JP2019046993A - インダクタ部品 - Google Patents
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Abstract
Description
平面上に巻回されたスパイラル配線と、
前記スパイラル配線が巻回された平面に対する法線方向の両側から前記スパイラル配線を挟む位置にある第1磁性層および第2磁性層と、
前記スパイラル配線から前記法線方向に延在し、前記第1磁性層および前記第2磁性層の内の少なくとも前記第1磁性層の内部を貫通する垂直配線と、
前記第1磁性層および前記第2磁性層の内の少なくとも前記第1磁性層の表面に設けられ、前記垂直配線の端面を覆う外部端子と
を備え、
前記法線方向からみた前記外部端子の面積に関して、前記第1磁性層は、前記第2磁性層よりも大きく、
前記第1磁性層の厚みをAとし、前記第2磁性層の厚みをBとしたとき、A/((A+B)/2)が0.6以上でかつ1.6以下となる。
前記第1磁性層は、FeSi系もしくはFeCo系もしくはFeAl系合金もしくはそれらのアモルファス合金からなる無機フィラーと、エポキシもしくはポリイミドもしくはフェノール系の有機樹脂とのコンポジット材料であり、
前記無機フィラーの含有率は、前記有機樹脂に対して50vol%以上あり、前記無機フィラーは、略球形である。
前記スパイラル配線は、複数あり、
前記複数個のスパイラル配線間において、前記スパイラル配線同士を直列に接続するビア導体をさらに備え、
前記ビア導体を含む前記ビア導体と同一層は、導体、無機フィラーおよび有機樹脂のみを含む。
(構成)
図1は、インダクタ部品の第1実施形態を示す透視平面図である。図2は、図1のX−X断面図である。
次に、インダクタ部品1の実施例について説明する。
以下では、インダクタ部品1の構成における効果を実証するために行った、インダクタ部品1の構成に基づくシミュレーション結果を説明する。図3Aに、第1のシミュレーション結果を示す。図3Aでは、チップ厚みを変えたときの(A/(A+B)/2)とインダクタンスの変化(ΔL)との関係を示す。シミュレーション条件について説明する。シミュレータは、電磁界シミュレータHFSS@シノプシスを用いる。磁性材料の透磁率μは、8.9であり、L取得周波数は、100MHzであり、チップサイズは、1.2mmx1.0mmであり、スパイラル配線21のターン数は、2.5ターンであり、スパイラル配線L/S/tは、60μm/10μm/70μmである。チップ厚みが0.200mmであるときをグラフL1にて示し、チップ厚みが0.300mmであるときをグラフL2にて示す。図3Aに示すように、(A/(A+B)/2)が0.6から1.6の範囲にあるとき、インダクタンスの変化を10%の低下までに抑えることができる。
次に、インダクタ部品1の製造方法について説明する。
図5は、インダクタ部品の断面図である。第2実施形態は、第1実施形態とは、第2磁性層の構成が相違する。この相違する構成を以下に説明する。なお、第2実施形態において、第1実施形態と同一の符号は、第1実施形態と同じ構成であるため、その説明を省略する。
(構成)
図7Aは、インダクタ部品の第3実施形態を示す透視平面図である。図7Bは、図7AのX−X断面図である。第3実施形態は、第1実施形態とは、スパイラル配線の構成が相違する。この相違する構成を以下に説明する。なお、第3実施形態において、第1実施形態と同一の符号は、第1実施形態と同じ構成であるため、その説明を省略する。
これに対して、従来のインダクタ部品は、非磁性のプリント基板を有しており、このプリント基板の厚みは、60μmと厚いために、チップ厚が薄くなるにつれて、チップ全体の非磁性領域が占める割合が増加してくる。この結果、チップ厚が薄くなるほど、インダクタンスの取得効率の低下が大きくなる。 また、パワーインダクタの重要な特性指標として、直流抵抗Rdcがあるが、直流抵抗Rdcを維持したまま、チップ厚を薄くしようとすると、スパイラル配線の厚みを維持しつつ、チップ厚を薄くする必要があるため、その結果、磁性層の厚みが薄くなり、インダクタンスの取得効率の低下や磁束漏れが発生する可能性がある。例えば、ランドパターン側に磁束がもれると、ランドパターンの導体内で渦電流が発生し、発生した渦電流により、磁束を打ち消す方向に新たな磁束が生成される。その結果、インダクタンスが低下することになる。また、漏れ磁束による磁気ノイズの伝播により周りの電子部品へ影響を及ぼすことが懸念される。
次に、インダクタ部品1Bの製造方法について説明する。
10 磁性層
11 第1磁性層
12,12A 第2磁性層
13 内磁路部
14 外磁路部
15 絶縁層
16 樹脂層(磁性粉の量の少ない領域)
21 第1スパイラル配線
22 第2スパイラル配線
25 ビア導体
31 第1柱状配線
32 第2柱状配線
33 第3柱状配線
41 第1外部端子
42 第2外部端子
43 第3外部端子
50 被覆膜
51 第1垂直配線
52 第2垂直配線
53 第3垂直配線
Claims (16)
- 平面上に巻回されたスパイラル配線と、
前記スパイラル配線が巻回された平面に対する法線方向の両側から前記スパイラル配線を挟む位置にある第1磁性層および第2磁性層と、
前記スパイラル配線から前記法線方向に延在し、前記第1磁性層および前記第2磁性層の内の少なくとも前記第1磁性層の内部を貫通する垂直配線と、
前記第1磁性層および前記第2磁性層の内の少なくとも前記第1磁性層の表面に設けられ、前記垂直配線の端面を覆う外部端子と
を備え、
前記法線方向からみた前記外部端子の面積に関して、前記第1磁性層は、前記第2磁性層よりも大きく、
前記第1磁性層の厚みをAとし、前記第2磁性層の厚みをBとしたとき、A/((A+B)/2)が0.6以上でかつ1.6以下となる、インダクタ部品。 - 前記第1磁性層の厚みは、前記第2磁性層の厚みよりも厚い、請求項1に記載のインダクタ部品。
- 前記第1磁性層の厚みと前記第2磁性層の厚みは、それぞれ、10μm以上である、請求項1または2に記載のインダクタ部品。
- 前記スパイラル配線は、銅または銅化合物からなる導体である、請求項1から3の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記スパイラル配線は、無機フィラーおよび有機樹脂からなる絶縁樹脂に覆われている、請求項1から4の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記インダクタ部品の厚みは、0.35mm以下である、請求項1から5の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記スパイラル配線の厚みは、(A+B)/2より厚く、かつ、2(A+B)より薄い、請求項1から6の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記インダクタ部品の厚みは、0.2mm以下である、請求項7に記載のインダクタ部品。
- 前記第2磁性層の透磁率は、前記第1磁性層の透磁率よりも高い、請求項1から8の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記垂直配線は、前記第2磁性層の内部には存在しない、請求項9に記載のインダクタ部品。
- 前記第1磁性層は、FeSi系もしくはFeCo系もしくはFeAl系合金もしくはそれらのアモルファス合金からなる無機フィラーと、エポキシもしくはポリイミドもしくはフェノール系の有機樹脂とのコンポジット材料であり、
前記無機フィラーの含有率は、前記有機樹脂に対して50vol%以上あり、前記無機フィラーは、略球形である、請求項10に記載のインダクタ部品。 - 前記第1磁性層と前記第2磁性層との間の少なくとも一部において、前記第1磁性層および前記第2磁性層と比較して磁性粉の量が少ない領域が存在する、請求項9から11の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記領域の厚みが0.5μm以上30μm以下である、請求項12に記載のインダクタ部品。
- 前記スパイラル配線は、複数あり、
前記複数個のスパイラル配線間において、前記スパイラル配線同士を直列に接続するビア導体をさらに備え、
前記ビア導体を含む前記ビア導体と同一層は、導体、無機フィラーおよび有機樹脂のみを含む、請求項1に記載のインダクタ部品。 - 前記ビア導体と同一層の厚みは、1μm以上でかつ20μm以下である、請求項14に記載のインダクタ部品。
- 前記無機フィラーは、FeSi系合金、FeCo合金、FeAl合金、それらのアモルファス合金およびSiO2のうちの少なくとも一つからなり、前記無機フィラーの平均粒径は、5μm以下である、請求項14または15に記載のインダクタ部品。
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