JP2017194354A - ガスセンサ素子およびガスセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、特許文献1には、先端が閉じた有底筒状の固体電解質体と、この固体電解質体の内表面に形成された内側電極(基準電極)と、固体電解質体の外表面の先端部に形成された外側電極(検知電極)と、を備えるガスセンサ素子が開示されている。このようなガスセンサは、例えば、燃焼器や内燃機関から排出される排気ガス中に含まれる特定ガスのガス濃度を検出するために好適に用いられる。
一対の電極は、固体電解質体を挟み込むように配置されている。一対の電極は、測定対象ガスに接触する測定電極と、基準ガスに接触する基準電極と、を備える。
反応防止層および電極層は、それぞれ、希土類添加セリアが含まれている。
このガスセンサ素子は、電極層およびリード層が上述のペロブスカイト相を含有する導電性酸化物層を含んで構成されることから、電極層およびリード層が貴金属を用いて構成される場合に比べて、安価に製造できる。
なお、電極層およびリード層が上述のペロブスカイト相を主成分とする導電性酸化物層を含んで構成されることにより、電極層およびリード層をさらに安価に製造できる。ここで「ペロブスカイト相を主成分とする」とは、導電性酸化物層において、ペロブスカイト相が最も多く含まれていることを意味する。
次に、上述のガスセンサ素子においては、反応防止層の厚さ寸法、電極層の厚さ寸法、リード層の厚さ寸法は、それぞれ前記の大小関係を満たすと共に、反応防止層の厚さ寸法は、1〜10μmの範囲内であり、電極層の厚さ寸法は、3〜30μmの範囲内であり、リード層の厚さ寸法は、5〜40μmの範囲内であってもよい。
固体電解質体および一対の電極(基準電極、測定電極)は、ガス検出時には高温(例えば、300℃を超える温度)となるが、このうち基準電極は、ガス検出時に低温の基準ガス(大気)に接触するため、熱衝撃による破損が生じやすい。
つまり、ガスセンサ素子の具体的な形状としては、例えば、有底筒型または板型が挙げられる。
尚、本発明は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採り得ることはいうまでもない。
[1−1.全体構成]
第1実施形態として、内燃機関の排気管に対して先端部分を排気管内に突出させる形態で装着し、排気ガス中の酸素を検出する酸素センサ(以下、ガスセンサ1ともいう)を例に挙げて説明する。なお、ガスセンサ1は、例えば、自動車またはオートバイ等の車両の排気管に備えられる。
図1では、図面下方向がガスセンサの先端側であり、図面上方向がガスセンサの後端側である。
ガスセンサ素子3は、酸素イオン伝導性を有する固体電解質体を用いて形成されており、先端部25が閉塞された有底筒型形状であり、軸線O方向に延びる円筒状の素子本体21を有している。この素子本体21の外周には、径方向外向きに突出した素子鍔部23が周設されている。
素子鍔部23の先端側(図2下方)には、Pt等で形成された環状の環状リード部28が形成されている。
このうち、縮径部19gは、閉塞部材7よりも後端側にて、径方向内側に延びており、縮径部19gの先端向き面19aは、ガスセンサ1の先端側に向く面として備えられている。縮径部19gの中央領域には、リード線11およびリード線保護部材89を挿通するためのリード線挿通部19cが形成されている。
端子金具9は、導電性材料(例えばインコネル750(英インコネル社、商標名))で形成されており、センサ出力を外部に取り出すための導電性材料で構成される筒状部材である。端子金具9は、リード線11に電気的に接続されると共に、ガスセンサ素子3の内側電極30に電気的に接触するように配置されている。端子金具9は、その後端側に径方向(軸線方向と垂直の方向)の外向きに突出するフランジ部77を備えている。フランジ部77は、3枚の板状のフランジ片75を備えている。
主体金具13は、金属材料(例えば鉄またはSUS430)で形成された円筒状の部材である。主体金具13には、内周面において径方向内側に向かって張り出した段部39が周設されている。段部39は、ガスセンサ素子3の素子鍔部23を支持するために備えられている。
ガスセンサ素子3の構成について説明する。
ガスセンサ素子3は、上述の通り、素子本体21と、外側電極27と、環状リード部28と、縦リード部29、内側電極30と、を備えている。
ガスセンサ素子3の先端部25においては、外側電極27および内側電極30が素子本体21を挟み込むように配置されている。素子本体21および一対の電極(外側電極27および内側電極30)は、酸素濃淡電池を構成して、測定対象ガスのガス濃度に応じた起電力(電圧)を発生する。つまり、ガスセンサ素子3の先端部25(検知部)において、外側電極27が測定対象ガスに晒され、内側電極30が基準ガス(大気)に晒されることで、測定対象ガス中の酸素濃度を検出している。
LaaMbNicOx …(1)
ここで、元素MはCoとFeのうちの一種以上を表し、a+b+c=1、1.25≦x≦1.75である。係数a,b,cは以下の関係を満たすことが好ましい。
0.200≦b≦0.475 …(2b)
0.025≦c≦0.350 …(2c)
上記組成式で表される組成を有するペロブスカイト型導電性酸化物は、室温(25℃)での導電率が250S/cm以上で、かつB定数が600K以下となり、これらの関係を満たさない場合に比べて導電率が高くB定数が小さいという良好な特性を有する。また、このペロブスカイト型導電性酸化物は、貴金属電極に比べて界面抵抗の活性化エネルギーが小さいので、低温においても界面抵抗を十分に小さくすることができる。なお、大気中で約600℃の環境で放置すると、Pt電極は酸化して界面抵抗が上昇するのに対して、ペロブスカイト型導電性酸化物ではこのような経時変化が起こり難いという利点もある。
0.200≦b≦0.375 …(3b)
0.125≦c≦0.300 …(3c)
この場合、導電率を更に高くするとともに、B定数を更に小さくすることができる。
反応防止層31の厚さ寸法T1は2μmであり、電極層32の厚さ寸法T2は11μmであり、リード層33の厚さ寸法T3は16μmである。また、反応防止層31の気孔率B1は1%であり、電極層32の気孔率B2は21%であり、リード層33の気孔率B3は46%である。
但し、内側検知電極部30aを構成する先端リード層33aにおけるペロブスカイト相の含有割合は、内側リード部30bを構成する後端リード層33bにおけるペロブスカイト相の含有割合と同じか、又は、それよりも多くてもよい。
ガスセンサ素子3の製造方法について説明する。
第1工程では、未焼結成形体を作製する。
まず、外側電極27の形成部分にPtペースト等の貴金属のスラリーを塗布し、反応防止層31の形成部分に希土類添加セリアのスラリーを塗布する。反応防止層31のスラリーの塗布の後に、電極層32のスラリーを塗布し、その後、リード層33(内側検知電極部30aの先端リード層33a、内側リード部30bの後端リード層33b)のスラリーを塗布する。
また、リード層33(先端リード層33a、後端リード層33b)のスラリーの塗布に際しては、内側検知電極部30aの形成部分(電極層32ののスラリーの塗布部分)および内側リード部30bの形成部分のそれぞれに、導電性酸化物(セリア無)のスラリーを塗布する。本実施形態は、先端リード層33aおよび後端リード層33bは、同じ導電性酸化物で形成される。なお、先端リード層33aおよび後端リード層33bのそれぞれの導電性酸化物の組成を異ならせる場合には、異なる組成のスラリーをそれぞれの部分に塗布すればよい。
[1−4.ガスセンサ素子の評価試験]
本発明を適用したガスセンサ素子の耐熱衝撃性および低温作動性を評価するために実施した評価試験の試験結果について説明する。
本試験では、ガスセンサ素子3の温度を室温(20℃)から970℃まで上昇させて再び室温まで低下させる一連の温度変化を1サイクルとして、100サイクルおよび300サイクルの温度変化を実施した後に、ガスセンサ素子の断面SEM画像に基づいて、ガスセンサ素子3に破損が生じたか否かを判定した。
本試験では、ガスセンサ素子をガスセンサに組み付けた状態で、そのガスセンサを公知のバーナー測定装置に取り付けて、バーナー測定法によりガスセンサ素子の内部抵抗値を測定した。詳細には、素子温度300℃で空燃比λ=0.9(リッチ)におけるセンサ出力を、抵抗値が異なる2つの抵抗素子(1MΩ、100kΩ)を用いてオシロスコープで検出し、その出力差に基づいてガスセンサ素子の内部抵抗値を算出した。内部抵抗値がガス検出可能範囲(本実施形態では、100[kΩ]以下)であるガスセンサ素子を低温作動性が良好であると判定し、内部抵抗値がガス検出可能範囲を逸脱するガスセンサ素子を低温作動性が不良であると判定した。
以上説明したように、本実施形態のガスセンサ1に備えられるガスセンサ素子3においては、内側電極30は、素子本体21に近い側から順に、反応防止層31、電極層32、リード層33(先端リード層33a)が積層された多層構造である。反応防止層31および電極層32は、それぞれ、希土類添加セリアが含まれている。電極層32およびリード層33は、それぞれ、上述のペロブスカイト相を含有する導電性酸化物層を含んで形成される。
次に、ガスセンサ素子3においては、反応防止層31、電極層32、リード層33のそれぞれの気孔率(B1=1%,B2=21%,B3=46%)のうち反応防止層31の気孔率B1が最も低くなるように、反応防止層31、電極層32、リード層33が形成されている。
このようなガスセンサ素子3を備えるガスセンサ1は、安価であり、耐熱衝撃性を有し、低温作動性を有する、という有利な作用効果を奏する。
ここで、本実施形態における文言の対応関係について説明する。
ガスセンサ1がガスセンサの一例に相当し、ガスセンサ素子3がガスセンサ素子の一例に相当し、素子本体21が固体電解質体の一例に相当し、外側電極27が測定電極の一例に相当し、内側電極30が基準電極の一例に相当する。
[2.第2実施形態]
[2−1.板型ガスセンサ素子]
ガスセンサ素子の固体電解質体は、有底筒型に限られることはなく、板型であってもよい。そこで、第2実施形態として、板型ガスセンサ素子100について説明する。
図8に示すように、素子本体101は、酸素濃度検出セル130と、補強保護層111と、大気導入孔層107と、下面層103と、を備える。なお、図8では多孔質保護層120の図示を省略している。
補強部112は、固体電解質体105との間で検知リード部106Lを挟み込むようにして、固体電解質体105を保護するための板状の部材である。補強部112は、固体電解質体105と同じ材料で形成されており、板の厚さ方向に貫通する保護部配置空間112aを備える。
図9に示すように、多孔質保護層120は、板型ガスセンサ素子100(素子本体101)の先端面を含み、軸線方向(図における左右方向)に沿って後端側に延びるように形成されている。また、多孔質保護層120は、図7に示すように、素子本体101の板状の4面(表面、裏面、右側面および左側面)を完全に囲んで形成されている。
固体電解質体105は、第1実施形態の素子本体21と同様に、ジルコニア(ZrO2 )に安定化剤としてイットリア(Y2O3)又はカルシア(CaO)を添加してなる部分安定化ジルコニア焼結体から構成されている。固体電解質体105は、ジルコニアを主成分とし、該ジルコニアの50〜83.3質量%が正方晶ジルコニアである。
なお、「主成分」とは、対象となる部位(固体電解質体105、測定電極106など)を構成する全成分に対し、50質量%を超える成分をいう。
なお、固体電解質体105の厚さ寸法は200μmであり、測定電極106の厚さ寸法は3μmであり、基準電極104の基準電極部104aにおける反応防止層104bの厚さ寸法T4は2μmであり、電極層104cの厚さ寸法T5は11μmであり、リード層104dの厚さ寸法T6は、16μmである。
多孔質保護層120のうち、少なくとも測定電極106を覆う部位は、スピネル(MgAl2O4)およびチタニア(TiO2 )で形成されているとともに、貴金属(Pt,Pd,Rhのうち少なくとも1つ)が担持されている。この貴金属は、排気ガスに含まれる酸素の化学反応を促進するための触媒として機能する。多孔質保護層120は、気孔率が52%の多孔質状に形成されている。
以上説明したように、第2実施形態の板型ガスセンサ素子100においては、基準電極104の基準電極部104aは、固体電解質体105に近い側から順に、反応防止層104b、電極層104c、リード層104dが積層された多層構造である。反応防止層104bおよび電極層104cは、それぞれ、希土類添加セリアが含まれている。電極層104cおよびリード層104dは、それぞれ、上述のペロブスカイト相を含有する導電性酸化物層を含んで形成される。
次に、板型ガスセンサ素子100においては、反応防止層104b、電極層104c、リード層104dのそれぞれの気孔率(B4=1%,B5=21%,B6=46%)のうち反応防止層104bの気孔率B4が最も低くなるように、反応防止層104b、電極層104c、リード層104dが形成されている。
[2−3.文言の対応関係]
ここで、本実施形態における文言の対応関係について説明する。
[3.他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、様々な態様にて実施することが可能である。
Claims (7)
- 固体電解質体と、前記固体電解質体を挟み込むように配置された一対の電極と、を備えるガスセンサ素子であって、
前記一対の電極は、測定対象ガスに接触する測定電極と、基準ガスに接触する基準電極と、を備えており、
前記測定電極および前記基準電極のうち少なくとも一方は、前記固体電解質体に近い側から順に、反応防止層、電極層、リード層が積層された多層構造であり、
前記反応防止層および前記電極層は、それぞれ、希土類添加セリアが含まれており、
前記電極層および前記リード層は、それぞれ、組成式:LaaMbNicOx(MはCoとFeのうちの一種以上、a+b+c=1、1.25≦x≦1.75)で表されペロブスカイト型結晶構造を有するペロブスカイト相を含有する導電性酸化物層を含み、前記a,b,cが、0.459≦a≦0.535、0.200≦b≦0.475、0.025≦c≦0.350を満たしており、
前記反応防止層の厚さ寸法は、前記リード層の厚さ寸法よりも小さく、
前記電極層の厚さ寸法は、前記反応防止層の厚さ寸法以上で、かつ、前記リード層の厚さ寸法以下である、
ガスセンサ素子。 - 前記反応防止層、前記電極層、前記リード層のそれぞれの気孔率のうち、前記反応防止層の気孔率が最も低い、
請求項1に記載のガスセンサ素子。 - 前記反応防止層の厚さ寸法、前記電極層の厚さ寸法、前記リード層の厚さ寸法は、それぞれ前記の大小関係を満たすと共に、
前記反応防止層の厚さ寸法は、1〜10μmの範囲内であり、
前記電極層の厚さ寸法は、3〜30μmの範囲内であり、
前記リード層の厚さ寸法は、5〜40μmの範囲内である、
請求項1または請求項2に記載のガスセンサ素子。 - 前記反応防止層の気孔率は、0〜10%の範囲内であり、
前記電極層の気孔率は、10〜30%の範囲内であり、
前記リード層の気孔率は、35〜60%の範囲内である、
請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載のガスセンサ素子。 - 前記基準電極は、前記反応防止層、前記電極層、前記リード層が積層された多層構造である、
請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載のガスセンサ素子。 - 前記固体電解質体は、有底筒型または板型である、
請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載のガスセンサ素子。 - 測定対象ガスに含まれる特定ガスを検出するガスセンサ素子を備えるガスセンサであって、
前記ガスセンサ素子として、請求項1から請求項6のうちいずれか1項に記載のガスセンサ素子を備える、
ガスセンサ。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019105504A (ja) * | 2017-12-12 | 2019-06-27 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
JP2019105505A (ja) * | 2017-12-12 | 2019-06-27 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
WO2019150767A1 (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
JP2019152519A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
JP2019152508A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子及びガスセンサ |
JP2019158460A (ja) * | 2018-03-09 | 2019-09-19 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
JP2020165866A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子、ガスセンサおよびガスセンサ素子の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63158451A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-01 | Tech Res Assoc Conduct Inorg Compo | 燃焼制御用センサ |
JPH06201641A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-22 | Nippondenso Co Ltd | 酸素センサ |
JP2002195978A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-07-10 | Riken Corp | ガス検知素子およびそれを用いたガス検出装置 |
WO2013150779A1 (ja) * | 2012-04-06 | 2013-10-10 | 日本特殊陶業株式会社 | 酸化物焼結体及びそれを用いた配線基板 |
JP2017020928A (ja) * | 2015-07-13 | 2017-01-26 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子、及び、ガスセンサ |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3417090B2 (ja) | 1994-10-31 | 2003-06-16 | 日産自動車株式会社 | 固体電解質用電極材料 |
JP4936132B2 (ja) | 2007-09-04 | 2012-05-23 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサユニット |
-
2016
- 2016-04-20 JP JP2016084803A patent/JP6577408B2/ja active Active
-
2017
- 2017-04-20 DE DE102017003832.5A patent/DE102017003832A1/de active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63158451A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-01 | Tech Res Assoc Conduct Inorg Compo | 燃焼制御用センサ |
JPH06201641A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-22 | Nippondenso Co Ltd | 酸素センサ |
JP2002195978A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-07-10 | Riken Corp | ガス検知素子およびそれを用いたガス検出装置 |
WO2013150779A1 (ja) * | 2012-04-06 | 2013-10-10 | 日本特殊陶業株式会社 | 酸化物焼結体及びそれを用いた配線基板 |
JP2017020928A (ja) * | 2015-07-13 | 2017-01-26 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子、及び、ガスセンサ |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019105504A (ja) * | 2017-12-12 | 2019-06-27 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
JP2019105505A (ja) * | 2017-12-12 | 2019-06-27 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
WO2019150767A1 (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
CN111656176A (zh) * | 2018-01-31 | 2020-09-11 | 日本特殊陶业株式会社 | 气体传感器元件和气体传感器 |
JPWO2019150767A1 (ja) * | 2018-01-31 | 2020-11-26 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
CN111656176B (zh) * | 2018-01-31 | 2022-07-26 | 日本特殊陶业株式会社 | 气体传感器元件和气体传感器 |
JP2019152519A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
JP2019152508A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子及びガスセンサ |
JP7009262B2 (ja) | 2018-03-02 | 2022-01-25 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子及びガスセンサ |
JP2019158460A (ja) * | 2018-03-09 | 2019-09-19 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
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