JP2018060970A

JP2018060970A - シート繰出装置および繰出方法

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Publication number: JP2018060970A
Application number: JP2016199295A
Authority: JP
Inventors: 孝之丸山; Takayuki Maruyama
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2016-10-07
Filing date: 2016-10-07
Publication date: 2018-04-12

Abstract

【課題】ガイド部材に対してシートが誤った方向に掛け回されることを防止することができるシート繰出装置および繰出方法を提供すること。
【解決手段】シート繰出装置２０は、帯状のシートＲＳを支持する支持手段２１と、シートＲＳが掛け回され、当該シートＲＳを案内するガイド部材２２、２３、２４、２６、２７と、シートＲＳに繰出力を付与する駆動機器２５と、ガイド部材２２、２３、２４、２６、２７に対する所望の方向からシートＲＳを検知することで、当該ガイド部材２２、２３、２４、２６、２７に対してシートＲＳが所定の方向に掛け回されていることを判別する判別手段２８Ａ〜２８Ｅとを備え、判別手段２８Ａ〜２８Ｅは、シートＲＳを検知すると所定の信号を外部に出力可能に構成され、判別手段２９Ａ〜２９Ｅが出力する所定の信号を受けて所定のシグナルを出力する出力手段２９Ａ〜２９Ｅを備えていることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、シート繰出装置および繰出方法に関する。

従来、装置内にセットした帯状のシートをガイド部材で案内しつつ、当該シートを繰り出すシート繰出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００５−１５９０４４号公報

特許文献１に記載されたような従来のシート繰出装置では、ローラ（ガイド部材）に対してシートが誤った方向に掛け回されてしまうという不都合がある。

本発明の目的は、ガイド部材に対してシートが誤った方向に掛け回されることを防止することができるシート繰出装置および繰出方法を提供することにある。

本発明のシート繰出装置は、帯状のシートを支持する支持手段と、前記シートが掛け回され、当該シートを案内するガイド部材と、前記シートに繰出力を付与する駆動機器と、前記ガイド部材に対する所望の方向から前記シートを検知することで、当該ガイド部材に対して前記シートが所定の方向に掛け回されていることを判別する判別手段とを備え、前記判別手段は、前記シートを検知すると所定の信号を外部に出力可能に構成され、前記判別手段が出力する所定の信号を受けて所定のシグナルを出力する出力手段を備えていることを特徴とする。

本発明のシート繰出装置において、前記出力手段は、前記ガイド部材に支持されていることが好ましい。
本発明のシート繰出装置において、前記出力手段は、次に前記シートを掛け回すガイド部材を知らせるように前記所定のシグナルを出力することが好ましい。

本発明のシート繰出方法は、帯状のシートを支持する支持工程と、前記シートをガイド部材に掛け回し、当該シートを案内するガイド工程と、前記シートに繰出力を付与する駆動工程と、前記シートに対する所望の方向から前記シートを検知することで、当該ガイド部材に対して前記シートが所定の方向に掛け回されていることを判別する判別工程と、前記判別工程で前記シートを検知すると所定のシグナルを出力する出力工程とを備えていることを特徴とする。

請求項１または４に係る発明によれば、ガイド部材に対してシートが所定の方向に掛け回されていることを判別し、その判別結果を所定のシグナルとして出力するため、ガイド部材に対してシートが誤った方向に掛け回されることを防止することができる。
請求項２に係る発明によれば、装置を簡素化することができる。
請求項３に係る発明によれば、ガイド部材に対してシートが誤った方向に掛け回されることをより効果的に防止することができる。

本発明の一実施形態に係るシート繰出装置を示す側面図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１において、処理装置としてのシート貼付装置１０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された帯状のシートとしての原反ＲＳを繰り出すシート繰出装置２０と、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３０と、ウエハＷＦを支持して搬送するウエハ搬送手段４０とを備えている。

シート繰出装置２０は、原反ＲＳを支持する支持手段２１と、原反ＲＳが掛け回され、当該原反ＲＳを案内するガイド部材としてのガイドローラ２２、２３と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段であってガイド部材としての剥離板２４と、原反ＲＳに繰出力を付与する駆動機器としての回動モータ２５によって駆動されるガイド部材としての駆動ローラ２６と、駆動ローラ２６とで剥離シートＲＬを挟み込むガイド部材としてのピンチローラ２７と、各ローラ２２、２３、２６、２７および剥離板２４に対する所望の方向から原反ＲＳを検知することで、各ローラ２２、２３、２６、２７および剥離板２４に対して原反ＲＳが所定の方向に掛け回されていることを判別する判別手段２８Ａ〜２８Ｅと、各判別手段２８Ａ〜２８Ｅが出力する所定の信号を受けてそれぞれ所定のシグナルとしての光を出力、つまり光を点灯する出力手段２９Ａ〜２９Ｅとを備えている。

支持手段２１は、原反ＲＳを支持する第１支持手段としての支持ローラ２１Ａと、剥離シートＲＬを支持する第２支持手段としての回収ローラ２１Ｂとを備えている。
判別手段２８Ａ〜２８Ｅは、カメラや顕微鏡等の撮像手段や、光学センサや近接センサ等のセンサ等が例示でき、原反ＲＳを検知すると電気信号や電波信号等の所定の信号を外部に出力可能に構成されている。なお、判別手段２８Ａは、ガイドローラ２２に対して時計の時刻でいう１０時の方向から原反ＲＳを検知するようになっており、判別手段２８Ｂは、ガイドローラ２３に対して時計の時刻でいう４時の方向から、判別手段２８Ｃは、剥離板２４の左端部に対して時計の時刻でいう１２時の方向から、判別手段２８Ｄは、駆動ローラ２６に対して時計の時刻でいう５時の方向から、判別手段２８Ｅは、ピンチローラ２７に対して時計の時刻でいう１２時の方向から、それぞれ原反ＲＳを検知するようになっている。これにより、各判別手段２８Ａ〜２８Ｅは、各ローラ２２、２３、２６、２７および剥離板２４に対して原反ＲＳが所定の方向である図１中実線で示す方向に掛け回されていることを判別するようになっている。

出力手段２９Ａ、２９Ｂ、２９Ｄ、２９Ｅは、図１の符号ＡＡの図に示すように、各ローラ２２、２３、２６、２７の前面に支持され、出力手段２９Ｃは、図１の符号ＢＢの図に示すように、剥離板２４の右端部前面に支持されている。各出力手段２９Ａ〜２９Ｅは、各判別手段２８Ａ〜２８Ｅが出力する所定の信号を受け、それぞれ光を点灯する電灯やＬＥＤ等で構成されている。なお、判別手段２８Ａが出力する所定の信号は、出力手段２９Ａが受け、その他の判別手段および出力手段も、それぞれの末尾のアルファベット表記が同じもの同士が対応関係にあって、所定の信号の出力と受信とを行って各出力手段２９Ａ〜２９Ｅがそれぞれ光を点灯するようになっている。

ウエハ搬送手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、リニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面４２Ａを有するテーブル４２とを備えている。

以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順について説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示す状態のシート貼付装置１０に対し、当該シート貼付装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が支持ローラ２１Ａに支持された原反ＲＳを各ローラ２２、２３、２６、２７および剥離板２４に掛け回し、当該原反ＲＳの先端を回収ローラ２１Ｂに固定する。この際、出力手段２９Ａ〜２９Ｅは、次に原反ＲＳを掛け回すガイド部材を知らせるように光を出力する。すなわち、原反ＲＳを支持ローラ２１Ａに支持させると、当該原反ＲＳがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知され、出力手段２９Ａが光を点滅させる。これにより、使用者は、次に原反ＲＳを掛け回すガイド部材がガイドローラ２２であることを認識することができる。次いで、使用者がガイドローラ２２に対して図１中実線で示すように正しく原反ＲＳを掛け回すと、判別手段２８Ａが当該原反ＲＳを検知して所定の信号を出力し、出力手段２９Ａが光を点灯するとともに、その次に原反ＲＳを掛け回すガイド部材がガイドローラ２３であることを知らせるように、出力手段２９Ｂが光を点滅させる。このように、次に原反ＲＳを掛け回すガイド部材に対応する出力手段が光を点滅させ、ガイド部材に正しく原反ＲＳが掛け回されると出力手段が光を点灯させれば、使用者がガイド部材に対して誤った方向に原反ＲＳを掛け回すことを効果的に防止することができる。その後、他のローラ２３、２６、２７および剥離板２４に対して同様の判別が行われ、各ローラ２２、２３、２６、２７および剥離板２４に対して原反ＲＳが図１中実線で示す方向に正しく掛け回されると、各出力手段２９Ａ〜２９Ｅ全てが点灯することとなる。これに対し、例えば、各ローラ２２、２３、２６、２７および剥離板２４に対して図１中二点鎖線で示すように誤った方向に原反ＲＳが掛け回されると、判別手段２８Ａ〜２８Ｅのうち少なくとも１つが原反ＲＳを検知しなくなり、各出力手段２９Ａ〜２９Ｅのうち少なくとも１つが点灯しないこととなる。各出力手段２９Ａ〜２９Ｅのうち１つでも点灯しない場合、使用者は、各出力手段２９Ａ〜２９Ｅ全てが点灯するように各ローラ２２、２３、２６、２７および剥離板２４に対して原反ＲＳを掛け回し直せばよい。これにより、使用者は、原反ＲＳが各ローラ２２、２３、２６、２７および剥離板２４に対して原反ＲＳが正しくセットされたか否かを認識することができる。

使用者が原反ＲＳを図１中実線で示すようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力すると、シート繰出装置２０が回動モータ２５を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、先頭の接着シートＡＳが剥離板２４で所定長さ剥離されたことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、シート繰出装置２０が回動モータ２５の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

次に、人手または多関節ロボット等の図示しない搬送手段により、図１中実線で示すように、テーブル４２上にウエハＷＦを載置すると、ウエハ搬送手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、当該ウエハＷＦを支持面４２Ａで吸着保持した後、リニアモータ４１を駆動し、テーブル４２を左方に移動させる。そして、ウエハＷＦが所定の位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、シート繰出装置２０が回動モータ２５を駆動し、テーブル４２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離板２４で剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ３０によって図１中二点鎖線で示すようにウエハＷＦに押圧されて貼付される。

ウエハＷＦへの接着シートＡＳの貼付が完了すると、シート繰出装置２０が回動モータ２５の駆動を停止するとともに、ウエハ搬送手段４０がリニアモータ４１および図示しない減圧手段の駆動を停止する。そして、人手または図示しない搬送手段がウエハＷＦを次工程に搬送すると、ウエハ搬送手段４０がリニアモータ４１を駆動し、テーブル４２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、各ローラ２２、２３、２６、２７および剥離板２４に対して原反ＲＳが所定の方向に掛け回されていることを判別し、その判別結果を光にして点灯するため、各ローラ２２、２３、２６、２７および剥離板２４に対して原反ＲＳが誤った方向に掛け回されることを防止することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、シート繰出装置２０は、帯状の接着シートが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反や、剥離シートＲＬに仮着されていない帯状の接着シートからなる原反を繰り出しても良く、これらの原反が採用された場合、切断手段で帯状の接着シートを所定形状に切断して接着シートＡＳを形成してもよい。
第１支持手段は、巻き回した原反ＲＳを複数のローラ上に支持するものでもよいし、原反ＲＳを箱や袋等に収容して支持するものでもよいし、テーブル等に原反ＲＳを折り重ねて支持するものでもよい。
第２支持手段は、剥離シートＲＬを箱や袋等に収容して支持するものでもよいし、なくてもよい。
ガイド部材は、回転不能に設けられたものでもよいし、円柱形状に限らず、多角形状を有してもよいし、透明または半透明な部材で形成し、その内部に出力手段を配置してもよい。
判別手段２８Ａ〜２８Ｄは、ガイド部材に対して原反ＲＳが所定の方向に掛け回されていることを判別可能な位置であれば、時計の時刻でいう何時の方向から原反ＲＳを検知してもよく、各ローラ２２、２３、２６、２７や剥離板２４を複数のローラや剥離板に分割し、判別手段２８Ａ〜２８Ｅを分割したローラや剥離板間に設けたり、各ローラ２２、２３、２６、２７や剥離板２４の前側端部近傍や後側端部近傍に設けたりしてもよい。
出力手段は、使用者が原反ＲＳをセットする前に全てが光を点灯しておくようにしておき、判別手段２８Ａ〜２８Ｅによって原反ＲＳが検知されると、対応する出力手段が光を消灯するようにしてもよいし、ガイドローラ２２に対して正しく原反ＲＳが掛け回されていないと、光を点滅させて原反ＲＳが正しく掛け回されていないことを知らせてもよいし、複数の色に光を点灯可能な機器を用いて色の違いで判別結果を出力してもよいし、次に原反ＲＳを掛け回すガイド部材に対応する出力手段が例えば赤い光（何色の光でもよい）を点灯させ、ガイド部材に正しく原反ＲＳが掛け回されると出力手段が例えば青い光（先に点灯していた色の光以外であれば何色の光でもよい）を点灯させるといったように、異なる色の光で次に原反ＲＳを掛け回すガイド部材を知らせるようにしてもよいし、判別手段２８Ａ〜２８Ｅの所定の信号を受けて所定のシグナルとしての文字や記号または音を出力するものでもよいし、ガイド部材内に設けてもよいし、ガイド部材から離れた位置に設けてもよいし、ガイド部材に複数設けてもよい。

ウエハ搬送手段４０は、テーブル４２の位置を固定しておきまたは、テーブル４２を移動させつつ押圧ローラ３０を移動させて接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付してもよいし、シート貼付装置１０に対して他の装置でウエハＷＦを移動させる場合、なくてもよい。

シートは、帯状の剥離シートＲＬに所定の間隔で複数の接着シートが仮着された接着シート原反、基材と接着剤層とからなる帯状の接着シート、単層または複層の紙の他、布、鋼板、樹脂板等であってもよく、何ら限定されるものではない。
処理装置は、例えば、原反ＲＳを巻き取る巻取装置、原反ＲＳを検査する検査装置、原反ＲＳを所定の長さに切断する切断装置、原反ＲＳを使用して接着シートＡＳとしての保護シートをウエハＷＦから剥離する剥離装置等、何ら限定されるものではない。

また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、帯状のシートを支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッター、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。

２０シート繰出装置
２１支持手段
２２、２３ガイドローラ（ガイド部材）
２４剥離板（ガイド部材）
２５回動モータ（駆動機器）
２６駆動ローラ（ガイド部材）
２７ピンチローラ（ガイド部材）
２８Ａ〜２８Ｅ判別手段
２９Ａ〜２９Ｅ出力手段
ＲＳ原反（シート）

Claims

帯状のシートを支持する支持手段と、
前記シートが掛け回され、当該シートを案内するガイド部材と、
前記シートに繰出力を付与する駆動機器と、
前記ガイド部材に対する所望の方向から前記シートを検知することで、当該ガイド部材に対して前記シートが所定の方向に掛け回されていることを判別する判別手段とを備え、
前記判別手段は、前記シートを検知すると所定の信号を外部に出力可能に構成され、
前記判別手段が出力する所定の信号を受けて所定のシグナルを出力する出力手段を備えていることを特徴とするシート繰出装置。
前記出力手段は、前記ガイド部材に支持されていることを特徴とする請求項１に記載のシート繰出装置。
前記出力手段は、次に前記シートを掛け回すガイド部材を知らせるように前記所定のシグナルを出力することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート繰出装置。
帯状のシートを支持する支持工程と、
前記シートをガイド部材に掛け回し、当該シートを案内するガイド工程と、
前記シートに繰出力を付与する駆動工程と、
前記シートに対する所望の方向から前記シートを検知することで、当該ガイド部材に対して前記シートが所定の方向に掛け回されていることを判別する判別工程と、
前記判別工程で前記シートを検知すると所定のシグナルを出力する出力工程とを備えていることを特徴とするシート繰出方法。