JP2005231939A

JP2005231939A - ガラスパネルの減圧処理装置

Info

Publication number: JP2005231939A
Application number: JP2004042459A
Authority: JP
Inventors: Toru Futagami; 亨二神; Kotaro Yamamoto; 鋼太郎山本
Original assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Current assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date: 2004-02-19
Filing date: 2004-02-19
Publication date: 2005-09-02

Abstract

【課題】真空排気中のシールエッジからのガスリークを抑制することができ、真空引き時間を短縮させ、且つ、高真空度を長時間維持することができるガラスパネルの減圧処理装置を提供する。
【解決手段】排気カップ１は、円柱状の本体１００と、本体中央位置にあってＰＤＰ２００における背面板ガラス２０３への接触面にほぼその全面に亘って開口する本排気部１０４と、本排気部１０４の外周にあって背面板ガラス２０３への接触面にほぼその全面に亘って開口する差動排気部１０２とを備える。本排気部１０４のシールエッジ１０７ａと差動排気部１０２のシールエッジ１０７ｂは、表面粗さＲａが０．１μｍ未満である。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガラスパネルの減圧処理装置に関し、特に、複数の板ガラスと、該板ガラスの間に形成された減圧層とを有するガラスパネルの減圧処理装置に関する。

従来、真空ガラス、例えば「スペーシア」（登録商標）やプラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」という。）等に好適な基本構造を有するガラスパネルとして、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すような対向する２枚の板ガラス６００，６０１と、該板ガラス６００，６０１の間に形成される減圧層６０２と、該減圧層６０２の周縁をシールする低融点ガラスからなる周縁シール材６０３と、板ガラス６００を貫通する穴に一端が埋め込まれ、該一端側において低融点ガラスからなるシール材６０４によって板ガラス６００に溶着される排気管６０５とを備えるガラスパネル６０６が知られている。このガラスパネル６０６における減圧層６０２は、真空ガラスにおいては真空とされ、ＰＤＰにおいては減圧された後、キセノン（Ｘｅ）やネオン（Ｎｅ）等の希ガスが充填される。

そして、このガラスパネル６０６は、ペアリングされた板ガラス６００，６０１の周縁部に塗布された周縁シール材６０３と、板ガラス６００及び排気管６０５の接合部に塗布されたシール材６０４とを焼成によって溶融して板ガラス６００，６０１を接合し且つ排気管６０５を板ガラス６００に溶着した後、排気管６０５を介して減圧層６０２を減圧し、さらに排気管６０５の他端を封じ切ることによって作製される。

減圧層６０２の減圧の際には、排気管６０５の他端にニトリルゴム（ＮＢＲ）等からなるＯ−リング６０７を介して減圧管６０８が接続される。減圧管６０８は、一端において径が拡大されて形成されたゲッタ室６０９を有する円管であり、その他端は不図示のターボ分子ポンプ（以下「ＴＭＰ」という。）に接続され、ゲッタ室６０９内に非蒸発型ゲッタ６１０を有する（図６（ｂ））。そして、ガラスパネル６０６及び減圧管６０８を不図示の炉内において所定温度まで加熱して減圧層６０２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させると共に、非蒸発型ゲッタ６１０を活性化し、その後、ＴＭＰを稼働させて上記ガス及び空気を減圧層６０２から除去して減圧層６０２を減圧すると共に、活性化された非蒸発型ゲッタ６１０によって減圧管６０８を流れる上記ガスを吸着して除去するが、Ｏ−リング６０７は高温に耐えることができないため、非蒸発型ゲッタ６１０を高温で活性化することができず、減圧層６０２の減圧の効率低下を招くという問題があり、特に、この効率低下により、減圧層６０２の減圧は長時間となるため、ＰＤＰにおいては蛍光体膜の劣化等を招くという問題があった。

そして、近年、この長時間に亘る減圧層６０２の減圧を避けるため、Ｏ−リングの代わりに金属製のガスケットを使用した全金属製の排気装置が減圧層６０２の減圧に用いられるようになった。

この全金属製の排気装置である排気カップ７００は、図７（ａ）に示すように、ステンレス製の円柱部材から成り、その中心軸上に形成された円筒状の本排気部７０１と、該本排気部７０１と連通する金属製の本排気系７０２と、本排気部７０１を同心円的に包囲する環状溝状差動排気部７０３と、該差動排気部７０３と連通する金属製の差動排気系７０４と、本排気部７０１内に配設される横置きのコイル状のフィラメント７０５とを備える。図７（ｂ）に示すように、本排気部７０１が板ガラス６００に接触する部分（以下「シールエッジ」という。）は、本排気部７０１の外周縁を形成するシールエッジ７００ａと差動排気部７０３の外周縁を形成するシールエッジ７００ｂとから成り、シールエッジ７００ａ及びシールエッジ７００ｂの各下端面の平面度は可能な限りフラットとして大きな掻き傷の無いようにすることで、減圧層６０２の減圧の際において、排気カップ７００は、フィラメント７０５がガラスパネル６０６の排気管６０５に対向するように、板ガラス６００上に確実に装着される。このとき、差動排気部７０３は不図示のロータリーポンプ（以下「ＲＰ」という。）によって減圧されるので、排気カップ７００は板ガラス６００に吸着する（例えば、特許文献１参照）。

この排気カップ７００では、Ｏ−リングを使用しないため、非蒸発型ゲッタ６１０を高温で活性化することができ、減圧層７０２の減圧における効率を向上することができる。また、真空排気時に、ガラス自体を高温にすることができ、ガラスパネル内部表面からのガス脱離を促進させ、排気時間を短縮することができる。
特表２００２−５３０１８４号公報

しかしながら、上述した排気カップ７００は、シールエッジ７００ａ，７００ｂの平面度を高くして、減圧時の吸着度を高めても、０．１Ｐａ未満の圧力にまで減圧することができず、パネル内部の表面から発生するガスを排気するのに多大な時間を必要とした。

また、ディスプレイ用ガラスパネルにおいては、発光ガスを導入した場合に残留したガスが不純物となり、ガラスパネルの寿命を短縮させたり、発光特性を変化させたりしていた。

さらに、真空ガラスにおいては、内部との連通部を封止するために必要な真空度が十分に得られず、少し内部からガス脱離が生じると断熱性能が劣化するという問題が生じる。

本発明の目的は、真空排気中のシールエッジからのガスリークを抑制することができ、真空引き時間を短縮させ、且つ、高真空度を長時間維持することができるガラスパネルの減圧処理装置を提供することにある。

請求項１記載の減圧処理装置は、複数の板ガラス、該複数の板ガラスの間に設けられた減圧層、及び前記板ガラスの周縁部に配設されて前記減圧層と連通する排気孔を有するガラスパネルの前記板ガラスに接触するように構成された減圧処理装置であって、前記板ガラスとの接触面に開口し且つ前記排気孔と対向する減圧室と、前記板ガラスとの接触面に開口し且つ前記減圧室を包囲する環状の差動排気部とを備えるガラスパネルの減圧処理装置において、前記減圧室の外周縁を形成する第１のシールエッジ及び前記差動排気部の外周縁を形成する第２のシールエッジは、表面粗さＲａが０．１μｍ未満であることを特徴とする。

請求項２記載の減圧処理装置は、請求項１記載の減圧処理装置において、前記表面粗さＲａは０．０１μｍ未満であることを特徴とする。

請求項１記載の減圧処理装置によれば、減圧室の外周縁を形成する第１のシールエッジ及び差動排気部の外周縁を形成する第２のシールエッジは、表面粗さＲａが０．１μｍ未満であるので、真空排気中のシールエッジからのガスリークを抑制することができ、真空引き時間を短縮させ、且つ、高真空度を長時間維持することができる。

請求項２記載の減圧処理装置によれば、上記表面粗さＲａは０．０１μｍ未満であるので、真空排気中のシールエッジからのガスリークを確実に抑制することができる。

本発明者等は、上記目的を達成すべく鋭意研究を行った結果、減圧室の外周縁を形成する第１のシールエッジ及び差動排気部の外周縁を形成する第２のシールエッジは、表面粗さＲａが０．１μｍ未満であると、真空排気中のシールエッジからのガスリークを抑制することができ、真空引き時間を短縮させ、且つ、高真空度を長時間維持することができることを見出した。

本発明は、上記知見に基づいてなされたものである。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。

図１は、本発明の実施の形態に係る減圧処理装置の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、線Ｉｂ−Ｉｂに沿う断面図である。

図１において、減圧処理装置としての排気カップ１は、円柱状の本体１００と、本体１００の中央位置において、ガラスパネルとしてのＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）２００における背面板ガラス２０３への接触面にほぼその全面に亘って開口する円筒状の本排気部１０４と、本排気部１０４を同心円的に包囲すると共に上述の背面板ガラス２０３への接触面にほぼその全面に亘って開口する環状溝状差動排気部１０２と、差動排気部１０２と連通する管状の差動排気系１０５と、本排気部１０４と連通する管状の本排気系１０６と、本排気部１０４内に配設される横置きのコイル状のフィラメント１０８とを備える。

本排気部１０４の外周縁を形成する部分（以下「シールエッジ」という。）１０７ａと差動排気部１０２の外周縁を形成する部分（以下「シールエッジ」という。）１０７ｂは、その夫々の幅が０．５ｍｍ〜２．０ｍｍの範囲、例えば１．０ｍｍで、その表面粗さＲａは０．１μｍ未満、好ましくは０．０１μｍ未満である。

差動排気系１０５は不図示のＲＰ（ロータリーポンプ）に接続される一方、本排気系１０６は不図示のＴＭＰ（ターボ分子ポンプ）に接続され、差動排気系１０５及び本排気系１０６は、排気カップ１がＰＤＰ２００に装着された際に、ＲＰ及びＴＭＰの作動によって減圧される。

本排気部１０４内に配設されたフィラメント１０８は、図１（ａ）において本排気部１０４のほぼ中央に設けられ、接触面からの高さは約５ｍｍである。

ここで、排気カップ１の材質はステンレスであであるが、０〜５００℃の間において背面板ガラス２０３の膨張係数（８．５×１０^−６／℃）と排気カップ１の膨張係数との差の絶対値が２０×１０^−６／℃以下であり、且つ高温時の耐酸化性に優れていれば、これに限定されない。また、本排気系１０６及び差動排気系１０５の材質は金属であり、排気カップ１と同様の材質を用いることが好ましい。また、カップ本体の形状は、円柱状に限定されず、例えば楕円形状や四角形状などでもよい。

また、本実施の形態に係る本排気部は、排気カップ７００の略中央付近に取り付けられたものに限定されるわけでわく、中央からずれた位置に取り付けた「偏芯型」のものであってもよい。

さらに、シールエッジ１０７ａ，１０７ｂとＰＤＰ２００の間に不図示の金属製のガスケットを配してもよい。これにより、排気をより効率的に行うことができる。

次に、排気カップ１が装着されるＰＤＰ２００について図面を参照しながら説明する。

図２は、図１におけるＰＤＰ２００の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は部分断面図である。

図２において、ＰＤＰ２００は、厚さが、例えば２．８ｍｍの前面板ガラス２０１と、前面板ガラス２０１との間に減圧層２０２を形成すべく前面板ガラス２０１から、例えば０．１ｍｍの間隔を隔てて配設され、厚さが、例えば２．８ｍｍの背面板ガラス２０３とから成り、前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３は、その外周縁において低融点ガラスフリットからなる封着部２０４により封着される。

前面板ガラス２０１の内面上には、透明電極２０５ａ及び金属電極２０５ｂとから成る表示電極２０５がパターン形成され、該表示電極２０５を覆うように誘電体ガラス層２０６が積層され、誘電体ガラス層２０６上には、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）製誘電体保護層２０７が積層されている。

また、背面板ガラス２０３の内面上には、蛍光体２１２〜２１４の発光を制御するアドレス電極２０８が所定のピッチでスパッタリングやスクリーン印刷によってパターン形成され、該アドレス電極２０８を覆うように誘電体ガラス層２０９が同じくスパッタリングやスクリーン印刷によって積層され、該誘電体ガラス層２０９上には、複数のチャンネル状放電空間２１０を画成する複数のガラス製リブ２１１がサンドブラスト法やブレード成型法によってパターン成形され、各放電空間２１０におけるリブ２１１の表面には、カラー表示をすべく赤色（Ｒ）の蛍光体２１２、緑色（Ｇ）の蛍光体２１３、及び青色（Ｂ）の蛍光体２１４が順に連続して塗布されている。

リブ２１１は、その高さが、例えば０．１ｍｍであり、前面板ガラス２０１と背面板ガラス２０３との間隔を約０．１ｍｍに保持する。また、放電空間２１０には、希ガスが封入されている。希ガスは、例えばネオン（Ｎｅ）とキセノン（Ｘｅ）を組成とする混合ガス系が用いられており、その封入圧力は約４０〜７０ｋＰａの範囲に設定される。

そして、蛍光体２１２〜２１４は、放電空間２１０への放電によって発生する波長の短い紫外線により励起発光する。

図３は、図２における背面板ガラス２０３の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は、斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）の線IIIｂ−IIIｂに沿う断面図である。

図３（ａ）及び図３（ｂ）において、背面板ガラス２０３は、減圧層２０２に希ガスを封入する封止部３００を有する。この封止部３００は、図２（ｂ）におけるリブ２１１が形成されるリブ形成範囲３０１の外側且つ封着部２０４の内側に形成された内径２ｍｍの貫通孔３０２と、貫通孔３０２に内嵌された外径２ｍｍのガラス管３０３と、ガラス管３０３と背面板ガラス２０３とを接合する低融点ガラス３０４とからなる。このとき、貫通孔３０２はリブ形成範囲３０１の外側且つ封着部２０４の内側に形成されるので、封止部３００は背面板ガラス２０３の角部近傍に配設される。また、ガラス管３０３は、後述する減圧層２０２の減圧処理においてフィラメント１０８から加熱されることによってその先端が溶融されて封止される。

次に、排気カップ１のよるＰＤＰ２００における減圧層２０２の真空排気処理について説明する。

図４は、図１における排気カップ１により実行されるＰＤＰ２００の減圧層２０２の真空排気処理の工程図である。

図４において、まず、図２の前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３の全周縁に低融点ガラスフリット５００を塗布すると共に、ガラス管３０３の周りに低融点ガラス３０４を塗布する（図４（ａ））。

次いで、排気カップ１を、その本排気部１０４の中央に封止部３００のガラス管３０３があるように、またそのシールエッジ１０７ａ，１０７ｂが背面板ガラス２０３の上に配設されるようにＰＤＰ２００に装着する。このシールエッジ１０７ａ，１０７ｂの表面粗さＲａは図１で上述した通りである。

そして、差動排気系１０５と接続するＲＰを作動させて差動排気部１０２及び背面板ガラス２０３によって形成された密封空間の圧力を１０〜１０^３Ｐａまで減圧し、排気カップ１を背面板ガラス２０３に吸着させる。このとき、フィラメント１０８が封止部３００のガラス管３０３の先端と対峙するのは上述した通りである（図４（ｂ））。

その後、排気カップ１が装着されたまま、ＰＤＰ２００を不図示の炉の内部で焼成して低融点ガラスフリット５００及び低融点ガラス３０４を溶融させた後、ＰＤＰ２００を冷却して低融点ガラスフリット５００及び低融点ガラス３０４を凝固させることによって前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３を封着すると共に、ガラス管３０３を背面板ガラス２０３に接合する（図４（ｃ））。これにより、前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３の間に減圧層２０２が形成されるが、上述した処理は大気中で実行されるので、減圧層２０２の圧力は大気圧である。

次いで、炉内の温度を一定時間維持することによってＰＤＰ２００内の減圧層２０２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させると共に、本排気系１０６と接続するＴＭＰを稼働させて当該ガス及び空気を本排気系１０６及び本排気部１０４を介して減圧層２０２から除去することによって減圧層２０２を減圧するベーキングを行い、減圧層２０２の圧力が１０^−１Ｐａを下回ると、希ガスを本排気系１０６及び本排気部１０４を介して減圧層２０２へ充填し、減圧層２０２の圧力が約４０〜７０ｋＰａを上回ると、ＰＤＰ２００の冷却を開始すると共に、フィラメント１０８に通電して、これを発熱させる。これにより、フィラメント１０８が対向するガラス管３０３の先端を溶融させて減圧層２０２を封止する（図４（ｄ））。

その後、ＲＰの作動を停止して排気カップ１を背面板ガラス２０３から離脱させる。

減圧層２０２の減圧処理において、ＲＰは、排気カップ１が背面板ガラス２０３に装着された後、常に作動し、差動排気部１０２及び背面板ガラス２０３から形成される減圧空間を減圧することによって排気カップ１を背面板ガラス２０３に吸着させるだけでなく、外乱により排気カップ１と背面板ガラス２０３とが口開いた際に、差動排気部１０２へ侵入した空気を排出することによって本排気部１０４への空気の侵入を防止する。

本処理によれば、表面粗さＲａが０．１μｍ未満であるシールエッジ１０７ａ，１０７ｂが背面板ガラス２０３の上に配設されるようにＰＤＰ２００に装着するので、シールエッジ１０７ａ，１０７ｂからのガスリークを抑制することができ、真空引き時間を短縮させ、且つ、高真空度を長時間維持することができる。

上述したＰＤＰ２００では、封止部３００が背面板ガラス２０３の角部近傍に配設されたが、減圧層２０２の減圧効率向上のため、封止部３００が背面板ガラス２０３の角部以外の周縁部において複数箇所設けられるようにしてもよい。

また、排気カップ１が装着されるガラスパネルは、上述したＰＤＰ２００に限られず、減圧層２０２が真空にされた真空ガラスであってもよく、この他、建築物や乗り物（自動車、鉄道車両、船舶）用の窓ガラス、又は、冷蔵庫や保温装置等のような各種装置の扉や壁部等、種々の用途に使用されるガラスパネルであってもよい。

また、ガラス管３０３に熱を与える熱源としては、フィラメント１０８だけでなく赤外線輻射ヒータ等を用いてもよい。

上述した本実施の形態では、封着部２０４を形成する材料として低融点ガラスフリット５００を使用する例を示したが、これに代えて、金属製の溶融ハンダを使用してもよい。

前面板ガラス２０１，背面板ガラス２０３に使用される板ガラスとしては、フロートガラスに限られるものではなく、ガラスパネルの用途や目的に応じて、例えば、型板ガラス、表面処理により光拡散機能を備えたすりガラス、網入りガラス、線入りガラス、強化ガラス、倍強度ガラス、低反射ガラス、高透過ガラス、セラミック印刷ガラス、熱線や紫外線吸収機能を備えた特殊ガラス、又は、これらの組み合わせ等、種々のガラスを適宜選択して使用することができる。

ガラスの組成についても、ソーダ珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ほう珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、各種結晶化ガラス等を使用することができ、前面板ガラス２０１，背面板ガラス２０３の厚みについても、適宜選択自由である。

次に、本発明の実施例について説明する。
（実施例１）
円柱状の本体と、本体中央位置にあってＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）の背面板ガラスへの接触面にほぼその全面に亘って開口する本排気部と、本排気部の外周にあって上述の背面板ガラスへの接触面にほぼその全面に亘って開口する差動排気部と、差動排気部と連通する管状の差動排気系と、本排気部と連通する管状の本排気系と、本排気部内に配設される横置きのコイル状のフィラメントとを備えるサンプルを準備する。

ここで、本排気部及び差動排気部の外周を画するシールエッジについて以下の１次研磨と２次研磨を施し、表面粗さが０．００７μｍとしたものを実施例１のサンプルとした。
１）１次研磨
８ｍｍｔフロートガラスを定盤として、ＦＯ＃２０００（平均粒径６．３±０．５μｍのアルミナを５０％含む研磨剤）を水で溶いたものを研磨液としてシールエッジ表面の研磨を行った。
２）２次研磨
１次研磨で使用したフロートガラスに水をつけたものを用いて１次研磨後のシールエッジ表面の研磨を行った。

また、サンプルが配される背面ガラスの角部には封止部が設けられており、サンプルの本排気部の中央に封止部のガラス管があるように、またサンプルのシールエッジが背面板ガラスの上に配設されるようにサンプルをＰＤＰに装着する。

その後、ＰＤＰにサンプルを装着した状態で、ＰＤＰの前面板ガラス及び背面板ガラスの全周縁に低融点ガラスフリットを塗布すると共に、上述のガラス管の周りに低融点ガラスを塗布する。

次に差動排気系と接続するＲＰを作動させて差動排気部及び背面板ガラスによって形成された密封空間の圧力を１０〜１０^３Ｐａまで減圧し、サンプルを背面板ガラスに吸着させる。

その後、サンプルが装着されたまま、ＰＤＰを不図示の炉の内部で焼成して低融点ガラスフリット及び低融点ガラスを溶融させた後、ＰＤＰを冷却して低融点ガラスフリット及び低融点ガラスを凝固させることによって前面板ガラス及び背面板ガラスを封着すると共に、上述のガラス管を背面板ガラスに接合する。

次いで、炉内の温度を一定時間維持することによってＰＤＰ内の減圧層に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させると共に、本排気系と接続するＴＭＰを稼働させて当該ガス及び空気を減圧層から除去する。

この除去処理における、減圧層の圧力の時間経過を図５に示す。

（実施例２）
シールエッジ表面について１次研磨のみを施し、その面粗さを０．０７μｍとするが、それ以外の構成は実施例１と同一のサンプルを実施例２のサンプルとして実施例１と同様の除去処理を実行したときの減圧層の圧力の時間経過を図５に示す。

（比較例１）
シールエッジ表面を全く研磨しないが（面粗さ：２μｍ）、それ以外の構成は実施例１と同一のサンプルを比較例１のサンプルとして実施例１と同様の除去処理を実行したときの減圧層の圧力の時間経過を図５に示す。

以上、実施例１，２及び比較例１の除去処理の結果を表１に示す。

表１の真空引き能力においては、除去処理を開始してから２０分後の本排気部の圧力が０．０５Ｐａ以下であったサンプルを◎とし、０．１Ｐａ以下であったサンプルを○とし、０．１Ｐａより大きかったサンプルを×とした。

表１に示すように、比較例１の真空引き能力が十分でないことがわかり、その一方、実施例１が大変良好な真空引き能力を、実施例２は良好な真空引き能力を有することがわかった。

また定量的には、シールエッジの表面粗さＲａが０．１μｍ未満、好ましくは０．０１μｍであるとき、真空引き能力が良好であるということがわかった。

これは、シールエッジの表面粗さの値が大きくなる程、真空排気中のシールエッジからのガスリークが大きくなるためであると考えられる。

本発明の実施の形態に係る減圧処理装置の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、線Ｉｂ−Ｉｂに沿う断面図である。図１におけるＰＤＰ２００の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は部分断面図である。図２における背面板ガラス２０３の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は、斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）の線IIIｂ−IIIｂに沿う断面図である。図１における排気カップ１により実行される真空排気処理におけるＰＤＰ２００の減圧層２０２の真空排気処理の工程図である。実施例１，２及び比較例１のサンプルにより実行される除去処理におけるＰＤＰの減圧層の圧力の時間経過を示すグラフである。従来のガラスパネルの構成を概略的に示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は断面図である。従来の排気カップの構成を概略的に示す図であり、（ａ）は断面図であり、（ｂ）は平面図である。

符号の説明

１排気カップ
１０２差動排気部
１０４本排気部
１０７ａ，１０７ｂシールエッジ
１０８フィラメント
２００ＰＤＰ
２０２減圧層
２０３背面板ガラス
３００封止部
３０３ガラス管

Claims

複数の板ガラス、該複数の板ガラスの間に設けられた減圧層、及び前記板ガラスの周縁部に配設されて前記減圧層と連通する排気孔を有するガラスパネルの前記板ガラスに接触するように構成された減圧処理装置であって、前記板ガラスとの接触面に開口し且つ前記排気孔と対向する減圧室と、前記板ガラスとの接触面に開口し且つ前記減圧室を包囲する環状の差動排気部とを備えるガラスパネルの減圧処理装置において、
前記減圧室の外周縁を形成する第１のシールエッジ及び前記差動排気部の外周縁を形成する第２のシールエッジは、表面粗さＲａが０．１μｍ未満であることを特徴とする減圧処理装置。
前記表面粗さＲａは０．０１μｍ未満であることを特徴とする請求項１記載の減圧処理装置。