JP2006319045A - 研磨布 - Google Patents
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Abstract
【課題】 使用寿命が長く、ノッチ部に傷を発生させない研磨布を提供する。
【解決手段】 基材である不織布に樹脂を付着させ、密度の好適範囲を0.3g/cm3〜0.6g/cm3とし、硬さの好適範囲をアスカーC硬度で60〜90とする。基材である不織布としては、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、ポリプロピレン繊維、ポリビニルアルコール繊維、ポリ(p−フェニレンテレフタルアミド)繊維から成る群より選ばれる1種以上を含むことが好ましく、付着させる樹脂としては、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂から成る群より選ばれる1種以上を含むことが好ましい。
【選択図】 なし
Description
実施例としては、ポリエステル繊維を含む不織布にウレタン樹脂を付着させ、表1に示すように、密度、硬さが異なる研磨布(実施例1〜4)を作製した。
研磨装置:スピードファム株式会社製エッジポリッシング装置(製品名EPD−300)
研磨布回転速度:1000rpm
スラリ流量:10ml/秒(スラリ組成:Al2O320重量%)
(密度および硬さ測定)
研磨布の密度は、直径100mmの試料片を用意し、その重量を測定することにより求めた。
研磨布の使用寿命は、研磨布が破断するまでの時間の相対値により評価した。◎は最長寿命であることを示し、○は最長寿命未満、最長寿命の90%以上の寿命であることを示し、△は最長寿命の90%未満、70%以上の寿命であることを示し、×は最長寿命の70%未満の寿命であることを示す。
研磨によりノッチ部に発生したスクラッチは、研磨処理後の被研磨表面をCCDカメラにより観察した際の線状欠陥の数により相対評価した。×は最多欠陥数以下、最多欠陥数の80%以上の欠陥数であることを示し、○は最多欠陥数の80%未満、70%以上の欠陥数であることを示し、◎は最多欠陥数の70%未満の欠陥数であることを示す。
本願発明の効果を得るには長い使用寿命と良好なスクラッチ特性を両立する必要があるため、使用寿命評価とスクラッチ評価を総合的に判断した。総合評価は、◎は使用寿命評価およびスクラッチ評価の両方が◎であることを示し、○は使用寿命評価とスクラッチ評価の両方が○またはいずれか一方が◎で他の一方が○であることを示し、×は使用寿命評価とスクラッチ評価の両方またはいずれか一方が×であることを示す。
評価結果について表1に示す。
2,4,6 周縁部
Claims (3)
- 基材である不織布に樹脂を付着させた研磨布であって、密度が0.3g/cm3〜0.6g/cm3であり、硬さがアスカーC硬度で60〜90であることを特徴とする研磨布。
- 前記不織布が、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、ポリプロピレン繊維、ポリビニルアルコール繊維、ポリ(p−フェニレンテレフタルアミド)繊維から成る群より選ばれる1種以上を含むことを特徴とする請求項1記載の研磨布。
- 前記樹脂が、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂から成る群より選ばれる1種以上を含むことを特徴とする請求項1または2記載の研磨布。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005138583A JP2006319045A (ja) | 2005-05-11 | 2005-05-11 | 研磨布 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006319045A true JP2006319045A (ja) | 2006-11-24 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005138583A Pending JP2006319045A (ja) | 2005-05-11 | 2005-05-11 | 研磨布 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2006319045A (ja) |
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