JP2017041350A - Ｘ線発生装置及びｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性に優れるＸ線発生装置及びＸ線検査装置を提供する。【解決手段】検査振分装置１００は、アノード電極５６とカソード電極５７とを含むＸ線管球５０と、Ｘ線管球５０を収容するとともに絶縁油６１を封入されるタンク５３と、を有し、アノード電極５６及びカソード電極５７に所定の電圧を供給されることでＸ線を発生させ、異常放電判定部４７と、ＬＣＤディスプレイ２５と、報知制御部４８と、を備える。異常放電判定部４７は、Ｘ線管球５０内での異常放電である第１異常放電と、Ｘ線管球５０外であってタンク５３内での異常放電である第２異常放電とを個別に検出する。ＬＣＤディスプレイ２５は、管理者に対してＸ線管球５０又はタンク５３の交換を促す情報である報知情報を出力する。報知制御部４８は、異常放電判定部４７による検出結果に応じて、報知情報をＬＣＤディスプレイ２５に出力させる。【選択図】図１０

Description

本発明は、Ｘ線発生装置及びＸ線検査装置に関する。

従来、検査対象にＸ線を照射して行うＸ線検査に使用されるＸ線発生装置では、アノード電極とカソード電極とを含むＸ線管球と、Ｘ線管球を収容するとともに絶縁油を封入されるタンクと、を有している。Ｘ線発生装置では、アノード電極及びカソード電極に所定の電圧を供給することでカソード電極から電子を放出させ、放出した電子をアノード電極に衝突させることでＸ線を発生させている。

係るＸ線発生装置においては、Ｘ線管球内又はタンク内において、異常放電（検査の障害となりうる放電）が生じることがある。係る異常放電には、耐用年数の経過に起因する異常放電と、Ｘ線管球の構造に起因する異常放電と、が含まれる。耐用年数の経過に起因する異常放電は、真空度の劣化や絶縁油等の絶縁性能の劣化によって、Ｘ線管球内、又はＸ線管球外であってタンク内において生じうる。Ｘ線管球の構造に起因する異常放電は、カソード電極から放出された電子がアノード電極に衝突することなくＸ線管球内に留まること等を要因として、Ｘ線管球内において生じるものであり、耐用年数の経過との関連性は小さい。

耐用年数の経過に起因する異常放電が生じた場合、係る状態のまま装置が使用されると検査精度の低下を招くことから、管理者に対して報知してＸ線管球の交換等のメンテナンスを促すことが望ましい。例えば、特許文献１（特開２００１−１４５６２５号公報）には、Ｘ線管球内の異常放電が所定期間内に所定回数以上生じた場合には、装置を停止するとともに所定のメッセージをディスプレイに表示することが開示されている。

特許文献１では、管理者に対する報知に関して、Ｘ線管球内において異常放電が生じた場合に行うことを想定しており、Ｘ線管球外であってタンク内における異常放電が生じた場合の検出及び報知については特に考慮されていない。このため、Ｘ線管球外であってタンク内における異常放電（すなわち、耐用年数の経過に起因する異常放電）が生じている場合であっても、Ｘ線管球内において異常放電が生じていない時には、管理者に対する報知が行われない。よって、Ｘ線管球等が交換時機に達した場合であっても、管理者に対する報知が精度よく行われないことも想定される。係る場合、検査精度が低下するため信頼性に劣る。

そこで、本発明の課題は、信頼性に優れるＸ線発生装置及びＸ線検査装置を提供することである。

本発明の第１観点に係るＸ線発生装置は、アノード電極とカソード電極とを含むＸ線管球と、Ｘ線管球を収容するとともに絶縁油及び／又は固体絶縁体を封入されるタンクと、を有し、アノード電極及びカソード電極に所定の電圧を供給されることでＸ線を発生させるＸ線発生装置であって、異常放電検出部と、情報出力部と、報知制御部と、を備える。異常放電検出部は、第１放電と第２放電とを個別に検出する。第１放電は、Ｘ線管球内での異常放電である。第２放電は、Ｘ線管球外であってタンク内での異常放電である。情報出力部は、管理者に対して報知情報を出力する。報知情報は、Ｘ線管球又はタンクの交換を促す情報である。報知制御部は、異常放電検出部による検出結果に応じて報知情報を情報出力部に出力させる。

なお、ここでの「異常放電」については、耐用年数の経過に起因する異常放電（真空度の劣化や絶縁油等の絶縁性能の劣化によって、Ｘ線管球内、又はＸ線管球外であってタンク内において生じうる放電）と、Ｘ線管球の構造に起因する異常放電（カソード電極から放出された電子がアノード電極に衝突することなくＸ線管球内に留まること等を要因としてＸ線管球内において生じうる放電）と、が含まれる。

本発明の第１観点に係るＸ線発生装置では、異常放電検出部が第１放電と第２放電とを個別に検出し、報知制御部が異常放電検出部による検出結果に応じて報知情報を情報出力部に出力させる。これにより、Ｘ線管球内での異常放電である第１放電とＸ線管球外であってタンク内での異常放電である第２放電とが個別に検出され、検出結果に応じて報知が行われる。その結果、Ｘ線管球外であってタンク内における異常放電（すなわち、耐用年数の経過に起因する異常放電）が生じている場合、管理者に対して報知してメンテナンスを促すことが可能となる。すなわち、Ｘ線管球等が交換時機に達した場合であっても管理者に対して報知が精度よく行われない事態が抑制される。すなわち、耐用年数が経過していると想定される状況においてメンテナンスが行われずに装置が使用されることが抑制される。よって、検査精度の低下が抑制され、信頼性に優れる。

また、異常放電が生じた場合に、第１放電であるか第２放電であるかに応じて、報知情報を出力することが可能となる。例えば、第２放電が生じた場合には直ちに報知を行い、第１放電が生じた場合には直ちに報知を行わずに耐用年数の経過による異常放電であることが特定された時にのみ報知を行うことも可能となる。すなわち、異常放電が生じた場合、Ｘ線管球の構造に起因する異常放電である時には報知を行わず、耐用年数の経過による異常放電である時には報知を行うことが可能となる。よって、必要な場合に限って精度よく報知を行うことが可能となり、報知の精度に関しても信頼性に優れる。

本発明の第２観点に係るＸ線発生装置は、第１観点に係るＸ線発生装置であって、報知制御部は、異常放電検出部によって第２放電が検出された場合には、情報出力部に報知情報を出力させる。

これにより、第２放電が生じた場合（すなわち、耐用年数の経過に起因する異常放電が生じた場合）には、直ちに管理者に対する報知が行われる。その結果、管理者に対してＸ線管球やタンクの交換等のメンテナンスを適切に促すことが可能となり、検査精度の低下が抑制される。

本発明の第３観点に係るＸ線発生装置は、第１観点又は第２観点に係るＸ線発生装置であって、報知制御部は、異常放電検出部によって第１放電が検出された場合、所定期間内における第１放電の発生回数が第１閾値未満の時には情報出力部に報知情報を出力させず、所定期間内における第１放電の発生回数が第１閾値以上の時には情報出力部に報知情報を出力させる。これにより、第１放電が生じた場合、耐用年数の経過による異常放電であることが特定された時にのみ報知が行われる。

すなわち、第１放電が生じる頻度（すなわちＸ線管球内における異常放電の発生頻度）は、Ｘ線管球又はタンクの使用年数が耐用年数（交換時機）に近づくにつれて増加する。よって、第１異常放電の発生頻度に基づき、生じた第１放電が耐用年数の経過に起因する異常放電であるか否かを判断することが可能となるとともにメンテナンスの必要性の有無を判断することが可能となる。よって、必要な場合に限って精度よく報知が行われ、管理者に対してＸ線管球やタンクの交換等のメンテナンスが適切に促される。

なお、ここでの「所定期間」及び「第１閾値」は、設計仕様や使用環境に応じて第１放電の発生頻度がＸ線管球の耐用年数の経過を推定可能な程度に大きいか否か、すなわち第１放電が耐用年数の経過に起因する異常放電として生じているか否か、を判定するのに適正な値が選択される。

本発明の第４観点に係るＸ線発生装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線発生装置であって、異常放電検出部は、第１電気回路及び第２電気回路の双方における電流又は電圧の値の変化に基づき、第１放電を検出する。第１電気回路は、アノード電極を含む電気回路である。第２電気回路は、カソード電極を含む電気回路である。異常放電検出部は、第１電気回路及び第２電気回路の一方における電流又は電圧の値の変化に基づき、第２放電を検出する。

これにより、第１放電は第１電気回路及び第２電気回路の双方における電流又は電圧の値の変化に基づき検出され、第２放電は第１電気回路及び第２電気回路の一方における電流又は電圧の値の変化に基づき検出される。すなわち、第１放電（Ｘ線管球内での異常放電）が生じた場合には第１電気回路及び第２電気回路の双方において電流又は電圧の値の変化が生じること、及び第２放電（Ｘ線管球外であってタンク内での異常放電）が生じた場合には第１電気回路及び第２電気回路の一方において電流又は電圧の値の変化が生じることに基づき、異常放電が生じた場合には、第１電気回路及び第２電気回路の一方において電流又は電圧の値の変化が生じたか、或いは双方において電流又は電圧の値の変化が生じたかに応じて、第１放電と第２放電とが区別して検出される。その結果、第１放電及び第２放電を個別に検出することが高精度に可能となる。

本発明の第５観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第４観点のいずれかに係るＸ線発生装置と、制御部と、Ｘ線検出部と、画像生成部と、を備える。制御部は、Ｘ線発生装置の動作を制御する。Ｘ線検出部は、透過Ｘ線を検出する。透過Ｘ線は、Ｘ線発生装置によって発生され検査対象物を透過したＸ線である。画像生成部は、Ｘ線検出部によって検出された透過Ｘ線に応じて画像を生成する。

これにより、Ｘ線検査装置において、Ｘ線発生装置の耐用年数の経過により、Ｘ線管球等が交換時機に達した場合に、管理者に対してメンテナンスを促す報知を適切に行うことが可能となる。よって、検査精度の低下が抑制され、信頼性に優れる。

また、Ｘ線検査装置において、管理者に対してメンテナンスを促す報知に関して、必要な場合に限って精度よく報知を行うことが可能となる。よって、報知の精度に関しても信頼性に優れる。

本発明に係るＸ線発生装置では、Ｘ線管球内での異常放電である第１放電とＸ線管球外であってタンク内での異常放電である第２放電とが個別に検出され、検出結果に応じて報知が行われる。その結果、Ｘ線管球外であってタンク内における異常放電（すなわち、耐用年数の経過に起因する異常放電）が生じている場合、管理者に対して報知してメンテナンスを促すことが可能となる。すなわち、Ｘ線管球等が交換時機に達した場合であっても管理者に対して報知が精度よく行われない事態が抑制される。すなわち、耐用年数が経過していると想定される状況においてメンテナンスが行われずに装置が使用されることが抑制される。よって、検査精度の低下が抑制され、信頼性に優れる。

また、異常放電が生じた場合に、第１放電であるか第２放電であるかに応じて、報知情報を出力することが可能となる。例えば、第２放電が生じた場合には直ちに報知を行い、第１放電が生じた場合には直ちに報知を行わずに耐用年数の経過による異常放電であることが特定された時にのみ報知を行うことも可能となる。すなわち、異常放電が生じた場合、Ｘ線管球の構造に起因する異常放電である時には報知を行わず、耐用年数の経過による異常放電である時には報知を行うことが可能となる。よって、必要な場合に限って精度よく報知を行うことが可能となり、報知の精度に関しても信頼性に優れる。

本発明の一実施形態に係る検査振分装置の概略構成図。 Ｘ線検査ユニットの外観斜視図。 シールドボックス内部の概略構成図。 振分ユニット（アーム）が動作して物品が不良品回収ボックスへ送られる様子を示した模式図。 Ｘ線照射器の概略構成を示した模式図。 異常放電検出回路の概略構成を示した模式図。 コントローラの概略構成と、コントローラに接続される機器を模式的に示したブロック図。 Ｘ線透視像信号と、Ｘ線画像生成部によって生成されるＸ線画像における明るさ（輝度）と、の対応関係を示した模式図。 第１異常放電の発生頻度と使用時間との関係を示したグラフ。 コントローラの処理の流れの一例を示したフローチャート。 変形例Ｃに係る異常放電検出回路の概略構成を示した模式図。 変形例Ｄに係る異常放電検出回路の概略構成を示した模式図。

以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係る検査振分装置１００（Ｘ線発生装置、Ｘ線検査装置）について説明する。なお、以下の実施形態は、本発明の具体例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能である。

（１）検査振分装置１００の概要
図１は、本発明の一実施形態に係る検査振分装置１００の概略構成図である。本実施形態において、検査振分装置１００は、食品（加工食品や生鮮食料品等）である物品Ｐ（検査対象物）の品質検査を行って良品と不良品とを振り分けるシステムである。特に、検査振分装置１００は、品質検査として異物検査（物品Ｐにおける異物混入の有無に関する検査）を行う。なお、物品Ｐは、必ずしも食品には限定されず、他のもの（例えば工業製品や医薬品等）であってもよい。

検査振分装置１００は、搬送方向Ｄ（図１の二点鎖線矢印参照）に沿って物品Ｐを搬送し物品Ｐの製造、計量、包装、及び梱包等の各種加工を行う加工ラインにおいて配置されている。検査振分装置１００は、物品Ｐを受け入れる側の端部において上流側コンベア９０と接続されており、物品Ｐを送り出す側の端部において下流側コンベア９１と接続されている。検査振分装置１００は、上流側コンベア９０によって所定間隔で搬送されてくる物品Ｐに対してＸ線を照射し、物品Ｐを透過したＸ線（透過Ｘ線）に基づき物品Ｐの品質検査を行い、検査結果に応じて物品Ｐが不良品であるか否かを判定する。本実施形態において、検査振分装置１００は、透過Ｘ線に基づき、物品Ｐへの異物混入の有無を検査する異物検査を行い、異物が混入していると判断される物品Ｐについては、不良品と判定する。

検査振分装置１００は、不良品ではない（すなわち良品）と判定した物品Ｐについては、下流側コンベア９１へ送る。検査振分装置１００は、不良品と判定した物品Ｐについては、不良品回収ボックス９５へ送り、下流側コンベア９１へと送られる物品Ｐ（良品）とは振り分けて加工ラインから除外する。

（２）検査振分装置１００の詳細
検査振分装置１００は、主として、物品Ｐを検査して不良品であるか否かを判定するＸ線検査ユニット２０と、検査後の物品Ｐのうち不良品を振り分ける振分ユニット３０と、Ｘ線検査ユニット２０及び振分ユニット３０の動作を制御するコントローラ４０（図７参照）と、を有している。

（２−１）Ｘ線検査ユニット２０
図２は、Ｘ線検査ユニット２０の外観斜視図である。Ｘ線検査ユニット２０は、主として、シールドボックス２１と、コンベアユニット２２と、Ｘ線照射器２３と、ラインセンサ２４（図３参照）と、ＬＣＤディスプレイ２５と、を有している。

（２−１−１）シールドボックス２１
シールドボックス２１は、Ｘ線検査ユニット２０を構成する各種機器（具体的にはコンベアユニット２２、Ｘ線照射器２３、及びラインセンサ２４等）を収容するケーシングである。また、シールドボックス２１の中には、コントローラ４０が収容されている。また、シールドボックス２１の正面上部には、ＬＣＤディスプレイ２５や、キーの差し込み口や電源スイッチ等が配置されている。

シールドボックス２１は、搬送方向Ｄの上流側及び下流側の側面において、物品Ｐを搬出入するための開口２１ａを形成されている。開口２１ａは、シールドボックス２１の外部へのＸ線の漏洩を抑制する遮蔽ノレン２６により塞がれている。遮蔽ノレン２６は、タングステンを含有するゴム製である。遮蔽ノレン２６は、物品Ｐがシールドボックス２１の内部に搬入される時、又は、物品Ｐがシールドボックス２１の外部に搬出される時に、コンベアユニット２２により搬送される物品Ｐによって押しのけられる。

（２−１−２）コンベアユニット２２
コンベアユニット２２は、上流側コンベア９０から受け入れた物品Ｐを、シールドボックス２１内を通過させてから下流側の振分ユニット３０へと搬送する。コンベアユニット２２は、シールドボックス２１の両側面に形成された開口２１ａを貫通するように配置されている。

コンベアユニット２２は、主として、インバータ式のコンベアモータ２２ａ（図７参照）と、エンコーダ２２ｂ（図７参照）と、コンベアローラ２２ｃと、無端状のコンベアベルト２２ｄと、を有している。コンベアモータ２２ａの出力端はコンベアローラ２２ｃに接続されており、コンベアローラ２２ｃはコンベアモータ２２ａに連動して駆動する。コンベアローラ２２ｃが駆動することで、コンベアベルト２２ｄが回転し、コンベアベルト２２ｄ上の物品Ｐが下流側（振分ユニット３０側）に向かって搬送される。

エンコーダ２２ｂは、コンベアモータ２２ａに装着されている。エンコーダ２２ｂは、コンベアモータ２２ａの回転数を検出し、検出結果をコントローラ４０へ送信する。

コンベアモータ２２ａは、コントローラ４０によって、コンベアユニット２２の搬送速度が、オペレータによりＬＣＤディスプレイ２５に入力された設定速度になるように、インバータ制御される。

（２−１−３）Ｘ線照射器２３
図３は、シールドボックス２１内部の概略構成図である。Ｘ線照射器２３は、ラインセンサ２４及びコンベアユニット２２の上方に配置されている。Ｘ線照射器２３は、シールドボックス２１内部において、Ｘ線を発生させ、搬送されてくる物品ＰにＸ線を照射する。より詳細には、Ｘ線照射器２３は、コンベアユニット２２の下方に配置されるラインセンサ２４に向けて、扇状の照射範囲Ｙ（図３のハッチング部分を参照）にＸ線を照射する。照射範囲Ｙは、コンベアユニット２２の搬送面に対して垂直に延びる。また、照射範囲Ｙは、物品Ｐの搬送方向Ｄに直交する方向（すなわちコンベアベルト２２ｄの幅方向）に広がる。

Ｘ線照射器２３の詳細については後述する。

（２−１−４）ラインセンサ２４（Ｘ線検出部）
ラインセンサ２４は、コンベアベルト２２ｄの下方に配置されており、物品Ｐやコンベアベルト２２ｄを透過したＸ線（透過Ｘ線）を検出し、検出結果に対応するＸ線透視像信号（図８参照）をコントローラ４０へ出力する。換言すると、ラインセンサ２４は、透過Ｘ線の強度に応じたＸ線透過信号をコントローラ４０へ出力する。透過Ｘ線の強度は、透過Ｘ線量の大小に依存する。なお、Ｘ線透過信号（すなわち、透過Ｘ線の強度）に基づきコントローラ４０（後述するＸ線画像生成部４４）によってＸ線画像が生成される点については後述するが、生成されるＸ線画像の明るさ（輝度）についてはラインセンサ２４が出力するＸ線透過信号に基づいて決定される。

ラインセンサ２４は、物品Ｐの搬送方向Ｄに直交し、かつ、コンベアベルト２２ｄの幅方向に一直線に配置された多数のＸ線検出素子２４ａ（画素センサ）を有している。本実施形態においてＸ線検出素子２４ａは、フォトダイオードであり、基板に実装されている。

また、ラインセンサ２４は、シンチレータ２４ｂ（図８参照）を有している。シンチレータ２４ｂは、Ｘ線検出素子２４ａ上に配置されている。本実施形態では、シンチレータ２４ｂとして蛍光紙が用いられている。シンチレータ２４ｂは、上方から入射してくるＸ線を光に変換し、変換後の光を下方のＸ線検出素子２４ａに入射させる。

Ｘ線検出素子２４ａは、シンチレータ２４ｂから入射される光の量に応じて電流を発生させて電荷を蓄積し、蓄積した電荷量を電気信号に変換してＸ線透視像信号としてコントローラ４０へ出力する。

なお、ラインセンサ２４は、物品ＰがＸ線の照射範囲Ｙを通過するタイミングを検知するためのセンサとしても機能する。具体的には、コンベアユニット２２によって搬送される物品Ｐがラインセンサ２４の上方位置（照射範囲Ｙ）に来たとき、ラインセンサ２４のＸ線検出素子２４ａのいずれかが所定の閾値以下の電圧を示すＸ線透過信号（第１信号）を出力する。また、物品Ｐが照射範囲Ｙを通過し終えると、ラインセンサ２４の全てのＸ線検出素子２４ａは、所定の閾値を上回る電圧を示すＸ線透過信号（第２信号）を出力する。係る第１信号及び第２信号がコントローラ４０に出力されることで、照射範囲Ｙにおける物品Ｐの有無がコントローラ４０によって検出される。

（２−１−５）ＬＣＤディスプレイ２５（情報出力部）
ＬＣＤディスプレイ２５は、タッチパネル（タッチ入力が可能な入力手段）を有する液晶ディスプレイ（いわゆるタッチスクリーン）である。ＬＣＤディスプレイ２５は、コントローラ４０と電気的に接続されており、コントローラ４０と互いに信号の送受信を行う。

ＬＣＤディスプレイ２５は、管理者に対して情報を表示（出力）する表示部、及び管理者が各種コマンドを入力する入力部として機能する。ＬＣＤディスプレイ２５は、コントローラ４０によって生成された情報を表示する。例えば、ＬＣＤディスプレイ２５は、コントローラ４０から出力されたＸ線画像（後述）や報知情報（後述）等を表示する。

（２−２）振分ユニット３０
図４は、振分ユニット３０（アーム３１）が動作して物品Ｐが不良品回収ボックス９５へ送られる様子を示した模式図である。振分ユニット３０は、コントローラ４０の指令に応じて、搬送されてくる物品Ｐのうち不良品を不良品回収ボックス９５へ送る。

振分ユニット３０は、主として、コンベアユニット２２によって搬送されてくる不良品を不良品回収ボックス９５へと送るアーム３１と、アーム３１を駆動するアーム駆動部３２（図７参照）と、アーム３１の上流側で物品Ｐを検出する光電センサ３３と、を有している。

アーム３１は、その回転軸がコンベアユニット２２の側部に取り付けられている。アーム３１の回転軸にはアーム駆動部３２が接続されており、アーム３１はアーム駆動部３２の動作に連動して移動する。具体的に、アーム３１は、物品Ｐの搬送方向Ｄに沿う位置（図４の一点鎖線で示す位置）と物品Ｐを斜めに遮る振分位置（図４の実線で示す位置）との間を移動する（図４の一点鎖線矢印を参照）。アーム３１は、不良品が搬送されてきたタイミングにおいて係る態様で移動することにより、不良品をコンベアユニット２２から落下させ、コンベアユニット２２の側部近傍に配置された不良品回収ボックス９５へと送る。

アーム駆動部３２は、エアーシリンダ又はモータ等のアクチュエータを含み、コントローラ４０によって駆動を制御される。

光電センサ３３は、光を照射する投光器３３ａと、照射された光を受光する受光器３３ｂと、を含んでいる。光電センサ３３は、コントローラ４０と電気的に接続されている。投光器３３ａの動作はコントローラ４０によって制御される。受光器３３ｂは、投光器３３ａから照射された光を受光している時にはコントローラ４０に所定の信号（受光信号）を出力し受光しない時にはコントローラ４０への受光信号の出力を停止する。これにより、コントローラ４０は、物品Ｐが振分ユニット３０を通過するタイミングを検出する。

（２−３）コントローラ４０
コントローラ４０は、主として、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）等によって構成されるコンピュータである。コントローラ４０は、Ｘ線検査ユニット２０に含まれる各機器の動作を制御する。また、コントローラ４０は、ラインセンサ２４のＸ線透過量の検出結果に基づき、物品Ｐが不良品であるか否かの検査（異物検査）を行う。また、コントローラ４０は、異物検査の結果、不良品と判定した物品Ｐについては、加工ラインから除外すべく振分ユニット３０を駆動させて不良品回収ボックス９５へと回収させる。また、コントローラ４０は、Ｘ線管球５０又はタンク５３の交換等のメンテナンスが必要であるか否かを判定し、判定結果に応じて管理者に対し係るメンテナンスを促す報知を行う。

コントローラ４０の詳細については後述する。

（３）Ｘ線照射器２３の詳細
図５は、Ｘ線照射器２３の概略構成を示した模式図である。Ｘ線照射器２３は、Ｘ線管球５０と、高圧電源５１と、フィラメント電源５２と、タンク５３と、異常放電検出回路５４と、を有している。

Ｘ線管球５０は、ステンレス及びセラミクス製のＸ線管本体５５と、Ｘ線管本体５５の内部に配置されるアノード電極５６（Ｘ線ターゲット）及びカソード電極５７（フィラメント）と、を含んでいる。Ｘ線管本体５５には、Ｘ線を透過するＸ線照射窓５８が形成されている。

高圧電源５１は、図示しない電源（例えば、商用の交流電源、又は直流電源）と接続され、入力電圧をインバータ等（図示省略）によって昇圧して高圧の直流電圧を生成する。高圧電源５１は、正側の出力端子がアノード電極５６と接続されるとともに負側の出力端子がカソード電極５７と接続されて、アノード電極５６及びカソード電極５７のそれぞれに所定の電圧を供給しており、アノード電極５６とカソード電極５７との間に電位差を生じさせている。本実施形態において、高圧電源５１は、アノード電極５６とカソード電極５７との間に１００ｋＶの電位差を生じさせている。なお、高圧電源５１がアノード電極５６とカソード電極５７との間において生じさせる電位差は、必ずしも１００ｋＶに限定されず、設計仕様や使用環境に応じて適宜変更が可能である。

フィラメント電源５２は、カソード電極５７に加熱電流を供給する。上述のようにアノード電極５６とカソード電極５７との間に所定の電位差が生じている状態（すなわち、アノード電極５６及びカソード電極５７に対して高圧電源５１から所定の電圧が供給されている状態）で、フィラメント電源５２からカソード電極５７に加熱電流が供給されると、Ｘ線管球５０内において、カソード電極５７が加熱されてカソード電極５７から熱電子が放出され、カソード電極５７から放出された熱電子がアノード電極５６に衝突する（図５の破線矢印を参照）。その結果、Ｘ線照射窓５８を介してＸ線管球５０外に照射されるＸ線が生じる（図５の１点鎖線矢印Ｘを参照）。なお、Ｘ線がＸ線照射窓５８に向けて適正に照射されるべく、アノード電極５６は、カソード電極５７から放出された熱電子の入射角度が適正な角度となるように配置されている。

タンク５３は、Ｘ線管球５０、高圧電源５１、及びフィラメント電源５２を収容している。また、タンク５３内には、高圧電源５１とアノード電極５６とを結ぶ電気回路（すなわち、アノード電極５６を含む電気回路）である第１電気回路５９と、高圧電源５１とカソード電極５７とを結ぶ電気回路（すなわち、カソード電極５７を含む電気回路）である第２電気回路６０と、が配置されている。

また、タンク５３内には、絶縁油６１が封入されている。絶縁油６１は、電気的絶縁性を有しており、タンク５３内の空間において電位差のある各部間（例えば、第１電気回路５９と第２電気回路６０との間、又は、第１電気回路５９若しくは第２電気回路６０とタンク５３若しくはＸ線管本体５５との間）において電気的絶縁状態を確保する。また、絶縁油６１は、Ｘ線を発生させる際に高熱を生じさせるＸ線管球５０を冷却する役割を担っている。なお、タンク５３内においては、絶縁油６１に代えて又は絶縁油６１とともにエポキシやシリコーン等の固体絶縁体（図示省略）が封入されてもよい。

異常放電検出回路５４は、Ｘ線管球５０（Ｘ線管本体５５）内、又はＸ線管球５０外であってタンク５３内において発生した異常放電を検出するための回路である。

ここで、「異常放電」とは、検査振分装置１００における検査の障害となりうる放電を指す。係る異常放電には、Ｘ線管球５０の構造に起因する異常放電と、Ｘ線管球５０又は絶縁油６１等の耐用年数の経過に起因する異常放電と、が含まれる。

Ｘ線管球５０の構造に起因する異常放電は、カソード電極５７から放出された電子がアノード電極５６に衝突することなくＸ線管球５０内に留まること等を要因として、Ｘ線管球５０内において生じるものであり、耐用年数の経過との関連性は小さい。より詳細には、Ｘ線管球５０の内部のガスがカソード電極５７から放出された電子等によって電離されることでアノード電極５６及びカソード電極５７間で引き起こされる放電や、絶縁を保っているＸ線管壁にカソード電極５７から放出された電子が一時的に蓄積され飽和にいたることでＸ線管球５０内において引き起こされる放電等が、Ｘ線管球５０の構造に起因する異常放電に該当する。

耐用年数の経過に起因する異常放電は、真空度の劣化や絶縁油６１の絶縁性能の劣化等を要因として、Ｘ線管球５０内、又はＸ線管球５０外であってタンク５３内において生じうる。

なお、以下の説明においては、説明の便宜上、Ｘ線管球５０内における異常放電を「第１異常放電」と称し、Ｘ線管球５０外であってタンク５３内における異常放電を「第２異常放電」と称する。

図６は、異常放電検出回路５４の概略構成を示した模式図である。異常放電検出回路５４は、第１電気回路５９、第２電気回路６０、及びコントローラ４０にそれぞれ接続されている。異常放電検出回路５４は、第１電気回路５９における電圧値の変化（急降下）に応じてパルスを出力する第１検出ユニット６２と、第２電気回路６０における電圧値の変化（急降下）に応じてパルスを出力する第２検出ユニット６３と、ＸＯＲ回路６４と、ＡＮＤ回路６５と、を有している。

第１検出ユニット６２及び第２検出ユニット６３は、それぞれ、順に直列接続された電圧検出回路５４１と、微分回路５４２と、比較器５４３と、パルス発生器５４４と、を含んでいる。電圧検出回路５４１は、入力側において、第１電気回路５９又は第２電気回路６０と接続されている。電圧検出回路５４１は、出力側において、微分回路５４２と接続されている。微分回路５４２の出力側は、比較器５４３の負側入力端に接続されている。比較器５４３は、正側入力端において図示しない基準電源と接続されており、基準電圧を供給されている。比較器５４３は、出力端においてパルス発生器５４４と接続されている。パルス発生器５４４は、出力側において、ＸＯＲ回路６４及びＡＮＤ回路６５と接続されている。

第１検出ユニット６２及び第２検出ユニット６３において、電圧検出回路５４１は、接続されている回路（すなわち、第１電気回路５９又は第２電気回路６０）に供給される電圧の値（電圧値）を検出する。微分回路５４２及び比較器５４３は、電圧検出回路５４１の検出結果に基づき、第１電気回路５９又は第２電気回路６０に供給される電圧値の変化（急降下）を検出する。パルス発生器５４４は、比較器５４３の出力に基づき、第１電気回路５９又は第２電気回路６０に供給される電圧値の変化（急降下）が生じた際に、パルスを出力する。

ＸＯＲ回路６４及びＡＮＤ回路６５は、出力側においてコントローラ４０と接続されている。ＸＯＲ回路６４は、第１検出ユニット６２及び第２検出ユニット６３の一方のみからパルスを入力された際（すなわち、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方において電圧値の変化（急降下）が生じた際）に、コントローラ４０に対して信号（ＸＯＲ信号）を出力する。ＡＮＤ回路６５は、第１検出ユニット６２及び第２検出ユニット６３の双方からパルスを入力された際（すなわち、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の双方において電圧値の変化（急降下）が生じた際）に、コントローラ４０に対して信号（ＡＮＤ信号）を出力する。

このように構成される異常放電検出回路５４は、第１電気回路５９及び／又は第２電気回路６０における電圧値の変化（急降下）が生じた際に、これを検出して信号を出力する機能を有する。なお、異常放電検出回路５４の構成については、必ずしも図６に示す態様には限定されず、係る機能が達成される限り、各回路要素の追加、削除及び変更が可能である。また、電圧検出回路５４１、微分回路５４２、比較器５４３、パルス発生器５４４、ＸＯＲ回路６４、及びＡＮＤ回路６５は、図６においては簡略化して示されているが、各部の役割を果たすのに適当な電気部品を選択して組み合わせることで構成されればよい。

（４）コントローラ４０の詳細
図７は、コントローラ４０の概略構成と、コントローラ４０に接続される機器を模式的に示したブロック図である。コントローラ４０は、主として、コンベアモータ２２ａと、エンコーダ２２ｂと、Ｘ線照射器２３と、ラインセンサ２４と、ＬＣＤディスプレイ２５と、アーム駆動部３２と、投光器３３ａと、受光器３３ｂと、電気的に接続されている。コントローラ４０は、主として、記憶部４１と、入出力制御部４２と、Ｘ線照射制御部４３と、Ｘ線画像生成部４４と、品質判定部４５と、振分制御部４６と、異常放電判定部４７と、報知制御部４８と、を有している。

（４−１）記憶部４１
記憶部４１は、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ、及びフラッシュメモリ等により構成されており、揮発性の記憶領域及び不揮発性の記憶領域を有する。記憶部４１は、主として、所定の記憶容量を有するプログラム記憶領域４１１と、Ｘ線透視像信号記憶領域４１２と、Ｘ線画像記憶領域４１３と、報知情報記憶領域４１４と、第１異常放電情報記憶領域４１５と、物品検出フラグ４１６と、不良品判定フラグ４１７と、受光信号フラグ４１８と、ＸＯＲ信号フラグ４１９と、ＡＮＤ信号フラグ４２０と、メンテナンス報知フラグ４２１と、を含んでいる。

プログラム記憶領域４１１は、コントローラ４０の各部（４２〜４８）の処理を定義した制御プログラムを記憶する領域である。Ｘ線透視像信号記憶領域４１２は、ラインセンサ２４から出力されるＸ線透視像信号を記憶する領域である。Ｘ線画像記憶領域４１３はＸ線画像生成部４４によって生成されるＸ線画像（後述）を記憶する領域である。報知情報記憶領域４１４は、報知制御部４８によって生成される報知情報（後述）を記憶する領域である。第１異常放電情報記憶領域４１５は、所定回数分の第１異常放電の検出時刻を記憶する領域である。

物品検出フラグ４１６は、シールドボックス２１内に物品Ｐが搬送されてきたか否かを判別するためのフラグである。不良品判定フラグ４１７は、Ｘ線検査ユニット２０を通過し振分ユニット３０に送られる物品Ｐが不良品であるか否かを判別するためのフラグである。受光信号フラグ４１８は、Ｘ線検査ユニット２０を通過した物品Ｐが振分ユニット３０に到達したことを判別するためのフラグである。ＸＯＲ信号フラグ４１９は、ＸＯＲ回路６４（異常放電検出回路５４）からＸＯＲ信号が出力されたことを判別するためのフラグである。ＡＮＤ信号フラグ４２０は、ＡＮＤ回路６５（異常放電検出回路５４）からＡＮＤ信号が出力されたことを判別するためのフラグである。メンテナンス報知フラグ４２１は、管理者に対してＸ線管球５０又はタンク５３の交換等のメンテナンスを促す報知情報を通知するタイミングを判別するためのフラグである。

（４−２）入出力制御部４２
入出力制御部４２は、各種信号の入出力に係る制御を行う。例えば、入出力制御部４２は、ラインセンサ２４から出力された第１信号を受けて、物品検出フラグ４１６を立てる。また、入出力制御部４２は、ラインセンサ２４から出力された第２信号を受けて、物品検出フラグ４１６をクリアする。また、入出力制御部４２は、ラインセンサ２４から出力されたＸ線透視像信号を受けて、Ｘ線透視像信号記憶領域４１２に格納する。また、入出力制御部４２は、光電センサ３３から出力された受光信号を受けて、受光信号フラグ４１８を立てる。また、入出力制御部４２は、光電センサ３３から出力されていた受光信号が無くなると、受光信号フラグ４１８をクリアする。

また、入出力制御部４２は、Ｘ線画像記憶領域４１３に新たなＸ線画像が格納されると、これをＬＣＤディスプレイ２５に出力する。また、入出力制御部４２は、報知情報記憶領域４１４に新たな報知情報が格納されると、これをＬＣＤディスプレイ２５に出力する。

（４−３）Ｘ線照射制御部４３（制御部）
Ｘ線照射制御部４３は、Ｘ線照射器２３の動作に係る制御を実行する。Ｘ線照射制御部４３は、物品検出フラグ４１６が立てられた時（すなわち、シールドボックス２１内において物品Ｐが搬送されラインセンサ２４の上方位置（照射範囲Ｙ）に来た時）に、Ｘ線照射器２３における高圧電源５１によってアノード電極５６及びカソード電極５７に所定の電圧を供給させるとともにフィラメント電源５２によってカソード電極に加熱電流を供給させることで、Ｘ線を発生させ物品Ｐに照射させる。

（４−４）Ｘ線画像生成部４４（画像生成部）
Ｘ線画像生成部４４は、Ｘ線透視像信号記憶領域４１２に記憶されている最新のＸ線透視像信号に基づき、Ｘ線画像を生成する処理を行う。Ｘ線画像生成部４４は、Ｘ線透視像信号によって特定される透過Ｘ線量に基づいて、透過画像としてＸ線画像を生成する。より詳細には、Ｘ線画像生成部４４は、各Ｘ線検出素子２４ａから得られるＸ線の強度に関する細かい時間間隔毎のデータをマトリクス状に時系列につなぎ合わせてＸ線画像を生成する。

Ｘ線画像生成部４４により生成されるＸ線画像では、Ｘ線検出素子２４ａが検出した透過Ｘ線量の多いところが明るく（淡く、輝度が大きく）表示され、透過Ｘ線量が少ないところが暗く（濃く、輝度が小さく）表示される。

図８は、Ｘ線透視像信号と、Ｘ線画像生成部４４によって生成されるＸ線画像における明るさ（輝度）と、の対応関係を示した模式図である。Ｘ線画像生成部４４によって生成されるＸ線画像においては、透過Ｘ線の強度が小さいところほど輝度が小さく（暗く）なり、透過Ｘ線の強度が大きいところほど輝度が大きく（明るく）なる。このため、物品Ｐに異物が混入している場合に生成されるＸ線画像において物品Ｐの異物が混入している部分については、図８に示すように、透過Ｘ線の強度が小さくなることに伴い、異物が混入していない部分と比較して輝度が小さくなる。図８では、Ｘ線画像において異物が混入している部分についての輝度が、所定の基準値ＳＶを下回っている。

Ｘ線画像生成部４４は、生成したＸ線画像をＸ線画像記憶領域４１３に格納する。これにより、生成されたＸ線画像が入出力制御部４２によってＬＣＤディスプレイ２５に対して出力されて、ＬＣＤディスプレイ２５において表示される。

（４−５）品質判定部４５
品質判定部４５は、Ｘ線画像記憶領域４１３に記憶されている最新のＸ線画像に基づき、物品Ｐが不良品であるか否かを判定する処理を行う。品質判定部４５は、Ｘ線画像記憶領域４１３に新たなＸ線画像が格納されると、これを取得して、輝度が基準値ＳＶを下回る部分が存在するか否かを判定する。品質判定部４５は、Ｘ線画像において基準値ＳＶを下回る部分が存在する場合には、当該Ｘ線画像に対応する物品Ｐに関して異物混入のある不良品と判定し、不良品判定フラグ４１７を立てる。なお、基準値ＳＶは、検査対象である物品Ｐの種類等に応じて適宜設定される。

品質判定部４５は、不良品判定フラグ４１７を立ててから所定時間が経過した時に（より詳細には不良品と判定した物品Ｐの次に搬送されてくる物品Ｐに関する判定の開始前に）、不良品判定フラグ４１７をクリアする。

（４−６）振分制御部４６
振分制御部４６は、振分ユニット３０におけるアーム駆動部３２の動作に係る制御を実行する。振分制御部４６は、不良品判定フラグ４１７が立てられている状態において受光信号フラグ４１８が立てられた時（すなわち、不良品と判定された物品Ｐが振分ユニット３０に搬送されてきた時）に、搬送速度に応じたタイミング（具体的には、不良品と判定された物品Ｐがアーム３１の動作範囲に到達すると想定されるタイミング）にて、アーム駆動部３２に駆動電圧を供給してアーム３１を駆動させる。その結果、不良品と判定された物品Ｐが、不良品回収ボックス９５へと送られて加工ラインから除外される。

（４−７）異常放電判定部４７（異常放電検出部）
異常放電判定部４７は、Ｘ線照射器２３において異常放電が生じているか否かを検出する処理を行う。より詳細には、異常放電判定部４７は、異常放電が生じた際に、第１異常放電（Ｘ線管球５０内における異常放電）及び第２異常放電（Ｘ線管球５０外であってタンク５３内における異常放電）のいずれが生じたかを判定し（すなわち、第１異常放電及び第２異常放電を個別に検出し）、当該判定結果に基づき、生じた異常放電がＸ線管球５０の構造に起因する異常放電及び耐用年数の経過に起因する異常放電のいずれであるかを特定する。

具体的に、異常放電判定部４７は、ＸＯＲ信号フラグ４１９又はＡＮＤ信号フラグ４２０が立てられると異常放電が生じたことを検出する。より詳細には、異常放電判定部４７は、ＸＯＲ信号フラグ４１９が立てられた場合（すなわち、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方において電圧値の変化（急降下）が検出された場合）、第２異常放電が生じたと判定する。つまり、異常放電判定部４７は、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方における電圧値の変化に基づき第２異常放電を検出する。また、異常放電判定部４７は、ＡＮＤ信号フラグ４２０が立てられた場合（すなわち、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の双方において電圧値の変化（急降下）が検出された場合）、第１異常放電が生じたと判定する。つまり、異常放電判定部４７は、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の双方における電圧値の変化に基づき第１異常放電を検出する。

そして、異常放電判定部４７は、第２異常放電が生じたと判定した時（すなわちＸＯＲ信号フラグ４１９が立てられた時）には、直ちに、発生した異常放電が耐用年数の経過に起因する異常放電であると判断して、管理者に対して報知情報（Ｘ線管球５０やタンク５３の交換等のメンテナンスを促す情報）を出力すべくメンテナンス報知フラグ４２１を立てる。

一方、異常放電判定部４７は、第１異常放電が生じたと判定した時（すなわちＡＮＤ信号フラグ４２０が立てられた時）には、第１異常放電情報記憶領域４１５に当該判定を行った時刻（すなわち第１異常放電の検出時刻）に関する情報を格納する。この際、異常放電判定部４７は、第１異常放電情報記憶領域４１５に記憶されている以前の第１異常放電の検出時刻に関する情報を取得する。そして、取得した検出時刻に関する情報に基づき、第１異常放電の発生頻度が異常か否か（具体的には、所定期間Ｐ１における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１以上であるか否か）を判定する。

当該判定において、所定期間Ｐ１における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１以上である時（すなわち、第１異常放電の発生頻度が異常である時）には、異常放電判定部４７は、発生した第１異常放電が耐用年数の経過に起因する異常放電であると判断して、管理者に対して報知情報を出力すべくメンテナンス報知フラグ４２１を立てる。また、第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１以上でない時（すなわち、第１異常放電の発生頻度が異常でない時）には、異常放電判定部４７は、発生した第１異常放電がＸ線管球５０の構造に起因する異常放電であると判断して、メンテナンス報知フラグ４２１を立てない。

なお、所定期間Ｐ１及び第１閾値ΔＴｈ１は、設計仕様や使用環境に応じて第１異常放電の発生頻度がＸ線管球５０の耐用年数の経過を推定可能な程度に大きいか否か、すなわち第１異常放電が耐用年数の経過に起因する異常放電として生じているか否か、を判定するのに適正な値が設定される。本実施形態において所定期間Ｐ１は１６８時間（１週間）に設定されており、第１閾値ΔＴｈ１は３（回）に設定されている。なお、異常放電判定部４７は、時刻をリアルタイムに取得可能に構成されている。

ここで、異常放電判定部４７による以上の処理は、以下の原理に基づいている。

すなわち、異常放電が生じた際には、Ｘ線照射器２３内の回路（特に、第１電気回路５９及び／又は第２電気回路６０）において電圧値の変化（急降下）が生じる。この際、第１異常放電が生じた場合には、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の双方において電圧値の変化（急降下）が生じる。また、第２異常放電が生じた場合には、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方のみにおいて電圧値の変化（急降下）が生じる。

Ｘ線管球５０の構造に起因する異常放電については、主にＸ線管球５０内において生じるため、原則として第１異常放電として発生しうる。一方、耐用年数の経過に起因する異常放電については、Ｘ線管球５０内及びＸ線管球５０外であってタンク５３において生じるため、第１異常放電及び第２異常放電いずれかの異常放電として発生しうる。

このことから、第２異常放電が生じた場合には、直ちに耐用年数の経過に起因する異常放電が生じたと判定することが可能である。よって、異常放電判定部４７は、ＸＯＲ信号フラグ４１９が立てられている時には、直ちに、発生した異常放電が耐用年数の経過に起因する異常放電であると判定して、メンテナンス報知フラグ４２１を立てる。

また、第１異常放電が生じた場合には、Ｘ線管球５０の構造に起因する異常放電、及び耐用年数の経過に起因する異常放電のいずれに該当するものかを判定する必要がある。この点、図９に示すように、第１異常放電が生じる頻度（すなわちＸ線管球５０内における異常放電の発生頻度）は、Ｘ線管球５０又はタンク５３の使用年数が耐用年数（交換時機）に近づくにつれて増加する。よって、第１異常放電の発生頻度に基づき、生じた第１異常放電が耐用年数の経過に起因する異常放電であるか否かを判断することが可能となるとともにメンテナンスの必要性の有無を判断することが可能となる。

このことから、第１異常放電が所定頻度を越えて生じた場合（すなわち、第１異常放電の発生頻度が異常な場合）には、耐用年数の経過に起因する異常放電が生じたと判定することが可能である。よって、異常放電判定部４７は、ＡＮＤ信号フラグ４２０が立てられた場合には、所定期間Ｐ１における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１以上であるか否かを判定し、第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１以上である時には発生した第１異常放電が耐用年数の経過に起因する異常放電であると判定して、メンテナンス報知フラグ４２１を立てる。一方で、異常放電判定部４７は、第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１未満である時には発生した第１異常放電がＸ線管球５０の構造に起因する異常放電であると判定して、メンテナンス報知フラグ４２１を立てない。

なお、異常放電判定部４７は、ＸＯＲ信号フラグ４１９又はＡＮＤ信号フラグ４２０が立てられていることを確認後、立てられた状態にあるＸＯＲ信号フラグ４１９又はＡＮＤ信号フラグ４２０をクリアする。

（４−８）報知制御部４８
報知制御部４８は、メンテナンス報知フラグ４２１が立てられると、報知情報（管理者に対してＸ線管球５０やタンク５３の交換等のメンテナンスを促すテキスト情報や警告マーク等の画像情報）を生成して報知情報記憶領域４１４に格納する。これにより、生成された報知情報が入出力制御部４２によってＬＣＤディスプレイ２５に出力されて、ＬＣＤディスプレイ２５において表示される。

すなわち、報知制御部４８は、異常放電判定部４７による判定結果（すなわち第１異常放電又は第２異常放電の検出結果）に応じて報知情報をＬＣＤディスプレイ２５に出力させる。換言すると、報知制御部４８は、異常放電判定部４７によって第２異常放電が検出された場合には、直ちにＬＣＤディスプレイ２５に報知情報を出力させる。また、報知制御部４８は、異常放電判定部４７によって第１異常放電が検出された場合には、所定期間Ｐ１内における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１未満の時にはＬＣＤディスプレイ２５に報知情報を出力させず、第１閾値ΔＴｈ１以上の時にはＬＣＤディスプレイ２５に報知情報を出力させる。

報知制御部４８は、生成した報知情報を報知情報記憶領域４１４に格納した後、メンテナンス報知フラグ４２１をクリアする。

（５）コントローラ４０の処理の流れ
図１０は、コントローラ４０の処理の流れの一例を示したフローチャートである。コントローラ４０は、電源を投入されると、以下のような流れで処理を実行する。なお、以下の処理の流れは、あくまでも一例であり、各処理の順序入れ換え、各処理を並列にする並べ替え、又は処理の追加や削除等の変更については、設計仕様や使用環境に応じて適宜可能である。

ステップＳ１０１において、コントローラ４０は、物品Ｐがシールドボックス２１内に搬送されラインセンサ２４の上方位置（照射範囲Ｙ）にあるか否かを判定する。係る判定がＮＯの場合（すなわち、物品Ｐがラインセンサ２４の上方位置（照射範囲Ｙ）にない場合）、ステップＳ１０６へ進む。一方、係る判定がＹＥＳの場合（すなわち、物品Ｐがラインセンサ２４の上方位置（照射範囲Ｙ）にある場合）、ステップＳ１０２へ進む。

ステップＳ１０２において、コントローラ４０は、Ｘ線照射器２３における高圧電源５１によってアノード電極５６及びカソード電極５７に所定の電圧を供給させるとともにフィラメント電源５２によってカソード電極５７に加熱電流を供給させることで、Ｘ線を発生させ物品Ｐに照射させる。その後、ステップＳ１０３へ進む。

ステップＳ１０３において、コントローラ４０は、ラインセンサ２４より出力されるＸ線透視像信号に基づき、Ｘ線画像を生成し、生成したＸ線画像をＬＣＤディスプレイ２５において表示させる。その後、ステップＳ１０４へ進む。

ステップＳ１０４において、コントローラ４０は、生成したＸ線画像に基づき、物品Ｐに異物混入があるか否か、すなわち物品Ｐが不良品であるか否かを判定する。係る判定がＮＯの場合（すなわち、物品Ｐが不良品ではない場合）、ステップＳ１０６へ進む。一方、係る判定がＹＥＳの場合（すなわち、物品Ｐが不良品である場合）、ステップＳ１０５へ進む。

ステップＳ１０５において、コントローラ４０は、所定のタイミング（すなわち、不良品と判定された物品Ｐがアーム３１の動作範囲に到達したと想定されるタイミング）にてアーム駆動部３２に駆動電圧を供給してアーム３１を駆動させることによって、不良品と判定された物品Ｐを不良品回収ボックス９５へ送出させる。その後、ステップＳ１０６へ進む。

ステップＳ１０６において、コントローラ４０は、Ｘ線照射器２３において異常放電が生じているか否かを判定する。係る判定がＮＯの場合（すなわち、Ｘ線照射器２３において異常放電が生じていない場合）、ステップＳ１０１に戻る。一方、係る判定がＹＥＳの場合（すなわち、Ｘ線照射器２３において異常放電が生じている場合）、ステップＳ１０７へ進む。

ステップＳ１０７において、コントローラ４０は、Ｘ線照射器２３において生じた異常放電が、第２異常放電（Ｘ線管球５０外であってタンク５３内における異常放電）であるか否かを判定する。係る判定がＮＯの場合（すなわち、Ｘ線照射器２３において生じた異常放電が第２異常放電でなく第１異常放電である場合）、ステップＳ１０８へ進む。一方、係る判定がＹＥＳの場合（すなわち、Ｘ線照射器２３において生じた異常放電が第２異常放電である場合）、ステップＳ１０９へ進む。

ステップＳ１０８において、コントローラ４０は、第１異常放電の発生頻度がＸ線管球５０の耐用年数の経過を推定可能な程度に大きいか否か、すなわち所定期間Ｐ１における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１以上か否かを判定する。当該判定がＮＯの場合（すなわち、所定期間Ｐ１における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１未満の場合）、コントローラ４０は、生じた異常放電がＸ線管球５０の構造に起因する異常放電であると判断して、ステップＳ１０１に戻る。当該判定がＹＥＳの場合（すなわち、所定期間Ｐ１における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１以上の場合）、コントローラ４０は、生じた異常放電が耐用年数の経過に起因する異常放電であると判断して、ステップＳ１０９へ進む。

ステップＳ１０９において、コントローラ４０は、管理者に対してＸ線管球５０やタンク５３の交換等のメンテナンスを促すべく、報知情報を生成してＬＣＤディスプレイ２５において表示させる。その後、ステップＳ１０１に戻る。

（６）特徴
（６−１）
検査振分装置１００では、コントローラ４０の異常放電判定部４７が、異常放電検出回路５４から出力される信号に基づき、第１異常放電（第１放電）と第２異常放電（第２放電）とを個別に検出している。また、コントローラ４０の報知制御部４８が、第１異常放電又は第２異常放電の検出結果に応じて、報知情報を生成してＬＣＤディスプレイ２５に表示させている。これにより、検査振分装置１００では、検査精度の低下が抑制されており、信頼性に優れている。

すなわち、Ｘ線管球５０内又はタンク５３内において生じる異常放電（検査の障害となりうる放電）には、耐用年数の経過に起因する異常放電と、Ｘ線管球５０の構造に起因する異常放電と、が含まれる。耐用年数の経過に起因する異常放電は、真空度の劣化や絶縁油６１等の絶縁性能の劣化によって、Ｘ線管球５０内、又はＸ線管球５０外であってタンク５３内において生じうる。Ｘ線管球５０の構造に起因する異常放電は、カソード電極５７から放出された電子がアノード電極５６に衝突することなくＸ線管球５０内に留まること等を要因として、Ｘ線管球５０内において生じるものであり、耐用年数の経過との関連性は小さい。

耐用年数の経過に起因する異常放電が生じた場合、係る状態のまま装置が使用されると検査精度の低下を招くことから、管理者に対して報知してＸ線管球５０やタンク５３の交換等のメンテナンスを促すことが望ましい。

この点、従来においては、第１異常放電（Ｘ線管球５０内において異常放電）が生じた場合には異常放電として検出されて管理者に対する報知が行われている一方で、第２異常放電（Ｘ線管球５０外であってタンク５３内における異常放電）が生じた場合における検出及び報知については特に考慮されていなかった。このため、第２異常放電（すなわち、耐用年数の経過に起因する異常放電）が生じている場合であっても、Ｘ線管球５０内において異常放電が生じていない時には、管理者に対する報知が行われていなかった。よって、Ｘ線管球５０等が交換時機に達した場合であっても、管理者に対する報知が精度よく行われないことも想定されるが、係る場合には検査精度が低下するため信頼性に劣ることが懸念されていた。

これに対して、検査振分装置１００では、コントローラ４０が、第１異常放電と第２異常放電とを個別に検出し、検出結果に応じて報知情報を生成してＬＣＤディスプレイ２５に表示させている。すなわち、検査振分装置１００では、Ｘ線管球５０内での異常放電である第１異常放電とＸ線管球５０外であってタンク５３内での異常放電である第２異常放電とが個別に検出され、検出結果に応じて報知が行われるようになっている。その結果、第２異常放電（すなわち、耐用年数の経過に起因する異常放電）が生じた場合に、管理者に対して報知を行うことが可能となっており、Ｘ線管球５０等が交換時機に達した場合であっても管理者に対して報知が精度よく行われない事態が抑制されている。よって、検査精度の低下が抑制されており、信頼性に優れている。

また、検査振分装置１００では、異常放電が生じた場合に、第１異常放電であるか第２異常放電であるかに応じて、報知情報を出力することが可能となっている。すなわち、第２異常放電が生じた場合には直ちに報知を行い、第１放電が生じた場合には直ちに報知を行わずに耐用年数の経過による異常放電であることが特定された時にのみ報知を行うことも可能となっている。つまり、異常放電が生じた場合、Ｘ線管球５０の構造に起因する異常放電である時には報知を行わず、耐用年数の経過による異常放電である時には報知を行うことが可能となっている。よって、必要な場合に限って精度よく報知を行うことが可能となっており、報知の精度に関しても信頼性に優れている。

（６−２）
検査振分装置１００では、コントローラ４０の報知制御部４８は、第２異常放電を検出した場合には、ＬＣＤディスプレイ２５に報知情報を出力させている。これにより、第２異常放電（すなわち、耐用年数の経過に起因する異常放電）が生じた場合には直ちに報知が行われるようになっている。その結果、管理者に対してＸ線管球５０やタンク５３の交換等のメンテナンスを適切に促すことが可能となっており、検査精度の低下が抑制されている。

（６−３）
検査振分装置１００では、コントローラ４０の報知制御部４８は、第１異常放電を検出した場合、所定期間Ｐ１内における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１未満の時にはＬＣＤディスプレイ２５に報知情報を表示させず、所定期間Ｐ１内における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１以上の時にはＬＣＤディスプレイ２５に報知情報を出力させるように、処理を実行している。

これにより、第１異常放電が生じた場合、耐用年数の経過による異常放電であることが特定された時にのみ報知が行われるようになっている。よって、必要な場合に限って精度よく報知が行われるようになっており、管理者に対してＸ線管球５０やタンク５３の交換が適切に促されるようになっている。

（６−４）
検査振分装置１００では、コントローラ４０の異常放電判定部４７が第１電気回路５９及び第２電気回路６０の双方における電圧値の変化に基づき第１異常放電を検出しており、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方における電圧値の変化に基づき第２異常放電を検出している。すなわち、検査振分装置１００では、第１異常放電が生じた場合には第１電気回路５９及び第２電気回路６０の双方において電圧値の変化が生じること、及び第２異常放電が生じた場合には第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方において電圧値の変化が生じることに基づき、異常放電が生じた場合に、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方において電圧値の変化が生じたか、或いは双方において電圧値の変化が生じたかに応じて、第１異常放電と第２異常放電とを区別して検出している。その結果、第１異常放電及び第２異常放電を個別に検出することが高精度に可能となっている。

（６−５）
検査振分装置１００では、Ｘ線照射器２３の動作を制御するコントローラ４０のＸ線照射制御部４３と、Ｘ線照射器２３によって発生され物品Ｐを透過したＸ線（すなわち透過Ｘ線）を検出するラインセンサ２４と、ラインセンサ２４によって検出された透過Ｘ線の強度（Ｘ線透視像信号）に応じてＸ線画像を生成するコントローラ４０のＸ線画像生成部４４と、を備えている。すなわち、検査振分装置１００はＸ線を発生させる「Ｘ線発生装置」として機能するのみならず、Ｘ線の照射結果に基づき特定の検査を行う「Ｘ線検査装置」としても機能している。つまり、検査振分装置１００では、「Ｘ線検査装置」においてＸ線照射器２３の耐用年数の経過によりＸ線管球５０等が交換時機に達した場合に管理者に対して適切に報知を行うことが可能となるとともに、Ｘ線管球５０やタンク５３の交換に関して必要な場合に限って精度よく報知を行うことが可能となっている。

（７）変形例
上記実施形態の検査振分装置１００は、以下の変形例に示すように適宜変形が可能である。なお、各変形例は、矛盾が生じない範囲で他の変形例と組み合わせて適用されてもよい。

（７−１）変形例Ａ
上記実施形態では、検査振分装置１００は、振分ユニット３０を含んでいた。しかし、検査振分装置１００において、振分ユニット３０は必ずしも必要ではなく、適宜省略が可能である。例えば、検査振分装置１００において不良品と判定された物品Ｐを加工ラインから除外する振分装置を、振分ユニット３０に代えて独立に配置してもよい。また、振分ユニット３０が行っている振分処理を人為的に行ってもよい。すなわち、検査振分装置１００は、Ｘ線を発生させる「Ｘ線発生装置」として機能するとともに、Ｘ線の照射結果に基づき特定の検査を行う「Ｘ線検査装置」としても機能するのに必要な要素のみで構成されてもよい。

（７−２）変形例Ｂ
上記実施形態では、検査振分装置１００は、Ｘ線を発生させる「Ｘ線発生装置」として機能するのみならず、Ｘ線の照射結果に基づき特定の検査を行う「Ｘ線検査装置」としても機能していた。しかし、検査振分装置１００は、「Ｘ線発生装置」としてのみ機能するように構成されてもよい。すなわち、検査振分装置１００は、「Ｘ線発生装置」として機能するのに必要な要素のみで構成されて、「Ｘ線検査装置」として機能するのに必要な要素については省略して構成されてもよい。

例えば、上記実施形態では、検査振分装置１００は、コントローラ４０において、Ｘ線照射制御部４３、Ｘ線画像生成部４４、品質判定部４５、及び振分制御部４６を含んでいた。しかし、検査振分装置１００を「Ｘ線発生装置」として構成する場合には、Ｘ線照射制御部４３、Ｘ線画像生成部４４、品質判定部４５、及び振分制御部４６のいずれか／全てについては適宜省略が可能である。係る場合、記憶部４１におけるＸ線透視像信号記憶領域４１２、Ｘ線画像記憶領域４１３、物品検出フラグ４１６、不良品判定フラグ４１７、及び受光信号フラグ４１８のいずれか／全てについても適宜省略が可能である。

（７−３）変形例Ｃ
上記実施形態では、異常放電検出回路５４においてＸＯＲ回路６４が配置されていた。しかし、異常放電検出回路５４は、例えば図１１に示す異常放電検出回路５４´のように構成されてもよい。異常放電検出回路５４´においては、異常放電検出回路５４のＸＯＲ回路６４に代えてＯＲ回路６６が配置されている。

異常放電検出回路５４´においては、ＯＲ回路６６は、第１検出ユニット６２及び第２検出ユニット６３のいずれかからパルスを入力された際（すなわち、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方／双方において電圧値の変化（急降下）が生じた際）に、コントローラ４０に対して信号（ＯＲ信号）を出力する。

係る異常放電検出回路５４´を採用する場合、コントローラ４０の処理を以下のように変更することで上記実施形態と同様の効果を奏する。

すなわち、記憶部４１においてＸＯＲ信号フラグ４１９を「ＯＲ信号フラグ」として機能させるべく、入出力制御部４２がＯＲ信号を入力された際にＯＲ信号フラグ（ＸＯＲ信号フラグ４１９）を立てるように構成する。また、第２異常放電が生じた場合には第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方のみにおいて電圧値の変化（急降下）が生じることに伴い、異常放電判定部４７は、ＯＲ信号フラグが立てられＡＮＤ信号フラグ４２０が立てられない時には、第２異常放電（耐用年数の経過に起因する異常放電）が生じたと判定し、メンテナンス報知フラグ４２１を立てるように構成する。一方で、ＡＮＤ信号フラグ４２０が立てられた時（すなわち第１異常放電が生じた時）における異常放電判定部４７の処理については、上記実施形態と同様に構成すればよい。

コントローラ４０の処理をこのように変更しても、耐用年数の経過に起因する異常放電が生じた場合には、直ちに、報知情報の表示が行われる。また、第１異常放電が生じた場合には、必要な時（すなわち、耐用年数の経過に起因する異常放電と特定された時）に限って報知情報の表示が行われる。

（７−４）変形例Ｄ
上記実施形態では、コントローラ４０の異常放電判定部４７は、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方における電圧値の変化に基づき第２異常放電を検出し、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の双方における電圧値の変化に基づき第１異常放電を検出していた。しかし、これに限定されず、コントローラ４０の異常放電判定部４７は、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方における電流値の変化に基づき第２異常放電を検出し、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の双方における電流値の変化に基づき第１異常放電を検出するように構成してもよい。

なお、係る場合、異常放電検出回路５４を、例えば図１２に示す異常放電検出回路５４ａのように構成すればよい。異常放電検出回路５４ａは、異常放電検出回路５４の第１検出ユニット６２及び第２検出ユニット６３に代えて、第１電気回路５９における電流値の変化（急上昇）に応じてパルスを出力する第１検出ユニット６２ａと、第２電気回路６０における電流値の変化（急上昇）に応じてパルスを出力する第２検出ユニット６３ａと、を有している。第１検出ユニット６２ａ及び第２検出ユニット６３ａは、それぞれ、順に直列接続された電流検出回路５４５と、比較器５４３ａと、パルス発生器５４４ａと、を含んでいる。

電流検出回路５４５は、入力側において、第１電気回路５９又は第２電気回路６０と接続されている。電流検出回路５４５は、出力側において、比較器５４３ａの正側入力端に接続されている。比較器５４３ａは、負側入力端において図示しない基準電源と接続されており、基準電流を供給されている。比較器５４３ａは、出力端においてパルス発生器５４４ａと接続されている。パルス発生器５４４ａは、出力側において、ＸＯＲ回路６４及びＡＮＤ回路６５と接続されている。

第１検出ユニット６２ａ及び第２検出ユニット６３ａにおいて、電流検出回路５４５は、第１電気回路５９又は第２電気回路６０に供給される電流の値（電流値）を検出する。比較器５４３ａは、電流検出回路５４５の検出結果に基づき、第１電気回路５９又は第２電気回路６０に供給される電流値の変化（急上昇）を検出する。パルス発生器５４４ａは、比較器５４３ａの出力に基づき、第１電気回路５９又は第２電気回路６０に供給される電流値の変化（急上昇）が生じた際に、パルスを出力する。

異常放電検出回路５４ａのその他の点は、異常放電検出回路５４と略同一である。

このように、異常放電検出回路５４ａが、第１電気回路５９及び／又は第２電気回路６０における電流値の変化（急上昇）が生じた際にこれを検出して信号を出力するように構成されることで、上記実施形態と同様の効果を奏する。

すなわち、Ｘ線照射器２３において異常放電が生じた際には、Ｘ線照射器２３内の回路（特に、第１電気回路５９及び／又は第２電気回路６０）において電流値の変化（急上昇）が生じる。この際、第１異常放電が生じた場合には、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の双方において電流値の変化（急上昇）が生じる。また、第２異常放電が生じた場合には、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方のみにおいて電流値の変化（急上昇）が生じる。

このことから、第２異常放電が生じた場合には、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の一方のみにおいて電流値の変化（急上昇）が生じることに伴い、ＸＯＲ信号フラグ４１９が立てられ、直ちに、報知情報の表示が行われる。また、第１異常放電が生じた場合には、第１電気回路５９及び第２電気回路６０の双方において電流値の変化（急上昇）が生じることに伴い、ＡＮＤ信号フラグ４２０が立てられ、所定期間Ｐ１における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１以上であるか否かに基づき、必要な時に限って報知情報の表示が行われる。

（７−５）変形例Ｅ
上記実施形態では、異常放電判定部４７は、第１異常放電が生じたと判定した場合（すなわち、ＡＮＤ信号フラグ４２０が立てられた場合）、第１異常放電情報記憶領域４１５に格納されている第１異常放電の検出時刻に基づいて、第１異常放電の発生頻度（所定期間Ｐ１における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１以上であるか否か）を判定していた。

しかし、異常放電判定部４７は、他の方法によって、第１異常放電の発生頻度を判定して、報知を行うか否かを決定するように構成されてもよい。

例えば、異常放電判定部４７が、少なくとも所定期間Ｐ１に相当する時間を計測可能に構成されるとともに、第１異常放電の検出回数に係る情報を保持可能なレジスタを含めて構成されることによって、第１異常放電の発生頻度を判定するようにしてもよい。係る場合、異常放電判定部４７が、第１異常放電が生じたと判定した時（すなわち、第１異常放電の検出時）に時間計測を開始するとともにレジスタに第１異常放電を検出した情報を書き込むように構成されればよい。

そして、異常放電判定部４７が、時間計測を開始してから所定期間Ｐ１が経過するまでに更なる第１異常放電を検出しない場合には、所定期間Ｐ１における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１以上でないと判定し、時間計測を停止するとともにレジスタが保有している情報を消去するように構成されればよい。

一方、異常放電判定部４７が、時間計測を開始してから所定期間Ｐ１が経過するまでに更なる第１異常放電を検出した場合には、レジスタに更なる第１異常放電を検出した情報を書き込むように構成されればよい。そして、異常放電判定部４７が、時間計測を開始してから所定期間Ｐ１が経過するまでにレジスタが保有している情報において第１異常放電の検出回数が第１閾値ΔＴｈ１以上となった時に、所定期間Ｐ１における第１異常放電の発生回数が第１閾値ΔＴｈ１以上である（すなわち、第１異常放電が耐用年数の経過に起因する異常放電が生じている）と判定し、メンテナンス報知フラグ４２１を立てるように構成されればよい。

（７−６）変形例Ｆ
上記実施形態では、所定期間Ｐ１は１６８時間（１週間）に設定され、第１閾値ΔＴｈ１は３（回）に設定されていた。しかし、所定期間Ｐ１及び第１閾値ΔＴｈ１は、設計仕様や使用環境に応じて適宜変更が可能である。例えば、所定期間Ｐ１は、５０時間に設定されてもよいし、２００時間に設定されてもよい。また、例えば、第１閾値ΔＴｈ１は、２（回）に設定されてもよいし、１０（回）に設定されてもよい。

（７−７）変形例Ｇ
上記実施形態では、ＬＣＤディスプレイ２５が、報知情報の「情報出力部」として機能していた。しかし、ＬＣＤディスプレイ２５に代わる他の要素を、報知情報を出力する「情報出力部」として機能させてもよい。例えば、管理者が視認可能な位置に「情報出力部」としてのＬＥＤランプを配置して、ＬＥＤランプを点灯又は点滅させることで、管理者に対するＸ線管球５０又はタンク５３の交換等のメンテナンスを促す報知情報を出力してもよい。または、管理者が認識可能な位置に「情報出力部」としてのスピーカを配置して、警告音を出力させることで管理者に対する報知情報を出力してもよい。

（７−８）変形例Ｈ
上記実施形態では、不良品と判定された物品Ｐは不良品回収ボックス９５に送られた。しかし、これに限定されず、不良品回収ボックス９５に代えて不良品搬送コンベアを配置して、係る不良品搬送コンベアに不良品を送ることで不良品を加工ラインから除外するように構成してもよい。

また、上記実施形態では、振分ユニット３０はアーム３１によって不良品と判定された物品Ｐを加工ラインから除外していた。しかし、振分ユニット３０が不良品と判定された物品Ｐを加工ラインから除外する手段については特に限定されず、物品Ｐに応じて適宜選択すればよい。例えば、アーム３１に代えてエアー噴射機構を配置し、不良品と判定された物品Ｐに対して係るエアー噴射機構からエアーを噴射することで、不良品を加工ラインから除外するように構成してもよい。また、アーム３１を配置するのに代えて、コンベアベルト２２ｄにおいて開閉自在に構成された開口を形成し、不良品と判定された物品Ｐが係る開口上を通過するタイミングにて当該開口を閉状態から開状態に切換え、当該開口を介して不良品を不良品回収ボックス９５へと送るように構成してもよい。

（７−９）変形例Ｉ
上記実施形態において、コントローラ４０は、シールドボックス２１内に配置されていた。しかし、コントローラ４０は、必ずしもシールドボックス２１内に配置される必要はなく、他のユニット内に配置されてもよいし、独立して配置されてもよい。

また、上記実施形態においてコントローラ４０を構成していた各要素（４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７、及び４８）のいずれか／全ては、必ずしも同一位置（同一の基板やケーシング内）に配置される必要はなく、通信ネットワークを介して通信可能な離れた場所に配置されてもよい。

また、記憶部４１に含まれる各記憶領域（４１１、４１２、４１３、４１４、及び４１５）及び各フラグ（４１６、４１７、４１８、４１９、４２０、及び４２１）のいずれか／全てについても、必ずしも同一位置（同一の基板やケーシング内）に配置される必要はなく、通信ネットワークを介して通信可能な離れた場所に配置されてもよい。

また、上記実施形態では、コントローラ４０に含まれる各部（４２、４３、４４、４５、４６、４７、及び４８）は、それぞれの機能を実現するべく、記憶部４１（プログラム記憶領域４１１）に格納されている制御プログラムに沿って処理を実行することを想定して構成されていた。しかし、コントローラ４０に含まれる各部（４２、４３、４４、４５、４６、４７、及び４８）のいずれかに係る処理については、ソフトウェアで実現されるのではなくハードウェアで実現されるように構成されてもよい。

（７−１０）変形例Ｊ
上記実施形態において、検査振分装置１００は、物品Ｐの異物検査を行い、異物混入の有無に応じて物品Ｐが不良品であるか否かを判定していた。しかし、検査振分装置１００が行う検査については必ずしも物品Ｐの異物検査に限られず、検査振分装置１００は他の検査を行うものであってもよい。例えば、検査振分装置１００は、生成したＸ線画像に基づき公知の方法を用いて物品Ｐの重量、形状、又は個数等が正常であるか否かを検査し、検査結果が正常でない物品Ｐについては不良品と判定するように構成されてもよい。

本発明は、Ｘ線発生装置及びＸ線検査装置に利用可能である。

２０ ：Ｘ線検査ユニット
２１ ：シールドボックス
２１ａ ：開口
２３ ：Ｘ線照射器
２４ ：ラインセンサ（Ｘ線検出部）
２４ａ ：Ｘ線検出素子
２４ｂ ：シンチレータ
２５ ：ＬＣＤディスプレイ（情報出力部）
３０ ：振分ユニット
３１ ：アーム
３２ ：アーム駆動部
３３ ：光電センサ
３３ａ ：投光器
３３ｂ ：受光器
４０ ：コントローラ
４１ ：記憶部
４２ ：入出力制御部
４３ ：Ｘ線照射制御部（制御部）
４４ ：Ｘ線画像生成部（画像生成部）
４５ ：品質判定部
４６ ：振分制御部
４７ ：異常放電判定部（異常放電検出部）
４８ ：報知制御部
５０ ：Ｘ線管球
５１ ：高圧電源
５２ ：フィラメント電源
５３ ：タンク
５４、５４´、５４ａ ：異常放電検出回路
５５ ：Ｘ線管本体
５６ ：アノード電極
５７ ：カソード電極
５８ ：Ｘ線照射窓
５９ ：第１電気回路
６０ ：第２電気回路
６１ ：絶縁油
６２、６２ａ ：第１検出ユニット
６３、６３ａ ：第２検出ユニット
６４ ：ＸＯＲ回路
６５ ：ＡＮＤ回路
６６ ：ＯＲ回路
９０ ：上流側コンベア
９１ ：下流側コンベア
９５ ：不良品回収ボックス
１００ ：検査振分装置（Ｘ線発生装置、Ｘ線検査装置）
４１１ ：プログラム記憶領域
４１２ ：Ｘ線透視像信号記憶領域
４１３ ：Ｘ線画像記憶領域
４１４ ：報知情報記憶領域
４１５ ：第１異常放電情報記憶領域
４１６ ：物品検出フラグ
４１７ ：不良品判定フラグ
４１８ ：受光信号フラグ
４１９ ：ＸＯＲ信号フラグ
４２０ ：ＡＮＤ信号フラグ
４２１ ：メンテナンス報知フラグ
５４１ ：電圧検出回路
５４２ ：微分回路
５４３、５４３ａ ：比較器
５４４、５４４ａ ：パルス発生器
５４５ ：電流検出回路
Ｄ ：搬送方向
Ｐ ：物品（検査対象物）
Ｐ１ ：所定期間
ＳＶ ：基準値
Ｙ ：照射範囲
ΔＴｈ１ ：第１閾値

特開２００１−１４５６２５号公報

Claims (5)

1. アノード電極とカソード電極とを含むＸ線管球と、前記Ｘ線管球を収容するとともに絶縁油及び／又は固体絶縁体を封入されるタンクと、を有し、前記アノード電極及び前記カソード電極に所定の電圧を供給されることでＸ線を発生させるＸ線発生装置であって、
   前記Ｘ線管球内での異常放電である第１放電と、前記Ｘ線管球外であって前記タンク内での異常放電である第２放電と、を個別に検出する異常放電検出部と、
   管理者に対して前記Ｘ線管球又は前記タンクの交換を促す報知情報を出力する情報出力部と、
   前記異常放電検出部による検出結果に応じて前記報知情報を前記情報出力部に出力させる報知制御部と、
   を備える、Ｘ線発生装置。
2. 前記報知制御部は、前記異常放電検出部によって前記第２放電が検出された場合には、前記情報出力部に前記報知情報を出力させる、
   請求項１に記載のＸ線発生装置。
3. 前記報知制御部は、前記異常放電検出部によって前記第１放電が検出された場合、所定期間内における前記第１放電の発生回数が第１閾値未満の時には前記情報出力部に前記報知情報を出力させず、前記所定期間内における前記第１放電の発生回数が前記第１閾値以上の時には前記情報出力部に前記報知情報を出力させる、
   請求項１又は２に記載のＸ線発生装置。
4. 前記異常放電検出部は、
   前記アノード電極を含む第１電気回路及び前記カソード電極を含む第２電気回路の双方における電流又は電圧の値の変化に基づき前記第１放電を検出し、
   前記第１電気回路及び前記第２電気回路の一方における電流又は電圧の値の変化に基づき前記第２放電を検出する、
   請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線発生装置。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載のＸ線発生装置と、
   前記Ｘ線発生装置の動作を制御する制御部と、
   前記Ｘ線発生装置によって発生され検査対象物を透過したＸ線である透過Ｘ線を検出するＸ線検出部と、
   前記Ｘ線検出部によって検出された前記透過Ｘ線に応じて画像を生成する画像生成部と、
   を備える、
   Ｘ線検査装置。

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