JP2017063145A - 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1には、オーミックコンタクト領域と非オーミックコンタクト領域を形成することが記載されている。また、特許文献2には、ダイシングライン部にレーザを照射しないこと、ダイシングラインに対して傾斜させてレーザ光照射を行なうことにより、ダイシングによって発生する端面のチッピングを抑制できることが記載されている。
そこで本発明は、低抵抗かつ高い密着性の裏面電極を有する炭化珪素半導体装置とその製造方法を提供することを目的とする。
特許文献1には、レーザ照射領域とレーザ非照射領域を形成することは記載されているものの、低抵抗かつ高い密着性の裏面電極の炭化珪素半導体装置については何の記載も無い。
まず、本発明の実施の形態1にかかる炭化珪素半導体装置の構成を説明する。
図1は、実施の形態1にかかる炭化珪素半導体装置である炭化珪素ショットキバリアダイオード(SiC−SBD)を模式的に示す断面模式図である。また、図2は、本実施の形態の炭化珪素半導体装置である炭化珪素ショットキバリアダイオードの第2の主面である裏面側のシリサイド層が形成された領域の分布の様子を示す平面模式図である。
また、シリサイド層20が炭化珪素半導体基板11と裏面電極21との間に形成されているレーザ照射領域40(第1の領域)と、炭化珪素半導体基板11と裏面電極21とが直接接しているレーザ非照射領域50(第2の領域)との幅の割合は、レーザ照射領域40の幅に対するレーザ非照射領域50の幅が0.5倍以上1.5倍以下である。
また、レーザの照射エネルギー密度については、金属膜22の厚さにも依存するが、1.6〜2.5J/cm2の範囲が望ましい。例えば、金属膜22が厚さ100nmのNiである場合は、2.0J/cm2のエネルギー密度で照射すれば良い。
このように、ビーム径が短い方向にビームを重ね合わせてストライプ状にレーザを照射する工程を、ビーム径が大きい(ここでは180μmの)方向に、大きい方のビーム径の0.5以上1.5以下の間隔を空けて、繰り返す。
そうすると、レーザ照射領域40とレーザ非照射領域50がストライプ状に交互に形成され、レーザ照射領域40のみに金属膜22と炭化珪素が反応したシリサイド層20が形成される。
図9は、b/a(レーザ非照射領域50の幅/レーザ照射領域40の幅)値を変えて作成した試料を評価して求めた、b/a値に対する抵抗増加量および裏面電極21の密着性の関係を示す図である。ここで、b/a値がマイナスになっているものがあるが、これは、レーザ非照射領域50が無く、レーザが一部重なっているものを示しており、その値は、レーザの重なり幅をレーザ照射領域40の長さaで除した値をマイナス表示したものである。抵抗増加量は、その接触抵抗を素子を作成して求めたもので、レーザビームが一部重なっているもの、すなわち、b/a値がマイナスの図の左端の点に対する接触抵抗の増加量を示すものである。また、密着性は、表面・界面切削装置(SAICAS:Surface And Interfacial Cutting Analysis System)を用いて評価したものである。
さらに、本実施の形態のSiC−SBDの製造方法において、イオン注入後の熱処理は、カーボン保護膜を形成して行なってもよい。カーボン保護膜を形成して熱処理を行なうことにより、炭化珪素表面の凹凸発生を抑制することができる。
実施の形態1では、所定の間隔でストライプ状のレーザ照射領域40とレーザ非照射領域50を繰り返して配置した例を説明したが、このようにすると、レーザ照射領域40に対するレーザ非照射領域50の面積が0.5以上1.5以下になる。本実施の形態では、このレーザ照射領域40に対するレーザ非照射領域50の面積比を限定するものである。その他の点については、実施の形態1と同様であるので、詳しい説明は省略する。
なお、ここでは、格子状のレーザ照射の例を説明したが、レーザ非照射領域50/レーザ照射領域40の面積が0.5以上1.5以下であれば、その他の照射方法であってもよい。炭化珪素半導体装置のチップが長方形であれば、図13に示すように、所定の間隔でストライプ状のレーザ照射領域40とレーザ非照射領域50を繰り返して配置すれば、レーザ照射領域40の面積に対するレーザ非照射領域50の面積が0.5以上1.5以下になり、炭化珪素半導体基板との接触抵抗が低く、密着性の高い裏面電極を備えた炭化珪素半導体装置を得ることができる。
実施の形態2で述べた通り、本発明の炭化珪素半導体装置では、レーザ照射領域40の面積に対するレーザ非照射領域50の面積が0.5以上1.5以下であればよい。本実施の形態では、レーザ光をライン状に走査する際、レーザをオン、オフする方法、または、レーザ光をミラーにより照射領域上を走査させる方法などにより、ライン状にレーザ照射領域40とレーザ非照射領域50を形成する方法を利用するものである。その他の点については、実施の形態2と同様であるので、詳しい説明は省略する。
ここでは、ステップ送り方向に並ぶ各ラインのレーザ照射領域40、レーザ非照射領域50が一致しているものを示したが、これらが交互に並んでいてもよく、また、ランダムに配置されてもよい。
実施の形態4では、実施の形態3で説明したように、レーザ照射領域40の一部にレーザ非照射領域50を含むライン状の照射パターンを利用して、炭化珪素半導体装置チップのダイシングライン近傍がレーザ非照射領域50になるようにレーザを照射する。その他の点については、実施の形態3と同様であるので、詳しい説明は省略する。
Claims (8)
- 炭化珪素半導体基板と、
前記炭化珪素半導体基板の第1主面上に形成されたドリフト層と、
前記ドリフト層の表層部および上部に設けられたデバイス構造と、
前記炭化珪素半導体基板の第1主面に対向する第2主面上に形成された裏面電極と
を備え、
前記第2の主面において、前記炭化珪素半導体基板と前記裏面電極との間にシリサイド層を有する第1の領域と、前記炭化珪素半導体基板と前記裏面電極とが直接接している第2の領域とがストライプ状に交互に配置されており、前記第1の領域の幅が前記第2の領域の幅に対して0.5倍以上1.5倍以下であることを特徴とする炭化珪素半導体装置。 - 炭化珪素半導体基板と、
前記炭化珪素半導体基板の第1主面上に形成されたドリフト層と、
前記ドリフト層の表層部および上部に設けられたデバイス構造と、
前記炭化珪素半導体基板の第1主面に対向する第2主面上に形成された裏面電極と
を備え、
前記第2の主面において、前記炭化珪素半導体基板と前記裏面電極との間にシリサイド層を有する第1の領域と、前記炭化珪素半導体基板と第2電極層とが直接接している第2の領域とが交互に配置されており、前記第1の領域の面積が前記第2の領域の面積に対して0.5倍以上1.5倍以下であることを特徴とする炭化珪素半導体装置。 - 前記炭化珪素半導体基板の厚みが200μm以下である
請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置。 - チップ状の炭化珪素半導体装置の外周部には第2の領域だけが形成されている
請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記シリサイド層は、ニッケルシリサイドである
請求項1ないし3のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。 - (a)炭化珪素半導体基板の第1主面に第1の導電型のドリフト層を形成する工程と、
(b)前記ドリフト層表層に第1電極層を有するデバイス構造を形成する工程と、
(c)前記炭化珪素半導体基板の第1主面に対向する第2主面上に金属膜を形成する工程と、
(d)前記金属膜にレーザ光を照射して金属膜シリサイドを形成することによりシリサイド層を形成する工程と、
(e)前記シリサイド膜上に裏面電極を形成する工程を備え、
前記(c)工程においてレーザ光を照射する領域の幅に対するレーザ光を照射しない領域の幅の比を0.5以上1.5以下であるようにすることを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - (a)炭化珪素半導体基板の第1主面に第1の導電型のドリフト層を形成する工程と、
(b)前記ドリフト層表層に第1電極層を有するデバイス構造を形成する工程と、
(c)前記炭化珪素半導体基板の第1主面に対向する第2主面上に金属膜を形成する工程と、
(d)前記金属膜にレーザ光を照射して金属膜シリサイドを形成することによりシリサイド層を形成する工程と、
(e)前記シリサイド膜上に裏面電極を形成する工程を備え、
前記(c)工程においてレーザ光を照射する領域の面積に対するレーザ光を照射しない領域の面積の比を0.5以上1.5以下であるようにすることを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - レーザ光は、パルスレーザのレーザ光である
請求項5または6に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
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