JP2018509780A - インテリジェントパワーモジュール及びその製造方法 - Google Patents
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- H01L23/433—Auxiliary members in containers characterised by their shape, e.g. pistons
- H01L23/4334—Auxiliary members in encapsulations
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- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49517—Additional leads
- H01L23/49531—Additional leads the additional leads being a wiring board
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- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49838—Geometry or layout
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- H01L23/538—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
- H01L23/5386—Geometry or layout of the interconnection structure
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- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
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- H01L24/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
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- H01L24/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L24/80 - H01L24/90
- H01L24/92—Specific sequence of method steps
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- H01L24/98—Methods for disconnecting semiconductor or solid-state bodies
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- H01L25/16—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
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- H01L25/50—Multistep manufacturing processes of assemblies consisting of devices, each device being of a type provided for in group H01L27/00 or H01L29/00
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0201—Thermal arrangements, e.g. for cooling, heating or preventing overheating
- H05K1/0203—Cooling of mounted components
- H05K1/0204—Cooling of mounted components using means for thermal conduction connection in the thickness direction of the substrate
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/11—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K1/111—Pads for surface mounting, e.g. lay-out
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
- H05K1/181—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/28—Applying non-metallic protective coatings
- H05K3/284—Applying non-metallic protective coatings for encapsulating mounted components
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3494—Heating methods for reflowing of solder
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/2089—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating for power electronics, e.g. for inverters for controlling motor
- H05K7/209—Heat transfer by conduction from internal heat source to heat radiating structure
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/291—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29199—Material of the matrix
- H01L2224/2929—Material of the matrix with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29199—Material of the matrix
- H01L2224/29294—Material of the matrix with a principal constituent of the material being a liquid not provided for in groups H01L2224/292 - H01L2224/29291
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29299—Base material
- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29299—Base material
- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/29338—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/29339—Silver [Ag] as principal constituent
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32135—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/32145—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/33—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of a plurality of layer connectors
- H01L2224/331—Disposition
- H01L2224/3318—Disposition being disposed on at least two different sides of the body, e.g. dual array
- H01L2224/33181—On opposite sides of the body
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/4501—Shape
- H01L2224/45012—Cross-sectional shape
- H01L2224/45015—Cross-sectional shape being circular
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45117—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
- H01L2224/45124—Aluminium (Al) as principal constituent
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
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- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45147—Copper (Cu) as principal constituent
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- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
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- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
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- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/83053—Bonding environment
- H01L2224/83054—Composition of the atmosphere
- H01L2224/83075—Composition of the atmosphere being inert
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- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83192—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
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- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
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- H01L2224/838—Bonding techniques
- H01L2224/83801—Soldering or alloying
- H01L2224/83805—Soldering or alloying involving forming a eutectic alloy at the bonding interface
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- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/838—Bonding techniques
- H01L2224/83801—Soldering or alloying
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- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/858—Bonding techniques
- H01L2224/85801—Soldering or alloying
- H01L2224/85815—Reflow soldering
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- H01L2224/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
- H01L2224/92—Specific sequence of method steps
- H01L2224/922—Connecting different surfaces of the semiconductor or solid-state body with connectors of different types
- H01L2224/9222—Sequential connecting processes
- H01L2224/92242—Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
- H01L2224/92247—Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector the second connecting process involving a wire connector
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- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49811—Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/10—Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L24/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L24/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
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- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L24/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
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- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L24/33—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of a plurality of layer connectors
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- H01L24/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
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- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1305—Bipolar Junction Transistor [BJT]
- H01L2924/13055—Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
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- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
- H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
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- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
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- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
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- H01L2924/19105—Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
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- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19107—Disposition of discrete passive components off-chip wires
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M7/00—Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
- H02M7/42—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal
- H02M7/44—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters
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Abstract
Description
前記第1低電圧駆動集積チューブは、入力端と、出力端と、電源端と接地端とを含む。
前記第1低電圧駆動集積チューブの入力端は、前記力率補正回路の入力端となる。前記第1低電圧駆動集積チューブの電源端は前記力率補正回路の電源端となり、前記第1低電圧駆動集積チューブの接地端は前記力率補正回路の接地端となる。
前記第1低電圧駆動集積チューブの入力端は前記高速IGBTチューブのゲートに接続され、前記高速IGBTチューブのエミッタは前記ローパワーFRDチューブの陽極に接続され、前記高速IGBTチューブのコレクターは前記ローパワーFRDチューブの陰極と、前記ハイパワーFRDチューブの陽極とに接続されている。
S10: ヒートシンクを作製し、前記ヒートシンクの下面に放熱ひだを形成し、前記ヒートシンクの上面を絶縁層で覆う。
S20: 前記絶縁層の表面に回路配線を設ける。
S30: 前記回路配線の相応の位置に回路素子とピンとを配設する。
S40: 前記金属線によって前記回路配線と回路素子とを接続する。
S50: 前記絶縁層の表面に封止層を被覆して、前記回路配線と、回路素子と金属線を覆う。
S60: 前記ヒートシンクの下面に防水処理層を設ける。
S70: 前記インテリジェントパワーモジュールに対してモジュール機能検査を行い、前記モジュール機能検査は絶縁耐圧と、静的電力消費と遅延時間検査とを含む。
S11: 設定された回路レイアウトに基づいて所定のサイズの湿式炭素複合材を選択して紙質のヒートシンクを形成する。
S12: 前記回路配線の間の指定された位置に貫通孔を形成し、前記貫通孔は前記絶縁層及び前記ヒートシンクを貫通する。
S13: ヒートシンクの正面に、絶縁材料と銅材を利用して熱圧着方法によって、絶縁材料を前記ヒートシンクの表面に前記絶縁層として形成し、銅材を前記絶縁層の表面に銅箔層として形成する。
S14: 前記銅箔層の特定位置を腐食させ、残った部分が回路配線及び溶接パッドを形成する。
S15: 湿式炭素複合材を利用してひだを形成し、耐高温接着剤によって前記ヒートシンクの裏面に接着する。
S51: 前記絶縁層の表面の周囲に熱硬化性樹脂フレームを設ける。
S52: 前記熱硬化性樹脂フレームの範囲内及び前記貫通孔内に熱可塑性樹脂を注ぎ込んで前記回路配線と、回路素子と金属線とを封止する。
S53: 前記ピンのトリミング成形を行うとともに、封止樹脂によって前記ヒートシンクの裏面のひだで覆っていない位置を封止する。
S31: 銅基材を選択し、銅基材に対してプレスまたはエッチングの方法で、一列のピンを作製し、ピンの間を補強リブによって接続する。
S32: 前記ピンの表面に順番にニッケル層とニッケル - スズ合金層を形成し、メッキ層付きのピンを取得する。
ステップS40において、以下のようなサブステップを更に含む。
S41: リフロー溶接によって前記回路素子を前記回路配線に溶接する。
S42: 前記絶縁層に残ったフラックスを除去する。
S43: 前記金属線によって前記回路配線と回路素子とを接続する。
S’10: 設定された回路レイアウトに基づいて所定のサイズの湿式炭素複合材を選択して紙質のヒートシンクを形成する。
S’20: ヒートシンクの正面において、絶縁材料と銅材を利用し、熱圧着の方法により、絶縁材料を前記ヒートシンクの表面に前記絶縁層として形成し、銅材を前記絶縁層の表面に銅箔層として形成する。
S’30: 前記銅箔層の特定位置を腐食させ、残った部分が回路配線及び溶接パッドを形成する。
S’40: 前記ヒートシンクの裏面に仕切り部を形成し、予め作製された放熱ひだを前記ヒートシンクの裏面の前記パワー素子に対応する位置に固定するステップはS’41を含み、前記S’41は、切断、引き裂き、腐食などの方法によって、前記紙質のヒートシンクの裏面の特定位置の材料を除去し、仕切り部を形成するステップである。
S’50: 湿式炭素複合材を利用してひだを形成し、耐高温接着剤によって前記ヒートシンクの裏面のパワー素子に対応する位置に接着する。
T10: 前記ヒートシンクとピンとを製造し、ヒートシンクの上面を平面に形成する。
T20: ヒートシンクの上面に絶縁層を設け、絶縁層の上面に回路配線を形成する。
T30: 回路配線にそれぞれ回路素子と外部に接続されるピンとを設け、ヒートシンクの下面に放熱領域を設け、放熱領域に放熱ひだを設ける。
T40: 金属線によって回路素子と回路配線とを接続する。
T50: 前記ヒートシンクを焼成し封止樹脂をモールドし、ピンを成型して、インテリジェントパワーモジュールを取得する。
P10: ヒートシンクとピンとを製造し、前記ヒートシンクの上面を平面に形成し、前記ヒートシンクの下面に放熱ひだを設ける。
P20: 前記ヒートシンクの上面に絶縁層を設け、前記絶縁層の上面に回路配線を設ける。
P30: 前記回路配線にそれぞれ回路素子と外部に接続される前記ピンとを設ける。
P40: 金属線によって前記回路素子と前記回路配線とを接続する。
P50: 前記ヒートシンクを焼成し封止樹脂をモールドし、前記ピンを成型して、インテリジェントパワーモジュールを取得する。
前記ステップP50において、無酸素環境で前記ヒートシンクを焼成し、焼成時間は2時間より長く、焼成温度は110℃〜140℃である。
Q10: ヒートシンクを形成する。
Q20: 前記ヒートシンクをパワーモジュール基材とし、前記パワーモジュール基材の一方に絶縁層を形成する。
Q30: 前記絶縁層の前記ヒートシンクと接触しない側に溶接エリアとピンとを形成する。
Q40: 前記溶接エリアのパワー溶接エリアに少なくとも一つのパワーデバイスを取り付ける。
Q50: 封止層を形成して前記インテリジェントパワーモジュールの作製を完成する。
ステップQ10は、ステップQ11を含み、前記ステップQ11では、湿式炭素複合層を利用してヒートシンクを形成する。
ステップQ30は、ステップQ31を含み、前記ステップQ31では、前記ヒートシンクの前記絶縁層と接触しない側に放熱ひだを形成し、前記放熱ひだは前記少なくとも一つのパワーデバイスが位置する領域に対応する。
ステップQ40は、以下のようなステップを含む。
Q41: 前記パワー溶接エリアに第1ソルダペースト層を塗布する。
Q42: 前記パワー溶接エリアに前記少なくとも一つのパワーデバイスを取り付けた後、前記第1ソルダペースト層に対してリフロー溶接処理を行って前記第1ソルダペースト層を硬化させる。
Q43: 前記非パワー溶接エリアに第2ソルダペースト層を塗布する。
Q44: 前記非パワー溶接エリアに前記少なくとも一つの非パワーデバイスを取り付けた後、前記ソルダペースト層に対してリフロー溶接処理を行い、前記第2ソルダペースト層を硬化させる。
Q45: 前記ヒートシンクに対して洗浄処理を行い、ここで洗浄処理は、スプレー処理及び/又は超音波洗浄処理を含む。
Q’31: 前記絶縁層の前記放熱層と接触しない側に金属シード層を形成し、ここで、前記金属シード層の厚さは0.01〜0.1ミクロンメートルである。
Q’32: 前記シード層に対して電気メッキ処理を行って回路配線を形成し、ここで、前記回路配線の厚さは1〜5ミクロンメートルである。
Q’33: 前記回路配線に対してエッチング処理を行って、前記溶接エリアと前記ピンと溶接パッドとを形成する。
Q’34: 前記溶接エリアと、前記ピンと前記溶接パッドの間に金属線を接続する。
1、本発明のインテリジェントパワーモジュール10の裏面に放熱ひだ17Aを備え、放熱面積をかなり増加し、絶縁層307に高熱伝導材料を利用することなくパワー素子19の放熱要求を満足することができる。
2、インテリジェントパワーモジュール10はブリッジ整流器と、コンプレッサーのインバータ機能を備え、又はブリッジ整流器と、コンプレッサーのインバータと、ファンのインバータ機能とを備え、インバータエアコン等の応用分野における全ての発熱回路を集中して同時に放熱する。
3、放熱ひだ17Aはパワー素子19の下方に位置し、発熱素子のほとんどの熱量は迅速に放出して非パワー素子14aに伝導せず、非パワー素子14aを常に低温環境で作動させ、非パワー素子14aの温度ドリフトをかなり減少させ、インテリジェントパワーモジュール10の電気性能及び熱安定性を向上させる。前記紙質のヒートシンク306の裏面のひだ17Aが配置された部分以外も封止され、本発明のインテリジェントパワーモジュール10の水密性と気密性が高められ、複雑な応用環境の長時間信頼性を向上させる。
4、放熱ひだ17Aがインテリジェントパワーモジュール10の裏面全体を一体に覆う場合、取り付けやすくて、構造が簡易になり、且つ放熱面積を大量に増加することができ、発熱素子の熱量は迅速に失い、インテリジェントパワーモジュール10の裏面が完全に露出するから、インテリジェントパワーモジュール10の放熱性を高める。
5、ブリッジ整流器、コンプレッサーのインバータの駆動部分、力率補正の駆動部分、ファンのインバータの駆動部分は他の制御部分(非パワー素子14a等)との間を貫通孔22aによって隔離され、各発熱部分の熱干渉を低くさせるだけでなく、大部分の熱量はひだ17Aによって失い、更に、制御部分の温度を低い状態に保ち、制御部分の温度ドリフトによるインテリジェントパワーモジュール10の性能低下を防止する。
6、放熱構造は紙質材料であり、軽量であり、インテリジェントパワーモジュール10の総重量を低減させ、長距離の輸送及び取り付け作業を便利にする。本発明インテリジェントパワーモジュール10自体がヒートシンク306を備えるから、応用過程において、外部にさらにヒートシンク306を接続する必要がなく、応用難度と応用コストを低減させ、組立品質を向上させる。
S10において、ヒートシンクとしての紙質のヒートシンクを作製し、前記ヒートシンクの下面に放熱ひだを形成し、前記ヒートシンクの上面を絶縁層で覆う。
S20において、前記絶縁層の表面に回路配線を設ける。
S30において、前記回路配線の相応の位置に回路素子とピンとを配設する。
S40において、前記金属線によって前記回路配線と回路素子とを接続する。
S50において、前記絶縁層の表面に封止層を被覆して、前記回路配線と、回路素子と金属線を覆う。
S60において、前記ヒートシンクの下面に防水処理層を設ける。
S70において、前記インテリジェントパワーモジュールに対してモジュール機能検査を行い、前記モジュール機能検査は絶縁耐圧と、静的電力消費と遅延時間検査とを含む。
S11において、設定された回路レイアウトに基づいて所定のサイズの湿式炭素複合材を選択して紙質のヒートシンクを形成する。
S12において、前記回路配線の間の指定された位置に貫通孔を形成し、前記貫通孔は前記絶縁層及び前記ヒートシンクを貫通する。
S13において、ヒートシンクの正面に、絶縁材料と銅材を利用して、熱圧着方法によって、絶縁材料を前記ヒートシンクの表面に前記絶縁層として形成し、銅材を前記絶縁層の表面に銅箔層として形成する。
S14において、前記銅箔層の特定の位置を腐食させ、残った部分が回路配線及び溶接パッドを形成する。
S15において、湿式炭素複合材を利用してひだを形成し、耐高温接着剤によって前記ヒートシンクの裏面に接着する。
S51において、前記絶縁層の表面の周囲に熱硬化性樹脂フレームを設ける。
S52において、前記熱硬化性樹脂フレームの範囲内及び前記貫通孔内に熱可塑性樹脂を注ぎ込んで前記回路配線と、回路素子と金属線とを封止する。
S53において、前記ピンのトリミング成形を行い、封止樹脂によって前記ヒートシンクの裏面のひだで覆っていない位置を封止する。
S31において、銅基材を選択し、銅基材に対してプレスまたはエッチングの方法で、一列のピンを作製し、ピンの間は補強リブによって接続される。
S32において、前記ピンの表面に順番にニッケル層とニッケル - スズ合金層を形成し、メッキ層付きのピンを取得する。
ステップS40において、以下のようなサブステップS41〜S43を更に含む。
S41において、リフロー溶接によって前記回路素子を前記回路配線に溶接する。
S42において、前記絶縁層に残ったフラックスを除去する。
S43において、インテリジェントパワーモジュールの製造方法によると、紙質のヒートシンクに回路配線を形成して順番に加工を完成し、軽量のヒートシンクは、加工する際に利用されるキャリアに対する要求が低く、位置決めしやすく、製造コストが下げられ、プロセス合格率を高める。パワー素子を内部ヒートシンクに貼り付ける工程を省き、設備投資費用を削減する。
S’10において、設定された回路レイアウトに基づいて所定のサイズの湿式炭素複合材を選択して紙質のヒートシンクを形成する。
S’20において、ヒートシンクの正面において、絶縁材料と銅材を利用し、熱圧着の方法により、絶縁材料を前記ヒートシンクの表面に前記絶縁層として形成し、銅材を前記絶縁層の表面に銅箔層として形成する。
S’30において、前記銅箔層の特定の位置を腐食させ、残った部分が回路配線及び溶接パッドを形成する。
S’40において、前記ヒートシンクの裏面に仕切り部を形成し、予め作製された放熱ひだを前記ヒートシンクの裏面の前記パワー素子に対応する位置に固定させるステップはS’41を含み、前記S’41は、切断、引き裂き、腐食などの方法によって、前記紙質のヒートシンクの裏面の特定の位置の材料を除去し、仕切り部を形成するステップである。
S’50において、湿式炭素複合材を利用してひだを形成し、耐高温接着剤によって前記ヒートシンクの裏面のパワー素子に対応する位置に接着する。
次に、酸性硫酸塩プロセスにより、室温で形状とニッケル層とが形成された銅材をスズ陽イオンが存在するめっき液に浸して通電し、ニッケル層の表面にニッケル - スズ合金層を形成する。一般的に、合金層は5μmになるよう制御する。合金層の形成は保護性と溶接性を大幅に向上させる。
T10において、前記ヒートシンクとピンとを製造し、ヒートシンクの上面を平面に形成する。
T20において、ヒートシンクの上面に絶縁層を設け、絶縁層の上面に回路配線を形成する。
T30において、回路配線にそれぞれ回路素子と外部に接続されるピンとを設け、ヒートシンクの下面におけるパワー素子に対応する位置に放熱領域を設け、放熱領域に放熱ひだを設ける。
T40において、金属線によってパワー素子と、非パワー素子と回路配線とを接続する。
T50において、前記ヒートシンクを焼成し封止樹脂をモールドし、ピンを成型して、インテリジェントパワーモジュールを取得する。
一、ヒートシンクと放熱ひだとを製造する。
この工程は独立したメッキ層付きのピン301を作製する工程である。
具体的には、この工程は回路配線308の表面にパワー素子19と、非パワー素子14aとを取り付け、溶接パッド18Aの表面にピン301を取り付ける工程である。
この工程は紙質のヒートシンク306を洗浄する工程である。
図2(b)及び図32(b)を参照すると、この工程はパワー素子19と、非パワー素子14aと、ヒートシンク13と回路配線308との間を接続する工程である。
この工程は封止樹脂12によって紙質のヒートシンク306を封止する工程である。図33は、金型50を利用して封止樹脂12によって紙質のヒートシンク306を封止する工程の断面図である。
図34に示すように、この工程はピン301のトリミング成形を行い且つモジュール機能検査を行う工程であり、インテリジェントパワーモジュール10はこの工程を経て製品として完成する。
P10において、ヒートシンクとピンとを製造し、ヒートシンクの上面を平面に形成し、ヒートシンクの下面に放熱ひだを設ける。
P20において、ヒートシンクの上面に絶縁層を設け、絶縁層の上面に回路配線を設ける。
P30において、回路配線に回路素子と外部に接続されるピンとを設ける。
P40において、金属線によって回路素子と回路配線を接続する。
P50において、前記ヒートシンクを焼成して封止樹脂をモールドし、ピンを成型して、インテリジェントパワーモジュールを取得する。
本発明の一部の実施例によるインテリジェントパワーモジュールの製造方法は、以下のようなステップQ10〜Q50を含む。
Q10において、ヒートシンクを形成する。
Q20において、前記ヒートシンクをパワーモジュール基材とし、前記パワーモジュール基材の一方に絶縁層を形成する。
Q30において、前記絶縁層の前記ヒートシンクと接触しない側に溶接エリアとピンとを形成する。
Q40において、前記溶接エリアのパワー溶接エリアに少なくとも一つのパワーデバイスを取り付ける。
Q50において、封止層を形成して前記インテリジェントパワーモジュールの作製を完成させる。
前記溶接エリアは非パワー溶接エリアを更に含み、前記非パワー溶接エリアに少なくとも一つの非パワーデバイスを取り付ける。
ステップQ10は、湿式炭素複合層を利用してヒートシンクを形成するステップQ11を含む。
ステップQ30は、前記ヒートシンクの前記絶縁層に接触しない側に放熱ひだを形成するステップQ31を含み、前記放熱ひだは前記少なくとも一つのパワーデバイスが位置する領域に対応する。
Q41において、前記パワー溶接エリアに第1ソルダペースト層を塗布する。
Q42において、前記パワー溶接エリアに前記少なくとも一つのパワーデバイスを取り付けた後、前記第1ソルダペースト層に対してリフロー溶接処理を行って、前記第1ソルダペースト層を硬化させる。
Q43において、前記非パワー溶接エリアに第2ソルダペースト層を塗布する。
Q44において、前記非パワー溶接エリアに前記少なくとも一つの非パワーデバイスを取り付けた後、前記ソルダペースト層に対してリフロー溶接処理を行い、前記第2ソルダペースト層を硬化させる。
Q45において、前記ヒートシンクに対して洗浄処理を行い、ここで洗浄処理は、シャワー処理及び/又は超音波洗浄処理を含む。
Q’31において、前記絶縁層の前記放熱層と接触しない側に金属シード層を形成し、ここで、前記金属シード層の厚さは0.01〜0.1ミクロンメートルである。
Q’32において、前記シード層に対して電気メッキ処理を行い、回路配線を形成し、ここで、前記回路配線の厚さは1〜5ミクロンメートルである。
Q’33において、前記回路配線にエッチング処理を行い前記溶接エリアと、前記ピンと溶接パッドとを形成する。
Q’34において、前記溶接エリアと、前記ピンと前記溶接パッドとの間に金属線を接続する。
(1)ヒートシンク306と放熱ひだ17Aとを形成するステップは、以下のステップを含む。
必要となる回路レイアウトに基づいて、適切な大きさを持つヒートシンク306を設計する。通常のインテリジェントパワーモジュールに対して、一枚の大きさは64mm×30mmを選択でき、厚さは1.5mmである。その後、許容温度が300℃以上の耐高温接着剤によって、上記64mm×30mm長方形の紙質放熱体の一面に厚さが0.5mmの同材料の長方形を配置する。
各ピン301は銅基材を利用し、プレス又はエッチングの方法によって、ピン301は12個の単独のピンユニットが補強リブによって接続されている。単独のピンユニットは長さCが25mm、幅Kが1.5mm、厚さHが1mmの長尺状である。取り付けしやすくするために、ピンユニットの一端に一定の弧度をプレスする。その後、化学めっきの方法によってニッケル層を形成する。ニッケル塩と次亜リン酸ナトリウムとの混合溶液によって、適切なキレート剤を添加し、特定の形状に形成された銅材の表面にニッケル層を形成する。金属ニッケルは強いパッシベーション効果を有するため、一層の極めて薄い不動態膜を迅速に生成することができ、大気、アルカリおよびある種の酸による腐食に抵抗することができる。ニッケルめっき結晶は極めて小さく、ニッケル層の厚さは、一般的に、0.1μmである。次に、酸性硫酸塩プロセスによって、室温で形状とニッケル層とが形成された銅材をスズ陽イオンを含むめっき液に浸して通電し、ニッケル層の表面にニッケル-スズ合金層を形成する。合金層は、一般的に、5μmになるように制御する。合金層の形成は保護性と溶接性とを大幅に向上させる。
まず、ソルダペースト印刷機によって、スチールメッシュを利用して、前記絶縁層307上の前記金属線305の特定の位置と前記溶接パッド18Aとにソルダペーストを塗布する。ここで、はんだ上がり高さを向上させるために、0.15mmの厚さのスチールメッシュを利用することができ、パワー素子19と非パワー素子14aがずれるリスクを減少させるために、0.12mmの厚さのスチールメッシュを利用することもできる。実施例において、利用された前記パワー素子19の高さは0.07mmであり、最も軽量のコンポーネントであるから、スチールメッシュの厚さが0.12mmのスチールメッシュを選択する。
まず、前記ヒートシンク306を洗浄機に入れて洗浄し、リフロー溶接する時に残ったロジン等のフラックス及びプレスする時に残ったアルミニウム線等の異物を洗浄する。洗浄は前記非パワー素子14aの前記金属線305における配列密度に応じて、シャワー又は超音波又は両者の組み合わせの形で行うことができる。
洗浄する時、メカニカルアームにより前記ピン301を挟み、前記ヒートシンク306を洗浄槽に置くが、メカニカルアームが前記ヒートシンク306に触れないように注意する必要がある。前記ヒートシンク306は脆性を有し変形しやすくて、メカニカルアームが前記ヒートシンク306を挟むと、洗浄する時に生じた震動により、ヒートシンク306が破損しやすいためである。
必要な通電能力に応じて、適切な直径のアルミニウム線をボンディングワイヤとして選択する。信号制御のための集積回路については、金線をボンディングワイヤとすることが考えられる。本実施例においては、全てアルミニウム線を選択し、一般的には、パワー素子19のボンディングには350μm〜400μmのアルミニウム線を利用し、前記非パワー素子14aのボンディングには38μm〜200μmのアルミニウム線を利用し、ヒートシンク306のボンディングには350μm〜400μmのアルミニウム線を利用する。
まず、無酸素環境で前記ヒートシンク306を焼成する。焼成時間は2時間より小さくてはいけなく、焼成温度は125℃にする。
前の工程、即ちトランスファ成形工程においてピン301以外の他の部分が樹脂封止層12aによって封止される。この工程は、使用する長さと形状との必要に応じて、例えば、点線51の位置で外部のピン301を切断する。後段の取り付けを便利にするように、一定の形状に折り曲げる場合もある。
前記FRDチューブ11〜16の陽極は導電性はんだ、例えば銀の接着剤、ソルダペースト等により、前記IGBTチューブ21〜26のエミッタにそれぞれ接続され、前記突起部310は導電性はんだ、例えば銀の接着剤、ソルダペースト等により、前記IGBTチューブ21〜26のコレクターにそれぞれ接続された回路配線308に接続されている。ここで、一般的に、FRDチューブの電流能力は、対応的なIGBTチューブの半分以下であり、よって、 FRDチューブの面積は、普通、IGBTチューブの面積よりかなり小さいから、FRDチューブの陽極はIGBTチューブのエミッタに完全に接触した後、IGBTチューブの陽極及びゲートは部分的に露出する。
1、インテリジェントパワーモジュールの低電圧領域駆動回路はLVICチューブにより実現され、高電圧区駆動回路はHVICチューブにより実現され、LVICチューブは低コストのBIPOLAR又はCOMS等の低圧プロセスにより実現され、HVICチューブならBCD又はSOI等の高電圧プロセスにより実現され、前者のプロセスコストは後者の1/3だけであり、インテリジェントパワーモジュールの製造コストを低減させる。
ステップS1において、紙質のヒートシンク306を形成し、前記ヒートシンク306の正面を絶縁層307で覆い、絶縁層307の表面に回路配線308を形成する。
具体的には、設定された回路レイアウトに基づいて所定のサイズの湿式炭素複合材料を選択して紙質のヒートシンク306を形成する。
ステップS3において、前記IGBTチューブ21〜26のエミッタ位置にそれぞれHVICチューブ41〜43と、LVIC44〜47チューブと、FRDチューブ11〜16とを取り付ける。
ステップS4において、金属線305によってIGBTチューブ21〜27と、FRDチューブ11〜18と、HVICチューブ41〜43と、LVICチューブ44〜47と前記回路配線308とを接続して対応する回路を形成する。
ステップS5において、封止樹脂302により前記ヒートシンク306の正面を封止する。
ステップS6において、前記ヒートシンク306の裏面をひだ320で覆う。
具体的には、湿式炭素複合材を利用してひだ320を形成し、耐高温接着剤によって前記ヒートシンク306の裏面に接着する。
ステップS7において、独立したメッキ付きピン301を作製する。
具体的には、まず、銅基材を選択し、銅基材についてプレスまたはエッチングの方法により、一列のピン301を作製し、ピン301の間は補強リブによって接続される。
ステップS8において、前記ピン301のトリミング成形を行い、モジュール機能検査を行う。
ニッケル塩と次亜リン酸ナトリウムとの混合溶液により、適切なキレート剤を添加し、既に特定の形状に形成された銅材の表面にニッケル層を形成し、金属ニッケルは強いパッシベーション効果を有するため、一層の極めて薄い不動態膜を迅速に生成することができ、大気、アルカリおよびある種の酸による腐食に抵抗することができる。ニッケルめっき結晶は極めて小さく、一般的に、ニッケル層の厚さは0.1μmである。
Q’31: 前記絶縁層の放熱層と接触しない側に金属シード層を形成し、ここで、前記金属シード層の厚さは0.01〜0.1ミクロンメートルである。
Q’32: 前記シード層に対して電気メッキ処理を行って回路配線を形成し、ここで、前記回路配線の厚さは1〜5ミクロンメートルである。
Q’33: 前記回路配線に対してエッチング処理を行って、前記溶接エリアと前記ピンと溶接パッドとを形成する。
Q’34: 前記溶接エリアと、前記ピンと前記溶接パッドの間に金属線を接続する。
S31において、銅基材を選択し、銅基材に対してプレスまたはエッチングの方法で、一列のピンを作製し、ピンの間は補強リブによって接続される。
S32において、前記ピンの表面に順番にニッケル層とニッケル- スズ合金層を形成し、メッキ層付きのピンを取得する。
ステップS40において、以下のようなサブステップS41〜S43を更に含む。
S41において、リフロー溶接によって前記回路素子を前記回路配線に溶接する。
S42において、前記絶縁層に残ったフラックスを除去する。
S43において、前記金属線によって前記回路配線と回路素子とを接続する。
図2(b)及び図32(b)を参照すると、この工程はパワー素子19と、非パワー素子14aと、ヒートシンク306と回路配線308との間を接続する工程である。
この工程は封止樹脂12aによって紙質のヒートシンク306を封止する工程である。図33は、金型50を利用して封止樹脂12aによって紙質のヒートシンク306を封止する工程の断面図である。
Q’31において、前記絶縁層の放熱層と接触しない側に金属シード層を形成し、ここで、前記金属シード層の厚さは0.01〜0.1ミクロンメートルである。
Q’32において、前記シード層に対して電気メッキ処理を行い、回路配線を形成し、ここで、前記回路配線の厚さは1〜5ミクロンメートルである。
Q’33において、前記回路配線にエッチング処理を行い前記溶接エリアと、前記ピンと溶接パッドとを形成する。
Q’34において、前記溶接エリアと、前記ピンと前記溶接パッドとの間に金属線を接続する。
1、インテリジェントパワーモジュールの低電圧領域駆動回路はLVICチューブにより実現され、高電圧区駆動回路はHVICチューブにより実現され、LVICチューブは低コストのBIPOLAR又はCMOS等の低圧プロセスにより実現され、HVICチューブならBCD又はSOI等の高電圧プロセスにより実現され、前者のプロセスコストはただ后者の1/3だけであり、インテリジェントパワーモジュールの製造コストを低減させる。
ステップS3において、前記IGBTチューブ21〜26のエミッタ位置にそれぞれHVICチューブ41〜43と、LVIC44〜46チューブと、FRDチューブ11〜16とを取り付ける。
ステップS4において、金属線305によってIGBTチューブ21〜27と、FRDチューブ11〜18と、HVICチューブ41〜43と、LVICチューブ44〜46と前記回路配線308とを接続して対応する回路を形成する。
ステップS5において、封止樹脂302により前記ヒートシンク306の正面を封止する。ステップS6において、前記ヒートシンク306の裏面をひだ320で覆う。具体的には、湿式炭素複合材を利用してひだ320を形成し、耐高温接着剤によって前記ヒートシンク306の裏面に接着する。
ニッケル塩と次亜リン酸ナトリウムとの混合溶液により、適切なキレート剤を添加し、既に特定の形状に形成された銅材の表面にニッケル層を形成し、金属ニッケルは強いパッシベーション効果を有するため、一層の極めて薄い不動態膜を迅速に生成することができ、大気、アルカリおよびある種の酸による腐食に抵抗することができる。ニッケルめっき結晶は極めて小さく、一般的に、ニッケル層の厚さは0.1μmである。
Claims (27)
- 下面の少なくとも一部が放熱領域であり、前記放熱領域に放熱ひだが設けられたヒートシンクと、
前記ヒートシンクの上面に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層に設けられた回路配線と、
前記回路配線上に設けられ、金属線によって前記回路配線に接続されている回路素子と、
を含む、
ことを特徴とするインテリジェントパワーモジュール。 - 前記ヒートシンクは、湿式炭素複合材を有する機能紙ヒートシンクであるか、又は、前記ヒートシンクは350℃以上の温度に耐える絶縁材料で作製した紙質のヒートシンクである、
ことを特徴とする請求項1に記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記放熱ひだは複数であり、
複数の前記放熱ひだは間隔で配置され、又は複数の前記放熱ひだが連続で配置される、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記放熱ひだの外周縁と前記ヒートシンクの下面の外周縁との間の間隔の距離は1mmより大きい、
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記放熱領域は下へ突き出してボスが形成され、前記放熱ひだは前記ボス上に設けられる、
ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記インテリジェントパワーモジュールは、前記インテリジェントパワーモジュールの周辺に嵌められたフレーム構造を更に含み、前記フレーム構造は、前記インテリジェントパワーモジュールの側面を取り囲む環状フレームと、前記環状フレームの底部から垂直に内側へ延伸して形成され且つ前記ヒートシンクノの底部と接触する延伸部とを含み、前記延伸部の厚さは1mm〜1.5mmである、
ことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記回路配線は離間された複数であり、
前記インテリジェントパワーモジュールは、複数のピンを更に含み、複数の前記ピンの一端が複数の前記回路配線にそれぞれ接続され、他端が外部に接続されている、
ことを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記絶縁層の少なくとも一方の縁部に複数の溶接パッドが設けられ、複数の前記ピンの他端が複数の前記溶接パッドにそれぞれ接続されている、
ことを特徴とする請求項7に記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記ヒートシンクの上下方向における厚さは1.2mm〜2.5mmであり、前記放熱ひだの上下方向に延伸するサイズは0.3mm〜0.7mmである、
ことを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記インテリジェントパワーモジュールは、封止樹脂を更に含み、前記封止樹脂は、前記回路配線と前記回路素子とを完全に封止し、前記封止樹脂は、前記ヒートシンクの上面と前記放熱領域以外の領域を覆う、
ことを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記回路素子は、パワー素子と非パワー素子とを含み、前記パワー素子と非パワー素子とがいずれも前記回路配線上に設けられ、前記パワー素子と非パワー素子とは、前記金属線により前記回路配線とそれぞれ電気的に接続され、前記パワー素子が前記放熱領域と対向し、前記パワー素子と前記非パワー素子との間に仕切り部が設けられ、前記仕切り部がヒートシンクの下面の相応の位置に設けられ、前記仕切り部の幅は1mm〜5mmである、
ことを特徴とする請求項1ないし10のいずれかに記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記パワーデバイスは、IGBTチューブと、前記IGBTチューブに接続されているFRDチューブとを含み、前記FRDチューブの底部に支持プレートが設けられ、前記FRDチューブは反転して前記IGBTチューブの所定位置に設けられ、且つ前記FRDチューブの頂部が前記IGBTチューブと接触し、前記支持プレートは前記回路配線によって前記IGBTチューブに接続されている、
ことを特徴とする請求項11に記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記支持プレートの前記FRDチューブが取り付けられた面に平坦部が設けられ、且つ前記支持プレートの前記FRDチューブが取付けられた面の前記平坦部から遠い方の縁部に、前記回路配線に接続するためのいくつかの突起部が設けられている、
ことを特徴とする請求項12に記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記パワーデバイスは6つであり、それぞれ3つの上部ブリッジアームパワーデバイスと3つの下部ブリッジアームパワーデバイスであり、
前記パワー素子は、前記3つの上部ブリッジアームパワーデバイスにそれぞれ対応して接続されるU相高電圧駆動集積チューブ、V相高電圧駆動集積チューブ、W相高電圧駆動集積チューブと、前記3つの下部ブリッジアームパワーデバイスにそれぞれ対応して接続されるU相低電圧駆動集積チューブ、V相低電圧駆動集積チューブ、W相低電圧駆動集積チューブとを含み、
前記インテリジェントパワーモジュールは、力率補正回路を更に含み、
前記力率補正回路は、ブリッジ整流器、コンプレッサーインバータ及び力率補正の機能を備えるか、又は、ブリッジ整流器、コンプレッサーインバータ、力率補正及びファンインバータの機能を備え、
前記力率補正回路は前記U、V、W 相高電圧駆動集積チューブ及び前記U、V、W三相低電圧駆動集積チューブにそれぞれ接続されている、
ことを特徴とする請求項12に記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記3つの上部ブリッジアームパワーデバイスは、それぞれ第1パワーデバイス、第2パワーデバイス、第3パワーデバイスであり、前記3つの下部ブリッジアームパワーデバイスはそれぞれ第4パワーデバイス、第5パワーデバイス、第6パワーデバイスであり、
前記第1パワーデバイスは、第1IGBTチューブと第1FRDチューブとを含み、前記第2パワーデバイスは第2IGBTチューブと第2FRDチューブとを含み、前記第3パワーデバイスは第3IGBTチューブと第3FRDチューブとを含み、前記第4パワーデバイスは第4IGBTチューブと第4FRDチューブとを含み、前記第5パワーデバイスは第5IGBTチューブと第5FRDチューブとを含み、前記第6パワーデバイスは第6IGBTチューブと第6FRDチューブとを含み、
前記U、V、W三相高電圧駆動集積チューブは、電源端と、入力端と、出力端と、高電圧電源のポジティブターミナルと、高電圧電源のネガティブターミナルと接地端とを含み、前記U、V、W三相低電圧駆動集積チューブは、電源端と、入力端と、出力端と接地端とを含み、
前記U、V、W三相高電圧駆動チューブの入力端は、それぞれ前記インテリジェントパワーモジュールのU、V、W三相上部ブリッジアーム入力端となり、前記U、V、W三相低電圧駆動チューブの入力端は、それぞれ前記インテリジェントパワーモジュールのU、V、W三相下部ブリッジアーム入力端となり、
前記U、V、W三相高電圧駆動チューブは、前記U、V、W三相低電圧駆動集積チューブの電源端に接続されて前記インテリジェントパワーモジュールの低電圧領域給電電源のポジティブターミナルとなり、前記U、V、W三相高電圧駆動チューブは前記U、V、W三相低電圧駆動集積チューブの接地端に接続されて前記インテリジェントパワーモジュールの低電圧領域給電電源のネガティブターミナルとなり、前記U、V、W三相高電圧駆動チューブの高電圧電源のポジティブターミナルはそれぞれ前記インテリジェントパワーモジュールのU、V、W三相高電圧領域給電電源のポジティブターミナルとなり、
前記U相高電圧駆動集積チューブの出力端は前記第1IGBTチューブのゲートに接続され、前記U相高電圧駆動集積チューブの高電圧電源のネガティブターミナルは、前記第1IGBTチューブのエミッタと、前記第1FRDチューブの陽極と、前記第4IGBTチューブのコレクターと、前記第4FRDチューブの陰極とに接続され、且つ前記インテリジェントパワーモジュールのU相高電圧領域給電電源のネガティブターミナルとなり、前記V相高電圧駆動集積チューブの出力端は、前記第2IGBTチューブのゲートに接続され、前記V相高電圧駆動集積チューブの高電圧電源のネガティブターミナルは前記第2IGBTチューブのエミッタと、前記第2FRDチューブの陽極と、前記第5IGBTチューブのコレクターと、前記第5FRDチューブの陰極とに接続され、且つ前記インテリジェントパワーモジュールのV相高電圧領域給電電源のネガティブターミナルとなり、前記W相高電圧駆動集積チューブの出力端は、前記第3IGBTチューブのゲートに接続され、前記W相高電圧駆動集積チューブの高電圧電源のネガティブターミナルは、前記第3IGBTチューブのエミッタと、前記第3FRDチューブの陽極と、前記第6IGBTチューブのコレクターと、前記第6FRDチューブの陰極とに接続され、且つ前記インテリジェントパワーモジュールのW相高電圧領域給電電源のネガティブターミナルとなり、
前記第1IGBTチューブのコレクターと、前記第1FRDチューブの陰極と、前記第2IGBTチューブのコレクターと、前記第2FRDチューブの陰極と、前記第3IGBTチューブのコレクターと、前記第3FRDチューブの陰極とが接続され、且つ前記インテリジェントパワーモジュールの高電圧入力端となり、
前記U相低電圧駆動集積チューブの出力端は第4IGBTチューブのゲートに接続され、前記第4IGBTチューブのエミッタは前記第4FRDチューブの陽極に接続され、且つ前記インテリジェントパワーモジュールのU相低電圧参照端となり、前記V相低電圧駆動集積チューブの出力端は第5IGBTチューブのゲートに接続され、前記第5IGBTチューブのエミッタは前記第5FRDチューブの陽極に接続され、且つ前記インテリジェントパワーモジュールのV相低電圧参照端となり、前記W相低電圧駆動集積チューブの出力端は第6IGBTチューブのゲートに接続され、前記第6IGBTチューブのエミッタは前記第6FRDチューブの陽極に接続され、且つ前記インテリジェントパワーモジュールのW相低電圧参照端となる、
ことを特徴とする請求項14に記載のインテリジェントパワーモジュール。 - 前記力率補正回路は、高速IGBTチューブ1つと、ハイパワーFRDチューブ1つと、ローパワーFRDチューブ1つと第1低電圧駆動集積チューブとを含み、
前記第1低電圧駆動集積チューブは、入力端と、出力端と、電源端と接地端とを含み、
前記第1低電圧駆動集積チューブの入力端は、前記力率補正回路の入力端となり、前記第1低電圧駆動集積チューブの電源端は前記力率補正回路の電源端となり、前記第1低電圧駆動集積チューブの接地端は前記力率補正回路の接地端となり、
前記第1低電圧駆動集積チューブの入力端は前記高速IGBTチューブのゲートに接続され、前記高速IGBTチューブのエミッタは前記ローパワーFRDチューブの陽極に接続され、前記高速IGBTチューブのコレクターは前記ローパワーFRDチューブの陰極と、前記ハイパワーFRDチューブの陽極とに接続される、
ことを特徴とする請求項15に記載のインテリジェントパワーモジュール。 - インテリジェントパワーモジュールの製造方法であって、
前記インテリジェントパワーモジュールは請求項1ないし16のいずれかに記載のインテリジェントパワーモジュールであり、
前記製造方法は、
ヒートシンクを作製し、前記ヒートシンクの下面に放熱ひだを形成し、前記ヒートシンクの上面を絶縁層で覆うステップS10と、
前記絶縁層の表面に回路配線を設けるステップS20と、
前記回路配線の相応の位置に回路素子とピンとを配設するステップS30と、
前記金属線によって前記回路配線と回路素子とを接続するステップS40と、
前記絶縁層の表面に封止層を被覆して、前記回路配線と、回路素子と金属線とを覆うステップS50と、
前記ヒートシンクの下面に防水処理層を設けるステップS60と、
前記インテリジェントパワーモジュールに対してモジュール機能検査を行い、前記モジュール機能検査は絶縁耐圧と、静的電力消費と遅延時間検査とを含むステップS70と、
を含む、
ことを特徴とするインテリジェントパワーモジュールの製造方法。 - ステップS10は、
設定された回路レイアウトに基づいて所定のサイズの湿式炭素複合材を選択して紙質のヒートシンクを形成するステップS11と、
前記回路配線の間の指定された位置に貫通穴を形成し、前記貫通穴は前記絶縁層及び前記ヒートシンクを貫通するステップS12と、
ヒートシンクの正面に、絶縁材料と銅材を利用して、熱圧着方式によって、絶縁材料を前記ヒートシンクの表面に前記絶縁層として形成し、銅材を前記絶縁層の表面に銅箔層として形成するステップS13と、
前記銅箔層の特定位置を腐食させ、残った部分が回路配線及び溶接パッドを形成するステップS14と、
湿式炭素複合材を利用してひだを形成し、耐高温接着剤によって前記ヒートシンクの裏面に接着するステップS15と、
のサブステップをさらに含む、
ことを特徴とする請求項17に記載のインテリジェントパワーモジュールの製造方法。 - ステップS50は、
前記絶縁層の表面の周囲に熱硬化性樹脂フレームを設けるステップS51と、
前記熱硬化性樹脂フレームの範囲内及び前記貫通穴内に熱可塑性樹脂を注ぎ込んで前記回路配線と、回路素子と金属線とを封止するステップS52と、
前記ピンのトリミング成形を行い、封止樹脂によって前記ヒートシンクの裏面のひだを覆っていない位置を封止するステップS53と、
のサブステップをさらに含む、
ことを特徴とする請求項18に記載のインテリジェントパワーモジュールの製造方法。 - ステップS30において、前記回路配線の相応の位置に回路素子を配設する前にピンを予め作製し、且つ、
銅基材を選択し、銅基材に対してプレスまたはエッチングの方式で、一列のピンを作製し、ピンの間を補強リブによって接続するステップS31と、
前記ピンの表面に順番にニッケル層とニッケル-スズ合金層を形成し、メッキ層付きのピンを取得するステップS32と、
のサブステップを含み、
ステップS40は、
リフロー溶接によって前記回路素子を前記回路配線に溶接するステップS41と、
前記絶縁層に残ったフラックスを除去するステップS42と、
前記金属線によって前記回路配線と回路素子とを接続するステップS43と、
のサブステップを更に含む、
ことを特徴とする請求項17に記載のインテリジェントパワーモジュールの製造方法。 - 前記ヒートシンクは、紙質のヒートシンクであり、前記ヒートシンクの正面を絶縁層で覆い絶縁層の表面に回路配線と溶接パッドとを形成するステップは、
設定された回路レイアウトに基づいて所定のサイズの湿式炭素複合材を選択して紙質のヒートシンクを形成するステップS’10と、
ヒートシンクの正面において、絶縁材料と銅材を利用して、熱圧着方式により、絶縁材料を前記ヒートシンクの表面に前記絶縁層として形成し、銅材を前記絶縁層の表面に銅箔層として形成するステップS’20と、
前記銅箔層の特定位置を腐食させ、残った部分が回路配線及び溶接パッドを形成するステップS’30と、
前記ヒートシンクの裏面に仕切り部を形成し、予め作製された放熱ひだを前記ヒートシンクの裏面の前記パワー素子に対応する位置に固定するステップはS’41を含み、前記S’41は、切断、引き裂き、腐食などの方式によって、前記紙質のヒートシンクの裏面の特定位置の材料を除去し、仕切り部を形成するステップであるステップS’40と、
湿式炭素複合材を利用してひだを形成し、耐高温接着剤によって前記ヒートシンクの裏面のパワー素子に対応する位置に接着するステップS’50と、
を含む、
ことを特徴とする請求項17に記載のインテリジェントパワーモジュールの製造方法。 - インテリジェントパワーモジュールの製造方法であって、
前記インテリジェントパワーモジュールは、請求項1ないし16のいずれかに記載のインテリジェントパワーモジュールであり、
前記製造方法は、
前記ヒートシンクとピンとを製造し、ヒートシンクの上面を平面に形成するステップT10と、
ヒートシンクの上面に絶縁層を設け、絶縁層の上面に回路配線を形成するステップT20と、
回路配線上に回路素子と外部に接続されるピンとをそれぞれ設け、ヒートシンクの下面に放熱領域を設け、放熱領域に放熱ひだを設けるステップT30と、
金属線によって回路素子と回路配線とを接続するステップT40と、
前記ヒートシンクを焼成し封止樹脂をモールドし、ピンを成型して、インテリジェントパワーモジュールを取得するステップT50と、
を含む、
ことを特徴とするインテリジェントパワーモジュールの製造方法。 - インテリジェントパワーモジュールの製造方法であって、
前記インテリジェントパワーモジュールは、請求項1ないし16のいずれかに記載のインテリジェントパワーモジュールであり、
前記製造方法は、
ヒートシンクとピンとを製造し、前記ヒートシンクの上面を平面に形成し、前記ヒートシンクの下面に放熱ひだを設けるステップP10と、
前記ヒートシンクの上面に絶縁層を設け、前記絶縁層の上面に回路配線を設けるステップP20と、
前記回路配線上に回路素子と外部に接続される前記ピンとをそれぞれ設けるステップP30と、
金属線によって前記回路素子と前記回路配線とを接続するステップP40と、
前記ヒートシンクを焼成し封止樹脂をモールドし、前記ピンを成型して、インテリジェントパワーモジュールを取得するステップP50と、を含む、
ことを特徴とするインテリジェントパワーモジュールの製造方法。 - 前記ステップP30は、前記ヒートシンクを洗浄するステップを更に含み、
前記ステップP50において、無酸素環境で前記ヒートシンクを焼成し、焼成時間は2時間より長く、焼成温度は110℃〜140℃である、
ことを特徴とする請求項23に記載のインテリジェントパワーモジュールの製造方法。 - ヒートシンクを形成するステップQ10と、
前記ヒートシンクをパワーモジュール基材とし、前記パワーモジュール基材の一方に絶縁層を形成するステップQ20と、
前記絶縁層の前記ヒートシンクと接触しない側に溶接エリアとピンとを形成するステップQ30と、
前記溶接エリアのパワー溶接エリアに少なくとも一つのパワーデバイスを取り付けるステップQ40と、
封止層を形成して前記インテリジェントパワーモジュールの作製を完成するステップQ50と、を含む、
ことを特徴とするインテリジェントパワーモジュールの製造方法。 - 前記溶接エリアは非パワー溶接エリアを更に含み、前記非パワー溶接エリアに少なくとも一つの非パワーデバイスを取り付け、
ステップQ10は、湿式炭素複合層を利用してヒートシンクを形成するステップQ11を含み、
ステップQ30は、前記ヒートシンクの前記絶縁層と接触しない側に放熱ひだを形成し、前記放熱ひだは前記少なくとも一つのパワーデバイスが位置する領域に対応するステップQ31を含み、
ステップQ40は、
前記パワー溶接エリアに第1ソルダペースト層を塗布するステップQ41と、
前記パワー溶接エリアに前記少なくとも一つのパワーデバイスを取り付けた後、前記第1ソルダペースト層に対してリフロー溶接処理を行って前記第1ソルダペースト層を硬化させるステップQ42と、
前記非パワー溶接エリアに第2ソルダペースト層を塗布するステップQ43と、
前記非パワー溶接エリアに前記少なくとも一つの非パワーデバイスを取り付けた後、前記ソルダペースト層に対してリフロー溶接処理を行って前記第2ソルダペースト層を硬化させるステップQ44と
前記ヒートシンクに対して洗浄処理を行い、ここで洗浄処理は、スプレー処理及び/又は超音波洗浄処理を含むステップQ45と、を含む、
ことを特徴とする請求項25に記載のインテリジェントパワーモジュールの製造方法。 - ステップQ30は、
前記絶縁層の前記放熱層と接触しない側に金属シード層を形成し、ここで、前記金属シード層の厚さは0.01ないし0.1ミクロンメートルであるステップQ’31と、
前記シード層に対して電気メッキ処理を行って回路配線を形成し、ここで、前記回路配線の厚さは1ないし5ミクロンメートルであるステップQ’32と、
前記回路配線上に対してエッチング処理を行って、前記溶接エリアと、前記ピンと、溶接パッドとを形成するステップQ’33と、
前記溶接エリアと前記ピンと前記溶接パッドとの間に金属線を接続するステップQ’34と、を含む、
ことを特徴とする請求項25に記載のインテリジェントパワーモジュールの製造方法。
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