JP2004265775A - 減圧処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】脱着時における排気管の折損を防止することができると共に、減圧室を所望の形状に加工することができる減圧処理装置を提供する。
【解決手段】排気カップ１０は、直方体状で内部が所定形状に加工された本体１００と、この本体１００の上に載置される直方体状の蓋体１０１とから成り、本体１００は、ＰＤＰ２００における背面板ガラス２０３との接触面にほぼその全面に亘って開口する差動排気部１０２と、角部１０３の近傍において開口する貫通孔としての本排気部１０４と、差動排気部１０２と連通する管状の差動排気系１０５と、本排気部１０４と連通する管状の本排気系１０６と、ストッパ１０７と、本排気部１０４内に配設される横置きのコイル状のフィラメント１０８とを備え、本排気部１０４は、本体１００を背面板ガラス２０３の表面上に載置する際、封止部３００のガラス管３０３の位置を目認することができるように本体１００の上面において開口している。
【選択図】 図４
【解決手段】排気カップ１０は、直方体状で内部が所定形状に加工された本体１００と、この本体１００の上に載置される直方体状の蓋体１０１とから成り、本体１００は、ＰＤＰ２００における背面板ガラス２０３との接触面にほぼその全面に亘って開口する差動排気部１０２と、角部１０３の近傍において開口する貫通孔としての本排気部１０４と、差動排気部１０２と連通する管状の差動排気系１０５と、本排気部１０４と連通する管状の本排気系１０６と、ストッパ１０７と、本排気部１０４内に配設される横置きのコイル状のフィラメント１０８とを備え、本排気部１０４は、本体１００を背面板ガラス２０３の表面上に載置する際、封止部３００のガラス管３０３の位置を目認することができるように本体１００の上面において開口している。
【選択図】 図４
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、減圧処置装置に関し、特に、複数の板ガラスと、該板ガラスの間に形成された減圧層とを有するガラスパネルの減圧処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、真空ガラス、例えば「スペーシア」（登録商標）やプラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」という。）等に好適な基本構造を有するガラスパネルとして、図７（ａ）及び（ｂ）に示すような対向する２枚の板ガラス７００，７０１と、該板ガラス７００，７０１の間に形成される減圧層７０２と、該減圧層７０２の周縁をシールする低融点ガラスからなる周縁シール材７０３と、板ガラス７００を貫通する穴に一端が埋め込まれ、該一端側において低融点ガラスからなるシール材７０４によって板ガラス７００に溶着される排気管７０５とを備えるガラスパネル７０６が知られている。このガラスパネル７０６における減圧層７０２は、真空ガラスにおいては真空とされ、ＰＤＰにおいては減圧された後、キセノン（Ｘｅ）やネオン（Ｎｅ）等の希ガスが充填される。
【０００３】
そして、このガラスパネル７０６は、ペアリングされた板ガラス７００，７０１の周縁部に塗布された周縁シール材７０３と、板ガラス７００及び排気管７０５の接合部に塗布されたシール材７０４とを焼成により溶融して板ガラス７００，７０１を接合し且つ排気管７０５を板ガラス７００に溶着した後、排気管７０５を介して減圧層７０２を減圧し、さらに排気管７０５の他端を封じ切ることによって製作される。
【０００４】
減圧層７０２の減圧の際には、排気管７０５の他端にニトリルゴム（ＮＢＲ）等からなるＯ−リング７０７を介して減圧管７０８が接続される。減圧管７０８は、一端において径が拡大されて形成されたゲッタ室７０９を有する円管であり、その他端は不図示のターボ分子ポンプ（以下「ＴＭＰ」という。）に接続され、ゲッタ室７０９内に非蒸発型ゲッタ７１０を有する（図７（ｂ））。そして、ガラスパネル７０６及び減圧管７０８を不図示の炉内において所定温度まで加熱して減圧層７０２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させると共に、非蒸発型ゲッタ７１０を活性化し、その後、ＴＭＰを稼働させて上記ガス及び空気を減圧層７０２から除去して減圧層７０２を減圧すると共に、活性化された非蒸発型ゲッタ７１０によって減圧管７０８を流れる上記ガスを吸着して除去するが、Ｏ−リング７０７は高温に耐えることができないため、非蒸発型ゲッタ７１０を高温で活性化することができず、減圧層７０２の減圧の効率低下を招くという問題があり、特に、この効率低下により、減圧層７０２の減圧は長時間となるため、ＰＤＰにおいては蛍光体膜の劣化等を招くという問題があった。
【０００５】
そして、近年、この長時間に亘る減圧層７０２の減圧を避けるため、Ｏ−リングを使用しない全金属製の排気装置が減圧層７０２の減圧に用いられるようになった。
【０００６】
この全金属製の排気装置である排気カップ８００は、図８（ａ）に示すように、ステンレスからなる円柱であって、その中心軸上を穿孔して形成された本排気部８０１と、該本排気部８０１と連通する金属製の本排気系８０２と、溝状の差動排気部８０３と、該差動排気部８０３と連通する金属製の差動排気系８０４と、本排気部８０１内に配設される横置きのコイル状のフィラメント８０５とを備え、図８（ｂ）に示すように、本排気部８０１は、板ガラス７００に接触する接触面においてそのほぼ中央に設けられ、差動排気部８０３は、同じく上記接触面において本排気部８０１を囲うように排気カップ８００の中心軸と同心円上に設けられる。
【０００７】
また、特に、ＰＤＰに関しては、図９に示すように、板ガラス７０１における表示部９００に対応して板ガラス７００の内面に設けられたリブ（不図示）の形成範囲９０１に排気管７０５を配設することができず、排気管７０５は板ガラス７００における周縁部、特に角部に設けられているので、上述した円形状の排気カップ８００を使用することができず、例えば、矩形状の排気カップ等が用いられる。
【０００８】
そして、減圧層７０２の減圧の際において、排気カップ８００は、フィラメント８０５がガラスパネル７０６の排気管７０５に対向するように、板ガラス７００上に装着される。このとき、差動排気部８０３は不図示のロータリーポンプ（以下「ＲＰ」という。）によって減圧されるので、排気カップ８００は板ガラス７００に吸着する（例えば、特許文献参照。）。
【０００９】
この排気カップ８００では、Ｏ−リングを使用しないため、非蒸発型ゲッタを高温で活性化することができ、減圧層７０２の減圧における効率を向上することができる。
【００１０】
【特許文献】
特表２００２−５３０１８４号公報（第１図）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した排気カップ８００は、フィラメント８０５がガラスパネル７０６の排気管７０５に対向するように、下に凹形状の状態で脱着されるので、脱着時に排気管７０５の位置を視認することができず、排気管７０５を本排気部８０１の壁部８０１ａと接触させて折損してしまうという問題がある。
【００１２】
さらには、排気カップ８００の形状は凹状を呈する必要があるが故に、本排気部８０１の形成において一面側からしか加工することができず、本排気部８０１を所望の形状に加工することが困難であるという問題があった。
【００１３】
本発明の目的は、脱着時における排気管の折損を防止することができると共に、減圧室を所望の形状に加工することができる減圧処理装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の減圧処理装置は、複数の板ガラス、該複数の板ガラスの間に設けられた減圧層、前記板ガラスの周縁部に配設されて前記減圧層と連通する排気孔、及び前記排気孔に挿入される排気管を有するガラスパネルの前記板ガラスに接触する接触面と、該接触面に開口し且つ前記排気管を内包する減圧室とを備える減圧処理装置において、前記板ガラスに接触する本体と、該本体と協働して前記減圧室を形成する蓋体とを備えることを特徴とする。
【００１５】
請求項１記載の減圧処理装置によれば、板ガラスに接触する本体と、該本体と協働して減圧室を形成する蓋体とを備えるので、脱着時に排気管を目認することができると共に、減圧室の形成において本体を両面から加工することができ、もって脱着時における排気管の折損を防止することができると共に、減圧室を所望の形状に加工することができる。
【００１６】
請求項２記載の減圧処理装置は、請求項１記載の減圧処理装置において、前記本体は前記排気管の端部を溶融して封止する熱線を遮蔽する遮熱部を備えることを特徴とする。
【００１７】
請求項２記載の減圧処理装置によれば、本体が排気管の端部を溶融して封止する熱線を遮蔽する遮熱部を備えるので、該減圧処理装置を板ガラス上に装着するだけで、排気孔と排気管との隙間に充填された充填剤が加熱されるのを防止することができる。
【００１８】
請求項３記載の減圧処理装置は、請求項１又は２記載の減圧処理装置において、前記本体は前記減圧室の外側に設けられ且つ前記板ガラスに接触する接触面において開口する他の減圧室を備えることを特徴とする。
【００１９】
請求項３記載の減圧処理装置によれば、本体は減圧室の外側に設けられ且つ板ガラスに接触する接触面において開口する他の減圧室を備えるので、本体を板ガラスに吸着させることができる。
【００２０】
請求項４記載の減圧処理装置は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の減圧処理装置において、前記蓋体は前記本体と協働して前記他の減圧室を形成することを特徴とする。
【００２１】
請求項４記載の減圧処理装置によれば、蓋体は本体と協働して他の減圧室を形成するので、本体と蓋体との密着度を向上させることができる。
【００２２】
請求項５記載の減圧処理装置は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の減圧処理装置において、前記本体と前記蓋体との間にガスケットが介挿されていることを特徴とする。
【００２３】
請求項５記載の減圧処理装置によれば、本体と蓋体との間にガスケットが介挿されているので、本体と蓋体との密封度を向上させることができる。
【００２４】
請求項６記載の減圧処理装置は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の減圧処理装置において、前記本体及び前記蓋体は全金属製であることを特徴とする。
【００２５】
請求項６記載の減圧処理装置によれば、本体及び蓋体は全金属製であるので、本体と蓋体との密着度をさらに向上させることができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る減圧処理装置について図面を参照しながら説明する。
【００２７】
図１は、本発明の実施の形態に係る減圧処理装置の概略構成を示す図であり、（ａ）はガラスパネルの接触面から眺めた平面図であり、（ｂ）は図１（ａ）の線Ｉ−Ｉに沿う断面図である。
【００２８】
図１において、排気カップ１０は、直方体状で内部が所定形状に加工された本体１００と、この本体１００の上に載置される板状の蓋体１０１とから成る。
【００２９】
本体１００は、後述するＰＤＰ２００における背面板ガラス２０３との接触面にほぼその全面に亘って開口する差動排気部１０２と、同じく本体１００の角部１０３の近傍において開口する貫通孔としての本排気部１０４と、差動排気部１０２と連通する管状の差動排気系１０５と、本排気部１０４と連通する管状の本排気系１０６と、差動排気部１０２が開口する角部１０３において本体１００から下方に向けて突出して形成されたストッパ１０７と、本排気部１０４内に配設される横置きのコイル状のフィラメント１０８とを備える。
【００３０】
上記背面板ガラス２０３との接触面において、本排気部１０４は角部１０３より所定の距離だけ離れた位置に開口するため、本排気部１０４の外周は差動排気部１０２に囲まれる。このとき、本排気部１０４の外周縁と差動排気部１０２の内周縁との距離（以下「シール幅」という。）は２．０ｍｍ以下、例えば０．５ｍｍであり、差動排気部１０２及び本排気部１０４の角部１０３の近傍における外周縁形状は、本体１００における角部１０３の形状に対応して少なくとも互いに直交する２本の直線を有する角形状を呈する。
【００３１】
また、上記背面板ガラス２０３との接触面における差動排気部１０２の開口面積は５００ｍｍ２以上であり、差動排気部１０２の容積は２０００ｍｍ３以上である。
【００３２】
差動排気系１０５は不図示のＲＰに接続される一方、本排気系１０６は不図示のＴＭＰに接続され、差動排気系１０５及び本排気系１０６は、排気カップ１０がＰＤＰ２００に装着された際に、ＲＰ及びＴＭＰの作動によって減圧される。
【００３３】
本排気部１０４内に配設されたフィラメント１０８は、上記背面板ガラス２０３との接触面から眺めたときに角部１０３の近傍に設けられ、接触面からの高さは約５ｍｍである。
【００３４】
ここで、排気カップ１０、即ち、本体１００及び蓋体１０１の材質はステンレスであり、特に、０〜５００℃の間において背面板ガラス２０３の膨張係数（８．５×１０−６／℃）と排気カップ１０の膨張係数との差の絶対値が２０×１０−６／℃以下となるステンレス、例えばＳＵＳ３０４等が用いられる。また、本排気系１０６及び差動排気系１０５の材質は金属であり、排気カップ１０と同様ステンレスであるのが好ましい。
【００３５】
また、本体１００において本排気部１０４は、背面板ガラス２０３との接触面及び蓋体１０１との接触面の両面から本体１０１の加工によって貫通孔として形成されているため、本排気部１０４の内部が所望形状に形成される。
【００３６】
次に、排気カップ１０が装着されるＰＤＰについて図面を参照しながら説明する。
【００３７】
図２は、排気カップ１０が装着されるガラスパネルとしてのＰＤＰの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は部分断面図である。
【００３８】
図２において、ＰＤＰ２００は、厚さが、例えば２．８ｍｍの前面板ガラス２０１と、前面板ガラス２０１との間に減圧層２０２を形成すべく前面板ガラス２０１から、例えば０．１ｍｍの間隔を隔てて配設され、厚さが、例えば２．８ｍｍの背面板ガラス２０３とから成り、前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３は、その外周縁において低融点ガラスフリットからなる封着部２０４により封着される。
【００３９】
前面板ガラス２０１の内面上には、透明電極２０５ａ及び金属電極２０５ｂとから成る表示電極２０５がパターン形成され、該表示電極２０５を覆うように誘電体ガラス層２０６が積層され、誘電体ガラス層２０６上には、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）製誘電体保護層２０７が積層されている。
【００４０】
また、背面板ガラス２０３の内面上には、後述する蛍光体２１２〜２１４の発光を制御するアドレス電極２０８が所定のピッチでパターン形成され、該アドレス電極２０８を覆うように誘電体ガラス層２０９が積層され、該誘電体ガラス層２０９上には、複数のチャンネル状放電空間２１０を画成する複数のガラス製リブ２１１がサンドブラスト法やブレード成型法によってパターン成形され、各放電空間２１０におけるリブ２１１の表面には、カラー表示をすべく赤色（Ｒ）の蛍光体２１２、緑色（Ｇ）の蛍光体２１３、及び青色（Ｂ）の蛍光体２１４が順に連続して塗布されている。
【００４１】
リブ２１１は、その高さが、例えば０．１ｍｍであり、前面板ガラス２０１と背面板ガラス２０３との間隔を約０．１ｍｍに保持する。また、放電空間２１０には、希ガスが封入されている。希ガスは、例えばネオン（Ｎｅ）とキセノン（Ｘｅ）を組成とする混合ガス系が用いられており、その封入圧力は約４０〜７０ｋＰａの範囲に設定される。
【００４２】
そして、蛍光体２１２〜２１４は、放電空間２１０への放電によって発生する波長の短い紫外線により励起発光する。
【００４３】
図３は、図２（ａ）における背面板ガラス２０３の構造を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は図３（ａ）の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図である。
【００４４】
図３（ａ）及び図３（ｂ）において、背面板ガラス２０３は、減圧層２０２に希ガスを封入する封止部３００を有する。この封止部３００は、図２（ｂ）におけるリブ２１１が形成されるリブ形成範囲３０１の外側且つ封着部２０４の内側に形成された内径２ｍｍの貫通孔３０２と、貫通孔３０２に内嵌された外径２ｍｍのガラス管３０３と、ガラス管３０３と背面板ガラス２０３とを接合する低融点ガラス３０４とからなる。このとき、貫通孔３０２はリブ形成範囲３０１の外側且つ封着部２０４の内側に形成されるので、封止部３００は背面板ガラス２０３の角部近傍に配設される。また、ガラス管３０３は、後述する減圧層２０２の減圧処理においてフィラメント１０８から加熱されることによってその先端が溶融されて封止される。
【００４５】
図４は、図２のＰＤＰ２００に装着された排気カップ１０を示す図であり、（ａ）は排気カップ１０を上方から眺めた平面図であり、（ｂ）は図４（ａ）の線ＩＶ−ＩＶに沿う断面図である。
【００４６】
図４において、排気カップ１０は本体１００と本体１００の上に載置される蓋体１０１とから成る。
【００４７】
本体１００は、ＰＤＰ２００における背面板ガラス２０３の表面上に不図示のガスケットを介して装着される。このとき、本体１００のストッパ１０７は、背面板ガラス２０３の角部における周縁に係合することによって本体１００の角部１０３と背面板ガラス２０３の角部とを一致させて本体１００の背面板ガラス２０３に対する位置を定める。また、本排気部１０４は、接触面において角部１０３の近傍に配設されているので、背面板ガラス２０３の角部に配設された封止部３００を内包し、フィラメント１０８は、上述したように本排気部１０４において角部１０３の近傍に設けられているので、封止部３００のガラス管３０３の先端と対向する。さらに、本体１００を背面板ガラス２０３の表面上に載置する際、封止部３００のガラス管３０３の位置を開口した本排気部１０４から視認することができる。
【００４８】
上述したように、本体１００がＰＤＰ２００に装着されると、蓋体１０１が本体１００の上面である蓋体１０１との接触面に、不図示のアルミからなるガスケットを介して載置される。
【００４９】
蓋体１０１が本体１００上に載置されると、本排気部１０４の開口部は背面板ガラス２０３及び蓋体１０１によって塞がれて、本排気部１０４は密閉空間となる。
【００５０】
そして、差動排気部１０２は、差動排気系１０５を介して接続されたＲＰの作動により減圧されて、本体１００と背面板ガラス２０３とを吸着する吸着力を発生する一方、本排気部１０４は、本排気系１０６を介して接続されたＴＭＰの作動により減圧されて、本体１００と蓋体１０１とを吸着する吸着力を発生する。
【００５１】
次に、ＰＤＰ２００における減圧層２０２の減圧処理について説明する。
【００５２】
図５は、図２のＰＤＰ２００における減圧層２０２の減圧処理の工程図である。
【００５３】
図５において、まず、背面板ガラス２０３上にスパッタリングやスクリーン印刷によってアドレス電極２０８，誘電体ガラス層２０９，リブ２１１及び蛍光体２１２〜２１４を形成すると共に、その角部において封止部３００を形成する一方、前面板ガラス２０１上にスパッタリングによって表示電極２０５，誘電体ガラス層２０６及び誘電体保護層２０７を形成する。そして、前面板ガラス２０１と背面板ガラス２０３とを、誘電体保護層２０７とリブ２１１とが対向するようにペアリングし、ペアリングされた前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３の全周縁に低融点ガラスフリット５００を塗布すると共に、ガラス管３０３の周りに低融点ガラス３０４を塗布する（図５（ａ））。
【００５４】
次いで、本体１００を、ストッパ１０７が背面板ガラス２０３の角部の周縁に係合するように、封止部３００のガラス管３０３の位置を、開口した本排気部１０４を介して目認しながら背面板ガラス２０３上に装着する（図５（ｂ））。
【００５５】
さらに、背面板ガラス２０３上に装着された本体１００上に蓋体１０１を載置し、ＲＰを作動させて差動排気部１０２及び背面板ガラス２０３によって形成された密封空間の圧力を１０〜１０３Ｐａまで減圧し、本体１００を背面板ガラス２０３に吸着させる。このとき、本体１００の角部１０３と背面板ガラス２０３の角部とが一致し、封止部３００が本排気部１０４に内包され、フィラメント１０８が封止部３００のガラス管３０３の先端と対向するのは上述した通りである（図５（ｃ））。
【００５６】
その後、ペアリングされた前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３を、排気カップ１０が装着されたまま、不図示の炉の内部で焼成して低融点ガラスフリット５００及び低融点ガラス３０４を溶融させた後、当該ペアリングされた前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３を冷却して低融点ガラスフリット５００及び低融点ガラス３０４を凝固させることによって前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３を封着すると共に、ガラス管３０３を背面板ガラス２０３に接合する。これにより、前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３の間に減圧層２０２が形成されるが、上述した処理は大気中で実行されるので、減圧層２０２の圧力は大気圧である。
【００５７】
次いで、炉内の温度を一定時間維持することによって減圧層２０２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させる一方、ＴＭＰを稼働させて本排気部１０４を減圧して本体１００と蓋体１０１とを吸着させると共に、当該ガス及び空気を本排気系１０６及び本排気部１０４を介して減圧層２０２から除去することによって、減圧層２０２を減圧するベーキングを行う。そして、減圧層２０２の圧力が約１０−１〜１０−２Ｐａを下回ると、希ガスを本排気系１０６及び本排気部１０４を介して減圧層２０２へ充填し、減圧層２０２の圧力が約４０〜７０ｋＰａを上回ると、ＰＤＰ２００の冷却を開始すると共に、フィラメント１０８に通電して、これを発熱させる。これにより、フィラメント１０８が対向するガラス管３０３の先端を溶融させて減圧層２０２を封止する（図５（ｄ））。
【００５８】
その後、ＴＭＰの作動を停止して蓋体１０１を本体１００から離脱させ（図５（ｅ））、さらに、ＲＰの作動を停止して本体１００を封止部３００のガラス管３０３の位置を、開口した本排気部１０４を介して目認しながら背面板ガラス２０３から離脱させる（図５（ｆ））。
【００５９】
減圧層２０２の減圧処理において、ＲＰは、本体１００が背面板ガラス２０３に装着された後、常に作動し、差動排気部１０２及び背面板ガラス２０３から形成される減圧空間を減圧することによって本体１００を背面板ガラス２０３に吸着させる。
【００６０】
本発明の実施の形態に係る排気カップ１０によれば、背面板ガラス２０３に接触する本体１００と、本体１００と協働して本排気部１０４を形成する蓋体１０１とを備えるので、脱着時にガラス管３０３を目認することができると共に、本排気部１０４の形成において本体１０１を上下両面から加工することができ、もって脱着時におけるガラス管３０３の折損を防止することができると共に、本排気部１０４を所望の形状に加工することができる。
【００６１】
また、図６に示すように、排気カップ１０は、本体１００がガラス管３０３の先端部を溶融して封止する熱線を遮蔽する遮熱部６００を備えていてもよい。これにより、排気カップ１０を背面板ガラス２０３に装着するだけで、貫通孔３０２とガラス管３０３との隙間に充填された低融点ガラス３０４が加熱されるのを防止することができる。
【００６２】
また、上述した本実施の形態では、排気カップ１０はその形状が直方体状であるが、これに限定されるものではなく、例えば、他の矩形状や図８に示すような円形状であってもよい。
【００６３】
また、上述した本実施の形態では、差動排気部１０２が本体１００と背面板ガラス２０３との接触面のみに開口部を有するが、これに限定されるものではなく、図６に示すように、本体１００と蓋部１０１との接触面に開口部を有していてもよい。これにより、本体１００と蓋部１０１との密着度を向上させることができる。
【００６４】
また、上述した本実施の形態では、背面板ガラス２０３上に装着された本体１００上に蓋体１０１を載置する際に本体１００と蓋体１０１との間にガスケットを挟んだが、当該ガスケットは必ずしも挟み込まれる必要はない。
【００６５】
また、排気カップ１０が装着されるガラスパネルは、上述したＰＤＰ２００に限られず、減圧層２０２が真空にされた真空ガラスであってもよく、この他、建築物や乗り物（自動車、鉄道車両、船舶）用の窓ガラス、又は、冷蔵庫や保温装置等のような各種装置の扉や壁部等、種々の用途に使用されるガラスパネルであってもよい。
【００６６】
また、本実施の形態では、本体１００がフィラメント１０８を備えることとしたが、これに限定されるものではなく、蓋体１０１がフィラメント１０８を備えていてもよい。
【００６７】
また、ガラス管３０３に熱を与える熱源としては、フィラメント１０８だけでなく赤外線輻射ヒータ等を用いてもよい。
【００６８】
上述した本実施の形態では、封着部２０４を形成する材料として低融点ガラスフリット５００を使用する例を示したが、これに代えて、金属製の溶融ハンダを使用してもよい。
【００６９】
前面板ガラス２０１，背面板ガラス２０３に使用される板ガラスとしては、フロートガラスに限られるものではなく、ガラスパネルの用途や目的に応じて、例えば、型板ガラス、表面処理により光拡散機能を備えたすりガラス、網入りガラス、線入りガラス、強化ガラス、倍強度ガラス、低反射ガラス、高透過ガラス、セラミック印刷ガラス、熱線や紫外線吸収機能を備えた特殊ガラス、又は、これらの組み合わせ等、種々のガラスを適宜選択して使用することができる。
【００７０】
ガラスの組成についても、ソーダ珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ほう珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、各種結晶化ガラス等を使用することができ、前面板ガラス２０１，背面板ガラス２０３の厚みについても、適宜選択自由である。
【００７１】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、請求項１記載の減圧処理装置によれば、板ガラスに接触する本体と、該本体と協働して減圧室を形成する蓋体とを備えるので、脱着時に排気管を目認することができると共に、減圧室の形成において本体を両面から加工することができ、もって脱着時における排気管の折損を防止することができると共に、減圧室を所望の形状に加工することができる。
【００７２】
請求項２記載の減圧処理装置によれば、本体が排気管の端部を溶融して封止する熱線を遮蔽する遮熱部を備えるので、該減圧処理装置を板ガラス上に装着するだけで、排気孔と排気管との隙間に充填された充填剤が加熱されるのを防止することができる。
【００７３】
請求項３記載の減圧処理装置によれば、本体は減圧室の外側に設けられ且つ板ガラスに接触する接触面において開口する他の減圧室を備えるので、本体を板ガラスに吸着させることができる。
【００７４】
請求項４記載の減圧処理装置によれば、蓋体は本体と協働して他の減圧室を形成するので、本体と蓋体との密着度を向上させることができる。
【００７５】
請求項５記載の減圧処理装置によれば、本体と蓋体との間にガスケットが介挿されているので、本体と蓋体との密封度を向上させることができる。
【００７６】
請求項６記載の減圧処理装置によれば、本体及び蓋体は全金属製であるので、本体と蓋体との密着度をさらに向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る減圧処理装置の概略構成を示す図であり、（ａ）はガラスパネルの接触面から眺めた平面図であり、（ｂ）は図１（ａ）の線Ｉ−Ｉに沿う断面図である。
【図２】排気カップ１０が装着されるガラスパネルとしてのＰＤＰの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は部分断面図である。
【図３】図３は、図２（ａ）における背面板ガラス２０３の構造を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は図３（ａ）の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図である。
【図４】図２のＰＤＰ２００に装着された排気カップ１０を示す図であり、（ａ）は、排気カップ１０を上方から眺めた平面図であり、（ｂ）は図４（ａ）の線ＩＶ−ＩＶに沿う断面図である。
【図５】図２のＰＤＰ２００における減圧層２０２の減圧処理の工程図である。
【図６】図４の排気カップ１０の変形例の断面図である。
【図７】従来のガラスパネルの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は断面図である。
【図８】従来の排気カップの概略構成を示す図であり、（ａ）は断面図であり、（ｂ）はガラスパネルの接触面から眺めた平面図である。
【図９】ＰＤＰとして使用されるガラスパネルの概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０，８００ 排気カップ
１００ 本体
１０１ 蓋体
１０２，８０３ 差動排気部
１０４，８０１ 本排気部
１０７ ストッパ
１０８，８０５ フィラメント
２００ ＰＤＰ
２０３ 背面板ガラス
３００ 封止部
３０３ ガラス管
７００，７０１ 板ガラス
７０５ 排気管
７０６ ガラスパネル
【発明の属する技術分野】
本発明は、減圧処置装置に関し、特に、複数の板ガラスと、該板ガラスの間に形成された減圧層とを有するガラスパネルの減圧処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、真空ガラス、例えば「スペーシア」（登録商標）やプラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」という。）等に好適な基本構造を有するガラスパネルとして、図７（ａ）及び（ｂ）に示すような対向する２枚の板ガラス７００，７０１と、該板ガラス７００，７０１の間に形成される減圧層７０２と、該減圧層７０２の周縁をシールする低融点ガラスからなる周縁シール材７０３と、板ガラス７００を貫通する穴に一端が埋め込まれ、該一端側において低融点ガラスからなるシール材７０４によって板ガラス７００に溶着される排気管７０５とを備えるガラスパネル７０６が知られている。このガラスパネル７０６における減圧層７０２は、真空ガラスにおいては真空とされ、ＰＤＰにおいては減圧された後、キセノン（Ｘｅ）やネオン（Ｎｅ）等の希ガスが充填される。
【０００３】
そして、このガラスパネル７０６は、ペアリングされた板ガラス７００，７０１の周縁部に塗布された周縁シール材７０３と、板ガラス７００及び排気管７０５の接合部に塗布されたシール材７０４とを焼成により溶融して板ガラス７００，７０１を接合し且つ排気管７０５を板ガラス７００に溶着した後、排気管７０５を介して減圧層７０２を減圧し、さらに排気管７０５の他端を封じ切ることによって製作される。
【０００４】
減圧層７０２の減圧の際には、排気管７０５の他端にニトリルゴム（ＮＢＲ）等からなるＯ−リング７０７を介して減圧管７０８が接続される。減圧管７０８は、一端において径が拡大されて形成されたゲッタ室７０９を有する円管であり、その他端は不図示のターボ分子ポンプ（以下「ＴＭＰ」という。）に接続され、ゲッタ室７０９内に非蒸発型ゲッタ７１０を有する（図７（ｂ））。そして、ガラスパネル７０６及び減圧管７０８を不図示の炉内において所定温度まで加熱して減圧層７０２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させると共に、非蒸発型ゲッタ７１０を活性化し、その後、ＴＭＰを稼働させて上記ガス及び空気を減圧層７０２から除去して減圧層７０２を減圧すると共に、活性化された非蒸発型ゲッタ７１０によって減圧管７０８を流れる上記ガスを吸着して除去するが、Ｏ−リング７０７は高温に耐えることができないため、非蒸発型ゲッタ７１０を高温で活性化することができず、減圧層７０２の減圧の効率低下を招くという問題があり、特に、この効率低下により、減圧層７０２の減圧は長時間となるため、ＰＤＰにおいては蛍光体膜の劣化等を招くという問題があった。
【０００５】
そして、近年、この長時間に亘る減圧層７０２の減圧を避けるため、Ｏ−リングを使用しない全金属製の排気装置が減圧層７０２の減圧に用いられるようになった。
【０００６】
この全金属製の排気装置である排気カップ８００は、図８（ａ）に示すように、ステンレスからなる円柱であって、その中心軸上を穿孔して形成された本排気部８０１と、該本排気部８０１と連通する金属製の本排気系８０２と、溝状の差動排気部８０３と、該差動排気部８０３と連通する金属製の差動排気系８０４と、本排気部８０１内に配設される横置きのコイル状のフィラメント８０５とを備え、図８（ｂ）に示すように、本排気部８０１は、板ガラス７００に接触する接触面においてそのほぼ中央に設けられ、差動排気部８０３は、同じく上記接触面において本排気部８０１を囲うように排気カップ８００の中心軸と同心円上に設けられる。
【０００７】
また、特に、ＰＤＰに関しては、図９に示すように、板ガラス７０１における表示部９００に対応して板ガラス７００の内面に設けられたリブ（不図示）の形成範囲９０１に排気管７０５を配設することができず、排気管７０５は板ガラス７００における周縁部、特に角部に設けられているので、上述した円形状の排気カップ８００を使用することができず、例えば、矩形状の排気カップ等が用いられる。
【０００８】
そして、減圧層７０２の減圧の際において、排気カップ８００は、フィラメント８０５がガラスパネル７０６の排気管７０５に対向するように、板ガラス７００上に装着される。このとき、差動排気部８０３は不図示のロータリーポンプ（以下「ＲＰ」という。）によって減圧されるので、排気カップ８００は板ガラス７００に吸着する（例えば、特許文献参照。）。
【０００９】
この排気カップ８００では、Ｏ−リングを使用しないため、非蒸発型ゲッタを高温で活性化することができ、減圧層７０２の減圧における効率を向上することができる。
【００１０】
【特許文献】
特表２００２−５３０１８４号公報（第１図）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した排気カップ８００は、フィラメント８０５がガラスパネル７０６の排気管７０５に対向するように、下に凹形状の状態で脱着されるので、脱着時に排気管７０５の位置を視認することができず、排気管７０５を本排気部８０１の壁部８０１ａと接触させて折損してしまうという問題がある。
【００１２】
さらには、排気カップ８００の形状は凹状を呈する必要があるが故に、本排気部８０１の形成において一面側からしか加工することができず、本排気部８０１を所望の形状に加工することが困難であるという問題があった。
【００１３】
本発明の目的は、脱着時における排気管の折損を防止することができると共に、減圧室を所望の形状に加工することができる減圧処理装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の減圧処理装置は、複数の板ガラス、該複数の板ガラスの間に設けられた減圧層、前記板ガラスの周縁部に配設されて前記減圧層と連通する排気孔、及び前記排気孔に挿入される排気管を有するガラスパネルの前記板ガラスに接触する接触面と、該接触面に開口し且つ前記排気管を内包する減圧室とを備える減圧処理装置において、前記板ガラスに接触する本体と、該本体と協働して前記減圧室を形成する蓋体とを備えることを特徴とする。
【００１５】
請求項１記載の減圧処理装置によれば、板ガラスに接触する本体と、該本体と協働して減圧室を形成する蓋体とを備えるので、脱着時に排気管を目認することができると共に、減圧室の形成において本体を両面から加工することができ、もって脱着時における排気管の折損を防止することができると共に、減圧室を所望の形状に加工することができる。
【００１６】
請求項２記載の減圧処理装置は、請求項１記載の減圧処理装置において、前記本体は前記排気管の端部を溶融して封止する熱線を遮蔽する遮熱部を備えることを特徴とする。
【００１７】
請求項２記載の減圧処理装置によれば、本体が排気管の端部を溶融して封止する熱線を遮蔽する遮熱部を備えるので、該減圧処理装置を板ガラス上に装着するだけで、排気孔と排気管との隙間に充填された充填剤が加熱されるのを防止することができる。
【００１８】
請求項３記載の減圧処理装置は、請求項１又は２記載の減圧処理装置において、前記本体は前記減圧室の外側に設けられ且つ前記板ガラスに接触する接触面において開口する他の減圧室を備えることを特徴とする。
【００１９】
請求項３記載の減圧処理装置によれば、本体は減圧室の外側に設けられ且つ板ガラスに接触する接触面において開口する他の減圧室を備えるので、本体を板ガラスに吸着させることができる。
【００２０】
請求項４記載の減圧処理装置は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の減圧処理装置において、前記蓋体は前記本体と協働して前記他の減圧室を形成することを特徴とする。
【００２１】
請求項４記載の減圧処理装置によれば、蓋体は本体と協働して他の減圧室を形成するので、本体と蓋体との密着度を向上させることができる。
【００２２】
請求項５記載の減圧処理装置は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の減圧処理装置において、前記本体と前記蓋体との間にガスケットが介挿されていることを特徴とする。
【００２３】
請求項５記載の減圧処理装置によれば、本体と蓋体との間にガスケットが介挿されているので、本体と蓋体との密封度を向上させることができる。
【００２４】
請求項６記載の減圧処理装置は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の減圧処理装置において、前記本体及び前記蓋体は全金属製であることを特徴とする。
【００２５】
請求項６記載の減圧処理装置によれば、本体及び蓋体は全金属製であるので、本体と蓋体との密着度をさらに向上させることができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る減圧処理装置について図面を参照しながら説明する。
【００２７】
図１は、本発明の実施の形態に係る減圧処理装置の概略構成を示す図であり、（ａ）はガラスパネルの接触面から眺めた平面図であり、（ｂ）は図１（ａ）の線Ｉ−Ｉに沿う断面図である。
【００２８】
図１において、排気カップ１０は、直方体状で内部が所定形状に加工された本体１００と、この本体１００の上に載置される板状の蓋体１０１とから成る。
【００２９】
本体１００は、後述するＰＤＰ２００における背面板ガラス２０３との接触面にほぼその全面に亘って開口する差動排気部１０２と、同じく本体１００の角部１０３の近傍において開口する貫通孔としての本排気部１０４と、差動排気部１０２と連通する管状の差動排気系１０５と、本排気部１０４と連通する管状の本排気系１０６と、差動排気部１０２が開口する角部１０３において本体１００から下方に向けて突出して形成されたストッパ１０７と、本排気部１０４内に配設される横置きのコイル状のフィラメント１０８とを備える。
【００３０】
上記背面板ガラス２０３との接触面において、本排気部１０４は角部１０３より所定の距離だけ離れた位置に開口するため、本排気部１０４の外周は差動排気部１０２に囲まれる。このとき、本排気部１０４の外周縁と差動排気部１０２の内周縁との距離（以下「シール幅」という。）は２．０ｍｍ以下、例えば０．５ｍｍであり、差動排気部１０２及び本排気部１０４の角部１０３の近傍における外周縁形状は、本体１００における角部１０３の形状に対応して少なくとも互いに直交する２本の直線を有する角形状を呈する。
【００３１】
また、上記背面板ガラス２０３との接触面における差動排気部１０２の開口面積は５００ｍｍ２以上であり、差動排気部１０２の容積は２０００ｍｍ３以上である。
【００３２】
差動排気系１０５は不図示のＲＰに接続される一方、本排気系１０６は不図示のＴＭＰに接続され、差動排気系１０５及び本排気系１０６は、排気カップ１０がＰＤＰ２００に装着された際に、ＲＰ及びＴＭＰの作動によって減圧される。
【００３３】
本排気部１０４内に配設されたフィラメント１０８は、上記背面板ガラス２０３との接触面から眺めたときに角部１０３の近傍に設けられ、接触面からの高さは約５ｍｍである。
【００３４】
ここで、排気カップ１０、即ち、本体１００及び蓋体１０１の材質はステンレスであり、特に、０〜５００℃の間において背面板ガラス２０３の膨張係数（８．５×１０−６／℃）と排気カップ１０の膨張係数との差の絶対値が２０×１０−６／℃以下となるステンレス、例えばＳＵＳ３０４等が用いられる。また、本排気系１０６及び差動排気系１０５の材質は金属であり、排気カップ１０と同様ステンレスであるのが好ましい。
【００３５】
また、本体１００において本排気部１０４は、背面板ガラス２０３との接触面及び蓋体１０１との接触面の両面から本体１０１の加工によって貫通孔として形成されているため、本排気部１０４の内部が所望形状に形成される。
【００３６】
次に、排気カップ１０が装着されるＰＤＰについて図面を参照しながら説明する。
【００３７】
図２は、排気カップ１０が装着されるガラスパネルとしてのＰＤＰの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は部分断面図である。
【００３８】
図２において、ＰＤＰ２００は、厚さが、例えば２．８ｍｍの前面板ガラス２０１と、前面板ガラス２０１との間に減圧層２０２を形成すべく前面板ガラス２０１から、例えば０．１ｍｍの間隔を隔てて配設され、厚さが、例えば２．８ｍｍの背面板ガラス２０３とから成り、前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３は、その外周縁において低融点ガラスフリットからなる封着部２０４により封着される。
【００３９】
前面板ガラス２０１の内面上には、透明電極２０５ａ及び金属電極２０５ｂとから成る表示電極２０５がパターン形成され、該表示電極２０５を覆うように誘電体ガラス層２０６が積層され、誘電体ガラス層２０６上には、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）製誘電体保護層２０７が積層されている。
【００４０】
また、背面板ガラス２０３の内面上には、後述する蛍光体２１２〜２１４の発光を制御するアドレス電極２０８が所定のピッチでパターン形成され、該アドレス電極２０８を覆うように誘電体ガラス層２０９が積層され、該誘電体ガラス層２０９上には、複数のチャンネル状放電空間２１０を画成する複数のガラス製リブ２１１がサンドブラスト法やブレード成型法によってパターン成形され、各放電空間２１０におけるリブ２１１の表面には、カラー表示をすべく赤色（Ｒ）の蛍光体２１２、緑色（Ｇ）の蛍光体２１３、及び青色（Ｂ）の蛍光体２１４が順に連続して塗布されている。
【００４１】
リブ２１１は、その高さが、例えば０．１ｍｍであり、前面板ガラス２０１と背面板ガラス２０３との間隔を約０．１ｍｍに保持する。また、放電空間２１０には、希ガスが封入されている。希ガスは、例えばネオン（Ｎｅ）とキセノン（Ｘｅ）を組成とする混合ガス系が用いられており、その封入圧力は約４０〜７０ｋＰａの範囲に設定される。
【００４２】
そして、蛍光体２１２〜２１４は、放電空間２１０への放電によって発生する波長の短い紫外線により励起発光する。
【００４３】
図３は、図２（ａ）における背面板ガラス２０３の構造を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は図３（ａ）の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図である。
【００４４】
図３（ａ）及び図３（ｂ）において、背面板ガラス２０３は、減圧層２０２に希ガスを封入する封止部３００を有する。この封止部３００は、図２（ｂ）におけるリブ２１１が形成されるリブ形成範囲３０１の外側且つ封着部２０４の内側に形成された内径２ｍｍの貫通孔３０２と、貫通孔３０２に内嵌された外径２ｍｍのガラス管３０３と、ガラス管３０３と背面板ガラス２０３とを接合する低融点ガラス３０４とからなる。このとき、貫通孔３０２はリブ形成範囲３０１の外側且つ封着部２０４の内側に形成されるので、封止部３００は背面板ガラス２０３の角部近傍に配設される。また、ガラス管３０３は、後述する減圧層２０２の減圧処理においてフィラメント１０８から加熱されることによってその先端が溶融されて封止される。
【００４５】
図４は、図２のＰＤＰ２００に装着された排気カップ１０を示す図であり、（ａ）は排気カップ１０を上方から眺めた平面図であり、（ｂ）は図４（ａ）の線ＩＶ−ＩＶに沿う断面図である。
【００４６】
図４において、排気カップ１０は本体１００と本体１００の上に載置される蓋体１０１とから成る。
【００４７】
本体１００は、ＰＤＰ２００における背面板ガラス２０３の表面上に不図示のガスケットを介して装着される。このとき、本体１００のストッパ１０７は、背面板ガラス２０３の角部における周縁に係合することによって本体１００の角部１０３と背面板ガラス２０３の角部とを一致させて本体１００の背面板ガラス２０３に対する位置を定める。また、本排気部１０４は、接触面において角部１０３の近傍に配設されているので、背面板ガラス２０３の角部に配設された封止部３００を内包し、フィラメント１０８は、上述したように本排気部１０４において角部１０３の近傍に設けられているので、封止部３００のガラス管３０３の先端と対向する。さらに、本体１００を背面板ガラス２０３の表面上に載置する際、封止部３００のガラス管３０３の位置を開口した本排気部１０４から視認することができる。
【００４８】
上述したように、本体１００がＰＤＰ２００に装着されると、蓋体１０１が本体１００の上面である蓋体１０１との接触面に、不図示のアルミからなるガスケットを介して載置される。
【００４９】
蓋体１０１が本体１００上に載置されると、本排気部１０４の開口部は背面板ガラス２０３及び蓋体１０１によって塞がれて、本排気部１０４は密閉空間となる。
【００５０】
そして、差動排気部１０２は、差動排気系１０５を介して接続されたＲＰの作動により減圧されて、本体１００と背面板ガラス２０３とを吸着する吸着力を発生する一方、本排気部１０４は、本排気系１０６を介して接続されたＴＭＰの作動により減圧されて、本体１００と蓋体１０１とを吸着する吸着力を発生する。
【００５１】
次に、ＰＤＰ２００における減圧層２０２の減圧処理について説明する。
【００５２】
図５は、図２のＰＤＰ２００における減圧層２０２の減圧処理の工程図である。
【００５３】
図５において、まず、背面板ガラス２０３上にスパッタリングやスクリーン印刷によってアドレス電極２０８，誘電体ガラス層２０９，リブ２１１及び蛍光体２１２〜２１４を形成すると共に、その角部において封止部３００を形成する一方、前面板ガラス２０１上にスパッタリングによって表示電極２０５，誘電体ガラス層２０６及び誘電体保護層２０７を形成する。そして、前面板ガラス２０１と背面板ガラス２０３とを、誘電体保護層２０７とリブ２１１とが対向するようにペアリングし、ペアリングされた前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３の全周縁に低融点ガラスフリット５００を塗布すると共に、ガラス管３０３の周りに低融点ガラス３０４を塗布する（図５（ａ））。
【００５４】
次いで、本体１００を、ストッパ１０７が背面板ガラス２０３の角部の周縁に係合するように、封止部３００のガラス管３０３の位置を、開口した本排気部１０４を介して目認しながら背面板ガラス２０３上に装着する（図５（ｂ））。
【００５５】
さらに、背面板ガラス２０３上に装着された本体１００上に蓋体１０１を載置し、ＲＰを作動させて差動排気部１０２及び背面板ガラス２０３によって形成された密封空間の圧力を１０〜１０３Ｐａまで減圧し、本体１００を背面板ガラス２０３に吸着させる。このとき、本体１００の角部１０３と背面板ガラス２０３の角部とが一致し、封止部３００が本排気部１０４に内包され、フィラメント１０８が封止部３００のガラス管３０３の先端と対向するのは上述した通りである（図５（ｃ））。
【００５６】
その後、ペアリングされた前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３を、排気カップ１０が装着されたまま、不図示の炉の内部で焼成して低融点ガラスフリット５００及び低融点ガラス３０４を溶融させた後、当該ペアリングされた前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３を冷却して低融点ガラスフリット５００及び低融点ガラス３０４を凝固させることによって前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３を封着すると共に、ガラス管３０３を背面板ガラス２０３に接合する。これにより、前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３の間に減圧層２０２が形成されるが、上述した処理は大気中で実行されるので、減圧層２０２の圧力は大気圧である。
【００５７】
次いで、炉内の温度を一定時間維持することによって減圧層２０２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させる一方、ＴＭＰを稼働させて本排気部１０４を減圧して本体１００と蓋体１０１とを吸着させると共に、当該ガス及び空気を本排気系１０６及び本排気部１０４を介して減圧層２０２から除去することによって、減圧層２０２を減圧するベーキングを行う。そして、減圧層２０２の圧力が約１０−１〜１０−２Ｐａを下回ると、希ガスを本排気系１０６及び本排気部１０４を介して減圧層２０２へ充填し、減圧層２０２の圧力が約４０〜７０ｋＰａを上回ると、ＰＤＰ２００の冷却を開始すると共に、フィラメント１０８に通電して、これを発熱させる。これにより、フィラメント１０８が対向するガラス管３０３の先端を溶融させて減圧層２０２を封止する（図５（ｄ））。
【００５８】
その後、ＴＭＰの作動を停止して蓋体１０１を本体１００から離脱させ（図５（ｅ））、さらに、ＲＰの作動を停止して本体１００を封止部３００のガラス管３０３の位置を、開口した本排気部１０４を介して目認しながら背面板ガラス２０３から離脱させる（図５（ｆ））。
【００５９】
減圧層２０２の減圧処理において、ＲＰは、本体１００が背面板ガラス２０３に装着された後、常に作動し、差動排気部１０２及び背面板ガラス２０３から形成される減圧空間を減圧することによって本体１００を背面板ガラス２０３に吸着させる。
【００６０】
本発明の実施の形態に係る排気カップ１０によれば、背面板ガラス２０３に接触する本体１００と、本体１００と協働して本排気部１０４を形成する蓋体１０１とを備えるので、脱着時にガラス管３０３を目認することができると共に、本排気部１０４の形成において本体１０１を上下両面から加工することができ、もって脱着時におけるガラス管３０３の折損を防止することができると共に、本排気部１０４を所望の形状に加工することができる。
【００６１】
また、図６に示すように、排気カップ１０は、本体１００がガラス管３０３の先端部を溶融して封止する熱線を遮蔽する遮熱部６００を備えていてもよい。これにより、排気カップ１０を背面板ガラス２０３に装着するだけで、貫通孔３０２とガラス管３０３との隙間に充填された低融点ガラス３０４が加熱されるのを防止することができる。
【００６２】
また、上述した本実施の形態では、排気カップ１０はその形状が直方体状であるが、これに限定されるものではなく、例えば、他の矩形状や図８に示すような円形状であってもよい。
【００６３】
また、上述した本実施の形態では、差動排気部１０２が本体１００と背面板ガラス２０３との接触面のみに開口部を有するが、これに限定されるものではなく、図６に示すように、本体１００と蓋部１０１との接触面に開口部を有していてもよい。これにより、本体１００と蓋部１０１との密着度を向上させることができる。
【００６４】
また、上述した本実施の形態では、背面板ガラス２０３上に装着された本体１００上に蓋体１０１を載置する際に本体１００と蓋体１０１との間にガスケットを挟んだが、当該ガスケットは必ずしも挟み込まれる必要はない。
【００６５】
また、排気カップ１０が装着されるガラスパネルは、上述したＰＤＰ２００に限られず、減圧層２０２が真空にされた真空ガラスであってもよく、この他、建築物や乗り物（自動車、鉄道車両、船舶）用の窓ガラス、又は、冷蔵庫や保温装置等のような各種装置の扉や壁部等、種々の用途に使用されるガラスパネルであってもよい。
【００６６】
また、本実施の形態では、本体１００がフィラメント１０８を備えることとしたが、これに限定されるものではなく、蓋体１０１がフィラメント１０８を備えていてもよい。
【００６７】
また、ガラス管３０３に熱を与える熱源としては、フィラメント１０８だけでなく赤外線輻射ヒータ等を用いてもよい。
【００６８】
上述した本実施の形態では、封着部２０４を形成する材料として低融点ガラスフリット５００を使用する例を示したが、これに代えて、金属製の溶融ハンダを使用してもよい。
【００６９】
前面板ガラス２０１，背面板ガラス２０３に使用される板ガラスとしては、フロートガラスに限られるものではなく、ガラスパネルの用途や目的に応じて、例えば、型板ガラス、表面処理により光拡散機能を備えたすりガラス、網入りガラス、線入りガラス、強化ガラス、倍強度ガラス、低反射ガラス、高透過ガラス、セラミック印刷ガラス、熱線や紫外線吸収機能を備えた特殊ガラス、又は、これらの組み合わせ等、種々のガラスを適宜選択して使用することができる。
【００７０】
ガラスの組成についても、ソーダ珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ほう珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、各種結晶化ガラス等を使用することができ、前面板ガラス２０１，背面板ガラス２０３の厚みについても、適宜選択自由である。
【００７１】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、請求項１記載の減圧処理装置によれば、板ガラスに接触する本体と、該本体と協働して減圧室を形成する蓋体とを備えるので、脱着時に排気管を目認することができると共に、減圧室の形成において本体を両面から加工することができ、もって脱着時における排気管の折損を防止することができると共に、減圧室を所望の形状に加工することができる。
【００７２】
請求項２記載の減圧処理装置によれば、本体が排気管の端部を溶融して封止する熱線を遮蔽する遮熱部を備えるので、該減圧処理装置を板ガラス上に装着するだけで、排気孔と排気管との隙間に充填された充填剤が加熱されるのを防止することができる。
【００７３】
請求項３記載の減圧処理装置によれば、本体は減圧室の外側に設けられ且つ板ガラスに接触する接触面において開口する他の減圧室を備えるので、本体を板ガラスに吸着させることができる。
【００７４】
請求項４記載の減圧処理装置によれば、蓋体は本体と協働して他の減圧室を形成するので、本体と蓋体との密着度を向上させることができる。
【００７５】
請求項５記載の減圧処理装置によれば、本体と蓋体との間にガスケットが介挿されているので、本体と蓋体との密封度を向上させることができる。
【００７６】
請求項６記載の減圧処理装置によれば、本体及び蓋体は全金属製であるので、本体と蓋体との密着度をさらに向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る減圧処理装置の概略構成を示す図であり、（ａ）はガラスパネルの接触面から眺めた平面図であり、（ｂ）は図１（ａ）の線Ｉ−Ｉに沿う断面図である。
【図２】排気カップ１０が装着されるガラスパネルとしてのＰＤＰの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は部分断面図である。
【図３】図３は、図２（ａ）における背面板ガラス２０３の構造を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は図３（ａ）の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図である。
【図４】図２のＰＤＰ２００に装着された排気カップ１０を示す図であり、（ａ）は、排気カップ１０を上方から眺めた平面図であり、（ｂ）は図４（ａ）の線ＩＶ−ＩＶに沿う断面図である。
【図５】図２のＰＤＰ２００における減圧層２０２の減圧処理の工程図である。
【図６】図４の排気カップ１０の変形例の断面図である。
【図７】従来のガラスパネルの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は断面図である。
【図８】従来の排気カップの概略構成を示す図であり、（ａ）は断面図であり、（ｂ）はガラスパネルの接触面から眺めた平面図である。
【図９】ＰＤＰとして使用されるガラスパネルの概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０，８００ 排気カップ
１００ 本体
１０１ 蓋体
１０２，８０３ 差動排気部
１０４，８０１ 本排気部
１０７ ストッパ
１０８，８０５ フィラメント
２００ ＰＤＰ
２０３ 背面板ガラス
３００ 封止部
３０３ ガラス管
７００，７０１ 板ガラス
７０５ 排気管
７０６ ガラスパネル
Claims (6)
- 複数の板ガラス、該複数の板ガラスの間に設けられた減圧層、前記板ガラスの周縁部に配設されて前記減圧層と連通する排気孔、及び前記排気孔に挿入される排気管を有するガラスパネルの前記板ガラスに接触する接触面と、該接触面に開口し且つ前記排気管を内包する減圧室とを備える減圧処理装置において、
前記板ガラスに接触する本体と、該本体と協働して前記減圧室を形成する蓋体とを備えることを特徴とする減圧処理装置。 - 前記本体は前記排気管の端部を溶融して封止する熱線を遮蔽する遮熱部を備えることを特徴とする請求項１記載の減圧処理装置。
- 前記本体は前記減圧室の外側に設けられ且つ前記板ガラスに接触する接触面において開口する他の減圧室を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の減圧処理装置。
- 前記蓋体は前記本体と協働して前記他の減圧室を形成することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の減圧処理装置。
- 前記本体と前記蓋体との間にガスケットが介挿されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の減圧処理装置。
- 前記本体及び前記蓋体は全金属製であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の減圧処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003055923A JP2004265775A (ja) | 2003-03-03 | 2003-03-03 | 減圧処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP2004265775A true JP2004265775A (ja) | 2004-09-24 |
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| Country | Link |
|---|---|
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013508260A (ja) * | 2010-01-05 | 2013-03-07 | エルジー・ハウシス・リミテッド | ガラスパネルの排気口の形成方法及びこれを用いて製造したガラスパネル製品 |
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| US10697231B2 (en) | 2015-08-20 | 2020-06-30 | Vkr Holding A/S | Small diameter evacuation head for VIG unit manufacture |
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-
2003
- 2003-03-03 JP JP2003055923A patent/JP2004265775A/ja not_active Withdrawn
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|---|---|---|---|---|
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