JP2006526272A - 高速切替え速度を有する電源装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
サイリスタ(25)及びMOSFETトランジスタ(26)が第1の電流伝導端子(A)と第2の電流導電端子(S)との間で直列接続されることによって形成される電源装置(1)。電源装置は更に、MOSFETトランジスタの絶縁ゲート電極(20)に接続され、装置をオン及びオフにするための制御電圧を受信する制御端子(G)と、オフ時の電荷の高速抽出のためにサイリスタに接続される第3の電流導電端子(B)を有する。これにより、オフにするときに、電流テイルがなく、また、オフにすることは非常に高速である。電源装置は、寄生コンポーネントを有さないので、非常に高い逆バイアス安全動作領域(RBSOA)を有する。
Description
[技術分野]
本発明は、一般的に電源装置の分野に係わり、より具体的には、パワーアクチュエータとして使用可能な電源装置に係る。
[背景技術]
周知であるように、パワーアクチュエータは、オン状態時及び切替え時の両方において電力の散逸を最小限に維持しなければならない。
本発明は、一般的に電源装置の分野に係わり、より具体的には、パワーアクチュエータとして使用可能な電源装置に係る。
[背景技術]
周知であるように、パワーアクチュエータは、オン状態時及び切替え時の両方において電力の散逸を最小限に維持しなければならない。
このために、パワーアクチュエータを実現するのに、バイポーラトランジスタ(オン状態時の低い散逸を有する)及びMOSトランジスタ(切替え時の低い散逸を有する)から、2つのタイプの利点を組み合わせたハイブリッドコンポーネントへの推移があった。
更に、パワーアクチュエータは高い入力インピーダンスを有し、また、従って、低電圧パルスで駆動されなければならない。従って、オン状態時と切替え時の電力散逸での妥協の様々なレベルを提示することに加えて、提案されてきた様々なハイブリッドソリューション(例えば、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ−IGBT、MOS制御サイリスタ−MCT、及びエミッタスイッチドサイリスタ−EST)は、この必要要件に見合うことが可能であるよう設計され、従って、絶縁ゲート電極によって駆動されてきた。
提案されているハイブリッドソリューションのうち最も多くの用途に適したソリューションは、IGBTである。しかし、その特性によって、一般的に、1200Vより高い高ブロッキング電圧(故障することなく装置が耐えることの可能な最大逆電圧)を必要とする適用には適していない。実際に、より高い電圧では、オン状態での電力散逸は重要となり、その一方で、ブロッキング電圧を増加するには、装置のサイズを増加する必要があり、その結果、費用が増加する。
上述の制限を解決するために、動作時により小さい順方向電圧降下Vfを有するサイリスタに基づき、MOSFETのように駆動される、即ち、IGBTのように制御電圧で駆動される構造が提案されている。MCT及びESTは、このカテゴリに属する。
しかし、両方のソリューションは、むしろ控えめな逆バイアス安全動作領域(RBSOA)と長いターンオフ時間を有するので、それらの使用は、依然として非常に特定の適用分野に限定されている。
従って、本発明は、切替え時とオン状態での低電圧降下を有し、更に、低入力インピーダンス及び高速切替え速度を有する電源装置を提供することを目的とする。
本発明では、それぞれ請求項1、9、及び14に記載する電源装置、電源装置の動作方法、及び電源装置の製造方法を提供する。
本発明の電源装置は、サイリスタ構造を兼ね備えるので、IGBTのように高入力インピーダンスを有し、オン状態でその端子間で低い電圧降下を有する。記載する電源装置は、ゲートターンオフ(GTO)サイリスタ装置と同様の方法でのターンオフ時のベースからの電荷の高速の除去によって、MOSFETの切替え時間に匹敵する非常に短い切替え時間を有し、それにより、本発明の電源装置は、MOS−GTOとして特徴付けられ得る。更に、本発明の電源装置は、寄生コンポーネントを有さないので、高い順方向バイアス安全動作領域(FBSOA)と高い逆バイアス安全動作領域(RBSOA)の両方を提供する。
本発明の理解のために、本発明の1つの好適な実施例を、添付図面を参照しながら、非制限的な例として、以下に説明する。
図1は、本発明の1つの実施例による電源装置1の素構造の断面図である。電源装置1は、どの場合でも、互いに並んで配置される複数の素構造を含み得る。各素構造は更に、1つ以上のMOSFETセルを含み得る。図1に示す実施例では、素構造は、2つのエレメンタリセルを含む。
図1(垂直方向においてスケーリングされて描かれてはいない)によると、電源装置1は、底面2と上面3を有する半導体材料の本体によって形成され、また、P+型の基板4と、N−型の、以下にドリフト領域5とも称する第1のベース領域と、P型の、以下にベース領域6とも称する第2のベース領域と、N型の陰極領域7と、N−型のエピタキシャル領域8を有する。エピタキシャル領域8は更に、ボディ領域10と、ソース領域11と、ディープウェル12を有する。
基板4によって形成される電源装置1の底面2は、電源装置の外側からアクセス可能な陽極端子Aに接続される金属層15によって被覆される。
ドリフト領域5は、外側からアクセス可能ではない層によって形成され、また、以下により詳細に説明するようにエピタキシャル成長させられる。ドリフト領域5の特性(厚さ及び抵抗率)は、電源1の電圧クラスに依存する。ドリフト領域5の厚さは、例えば、70−80μmであり、また、抵抗率は、50−70Ω・cmであり得る。更に、ドリフト領域5と基板4との間に薄いN+層(図示せず)を設けることも可能であり、それにより、装置の破壊電圧をそれ自体は周知である方法によって増加する。
ベース領域6は、上面3とベース領域6との間でエピタキシャル領域8内を延在し、ベース領域6をベースコンタクト16に接続するP型のディープウェル12によって上面3に接続される埋め込み領域によって形成される。ベースコンタクト16は、外側からアクセス可能なベース端子Bに接続される。
陰極領域7は、装置の外側に接続されず、また、ディープウェル12と必ずしも連続することなくディープウェル12によって横方向において区切られる埋め込み領域によって形成される。一般的に、陰極領域7は、0.02−1Ω・cmの抵抗率を有する。
エピタキシャル領域8は、ドリフト領域5と同じ抵抗率(例えば、50−70Ω・cm)を有するが、厚さは非常に小さいことが好適である。一般的に、エピタキシャル領域8は、3−5μmの厚さを有する。
ボディ領域10は、エピタキシャル領域8内に収容され、ディープウェル12によって囲まれる。図示する実施例では、2つのボディ領域10が互いに隣接して存在するが、1つのボディ領域10だけ、又は2つ以上の隣接ボディ領域を設けてもよい。
ソース領域11は、電源MOSFET装置の技術において周知であるのと同様にボディ領域10内に収容される。
多結晶シリコンから形成されるゲート領域20は、上面3上を延在し、上面3から薄い誘電体層(ゲート酸化膜)によって電気絶縁され、図示しない方法で互いに接続される。図示する実施例では、3つのゲート領域20は、ソース領域11とエピタキシャル領域8との間にあるボディ領域10の一部の上部に互いに隣接して配置される。ゲート領域20は更に、エピタキシャル領域8及びソース領域11の上部に部分的に、周知の方法で、配置される。ゲート領域20は更に、電源装置1の制御(オン/オフ)を可能にするために外側からアクセス可能なゲート端子Gに接続される。
ソース金属領域21は、ゲート領域20の一部の間で上面3の上部上を延在し、ソース領域11及びボディ領域10に接触し、外側からアクセス可能なソース端子Sに接続される。
実際には、図2の等価の電気回路図に示すように、上述した領域は、垂直フローMOSトランジスタ26に直列接続されるサイリスタ25を形成する。詳細には、サイリスタ25は、基板4(陽極)と、ドリフト領域5(第1のベース)と、ベース領域6(第2のベース)と、陰極領域7(陰極)によって形成される。低電圧型のMOSトランジスタ26は、同じ陰極領域7(ドレイン)と、エピタキシャル領域8と、ボディ領域10(チャネルを形成する)と、ソース領域11と、ゲート領域20によって形成される。
電源装置1をオンにすることは、まず、ゲート端子Gに閾値電圧より高い値のゲート電圧を供給することによってMOSトランジスタ26をオンにし、次に、サイリスタ25をオンにすることによって得られる。サイリスタ25をオンにすることは、従来の方法で行われ得、ベース端子Bに電流パルスを供給するか、又は、ベース端子Bに数ボルト(例えば2−4V)の一定電圧を供給することによって行われうる。この場合、ベース端子Bへの電圧は、電源装置1の動作中維持される。この第2のソリューションは、電源装置1を駆動させるための回路を単純にする。
従来のサイリスタにおけるのと同様に、ターンオン電流は、サイリスタ25を形成するPNP及びNPNトランジスタの共通ベースゲインに依存する。
従って、装置をオンにすることは、陽極端子Aからソース端子Sへの電流の通過をもたらす。
使用時には、MOSトランジスタ26は、エピタキシャル領域8の小さい厚さを考えると無視可能な電圧降下を有する単純な電流スイッチとして動作する。従って、陽極端子Aとソース端子Sとの間の電圧降下(Vf)は、基本的に、サイリスタ25の両端の電圧降下によるものであり、従って、非常に低い。
電源装置1がオンであるときに、反転チャネルをオフにするためにゲート端子に印加される電圧を単純に取り除くことによって装置はオフにされることが可能である。このようにすると、数十ナノ秒のオーダーの非常に短い切替え時間が得られる。従って、この時間は、従来のサイリスタのターンオフ時間(約10マイクロ秒)より非常に短く、また、従って、大きさの3オーダー分短く、また、100nsと3−4μsの間で異なるIGBTのターンオフ時間よりも短い。
MOSトランジスタ26がオフにされている時、ソース端子Sに向かって流れることができなくなった全ての陽極電流は、ベース端子Bから抽出されるようにされる。ベース電流は、その結果その方向を反転する。即ち、入る方向から出る方向に反転する。このようにして、サイリスタ25(ドリフト領域5及びベース領域6)を形成する2つのPNP及びNPNトランジスタのベース領域内に蓄えられた全ての電荷は、強制的に移動させられ、従って、陽極電流もゼロに迅速に減少される。
図1に示す電源装置1は、図3−7を参照しながら以下に説明する方法で製造される。
最初に(図3)、ドリフト領域5が、非常に低い抵抗率(例えば、5−10mΩ・cm)を有する基板4の上でエピタキシャル成長される。成長は、1つの段階か、又は、連続段階を介して行われることが可能である。上述したように、ドリフト領域5の抵抗率及び厚さは、電源装置の電圧クラスに依存する。
熱酸化層(図示せず)の成長後、適当なフォト技術を用いてホウ素が注入され、拡散に続いて、ベース層6がもたらされる。次に、更なるフォト技術を介して、N型のドーパント(例えば、As、Sb、又はP、又はこれらの組み合わせ)の注入及び拡散が行われ、陰極層7が得られる。このようにして、図4の構造が得られる。尚、陰極層7は、ディープウェル12の形成を可能にするようベース領域6より小さい幅を有する。
堆積させた熱酸化層、並びに拡散時に成長した熱酸化層を除去した後、N−型のエピタキシャル層8を形成するために第2のエピタキシャル成長が行われる(図5)。前述したように、N−型のエピタキシャル層8は、ドリフト領域5と同様の抵抗率を有するが、より小さい厚さを有する。
次に(図6)、P型のディープウェル12が注入され、ベース領域6に到達するよう拡散される。尚、ディープウェル12は、埋め込み領域7に対して横に延在する。1つ以上の素構造を有する装置の場合、ディープウェル12は、埋め込み領域を3つの側から囲むよう埋め込み領域7と交互にされる。
次に、従来の技術に従って、最初に、ボディ領域10及びソース領域11を注入し(図7)、次にゲート領域20及びソースコンタクト21、ベースコンタクト16、及びゲートコンタクト(図示せず)を形成することによってMOSトランジスタ26が形成される。
最後に、このように得られたウェーハは、基板2の所望の厚さが得られるまで背面が薄くされる。次に、金属層15が形成され、ウェーハはダイシングされ、それにより、図1の電源装置1が得られる。
本願に記載した電源装置の利点は、上述の説明から明らかである。特に、ターンオフ時に、公知の装置の場合のように再結合によってではなく、高速抽出によるサイリスタのベースにおける電荷の移動が、IGBT及びサイリスタといったバイポーラ装置では一般的な電流テイルを取り除き、従って、非常に高速なターンオフ時間をもたらすことを強調する。
更に、上述した構造、特に、MOSの垂直実施は、その動作を制限しうる寄生コンポーネントの形成を阻止し、従って、装置は、非常に高い逆バイアス安全動作領域を有する。
更に、上述した構造、特に、MOSの垂直実施は、その動作を制限しうる寄生コンポーネントの形成を阻止し、従って、装置は、非常に高い逆バイアス安全動作領域を有する。
MOSトランジスタの垂直実施は更に、少しの集積領域を有してよりコンパクトな実施例を可能にする。
最後に、本願にて説明且つ図示した装置及び製造方法に、請求項に記載する本発明に範囲に包含される様々な修正及び変更を行うことが可能であることは明らかである。
例えば、電荷を抜き出す端子は、ドリフト領域5といったように装置の別の領域に接続されてもよい。
Claims (20)
- 第1の電流導電端子(A)と、
第2の電流導電端子(S)と、
電源装置をオン/オフにするための制御電圧を受ける制御端子(G)と、
前記第1の電流導電端子と前記第2の電流導電端子との間に直列接続されるサイリスタ(25)及びMOSFETトランジスタ(26)と、
を含み、
前記MOSFETトランジスタは、前記制御端子に接続されるゲート電極(20)を有する該電源装置であって、
前記サイリスタに接続され、オフ時に前記サイリスタから電荷を抽出する第3の電流導電端子を含むことを特徴とする電源装置。 - 前記MOSFETトランジスタは、垂直電流フロータイプである請求項1記載の装置。
- 第1の表面(2)及び第2の表面(3)を有し、前記第1の表面を画成する基板領域(4)と、前記基板領域の上の第1のベース領域(5)と、前記第1のベース領域の上の第2のベース領域(6)と、前記第2のベース領域の上にあり前記第2の表面を画成する第1の導電領域(7、8)と、前記第1の導電領域からチャネル領域(10)によって分離される第2の導電領域(11)と、前記第2の表面から前記第1のベース領域及び前記第2のベース領域のうちの1つに延在するディープ領域(12)と含む半導体本体を含み、
前記MOSFETトランジスタの前記ゲート電極は、前記チャネル領域の上で前記半導体本体の前記第2の表面の上に且つ前記第2の表面から電気的に絶縁されて配置され、
前記第1の電流導電端子は、前記基板領域に接続され、
前記第2の電流導電端子は、前記第2の導電領域に接続され、
前記第3の電流導電端子は、前記ディープ領域に接続される請求項1又は2記載の装置。 - 前記第1の導電領域は、前記第2のベース領域の上に配置される埋め込み領域(7)と、前記埋め込み領域の上に配置されるエピタキシャル領域(8)によって形成され、
前記埋め込み領域は、前記エピタキシャル領域に対し同じ導電型であるが、異なる導電性レベルを有する請求項3記載の装置。 - 前記埋め込み領域は、前記エピタキシャル領域より大きい導電性を有する請求項4記載の装置。
- 前記埋め込み領域は、第1の幅を有し、
前記第2のベース領域は、前記第1の幅より大きい第2の幅を有し、
前記ディープ領域は、前記埋め込み領域に対して横で前記第2のベース領域まで延在する請求項4又は5記載の装置。 - 前記第1の導電領域は、前記チャネル領域を形成するボディ領域(10)と、前記第2の導電領域とを収容し、
前記ディープ領域は、前記第1の導電領域を通り延在する請求項3乃至6のうちいずれか一項記載の装置。 - 前記基板領域、前記第2のベース領域、及び前記ボディ領域は、P型であり、
前記第1のベース領域、前記第1の導電領域、及び前記第2の導電領域は、N型である請求項7記載の装置。 - 第1の導電端子(A)と第2の導電端子(S)との間で直列接続されるサイリスタ(25)及びMOSFETトランジスタ(26)を含む電源装置(1)の切替え方法において、前記MOSFETトランジスタの制御端子(G)を介して前記電源装置をオンにする段階とオフにする段階とを含む方法であって、
前記オフにする段階は、第3の電流導電端子(B)を介して前記サイリスタから電荷を抽出する段階を含むことを特徴とする方法。 - 前記オンにする段階は、
前記制御端子に制御電圧を印加する段階と、
前記第3の電流導電端子に電気量を供給する段階と、
を含む請求項9記載の方法。 - 前記電気量は、電流パルスである請求項10記載の方法。
- 前記電気量は、直流電圧である請求項10記載の方法。
- 前記オフにする段階は、前記直流電圧の印加を中断する段階を含む請求項12記載の方法。
- 半導体材料の本体の中に、直列接続されるサイリスタ(25)及びMOSFETトランジスタ(26)を形成する段階と、
前記本体の第2の表面(2)上に第1の電流導電端子(A)を形成する段階と、
前記本体の第2の表面(3)上に第2の電流導電端子(S)を形成する段階と、
前記本体の前記第2の表面の上に制御端子(G)を形成する段階と、
を含む電源装置を製造する方法であって、
前記サイリスタに接続される第3の電荷抽出端子(B)を形成する段階を含むことを特徴とする方法。 - 第1の導電型の基板(4)を設ける段階と、
前記基板の上に第2の導電型の第1のベース領域(5)を形成する段階と、
前記第1のベース領域の上に前記第1の導電型の第2のベース領域(6)を形成する段階と、
前記第2のベース領域の上に前記第2の導電型であり、前記本外の上面(3)を形成する第1の導電領域(7、8)を形成する段階と、
前記上面から前記第1のベース領域及び前記第2のベース領域のうちの1つまで延在する前記第1の導電型のディープ領域(12)を形成する段階と、
前記第1の導電領域に隣接し、前記第1の導電領域からチャネル領域(10)介して離される少なくとも1つの第2の導電領域(11)を形成する段階と、
前記上面上で、且つ、前記チャネル領域の上に配置される少なくとも1つの絶縁ゲート領域(20)を形成する段階と、
前記基板と接触するよう前記第1の電流導電端子を、前記第2の導電領域と接触するよう前記第2の電流導電端子を、前記ディープ領域と接触するよう前記電荷抽出端子を、更に、前記絶縁ゲート領域と接触するよう前記制御端子を形成する段階と、
を含む請求項14記載の方法。 - 前記第2の導電領域を形成する段階は、
前記第1の導電領域の中に少なくとも1つのボディ領域(10)を形成する段階と、
前記第2の導電領域を、前記ボディ領域の中に形成する段階と、
を含む請求項15記載の方法。 - 前記第1の導電領域を形成する段階は、
前記第2のベース領域の上に埋め込み領域(7)を形成する段階と、
前記埋め込み領域の上でエピタキシャル領域(8)を成長させる段階と、
を含み、
前記埋め込み領域と前記エピタキシャル領域は、前記第2の導電型を有するが、異なる導電性レベルを有する請求項15又は16記載の方法。 - 前記埋め込み領域は、前記エピタキシャル領域より大きい導電性を有する請求項17記載の方法。
- 前記埋め込み領域は、前記第2のベース領域より小さい幅を有し、
前記ディープ領域を形成する段階は、前記エピタキシャル領域を介してドーパント種を、前記埋め込み領域に対して横で前記第2のベース領域まで注入する段階を含む請求項17又は18記載の方法。 - 前記第1の電流導電端子を形成する前に前記基板を薄くする段階を更に含む請求項15乃至19のうちいずれか一項記載の方法。
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