JP7143730B2 - 半導体モジュールとその製造方法 - Google Patents
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Description
12 :炭化珪素基板
14 :上面電極
20 :下面電極
20A :第1範囲
20B :第2範囲
20C :第3範囲
32 :下側リードフレーム
34 :導体ブロック
36 :上側リードフレーム
42 :下側はんだ層
44 :上側はんだ層
100 :半導体モジュール
Claims (7)
- 炭化珪素基板を有する炭化珪素半導体装置であって、前記炭化珪素基板の下面に下面電極が設けられており、前記炭化珪素基板の上面に上面電極が設けられている、炭化珪素半導体装置と、
前記炭化珪素半導体装置の前記下面電極に下側はんだ層を介して接合するリードフレームと、
前記炭化珪素半導体装置の前記上面電極に上側はんだ層を介して接合する導体ブロックと、を備えており、
前記リードフレームと前記炭化珪素半導体装置と前記導体ブロックの積層方向から見たときに、前記炭化珪素半導体装置は前記リードフレームよりも内側に位置しており、前記導体ブロックは前記炭化珪素半導体装置よりも内側に位置している、半導体モジュールの製造方法であって、
前記炭化珪素基板の前記下面に電極材料層を成膜する電極材料層成膜工程と、
前記電極材料層にレーザ光を照射するレーザアニール工程と、を有しており、
前記電極材料層は、前記電極材料層の中心を含む第1範囲と、前記第1範囲の周囲であって前記電極材料層の前記中心を取り囲む第2範囲と、を有しており、
前記レーザアニール工程は、前記電極材料層と前記炭化珪素基板の界面の温度が、前記第1範囲よりも前記第2範囲で低くなるように実施され、
前記第2範囲は、冷熱サイクルによって前記炭化珪素半導体装置が下側に向けて凸状に変形する変形量が最大となる位置を含む、半導体モジュールの製造方法。 - 前記レーザアニール工程では、前記第2範囲に前記レーザ光を照射しないように実施される、請求項1に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記電極材料層成膜工程と前記レーザアニール工程の間に、前記第2範囲に対応する前記電極材料層上にマスク層を形成するマスク層形成工程と、をさらに備えている、請求項1又は2に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記電極材料層成膜工程では、前記電極材料層の厚みが前記第1範囲よりも前記第2範囲で厚くなるように前記電極材料層を形成する、請求項1に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 前記第1範囲が円形状であり、前記第2範囲がリング状である、請求項1~4のいずれか一項に記載の半導体モジュールの製造方法。
- 炭化珪素基板を有する炭化珪素半導体装置であって、前記炭化珪素基板の下面に下面電極が設けられており、前記炭化珪素基板の上面に上面電極が設けられている、炭化珪素半導体装置と、
前記炭化珪素半導体装置の前記下面電極に下側はんだ層を介して接合するリードフレームと、
前記炭化珪素半導体装置の前記上面電極に上側はんだ層を介して接合する導体ブロックと、を備えており、
前記リードフレームと前記炭化珪素半導体装置と前記導体ブロックの積層方向から見たときに、前記炭化珪素半導体装置は前記リードフレームよりも内側に位置しており、前記導体ブロックは前記炭化珪素半導体装置よりも内側に位置しており、
前記下面電極は、前記下面電極の中心を含む第1範囲と、前記第1範囲の周囲であって前記下面電極の前記中心を取り囲む第2範囲と、を有しており、
前記下面電極と前記炭化珪素基板の反応層の厚みが、前記第1範囲よりも前記第2範囲で薄く、
前記第2範囲は、冷熱サイクルによって前記炭化珪素半導体装置が下側に向けて凸状に変形する変形量が最大となる位置を含む、半導体モジュール。 - 前記第1範囲が円形状であり、前記第2範囲がリング状である、請求項6に記載の半導体モジュール。
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JP2011054698A (ja) | 2009-09-01 | 2011-03-17 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
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