JP2017092472A - Fet−バイポーラトランジスタの組み合わせ、およびこのようなfet−バイポーラトランジスタの組み合わせを備えたスイッチ - Google Patents
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- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims abstract description 52
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 14
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 5
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 abstract description 4
- 108091006146 Channels Proteins 0.000 description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 13
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 12
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 11
- 230000006870 function Effects 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 102000004129 N-Type Calcium Channels Human genes 0.000 description 2
- 108090000699 N-Type Calcium Channels Proteins 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000010267 cellular communication Effects 0.000 description 1
- 230000000779 depleting effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body
- H01L27/06—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration
- H01L27/0611—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits having a two-dimensional layout of components without a common active region
- H01L27/0617—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits having a two-dimensional layout of components without a common active region comprising components of the field-effect type
- H01L27/0623—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits having a two-dimensional layout of components without a common active region comprising components of the field-effect type in combination with bipolar transistors
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
- H03K17/51—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used
- H03K17/56—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices
- H03K17/567—Circuits characterised by the use of more than one type of semiconductor device, e.g. BIMOS, composite devices such as IGBT
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0248—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection
- H01L27/0251—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices
- H01L27/0266—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices using field effect transistors as protective elements
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0684—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape, relative sizes or dispositions of the semiconductor regions or junctions between the regions
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- H—ELECTRICITY
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
- H01L29/72—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals
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- H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
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Abstract
Description
本開示は、電界効果トランジスタとバイポーラトランジスタとの組み合わせに関する。
典型的に最大で1200ボルトの範囲の高い電圧をスイッチできる必要性が存在する。この範囲におけるスイッチの用途としては、なかでも、モータ制御およびインバータが挙げられる。このようなスイッチングは、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(IGBT)の使用によって達成され得る。IGBTは、非常な成功を収めている。しかしながら、それ自体の問題がないわけではない。したがって、1000ボルトを超える電圧を含む範囲の電圧にわたって動作可能な改良された半導体スイッチに対するニーズが依然存在する。
本開示の第1の態様によれば、電界効果トランジスタと組み合わせられたバイポーラトランジスタを備えた電流フロー制御デバイスが提供される。バイポーラトランジスタは、電界効果トランジスタと直列に配置される。電界効果トランジスタは、ピンチオフ電圧を有し、バイポーラトランジスタの両端の電圧をピンチオフ電圧に制限し得る。半導体の第1の領域は、バイポーラトランジスタおよび電界効果トランジスタによって共有される。これは、結果として、より小さい駆動トランジスタを使用して、ベース電流を提供することができることを意味する。そのため、駆動トランジスタの寄生容量および入力ノードは、大いに低減され得、より小さい過渡電流につながる。
例えば、本発明は以下を提供する。
(項目1)
電界効果トランジスタと直列のバイポーラトランジスタを備える電流フロー制御デバイスであって、半導体の第1の領域が、前記バイポーラトランジスタおよび前記電界効果トランジスタによって共有され、前記電界効果トランジスタが、ピンチオフ電圧を有し、前記バイポーラトランジスタの両端の電圧を前記ピンチオフ電圧に制限するように構成されている、電流フロー制御デバイス。
(項目2)
前記第1の領域が、前記バイポーラトランジスタのコレクタおよび前記電界効果トランジスタのドレインを形成する、上記項目に記載の電流フロー制御デバイス。
(項目3)
前記バイポーラトランジスタの前記コレクタが、絶縁トレンチによって仕切られ、前記電界効果トランジスタの延伸されたチャネルを形成する半導体のより低濃度にドープされた領域と接続する、上記項目のいずれか一項に記載の電流フロー制御デバイス。
(項目4)
前記バイポーラトランジスタのエミッタ領域およびベース領域が、前記絶縁トレンチによって仕切られている、上記項目のいずれか一項に記載の電流フロー制御デバイス。
(項目5)
前記バイポーラトランジスタが、NPNデバイスである、上記項目のいずれか一項に記載の電流フローデバイス。
(項目6)
前記バイポーラトランジスタのコレクタの半導体型とは反対の半導体型の領域が、前記バイポーラトランジスタからのキャリアフロー経路を囲繞するように形成され、前記反対の半導体型の前記領域が、前記電界効果トランジスタのチャネル幅を調整するように構成されている、上記項目のいずれか一項に記載の電流フローデバイス。
(項目7)
前記電界効果トランジスタが、接合型電界効果トランジスタであり、前記接合型電界効果トランジスタのゲート領域への接続が、前記バイポーラトランジスタのコレクタ領域、ベース領域、およびエミッタ領域から誘電材料によって離間されている導体を介している、上記項目のいずれか一項に記載の電流フロー制御デバイス。
(項目8)
前記チャネル内にキャリアを分散させるように前記電界効果トランジスタのチャネル内に形成された不連続性を更に備える、上記項目のいずれか一項に記載の電流フロー制御デバイス。
(項目9)
前記デバイスが、前記バイポーラトランジスタのベース電流を提供する前記バイポーラトランジスタと統合された駆動電界効果トランジスタを更に備える、上記項目のいずれか一項に記載の電流フロー制御デバイス。
(項目10)
前記駆動電界効果トランジスタのソースのためのドープされた領域が、前記バイポーラトランジスタのベースを形成するドープされた領域に当接するか、または導体によって電気的に接続されている、上記項目のいずれか一項に記載の電流フロー制御デバイス。
(項目11)
コレクタ端子接点領域が、Nドープされ、前記バイポーラトランジスタのエミッタ領域が、Nドープされている、上記項目のいずれか一項に記載の電流フロー制御デバイス。
(項目12)
コレクタ端子接点領域が、Pドープされ、エミッタ接点領域が、Nドープされている、上記項目のいずれか一項に記載の電流フロー制御デバイス。
(項目13)
前記電流フローデバイスが、縦に形成されている、上記項目のいずれか一項に記載の電流フロー制御デバイス。
(項目14)
前記電流フローデバイスが、集積化ゲートバイポーラトランジスタであり、前記バイポーラトランジスタのベースが、前記電界効果トランジスタのゲートとは異なるノードに接続されている、上記項目のいずれか一項に記載の電流フロー制御デバイス。
(項目15)
第1の電流フローノードに接続されたエミッタ領域および第2の電流フローノードに接続されたコレクタ領域を備えた電流フロー制御デバイスであって、前記コレクタ領域が、空間的に延伸され、コレクタ電圧が第1の値を超えるときに前記空間的に延伸されたコレクタ領域の一部分をピンチオフさせるように前記空間的に延伸されたコレクタ領域の一部分内に更なるドープされた領域が設けられ、ベース領域および前記エミッタ領域が、ベース電流に応答してキャリアを前記空間的に延伸されたコレクタ領域の前記ピンチオフされた部分内に注入して電流を流させるように動作可能である、電流フロー制御デバイス。
(項目16)
前記更なるドープされた領域が、前記空間的に延伸されたコレクタ領域の隣接する領域とは反対型にドープされ、使用において、接合型電界効果トランジスタを形成する、上記項目のいずれか一項に記載の電流フローデバイス。
(項目17)
電界効果トランジスタがピンチオフされた状態にあるとき、バイポーラトランジスタが前記ピンチオフされた領域内にキャリアを注入して電流フローを開始させるように相互に連結された前記バイポーラトランジスタおよび前記電界効果トランジスタを提供することを含む、電流フローを制御する方法。
(項目18)
前記バイポーラトランジスタの両端の電圧がしきい値を超えるとき前記電界効果トランジスタのチャネルがピンチオフするように前記電界効果トランジスタがバイアスされる、上記項目のいずれか一項に記載の方法。
(項目19)
前記しきい値が、40ボルト未満である、上記項目のいずれか一項に記載の方法。
(項目20)
縦型チャネルの空間範囲が、ピンチオフ電圧を画定し、前記チャネルが、半導体の対向する領域によって仕切られ、前記対向する領域間の分かれ目が、前記チャネル内のドーピング濃度と併せて、前記ピンチオフ電圧を画定する、上記項目のいずれか一項に記載の方法。
(摘要)
デバイスをオンオフするための比較的良好な電圧能力および比較的容易な駆動要件を呈するトランジスタスイッチデバイスが設けられる。これは、他のコンポーネントを乱し得る過渡駆動電流フローを低減し得る。
以下の特定の実施形態の詳細な説明は、具体的な実施形態の様々な説明を提示する。しかしながら、本明細書に記載の新機軸は、例えば請求項によって定義され、包含されるような多数の異なる方法で具現化され得る。本明細書では、似た参照番号が同一または機能的に類似した要素を指し示し得る図面への参照がなされる。図面に示される要素は必ずしも一定の縮尺で描かれていないことが理解されるであろう。その上、特定の実施形態は図面に示されるよりも多くの要素および/または図面に示される要素のサブセットを含み得ることが理解されるであろう。更に、いくつかの実施形態は、2つ以上の図面からの特長の任意の好適な組み合わせを組み込み得る。
NPNシリコントランジスタについてはm=4であり、PNPシリコントランジスタについてはm=2である。
Imosは、入力MOSFETを流れる電流である。
2a=1μm(ただし、典型的に0.5μm〜3μmの範囲に及んでもよい)。
D1=約0.5μm〜0.6μm。
D2は、約0.7μm。
D3は、約0.3μm。
D4は、約0.7μm。
Claims (20)
- 電界効果トランジスタと直列のバイポーラトランジスタを備える電流フロー制御デバイスであって、半導体の第1の領域が、前記バイポーラトランジスタおよび前記電界効果トランジスタによって共有され、前記電界効果トランジスタが、ピンチオフ電圧を有し、前記バイポーラトランジスタの両端の電圧を前記ピンチオフ電圧に制限するように構成されている、電流フロー制御デバイス。
- 前記第1の領域が、前記バイポーラトランジスタのコレクタおよび前記電界効果トランジスタのドレインを形成する、請求項1に記載の電流フロー制御デバイス。
- 前記バイポーラトランジスタの前記コレクタが、絶縁トレンチによって仕切られ、前記電界効果トランジスタの延伸されたチャネルを形成する半導体のより低濃度にドープされた領域と接続する、請求項2に記載の電流フロー制御デバイス。
- 前記バイポーラトランジスタのエミッタ領域およびベース領域が、前記絶縁トレンチによって仕切られている、請求項3に記載の電流フロー制御デバイス。
- 前記バイポーラトランジスタが、NPNデバイスである、請求項1に記載の電流フローデバイス。
- 前記バイポーラトランジスタのコレクタの半導体型とは反対の半導体型の領域が、前記バイポーラトランジスタからのキャリアフロー経路を囲繞するように形成され、前記反対の半導体型の前記領域が、前記電界効果トランジスタのチャネル幅を調整するように構成されている、請求項1に記載の電流フローデバイス。
- 前記電界効果トランジスタが、接合型電界効果トランジスタであり、前記接合型電界効果トランジスタのゲート領域への接続が、前記バイポーラトランジスタのコレクタ領域、ベース領域、およびエミッタ領域から誘電材料によって離間されている導体を介している、請求項1に記載の電流フロー制御デバイス。
- 前記チャネル内にキャリアを分散させるように前記電界効果トランジスタのチャネル内に形成された不連続性を更に備える、請求項1に記載の電流フロー制御デバイス。
- 前記デバイスが、前記バイポーラトランジスタのベース電流を提供する前記バイポーラトランジスタと統合された駆動電界効果トランジスタを更に備える、請求項1に記載の電流フロー制御デバイス。
- 前記駆動電界効果トランジスタのソースのためのドープされた領域が、前記バイポーラトランジスタのベースを形成するドープされた領域に当接するか、または導体によって電気的に接続されている、請求項9に記載の電流フロー制御デバイス。
- コレクタ端子接点領域が、Nドープされ、前記バイポーラトランジスタのエミッタ領域が、Nドープされている、請求項1に記載の電流フロー制御デバイス。
- コレクタ端子接点領域が、Pドープされ、エミッタ接点領域が、Nドープされている、請求項1に記載の電流フロー制御デバイス。
- 前記電流フローデバイスが、縦に形成されている、請求項1に記載の電流フロー制御デバイス。
- 前記電流フローデバイスが、集積化ゲートバイポーラトランジスタであり、前記バイポーラトランジスタのベースが、前記電界効果トランジスタのゲートとは異なるノードに接続されている、請求項1に記載の電流フロー制御デバイス。
- 第1の電流フローノードに接続されたエミッタ領域および第2の電流フローノードに接続されたコレクタ領域を備えた電流フロー制御デバイスであって、前記コレクタ領域が、空間的に延伸され、コレクタ電圧が第1の値を超えるときに前記空間的に延伸されたコレクタ領域の一部分をピンチオフさせるように前記空間的に延伸されたコレクタ領域の一部分内に更なるドープされた領域が設けられ、ベース領域および前記エミッタ領域が、ベース電流に応答してキャリアを前記空間的に延伸されたコレクタ領域の前記ピンチオフされた部分内に注入して電流を流させるように動作可能である、電流フロー制御デバイス。
- 前記更なるドープされた領域が、前記空間的に延伸されたコレクタ領域の隣接する領域とは反対型にドープされ、使用において、接合型電界効果トランジスタを形成する、請求項15に記載の電流フローデバイス。
- 電界効果トランジスタがピンチオフされた状態にあるとき、バイポーラトランジスタが前記ピンチオフされた領域内にキャリアを注入して電流フローを開始させるように相互に連結された前記バイポーラトランジスタおよび前記電界効果トランジスタを提供することを含む、電流フローを制御する方法。
- 前記バイポーラトランジスタの両端の電圧がしきい値を超えるとき前記電界効果トランジスタのチャネルがピンチオフするように前記電界効果トランジスタがバイアスされる、請求項17に記載の方法。
- 前記しきい値が、40ボルト未満である、請求項18に記載の方法。
- 縦型チャネルの空間範囲が、ピンチオフ電圧を画定し、前記チャネルが、半導体の対向する領域によって仕切られ、前記対向する領域間の分かれ目が、前記チャネル内のドーピング濃度と併せて、前記ピンチオフ電圧を画定する、請求項17に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/937,705 | 2015-11-10 | ||
US14/937,705 US9935628B2 (en) | 2015-11-10 | 2015-11-10 | FET—bipolar transistor combination, and a switch comprising such a FET—bipolar transistor combination |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019163731A Division JP7046879B2 (ja) | 2015-11-10 | 2019-09-09 | Fet-バイポーラトランジスタの組み合わせ、およびこのようなfet-バイポーラトランジスタの組み合わせを備えたスイッチ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017092472A true JP2017092472A (ja) | 2017-05-25 |
Family
ID=58668059
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016217956A Pending JP2017092472A (ja) | 2015-11-10 | 2016-11-08 | Fet−バイポーラトランジスタの組み合わせ、およびこのようなfet−バイポーラトランジスタの組み合わせを備えたスイッチ |
JP2019163731A Active JP7046879B2 (ja) | 2015-11-10 | 2019-09-09 | Fet-バイポーラトランジスタの組み合わせ、およびこのようなfet-バイポーラトランジスタの組み合わせを備えたスイッチ |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019163731A Active JP7046879B2 (ja) | 2015-11-10 | 2019-09-09 | Fet-バイポーラトランジスタの組み合わせ、およびこのようなfet-バイポーラトランジスタの組み合わせを備えたスイッチ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9935628B2 (ja) |
JP (2) | JP2017092472A (ja) |
CN (1) | CN106684084B (ja) |
Citations (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5367368A (en) * | 1976-11-29 | 1978-06-15 | Sony Corp | Semiconductor device |
JPS5489581A (en) * | 1977-12-27 | 1979-07-16 | Sony Corp | Composite transistor circuit |
JPS55156360A (en) * | 1979-05-21 | 1980-12-05 | Exxon Research Engineering Co | Integrated high speed semiconductor power switching device |
JPS6016563U (ja) * | 1984-06-07 | 1985-02-04 | 日本電気株式会社 | 半導体集積回路装置 |
US4835586A (en) * | 1987-09-21 | 1989-05-30 | Siliconix Incorporated | Dual-gate high density fet |
JPH0316180A (ja) * | 1989-03-06 | 1991-01-24 | Fuji Electric Co Ltd | 伝導度変調型misfetを備えた半導体装置 |
JPH0316358U (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-19 | ||
JPH0690009A (ja) * | 1992-03-05 | 1994-03-29 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JPH07142621A (ja) * | 1993-06-10 | 1995-06-02 | Consorzio Per La Ric Sulla Microelettronica Nel Mezzogiorno | 垂直バイポーラトランジスタおよび垂直mosfetトランジスタの集積モノリシック装置 |
JPH07335868A (ja) * | 1994-06-09 | 1995-12-22 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置 |
JPH1187240A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-03-30 | Sony Corp | 半導体装置とその製造方法 |
JP2001504275A (ja) * | 1996-11-13 | 2001-03-27 | テレフオンアクチーボラゲツト エル エム エリクソン(パブル) | 横型バイポーラ電界効果モード・ハイブリッド・トランジスタとその方法 |
JP2005116822A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-04-28 | Toyota Motor Corp | 絶縁ゲート型半導体装置およびその製造方法 |
US6906356B1 (en) * | 2004-09-27 | 2005-06-14 | Rockwell Scientific Licensing, Llc | High voltage switch |
JP2005340626A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
US20070272999A1 (en) * | 1993-04-27 | 2007-11-29 | Third Dimension (3D) Semiconductor, Inc. | Voltage Sustaining Layer with Opposite-Doped Islands for Semiconductor Power Devices |
JP2008060152A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2008186925A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 絶縁ゲート炭化珪素半導体装置とその製造方法 |
WO2013031212A1 (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | 次世代パワーデバイス技術研究組合 | 双方向素子、双方向素子回路および電力変換装置 |
JP2015192028A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5919474B2 (ja) * | 1978-09-11 | 1984-05-07 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
US4306145A (en) | 1979-12-28 | 1981-12-15 | Sperry Corporation | High stability no feedback optical transistor amplifier system |
US4688161A (en) | 1986-07-16 | 1987-08-18 | Vari-Lite, Inc. | Regulated power supply apparatus and method using reverse phase angle control |
SE500814C2 (sv) | 1993-01-25 | 1994-09-12 | Ericsson Telefon Ab L M | Halvledaranordning i ett tunt aktivt skikt med hög genombrottsspänning |
US6262600B1 (en) | 2000-02-14 | 2001-07-17 | Analog Devices, Inc. | Isolator for transmitting logic signals across an isolation barrier |
EP2302850A1 (en) | 2003-04-30 | 2011-03-30 | Analog Devices, Inc. | Signal isolators using micro-transformers |
US20050067630A1 (en) | 2003-09-25 | 2005-03-31 | Zhao Jian H. | Vertical junction field effect power transistor |
EP1617476A3 (en) * | 2004-07-16 | 2007-12-26 | Power Electronics Design Centre | Vertical integration in power integrated circuits |
GB0417749D0 (en) | 2004-08-10 | 2004-09-08 | Eco Semiconductors Ltd | Improved bipolar MOSFET devices and methods for their use |
US7719080B2 (en) * | 2005-06-20 | 2010-05-18 | Teledyne Scientific & Imaging, Llc | Semiconductor device with a conduction enhancement layer |
US8541787B2 (en) | 2009-07-15 | 2013-09-24 | Cree, Inc. | High breakdown voltage wide band-gap MOS-gated bipolar junction transistors with avalanche capability |
JP2012253241A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Sony Corp | 半導体集積回路およびその製造方法 |
US9209091B1 (en) | 2011-08-05 | 2015-12-08 | Maxim Integrated Products, Inc. | Integrated monolithic galvanic isolator |
CN103165651A (zh) * | 2011-12-12 | 2013-06-19 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 增加驱动电流能力绝缘栅双极型晶体管结构 |
US9082790B2 (en) | 2013-07-18 | 2015-07-14 | Alpha And Omega Semiconductor Incorporated | Normally on high voltage switch |
EP3683964B1 (en) | 2014-09-15 | 2023-03-29 | Analog Devices International Unlimited Company | Methods and structures to generate on/off keyed carrier signals for signal isolators |
-
2015
- 2015-11-10 US US14/937,705 patent/US9935628B2/en active Active
-
2016
- 2016-11-08 JP JP2016217956A patent/JP2017092472A/ja active Pending
- 2016-11-10 CN CN201610986436.1A patent/CN106684084B/zh active Active
-
2019
- 2019-09-09 JP JP2019163731A patent/JP7046879B2/ja active Active
Patent Citations (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5367368A (en) * | 1976-11-29 | 1978-06-15 | Sony Corp | Semiconductor device |
JPS5489581A (en) * | 1977-12-27 | 1979-07-16 | Sony Corp | Composite transistor circuit |
JPS55156360A (en) * | 1979-05-21 | 1980-12-05 | Exxon Research Engineering Co | Integrated high speed semiconductor power switching device |
JPS6016563U (ja) * | 1984-06-07 | 1985-02-04 | 日本電気株式会社 | 半導体集積回路装置 |
US4835586A (en) * | 1987-09-21 | 1989-05-30 | Siliconix Incorporated | Dual-gate high density fet |
JPH0316180A (ja) * | 1989-03-06 | 1991-01-24 | Fuji Electric Co Ltd | 伝導度変調型misfetを備えた半導体装置 |
JPH0316358U (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-19 | ||
JPH0690009A (ja) * | 1992-03-05 | 1994-03-29 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
US20070272999A1 (en) * | 1993-04-27 | 2007-11-29 | Third Dimension (3D) Semiconductor, Inc. | Voltage Sustaining Layer with Opposite-Doped Islands for Semiconductor Power Devices |
JPH07142621A (ja) * | 1993-06-10 | 1995-06-02 | Consorzio Per La Ric Sulla Microelettronica Nel Mezzogiorno | 垂直バイポーラトランジスタおよび垂直mosfetトランジスタの集積モノリシック装置 |
JPH07335868A (ja) * | 1994-06-09 | 1995-12-22 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置 |
JP2001504275A (ja) * | 1996-11-13 | 2001-03-27 | テレフオンアクチーボラゲツト エル エム エリクソン(パブル) | 横型バイポーラ電界効果モード・ハイブリッド・トランジスタとその方法 |
JPH1187240A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-03-30 | Sony Corp | 半導体装置とその製造方法 |
JP2005116822A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-04-28 | Toyota Motor Corp | 絶縁ゲート型半導体装置およびその製造方法 |
JP2005340626A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
US6906356B1 (en) * | 2004-09-27 | 2005-06-14 | Rockwell Scientific Licensing, Llc | High voltage switch |
JP2008060152A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2008186925A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 絶縁ゲート炭化珪素半導体装置とその製造方法 |
WO2013031212A1 (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | 次世代パワーデバイス技術研究組合 | 双方向素子、双方向素子回路および電力変換装置 |
JP2015192028A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7046879B2 (ja) | 2022-04-04 |
JP2020074362A (ja) | 2020-05-14 |
CN106684084A (zh) | 2017-05-17 |
US9935628B2 (en) | 2018-04-03 |
CN106684084B (zh) | 2020-03-24 |
US20170134019A1 (en) | 2017-05-11 |
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A621 | Written request for application examination |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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