JP5648389B2 - 研磨パッド - Google Patents
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開孔率(%)=(目開き総面積/4mm2)×100
また、目開き総面積については、画像処理ソフトを用いて評価することも可能である。さらに、マルチフィラメント強撚糸織物2mm×2mmに相当するSEMなどの画像を紙に印刷し、これから目開き部分を切り取った総重量と強撚糸織物2mm×2mmに相当する紙重量との重量比で求めることもできる。
撚係数K=T×D
T:糸長1m当たりの撚数
D:繊維(マルチフィラメントからなる織糸)の総直径
繊維の収束性や耐久性を向上させるために、上記の撚係数Kは20,000以上であることが好ましく、より好ましくは50,000以上であり、さらに好ましくは100,000以上である。撚係数Kの上限は、200,000以下であることが好ましい。
サンプルに白金を蒸着し、日本電子製 超高分解能電解放射型走査型電子顕微鏡JSM−5400LVを用いて所定の倍率で観察した。
目開きとは、マルチフィラメント強撚糸織物において経糸および緯糸に囲まれて形成された細孔を意味し、この細孔は織物の厚さ方向に貫通しているもの 研磨パッド表面を、上記SEM装置により100倍で観察することにより目開きを特定し、目開き面積を異なる20ヶ所で測定し、その平方根の平均値を目開きサイズとした。
マルチフィラメント強撚糸織物の表面積全体に占める目開き部分の面積の比率を、開孔率として定義する。このときは、マルチフィラメント強撚糸織物、縦×横=2mm×2mm中の目開き数と目開き1つ当たりの面積から開孔率(%)=(目開き総面積/(織編物表面積=4mm2))×100(%)を計算し、これを5箇所で行って単純平均して求めた。目開きは、SEM装置観察(100倍)により行った。
接着層によりマルチフィラメント強撚糸織物が支持体に積層された研磨パッドをカミソリで切断することにより、織物断面の面出しを行った。そして、織物断面をできる限り垂直に立ててSEM装置で倍率500倍で観察し、図2のように経糸と緯糸の交錯点における織物表面の経糸表面と織物裏面の緯糸表面との距離を測定した。測定は同一織物内で異なる5ヶ所で行い、その平均値を織物の厚さとした。
JIS Z0237に従い、研磨パッドを25mm×150mmに切り出し、1時間研磨スラリーに浸漬した後に織物と粘着テープを東洋計器製テンシロン UTM−4Lを用いて300mm/minで180°引き剥がしを行い、その剥離強力を測定した。3枚の試験片の剥離強力を測定し、その平均値を粘着力とした。研磨スラリーは株式会社フジミインコーポレーテッド製“GLANZOX1302”(登録商標)を用い、濃度1%で使用した。
JIS Z0237に従い、保持力を測定する側の粘着剤を接触面積 幅10mm×長さ20mmで支持体に貼りあわせた。また、粘着テープの端に4.9Nの荷重を掛け、1時間後の粘着テープのずれた距離を計測した。3枚の試験片の保持力を測定し、その平均値をテープの保持力とした。
研磨機は、ラップマスターSFT株式会社製の片面研磨機 “ラップマスターLM−15E”(登録商標)を用いた。研磨パッドは、実施例および比較例で作製した研磨パッドをそれぞれ用い、研磨スラリーにはコロイダルシリカの水分散体である株式会社フジミインコーポレーテッド製“GLANZOX1302”(登録商標)を用いた。半導体ウエハは、4インチの単結晶シリコンのエッチトウエハを用いて研磨した。また、ウエハ1枚を10分間研磨し、新たなウエハを交換し再度研磨を行う。このような操作を連続して行い、積算で10時間研磨を行った後に織物が剥離するかどうか確認した。このときの研磨条件は、下記のとおりである。
・定盤回転数: 50rpm
・研磨圧力: 255gf/cm2
・研磨時間: 10分間
・スラリー濃度: 1%
・スラリー供給量: 35mL/分。
Zygo社の白色干渉顕微鏡である“New View 6300”(登録商標)を用い、中間レンズを1倍、対物レンズを2.5倍としてRa(算術平均粗さ)の評価を行った。測定は、研磨物の中心とそれから端までの中間点4ヶ所の合計5ヶ所の測定を行い、その平均値で評価を行った。
研磨層として、17dtex−12フィラメント(三角断面)を用い、撚数1,700T/mのPETマルチフィラメントを経密度157本/インチ、緯密度176本/インチ、目開き88μm、開孔率32%として織ったマルチフィラメント強撚糸平織物(表1)を用い、支持体として、アスカーA硬度90、厚さ1.0mmの熱可塑性ウレタン樹脂板を用いた。この支持体に上記の織物をシリコーン系両面粘着テープ(保持力0.1mm/h、厚さ85μm、ポリエステルフィルム基材、支持体面はアクリル系粘着剤)で貼り付け、さらに支持体の裏側に定盤粘着用のアクリル系粘着テープ(厚さ133μm、ポリエステルフィルム基材)を貼り付け、研磨パッドを作製した。この研磨パッドの小片を研磨スラリーに1時間浸漬した後に強撚糸織物と粘着テープ間の180°引き剥がしによる剥離強力を測定したところ、4.5N/25mmであった。
研磨層として、17dtex−12フィラメント(三角断面)を用い、撚数3,000T/mのPETマルチフィラメントを経密度295本/インチ、緯密度300本/インチ、目開き58μm、開孔率13%として織ったマルチフィラメント強撚糸平織物(表1)を用い、支持体として、アスカーA硬度90、厚さ1.0mmの熱可塑性ウレタン樹脂板を用いた。この支持体に上記の織物をシリコーン系両面粘着テープ(保持力0.1mm/h、厚さ85μm、ポリエステルフィルム基材、支持体面はアクリル系粘着剤)で貼り付け、さらに支持体の裏側に定盤粘着用のアクリル系粘着テープ(厚さ133μm、ポリエステルフィルム基材)を貼り付け、研磨パッドを作製した。この研磨パッドの小片を研磨スラリーに1時間浸漬した後に強撚糸織物と粘着テープ間の180°引き剥がしによる剥離強力を測定したところ、5.3N/25mmであった。
研磨層として、17dtex−12フィラメント(三角断面)を用い、撚数3,000T/mのPETマルチフィラメントを経密度295本/インチ、緯密度200本/インチ、目開き75μm、開孔率15%として織ったマルチフィラメント強撚糸平織物(表1)を用い、支持体として、アスカーA硬度90、厚さ1.0mmの熱可塑性ウレタン樹脂板を用いた。この支持体に上記の織物をシリコーン系両面粘着テープ(保持力0.1mm/h、厚さ85μm、ポリエステルフィルム基材、支持体面はアクリル系粘着剤)で貼り付け、さらに支持体の裏側に定盤粘着用のアクリル系粘着テープ(厚さ133μm、ポリエステルフィルム基材)を貼り付け、研磨パッドを作製した。この研磨パッドの小片を研磨スラリーに1時間浸漬した後に強撚糸織物と粘着テープ間の180°引き剥がしによる剥離強力を測定したところ、5.0N/25mmであった。
研磨層として、17dtex−12フィラメント(三角断面)を用い、撚数1,700T/mのPETマルチフィラメントを経密度157本/インチ、緯密度176本/インチ、目開き88μm、開孔率32%として織ったマルチフィラメント強撚糸平織物(表1)を用い、支持体として、アスカーA硬度90、厚さ1.0mmの熱可塑性ウレタン樹脂板を用いた。この支持体に上記の織物をシリコーン系両面粘着テープ(保持力0.4mm/h、厚さ110μm、ポリエステルフィルム基材、支持体面はアクリル系粘着剤)で貼り付け、さらに支持体の裏側に定盤粘着用のアクリル系粘着テープ(厚さ133μm、ポリエステルフィルム基材)を貼り付け、研磨パッドを作製した。この研磨パッドの小片を研磨スラリーに1時間浸漬した後に強撚糸織物と粘着テープ間の180°引き剥がしによる剥離強力を測定したところ、4.2N/25mmであった。
研磨層として、17dtex−12フィラメント(三角断面)を用い、撚数800T/mのPETマルチフィラメントを経密度157本/インチ、緯密度176本/インチ、目開き88μm、開孔率32%として織ったマルチフィラメント強撚糸平織物(表1)を用い、支持体として、アスカーA硬度90、厚さ1.0mmの熱可塑性ウレタン樹脂板を用いた。この支持体に上記の織物をシリコーン系両面粘着テープ(保持力0.1mm/h、厚さ85μm、ポリエステルフィルム基材、支持体面はアクリル系粘着剤)で貼り付け、さらに支持体の裏側に定盤粘着用のアクリル系粘着テープ(厚さ133μm、ポリエステルフィルム基材)を貼り付け、研磨パッドを作製した。この研磨パッドの小片を研磨スラリーに1時間浸漬した後に強撚糸織物と粘着テープ間の180°引き剥がしによる剥離強力を測定したところ、3.8N/25mmであった。
研磨層として、17dtex−12フィラメント(三角断面)を用い、撚数1,700T/mのPETマルチフィラメントを経密度157本/インチ、緯密度176本/インチ、目開き88μm、開孔率32%として織ったマルチフィラメント強撚糸平織物(表1)を用い、支持体として、アスカーA硬度90、厚さ1.0mmの熱可塑性ウレタン樹脂板を用いた。この支持体に上記の織物をアクリル系粘着テープ(保持力0.0mm/h、厚さ130μm、不織布基材)で貼り付け、さらに支持体の裏側に定盤粘着用のアクリル系粘着テープ(厚さ133μm、ポリエステルフィルム基材)を貼り付け、研磨パッドを作製した。この研磨パッドの小片を研磨スラリーに1時間浸漬した後に強撚糸織物と粘着テープ間の180°引き剥がしによる剥離強力を測定したところ、0.1N/25mm以下であり、ほとんど粘着力を保持していなかった。
研磨層として、17dtex−12フィラメント(三角断面)を用い、撚数3,000T/mのPETマルチフィラメントを経密度295本/インチ、緯密度300本/インチ、目開き58μm、開孔率13%として織ったマルチフィラメント強撚糸平織物(表1)を用い、支持体として、アスカーA硬度90、厚さ1.0mmの熱可塑性ウレタン樹脂板を用いた。この支持体に上記の織物をアクリル系粘着テープ(保持力0.0mm/h、厚さ130μm、不織布基材)で貼り付け、さらに支持体の裏側に定盤粘着用のアクリル系粘着テープ(厚さ133μm、ポリエステルフィルム基材)を貼り付け、研磨パッドを作製した。この研磨パッドの小片を研磨スラリーに1時間浸漬した後に強撚糸織物と粘着テープ間の180°引き剥がしによる剥離強力を測定したところ、0.1N/25mm以下であり、ほとんど粘着力を保持していなかった。
研磨層として、17dtex−12フィラメント(三角断面)を用い、撚数1,700T/mのPETマルチフィラメントを経密度157本/インチ、緯密度176本/インチ、目開き88μm、開孔率32%として織ったマルチフィラメント強撚糸平織物(表1)を用い、支持体として、アスカーA硬度90、厚さ1.0mmの熱可塑性ウレタン樹脂板を用いた。この支持体に上記の織物をゴム系両面粘着テープ(保持力0.1mm/h、厚さ150μm、ポリエステルフィルム基材、支持体面はアクリル系粘着剤)で貼り付け、さらに支持体の裏側に定盤粘着用のアクリル系粘着テープ(厚さ133μm、ポリエステルフィルム基材)を貼り付け、研磨パッドを作製した。この研磨パッドの小片を研磨スラリーに1時間浸漬した後に強撚糸織物と粘着テープ間の180°引き剥がしによる剥離強力を測定したところ、1.0N/25mmであった。
研磨層として、17dtex−12フィラメント(三角断面)を用い、撚数1,700T/mのPETマルチフィラメントを経密度80本/インチ、緯密度60本/インチ、目開き170μm、開孔率75%として織ったマルチフィラメント強撚糸平織物(表1)を用い、支持体として、アスカーA硬度90、厚さ1.0mmの熱可塑性ウレタン樹脂板を用いた。この支持体に上記の織物をシリコーン系両面粘着テープ(保持力0.1mm/h、厚さ85μm、ポリエステルフィルム基材、支持体面はアクリル系粘着剤)で貼り付け、さらに支持体の裏側に定盤粘着用のアクリル系粘着テープ(厚さ133μm、ポリエステルフィルム基材)を貼り付け、研磨パッドを作製した。この研磨パッドの小片を研磨スラリーに1時間浸漬した後に強撚糸織物と粘着テープ間の180°引き剥がしによる剥離強力を測定したところ、3.9N/25mmであった。
2:マルチフィラメント強撚糸織物
3:織物厚さ
4:層間粘着層
Claims (1)
- 研磨パッド上に研磨スラリーを供給しながら研磨パッドと半導体ウエハを相対的に回転運動させて研磨を行う半導体ウエハの鏡面研磨に用いられる研磨パッドであって、研磨層および層間粘着層および支持層および定盤粘着層の積層体からなり、研磨層が目開き10〜150μm、開孔率5〜50%の、撚数が1,000T/m以上のマルチフィラメントから構成された織物であり、層間粘着層がシリコーン系粘着剤を組成とする両面テープからなることを特徴とする研磨パッド。
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