することができ、また上記スラリー供給手段６が供給するスラリーとしては、対象となる被研磨物１および求められる加工精度に応じて従来公知の物を使用することができる。
上記保持定盤３および研磨定盤５はそれぞれ略円盤状を有しており、それぞれ図示しない駆動手段によって相対的に反対方向に回転するようになっており、また上記保持定盤３は昇降可能に設けられている。
そして研磨加工を行う際、上記保持定盤３は上記被研磨物１を上記研磨定盤５上面の研磨パッド４に設定圧力で押し当てながら相対的に回転させ、上記スラリー供給手段６がスラリーを上記被研磨物１と研磨パッド４との間に供給する。

図２は上記研磨パッド４の拡大断面図を示したものであり、上記研磨パッド４は上記研磨定盤５に研磨パッド固定具７を介して交換可能に固定されるようになっている。
上記研磨パッド４としては従来公知のものを用いることができ、本実施例では研磨層にポリウレタン樹脂含浸不織布によって構成されたものを採用しているが、その他の材料からなる研磨パッド４も用いてもよい。また被研磨物１側の研磨面に必要に応じて溝が形成されていてもよい。
また本実施例の研磨パッド４の厚さは０．５〜５．０ｍｍであることが望ましく、０．５ｍｍ未満であると研削力が弱くなり易いため、磨き残りが発生しやすい。反対に、５．０ｍｍを超えた場合には、沈みこみが深くなり被研磨物１の端部に過度の応力がかかり易いため、研磨ムラが生じやすい。

上記研磨パッド固定具７は、オス側面ファスナー部材１１Ａおよびメス側面ファスナー部材１１Ｂによって構成された面ファスナー１１と、当該面ファスナー１１の上記研磨パッド４側に設けられたクッション材１２とによって構成されている。そして上記面ファスナー１１とクッション材１２とは両面テープＴによって積層一体化されている。
具体的に、上記オス側面ファスナー部材１１Ａが上記研磨定盤５に両面テープＴにより接着固定され、上記メス側面ファスナー部材１１Ｂと上記クッション材１２とが両面テープＴを介して積層一体化されている。
そして上記構成を有する研磨パッド固定具７を用いて研磨パッド４を研磨定盤５に固定する際には、予め上記オス側面ファスナー部材１１Ａを研磨定盤５に両面テープＴを用いて固定しておき、これに上記メス側面ファスナー部材１１Ｂとクッション材１２とが固定された研磨パッド４を密着させることで、上記クッション材１２および研磨パッド４を研磨定盤５に固定する。
一方、研磨パッド４を交換する際には、オス側面ファスナー部材１１Ａからメス側面ファスナー部材１１Ｂを剥離させることで使用済みの研磨パッド４を研磨定盤５から離脱させ、上記オス側面ファスナー部材１１Ａを研磨定盤５に残したまま、これに上記メス側面ファスナー部材１１Ｂとクッション材１２とが固定された新たな研磨パッド４を密着させればよい。
このように、本実施例のような面ファスナー１１を備えた研磨パッド固定具７は、オス側面ファスナー部材１１Ａを繰り返し使用することで、研磨パッド４の交換作業時に研磨定盤５に残留した接着剤を除去する清掃作業が不要となるため、研磨パッド４の交換作業を迅速に行うことが可能となっている。

本実施例における上記オス側面ファスナー部材１１Ａの係合突起１３は、基材Ｂに立設された軸１３ａと、当該軸１３ａの先端部に設けられた略半球状の係合部１３ｂとから構成されたいわゆるマッシュルームタイプとなっている。
一方、上記メス側面ファスナー部材１１Ｂの被係合部１４はいわゆるナッピングタイプと呼ばれ、上記基材Ｂの表面に固定されたモヘア状の繊維によって構成されており、上記繊維にオス側面ファスナー部材１１Ａの係合突起１３が引っかかることで、これらを強固に係合させることが可能となっている。
また上記オス側面ファスナー部材１１Ａの係合突起１３の密度は、３０〜１００個／ｃｍ^２の範囲で設けることが望ましく、４０〜８０個／ｃｍ^２の範囲で設けることがより好ましく、５０〜７０個／ｃｍ^２の範囲で設けることが更に好ましい。
３０個／ｃｍ^２未満であると、オス側面ファスナー部材１１Ａとメス側面ファスナー部材１１Ｂとの密着状態が維持できず研磨加工中に研磨パッド４がずれてびびりが大きくなり、研磨加工を継続することが出来なくなったり、また１００個／ｃｍ^２を超えると、研磨パッド４の交換時に研磨定盤５に残ったオス側面ファスナー部材１１Ａを洗浄する際、付着した汚れの除去が困難となる。
オス側面ファスナー部材１１Ａの厚さは１．０〜３．０ｍｍが好ましい。１．０ｍｍ未満であるとメス側面ファスナーとの係合力が低下して、研磨加工時に面ファスナー部材間にずれが生じやすくなり、反対に３．０ｍｍを超えると研磨パッド４との間にクッション材１２が介在しても研磨面に凹凸が転写されやすくなる。
一方、メス側面ファスナーの目付は４００〜８００ｇ／ｍ^２が好ましい。４００ｇ／ｍ^２未満であると係合力が低下し、研磨加工時に面ファスナー部材間にずれが生じやすくなる。反対に８００ｇ／ｍ^２を超えると、係合に寄与しない余分な繊維が多くなり、研磨の際に繊維の隙間に滞留するスラリー中の砥粒成分が凝集することによる研磨トラブルを招きやすくなる。
また、メス側面ファスナー部材１１Ｂの厚さは１．５〜５．０ｍｍが好ましい。反対に１．５ｍｍ未満であると係合力が乏しく、研磨パッド４を研磨定盤５に固定することが困難になる。反対に、５．０ｍｍを超えると面ファスナー間の部材にズレが生じやすくなったり、また、厚さ方向の柔軟性が大きくなりすぎて、被研磨物１への押圧力が伝わりにくくなり研磨速度が低下しやすくなる。
なお、本実施形態で用いることのできる面ファスナーとしては、ポリエステル繊維、ポリアミド繊維、ポリオレフィン繊維、ポリ塩化ビニル系繊維等の繊維を製編織して得た編製または織製面ファスナー； ポリエステル、ポリアミド、ポリオレフィン、ポリオレフィン共重合体、塩化ビニル系重合体、ポリウレタン、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、シリコーン系樹脂、その他の熱可塑性重合体、熱硬化性重合体等の合成樹脂を成形して得た成形面ファスナー； などが挙げられる。
なお、かぎ型形状を有した係合突起１３を備えたオス側面ファスナー部材１１Ａと、ループ状を有した被係合部１４を備えたメス側面ファスナー部材１１Ｂとを組み合わせた面ファスナー１１も知られているが、これらは上記マッシュルームタイプとナッピングタイプとの組み合わせよりも剥離強度が低いため、上記構成を採用することが望ましい。

上記クッション材１２にはポリエチレンフォームを使用することができ、これ以外にも発泡ポリウレタンや、ゴムといった素材を用いることが可能となっている。
本実施例では、上記クッション材１２を面ファスナー１１と研磨パッド４との間に設けることで、上記オス側面ファスナー部材１１Ａの係合突起１３による上記研磨パッド４の変形を防止することができ、被研磨物１を研磨した際の研磨ムラを抑制することができる。
具体的に説明すると、被研磨物１を研磨するために研磨パッド４を被研磨物１に押圧すると、オス側面ファスナー部材１１Ａの上記係合突起１３も押圧されることとなる。
本実施例の研磨パッド固定具７は、研磨パッド４と面ファスナー１１との間に上記クッション材１２を設けているため、オス側面ファスナー部材１１Ａの上記係合突起１３が押圧されても、上記クッション材１２が変形するのみで、研磨パッド４の研磨層を変形させることはない。
これに対し、研磨パッド固定具７が上記クッション材１２を有さない場合、上記係合突起１３が研磨パッド４の研磨層の研磨面と反対面側を変形させ、当該変形が研磨面にも達すると、研磨パッド４と被研磨物１との接触が一定にならなくなり、研磨ムラが発生することとなる。

さらに本実施例の研磨パッド固定具７は、上述した様に上記オス側面ファスナー部材１１Ａを上記研磨定盤５に固定し、上記メス側面ファスナー部材１１Ｂを上記クッション材１２と積層一体化したことで、上記オス側面ファスナー部材１１Ａの係合突起１３と上記研磨パッド４との間に上記メス側面ファスナー部材１１Ｂが位置するようになっている。
その結果、上記メス側面ファスナー部材１１Ｂの被係合部１４を上記クッション材１２のように作用させることが可能となり、上記オス側面ファスナー部材１１Ａの上記係合突起１３による変形を上記メス側面ファスナー部材１１Ｂおよびクッション材１２によって吸収することができる。

そして上記クッション材１２による上記効果を得るためには、当該クッション材１２の厚さを５〜１５ｍｍの範囲とすることが望ましい。５ｍｍ未満であると上記係合突起１３による変形を吸収できず、また１５ｍｍを超えた場合には研磨パッド４が被研磨物１に押圧された際に、クッション材１２が過度に変形して面品位が悪化することとなる。
また上記クッション材１２のＡ硬度を１０〜２５°の範囲とすることが望ましい。１０°未満であると研磨パッド４を被研磨物１に押圧した際にクッション材１２が過度に変形してしまい面品位が悪化し、また２５°を超えた場合には上記係合突起１３による変形を十分に吸収できなくなるため、係合突起１３によってクッション材１２が歪んでしまい、研磨層を平坦に支持することができず面品位が低下しやすくなる。
なお、被研磨物１となる物品に特に限定はなく、例えば、光学材料、シリコンウェハ、液晶用ガラス基板、半導体基板等が挙げられるが、本実施形態では、ガラス、金属、セラミック等にからなる曲面と平面を有する板状物において、特に好ましく利用することができる。

以下、実施例によって本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでない。
なお、本実施例に記載の研磨パッド４の物性である厚さ、密度、圧縮率、圧縮弾性率、Ａ硬度は、以下の方法によって測定したものを用いる。また、クッション材１２の物性である、密度、Ａ硬度についても同様に測定したものを用いる。
（厚さ）
厚さは、ダイヤルゲージ（最小目盛り０．０１ｍｍ）を使用し、荷重４８０ｇ／ｃｍ²をかけて測定した。縦１０ｃｍ×横１０ｃｍの研磨パッドの中央部と４隅の５箇所測定し最小目盛りの１０分の１（０．００１ｍｍ）まで読み取り、その平均値を試験片の厚さ（ｍｍ）とした。
（密度）
密度は、試験片の乾燥質量を試験片の体積（空隙も含む見掛けの体積）で除することにより測定した。
（圧縮率及び圧縮弾性率）
圧縮率及び圧縮弾性率は日本工業規格（ＪＩＳ Ｌ １０２１）に従い、ショッパー型厚さ測定器（加圧面：直径１ｃｍの円形）を使用して測定した。
具体的には、室温において無荷重状態から初荷重を３０秒間かけた後の厚さｔ０を測定し、次に、厚さｔ０の状態から最終荷重を５分間かけた後の厚さｔ１を測定した。次いで厚さｔ１の状態から全ての荷重を取り除き、５分放置（無荷重状態とした）後、再び初荷重を３０秒間加えた後の厚さｔ０‘を測定した。
圧縮率は、圧縮率（％）＝（ｔ０―ｔ１）／ｔ０×１００の式で算出し、圧縮弾性率は、圧縮弾性率（％）＝（ｔ０‘−ｔ１）／（ｔ０−ｔ１）×１００の式で算出した。このとき、初荷重は１００ｇ／ｃｍ^２、最終圧力は１１２０ｇ／ｃｍ^２であった。）
（Ａ硬度）
Ａ硬度の測定は、試料片（１０ｃｍ×１０ｃｍ）を用意し、Ａ型硬度計（日本工業規格、ＪＩＳ Ｋ ７３１１）にて測定した。厚さが４．５ｍｍに満たない場合には、複数の試験片を重ね厚さが４．５ｍｍ以上となるように重ねて測定した。

次に、面ファスナー１１を構成する上記オス側面ファスナー部材１１Ａおよび上記メス側面ファスナー部材１１Ｂの物性である、厚さ、目付、突起の数は以下の方法によって測定したものを用いる。
（厚さ）
面ファスナー部材の厚さは、デジマチックマイクロメータ（Ｍｉｔｕｔｏｙｏ社製の商品名「ＭＤＣ−２５ＳＸ」）によって測定した。縦１０ｃｍ×横１０ｃｍの試験片の中央部と４隅の５箇所０．００１ｍｍまで読み取り測定し、その平均値を各面ファスナー部材の厚さ（ｍｍ）とした。
（目付）
目付は、試験片の乾燥質量を試験片の面積で除することにより測定した。
（係合突起の数）
オス側面ファスナー部材１１Ａの係合突起の数は、試験片を１ｃｍ角に切り取った後、マイクロスコープ（ＫＥＹＥＮＣＥ社製の商品名「ＶＨ−５５００」）を用いて突起を拡大して観察し、視野を移動させながら係合突起の数を計測することによって求めた。

（実施例１〜３および比較例１、２）
実施例１〜３、および比較例１、２の研磨パッド４には同じものを用いた。具体的には、厚さ１．７５ｍｍ、密度０．３６ｇ／ｃｍ^３、圧縮率４．３％、圧縮弾性率７１．６％、Ａ硬度７４．５°の、樹脂含浸不織布からなる研磨層を有した研磨パッド４を用いた（ＦＰＫ６６０「フジボウ愛媛株式会社製」）。
また上記実施例１〜３および比較例１、２の研磨パッド固定具７を構成する面ファスナー１１にも同じものを用いた。具体的には、オス側面ファスナー部材１１Ａには係合突起１３がマッシュルームタイプのものを、メス側面ファスナー部材１１Ｂにはナッピングタイプのものを用いた。
さらに、オス側面ファスナー部材１１Ａの厚さを１．５ｍｍ、メス側面ファスナー部材１１Ｂの厚さを２．０ｍｍとし、貼り合わせた際の厚さは２．９ｍｍとなった。またオス側面ファスナー部材１１Ａの目付は５６４ｇ／ｍ^２、メス側面ファスナー部材１１Ｂの目付は６８２ｇ／ｍ^２であった。

そして実施例１〜３にかかる研磨パッド固定具７については、クッション材１２の厚さを５ｍｍ、１０ｍｍ、１５ｍｍとし、またＡ硬度を２２°とした。
これに対し比較例１、２の研磨パッド固定具については、クッション材１２の厚さを異ならせて、比較例１、２のクッション材１２の厚さをそれぞれ３ｍｍ、２０ｍｍとした。以下表１に示す。

（実施例４、比較例３、４）
実施例４、比較例３、４では、研磨パッド固定具７のクッション材のＡ硬度を１１°、０°、２６°とする以外は実施例２と同様に作製した。以下表２に示す。

（実施例５）
実施例５では、研磨パッド４の厚さを４．８３ｍｍに変更する以外は実施例２と同様に作製した。以下表２に示す。

（実施例６、比較例５）
実施例６、比較例５は、係合突起の数を３５個／ｃｍ^２、１０８個／ｃｍ^２とする以外は、実施例２と同様に作製した。以下表２に示す。

そして、実施例１〜６および比較例１〜５の研磨パッド固定具７を備えた研磨パッド４を用いて被研磨物１の研磨を行い、被研磨物１への研磨ムラの有無について評価を行った。
上記実験に使用した研磨装置２として、不二越機械工業社製の片面研磨装置を用い、当該研磨装置２では被研磨物１としてのガラス基板（６５ｍｍ×６５ｍｍ×１０ｍｍ 端部に曲面加工済み（曲率半径：５ｍｍ））を１セットあたり１０枚研磨することができる。またスラリーとしては酸化セリウムスラリー１０％水溶液を用いた。
また、上記研磨装置２による研磨定盤５の回転速度を４０ｒｐｍ、研磨圧を４５０ｇ／ｃｍ^２に設定し、また１回あたりの研磨時間を１５ｍｉｎとして、これを１２セット、すなわち合計で１２０枚の被研磨物１を研磨した。
そして、研磨した被研磨物１に研磨ムラがあるか否かを目視により判定し、すべての被研磨物１に研磨ムラが確認されず、均一に研磨されていた場合を○、一部の被研磨物１に研磨ムラが僅かに確認されたものの、全体的に均一に研磨されている場合を△、研磨ムラが多く、均一に研磨されていないものが含まれている場合を×と評価した。

上記実験結果から明らかなように、実施例１〜６、比較例５の研磨パッド固定具７を備えた研磨パッド４を用いて研磨した被研磨物１には、研磨ムラが確認されなかった。
これに対し、比較例１、２としての研磨パッド固定具を備えた研磨パッドを用いて研磨した被研磨物１の一部には、研磨ムラが確認された。
比較例１はクッション材の厚さが３ｍｍと薄いことから、係合突起１３が研磨定盤によって押圧された際に上記クッション材１２によって変形を吸収しきれず、研磨パッド４も変形し、これにより研磨ムラが発生したものと推察される。
比較例２はクッション材１２の厚さが２０ｍｍと厚く、研磨定盤５によって研磨パッド４を被研磨物１に押圧させた際に、クッション材が過剰に沈み込んでしまい、研磨パッド４と被研磨物１との接触圧を一定に保てず、これにより研磨ムラが発生したものと推察される。
比較例３はクッション材のＡ硬度が０°と柔らかいことから、研磨パッド４が研磨定盤によって押圧された際にクッション材１２が過度に沈み込んでしまい、研磨パッド４と被研磨物１との加工圧を一定に保てず、これによりわずかに研磨ムラが発生したものと推察される。
そして比較例４はクッション材１２のＡ硬度が２６°と硬く、研磨定盤５によって研磨パッド４を被研磨物１に押圧させた際に、係合突起１３による変形をクッション材１２が吸収しにくくなり、係合突起１３によってクッション材１２が歪んでしまい、研磨層を平坦に支持しにくくなった。これによりわずかに研磨ムラが発生したものと推察される。
なお、研磨終了時には、オス側面ファスナー部材をメス側面ファスナー部材から離脱させ、オス側面ファスナー部材の係合突起側の面を水で流しながら洗浄したが、比較例５のオス側面ファスナー部材上のみに紛体が残留してしまったため、ブラシをかけることよって除去した。これは、比較例５の係合突起の数が１０８個／ｃｍ^２と他の実施例（５６個／ｃｍ^２及び３５個／ｃｍ^２）と比較しても多く、係合突起間の間隔が狭くなり、固形物の除去が難しくなったためと推察される。

１ 被研磨物 ４ 研磨パッド
５ 研磨定盤 ７ 研磨パッド固定具
１１ 面ファスナー部材 １１Ａ オス側面ファスナー部材
１１Ｂ メス側面ファスナー部材 １２ クッション材
１３ 係合突起 １４ 被係合部

Claims (7)

1. 研磨パッドを研磨装置の研磨定盤に固定するための研磨パッド固定具において、
   研磨パッド固定具は無数の係合突起を有するオス側面ファスナー部材と、上記係合突起に係合する無数の被係合部を有するメス側面ファスナー部材とからなる面ファスナーを備えており、
   上記面ファスナーにおける上記研磨パッド側の面に、厚さ５〜１５ｍｍのクッション材を設けたことを特徴とする研磨パッド固定具。
2. 上記クッション材のＡ硬度を１０〜２５°の範囲としたことを特徴とする請求項１に記載の研磨パッド固定具。
3. 上記メス側面ファスナー部材に上記クッション材を固定し、上記オス側面ファスナー部材を上記研磨定盤側に設けたことを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の研磨パッド固定具。
4. 上記オス側面ファスナー部材を構成する係合突起をマッシュルームタイプとし、上記メス側面ファスナー部材を構成する被係合部をナッピングタイプとしたことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の研磨パッド固定具。
5. 上記オス側面ファスナー部材を構成する係合突起を３０〜１００個／ｃｍ^２の密度で設けたことを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の研磨パッド固定具。
6. 被研磨物を研磨加工するための研磨面を有する研磨層を備えた研磨パッドにおいて、
   上記研磨層の研磨面と反対面側に請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の研磨パッド固定具を備えたことを特徴とする研磨パッド。
7. 研磨層が厚さ０．５〜５．０ｍｍの樹脂含浸不織布によって構成されていることを特徴とする請求項６に記載の研磨パッド。

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