JP2018078177A - ショットキーバリアダイオード及びこれを備える電子回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第2の表面22側に凹部23が設けられた酸化ガリウムからなる半導体基板20と、半導体基板の第1の表面21上に設けられた酸化ガリウムからなるエピタキシャル層30と、積層方向から見て凹部23と重なる位置に設けられ、エピタキシャル層30とショットキー接触するアノード電極40と、半導体基板20の凹部23内に設けられ、半導体基板20とオーミック接触するカソード電極50とを備える。本発明によれば、順方向電流が流れる部分の厚みが選択的に薄いことから、機械的強度及びハンドリング性を確保しつつ、発熱を低減し、放熱性を高めることができる。このため、熱伝導率の低い酸化ガリウムを用いているにもかかわらず、素子の温度上昇を抑制できる。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施形態によるショットキーバリアダイオード10Aの構成を示す断面図である。また、図2は、ショットキーバリアダイオード10Aの上面図である。尚、図1に示す断面は、図2のA−A線に沿った断面に相当する。
図4は、本発明の第2の実施形態によるショットキーバリアダイオード10Bの構成を示す断面図である。
図5は、本発明の第3の実施形態によるショットキーバリアダイオード10Cの構成を示す上面図である。
図6は、本発明の第4の実施形態によるショットキーバリアダイオード10Dの構成を示す断面図である。また、図7は、本実施形態において使用する半導体基板20を第2の表面22側から見た底面図である。
図8は、本発明の第5の実施形態によるショットキーバリアダイオード10Eの構成を示す底面図である。
20 半導体基板
21 第1の表面
22 第2の表面
23 凹部
23a 連通孔
24 底面
25 内壁面
30 エピタキシャル層
31 絶縁膜
32 開口部
40 アノード電極
50 カソード電極
60 回路基板
61 電極パターン
62 ボンディングワイヤ
63 ハンダ
100 電子回路
Claims (11)
- 第1の表面及び前記第1の表面の反対側に位置する第2の表面を有し、前記第2の表面側に凹部が設けられた酸化ガリウムからなる半導体基板と、
前記半導体基板の前記第1の表面上に設けられた酸化ガリウムからなるエピタキシャル層と、
積層方向から見て前記凹部と重なる位置に設けられ、前記エピタキシャル層とショットキー接触するアノード電極と、
前記半導体基板の前記凹部内に設けられ、前記半導体基板とオーミック接触するカソード電極と、を備えることを特徴とするショットキーバリアダイオード。 - 前記半導体基板の前記凹部は、平面視で前記第1の表面と重なる底面と、前記底面と前記第2の表面を繋ぐ内壁面とを含み、
前記カソード電極は、前記凹部の少なくとも前記底面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のショットキーバリアダイオード。 - 前記カソード電極は、前記凹部の前記内壁面にさらに形成されていることを特徴とする請求項2に記載のショットキーバリアダイオード。
- 前記カソード電極は、前記凹部の外に位置する前記第2の表面にさらに形成されていることを特徴とする請求項2又は3に記載のショットキーバリアダイオード。
- 前記積層方向から見た前記凹部の面積は、前記アノード電極の面積よりも小さいことを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項に記載のショットキーバリアダイオード。
- 前記積層方向から見た前記凹部の面積は、前記アノード電極の面積の50%以上であることを特徴とする請求項5に記載のショットキーバリアダイオード。
- 前記凹部が形成された位置における前記半導体基板の厚さは、50μm以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のショットキーバリアダイオード。
- 前記凹部は、前記半導体基板の側面に連通していることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載のショットキーバリアダイオード。
- 前記凹部は、スリット状に複数形成されていることを特徴とする請求項8に記載のショットキーバリアダイオード。
- 前記凹部は、メッシュ状に形成されていることを特徴とする請求項8に記載のショットキーバリアダイオード。
- 電極パターンを有する回路基板と、
前記回路基板上に搭載された請求項1乃至10のいずれか一項に記載のショットキーバリアダイオードと、
少なくとも一部が前記半導体基板の前記凹部に埋設され、前記電極パターンと前記カソード電極とを接続する導電部材と、を備えることを特徴とする電子回路。
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