JP2017120446A - 液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
Description
。
チングトランジスタに接続する表示素子を設けたアクティブマトリクス型の表示装置が知
られている。
属酸化物をチャネル形成領域とするトランジスタが注目を集めている(特許文献1及び特
許文献2)。また、アクティブマトリクス型の表示装置に適用できる表示素子としては、
例えば液晶素子や、電気泳動方式などを用いた電子インクをその例に挙げることができる
。
た動画表示から、豊かな階調をもった静止画の表示まで幅広い用途に用いられている。
た後も表示画像が維持される電子インクの特性、所謂メモリ性を有する特性を活かし、極
めて消費電力が少ない表示装置に用いられている。
が大きく、オフ状態であっても画素に書き込んだ信号が漏れて消失してしまうという特徴
があった。このような特徴は動画を表示する際には問題とならないが、静止画のように同
一の画像を表示し続ける場合であっても頻繁に画素に信号を書き込み直す必要が生じ、電
力の無駄を省くことが困難であった。
費電力を低減する方法が用いられている。しかしながら、メモリ性を有する表示素子の多
くは動作速度が遅く、画素に設けたスイッチングトランジスタが高速に動作しても追従で
きず、動画の表示は困難であった。
て画素に信号を書き込む頻度を調節する方法などを用いて、動画表示と消費電力の低減を
両立できる表示装置が望まれている。
れるようになった。しかし、デジタルデータファイルは多様な形式が用いられており、そ
れぞれに適した表示方法を選択する作業は使用者にとって極めて煩雑である。
示装置の動作を選択できる余地も表示装置には望まれている。
、デジタルデータファイルで提供される画像に適した表示方法を提供することを課題とす
る。
を表示する、表示装置の表示方法を提供することを課題とする。
極を有する画素を複数設けた表示装置に、デジタルデータファイルで提供される画像を、
デジタルデータファイルで提供される表示装置の動作に関連付けられた情報を用いて表示
すればよい。
ジタルデータファイルで提供される表示装置の動作に関連付けられた情報を用いて、オフ
電流が低減されたスイッチング素子に接続された画素電極を有する画素を複数設けた表示
装置で画像を表示する表示方法である。
数有し、画素は走査線と信号線に接続され、オフ電流が低減されたトランジスタとトラン
ジスタに接続された画素電極と、を有し、画素電極は液晶の配向状態を制御し、画像処理
回路はデジタルデータファイルで提供される表示装置の動作に関連付けられた情報を記憶
する記憶回路と、デジタルデータファイルで提供される表示装置の動作に関連付けられた
情報に従って表示パネルに画像信号と制御信号を出力する表示制御回路と、を有する表示
装置の表示方法である。
けられた情報がデジタルデータファイルの拡張子である、上記の表示装置の表示方法であ
る。
けられた情報がデジタルデータファイルのスクリプトである、上記の表示装置の表示方法
である。
けられた情報がデジタルデータファイルのヘッダ情報である、上記の表示装置の表示方法
である。
た液晶素子を画素に有する、上記の表示装置の表示方法である。
との電位差のことを示す場合が多い。よって、電圧、電位、電位差を、各々、電位、電圧
、電圧差と言い換えることが可能である。
。また、表示装置の状態または使用者の希望に応じて、画質および消費電力を調整して画
像を表示する、表示装置の表示方法を提供できる。
れず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し
得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の
記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する発明の構成において
、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、
その繰り返しの説明は省略する。
本実施の形態では、デジタルデータファイルで提供される画像の種類に応じて表示装置の
動作を決定し、当該画像を表示する表示装置の構成及び方法について図1、乃至図6を用
いて説明する。
する。本実施の形態の表示装置100は、画像処理回路110、表示パネル120、及び
照明手段130を有する。
ァイル、電源電位が供給されている。制御信号としてはスタートパルスSP、及びクロッ
ク信号CK、電源電位としては高電源電位Vdd、低電源電位Vss、及び共通電位Vc
omが供給される。また、画像と表示装置の動作に関連付けられた情報がデジタルデータ
ファイルで記憶回路116に供給される。
基準電位以下の電位のことをいう。なお高電源電位Vdd及び低電源電位Vssともに、
トランジスタが動作できる程度の電位であることが望ましい。なお高電源電位Vdd及び
低電源電位Vssを併せて、電源電圧と呼ぶこともある。
であればよく、一例としてはグラウンド電位であってもよい。
量を小さくするために圧縮されている場合がある。また、デジタルデータファイル自身が
画像データを格納していても良いが、外部記憶回路に保存された画像ファイルの場所を示
すスクリプトファイル等であってもよい。外部の記憶回路に画像ファイルを保存しておく
ことで、デジタルデータファイルの容量を小さくできる。
装置の動作に関連付けられた情報としては、表示装置の動作を指定するものであれば特に
限定されない。例えば、表示装置に画像を書き込む間隔、頻度、及び回数等を指定する命
令および/または情報が挙げられる。また、表示装置に画像を表示する位置を指定する情
報、表示装置の表示画面を複数に分割して駆動する命令などをその例にあげることができ
る。
、デジタルデータファイルの拡張子、デジタルデータファイル内に記述されたスクリプト
、及びヘッダ情報などを用いることができる。
電流が低減されたスイッチング素子を画素に設けた表示装置にのみ利用される情報である
必要はないが、オフ電流が低減されたスイッチング素子を画素に設けた表示装置にのみ利
用される情報を含んでいてもよい。
部で画像信号Dataに変換される。画像信号Dataはドット反転駆動、ソースライン
反転駆動、ゲートライン反転駆動、フレーム反転駆動等に応じて適宜反転させて表示パネ
ル120に入力される構成とすればよい。
て説明する。
御回路113を有する。画像処理回路110は、デジタルデータファイルから表示パネル
信号と照明手段信号を生成する。表示パネル信号は、表示パネル120を制御する信号と
画像信号を含み、照明手段信号は照明手段130を制御する信号である。また、画像処理
回路110は共通電極部128の電位を制御する信号をスイッチング素子127に出力す
る。
6はデジタルデータファイルの拡張子と動作モードを関連付けた参照表を記憶している。
なお記憶回路は、例えばDRAM(Dynamic Random Access Me
mory)、SRAM(Static Random Access Memory)等
の記憶素子を用いて構成すればよい。
イルの拡張子と動作モードを関連付けた参照表を検索し、表示動作を決定すればよい。ま
た、外部装置もしくは表示装置の使用者が入力手段SWを介して入力する値に従って、表
示動作を決定する。具体的には、記憶回路116に記憶されたデジタルデータファイルを
デコーダ119に出力するか、表示制御回路113に出力するかを選択する。また、分離
回路117は、デジタルデータファイルが基準フレームを含む場合、該基準フレームを分
離し、復号し、1フレーム分の画像を生成して、表示制御回路113に出力する。
御回路113に出力する。
K等の制御信号の供給または停止の切り替えるための信号)、並びに分離回路117もし
くはデコーダ119が出力する画像信号を表示パネル120に供給し、照明手段130に
照明手段信号(具体的には照明手段130を点灯、及び消灯するための信号)を供給する
。
途に応じて選択して組み合わせればよく、例えばフルカラーの画像を表示する場合は、光
の三原色を含む光源を用いる。本実施の形態では例えば白色の発光素子(例えばLED)
を配置する。透過型、及び半透過型の液晶素子を用いる場合は、照明手段を表示素子の背
面に配置する。また、反射型の液晶素子を用いる場合は、照明手段は表示素子の表示面側
から表示素子に光を照射する位置に配置すればよい。
及び電源電位が供給される。例えば照明時間を制限する信号を照明手段制御回路に供給し
、消費電力を低減してもよい。
では、表示パネル120は第1の基板と、第2の基板を有し、第1の基板には駆動回路部
121、画素部122、及びスイッチング素子127が設けられている。また、第2の基
板には共通接続部(コモンコンタクトともいう)、及び共通電極部128(コモン電極部
、または対向電極部ともいう)が設けられている。なお、共通接続部は第1の基板と第2
の基板を電気的に接続するものであって、共通接続部は第1の基板上に設けられていても
よい。
画素123がゲート線124及び信号線125に環囲されてマトリクス状に設けられてい
る。なお、本実施の形態で例示する表示パネルにおいては、ゲート線124はゲート線側
駆動回路121Aから延在し、信号線125は信号線側駆動回路121Bから延在してい
る。
素電極、容量素子、及び表示素子を有し、該画素電極は可視光を透過する透光性を有する
領域と、可視光を反射する領域とを有する。
スタに接続された表示素子、並びに容量素子に蓄えられた電荷は、オフ状態のトランジス
タを介して漏れ難く、トランジスタがオフ状態になる前に書き込まれた状態を長期間に渡
って保持できる。
とそれに対向する共通電極部との間に液晶層を挟持して形成する。なお、該画素電極の透
光性を有する領域は照明手段の光を透過し、該画素電極の可視光を反射する領域は液晶層
を介して入射する光を反射する。なお、該画素電極の透光性を有する領域と照明手段13
0を設けず反射型の液晶素子のみを利用し、消費電力を削減する構成としてもよい。
素子がある。その素子は一対の電極と液晶層により構造されることが可能である。なお、
液晶の光学的変調作用は、液晶にかかる電界(即ち、縦方向の電界)によって制御される
。
チック液晶、ディスコチック液晶、サーモトロピック液晶、リオトロピック液晶、低分子
液晶、高分子分散型液晶(PDLC)、強誘電液晶、反強誘電液晶、主鎖型液晶、側鎖型
高分子液晶、バナナ型液晶などを挙げることができる。
STN(Super Twisted Nematic)モード、OCB(Optica
lly Compensated Birefringence)モード、ECB(El
ectrically Controlled Birefringence)モード、
FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AFL
C(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モード、P
DLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)モード
、PNLC(Polymer Network Liquid Crystal)モード
、ゲストホストモードなどがある。
。ゲート線側駆動回路121A、信号線側駆動回路121Bは、複数の画素を有する画素
部122を駆動するための駆動回路であり、シフトレジスタ回路(シフトレジスタともい
う)を有する。
たはスイッチング素子127と同じ基板に形成されるものでもよいし、別の基板に形成さ
れるものであってもよい。
電位Vss、スタートパルスSP、クロック信号CK、画像信号Dataが供給される。
(高電源電位Vdd、低電源電位Vss、スタートパルスSP、クロック信号CK、画像
信号Data、共通電位Vcom等)等を駆動回路部121に供給する入力端子である。
Vcomを共通電極部128に供給する。スイッチング素子127としては、トランジス
タを用いることができる。トランジスタのゲート電極を表示制御回路113に接続し、ソ
ース電極またはドレイン電極の一方を、端子部126を介して共通電位Vcomに接続し
、他方を共通電極部128に接続すればよい。なお、スイッチング素子127は駆動回路
部121、または画素部122と同じ基板に形成されるものでもよいし、別の基板に形成
されるものであってもよい。
子を介して、共通電極部128と電気的に接続する。
により電気的な接続を図ればよい。なお、共通接続部は、第1の基板及び第2の基板に複
数箇所設けられる構成としてもよい。
ましい。また共通電極部128及び画素部122が有する画素電極は、多様な開口パター
ンを有する形状としてもよい。
。
、本実施の形態では表示素子215に液晶素子を用いる。液晶素子は第1の基板上の画素
電極と第2の基板上の共通電極部128の間に液晶層を挟持して形成する。
電極が接続され、ソース電極またはドレイン電極の一方が複数の信号線125のうちの一
つと接続され、ソース電極またはドレイン電極の他方が容量素子210の一方の電極、及
び表示素子215の一方の電極と接続される。
4がオフ状態のとき、オフ電流が低減されたトランジスタ214に接続された表示素子2
15、及び容量素子210に蓄えられた電荷は、トランジスタ214を介して漏れ難く、
トランジスタ214がオフ状態になる前に書き込まれた状態を長期間に渡って保持できる
。
ことができる。なお、容量素子210を設けない構成とすることもできる。また、容量素
子210の電極は、別途設けた容量線に接続する構成としてもよい。
極の一方は、トランジスタ214と接続されていない容量素子210の他方の電極、及び
表示素子215の他方の電極と接続され、スイッチング素子127のソース電極またはド
レイン電極の他方は、共通接続部を介して端子126Bに接続される。また、スイッチン
グ素子の一態様であるスイッチング素子127のゲート電極は端子126Aに接続される
。
に示すタイミングチャートを用いて説明する。
K、及びスタートパルスGSPを示す。また、表示制御回路113が信号線側駆動回路1
21Bに供給するクロック信号SCK、及びスタートパルスSSPを示す。なお図4では
、クロック信号の波形を単純な矩形波で示して、クロック信号の出力のタイミングを説明
する。
の電位、並びに共通電極部の電位を示す。
画像信号、共通電位が画素部122の各画素、共通電極部に供給されるように動作する。
の各画素への画像信号、共通電極部への共通電位を停止することとなる。なお図4に示す
期間302では、駆動回路部の動作を停止するよう各信号を供給する構成について示した
が、期間302の長さ及びリフレッシュレートによって、定期的に画像信号を書き込むこ
とで静止画の画像の劣化を防ぐ構成とすることが好ましい。
ルスGSPとして、垂直同期周波数に応じたパルスが供給される。また、期間301では
、クロック信号SCKとして、常時クロック信号が供給され、スタートパルスSSPとし
て、1ゲート選択期間に応じたパルスが供給される。
、ゲート線124の電位に応じて画素電極に信号線125の電位が供給される。
チング素子127を導通状態とする電位を供給し、端子126Bを介して共通電極部に共
通電位を供給する。
K、スタートパルスGSP、クロック信号SCK、及びスタートパルスSSPは共に停止
する。また、期間302において、信号線125に供給していた画像信号Dataは停止
する。クロック信号GCK及びスタートパルスGSPが共に停止する期間302では、ト
ランジスタ214が非導通状態となり画素電極の電位が浮遊状態(フローティング)とな
る。
チング素子127を非導通状態とする電位を供給し、共通電極部の電位を浮遊状態にする
。
遊状態にして、新たに電位を供給することなく、静止画の表示を行うことができる。
信号、及びスタートパルスを停止することにより低消費電力化を図ることができる。
ンジスタを用いることにより、表示素子215の両端子に加わる電圧が経時的に低下する
現象を抑制できる。
303)、及び書き込まれた画像の保持から画像の書き込み動作に切り替わる期間(図4
中の期間304)における表示制御回路の動作を、図5(A)、(B)を用いて説明する
。図5(A)、(B)は表示制御回路が出力する、高電源電位Vdd、クロック信号(こ
こではGCK)、スタートパルス信号(ここではGSP)、及び端子126Aの電位を示
す。
を図5(A)に示す。表示制御回路は、スタートパルスGSPを停止する(図5(A)の
E1、第1のステップ)。次いで、スタートパルス信号GSPの停止後、パルス出力がシ
フトレジスタの最終段まで達した後に、クロック信号GCKを停止する(図5(A)のE
2、第2のステップ)。次いで、電源電圧の高電源電位Vddを低電源電位Vssにする
(図5(A)のE3、第3のステップ)。次いで、端子126Aの電位を、スイッチング
素子127が非導通状態となる電位にする(図5(A)のE4、第4のステップ)。
1に供給する信号を停止できる。画像の書き込み動作から書き込まれた画像の保持に切り
替わる際の誤動作はノイズを生じ、ノイズは画像に書き込まれて保持されるため、誤動作
が少ない表示制御回路を搭載した表示装置が好ましい。
動作を図5(B)に示す。表示制御回路は、端子126Aの電位をスイッチング素子12
7が導通状態となる電位にする(図5(B)のS1、第1のステップ)。次いで、電源電
圧を低電源電位Vssから高電源電位Vddにする(図5(B)のS2、第2のステップ
)。次いで、クロック信号を供給する前にハイの電位を与えた後、クロック信号GCKを
供給する(図5(B)のS3、第3のステップ)。次いでスタートパルス信号GSPを供
給する(図5(B)のS4、第4のステップ)。
に駆動信号の供給を再開できる。各配線の電位を適宜順番に画像の書き込み動作に戻すこ
とで、誤動作なく駆動回路部の駆動を行うことができる。
2における、フレーム期間毎の画像信号の書き込み頻度を、図6に模式的に示す。図6中
、「W」は画像信号の書き込み期間であることをあらわし、「H」は画像信号を保持する
期間であることを示している。また、図6中、期間603は1フレーム期間を表したもの
であるが、別の期間であってもよい。
は期間604に書き込まれ、期間604で書き込まれた画像信号は、期間602の他の期
間で保持される。
を用いて、デジタルデータファイルで提供される画像を、表示装置100に表示する方法
について図2を用いて説明する。なお、ここでは表示装置100の動作に関連付けられた
情報として、デジタルデータファイルの拡張子を利用する。なお、記憶回路116はファ
イルの拡張子と動作モードを関連付けた参照表を記憶している。
示す参照表、および参照表に記載された拡張子は一例であり、本実施の形態の表示装置に
適用可能なファイル形式を限定するものではない。
)を図2(A)に示す。第1のステップ(データ入力61)では、表示装置にデジタルデ
ータファイルを入力する。第2のステップ(拡張子判別62)では、表示装置が拡張子と
動作モードを関連付けた参照表から、入力されたデジタルデータファイルの拡張子を検索
し、動作モードを決定する。具体的には、拡張子としてtxtやjpgが付与された静止
画のときには、表示パネルの書き換え頻度を低下させた静止画モード66を選定する。
定する。具体的には、動画の全てのフレームを再生する標準再生モード64か、フレーム
を間引いて再生する簡易再生モード65を選択する。標準再生モードでは、デジタルデー
タファイルで提供される動画の書き換え頻度(フレームレート)情報に従って、動画を表
示する。なお、簡易再生モードにおいては、例えばフレームを間引いて基準フレームのみ
復号するため、画像処理回路に加わる負荷を軽減でき、消費電力を抑制できる。
れて消失してしまうという特徴があり、静止画のように同一の画像を表示し続ける場合で
あっても頻繁に画素に信号を書き込み直す必要があった。
素子は、オフ電流が低減されたスイッチング素子に接続されている。オフ電流が低減され
たトランジスタに接続された表示素子、並びに容量素子に蓄えられた電荷はオフ状態のト
ランジスタを介して漏れ難く、トランジスタがオフ状態になる前に書き込まれた状態を長
期間に渡って保持できる。
書き込み直す必要がなくなり、表示画像の内容に応じて画像を書き込む頻度を決定すれば
よい。具体的には、静止画の表示において、静止画を複数回に渡って書き込み直す動作、
所謂リフレッシュ動作を低減できる。また、動画の表示においても、基準フレーム以外は
書き込まないため、書き込み頻度を低減できる。
された画像の内容に応じて画像を書き込む頻度を制御して画像を表示する方法を適用する
ことによって、画質を損なうことなく表示パネルの書き換え頻度を低減することができる
。またその結果、消費電力を削減できる。
ータファイルの個々の形式に応じて動作モードを選択する必要が無く便利である。また、
使用者が動作を選定することも可能であるため、使用者の希望に合った表示装置を提供で
きる。
である。
本実施の形態では、デジタルデータファイルで提供される表示装置の動作に関連付けられ
た情報を用いて、デジタルデータファイルで提供される画像を、オフ電流が低減されたス
イッチング素子を画素に設けた表示装置で表示する方法について説明する。特に、動画の
標準再生モード、及び表示パネルのリフレッシュ動作を低減して再生する簡易再生モード
について図3、乃至図7を用いて説明する。
もしくはヘッダ情報で提供される例について説明する。
する。本実施の形態で用いるデジタルデータファイルは、前後のフレームとの関係から独
立して復号可能な形式で圧縮されたフレームを含む。このようなデジタルデータファイル
の形式としては、MPEG2、MPEG4、及びH.264などをその例に挙げることが
できる。また、前後のフレームとの関係から独立して圧縮されるフレーム、すなわち、フ
レーム内の画像情報のみが圧縮されるフレームは基準フレーム、Iフレーム、またはI
ピクチャー(Intra Picture)と呼ばれる。本実施の形態では、前後のフレ
ームとの関係から独立して圧縮されるフレームを基準フレームと呼ぶ。なお、デジタルデ
ータファイルは、基準フレームの他に前後のフレームとの差分が記録されたフレームも含
む。
一態様として、MP4形式のファイルフォーマットで記録されたデジタルデータファイル
を表示する場合について説明するが、画像処理回路110が信号を処理する手順はMP4
形式のファイルフォーマットにより限定されるものではない。
互換性情報を含む領域(ボックスftyp)、圧縮された音声及び動画像が格納された領
域(メディアデータが格納されたコンテナボックスmdat)、及び当該領域を管理する
ヘッダ情報を格納した領域(メタデータが格納されたコンテナボックスmoov)を含ん
でいる。
を含む領域(ボックス、もしくはチャンク)、及び小分けにされたオーディオデータを含
む領域(ボックス、もしくはチャンク)を複数含んでいる。また、各ビデオデータを含む
領域(ボックス、もしくはチャンク)には、基準フレームが少なくとも一つ格納され、そ
の他にフレーム間の差分を記録した複数のフレームが格納されている。
ルにおいては、小分けにされたビデオデータを含む領域(ボックス、もしくはチャンク)
に格納されるフレーム数は一定ではない。具体的には、フレーム間の変化が小さい画像を
記録した領域(ボックス、もしくはチャンク)に格納されているフレーム数は多く、変化
が大きい画像を記録した領域(ボックス、もしくはチャンク)に格納されているフレーム
数は少ない。
ダ情報を格納した領域(メタデータが格納されたコンテナボックスmoov)は、小分け
にされたビデオデータを含む領域(ボックス、もしくはチャンク)に格納されているフレ
ーム数Nを記録した情報、当該領域(ボックス、もしくはチャンク)のフレームレートR
を記録した情報、及び基準フレームの位置Sを記載した情報を含んでいる。
チャンク)BOX_1に格納されているフレーム数N1は5であり、第2の領域(ボック
ス、もしくはチャンク)BOX_2に格納されているフレーム数N2は3である。また、
第1の領域(ボックス、もしくはチャンク)に格納されている第1の基準フレームの位置
S1は1であり、第2の領域(ボックス、もしくはチャンク)に格納されている第2の基
準フレームの位置S2は6である。なお、第1の領域に格納されたフレーム数N1をS2
とS1の差から求めることもできる。
1の管理情報に、フレーム数N1、フレームレートR1が記述されている場合、第1の領
域に格納された画像の長さはN1とR1の積から求めることができる。本明細書では、こ
の様にして算出した、小分けにされたビデオデータを含む領域(ボックス、もしくはチャ
ンク)に記録された画像の時間をフレーム継続時間と呼ぶ。
動作について説明する。本実施の形態の表示装置の動作には、圧縮された画像を全て復号
して画像を表示する動作モードと、分離回路117がビデオデータを含む領域(ボックス
、もしくはチャンク)に格納された基準フレームを分離して表示する動作モードとがあり
、前者を標準再生モード、後者を簡易再生モードと呼ぶことにする。なお、簡易再生モー
ドにおいては、基準フレーム以外の画像を間引いて復号するため、画像処理回路110に
加わる負荷を軽減できる。
のフレームを復号し、当該画像を表示パネル120に出力する動作について説明する。
次に、デコーダ119は圧縮された画像を復号して、表示制御回路113に出力する。表
示制御回路113は表示パネル120に画像信号を制御信号と共に出力する。
のみを抽出して復号し、当該画像を表示パネル120に出力する場合について説明する。
分離回路117は、圧縮された画像内の、小分けにされたビデオデータを含む第1の領域
(ボックス、もしくはチャンク)BOX_1から、第1の基準フレームを一つ分離する。
次いで分離回路117は第1の基準フレームを復号して1フレーム分の第1の画像を生成
して、表示制御回路113に出力する。なお、基準フレームの位置Sが記載された管理情
報を使って、第1の基準フレームの位置を特定して、第1の基準フレームを分離してもよ
い。
ovを検索し、小分けにされたビデオデータを含む第1の領域(ボックス、もしくはチャ
ンク)のフレーム数N1、及び当該領域(ボックス、もしくはチャンク)のフレームレー
トR1の積を求めて、第1の領域(ボックス、もしくはチャンク)に記録された画像の時
間、すなわち第1のフレーム継続時間を算出する。
力し、第1のフレーム継続時間の間待機する。その結果、表示パネル120は第1の基準
フレームから生成した第1の画像を第1のフレーム継続時間の間、表示し続ける。
くはチャンク)BOX_1に連続する第2の領域(ボックス、もしくはチャンク)BOX
_2から、第2の基準フレームを一つ分離して、第2の画像を準備する。また、表示制御
回路113は第2の領域(ボックス、もしくはチャンク)に記録された画像の時間、すな
わち第2のフレーム継続時間を算出する。
画像を表示パネル120に出力し、第2のフレーム継続時間の間、待機する。その結果、
表示パネル120は第2の基準フレームから生成した第2の画像を第2のフレーム継続時
間の間、表示し続ける。
)から、基準フレームを分離して表示する動作を順次繰り返すことで、圧縮された画像を
簡易的に再生することができる。
回路110の動作負荷が低減され、表示装置100の消費電力を削減できる。
い。モード切り替え機能は、当該表示装置の利用者が手動または外部接続機器を用いて当
該表示装置の動作モードを選択して、標準再生モード、簡易再生モード、または表示の中
止を指示する機能である。
回路113に出力することもできる。
きる。その結果、本実施の形態の表示装置は、書き換え時に表示素子が消費する電力のみ
ならず、画像処理回路が消費する電力も低減できる。
は液晶素子の他、エレクトロルミネッセンスを利用した表示装置であっても、本実施の形
態に例示した画像処理回路が消費する電力を低減できる。
きると、人間は目に疲労を感じることもあり得る。本実施の形態の表示装置は、画像信号
の書き込み頻度が削減されているため、目の疲労を減らすといった効果もある。
共通電極のスイッチングトランジスタに適用することにより、保持容量で電圧を保持でき
る期間を長く取ることができる。
である。
本実施の形態では、本明細書に開示する表示装置に適用できるトランジスタの例を示す。
本明細書に開示する表示装置に適用できるトランジスタの構造は特に限定されず、例えば
トップゲート構造、又はボトムゲート構造のスタガ型及びプレーナ型などを用いることが
できる。また、トランジスタはチャネル形成領域が一つ形成されるシングルゲート構造で
も、二つ形成されるダブルゲート構造もしくは三つ形成されるトリプルゲート構造であっ
ても良い。また、チャネル領域の上下にゲート絶縁層を介して配置された2つのゲート電
極層を有する、デュアルゲート型でもよい。なお、図8(A)乃至(D)にトランジスタ
の断面構造の一例を以下に示す。図8(A)乃至(D)に示すトランジスタは、半導体と
して酸化物半導体を用いるものである。酸化物半導体を用いることのメリットは、比較的
簡単かつ低温のプロセスで高い移動度と低いオフ電流が得られることであるが、もちろん
、他の半導体を用いてもよい。
、逆スタガ型トランジスタともいう。
絶縁層402、酸化物半導体層403、ソース電極層405a、及びドレイン電極層40
5bを含む。また、トランジスタ410を覆い、酸化物半導体層403に積層する絶縁層
407が設けられている。絶縁層407上にはさらに保護絶縁層409が形成されている
。
)と呼ばれるボトムゲート構造の一つであり逆スタガ型トランジスタともいう。
絶縁層402、酸化物半導体層403、酸化物半導体層403のチャネル形成領域を覆う
チャネル保護層として機能する絶縁層427、ソース電極層405a、及びドレイン電極
層405bを含む。また、トランジスタ420を覆い、保護絶縁層409が形成されてい
る。
有する基板である基板400上に、ゲート電極層401、ゲート絶縁層402、ソース電
極層405a、ドレイン電極層405b、及び酸化物半導体層403を含む。また、トラ
ンジスタ430を覆い、酸化物半導体層403に接する絶縁層407が設けられている。
絶縁層407上にはさらに保護絶縁層409が形成されている。
1上に接して設けられ、ゲート絶縁層402上にソース電極層405a、ドレイン電極層
405bが接して設けられている。そして、ゲート絶縁層402、及びソース電極層40
5a、ドレイン電極層405b上に酸化物半導体層403が設けられている。
。トランジスタ440は、絶縁表面を有する基板400上に、絶縁層437、酸化物半導
体層403、ソース電極層405a、及びドレイン電極層405b、ゲート絶縁層402
、ゲート電極層401を含み、ソース電極層405a、ドレイン電極層405bにそれぞ
れ配線層436a、配線層436bが接して設けられ電気的に接続している。
半導体層403に用いる酸化物半導体としては、四元系金属酸化物であるIn−Sn−G
a−Zn−O系酸化物半導体や、三元系金属酸化物であるIn−Ga−Zn−O系酸化物
半導体、In−Sn−Zn−O系酸化物半導体、In−Al−Zn−O系酸化物半導体、
Sn−Ga−Zn−O系酸化物半導体、Al−Ga−Zn−O系酸化物半導体、Sn−A
l−Zn−O系酸化物半導体や、二元系金属酸化物であるIn−Zn−O系酸化物半導体
、Sn−Zn−O系酸化物半導体、Al−Zn−O系酸化物半導体、Zn−Mg−O系酸
化物半導体、Sn−Mg−O系酸化物半導体、In−Mg−O系酸化物半導体や、In−
O系酸化物半導体、Sn−O系酸化物半導体、Zn−O系酸化物半導体などを用いること
ができる。また、上記酸化物半導体に酸化珪素を含ませてもよい。酸化物半導体層に結晶
化を阻害する酸化珪素(SiOx(X>0))を含ませることで、製造プロセス中におい
て酸化物半導体層の形成後に加熱処理した場合に、結晶化してしまうのを抑制することが
できる。ここで、例えば、In−Ga−Zn−O系酸化物半導体とは、少なくともInと
GaとZnを含む酸化物であり、その組成比に特に制限はない。また、InとGaとZn
以外の元素を含んでもよい。
数でない)で表記される薄膜を用いることができる。ここで、Mは、Ga、Al、Mnお
よびCoから選ばれた一または複数の金属元素を示す。例えばMとして、Ga、Ga及び
Al、Ga及びMn、またはGa及びCoなどがある。
態における電流値(オフ電流値)を低くすることができる。よって、画像イメージデータ
等の電気信号の保持時間を長くすることができ、書き込み間隔も長く設定できる。よって
、リフレッシュ動作の頻度を少なくすることができるため、消費電力を抑制する効果を奏
する。
比較的高い電界効果移動度が得られるため、高速駆動が可能である。よって、表示装置の
画素部に該トランジスタを用いることで、色分離を抑制することができ、高画質な画像を
提供することができる。また、該トランジスタは、同一基板上に駆動回路部または画素部
に作り分けて作製することができるため、液晶表示装置の部品点数を削減することができ
る。
ムホウケイ酸ガラスやアルミノホウケイ酸ガラスなどのガラス基板を用いる。
を基板とゲート電極層の間に設けてもよい。下地膜は、基板からの不純物元素の拡散を防
止する機能があり、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、又は酸化窒
化シリコン膜から選ばれた一又は複数の膜による積層構造により形成することができる。
アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料またはこれらを主成分とする合
金材料を用いて、単層でまたは積層して形成することができる。
ン層、窒化シリコン層、酸化窒化シリコン層、窒化酸化シリコン層、酸化アルミニウム層
、窒化アルミニウム層、酸化窒化アルミニウム層、窒化酸化アルミニウム層、又は酸化ハ
フニウム層を単層で又は積層して形成することができる。例えば、第1のゲート絶縁層と
してプラズマCVD法により膜厚50nm以上200nm以下の窒化シリコン層(SiN
y(y>0))を形成し、第1のゲート絶縁層上に第2のゲート絶縁層として膜厚5nm
以上300nm以下の酸化シリコン層(SiOx(x>0))を積層して、合計膜厚20
0nmのゲート絶縁層とする。
、Cr、Cu、Ta、Ti、Mo、Wからから選ばれた元素、または上述した元素を成分
とする合金か、上述した元素を組み合わせた合金膜等を用いることができる。また、Al
、Cuなどの金属層の下側又は上側の一方または双方にTi、Mo、Wなどの高融点金属
層を積層させた構成としても良い。また、Al膜に生ずるヒロックやウィスカーの発生を
防止する元素(Si、Nd、Scなど)が添加されているAl材料を用いることで耐熱性
を向上させることが可能となる。
6bのような導電膜も、ソース電極層405a、ドレイン電極層405bと同様な材料を
用いることができる。
層を含む)となる導電膜としては導電性の金属酸化物で形成しても良い。導電性の金属酸
化物としては酸化インジウム(In2O3)、酸化スズ(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO
)、酸化インジウム酸化スズ合金(In2O3―SnO2、ITOと略記する)、酸化イ
ンジウム酸化亜鉛合金(In2O3―ZnO)またはこれらの金属酸化物材料に酸化シリ
コンを含ませたものを用いることができる。
化アルミニウム膜、または酸化窒化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができ
る。
酸化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができる。
を形成してもよい。平坦化絶縁膜としては、ポリイミド、アクリル、ベンゾシクロブテン
、等の有機材料を用いることができる。また上記有機材料の他に、低誘電率材料(low
−k材料)等を用いることができる。なお、これらの材料で形成される絶縁膜を複数積層
させることで、平坦化絶縁膜を形成してもよい。
より、高機能な表示装置を提供することができる。
フ状態のトランジスタを介して表示素子、並びに容量素子に蓄えられた電荷が漏れ難く、
トランジスタがオフ状態になる前に書き込まれた状態を長期間に渡って保持できる。
本実施の形態は、酸化物半導体層を含むトランジスタ、及び作製方法の一例を、図9を用
いて詳細に説明する。上記実施の形態と同一部分又は同様な機能を有する部分、及び工程
は、上記実施の形態と同様に行うことができ、繰り返しの説明は省略する。
示すトランジスタ510は、図8(A)に示すトランジスタ410と同様なボトムゲート
構造の逆スタガ型トランジスタである。
から除去し、酸化物半導体の主成分以外の不純物が極力含まれないように高純度化するこ
とによりI型(真性)の酸化物半導体、又はI型(真性)に限りなく近い酸化物半導体と
したものである。すなわち、不純物を添加してI型化するのでなく、水素や水等の不純物
を極力除去したことにより、高純度化されたI型(真性半導体)又はそれに近づけること
を特徴としている。従って、トランジスタ510が有する酸化物半導体層は、高純度化及
び電気的にI型(真性)化された酸化物半導体層である。
リア濃度は1×1014/cm3未満、好ましくは1×1012/cm3未満、さらに好
ましくは1×1011/cm3未満である。
ることができる。オフ電流は少なければ少ないほど好ましい。
のオフ電流密度を室温下において、10aA/μm(1×10−17A/μm)以下にす
ること、さらには1aA/μm(1×10−18A/μm)以下、さらには10zA/μ
m(1×10−20A/μm)以下にすることが可能である。
素部におけるトランジスタとして用いることにより、静止画領域におけるリフレッシュ動
作を少ない画像データの書き込み回数で行うことができる。
とんど見られず、オフ電流も非常に小さいままである。
を説明する。
工程によりゲート電極層511を形成する。なお、レジストマスクをインクジェット法で
形成してもよい。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用し
ないため、製造コストを低減できる。
ことができる。本実施の形態では基板505としてガラス基板を用いる。
、基板505からの不純物元素の拡散を防止する機能があり、窒化シリコン膜、酸化シリ
コン膜、窒化酸化シリコン膜、又は酸化窒化シリコン膜から選ばれた一又は複数の膜によ
る積層構造により形成することができる。
ルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料又はこれらを主成分とする合金材
料を用いて、単層で又は積層して形成することができる。
、プラズマCVD法又はスパッタリング法等を用いて、酸化シリコン層、窒化シリコン層
、酸化窒化シリコン層、窒化酸化シリコン層、酸化アルミニウム層、窒化アルミニウム層
、酸化窒化アルミニウム層、窒化酸化アルミニウム層、又は酸化ハフニウム層を単層で又
は積層して形成することができる。
化物半導体を用いる。このような高純度化された酸化物半導体は界面準位、界面電荷に対
して極めて敏感であるため、酸化物半導体層とゲート絶縁層との界面は重要である。その
ため高純度化された酸化物半導体に接するゲート絶縁層は、高品質化が要求される。
で絶縁耐圧の高い高品質な絶縁層を形成できるので好ましい。高純度化された酸化物半導
体と高品質ゲート絶縁層とが密接することにより、界面準位を低減して界面特性を良好な
ものとすることができるからである。
法やプラズマCVD法など他の成膜方法を適用することができる。また、成膜後の熱処理
によってゲート絶縁層の膜質、酸化物半導体との界面特性が改質される絶縁層であっても
良い。いずれにしても、ゲート絶縁層としての膜質が良好であることは勿論のこと、酸化
物半導体との界面準位密度を低減し、良好な界面を形成できるものであれば良い。
まれないようにするために、酸化物半導体膜530の成膜の前処理として、スパッタリン
グ装置の予備加熱室でゲート電極層511が形成された基板505、又はゲート絶縁層5
07までが形成された基板505を予備加熱し、基板505に吸着した水素、水分などの
不純物を脱離し排気することが好ましい。なお、予備加熱室に設ける排気手段はクライオ
ポンプが好ましい。なお、この予備加熱の処理は省略することもできる。またこの予備加
熱は、絶縁層516の成膜前に、ソース電極層515a及びドレイン電極層515bまで
形成した基板505にも同様に行ってもよい。
上30nm以下の酸化物半導体膜530を形成する(図9(A)参照。)。
入してプラズマを発生させる逆スパッタを行い、ゲート絶縁層507の表面に付着してい
る粉状物質(パーティクル、ごみともいう)を除去することが好ましい。逆スパッタとは
、ターゲット側に電圧を印加せずに、アルゴン雰囲気下で基板側にRF電源を用いて電圧
を印加して基板にプラズマを形成して表面を改質する方法である。なお、アルゴン雰囲気
に代えて窒素、ヘリウム、酸素などを用いてもよい。
や、三元系金属酸化物や、二元系金属酸化物や、In−O系、Sn−O系、Zn−O系な
どの酸化物半導体を用いることができる。また、上記酸化物半導体にSiO2を含んでも
よい。本実施の形態では、酸化物半導体膜530としてIn−Ga−Zn−O系酸化物タ
ーゲットを用いてスパッタリング法により成膜する。この段階での断面図が図9(A)に
相当する。また、酸化物半導体膜530は、希ガス(代表的にはアルゴン)雰囲気下、酸
素雰囲気下、又は希ガスと酸素の混合雰囲気下においてスパッタ法により形成することが
できる。
、組成比として、In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1[mol%](すなわち
、In:Ga:Zn=1:1:0.5[atom%])を用いることができる。また、他
にも、In:Ga:Zn=1:1:1[atom%]、又はIn:Ga:Zn=1:1:
2[atom%]の組成比を有するターゲットを用いてもよい。酸化物ターゲットの充填
率は90%以上100%以下、好ましくは95%以上99.9%以下である。充填率の高
い金属酸化物ターゲットを用いることにより、成膜した酸化物半導体膜は緻密な膜となる
。
化物などの不純物が除去された高純度ガスを用いることが好ましい。
ましくは200℃以上400℃以下とする。基板を加熱しながら成膜することにより、成
膜した酸化物半導体膜に含まれる不純物濃度を低減することができる。また、スパッタリ
ングによる損傷が軽減される。そして、成膜室内の残留水分を除去しつつ水素及び水分が
除去されたスパッタガスを導入し、上記ターゲットを用いて基板505上に酸化物半導体
膜530を成膜する。成膜室内の残留水分を除去するためには、吸着型の真空ポンプ、例
えば、クライオポンプ、イオンポンプ、チタンサブリメーションポンプを用いることが好
ましい。また、排気手段としては、ターボポンプにコールドトラップを加えたものであっ
てもよい。クライオポンプを用いて排気した成膜室は、例えば、水素原子、水(H2O)
など水素原子を含む化合物(より好ましくは炭素原子を含む化合物も)等が排気されるた
め、当該成膜室で成膜した酸化物半導体膜に含まれる不純物の濃度を低減できる。
、直流(DC)電源0.5kW、酸素(酸素流量比率100%)雰囲気下の条件が適用さ
れる。なお、パルス直流電源を用いると、成膜時に発生する粉状物質(パーティクル、ご
みともいう)が軽減でき、膜厚分布も均一となるために好ましい。
体層に加工する。また、島状の酸化物半導体層を形成するためのレジストマスクをインク
ジェット法で形成してもよい。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマ
スクを使用しないため、製造コストを低減できる。
膜530の加工時に同時に行うことができる。
ッチングでもよく、両方を用いてもよい。例えば、酸化物半導体膜530のウェットエッ
チングに用いるエッチング液としては、燐酸と酢酸と硝酸を混ぜた溶液などを用いること
ができる。また、ITO07N(関東化学社製)を用いてもよい。
導体層の脱水化または脱水素化を行うことができる。第1の加熱処理の温度は、400℃
以上750℃以下、または400℃以上基板の歪み点未満とする。ここでは、加熱処理装
置の一つである電気炉に基板を導入し、酸化物半導体層に対して窒素雰囲気下450℃に
おいて1時間の加熱処理を行った後、大気に触れることなく、酸化物半導体層への水や水
素の再混入を防ぎ、酸化物半導体層531を得る(図9(B)参照。)。
輻射によって、被処理物を加熱する装置を備えていてもよい。例えば、GRTA(Gas
Rapid Thermal Anneal)装置、LRTA(Lamp Rapid
Thermal Anneal)装置等のRTA(Rapid Thermal An
neal)装置を用いることができる。LRTA装置は、ハロゲンランプ、メタルハライ
ドランプ、キセノンアークランプ、カーボンアークランプ、高圧ナトリウムランプ、高圧
水銀ランプなどのランプから発する光(電磁波)の輻射により、被処理物を加熱する装置
である。GRTA装置は、高温のガスを用いて加熱処理を行う装置である。高温のガスに
は、アルゴンなどの希ガス、または窒素のような、加熱処理によって被処理物と反応しな
い不活性気体が用いられる。
板を移動させて入れ、数分間加熱した後、基板を移動させて高温に加熱した不活性ガス中
から出すGRTAを行ってもよい。
に、水、水素などが含まれないことが好ましい。または、加熱処理装置に導入する窒素、
またはヘリウム、ネオン、アルゴン等の希ガスの純度を、6N(99.9999%)以上
、好ましくは7N(99.99999%)以上、(即ち不純物濃度を1ppm以下、好ま
しくは0.1ppm以下)とすることが好ましい。
度のN2Oガス、又は超乾燥エア(露点が−40℃以下、好ましくは−60℃以下)を導
入してもよい。酸素ガスまたはN2Oガスには、水、水素などが含まれないことが好まし
い。または、加熱処理装置に導入する酸素ガスまたはN2Oガスの純度を、6N以上、好
ましくは7N以上、(即ち、酸素ガスまたはN2Oガス中の不純物濃度を1ppm以下、
好ましくは0.1ppm以下)とすることが好ましい。酸素ガス又はN2Oガスの作用に
より、脱水化または脱水素化処理による不純物の排除工程によって同時に減少してしまっ
た酸化物半導体を構成する主成分材料である酸素を供給することによって、酸化物半導体
層を高純度化及び電気的にI型(真性)化する。
半導体膜530に行うこともできる。その場合には、第1の加熱処理後に、加熱装置から
基板を取り出し、フォトリソグラフィ工程を行う。
層上にソース電極層及びドレイン電極層を積層させた後、あるいは、ソース電極層及びド
レイン電極層上に絶縁層を形成した後、のいずれで行っても良い。
膜530に第1の加熱処理を行う前でも行った後に行ってもよい。
部材の材料が、酸化物、窒化物、金属など材料を問わず、膜表面に垂直にc軸配向した結
晶領域を有する酸化物半導体層を形成してもよい。例えば、3nm以上15nm以下の第
1の酸化物半導体膜を成膜し、窒素、酸素、希ガス、または乾燥空気の雰囲気下で450
℃以上850℃以下、好ましくは550℃以上750℃以下の第1の加熱処理を行い、表
面を含む領域に結晶領域(板状結晶を含む)を有する第1の酸化物半導体膜を形成する。
そして、第1の酸化物半導体膜よりも厚い第2の酸化物半導体膜を形成し、450℃以上
850℃以下、好ましくは600℃以上700℃以下の第2の加熱処理を行い、第1の酸
化物半導体膜を結晶成長の種として、上方に結晶成長させ、第2の酸化物半導体膜の全体
を結晶化させ、結果として膜厚の厚い結晶領域を有する酸化物半導体層を形成してもよい
。
ン電極層(これと同じ層で形成される配線を含む)となる導電膜を形成する。ソース電極
層、及びドレイン電極層に用いる導電膜としては、実施の形態3に示したソース電極層4
05a、ドレイン電極層405bに用いる材料を用いることができる。
チングを行ってソース電極層515a、ドレイン電極層515bを形成した後、レジスト
マスクを除去する(図9(C)参照。)。
ーザ光やArFレーザ光を用いるとよい。酸化物半導体層531上で隣り合うソース電極
層の下端部とドレイン電極層の下端部との間隔幅によって後に形成されるトランジスタの
チャネル長Lが決定される。なお、チャネル長L=25nm未満の露光を行う場合には、
数nm〜数10nmと極めて波長が短い超紫外線(Extreme Ultraviol
et)を用いて第3のフォトリソグラフィ工程でのレジストマスク形成時の露光を行うと
よい。超紫外線による露光は、解像度が高く焦点深度も大きい。従って、後に形成される
トランジスタのチャネル長Lを10nm以上1000nm以下とすることも可能であり、
回路の動作速度を高速化でき、さらにオフ電流値が極めて小さいため、低消費電力化も図
ることができる。また、フォトリソグラフィ工程で用いるフォトマスク数及び工程数を削
減するため、透過した光が複数の強度となる露光マスクである多階調マスクによって形成
されたレジストマスクを用いてエッチング工程を行ってもよい。多階調マスクを用いて形
成したレジストマスクは複数の膜厚を有する形状となり、エッチングを行うことでさらに
形状を変形することができるため、異なるパターンに加工する複数のエッチング工程に用
いることができる。よって、一枚の多階調マスクによって、少なくとも二種類以上の異な
るパターンに対応するレジストマスクを形成することができる。よって露光マスク数を削
減することができ、対応するフォトリソグラフィ工程も削減できるため、工程の簡略化が
可能となる。
とのないようエッチング条件を最適化することが望まれる。しかしながら、導電膜のみを
エッチングし、酸化物半導体層531を全くエッチングしないという条件を得ることは難
しく、導電膜のエッチングの際に酸化物半導体層531は一部のみがエッチングされ、溝
部(凹部)を有する酸化物半導体層となることもある。
Zn−O系酸化物半導体を用いたので、エッチャントとして過水アンモニア水(アンモニ
ア、水、過酸化水素水の混合液)を用いる。
る酸化物半導体層の表面に付着した吸着水などを除去してもよい。プラズマ処理を行った
場合、大気に触れることなく、酸化物半導体層の一部に接する保護絶縁膜となる絶縁層5
16を形成する。
、水素等の不純物を混入させない方法を適宜用いて形成することができる。絶縁層516
に水素が含まれると、その水素の酸化物半導体層への侵入、又は水素が酸化物半導体層中
の酸素を引き抜き、酸化物半導体層のバックチャネルが低抵抗化(N型化)してしまい、
寄生チャネルが形成されるおそれがある。よって、絶縁層516はできるだけ水素を含ま
ない膜になるように、成膜方法に水素を用いないことが重要である。
ング法を用いて成膜する。成膜時の基板温度は、室温以上300℃以下とすればよく、本
実施の形態では100℃とする。酸化シリコン膜のスパッタ法による成膜は、希ガス(代
表的にはアルゴン)雰囲気下、酸素雰囲気下、または希ガスと酸素の混合雰囲気下におい
て行うことができる。また、ターゲットとして酸化シリコンターゲットまたはシリコンタ
ーゲットを用いることができる。例えば、シリコンターゲットを用いて、酸素を含む雰囲
気下でスパッタ法により酸化シリコンを形成することができる。酸化物半導体層に接して
形成する絶縁層516は、水分や、水素イオンや、OH−などの不純物を含まず、これら
が外部から侵入することをブロックする無機絶縁膜を用い、代表的には酸化シリコン膜、
酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、または酸化窒化アルミニウム膜などを用いる
。
ためには、吸着型の真空ポンプ(クライオポンプなど)を用いることが好ましい。クライ
オポンプを用いて排気した成膜室で成膜した絶縁層516に含まれる不純物の濃度を低減
できる。また、絶縁層516の成膜室内の残留水分を除去するための排気手段としては、
ターボポンプにコールドトラップを加えたものであってもよい。
の不純物が除去された高純度ガスを用いることが好ましい。
00℃以上400℃以下、例えば250℃以上350℃以下)を行う。例えば、窒素雰囲
気下で250℃、1時間の第2の加熱処理を行う。第2の加熱処理を行うと、酸化物半導
体層の一部(チャネル形成領域)が絶縁層516と接した状態で加熱される。
水分、水酸基又は水素化物(水素化合物ともいう)などの不純物を酸化物半導体層より意
図的に排除し、かつ不純物の排除工程によって同時に減少してしまう酸化物半導体を構成
する主成分材料の一つである酸素を供給することができる。よって、酸化物半導体層は高
純度化及び電気的にI型(真性)化する。
の加熱処理によって酸化物半導体層中に含まれる水素、水分、水酸基又は水素化物などの
不純物を酸化物絶縁層に拡散させ、酸化物半導体層中に含まれる該不純物をより低減させ
る効果を奏する。
用いて窒化シリコン膜を形成する。RFスパッタ法は、量産性がよいため、保護絶縁層の
成膜方法として好ましい。保護絶縁層は、水分などの不純物を含まず、これらが外部から
侵入することをブロックする無機絶縁膜を用い、窒化シリコン膜、窒化アルミニウム膜な
どを用いる。本実施の形態では、保護絶縁層として保護絶縁層506を、窒化シリコン膜
を用いて形成する(図9(E)参照。)。
に加熱し、水素及び水分が除去された高純度窒素を含むスパッタガスを導入しシリコン半
導体のターゲットを用いて窒化シリコン膜を、保護絶縁層506として成膜する。この場
合においても、絶縁層516と同様に、処理室内の残留水分を除去しつつ保護絶縁層50
6を成膜することが好ましい。
下での加熱処理を行ってもよい。この加熱処理は一定の加熱温度を保持して加熱してもよ
いし、室温から、100℃以上200℃の加熱温度への昇温と、加熱温度から室温までの
降温を複数回くりかえして行ってもよい。
ンジスタを用いることにより、オフ状態における電流値(オフ電流値)をより低くするこ
とができる。よって、画像イメージデータ等の電気信号の保持時間を長くすることができ
、書き込み間隔も長く設定できる。よって、リフレッシュ動作の頻度をより少なくするこ
とができるため、消費電力を抑制する効果を高くできる。
れるため、高速駆動が可能である。よって、表示装置の画素部に該トランジスタを用いる
ことで、高画質な画像を提供することができる。また、該トランジスタは、同一基板上に
駆動回路部または画素部に作り分けて作製することができるため、表示装置の部品点数を
削減することができる。
本実施の形態においては、上記実施の形態で説明した表示装置を具備する電子機器の例に
ついて説明する。
1、操作キー9632、太陽電池9633、充放電制御回路9634を有することができ
る。図10(A)に示した電子書籍は、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)
を表示する機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示部に表示する機能、表示部に表示
した情報を操作又は編集する機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制
御する機能、等を有することができる。なお、図10(A)では充放電制御回路9634
の一例としてバッテリー9635、DCDCコンバータ(以下、コンバータ9636と略
記)を有する構成について示している。
置を用いる場合、比較的明るい状況下での使用も予想され、太陽電池9633による発電
、及びバッテリー9635での充電を効率よく行うことができ、好適である。なお太陽電
池9633は、筐体9630の表面及び裏面に効率的なバッテリー9635の充電を行う
構成とすることができるため好適である。なおバッテリー9635としては、リチウムイ
オン電池を用いると、小型化を図れる等の利点がある。
にブロック図を示し説明する。図10(B)には、太陽電池9633、バッテリー963
5、コンバータ9636、コンバータ9637、スイッチSW1乃至SW3、表示部96
31について示しており、バッテリー9635、コンバータ9636、コンバータ963
7、スイッチSW1乃至SW3が充放電制御回路9634に対応する箇所となる。
太陽電池で発電した電力は、バッテリー9635を充電するための電圧となるようコンバ
ータ9636で昇圧または降圧がなされる。そして、表示部9631の動作に太陽電池9
633からの電力が用いられる際にはスイッチSW1をオンにし、コンバータ9637で
表示部9631に必要な電圧に昇圧または降圧をすることとなる。また、表示部9631
での表示を行わない際には、SW1をオフにし、SW2をオンにしてバッテリー9635
の充電を行う構成とすればよい。
る。バッテリー9635に蓄電された電力は、スイッチSW3をオンにすることでコンバ
ータ9637により昇圧または降圧がなされる。そして、表示部9631の動作にバッテ
リー9635からの電力が用いられることとなる。
テリー9635の充電を行う構成であってもよい。また他の充電手段を組み合わせて行う
構成としてもよい。
である。
110 画像処理回路
113 表示制御回路
116 記憶回路
117 分離回路
119 デコーダ
120 表示パネル
121 駆動回路部
121A ゲート線側駆動回路
121B 信号線側駆動回路
122 画素部
123 画素
124 ゲート線
125 信号線
126 端子部
126A 端子
126B 端子
127 スイッチング素子
128 共通電極部
130 照明手段
210 容量素子
214 トランジスタ
215 表示素子
301 期間
302 期間
303 期間
304 期間
400 基板
401 ゲート電極層
402 ゲート絶縁層
403 酸化物半導体層
405a ソース電極層
405b ドレイン電極層
407 絶縁層
409 保護絶縁層
410 トランジスタ
420 トランジスタ
427 絶縁層
430 トランジスタ
436a 配線層
436b 配線層
437 絶縁層
440 トランジスタ
450 窒素雰囲気下
505 基板
506 保護絶縁層
507 ゲート絶縁層
510 トランジスタ
511 ゲート電極層
515a ソース電極層
515b ドレイン電極層
516 絶縁層
530 酸化物半導体膜
531 酸化物半導体層
601 期間
602 期間
603 期間
604 期間
9630 筐体
9631 表示部
9632 操作キー
9633 太陽電池
9634 充放電制御回路
9635 バッテリー
9636 コンバータ
9637 コンバータ
Claims (2)
- 第1のモードで動画を表示する機能と、第2のモードで動画を表示する機能と、第3のモードで静止画を表示する機能と、を有する液晶表示装置であって、
画素を有し、
前記第1のモードにおいて前記画素に画像信号を書き込む頻度よりも、前記第2のモードにおいて前記画素に画像信号を書き込む頻度は低く、
前記第1のモードにおいて前記画素に画像信号を書き込む頻度よりも、前記第3のモードにおいて前記画素に画像信号を書き込む頻度は低く、
前記画素は、トランジスタと、液晶素子と、を有し、
前記トランジスタは、酸化物半導体層を有し、
前記酸化物半導体層は、Inと、Gaと、Znと、を有し、
前記酸化物半導体層は、第1の酸化物半導体層と、前記第1の酸化物半導体層上方の第2の酸化物半導体層と、を有し、
前記第2の酸化物半導体層は、c軸配向した結晶領域を有することを特徴とする液晶表示装置。 - 第1のモードで動画を表示する機能と、第2のモードで動画を表示する機能と、第3のモードで静止画を表示する機能と、を有する液晶表示装置であって、
画素を有し、
前記第1のモードにおいて前記画素に画像信号を書き込む頻度よりも、前記第2のモードにおいて前記画素に画像信号を書き込む頻度は低く、
前記第1のモードにおいて前記画素に画像信号を書き込む頻度よりも、前記第3のモードにおいて前記画素に画像信号を書き込む頻度は低く、
前記画素は、トランジスタと、液晶素子と、を有し、
前記トランジスタは、ゲート電極層と、前記ゲート電極層上方のゲート絶縁層と、前記ゲート絶縁層上方の酸化物半導体層と、前記酸化物半導体層上方のソース電極層と、前記酸化物半導体層上方のドレイン電極層と、を有し、
前記酸化物半導体層は、Inと、Gaと、Znと、を有し、
前記酸化物半導体層は、第1の酸化物半導体層と、前記第1の酸化物半導体層上方の第2の酸化物半導体層と、を有し、
前記第2の酸化物半導体層は、c軸配向した結晶領域を有し、
前記酸化物半導体層上方、前記ソース電極層上方及び前記ドレイン電極層上方には、第1の絶縁層が設けられており、
前記第1の絶縁層上方には、第2の絶縁層が設けられており、
前記第1の絶縁層は、酸素と、珪素と、を有し、
前記第2の絶縁層は、窒素と、珪素と、を有することを特徴とする液晶表示装置。
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US8988409B2 (en) | 2011-07-22 | 2015-03-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods and devices for voltage reduction for active matrix displays using variability of pixel device capacitance |
US20130021309A1 (en) * | 2011-07-22 | 2013-01-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods and devices for driving a display using both an active matrix addressing scheme and a passive matrix addressing scheme |
US10416504B2 (en) * | 2013-05-21 | 2019-09-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device |
KR102087967B1 (ko) * | 2013-07-30 | 2020-04-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 액정 표시 장치 및 그 구동 방법 |
KR102207220B1 (ko) * | 2013-09-05 | 2021-01-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 드라이버, 디스플레이 드라이버 구동방법 및 영상 표시 시스템 |
KR102485165B1 (ko) * | 2015-08-21 | 2023-01-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 그 구동 방법 |
CN105388646B (zh) * | 2015-12-14 | 2019-02-12 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶显示屏及液晶显示屏的色偏补偿方法 |
CN105654052A (zh) * | 2015-12-31 | 2016-06-08 | 田雪松 | 点阵文件切割方法 |
US10347174B2 (en) * | 2017-01-03 | 2019-07-09 | Solomon Systech Limited | System of compressed frame scanning for a display and a method thereof |
JP6375016B1 (ja) * | 2017-04-26 | 2018-08-15 | 住友化学株式会社 | 電極付き基板、積層基板及び有機デバイスの製造方法 |
CN107318048B (zh) * | 2017-06-06 | 2019-12-10 | 深圳市创维软件有限公司 | 一种电压采集方法、装置及存储介质 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001312253A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Sharp Corp | 表示装置の駆動方法およびそれを用いた表示装置ならびに携帯機器 |
JP2002182619A (ja) * | 2000-10-05 | 2002-06-26 | Sharp Corp | 表示装置の駆動方法およびそれを用いた表示装置 |
JP2007298973A (ja) * | 2006-04-05 | 2007-11-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置、表示装置及びに電子機器 |
JP2008533693A (ja) * | 2006-02-15 | 2008-08-21 | 財団法人高知県産業振興センター | 半導体素子及びその製法 |
JP2009031750A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-02-12 | Fujifilm Corp | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP2009116324A (ja) * | 2007-10-19 | 2009-05-28 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置及びその駆動方法並びに当該表示装置を用いた電子機器 |
JP2009212476A (ja) * | 2007-03-27 | 2009-09-17 | Fujifilm Corp | 薄膜電界効果型トランジスタおよびそれを用いた表示装置 |
Family Cites Families (151)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60198861A (ja) | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタ |
JPH0244256B2 (ja) | 1987-01-28 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn2o5deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244260B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn5o8deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244258B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn3o6deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPS63210023A (ja) | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | InGaZn↓4O↓7で示される六方晶系の層状構造を有する化合物およびその製造法 |
JPH0244262B2 (ja) | 1987-02-27 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244263B2 (ja) | 1987-04-22 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn7o10deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH05224626A (ja) | 1992-02-14 | 1993-09-03 | Fujitsu Ltd | 液晶表示装置 |
JPH05251705A (ja) | 1992-03-04 | 1993-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JPH05265961A (ja) * | 1992-03-19 | 1993-10-15 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 電子ブック |
JP3479375B2 (ja) | 1995-03-27 | 2003-12-15 | 科学技術振興事業団 | 亜酸化銅等の金属酸化物半導体による薄膜トランジスタとpn接合を形成した金属酸化物半導体装置およびそれらの製造方法 |
WO1997006554A2 (en) | 1995-08-03 | 1997-02-20 | Philips Electronics N.V. | Semiconductor device provided with transparent switching element |
JP3625598B2 (ja) | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
US6219381B1 (en) * | 1997-05-26 | 2001-04-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing apparatus and method for realizing trick play |
JP4170454B2 (ja) | 1998-07-24 | 2008-10-22 | Hoya株式会社 | 透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 |
JP2000150861A (ja) | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Tdk Corp | 酸化物薄膜 |
JP3276930B2 (ja) | 1998-11-17 | 2002-04-22 | 科学技術振興事業団 | トランジスタ及び半導体装置 |
JP3413118B2 (ja) * | 1999-02-02 | 2003-06-03 | 株式会社東芝 | 液晶表示装置 |
TW460731B (en) * | 1999-09-03 | 2001-10-21 | Ind Tech Res Inst | Electrode structure and production method of wide viewing angle LCD |
EP1296174B1 (en) | 2000-04-28 | 2016-03-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display unit, drive method for display unit, electronic apparatus mounting display unit thereon |
JP4040826B2 (ja) * | 2000-06-23 | 2008-01-30 | 株式会社東芝 | 画像処理方法および画像表示システム |
JP4089858B2 (ja) | 2000-09-01 | 2008-05-28 | 国立大学法人東北大学 | 半導体デバイス |
JP2008233925A (ja) | 2000-10-05 | 2008-10-02 | Sharp Corp | 表示装置の駆動方法、それを用いた表示装置、およびその表示装置を搭載した携帯機器 |
KR20020038482A (ko) * | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 모리시타 요이찌 | 박막 트랜지스터 어레이, 그 제조방법 및 그것을 이용한표시패널 |
JP2002158893A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-05-31 | Minolta Co Ltd | 画像補正装置、画像補正方法および記録媒体 |
JP3730159B2 (ja) * | 2001-01-12 | 2005-12-21 | シャープ株式会社 | 表示装置の駆動方法および表示装置 |
JP2002223291A (ja) * | 2001-01-26 | 2002-08-09 | Olympus Optical Co Ltd | 無線携帯情報表示装置 |
JP3997731B2 (ja) * | 2001-03-19 | 2007-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 基材上に結晶性半導体薄膜を形成する方法 |
JP2002289859A (ja) | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Minolta Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP3749147B2 (ja) * | 2001-07-27 | 2006-02-22 | シャープ株式会社 | 表示装置 |
JP3815599B2 (ja) * | 2001-08-30 | 2006-08-30 | 株式会社ディーアンドエムホールディングス | データ再生装置 |
JP3925839B2 (ja) | 2001-09-10 | 2007-06-06 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置およびその試験方法 |
JP4090716B2 (ja) | 2001-09-10 | 2008-05-28 | 雅司 川崎 | 薄膜トランジスタおよびマトリクス表示装置 |
WO2003040441A1 (en) | 2001-11-05 | 2003-05-15 | Japan Science And Technology Agency | Natural superlattice homologous single crystal thin film, method for preparation thereof, and device using said single crystal thin film |
JP4164562B2 (ja) | 2002-09-11 | 2008-10-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ホモロガス薄膜を活性層として用いる透明薄膜電界効果型トランジスタ |
JP4083486B2 (ja) | 2002-02-21 | 2008-04-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | LnCuO(S,Se,Te)単結晶薄膜の製造方法 |
US7049190B2 (en) * | 2002-03-15 | 2006-05-23 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for forming ZnO film, method for forming ZnO semiconductor layer, method for fabricating semiconductor device, and semiconductor device |
JP3933591B2 (ja) * | 2002-03-26 | 2007-06-20 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
US7339187B2 (en) * | 2002-05-21 | 2008-03-04 | State Of Oregon Acting By And Through The Oregon State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Transistor structures |
JP2004022625A (ja) * | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法 |
US7105868B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-09-12 | Cermet, Inc. | High-electron mobility transistor with zinc oxide |
US7067843B2 (en) * | 2002-10-11 | 2006-06-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Transparent oxide semiconductor thin film transistors |
JP4186767B2 (ja) * | 2002-10-31 | 2008-11-26 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
JP4166105B2 (ja) | 2003-03-06 | 2008-10-15 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004273732A (ja) | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
JP4108633B2 (ja) | 2003-06-20 | 2008-06-25 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子デバイス |
US7262463B2 (en) * | 2003-07-25 | 2007-08-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transistor including a deposited channel region having a doped portion |
KR101078509B1 (ko) | 2004-03-12 | 2011-10-31 | 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 | 박막 트랜지스터의 제조 방법 |
US7297977B2 (en) * | 2004-03-12 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
US7282782B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Combined binary oxide semiconductor device |
US7145174B2 (en) * | 2004-03-12 | 2006-12-05 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Semiconductor device |
US7211825B2 (en) | 2004-06-14 | 2007-05-01 | Yi-Chi Shih | Indium oxide-based thin film transistors and circuits |
JP4877873B2 (ja) * | 2004-08-03 | 2012-02-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置及びその作製方法 |
JP2006100760A (ja) | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US7285501B2 (en) * | 2004-09-17 | 2007-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming a solution processed device |
JP2006098765A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Seiko Epson Corp | 画像表示装置、画像表示システム、画像出力機器、及び画像表示装置のリフレッシュレート設定方法 |
JP4754798B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2011-08-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置の作製方法 |
JP4698998B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2011-06-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置の作製方法 |
US7298084B2 (en) * | 2004-11-02 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods and displays utilizing integrated zinc oxide row and column drivers in conjunction with organic light emitting diodes |
US7829444B2 (en) * | 2004-11-10 | 2010-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor manufacturing method |
CA2585071A1 (en) * | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor employing an amorphous oxide |
US7453065B2 (en) * | 2004-11-10 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor and image pickup device |
WO2006051994A2 (en) * | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Light-emitting device |
CN102938420B (zh) * | 2004-11-10 | 2015-12-02 | 佳能株式会社 | 无定形氧化物和场效应晶体管 |
US7791072B2 (en) * | 2004-11-10 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display |
US7863611B2 (en) * | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
JP5126729B2 (ja) | 2004-11-10 | 2013-01-23 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置 |
US7579224B2 (en) * | 2005-01-21 | 2009-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film semiconductor device |
TWI569441B (zh) * | 2005-01-28 | 2017-02-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
TWI472037B (zh) * | 2005-01-28 | 2015-02-01 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
US7858451B2 (en) * | 2005-02-03 | 2010-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device, semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7948171B2 (en) * | 2005-02-18 | 2011-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US20060197092A1 (en) * | 2005-03-03 | 2006-09-07 | Randy Hoffman | System and method for forming conductive material on a substrate |
US8681077B2 (en) * | 2005-03-18 | 2014-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and display device, driving method and electronic apparatus thereof |
WO2006105077A2 (en) * | 2005-03-28 | 2006-10-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Low voltage thin film transistor with high-k dielectric material |
US7645478B2 (en) * | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
US8300031B2 (en) * | 2005-04-20 | 2012-10-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising transistor having gate and drain connected through a current-voltage conversion element |
JP2006344849A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US7691666B2 (en) * | 2005-06-16 | 2010-04-06 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7402506B2 (en) | 2005-06-16 | 2008-07-22 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7507618B2 (en) * | 2005-06-27 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method for making electronic devices using metal oxide nanoparticles |
KR100711890B1 (ko) * | 2005-07-28 | 2007-04-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
JP2007059128A (ja) * | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Canon Inc | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP2007073705A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Canon Inc | 酸化物半導体チャネル薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP4850457B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜ダイオード |
JP5116225B2 (ja) * | 2005-09-06 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体デバイスの製造方法 |
JP4280736B2 (ja) * | 2005-09-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
JP5371174B2 (ja) * | 2005-09-12 | 2013-12-18 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置及び画像表示方法 |
EP1995787A3 (en) * | 2005-09-29 | 2012-01-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co, Ltd. | Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufacturing method therof |
JP5064747B2 (ja) | 2005-09-29 | 2012-10-31 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、電気泳動表示装置、表示モジュール、電子機器、及び半導体装置の作製方法 |
JP5078246B2 (ja) | 2005-09-29 | 2012-11-21 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、及び半導体装置の作製方法 |
JP5037808B2 (ja) * | 2005-10-20 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物を用いた電界効果型トランジスタ、及び該トランジスタを用いた表示装置 |
CN101707212B (zh) * | 2005-11-15 | 2012-07-11 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件及其制造方法 |
JP5395994B2 (ja) * | 2005-11-18 | 2014-01-22 | 出光興産株式会社 | 半導体薄膜、及びその製造方法、並びに薄膜トランジスタ |
TWI292281B (en) * | 2005-12-29 | 2008-01-01 | Ind Tech Res Inst | Pixel structure of active organic light emitting diode and method of fabricating the same |
US7867636B2 (en) * | 2006-01-11 | 2011-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transparent conductive film and method for manufacturing the same |
JP4977478B2 (ja) * | 2006-01-21 | 2012-07-18 | 三星電子株式会社 | ZnOフィルム及びこれを用いたTFTの製造方法 |
US7576394B2 (en) * | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
JP5015473B2 (ja) * | 2006-02-15 | 2012-08-29 | 財団法人高知県産業振興センター | 薄膜トランジスタアレイ及びその製法 |
WO2007105778A1 (en) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving circuit of display element and image display apparatus |
CN101047814A (zh) * | 2006-03-30 | 2007-10-03 | 南京Lg同创彩色显示系统有限责任公司 | 无线电视接收机的字幕显示方法 |
KR20070101595A (ko) * | 2006-04-11 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | ZnO TFT |
US20070252928A1 (en) * | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure, transmission type liquid crystal display, reflection type display and manufacturing method thereof |
JP5028033B2 (ja) * | 2006-06-13 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4347322B2 (ja) * | 2006-07-14 | 2009-10-21 | ソニー株式会社 | 受信装置および方法、並びにプログラム |
JP4609797B2 (ja) * | 2006-08-09 | 2011-01-12 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 薄膜デバイス及びその製造方法 |
JP4404881B2 (ja) * | 2006-08-09 | 2010-01-27 | 日本電気株式会社 | 薄膜トランジスタアレイ、その製造方法及び液晶表示装置 |
JP4999400B2 (ja) * | 2006-08-09 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4946286B2 (ja) * | 2006-09-11 | 2012-06-06 | 凸版印刷株式会社 | 薄膜トランジスタアレイ、それを用いた画像表示装置およびその駆動方法 |
JP4332545B2 (ja) | 2006-09-15 | 2009-09-16 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP5227502B2 (ja) * | 2006-09-15 | 2013-07-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置の駆動方法、液晶表示装置及び電子機器 |
JP5164357B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4274219B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、有機エレクトロルミネッセンス装置、有機薄膜半導体装置 |
US7622371B2 (en) * | 2006-10-10 | 2009-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fused nanocrystal thin film semiconductor and method |
JP2008108985A (ja) * | 2006-10-26 | 2008-05-08 | Kochi Prefecture Sangyo Shinko Center | 半導体素子の製法 |
US7772021B2 (en) * | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008140684A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーelディスプレイおよびその製造方法 |
KR101303578B1 (ko) * | 2007-01-05 | 2013-09-09 | 삼성전자주식회사 | 박막 식각 방법 |
JP5508662B2 (ja) * | 2007-01-12 | 2014-06-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
US8207063B2 (en) * | 2007-01-26 | 2012-06-26 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
JP5121254B2 (ja) * | 2007-02-28 | 2013-01-16 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタおよび表示装置 |
KR100851215B1 (ko) * | 2007-03-14 | 2008-08-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기 전계 발광표시장치 |
JP2008225353A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Ricoh Co Ltd | 画像表示システム、画像表示方法、およびプログラム |
US7795613B2 (en) * | 2007-04-17 | 2010-09-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure with transistor |
KR101325053B1 (ko) * | 2007-04-18 | 2013-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR20080094300A (ko) * | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 박막 트랜지스터를포함하는 평판 디스플레이 |
KR101334181B1 (ko) * | 2007-04-20 | 2013-11-28 | 삼성전자주식회사 | 선택적으로 결정화된 채널층을 갖는 박막 트랜지스터 및 그제조 방법 |
CN101663762B (zh) * | 2007-04-25 | 2011-09-21 | 佳能株式会社 | 氧氮化物半导体 |
KR101345376B1 (ko) * | 2007-05-29 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
US7903107B2 (en) * | 2007-06-18 | 2011-03-08 | Sony Ericsson Mobile Communications Ab | Adaptive refresh rate features |
KR20090002841A (ko) * | 2007-07-04 | 2009-01-09 | 삼성전자주식회사 | 산화물 반도체, 이를 포함하는 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
JP5160836B2 (ja) * | 2007-08-08 | 2013-03-13 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | テレビジョン受像機 |
WO2009075281A1 (ja) * | 2007-12-13 | 2009-06-18 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 酸化物半導体を用いた電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
US8202365B2 (en) * | 2007-12-17 | 2012-06-19 | Fujifilm Corporation | Process for producing oriented inorganic crystalline film, and semiconductor device using the oriented inorganic crystalline film |
JP2009206508A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-09-10 | Canon Inc | 薄膜トランジスタ及び表示装置 |
JP2009224595A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Fujifilm Corp | 有機電界発光表示装置及びその製造方法 |
JP2009231664A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
JP2009246775A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Canon Inc | 画像再生装置 |
JP2009253204A (ja) * | 2008-04-10 | 2009-10-29 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 酸化物半導体を用いた電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
KR101468591B1 (ko) * | 2008-05-29 | 2014-12-04 | 삼성전자주식회사 | 산화물 반도체 및 이를 포함하는 박막 트랜지스터 |
US9600175B2 (en) * | 2008-07-14 | 2017-03-21 | Sony Corporation | Method and system for classification sign display |
JP4623179B2 (ja) * | 2008-09-18 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5451280B2 (ja) * | 2008-10-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
US20100166383A1 (en) * | 2008-12-31 | 2010-07-01 | Nxp B.V. | System and method for providing trick modes |
US20100198582A1 (en) * | 2009-02-02 | 2010-08-05 | Gregory Walker Johnson | Verbal command laptop computer and software |
WO2011046010A1 (en) * | 2009-10-16 | 2011-04-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device and electronic device including the liquid crystal display device |
WO2011068106A1 (en) * | 2009-12-04 | 2011-06-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and electronic device including the same |
CN102640207A (zh) * | 2009-12-18 | 2012-08-15 | 株式会社半导体能源研究所 | 液晶显示装置及其驱动方法 |
CN105390110B (zh) * | 2009-12-18 | 2019-04-30 | 株式会社半导体能源研究所 | 显示设备及其驱动方法 |
WO2011081011A1 (en) * | 2009-12-28 | 2011-07-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof |
WO2011081010A1 (en) * | 2009-12-28 | 2011-07-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device and electronic device |
-
2011
- 2011-01-13 WO PCT/JP2011/050902 patent/WO2011090087A1/en active Application Filing
- 2011-01-13 KR KR1020127021483A patent/KR101816505B1/ko active IP Right Grant
- 2011-01-13 CN CN201180006612.6A patent/CN102714029B/zh active Active
- 2011-01-18 US US13/008,233 patent/US8947406B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-01-19 TW TW100101965A patent/TWI573119B/zh not_active IP Right Cessation
- 2011-01-20 JP JP2011009493A patent/JP5631759B2/ja active Active
-
2014
- 2014-10-08 JP JP2014206929A patent/JP2015045872A/ja not_active Withdrawn
-
2016
- 2016-07-05 JP JP2016133085A patent/JP2016181005A/ja not_active Withdrawn
-
2017
- 2017-03-28 JP JP2017062448A patent/JP2017120446A/ja not_active Withdrawn
- 2017-12-19 JP JP2017242406A patent/JP2018060225A/ja not_active Withdrawn
-
2019
- 2019-06-24 JP JP2019116414A patent/JP2019174839A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001312253A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Sharp Corp | 表示装置の駆動方法およびそれを用いた表示装置ならびに携帯機器 |
JP2002182619A (ja) * | 2000-10-05 | 2002-06-26 | Sharp Corp | 表示装置の駆動方法およびそれを用いた表示装置 |
JP2008533693A (ja) * | 2006-02-15 | 2008-08-21 | 財団法人高知県産業振興センター | 半導体素子及びその製法 |
JP2007298973A (ja) * | 2006-04-05 | 2007-11-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置、表示装置及びに電子機器 |
JP2009212476A (ja) * | 2007-03-27 | 2009-09-17 | Fujifilm Corp | 薄膜電界効果型トランジスタおよびそれを用いた表示装置 |
JP2009031750A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-02-12 | Fujifilm Corp | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP2009116324A (ja) * | 2007-10-19 | 2009-05-28 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置及びその駆動方法並びに当該表示装置を用いた電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015045872A (ja) | 2015-03-12 |
JP2016181005A (ja) | 2016-10-13 |
KR20120107014A (ko) | 2012-09-27 |
US8947406B2 (en) | 2015-02-03 |
JP2019174839A (ja) | 2019-10-10 |
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