JP2018073919A - 保持装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 基材
2a 上面
2b 下面
3 筒状支持体
3a 一方の端面
3b 他方の端面
3c 周面
3d,3e フランジ
4,5 開口端
6 発熱抵抗体
7 配線
8 支持体側通路
9 穴部
9a 開口部
9b 縦穴部
9c 横穴部
9d 奥端部内面
10 介在部材
11 熱電対
11a 先端部
11b 測温部
W ウェハ(対象物)
Claims (4)
- セラミックス焼結体からなり、上面及び該上面の反対側に位置する下面を有する板状の基材と、
前記基材の下面に開口を有し、前記基材の内部を当該基材の外縁方向に向って延びる穴部と、
前記穴部に配置され、先端部に測温部を有する熱電対とを備え、前記基材の上面上に対象物を保持する保持装置であって、
前記穴部の奥端部内面と前記熱電対の前記先端部との間に、前記熱電対の前記先端部の押し付けに応じて変形可能な介在部材が配置されていることを特徴とする保持装置。 - 前記介在部材の熱伝導率は、前記基材の熱伝導率以上であることを特徴とする請求項1に記載の保持装置。
- 前記介在部材は、複数方向に伸縮自在であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の保持装置。
- セラミックス焼結体からなり、上面及び該上面の反対側に位置する下面を有する板状の基材と、
前記基材の下面に開口を有し、前記基材の内部を当該基材の外縁方向に向って延びる穴部と、
前記穴部に配置され、先端部に測温部を有する熱電対と、
を備え、前記基材の上面上に対象物を保持する保持装置の製造方法であって、
セラミックスを焼結させて前記基材を製造する焼成工程と、
前記焼成工程の後に、前記基材の穴部の奥端部に、前記熱電対の前記先端部の押し付けに応じて変形可能な介在部材を配置する配置工程と、
前記基材の穴部に、前記熱電対の先端部を挿入する挿入工程と、を備えることを特徴とする保持装置の製造方法。
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