JP2018031755A - 三次元測定装置及び座標補正方法 - Google Patents
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Abstract
Description
110…操作手段
111…ジョイスティック
120…入力手段
130…出力手段
200…三次元測定装置本体
210…定盤
220…駆動機構
221…ビーム支持体
222…ビーム
223…コラム
224…スピンドル
225…X軸駆動機構
226…Y軸駆動機構
227…Z軸駆動機構
228…X軸スケールセンサ
229…Y軸スケールセンサ
230…Z軸スケールセンサ
240…校正基準体
300…測定プローブ
302…プローブ本体
304…スタイラス
306…測定子
310…プローブセンサ
312…X軸プローブセンサ
314…Y軸プローブセンサ
316…Z軸プローブセンサ
400…処理装置
402…指令部
404…駆動機構制御部
404A…押込駆動機構制御部
404B…倣い駆動機構制御部
406…座標取得部
408…行列生成部
410…プローブ出力補正部
412…形状座標演算部
414…記憶部
500…モーションコントローラ
600…ホストコンピュータ
A、AA…補正行列
D…駆動制御信号
M、Mn…移動量
M1〜M11…測定
O…軸方向
P、Pn…プローブ出力
PM…変換出力
W…被測定物
XX…形状座標
Claims (4)
- 被測定物に接触する測定子を有するスタイラスを移動可能に支持し、該測定子の変位に従うプローブ出力を行う測定プローブと、該測定プローブを前記被測定物に対して相対的に移動させる駆動機構と、該プローブ出力と該駆動機構による該測定プローブの移動量とから前記被測定物の形状座標を演算する処理装置と、を備える三次元測定装置において、
前記測定子が接触する校正基準体を備え、
前記処理装置は、
前記駆動機構を制御して、互いに直交する3方向とそのうちの2方向について測定力が互いに逆向きとなる2方向とを合わせた合計5方向がそれぞれ、該校正基準体の表面に対する法線方向となるように、該5方向それぞれにおいて前記測定子を該表面に1点で接触させ所定の変位量で押込後に、該測定子を逆向きに移動させ、該表面から離間させる押込駆動機構制御部と、
前記駆動機構を制御して、互いに直交する3平面上それぞれで一定の押込量で前記測定子を押圧した状態として該校正基準体の表面を往復移動させる倣い駆動機構制御部と、
前記押込駆動機構制御部及び前記倣い駆動機構制御部によって、前記校正基準体に前記測定子が係合した際に、前記測定プローブの移動量及び前記プローブ出力をそれぞれ取得する座標取得部と、
該座標取得部の出力に基づいて、該測定プローブの移動量に対する該プローブ出力を補正する補正行列を生成する行列生成部と、
該補正行列を用いて前記プローブ出力を補正するプローブ出力補正部と、を有することを特徴とする三次元測定装置。 - 請求項1において、
前記5方向は、前記スタイラスの軸方向と、該軸方向と直交する平面内の互いに直交する2方向と、該2方向とは測定力が互いに逆向きとなる2方向と、からなることを特徴とする三次元測定装置。 - 請求項2において、
前記駆動機構は、前記測定プローブを移動させるX軸駆動機構、Y軸駆動機構及びZ軸駆動機構を備え、
前記軸方向が前記X軸駆動機構、Y軸駆動機構及びZ軸駆動機構のいずれかの駆動機構の移動方向と同一とされた際には、残りの駆動機構の2つの移動方向と前記軸方向と直交する平面内の互いに直交する2方向とは角度で45度ずれていることを特徴とする三次元測定装置。 - 被測定物に接触する測定子を有するスタイラスを移動可能に支持し、該測定子の変位に従うプローブ出力を行う測定プローブと、該測定プローブを前記被測定物に対して相対的に移動させる駆動機構と、該プローブ出力と該駆動機構による該測定プローブの移動量とから前記被測定物の形状座標を演算する処理装置と、を備える三次元測定装置の座標補正方法において、
前記駆動機構を制御して、互いに直交する3方向とそのうちの2方向について測定力が互いに逆向きとなる2方向とを合わせた合計5方向がそれぞれ、校正基準体の表面に対する法線方向となるように、該5方向それぞれにおいて前記測定子を該表面に1点で接触させ所定の変位量で押込後に、該測定子を逆向きに移動させ、該表面から離間させる押込駆動工程と、
前記駆動機構を制御して、互いに直交する3平面上それぞれで一定の押込量で前記測定子を押圧した状態として該校正基準体の表面を往復移動させる倣い駆動工程と、
前記押込駆動工程と前記倣い駆動工程において、前記校正基準体に前記測定子が係合した際に、前記測定プローブの移動量及び前記プローブ出力をそれぞれ取得する工程と、
取得した該測定プローブの移動量及びプローブ出力に基づいて、該測定プローブの移動量に対する該プローブ出力を補正する補正行列を生成する工程と、
該補正行列を用いて前記プローブ出力を補正する工程と、
を含むことを特徴とする座標補正方法。
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