JP2017152460A - 半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11 基板
11S 半極性面
12 半導体構造層
12S 表面
12A、12B 端面
15 第1の凹部
16 第2の凹部
GR1 ガイド溝
GR2 スクライブ溝
Claims (12)
- 半導体基板の半極性面上に形成された半導体構造層を有する半導体ウェハにおいて、前記半導体構造層上に、互いに平行にかつ直線状に複数のライン電極を形成する工程と、
前記複数のライン電極間において前記半導体構造層の表面から前記半導体基板に向かって窪み、前記複数のライン電極の伸張方向に垂直な方向に沿って整列して伸張する複数のガイド溝を形成する工程と、
前記複数のガイド溝の各々に、前記ガイド溝の底面から前記半導体基板に向かって窪み、前記ガイド溝の伸張方向に沿って伸張するスクライブ溝を形成する工程と、
前記複数のガイド溝に沿って前記半導体ウェハを分割する工程と、を含み、
前記ガイド溝及び前記スクライブ溝は、前記スクライブ溝の伸張方向において互いの方向に内壁が突き出た端部形状を有するように形成されることを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記ガイド溝は、前記スクライブ溝の端部に向かって内壁が突出した第1の尖端部を有し、
前記スクライブ溝は、前記第1の尖端部に向かって内壁が突出した第2の尖端部を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記第1及び第2の尖端部は、前記スクライブ溝の伸張方向において互いに頂点が向かい合うV字形状を有することを特徴とする請求項2に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記ガイド溝は、前記スクライブ溝の端部に向かって内壁が突出したU字形状の突端部を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記半導体基板は、(20−2−1)面を前記半極性面として有する六方晶系半導体からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つに記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記ライン電極の伸張方向に沿って前記半導体ウェハを切断し、前記半導体ウェハを半導体発光素子毎に個片化する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1つに記載の半導体発光素子の製造方法。
- 半極性面を有する半導体基板と、
前記半極性面上に形成され、互いに対向する端面によって共振器を構成する半導体構造層と、
前記半導体構造層上において前記互いに対向する端面間に線状に伸張するライン電極と、
前記互いに対向する端面の各々において前記半導体構造層の表面から前記半導体基板に向かって凹み、前記ライン電極の側部から前記互いに対向する端面の各々に沿って伸張する第1の凹部と、
前記互いに対向する端面の各々において前記第1の凹部の底面に形成され、前記互いに対向する端面の各々に沿って伸張する第2の凹部と、を有し、
前記第1及び第2の凹部は、前記端面の面内方向において互いの方向に内壁が突き出た端部形状を有することを特徴とする半導体発光素子。 - 前記第1の凹部は、前記第2の凹部の端部に向かって内壁が突出した第1の尖端部を有し、
前記第2の凹部は、前記第1の尖端部に向かって内壁が突出した第2の尖端部を有することを特徴とする請求項7に記載の半導体発光素子。 - 前記第1及び前記第2の尖端部は、前記端面において互いに頂点が向かい合うV字形状を有することを特徴とする請求項8に記載の半導体発光素子。
- 前記第1の凹部は、前記第2の凹部の端部に向かって内壁が突出したU字形状の突端部を有することを特徴とする請求項7に記載の半導体発光素子。
- 前記第1の凹部の底部は前記半導体基板内に達していることを特徴とする請求項7乃至10に記載の半導体発光素子。
- 前記半導体基板は、(20−2−1)面を前記半極性面として有する六方晶系半導体からなることを特徴とする請求項7乃至11のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
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