JP6391892B1 - 温度分布を改良したvigユニットを製造する方法 - Google Patents
温度分布を改良したvigユニットを製造する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6391892B1 JP6391892B1 JP2018515200A JP2018515200A JP6391892B1 JP 6391892 B1 JP6391892 B1 JP 6391892B1 JP 2018515200 A JP2018515200 A JP 2018515200A JP 2018515200 A JP2018515200 A JP 2018515200A JP 6391892 B1 JP6391892 B1 JP 6391892B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- exhaust
- vig
- heating element
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 65
- 238000009826 distribution Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 58
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 74
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 44
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 13
- POIUWJQBRNEFGX-XAMSXPGMSA-N cathelicidin Chemical compound C([C@@H](C(=O)N[C@@H](CCCNC(N)=N)C(=O)N[C@@H](CCCCN)C(=O)N[C@@H](CO)C(=O)N[C@@H](CCCCN)C(=O)N[C@@H](CCC(O)=O)C(=O)N[C@@H](CCCCN)C(=O)N[C@@H]([C@@H](C)CC)C(=O)NCC(=O)N[C@@H](CCCCN)C(=O)N[C@@H](CCC(O)=O)C(=O)N[C@@H](CC=1C=CC=CC=1)C(=O)N[C@@H](CCCCN)C(=O)N[C@@H](CCCNC(N)=N)C(=O)N[C@@H]([C@@H](C)CC)C(=O)N[C@@H](C(C)C)C(=O)N[C@@H](CCC(N)=O)C(=O)N[C@@H](CCCNC(N)=N)C(=O)N[C@@H]([C@@H](C)CC)C(=O)N[C@@H](CCCCN)C(=O)N[C@@H](CC(O)=O)C(=O)N[C@@H](CC=1C=CC=CC=1)C(=O)N[C@@H](CC(C)C)C(=O)N[C@@H](CCCNC(N)=N)C(=O)N[C@@H](CC(N)=O)C(=O)N[C@@H](CC(C)C)C(=O)N[C@@H](C(C)C)C(=O)N1[C@@H](CCC1)C(=O)N[C@@H](CCCNC(N)=N)C(=O)N[C@@H]([C@@H](C)O)C(=O)N[C@@H](CCC(O)=O)C(=O)N[C@@H](CO)C(O)=O)NC(=O)[C@H](CC=1C=CC=CC=1)NC(=O)[C@H](CC(O)=O)NC(=O)CNC(=O)[C@H](CC(C)C)NC(=O)[C@@H](N)CC(C)C)C1=CC=CC=C1 POIUWJQBRNEFGX-XAMSXPGMSA-N 0.000 claims description 12
- 239000003570 air Substances 0.000 claims description 8
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 claims description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 239000011800 void material Substances 0.000 claims description 7
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 2
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 9
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 9
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 8
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000005329 float glass Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
- C03C27/06—Joining glass to glass by processes other than fusing
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
- E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
- E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
- E06B3/66—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together
- E06B3/677—Evacuating or filling the gap between the panes ; Equilibration of inside and outside pressure; Preventing condensation in the gap between the panes; Cleaning the gap between the panes
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
- E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
- E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
- E06B3/66—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together
- E06B3/677—Evacuating or filling the gap between the panes ; Equilibration of inside and outside pressure; Preventing condensation in the gap between the panes; Cleaning the gap between the panes
- E06B3/6775—Evacuating or filling the gap during assembly
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
- E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
- E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
- E06B3/66—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together
- E06B3/663—Elements for spacing panes
- E06B3/66309—Section members positioned at the edges of the glazing unit
- E06B3/66333—Section members positioned at the edges of the glazing unit of unusual substances, e.g. wood or other fibrous materials, glass or other transparent materials
- E06B2003/66338—Section members positioned at the edges of the glazing unit of unusual substances, e.g. wood or other fibrous materials, glass or other transparent materials of glass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Civil Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Abstract
Description
Claims (21)
- 真空断熱ガラス(VIG)ユニットを製造する方法であって、
−実質的に平行な第1の板および第2の板1、2、前記第1の板1と第2の板2との間に設けられた複数の支柱4および周縁シール3を設け、前記第1の板1には空隙Vを排気するための排気孔5が設けられ、前記排気孔5を通って大気圧よりも低い圧力することと;
−ガラス板面1a上では、加熱要素9を備えている排気ヘッド8で前記排気孔5を覆い、前記排気ヘッド8は、前記ガラス板面1aと実質的に気密性の接触部を有するように適応していることと;
−前記VIGユニットおよび前記排気ヘッド8を炉内に配置し、前記炉は、炉の温度T1の所定の分布に応じて加熱するように構成されていることと;
−炉の温度T1の所定の分布に応じて加熱し、温度T2を温度T1まで上げるのに必要な時間にわたって前記加熱要素9を作動させることによって前記排気ヘッド8の下の炉の温度T1および温度T2の所定の分布どうしの温度差を補償することと;
−炉の温度T1の所定の分布に応じて加熱することを完了した後、前記排気ヘッド8を介して前記空隙Vを排気し、前記排気孔5に入っている排気管6の排気管先端部6bを密封することと
を含む、方法。 - 前記加熱要素9は、炉の温度T1の所定の分布に応じて作動する、請求項1に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記排気ヘッド8の下の前記温度T2は監視され、前記温度T2が前記温度T1よりも低ければ、前記加熱要素9を作動させることによって前記排気ヘッド8への追加の加熱が行われる、請求項1に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記加熱要素9はセラミック加熱要素である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記セラミック加熱要素9は、ピエゾ抵抗性の部品または電気抵抗性のセラミック部品、好ましくは窒化ケイ素および/または窒化アルミニウムのセラミック加熱要素である、請求項4に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記加熱要素9は、アクチュエータ16、17によって移動可能であり、前記排気管6の前記管先端部6bに接触するように構成され、かつ好ましくは前記管先端部6bを押圧するように構成される、請求項1〜5のいずれか一項に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記空隙Vの排気は、150℃以上、好ましくは300℃以上で行われる、請求項1〜6のいずれか一項に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 炉の温度T1の所定の分布に応じて前記炉が加熱している間に、前記加熱要素9を第1の温度まで加熱することと、前記加熱要素9を第2の温度まで加熱することを別々に行うことを含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記第1の温度は、実質的に前記周縁シール部3をはんだ付けする温度であり、前記第2の温度は、前記管先端部6bをシールする温度である、請求項8に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記加熱要素9を第1の温度まで加熱して前記排気ヘッド8の下方のVIG本体1、2の温度T2をより均一にすることと、前記加熱要素を第2の温度まで加熱して前記管先端部6bを先端熔融することとを含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記VIGユニットは、第1の温度まで加熱する第1の加熱要素9および第2の温度まで加熱する第2の加熱要素14を有する排気ヘッド8を備えている、請求項1〜10のいずれか一項に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記VIGユニットは、周囲空気と前記排気ヘッド8との間の熱伝導を促進するためのフィンを有する排気ヘッド8を備えている、請求項1〜11のいずれか一項に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記排気ヘッド8が前記板面1aと接触する幅Dは、50mm未満であり、好ましくは45mm未満である、請求項1〜12のいずれか一項に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記排気管は、排気孔または排気口5、20の周りに配置されたはんだガラスリング19である、請求項1〜13のいずれか一項に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記排気管6は、排気口20と、前記排気口20の周りに配置されたはんだガラスリング19とを備えている排気キャップ18である、請求項1〜14のいずれか一項に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 前記第1の板および第2の板1、2の少なくとも一方は強化ガラス板であり、好ましくは両方が強化ガラス板である、請求項1〜15のいずれか一項に記載のVIGユニットを製造する方法。
- 真空断熱ガラス(VIG)ユニットの製造設備であって、炉の温度T1の所定の分布に応じてVIGユニット1、2を加熱するように適応した区画を有する炉を備え、前記炉は、少なくとも1つの真空ポンプと流体連通している排気ヘッド8を備え、前記排気ヘッド8は、前記排気ヘッド8の下の温度T2を記録する温度センサと、前記温度センサがT1がT2よりも高いと記録したときに、T2が実質的にT1と等しくなるのに必要な時間にわたって前記排気ヘッド8を加熱するように構成された加熱要素9、14とをさらに備えている、真空断熱ガラス(VIG)ユニットの製造設備。
- 前記加熱要素9は、セラミック加熱要素9であり、好ましくはピエゾ抵抗性の部品または電気抵抗性のセラミック部品、さらに好ましくは窒化ケイ素および/または窒化アルミニウムのセラミック加熱要素である、請求項17に記載のVIGユニットの製造設備。
- 前記加熱要素9は、移動可能であり、排気管先端部6bと接触するように構成され、かつ好ましくは前記管先端部6bを押圧して前記管6を先端熔融するように構成される、請求項17または請求項18のいずれかに記載のVIGユニットの製造設備。
- 前記排気ヘッド8が前記VIGに接触する幅Dは、50mm未満であり、好ましくは45mm未満である、請求項17〜19のいずれか一項に記載のVIGユニットの製造設備。
- 請求項1〜16のいずれか一項に記載の方法を実施するように構成される、請求項17〜20のいずれか一項に記載のVIGユニットの製造設備。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DKPA201500488 | 2015-08-20 | ||
DKPA201500487 | 2015-08-20 | ||
DKPA201500487 | 2015-08-20 | ||
DKPA201500488 | 2015-08-20 | ||
PCT/DK2016/050280 WO2017028868A1 (en) | 2015-08-20 | 2016-08-22 | Method for producing a vig unit having improved temperature profile |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6391892B1 true JP6391892B1 (ja) | 2018-09-19 |
JP2018529614A JP2018529614A (ja) | 2018-10-11 |
Family
ID=58051219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018515200A Active JP6391892B1 (ja) | 2015-08-20 | 2016-08-22 | 温度分布を改良したvigユニットを製造する方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10704320B2 (ja) |
EP (1) | EP3337942B1 (ja) |
JP (1) | JP6391892B1 (ja) |
CN (1) | CN108138534B (ja) |
PL (1) | PL3337942T3 (ja) |
WO (1) | WO2017028868A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10704320B2 (en) | 2015-08-20 | 2020-07-07 | Vkr Holding A/S | Method for producing a VIG unit having an improved temperature profile |
PL3363983T3 (pl) * | 2017-02-17 | 2022-02-21 | Vkr Holding A/S | Izolowana próżniowo szyba zespolona |
CN116447797A (zh) * | 2018-11-08 | 2023-07-18 | Lg电子株式会社 | 面板组件、冰箱及家用电器 |
WO2020147909A1 (en) * | 2019-01-14 | 2020-07-23 | Vkr Holding A/S | Pivot roof window with sash comprising vacuum insulated glass unit overlapping bottom frame profile |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3859771B2 (ja) | 1996-06-17 | 2006-12-20 | 日本板硝子株式会社 | 真空複層ガラス及びその製造方法 |
JPH11247539A (ja) | 1998-02-26 | 1999-09-14 | Asahi Glass Co Ltd | 真空複層ガラス製造装置 |
WO2000004268A1 (fr) * | 1998-07-14 | 2000-01-27 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Panneau de verre et son procede de fabrication |
AUPP712198A0 (en) * | 1998-11-13 | 1998-12-10 | University Of Sydney, The | Method of and apparatus for evacuating a glass chamber |
AUPP719298A0 (en) | 1998-11-18 | 1998-12-17 | University Of Sydney, The | Method of forming evacuated glass panels |
JP2002542138A (ja) * | 1999-04-17 | 2002-12-10 | ユニバーシティー オブ アルスター | ガラスのシール方法 |
AUPQ195599A0 (en) | 1999-07-30 | 1999-08-26 | University Of Sydney, The | A method and apparatus for evacuating glass panels |
JP4049607B2 (ja) * | 2002-04-11 | 2008-02-20 | 日本板硝子株式会社 | ガラスパネルの製造方法とその方法で製造されたガラスパネル |
WO2003095388A1 (fr) | 2002-05-13 | 2003-11-20 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Recipient de depressurisation pour panneau de verre |
JP2004168627A (ja) | 2002-11-22 | 2004-06-17 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 遮熱器具 |
JP2004244292A (ja) | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 減圧処理装置 |
AU2003900862A0 (en) | 2003-02-26 | 2003-03-13 | The University Of Sydney | Improved sealing arrangement for use in evacuating a glass chamber |
JP2004265775A (ja) | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 減圧処理装置 |
JP2004323317A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Nippon Sheet Glass Spacia Co Ltd | ガラスパネルの中間膜圧着方法 |
JP2004335225A (ja) | 2003-05-06 | 2004-11-25 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ガラスパネル |
ATE508250T1 (de) * | 2004-05-12 | 2011-05-15 | Gig Holding Gmbh | Einrichtung zum kontrollieren der atmosphäre in einem raum |
JP2009057256A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Toshiba Corp | ガラス基板の接合方法及びガラス基板を用いた表示装置 |
US8137494B2 (en) | 2007-12-14 | 2012-03-20 | Guardian Industries Corp. | Vacuum insulating glass unit with large pump-out port, and/or method of making the same |
CN101609773B (zh) * | 2008-06-18 | 2012-05-16 | 清华大学 | 真空器件的封接方法 |
KR101191608B1 (ko) | 2010-01-05 | 2012-10-15 | (주)엘지하우시스 | 유리 패널의 배기구 형성 방법 및 이를 이용하여 제조한 유리 패널 제품 |
US9822580B2 (en) * | 2011-02-22 | 2017-11-21 | Guardian Glass, LLC | Localized heating techniques incorporating tunable infrared element(s) for vacuum insulating glass units, and/or apparatuses for same |
CN102863158B (zh) | 2011-07-05 | 2014-09-10 | 洛阳兰迪玻璃机器股份有限公司 | 真空玻璃封接方法及装置 |
CN103253856A (zh) | 2012-02-16 | 2013-08-21 | 东元奈米应材股份有限公司 | 用于真空隔热玻璃的抽气烧结组件与封装方法 |
CN104150790B (zh) | 2013-05-13 | 2016-12-28 | 北京新立基真空玻璃技术有限公司 | 真空玻璃抽气口封口装置 |
US10704320B2 (en) | 2015-08-20 | 2020-07-07 | Vkr Holding A/S | Method for producing a VIG unit having an improved temperature profile |
-
2016
- 2016-08-22 US US15/753,632 patent/US10704320B2/en active Active
- 2016-08-22 WO PCT/DK2016/050280 patent/WO2017028868A1/en active Application Filing
- 2016-08-22 CN CN201680054928.5A patent/CN108138534B/zh active Active
- 2016-08-22 PL PL16836690T patent/PL3337942T3/pl unknown
- 2016-08-22 EP EP16836690.4A patent/EP3337942B1/en active Active
- 2016-08-22 JP JP2018515200A patent/JP6391892B1/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2017028868A1 (en) | 2017-02-23 |
CN108138534A (zh) | 2018-06-08 |
PL3337942T3 (pl) | 2020-06-29 |
US20190368264A1 (en) | 2019-12-05 |
JP2018529614A (ja) | 2018-10-11 |
EP3337942A1 (en) | 2018-06-27 |
EP3337942B1 (en) | 2020-01-08 |
EP3337942A4 (en) | 2018-07-04 |
CN108138534B (zh) | 2019-07-23 |
US10704320B2 (en) | 2020-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6391892B1 (ja) | 温度分布を改良したvigユニットを製造する方法 | |
US10465436B2 (en) | Evacuation head with ceramic heater for VIG unit manufacture | |
JP6359669B2 (ja) | 温度プローブ、基板温度測定用アセンブリ及び基板支持用プラテン | |
US9579740B2 (en) | Thermal processing apparatus | |
KR102111834B1 (ko) | 종합성능이 양호한 방열구조부재 및 그 제조 공정 | |
JP2019529317A (ja) | 真空断熱ガラスパネル組立体の製造方法及び装置 | |
WO2020012042A4 (en) | High-temperature infrared radiator element and methods | |
JP2008108703A (ja) | 面状ヒータ及びこのヒータを備えた半導体熱処理装置 | |
KR101779469B1 (ko) | 열 응동 스위치 및 그 제조방법 그리고 가동 접점의 높이 조정장치 | |
JP2012104797A (ja) | 通信用筺体 | |
EP3337943B1 (en) | Small diameter evacuation head for vig unit manufacture | |
CN102554444B (zh) | 一种组合式焊管的制备方法及其应用 | |
US11767705B2 (en) | Glass panel unit manufacturing method | |
JP2013089850A (ja) | 半導体製造装置用ウエハ保持体 | |
US11060342B2 (en) | Vacuum insulated glazing unit | |
JP4955357B2 (ja) | 背面電子衝撃加熱装置 | |
KR102140366B1 (ko) | 압축스프링이 결합된 알에프 로드를 갖는 세라믹히터 | |
KR101209510B1 (ko) | 웨이퍼 본딩방법 및 그에 따른 본딩장치 | |
KR101808241B1 (ko) | 아크튜브 실링장치 및 실링방법 | |
US20210395129A1 (en) | Apparatus for manufacturing vacuum glazing | |
JP2005317807A (ja) | 陽極接合装置 | |
JP5414718B2 (ja) | 発光ダイオードの製造方法 | |
JP2002324655A (ja) | シースヒーターを配設したヒータープレートの製造方法 | |
CN104619055A (zh) | 一种真空内局部加热方法 | |
JP2009234885A (ja) | 成形装置及び方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20180611 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20180702 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180814 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180821 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6391892 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |