JP2019046833A5 - - Google Patents
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 37
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 37
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 27
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 24
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017164762A JP6841188B2 (ja) | 2017-08-29 | 2017-08-29 | 塗布処理装置及び塗布液捕集部材 |
| TW107129045A TWI791039B (zh) | 2017-08-29 | 2018-08-21 | 塗布處理裝置及塗布液捕集構件 |
| KR1020180098351A KR102195652B1 (ko) | 2017-08-29 | 2018-08-23 | 도포 처리 장치 및 도포액 포집 부재 |
| US16/111,510 US10699919B2 (en) | 2017-08-29 | 2018-08-24 | Coating processing apparatus and coating liquid collecting member |
| CN201821405221.7U CN209020671U (zh) | 2017-08-29 | 2018-08-29 | 涂敷处理装置和涂敷液捕集构件 |
| CN201810998096.3A CN109420590B (zh) | 2017-08-29 | 2018-08-29 | 涂敷处理装置和涂敷液捕集构件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017164762A JP6841188B2 (ja) | 2017-08-29 | 2017-08-29 | 塗布処理装置及び塗布液捕集部材 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019046833A JP2019046833A (ja) | 2019-03-22 |
| JP2019046833A5 true JP2019046833A5 (enExample) | 2020-09-24 |
| JP6841188B2 JP6841188B2 (ja) | 2021-03-10 |
Family
ID=65437752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017164762A Active JP6841188B2 (ja) | 2017-08-29 | 2017-08-29 | 塗布処理装置及び塗布液捕集部材 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10699919B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6841188B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102195652B1 (enExample) |
| CN (2) | CN109420590B (enExample) |
| TW (1) | TWI791039B (enExample) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7462503B2 (ja) | 2019-08-30 | 2024-04-05 | 株式会社Screenホールディングス | 塗布装置 |
| JP7426808B2 (ja) * | 2019-11-27 | 2024-02-02 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
| JP7339150B2 (ja) * | 2019-12-20 | 2023-09-05 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法 |
| JP7525363B2 (ja) | 2020-10-08 | 2024-07-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置及び洗浄方法 |
| JP7546461B2 (ja) * | 2020-12-01 | 2024-09-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理方法及び液処理装置 |
| CN113058791B (zh) * | 2021-04-06 | 2022-04-19 | 黄河科技学院 | 一种汽车喷漆装置 |
| CN116072565B (zh) * | 2021-10-29 | 2025-09-23 | 弘塑科技股份有限公司 | 单晶圆湿处理设备 |
| CN115871089B (zh) * | 2022-12-07 | 2024-07-23 | 江西唯美陶瓷有限公司 | 一种静电喷涂设备及静电喷涂方法 |
| CN115662937B (zh) * | 2022-12-29 | 2023-03-17 | 四川晶辉半导体有限公司 | 一种芯片安装设备 |
| KR102819948B1 (ko) * | 2023-06-15 | 2025-06-13 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5705223A (en) * | 1994-07-26 | 1998-01-06 | International Business Machine Corp. | Method and apparatus for coating a semiconductor wafer |
| JPH10296162A (ja) * | 1997-04-24 | 1998-11-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 回転式基板処理装置および回転式基板処理装置用カップ |
| JP2001176767A (ja) * | 1999-12-08 | 2001-06-29 | Lsi Logic Corp | フォトレジスト塗布装置 |
| JP3616748B2 (ja) * | 2000-11-07 | 2005-02-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像処理方法,現像処理装置及び処理装置 |
| JP2004050054A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置の洗浄方法および基板処理装置 |
| JP2006086204A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置 |
| US20110117283A1 (en) * | 2009-11-13 | 2011-05-19 | Hsueh Chia-Hao | Spray coating system |
| JP3175893U (ja) * | 2012-03-15 | 2012-06-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置 |
| JP6045357B2 (ja) | 2013-01-16 | 2016-12-14 | キヤノン株式会社 | 薬液層の形成方法 |
| JP6119293B2 (ja) * | 2013-02-18 | 2017-04-26 | 株式会社リコー | 回転塗布装置および回転塗布装置の洗浄方法 |
| JP6020271B2 (ja) * | 2013-03-18 | 2016-11-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置 |
| JP6234736B2 (ja) * | 2013-08-30 | 2017-11-22 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | スピン処理装置 |
| JP6482348B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2019-03-13 | 株式会社テックインテック | 回転式塗布装置 |
-
2017
- 2017-08-29 JP JP2017164762A patent/JP6841188B2/ja active Active
-
2018
- 2018-08-21 TW TW107129045A patent/TWI791039B/zh active
- 2018-08-23 KR KR1020180098351A patent/KR102195652B1/ko active Active
- 2018-08-24 US US16/111,510 patent/US10699919B2/en active Active
- 2018-08-29 CN CN201810998096.3A patent/CN109420590B/zh active Active
- 2018-08-29 CN CN201821405221.7U patent/CN209020671U/zh active Active
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