JP2016514376A - ツールへかつツールから及び選別機内でトレイを移送するためのトレイエンジン及び方法 - Google Patents

ツールへかつツールから及び選別機内でトレイを移送するためのトレイエンジン及び方法 Download PDF

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Abstract

トレイエンジンは、垂直駆動コラムと、垂直駆動コラムを回転させるための回転機構と、垂直駆動コラムに取り付けられたエンドエフェクタとを含む。エンドエフェクタは、垂直駆動コラムに取り付けられたエンドエフェクタベースを含む。エンドエフェクタは、エンドエフェクタベースに取り付けられたスライドを更に含み、存在する時にトレイを支持する。スライドは、トレイがエンドエフェクタベースの長さに沿って摺動することを可能にする。トレイエンジンは、エンドエフェクタベースの長さに沿って移動するためにエンドエフェクタベースに取り付けられた駆動機構を含み、存在する時にトレイが長さに沿って直線的に摺動することを可能にし、かつスライドへ又はそこからトレイをロード又はアンロードする。【選択図】 図５Ａ

Description

トレイは、製作施設においていくつかのデバイス及び材料を搬送するのに使用される。例えば、トレイは、デオキシリボ核酸（ＤＮＡ）サンプル、半導体ウェーハダイ、医薬品、その他を搬送するのに使用される。トレイは、ビルディング内又はビルディングにわたって搬送することができる。
トレイは、時には、搬送中にトレイが落ちるのを保護するためにトレイスタック支持体に置かれる。複数のそのようなトレイスタック支持体が、トレイを搬送するのに使用される。トレイはまた、トレイスタック支持体間で移送される。例えば、トレイスタック支持体は、エンティティＡに送られるように指定することができ、別のトレイスタック支持体は、エンティティＢに送られるように指定することができる。エンティティＡによって提供される仕様書を有するウェーハダイを含むトレイは、トレイスタック支持体からエンティティＡに送られるように指定されたトレイスタック支持体までトレイスタック支持体内で移送されることになる。同様に、エンティティＢのためのウェーハダイを含むトレイは、エンティティＢに向けて指定されたトレイスタック支持体内で移送されることになる。
しかし、トレイを特定のエンティティに向けて指定されたトレイスタックに送るトレイスタック間のトレイのそのような移送は、利用可能でない場合がある。
一部の実施形態において、カセット及びインデクサー間でトレイを移送する選別機が与えられる。選別機は、垂直駆動機構を更に含むトレイエンジンを含む。垂直駆動機構は、モータを使用して回転可能である。垂直駆動機構はまた、エンドエフェクタに接続される。エンドエフェクタは、トレイを把持してカセット及びインデクサー間でトレイを移送するグリップアセンブリを含む。垂直駆動機構が回転し、エンドエフェクタをカセット又はインデクサーに直面するように回転させる。例えば、トレイがインデクサーに対して回収又は送出されることになる時に、エンドエフェクタは、インデクサーに直面するように回転され、トレイがカセットに対して回収又は送出されることになる時に、エンドエフェクタは、カセットに直面するように回転される。グリップアセンブリは、水平方向に直線的に移動してカセット又はインデクサーからトレイを把持し、又はトレイをカセットに又はインデクサーに送出する。
様々な実施形態において、インデクサー及び選別機間又はカセット及び選別機間でトレイを移送する時に、トレイを識別する情報が読み込まれる。情報及び選別機の識別は、望ましいエンティティに送られるように指定されたカセットまでトレイを移送するためのトレイの優先順序付け、特徴付け、及び選別を可能にする。
様々な実施形態において、トレイを移送するための選別機を説明する。選別機は、トレイをロードするか又はカセットからアンロードするためのロードポート側と、トレイをロードするか又はインデクサーからアンロードするためのインデクサー側と、ロードポート側とインデクサー側の間で存在する時にトレイを移送するためのトレイエンジンとを含む。インデクサー側及びロードポート側は、トレイエンジンの両側に位置付けられる。トレイエンジンは、回転機構と、回転機構に取り付けられた垂直駆動コラムと、垂直駆動コラムに取り付けられたエンドエフェクタとを含む。エンドエフェクタは、エンドエフェクタベースと、エンドエフェクタベースに取り付けられたスライドとを含む。エンドエフェクタは、エンドエフェクタベースに結合された直線駆動機構と、直線駆動機構に取り付けられたグリップアセンブリとを更に含む。直線駆動機構は、スライドに沿って水平に移動して水平方向にグリップアセンブリを移動するのに使用される。グリップアセンブリは、水平方向に移動してロードポート側で又はインデクサー側で存在する時に１つ又はそれよりも多くのトレイをロード又はアンロードする。
一部の実施形態において、トレイエンジンを説明する。トレイエンジンは、選別機の一部、ツール、又は機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）である場合がある。トレイエンジンは、垂直駆動コラムと、垂直駆動コラムを回転させるための回転機構と、垂直駆動コラムに取り付けられたエンドエフェクタとを含む。エンドエフェクタは、垂直駆動コラムに取り付けられたエンドエフェクタベースを含む。エンドエフェクタは、存在する時にトレイを支持するためのエンドエフェクタベースに取り付けられたスライドを更に含む。スライドは、トレイがエンドエフェクタベースの長さに沿って摺動することを可能にする。トレイエンジンは、エンドエフェクタベースの長さに沿って移動するためのエンドエフェクタベースに取り付けられた駆動機構を含み、存在する時にトレイが長さに沿って直線的に摺動することを可能にし、かつスライドへ又はそこからトレイをロード又はアンロードする。
トレイを移送するためのエンドエフェクタを説明する。エンドエフェクタは、トレイエンジンの一部である場合がある。エンドエフェクタは、エンドエフェクタベースと、エンドエフェクタベース内に位置付けられたスライドベースと、スライドベースを通じてエンドエフェクタベースに対して摺動可能な直線駆動機構と、存在する時にトレイを支持するためにエンドエフェクタベースに取り付けられたスライドとを含む。直線駆動機構は、スライド上でトレイを移動するように構成される。
他の態様は、添付の図面と共に以下の詳細説明から明らかになるであろう。
本発明の開示に説明する様々な実施形態によるカセット及びインデクサー間でトレイを移送するための選別機の図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による選別機の上面図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態によるカセット及びインデクサー間でトレイを移送するために１つのスライドを有する選別機の図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による複数のカセット及び複数のインデクサー間でトレイを移送するのに使用される選別機の上面図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による製作製造所内でトレイの位置を識別するためのシステムの上面図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態による機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）の様々な側面の等角投影図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態による機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）の様々な側面の等角投影図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態による機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）の様々な側面の等角投影図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による選別機のトレイエンジンの等角投影図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による選別機のトレイエンジンの等角投影図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態によるトレイに関する情報を得るためのカメラ及びセンサの使用を示すＥＦＥＭの一部分の等角投影図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態によるトレイを識別するのに使用されるマークを識別する異なるタイプの情報を示すＥＦＥＭのロードポート側の図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態によるカメラ及びセンサの使用を示すＥＦＥＭの一部分の等角投影図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態によるカメラ及びセンサの使用を示すＥＦＥＭの一部分の等角投影図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態によるＥＦＥＭ及びインデクサー間のトレイの移送を示すＥＦＥＭのインデクサー側の図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態によるＥＦＥＭ及びインデクサー間のトレイの移送を示すＥＦＥＭのインデクサー側の図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態によるＥＦＥＭ及びインデクサー間のトレイの移送を示すＥＦＥＭのインデクサー側の図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態によるＥＦＥＭ及びインデクサー間のトレイの移送を示すＥＦＥＭのインデクサー側の図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態によるＥＦＥＭ及びインデクサー間のトレイの移送を示すＥＦＥＭのインデクサー側の図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態によるＥＦＥＭ及びインデクサー間のトレイの移送を示すＥＦＥＭのインデクサー側の図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態によるＥＦＥＭ及びインデクサー間のトレイの移送を示すＥＦＥＭのインデクサー側の図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態によるＥＦＥＭ及びインデクサー間のトレイの移送を示すＥＦＥＭのインデクサー側の図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部分であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部分であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部分であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部分であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部分であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部分であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部分であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部分であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による図８Ａ〜８Ｈのグリップアセンブリ及びストレージデバイス間のトレイの移送を示す図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による図８Ａ〜８Ｈのグリップアセンブリ及びストレージデバイス間のトレイの移送を示す図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による図８Ａ〜８Ｈのグリップアセンブリ及びストレージデバイス間のトレイの移送を示す図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による図８Ａ〜８Ｈのグリップアセンブリ及びストレージデバイス間のトレイの移送を示す図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による図８Ａ〜８Ｈのグリップアセンブリ及びストレージデバイス間のトレイの移送を示す図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による図８Ａ〜８Ｈのグリップアセンブリ及びストレージデバイス間のトレイの移送を示す図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による図８Ａ〜８Ｈのグリップアセンブリ及びストレージデバイス間のトレイを示す図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による図８Ａ〜８Ｈのグリップアセンブリ及びストレージデバイス間のトレイを示す図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部であるグリップアセンブリの図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態による図１０Ａ〜１０Ｇのグリップアセンブリ及びストレージデバイス間のトレイの移送を示す図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態による図１０Ａ〜１０Ｇのグリップアセンブリ及びストレージデバイス間のトレイの移送を示す図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態による図１０Ａ〜１０Ｇのグリップアセンブリ及びストレージデバイス間のトレイの移送を示す図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態による図１０Ａ〜１０Ｇのグリップアセンブリ及びストレージデバイス間のトレイの移送を示す図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部であるグリップアセンブリの等角投影図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態による選別機内に位置付けられたエンドエフェクタの一部であるグリップアセンブリの等角投影図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態によるグリップアセンブリの等角投影図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態によるグリップアセンブリがトレイを把持した時の図１４Ａのグリップアセンブリの等角投影図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態によるグリップアセンブリがトレイを把持し損なった場合がある位置での図１４Ａのグリップアセンブリの等角投影図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態による図１４Ａのグリップアセンブリの右アームの等角投影図である。 本発明の開示に説明するいくつかの実施形態による図１４Ｄの右アームの等角投影図である。 本発明の開示に説明する様々な実施形態によるグリップアセンブリがトレイを把持するところであるか又はトレイを解放したところである図１４Ａのグリップアセンブリのグリップ本体の実施形態の底面等角投影図である。 本発明の開示に説明する一部の実施形態によるグリップアセンブリがトレイを把持した図１４Ｆのグリップ本体の実施形態の底面等角投影図である。
以下の説明において、多くの特定の詳細が、本発明の開示に説明する様々な実施形態の完全な理解を提供するために説明されている。しかし、本発明の開示に説明する様々な実施形態は、これらの特定の詳細の一部又は全てなしで実施することができることは当業者には明らかであろう。一部の事例では、公知の工程作動は、本発明の開示に説明するいくつかの実施形態を不要に曖昧にしないために特に説明されていない。
様々な実施形態は、カセット及びインデクサー間でトレイを移送すると以下に説明されるが、いくつかの実施形態において、トレイは、ツールからアンロードされるか又はそれにロードすることができ、棚からアンロードされるか又はそれにロードすることができ、箱からアンロードされるか又はそれにロードすることができ、容器からアンロードされるか又はそれにロードすることができ、ロボットからアンロードされるか又はそれにロードすることができ、コンベヤベルトからアンロードされるか又はそれにロードすることができ、搬送車両からアンロードされるか又はそれにロードすることができ、又はその組合せなどとすることができる。
図１は、カセット１０２及びインデクサー１０４間でトレイを移送するための選別機１００の実施形態の図である。カセット１０２は、１つ又はそれよりも多くのトレイ、例えば、トレイＴ、トレイＴ５、その他を支持体の間に保持する。例えば、トレイＴ２は、カセット１０２の支持体ＣＳ２１及びＣＳ２２の間に支持される。
一部の実施形態において、トレイ、例えば、キャリッジなどは、トレイ内の区画内又は１つの単一区画内に半導体ウェーハダイを格納する。様々な実施形態において、トレイは、区画内に発光ダイオード（ＬＥＤ）、医薬品、生物サンプル、デオキシリボ核酸（ＤＮＡ）サンプル、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）、その他を格納する。いくつかの実施形態において、トレイは、ウェーハダイ、ＬＥＤ、医薬品、生物サンプル、ＤＮＡサンプル、ＭＥＭＳ、その他を格納する区画を含まないが、ゲルをトレイ上に使用してウェーハダイ、ＬＥＤ、医薬品、生物サンプル、ＤＮＡサンプル、ＭＥＭＳ、その他を保持する。
様々な実施形態において、カセット１０２は、１つ又はそれよりも多くのスロットを含む。例えば、カセット１０２は、２つのスロットを含み、各スロットは、トレイを支持する支持体の並びを含む。別の例として、カセット１０２は、３つ又はそれよりも多くのスロットを含む。カセット１０２のスロットは、カセット１０２内の壁によってカセット１０２の別のスロットから分離される。
一部の実施形態において、カセット１０２の各支持体は、カセット１０２の側面に沿って延びる。例えば、支持体ＣＳ２１は、カセット１０２の側面に実質的に平行かつ隣接しており、支持体ＣＳ２２は、カセット１０２の反対側に実質的に平行かつ隣接している。この反対側は、支持体ＣＳ２１に隣接している側面に直面する。
一部の実施形態において、２つのデバイスは、２つのデバイス間の角度が−１度と＋１度の間の範囲の時に互いに実質的に平行である。様々な実施形態において、２つのデバイスは、２つのデバイスの間の角度が−２度と＋２度の間の範囲の時に互いに実質的に平行である。
様々な実施形態において、トレイを支持する支持体は、互いに平行に位置付けられる。例えば、支持体ＣＳ２１は、支持体ＣＳ２２に平行である。
いくつかの実施形態において、互いに実質的に平行なカセット１０２の支持体は、カセット１０２内にレベルを形成する。例えば、支持体ＣＳ２１及びＣＳ２２は、レベルを形成する。
いくつかの実施形態において、カセット１０２は、１つ又はそれよりも多くのカバー、例えば、前部カバー、上部カバー、その他を欠いている。カバーは、カセット１０２の内側へのアクセスを提供する。１つ又はそれよりも多くのトレイは、カセット１０２の内側領域内に支持される。様々な実施形態において、カセット１０２は、全ての側面で閉鎖されている閉鎖容器でなく、前側のドアを通じてアクセス可能である。
システム１００は、選別機１０６の棚１０７上に置かれたカセット１０２から１つ又はそれよりも多くのトレイを受け入れる選別機１０６を含む。棚１０７は、選別機１０６のロードポート側に位置付けられる。いくつかの実施形態において、選別機１０６は、カセット１０２から複数のトレイを同時に受け入れる。
選別機１０６は、選別機１０６のベース１１０に固定されたトレイエンジン１０８を含む。一実施形態において、図１Ｂに示すように、トレイエンジン１０８は、軌道に沿って移動可能である。トレイエンジン１０８は、接続機構、例えば、歯車、ベルト、その他を通じて垂直駆動コラム１１４に接続されたシータ（θ）モータ１１２を含む。シータモータ１１２は、角度θだけ垂直駆動コラム１１４を回転させるように作動する。例えば、シータモータ１１２は、ゼロ〜３６０度の角度だけ垂直駆動コラム１１４を回転させる。シータモータ１１２は、回転機構の例である。
いくつかの実施形態において、モータは、ステッパモータ又は連続モータとすることができる。
一部の実施形態において、シータモータ１１２が垂直駆動コラム１１４を１８０度まで回転させる時に、以下で更に説明するエンドエフェクタは、ロードポート側に直面し、シータモータ１１２が垂直駆動コラム１１４を０度まで回転させる時に、エンドエフェクタは、インデクサー側に直面する。
エンドエフェクタ１１６は、選別機１０６内に位置付けられ、かつ垂直駆動コラム１１４に接続される。例えば、エンドエフェクタ１０６は、アタッチメント機構、例えば、スクリュー、ファスナ、その他を通じて垂直駆動コラム１１４に取り付けられる。エンドエフェクタ１１６は、垂直駆動コラム１１４に実質的に直角に固定されたエンドエフェクタベース１１８を含む。例えば、エンドエフェクタ１１８は、アタッチメント機構を通じて垂直駆動コラム１１４に取り付けられ、その例は、上述で与えられている。エンドエフェクタ１１６は、トレイを支持して摺動させる上側スライド１２０を更に含む。エンドエフェクタ１１６はまた、トレイを支持して摺動させる下側スライド１２２を含む。
様々な実施形態において、２つのデバイスは、２つのデバイスの間の角度が８９度と９１度の間の範囲の時に互いに実質的に直角である。いくつかの実施形態において、２つのデバイスは、２つのデバイスの間の角度が８８度と９２度の間の範囲の時に互いに実質的に直角である。
一部の実施形態において、スライド１２０及び１２２は、低摩擦材料、例えば、金属、金属の合金などで作られる。
様々な実施形態において、スライド１２０及び１２２の代わりに、ベルトがトレイに対して支持面として使用される。ベルトをモータによって駆動して、ベルトで支持されたトレイを摺動させる。更に、ベルトの移動は、グリップアセンブリの移動と協働し、これは以下で更に説明する。例えば、ベルトの移動は、トレイの係合及び／又はロックと協働している。係合及びロックは、グリップアセンブリによって実施され、以下で更に説明する。
支持面としてベルトを使用する実施形態において、把持器を使用してカセット１０２又はインデクサー１０４からベルトにトレイを把持する。いくつかの実施形態において、ベルトの上面は把持器に取り付けられる。
スライド１２０及び１２２の両方は、エンドエフェクタベース１１８に実質的に平行に位置付けられる。例えば、スライド１２０及び１２２は、エンドエフェクタベース１１８に対して−１度と１度の間の角度を形成する。各スライド１２０及び１２２の例は、レール、軌道、その他を含む。
一部の実施形態において、内側スライド１２０は、下側スライド１２２の上に垂直に位置付けられる。
スライド１２０及び１２２は、アタッチメント機構を通じてエンドエフェクタベース１１８に取り付けられる。
エンドエフェクタ１１６は、垂直駆動コラム１１４の垂直移動により垂直に上方及び下方に移動する。例えば、垂直駆動モータ（図示せず）は、接続機構を通じて垂直駆動コラム１１４に接続されて接続機構を通じてエンドエフェクタ１１６及び垂直駆動コラム１１４を上方及び下方に駆動する。
一部の実施形態において、スライド１２０及び１２２の両方は、エンドエフェクタベース１１８に沿って２つのトレイを同時に摺動させる。
様々な実施形態において、エンドエフェクタ１１６は、他のあらゆる数のスライドを含み、同時に他のあらゆる数のトレイを摺動させる。例えば、エンドエフェクタ１１６は、３つ又はそれよりも多くのスライドを含み、３つ又はそれよりも多くのトレイを摺動させる。
選別機１０６は、選別機１０６へのアクセスを可能にするドア１２４を含む。ドア１２４は、選別機１０６の側壁Ｗ１に沿って下方に摺動する。ドア１２４は、ベース１１０内に位置付けられるドアモータ（図示せず）及びドア１２４をドアモータに接続する接続機構によって駆動される。
一部の実施形態において、ロードポート側は、側壁Ｗ１及び棚１０７を含む。
様々な実施形態において、選別機１０６はいくつかのドアを含む。例えば、選別機１０６は、側壁Ｗ１に沿って位置付けられる２つ〜６つのドアを含む。
一部の実施形態において、側壁Ｗ１に沿って下方に摺動する代わりに、ドア１２４は、側壁Ｗ１に沿って上方に摺動する。ドア１２４が側壁Ｗ１に沿って下方に摺動する代わりに上方に摺動する実施形態において、１つ又はそれよりも多くのカメラは、ドア１２４の底部に固定される。
カメラＣ１、例えば、デジタルカメラ、画像取込デバイス、Ｚ深度カメラなどは、ドア１２４の上に位置付けられる。カメラＣ１は、アタッチメント機構、例えば、スクリュー、ファスナ、その他を通じてドア１２４に固定される。
様々な実施形態において、いくつかのカメラは、ドア１２４の上に固定される。例えば、２つ又は３つのカメラは、ドア１２４の上に取り付けられる。
一部の実施形態において、画像を取り込むカメラの代わりに、トレイ上に位置付けられる情報、例えば、コード、バーコード、その他を走査するスキャナ、例えば、バーコードスキャナ、その他を使用する。バーコードスキャナの例は、レーザスキャナ、電荷結合素子（ＣＣＤ）読取器、全方向性バーコードスキャナ、カメラベースの読取器、その他を含む。
いくつかの実施形態において、カメラの代わりに、超音波変換器を使用してトレイ又はトレイ蓋を識別する情報の超音波画像を取り込むことができる。
様々な実施形態において、波発生及び取り込みデバイスは、トレイ又はトレイ蓋を識別する情報の波発生及び画像取込のためのカメラの代わりに使用することができる。
様々な実施形態において、画像を取り込むカメラの代わりに、無線周波数（ＲＦ）受信機を使用して、トレイ上にあってトレイを識別するＲＦＩＤタグからＲＦ信号を受信する。ＲＦ信号内の情報は、ＲＦ受信機からコンピュータシステムに移送され、これは、情報の解析のために以下で更に説明する。
いくつかの実施形態において、１つ又はそれよりも多くのカメラに加えて、１つ又はそれよりも多くのセンサを使用して、カセット１０２におけるトレイの有無を感知する。１つ又はそれよりも多くのセンサは、ドア１２４の上に固定される。センサの例は、赤外線センサ、光センサ、空気センサ、空気圧センサ、ビーム遮断センサ、回帰反射光センサ、超音波センサ、その他を含む。
一部の実施形態において、センサ及びカメラに加えて、高さ測定デバイス、例えば、符号器、復号器などは、ドアの上面又は底面に取り付けられ、カセット１０２又はインデクサー１０４内の各トレイの垂直軸に沿って位置、例えば、レベル、その他を測定するのに使用される。
様々な実施形態において、センサ、カメラ、及び／又は高さ測定デバイスは、ドア１２４に取り付けられる代わりに、スライド１２０及び／又は１２２の上面又は底面に取り付けられる。一部の実施形態において、センサ、カメラ、及び／又は高さ測定デバイスは、ドア１２４に取り付けられる代わりに、以下で更に説明するグリップアセンブリに取り付けられる。
いくつかの実施形態において、高さ測定デバイスをセンサと共に使用して、カセット１０２又はインデクサー１０４内にトレイがない場合の位置を決定する。
いくつかの実施形態において、各トレイの又はトレイを含まないレベルの測定した位置を使用して、垂直駆動コラム１１４の高さを調節する。例えば、コンピュータシステムは、各トレイの又はトレイを含まないレベルの測定した位置を符号器又は復号器から受信して垂直駆動モータに信号を送信し、スライド１２０及び１２２の高さを調節してトレイを含むレベルからトレイを受け入れ、又はトレイを含まないレベルにトレイを送出する。
ドア１２４が下方でなくて側壁Ｗ１に沿って上方に摺動する様々な実施形態において、ドア１２４の上に固定される代わりに、１つ又はそれよりも多くのセンサ及び／又は高さ測定デバイスは、ドア１２４の底部に固定される。
選別機１０６は、側壁Ｗ１とは反対方向に位置付けられた側壁Ｗ２を有する。例えば、側壁Ｗ１及びＷ２は、選別機１０６の両側に位置付けられる。側壁Ｗ２は、トレイの通過を可能にするためにスロットＳ１を含む。
いくつかの実施形態において、側壁Ｗ２は、いくつかのスロット、例えば、２つ、３つ、４つ、５つ、その他を含む。各スロットは、ある数、例えば、２つ、３つなどのトレイの通路を可能にする。
インデクサー１０４は、インデクサーコラムの間にいくつかのトレイ、例えば、トレイＴ１、トレイＴ３、及びトレイＴ４、その他を保持する。トレイは、インデクサー１０４のコラムの間で互いの上に積み重なる。
インデクサー１０４内にトレイを積み重ねるインデクサーコラムは、互いに実質的に平行に位置付けられる。
いくつかの実施形態において、インデクサーコラムの代わりに、インデクサー１０４は、支持体ＣＳ１１及びＣＳ１２のものに類似する実質的に平行な支持体を含み、インデクサー１０４内でトレイを支持する。
インデクサー１０４は、インデクサーベース１３０上に位置付けられたインデクサーモジュール１２８を含む。インデクサーモジュール１２８は、接続機構を通じてインデクサーモータによって駆動されて底面１０９を垂直に上方及び下方に移動する底面１０９を有する。インデクサーモジュール１２８の底面１０９に支持されたあらゆるトレイは、底面１０９によって上方及び下方に移動する。
インデクサーベース１３０は、選別機１０６の棚１３２上に置かれる。棚１３２は、インデクサー側に位置付けられ、インデクサー側は、ロードポート側の反対側に位置付けられた側面である。
様々な実施形態において、インデクサー側は、側壁Ｗ２及び棚１３２を含む。
カセット１０２は、棚１０７の上に置かれる。例えば、カセット１０２は、棚１０７の上にユーザによって置かれる。別の例として、カセット１０２は、自動機構、例えば、自動搬送車（ＡＧＶ）、ロボットアーム、その他を通じて棚１０７の上に置かれる。
様々な実施形態において、カセット１０２は、ドア１２４の近くに移動する。例えば、カセット１０２は、ドア１２４から予め設定した距離内にあるように移動する。
ドアモータを作動させて、ドア１２４を開く。ドア１２４が下方へ移動すると、ドア１２４に取り付けられた１つ又はそれよりも多くのセンサは、１つ又はそれよりも多くのセンサがカセット１０２において全てのレベルの支持体を感知するまで、トレイが支持体ＣＳ１１及びＣＳ１２の間に存在するか否かを感知し、次に、トレイが支持体ＣＳ２１及びＣＳ２２の間に存在するか否かを感知する等々である。例えば、１つ又はそれよりも多くのセンサは、支持体ＣＳ１１及びＣＳ１２の間にトレイが存在しないと、支持体ＣＳ２１及びＣＳ２２の間にトレイＴ２が存在すると決定する。支持体ＣＳ１１及びＣＳ１２は、支持体ＣＳ２１及びＣＳ２２の上方のレベルに位置付けられることに注意しなければならない。
センサは、トレイの存在を感知するカセット１０２のレベルを識別するデータをコンピュータシステムに送信する。コンピュータシステムは、１つ又はそれよりも多くのカメラ、例えば、Ｃ１、Ｃ２、その他を制御し、トレイの存在を感知するレベルでトレイを識別する情報の画像を取り込む。
ドア１２４が下方へ移動すると、トレイを含むカセット１０２内のレベルに対して、ドア１２４の上に取り付けられた１つ又はそれよりも多くのカメラＣ１、Ｃ２などは、カセット１０２内でトレイを識別する情報の画像を取り込む。例えば、ドア１２４の上に取り付けられた１つ又はそれよりも多くのカメラは、トレイＴ２上のコードの写真を撮り、次に、トレイＴ５のコードの写真を撮る。この例において、１つ又はそれよりも多くのカメラは、支持体ＣＳ１１及びＣＳ１２の間にトレイが存在しないと、支持体ＣＳ１１及びＣＳ１２の間の空間の画像を取り込まない。
ドア１２４が下方へ移動する代わりに上方へ移動する実施形態において、ドア１２４が上方へ移動すると、ドア１２４の底部にある１つ又はそれよりも多くのセンサは、カセット１０２内のトレイの有無を感知し、ドア１２４の底部にある１つ又はそれよりも多くのカメラは、トレイを支持するレベルに対してトレイに関する情報を撮像する。例えば、１つ又はそれよりも多くのセンサは、トレイＴ５の存在を感知し、次に、トレイＴ２の存在を感知する。別の例として、１つ又はそれよりも多くのカメラは、トレイＴ５に関する情報の写真を撮り、次に、トレイＴ２に関する情報の写真を撮る。
シータモータ１１２が作動させて、角度シータで垂直駆動コラム１１４を回転させ、あるレベルでカセット１０２の支持体に実質的に平行に延びるようにエンドエフェクタ１１６を位置決めする。例えば、シータモータ１１２が作動させて、スライド１２０及び１２２の縁部が側壁Ｗ１に直面するように、垂直駆動コラム１１４を回転させる。別の例として、シータモータ１１２が作動させて、スライド１２０及び１２２が側壁Ｗ１に実質的に垂直であるように垂直駆動コラム１１４を回転させる。
垂直駆動モータが作動され、エンドエフェクタ１１６のレベルを垂直に上方及び下方に調節してカセット１０２から１つ又はそれよりも多くのトレイの獲得を容易にする。例えば、上側スライド１２０のレベルを調節して、トレイＴ２を支持するトレイ支持体ＣＳ２１及びＣＳ２２のレベルを実質的に一致させ、下側スライド１２２のレベルを調節して、カセット１０２の支持体ＣＳ３１及びＣＳ３２のレベルを実質的に一致させる。支持体ＣＳ３１及びＣＳ３２は、トレイ支持体ＣＳ２１及びＣＳ２２つ又はそれ未満のレベルにある。
一部の実施形態において、上側スライド１２０と下側スライド１２２の間の距離は、カセット１０２の１つ又はそれよりも多くのレベルにわたって延びる。例えば、上側スライド１２０と下側スライド１２２の間の距離は、カセット１０２の３つのレベルを跨ぐ。別の例として、上側スライド１２０と下側スライド１２２の間の距離は、カセット１０２の１つのレベルに等しい。
エンドエフェクタ１１６のグリップアセンブリは、スライド１２０及び１２２に沿ってエンドエフェクタ１１６の駆動板の摺動で実質的に水平に延び、カセット１０２内の１つ又はそれよりも多くのトレイの１つ又はそれよりも多くの縁部に近づき、これらを把持する。例えば、エンドエフェクタ１１６のグリップアセンブリは、エンドエフェクタ１１６の上側駆動板が上側スライド１２０に沿って摺動し、トレイＴ２の縁部Ｅ２の把持を容易にする時に水平に延びる。グリップアセンブリ及び駆動板は、以下で更に説明する。
駆動板及びグリップアセンブリが後退して、カセット１０２内のレベルにある支持体からエンドエフェクタ１１６のスライドにトレイを摺動させる。例えば、上側グリップアセンブリが上側スライド１２０のレベルで上側駆動板の後退と共に後退し、支持体ＣＳ２１及びＣＳ２２からトレイＴ２を摺動させて上側スライド１２０のアームの間にトレイＴ２をもたらす。更に、別のトレイが支持体ＣＳ３１及びＣＳ３２の間に存在する時に、下側スライド１２２のレベルにある下側駆動板が後退し、トレイを支持体ＣＳ３１及びＣＳ３２から摺動させて下側スライド１２２のアームの間にトレイをもたらす。
一部の実施形態において、トレイは、カセット１０２から又はインデクサー１０４から取り出され、トレイ内のウェーハダイを処理し、例えば、試験し、組み立て、清浄化などをすることができる。
いくつかの実施形態において、上側及び下側駆動板の両方が同時に後退し、支持体ＣＳ２１及びＣＳ２２、並びに支持体ＣＳ３１及びＣＳ３２のレベルからトレイを回収して上側スライド１２０及び下側スライド１２２のアームの間にトレイをもたらす。
シータモータ１１２が角度シータで回転して、側壁Ｗ１から側壁Ｗ２に向けてエンドエフェクタ１１６を回転させる。エンドエフェクタ１１６が回転して側壁Ｗ２に直面する時に、エンドエフェクタ１１６の縁部は側壁Ｗ２に直面する。垂直駆動モータは、エンドエフェクタ１１６及び垂直駆動コラム１１４を上方及び下方に移動して、スロットＳ１の上縁及び下縁のレベルの間にスライド１２０及び１２２を位置付ける。
インデクサー１０４をスロットＳ１の近くに置いて、スリットＳ１を通じてインデクサー１０４の中へのトレイの配置を容易にする。インデクサーモータはまた、インデクサー１０４を上方及び下方に移動し、トレイをインデクサー１０４内のレベルにしてインデクサー１０４を位置決めし、エンドエフェクタ１１６からの１つ又はそれよりも多くのトレイの受け入れを容易にする。例えば、インデクサー１０４内のトレイのレベルは、インデクサーモータで制御され、別のトレイをトレイレベルの上に置き、又はインデクサー１０４からのレベルでトレイを移動する。
エンドエフェクタ１１６のグリップアセンブリは、スロットＳ１を通じてインデクサー１０４の中に延びて、インデクサー１０４内のレベルでカセット１０２から受け入れられたトレイＴ２を摺動させる。トレイＴ２は、インデクサー１０４内の別のトレイの上に又はインデクサー１０４の底面１０９の上に摺動する。
様々な実施形態において、スライド１２０及び１２２のグリップアセンブリは、スロットＳ１を通じてインデクサー１０４の中に延びて、インデクサー１０４内のトレイの上又はインデクサー１０４の底面１０９の上のインデクサー１０４内の２つのレベルで２つのトレイを同時に摺動させる。
一部の実施形態において、選別機１０６を通じてカセット１０２からインデクサー１０４にトレイを送出する代わりに、トレイは、インデクサー１０４から送出され、選別機１０６を通じてカセット１０２に送る。例えば、上側駆動板の延長により、エンドエフェクタ１１６のグリップアセンブリは、スロットＳ１を通じてインデクサー１０４の中に延び、インデクサー１０４内に位置付けられたトレイを把持する。上側駆動板の後退により、次に、グリップアセンブリが後退し、インデクサー１０４内の別のトレイの上又はインデクサー１０４の底面１０９の上に位置付けることができるトレイをインデクサー１０４から上側スライド１２０のアームまで摺動させる。シータモータが回転して、エンドエフェクタ１１６の縁部が、ドア１２４を開くことによって形成された側壁Ｗ１における開口部に直面することを可能にする。側壁Ｗ１における開口部は、ドア１２４が上方及び下方に移動する時に作り出される。同様に、エンドエフェクタモータがエンドエフェクタ１１６を垂直に上方及び下方に移動し、エンドエフェクタ１１６を位置決めしてカセット１０２へのトレイの送出を容易にする。エンドエフェクタ１１６のグリップアセンブリが側壁Ｗ１において開口部を通って延び、上側スライド１２０のアームからトレイを送出してカセット１０２内のレベルで支持する。
様々な実施形態において、カセット１０２は、トレイを支持する支持体を欠いている。これらの実施形態において、カセット１０２は、カセット１０２内で底部トレイを支持するベースを含み、いずれかの他のトレイは、底部トレイ及びベースで支持される。
図１Ｂは、図１Ａのシステム１００の上面図である。図１Ｂにおいて、２つのスロットＳＯ１及びＳＯ２が見える。スロットＳＯ１及びＳＯ２は、互いに隣接して位置付けられ、共通壁１３８によって互いに分離される。図示のように、支持体ＣＳ１１はカセット壁ＣＷ１に沿って延び、支持体ＣＳ１２は共通壁１３８に沿って延びる。
同様に図示のように、カセット１０２は、カセット１０２内のトレイの選別機１０６にアクセスする前部ドアを欠いている。
センサＳＥ１及びＳＥ２は、ドア１２４の上面１４０に取り付けられる。カメラＣ１及びＣ２も、上面１４０に取り付けられる。センサＳＥ１は、トレイがスロットＳＯ１内に位置付けられたか否かを感知し、センサＳＥ２は、トレイがスロットＳＯ２内に位置付けられたか否かを感知する。
同様に、トレイがスロットＳＯ１内のレベルで存在するとセンサＳＥ１が決定する時に、カメラＣ１は、トレイに関する情報の画像を取り込む。他方、トレイがスロットＳＯ１内のレベルで存在しないとセンサＳＥ１が決定する時に、カメラＣ１はそのレベルでは画像を取り込まない。更に、トレイがスロットＳＯ２内のレベルで存在するとセンサＳＥ２が決定する時に、カメラＣ２はトレイに関する情報の画像を取り込む。他方、トレイがスロットＳＯ２内のレベルで存在しないとセンサＳＥ２が決定する時に、カメラＣ２はそのレベルでは画像を取り込まない。
垂直駆動コラム１１４がレール１４２に沿って移動し、側壁Ｗ１及びＷ２に実質的に平行の方向にレール１４２に沿ってエンドエフェクタ１１６（図１）を移動する。垂直駆動コラム１１４は、コラムモータ（図示せず）によってレール１４２に沿って駆動される。コラムモータは、接続機構を通じてレール１４２に沿って垂直駆動コラム１１４を駆動する。レール１１４に沿った垂直駆動コラム１１４の移動は、エンドエフェクタ１１６が選別機１１６の側壁Ｗ１において複数のドアを開くことによって作り出される開口部を通じてトレイを回収し、また選別機１１６の側壁Ｗ２において複数のスロットを通じてトレイを送出することを可能にする。
エンドエフェクタ１１６は、上側駆動板１４４及び下側駆動板１４６を含む。上側駆動板１４４が上側スライド１２０（図１）に沿って駆動され、上側スライド１２０のアームの間に支持されたトレイを摺動させる。一部の実施形態において、トレイ、並びに駆動板１４４及び１４６は、直線方向に摺動するようにエンドエフェクタベース１１８の長さ「Ｉ」に沿って摺動する。
更に、エンドエフェクタ１１６は、上側駆動板１４４の下に位置付けられた下側駆動板１４６を含む。下側駆動板１４６が底側スライド１２２（図１）に沿って摺動し、下側スライド１２２のアームの間に支持されたトレイを摺動させる。
インデクサー１０４は、インデクサー１０４内で垂直に延びてトレイを積み重ねる複数のインデクサーコラムＩＣ１〜ＩＣ４、例えば、バー、ロッド、その他を含む。
図１Ｃは、カセット１０２とインデクサー１０４の間でトレイを移送するためのシステム１１５の実施形態の図である。システム１１５は選別機１１７を含み、選別機１１７は、選別機１１７がエンドエフェクタ１１６（図１Ａ）の代わりにエンドエフェクタ１１９を含むことを除いて選別機１０６（図１Ａ）に類似している。エンドエフェクタ１１９は、上側スライド１２０を含み、下側スライド１２２（図１Ａ）を欠いている。エンドエフェクタ１１９は、エンドエフェクタ１１６のものと類似の方式で機能する。例えば、上側スライド１２０を使用して、カセット１０２とインデクサー１０４との間でトレイをロード又はアンロードする。
一部の実施形態において、いくつかのトレイを同時に移送するためのいくつかのスライドを使用することができることに注意しなければならない。
図２は、選別機１０６の実施形態の上面図である。４つのカセットＣ１〜Ｃ４は棚１０７の上に置かれ、４つのインデクサーＩ１〜Ｉ４は棚１３２の上に置かれる。各カセットＣ１〜Ｃ４は１つ又はそれよりも多くのトレイを保持し、各インデクサーＩ１〜Ｉ４はまた１つ又はそれよりも多くのトレイを保持する。
いくつかの実施形態において、カセットＣ１〜Ｃ４のうちの１つ又はそれよりも多くはトレイを保持せず、インデクサーＩ１〜Ｉ４のうちの１つ又はそれよりも多くはトレイを保持しない。
垂直駆動コラム１１４（図１Ｂ）は、コラムモータによって駆動され、位置ＰＯ１、位置ＰＯ２、位置ＰＯ３、又は位置ＰＯ４に位置付けられる。位置ＰＯ１は、スロットＳ１に対して水平に位置合わせされ、位置ＰＯ２は、側壁Ｗ２内でスロットＳ２に対して水平に位置合わせされ、位置ＰＯ３は、側壁Ｗ２内でスロットＳ３に対して水平に位置合わせされ、位置ＰＯ４は、側壁４内でスロットＳ４に対して水平に位置合わせされる。
更に、位置ＰＯ１は、側壁Ｗ１において開口部Ｏ１に対して水平に位置合わせされ、位置ＰＯ２は、側壁Ｗ１において開口部Ｏ２に対して水平に位置合わせされ、位置ＰＯ３は、側壁Ｗ１において開口部Ｏ３に対して水平に位置合わせされ、位置ＰＯ４は、側壁Ｗ１において開口部Ｏ４に対して水平に位置合わせされる。開口部Ｏ１〜Ｏ４は、外側厚壁１０６のドアが開く時に作り出される。例えば、開口部Ｏ１は、ドア１２４（図１Ａ）が開く時に形成される。
トレイは、カセットＣ１からインデクサーＩ１〜Ｉ４のいずれかに移送することができる。例えば、垂直駆動コラム１１４（図１Ｂ）を位置ＰＯ１に移動して、トレイをカセットＣ１から回収し、次に、位置ＰＯ１から位置ＰＯ２及びＰＯ３を通じて位置ＰＯ４に移動して、トレイをインデクサーＩ４に送出する。いくつかの実施形態において、トレイは、カセットＣ２からインデクサーＩ１〜Ｉ４のいずれかに移送することができる。例えば、垂直駆動コラム１１４（図１Ｂ）を位置ＰＯ２に移動して、トレイをカセットＣ２から回収し、次に、位置ＰＯ２から位置ＰＯ３を通じて位置ＰＯ４に移動して、トレイをインデクサーＩ４に送出する。一部の実施形態において、トレイは、カセットＣ３からインデクサーＩ１〜Ｉ４のいずれかに移送することができる。いくつかの実施形態において、カセットＣ４からインデクサーＩ１〜Ｉ４のいずれかにトレイを移送することができる。
一部の実施形態において、トレイは、位置ＰＯ１〜ＰＯ４のうちの１つ又はそれよりも多くを使用することによってカセットＣ１から他のカセットＣ２〜Ｃ４のいずれかに移送される。いくつかの実施形態において、トレイは、位置ＰＯ１〜ＰＯ４のうちの１つ又はそれよりも多くを使用することによってカセットＣ２から他のカセットＣ１、Ｃ３、及びＣ４のいずれかに移送される。様々な実施形態において、トレイは、位置ＰＯ１〜ＰＯ４のうちの１つ又はそれよりも多くを使用することによってカセットＣ３から他のカセットＣ１、Ｃ２、及びＣ４のいずれかに移送される。いくつかの実施形態において、トレイは、位置ＰＯ１〜ＰＯ４のうちの１つ又はそれよりも多くを使用することによってカセットＣ４から他のカセットＣ１、Ｃ２、及びＣ３のいずれかに移送される。
同様に、トレイは、インデクサーＩ１〜Ｉ４のいずれかからカセットＣ１〜Ｃ４のいずれかに移送される。例えば、垂直駆動コラム１１４（図１Ｂ）を位置ＰＯ１に移動して、トレイをインデクサーＩ１から回収し、次に、位置ＰＯ１から位置ＰＯ２及びＰＯ３を通じて位置ＰＯ４に移動して、トレイをカセットＣ４に送出する。別の例として、トレイは、インデクサーＩ２からカセットＣ１〜Ｃ４のいずれかに移送される。別の例として、トレイは、インデクサーＩ３からカセットＣ１〜Ｃ４のいずれかに移送される。いくつかの実施形態において、トレイは、インデクサーＩ４からカセットＣ１〜Ｃ４のいずれかに移送される。
様々な実施形態において、トレイは、位置ＰＯ１〜ＰＯ４のうちの１つ又はそれよりも多くを使用することによってインデクサーＩ１から他のインデクサーＩ２〜Ｉ４のいずれかに移送される。様々な実施形態において、トレイは、位置ＰＯ１〜ＰＯ４のうちの１つ又はそれよりも多くを使用することによってインデクサーＩ２から他のインデクサーＩ１、Ｉ３、及びＩ４のいずれかに移送される。様々な実施形態において、トレイは、位置ＰＯ１〜ＰＯ４のうちの１つ又はそれよりも多くを使用することによってインデクサーＩ３から他のインデクサーＩ１、Ｉ２、及びＩ４のいずれかに移送される。いくつかの実施形態において、トレイは、位置ＰＯ１〜ＰＯ４のうちの１つ又はそれよりも多くを使用することによってインデクサーＩ４から他のインデクサーＩ１、Ｉ２、及びＩ３のいずれかに移送される。
図３は、製作製造所（ｆａｂ）１５０内でトレイの位置を識別するためのシステム１４８の実施形態の上面図である。ｆａｂ１５０は、複数の選別機及び複数のツール、例えば、計量ツール、生産ツール、ウェーハを処理するためのツール、医薬品を処理するためのツール、ＤＮＡサンプルを処理するためのツール、発光ダイオードを処理するためのツール、ＭＥＭＳデバイスを処理するためのツール、その他を含む。例えば、ｆａｂ１５０は、ウェーハダイを清浄化するツール、ダイをトレイから回収するツール、ダイをトレイの区画の中に置くツール、発光ダイオードを清浄化するツール、その他を含む。
選別機１０６（図２）のドアに取り付けられたカメラ、例えば、カメラＣ１、Ｃ２（図１Ｂ）などは、画像を取り込み、画像をコンピュータシステム１５２に転送する。コンピュータシステム１５２は、１つ又はそれよりも多くのプロセッサ及び１つ又はそれよりも多くのストレージデバイスを含み、これらはコンピュータ可読媒体である。コンピュータシステム１５２の例は、デスクトップ、ラップトップ、ワークステーション、その他を含む。
本明細書に使用される場合に、プロセッサは、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、プログラマブル論理デバイス（ＰＬＤ）、中央演算処理ユニット（ＣＰＵ）、マイクロプロセッサなどとすることができる。
更に、ストレージデバイスの例は、読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、又はその組合せを含む。例えば、ストレージデバイスは、フラッシュメモリ、冗長ディスクアレイ、ハードディスク、その他を含む。
カセット及び／又はインデクサーは、ｆａｂ１５０の選別機の間で移送される。様々な実施形態において、カセット及び／又はインデクサーは、ｆａｂ１５０のツールの間で移送される。いくつかの実施形態において、カセット及び／又はインデクサーは、ｆａｂ１５０のツールとｆａｂ１５０の選別機の間で移送される。
ｆａｂ１５０内に位置付けられてｆａｂ１５内でトレイを移送するのに使用するカセットの識別は、ストレージデバイスに格納される。例えば、カセットを識別してｆａｂ１５０内のカセットをｆａｂ１５０内の別のカセットと区別するコードは、ストレージデバイスに格納される。
更に、ｆａｂ１５０内に位置付けられてｆａｂ１５内でトレイを移送するのに使用するインデクサーの識別は、ストレージデバイスに格納される。例えば、インデクサーを識別してｆａｂ１５０内のインデクサーをｆａｂ１５０内の別のインデクサーと区別するコードは、ストレージデバイスに格納される。
同様に、ｆａｂ１５０内で使用するトレイを識別する情報は、ストレージデバイスに格納される。例えば、ｆａｂ１５０内でトレイを識別し、そのトレイをｆａｂ１５０内で使用する別のトレイと区別するバーコードは、ストレージデバイスに格納される。
更に、ｆａｂ１５０内に位置付けられ、ｆａｂ１５０内でトレイを移送するのに使用される選別機の識別は、ストレージデバイスに格納される。例えば、選別機を識別し、ｆａｂ１５０内の選別機をｆａｂ１５０内の別の選別機と区別するコードは、ストレージデバイスに格納される。
更に、ｆａｂ１５０内に位置付けられ、ｆａｂ１５内でトレイを処理するのに使用するツールの識別は、ストレージデバイスに格納される。例えば、ツールを識別し、ｆａｂ１５０内のツールをｆａｂ１５０内の別のツールと区別するコードは、ストレージデバイスに格納される。
カセットの識別とｆａｂ１５０内で使用するトレイを識別する情報との間の関係も、ストレージデバイスに格納される。例えば、識別コードａａａａを有するトレイが識別コードｂｂｂｂを有するカセットに格納されることを示す関係は、ストレージデバイスに格納される。
更に、インデクサーの識別とｆａｂ１５０内で使用するトレイを識別する情報との間の関係も、ストレージデバイスに格納される。例えば、識別コードａａａａを有するトレイが識別コードｃｃｃｃを有するインデクサーに格納されることを示す関係は、ストレージデバイスに格納される。
選別機の識別とｆａｂ１５０内で使用するトレイを識別する情報との間の関係も、ストレージデバイスに格納される。例えば、識別コードａａａａを有するトレイが識別コードｄｄｄｄを有する選別機に格納されていることを示す関係は、ストレージデバイスに格納される。
更に、カメラの識別とカメラが位置付けられた選別機のドアを識別する情報との間の関係も、ストレージデバイスに格納される。例えば、識別コードｅｅｅｅを有するカメラが識別コードｆｆｆｆを有する選別機のドアに位置付けられることを示す関係は、ストレージデバイスに格納される。
同じく、読取器の識別と読取器を置くインデクサーを識別する情報との間の関係も、ストレージデバイスに格納される。例えば、識別コードｇｇｇｇを有する読取器が識別コードｈｈｈｈを有するインデクサーに位置付けられることを示す関係は、ストレージデバイスに格納される。読取器の例は、スキャナ、カメラ、その他を含む。読取器は、以下で更に説明する。
トレイがカセットから選別機に移送される時に、選別機のカメラは、トレイを識別する情報の画像を取り込み、画像をコンピュータシステム１５２に送信する。画像が受信された時に、コンピュータシステム１５２のプロセッサは、情報によって識別されたトレイがもはやカセットに格納されておらず、かつカメラが位置付けられた選別機までカセットから移送されたと決定する。
同様に、トレイが選別機からインデクサーに移送される時に、インデクサーの読取器は、トレイを識別する情報を読み取り、情報をコンピュータシステム１５２に送信する。トレイを識別する情報を受信すると、コンピュータシステム１５２のプロセッサは、トレイがインデクサーに格納されたと決定する。
選別機内、インデクサー、ツール内、カセット内などのトレイの位置に関する情報は、ネットワーク１５４を通じてコンピュータシステム１５２から別のコンピュータシステム（図示せず）に送信することができる。ネットワーク１５４の例は、ローカルエリアネットワーク、広域エリアネットワーク、その他を含む。ネットワーク１５４及びコンピュータシステム１５２は、「インターネット」又は「イントラネット」の一部とすることができる。
図４Ａは、機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）１５６のロードポート側の実施形態の等角投影図であり、これは、選別機１０６（図１Ａ）及び選別機１１７（図１Ｃ）の例である。ＥＦＥＭ１５６は、空気がＥＦＥＭ１５６の中に流れ込むことを可能にする空気吸入口１５８を含む。ＥＦＥＭ１５６の中に流れ込む空気を濾過して使用し、トレイから汚染物質を除去し、空気を吹き飛ばし、ＥＦＥＭ１５６から汚染物質を除去する。例えば、空気は、超低粒子状空気（ＵＬＰＡ）フィルタを使用して濾過される。一部の実施形態において、ＥＦＥＭ１５６の中に流れ込む空気を濾過し、ＥＦＥＭ１５６内の空気の汚染物質の可能性を低減、例えば、防止する等々である。
図示のように、ＥＦＥＭ１５６のドアを下げて壁Ｗ１に開口部Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、及びＯ４を形成する。トレイは、対応する開口部Ｏ１〜Ｏ４のうちの１つ又はそれよりも多くを通じてカセットＣ１〜Ｃ４のうちの１つ又はそれよりも多くとＥＦＥＭ１５６の間で移送される。
様々な実施形態において、ＥＦＥＭ１５６は、温度及び／又は湿度制御器を含む。一部の実施形態において、ＥＦＥＭ１５６は、ガス、例えば、アルゴン、ヘリウム、窒素などの具備を含み、ＥＦＥＭ１５６内のダイを保護する。様々な実施形態において、再循環手法を使用してガスを使用することができる。
カセットＣ４は、２つのスロット１５９及び１６０を含み、棚１０７（図１Ａ）の例である棚１６２で支持される。同様に、カセットＣ１〜Ｃ３は、２つのスロットを含み、棚１６２で支持される。
一部の実施形態において、各カセットＣ１〜Ｃ４は、他のあらゆる数のスロット、例えば、１つのスロット、３つのスロット、その他を含む。
ＥＦＥＭ１５６の壁Ｗ３は、壁Ｗ１及び壁Ｗ２に実質的に垂直である（図１Ａ）。
図４Ｂは、ＥＦＥＭ１５６のインデクサー側の実施形態の等角投影図である。インデクサーＩ１〜Ｉ４は、棚１３２の例である棚１６４で支持される（図１Ａ）。
図示のように、トレイは、インデクサーＩ１の上に積み重ねられる。例えば、トレイは、インデクサーモジュールＩＭ１の上に積み重ねられ、インデクサーモジュールＩＭ１は、インデクサーベースＩＢ１の上に位置付けられる。インデクサーＩ１の上のトレイの積み重ねは、インデクサー支持体ＩＳ１１、ＩＳ１２、ＩＳ１３、及びＩＳ１４によって支持され、その積み重ねは図４Ｂでは見えない。例えば、インデクサー支持体ＩＳ１１、ＩＳ１２、ＩＳ１３、及びＩＳ１４は、トレイの積み重ねがインデクサーモジュールＩＭ１から離れて落ちる可能性を低減する。インデクサー支持体ＩＳ１１、ＩＳ１２、ＩＳ１３、及びＩＳ１４は、インデクサー１０４の支持体である。
一部の実施形態において、用語インデクサーコラム及びインデクサーコラムは、本明細書では同義的に使用される。
いくつかの実施形態において、インデクサーは、他のあらゆる数の支持体を含むことができる。例えば、インデクサーＩ１は、３つ、５つ、又は６つの支持体を含み、インデクサーモジュールＩＭ１の上で大量のトレイを支持する。
ビューウインドウ１６６は、ＥＦＥＭ１５６の壁Ｗ４上に位置付けられる。壁Ｗ４は、壁Ｗ３に実質的に平行であり、壁Ｗ１に及び壁Ｗ２に実質的に直角である（図１Ａ）。ビューウインドウ１６６は、棚１６２で支持されたカセットＣ１の図を提供する。
一部の実施形態において、ＥＦＥＭ１５６は、ビューウインドウ１６６を含まない。
図４Ｃは、インデクサー側の棚を除外するＥＦＥＭ１７０の等角投影図である。図示のように、４つのスロットＳ１〜Ｓ４は、ＥＦＥＭ１７０とインデクサーＩ１〜Ｉ４の間にトレイの通路を可能にする（図４Ｂ）。
図５Ａは、トレイエンジン１０８とカセット１０２の間でトレイを移送するためのシステム１７４の実施形態の等角投影図である。垂直駆動アセンブリは、エンドエフェクタベース１１８に固定される。エンドエフェクタ１１６の上部スライダブロック１７６は、エンドエフェクタベース１１８の縁部に摺動可能に取り付けられる。例えば、上部スライダブロック１７６は、エンドエフェクタベース１１８内でスライドベース１８８に対して摺動する。スライドベース１８８の例は、レール、軌道、摺動するためのスロットを有するベース、その他を含む。スライドベース１８８は、エンドエフェクタベース１１８内に位置付けられ、これに取り付けられる。一部の実施形態において、上部スライダブロック１７６は、ローラに取り付けることができ、又はローラ含み、上部スライダブロック１７６がスライドベース１８８上で摺動することを可能にすることができる。
同様に、エンドエフェクタ１１６の底部スライダブロック（図５Ａでは見えない）は、底部スライダブロック（図５Ａでは見えない）を通じてエンドエフェクタベース１１８の反対縁部に摺動可能に取り付けられる。反対縁部は、上部スライダブロック１７６が位置付けられたエンドエフェクタベース１１８の縁部に対向している。一部の実施形態において、底部スライダブロックは、ローラに取り付けることができ、又はローラを含み、スライドベース１８８が位置付けられた側面に対向しているエンドエフェクタベース１１８の側面上に位置付けられたスライドベース上で底部スライダブロックが摺動することを可能にすることができる。
一部の実施形態において、上部スライダブロック１７６及び底部スライダブロックは、直線方向に摺動するようにエンドエフェクタベース１１８の長さに沿って摺動する。
エンドエフェクタ１１６の上部コネクタブロック１７８は、上部スライダブロック１７６の上に固定され、エンドエフェクタ１１６の底部コネクタブロック（図５Ａでは見えない）は、底部スライダブロックの上に取り付けられる。
上側駆動板１４４は、例えば、１つ又はそれよりも多くのスクリュー、その他を通じて上部コネクタブロック１７８の上に取り付けられる。同様に、下側駆動板１４６は、例えば、１つ又はそれよりも多くのスクリュー、その他を通じて底部コネクタブロックの上に取り付けられる。上側駆動板１４４は、下側駆動板１４６の上に位置付けられる。
上部スライダブロック１７６、上部コネクタブロック１７８、及び上側駆動板１４４は、直線駆動機構の例であり、直線方向に摺動する。例えば、上部スライダブロック１７６及びコネクタブロック１７８は、ロードポート側に向けて又はそれから離れて又はインデクサー側に向けて又はそれから離れるように摺動する。
同様に、底部スライダブロック、底部コネクタブロック、及び下側駆動板１４６は、直線駆動機構の例であり、直線方向に摺動する。例えば、底部スライダブロック及び底部コネクタブロックは、ロードポート側に向けて又はそれから離れて又はインデクサー側に向けて又はそれから離れるように摺動する。
一部の実施形態において、２つのブロック、例えば、上部スライダブロック１７６及びコネクタブロック１７８を使用してスライドベース１８８を上側駆動板１４４に接続する代わりに、他のあらゆる数のコネクタブロックを使用する。同様に、２つのブロック、例えば、底部スライダブロック及び底部コネクタブロックを使用して他方のスライドベースを下側駆動板１４６に接続する代わりに、他のあらゆる数のコネクタブロックを使用する。
上側グリップアセンブリ１８０は、上部駆動板１４４に取り付けられ、下側グリップアセンブリ１８２は、底部駆動板に取り付けられる。
一部の実施形態において、上側グリップアセンブリ１８０は、上側スライド１２０と同一平面上にあり、下側グリップアセンブリ１８２は、下側スライド１２２と同一平面上にある。
複数のスライド支持体ＳＳ１、ＳＳ２、ＳＳ３、及びＳＳ４は、エンドエフェクタベース１１８の上に取り付けられる。スライド支持体ＳＳ４は、スライド支持体ＳＳ１、ＳＳ２、及びＳＳ２を取り付けるエンドエフェクタベース１１８の側面に比べてエンドエフェクタベース１１８の反対側に位置付けられる。スライド支持体ＳＳ１〜ＳＳ４は、スライド１２０及び１２２上で動くトレイの移動の直線移動への制約を容易にして、トレイがスライド１２０及び１２２から離れて落ちるのを防止する。
スライド１２０及び１２２は、スライド支持体ＳＳ１、ＳＳ２、ＳＳ３、及びＳＳ４に取り付けられる。スライド支持体ＳＳ１、ＳＳ２、ＳＳ３、及びＳＳ４は、上側スライド１２０のアームＡ１１及びＡ１２の間で摺動し、下側スライド１２２のアームＡ２１及びＡ２２（図５Ｂに示す）の間で摺動するトレイに支持体を提供する。
同様に、エンドエフェクタベース１１８の底部に取り付けられるのは、エンドエフェクタ駆動モータ１８４である。
垂直駆動コラム１１４は、垂直コラム１１４をトレイエンジン１０８のベース（図示せず）に対して上方及び下方に駆動する垂直駆動モータ（図示せず）によって駆動される。垂直駆動コラム１１４の移動におって、エンドエフェクタ１１６は、垂直に上方及び下方に移動する。
トレイが下側スライド１２２のアームＡ２１及びＡ２２の間に支持され、トレイがカセット１０２に移送されることになる時に、下側スライド１２２は、カセット１０２の１対の支持体のレベルで垂直に位置決めされ、その対の支持体は、支持体の間にトレイを欠いている。同様に、トレイが上側スライド１２０のアームＡ１及びＡ２の間に支持され、トレイがカセット１０２に移送されることになる時に、上側スライド１２０は、カセット１０２の１対の支持体のレベルで垂直に位置決めされ、その対は支持体の間にトレイを欠いている。
更に、トレイをカセット１０２から受け入れることになる時に、下側スライド１２２は、カセット１０２の１対の支持体のレベルで垂直に位置決めされ、その対は、支持体の間でトレイを支持する。同様に、トレイをカセット１０２から受け入れることになる時に、上側スライド１２０は、カセット１０２の１対の支持体のレベルで垂直に位置決めされ、その対は、支持体の間でトレイを支持する。
同様に、シータモータ１１２は、垂直駆動コラム１１４と共にエンドエフェクタ１１６を回転させ、アームＡ１１の縁部Ｅ１１及びアームＡ１２の縁部Ｅ１２を位置決めしてスロットＳＯ１に直面し、アームＡ２１の縁部Ｅ２１及びアームＡ２２の縁部Ｅ２２を位置決めしてスロットＳＯ１に直面する。
上部スライダブロック１７６は、エンドエフェクタベース１１８内でスライド機構、例えば、ローラ、ローラボール、その他を通じてスライドベース１８８に沿って摺動し、上側駆動板１４４をスロットＳＯ１に向けて又はそれから離れるように摺動させる。同様に、底部スライダブロックは、エンドエフェクタベース１１８の反対側のスライドベースに沿って摺動し、下側駆動板１４６をスロットＳＯ１に向けて又はそれから離れるように摺動させる。
上側駆動板１４４が、スロットＳＯ１内のレベルに向けて直線的に及び水平に移動する時に、上側グリップアセンブリ１８０も、スロットＳＯ１内のレベルに向けて水平方向に直線的に移動し、スロットＳＯ１内のレベルに向けてアームＡ１１及びＡ１２の間に支持されたトレイを摺動させる。更に、下側駆動板１４６が、スロットＳＯ１内のレベルに向けて直線的に及び水平に移動する時に、下側グリップアセンブリ１８２も、スロットＳＯ１内のレベルに向けて水平方向に直線的に移動し、スロットＳＯ１内のレベルに向けてアームＡ２１及びＡ２２の間に支持されたトレイを摺動させる。
同様に、上側駆動板１４４が、スロットＳＯ１内のレベルから離れて直線的に及び水平に移動する時に、上側グリップアセンブリ１８０も、スロットＳＯ１内のレベルから離れて直線的に及び水平に移動し、スロットＳＯ１内のレベルから離れてアームＡ１１及びＡ１２の間に支持されたトレイを摺動させる。更に、下側駆動板１４６が、スロットＳＯ１内のレベルから離れて直線的に及び水平に移動する時に、下側グリップアセンブリ１８２も、スロットＳＯ１内のレベルから離れて直線的に及び水平に移動し、スロットＳＯ１内のレベルから離れてアームＡ２１及びＡ２２の間に支持されることになるトレイを摺動させる。
一部の実施形態において、トレイが上側スライド１２０に対して摺動する時に、トレイがカセット１０２内の支持体によって支持されるまで、トレイは、支持体ＳＳ１、ＳＳ２、ＳＳ３、及びＳＳ４によって支持される。同様に、トレイが下側スライド１２２に対して摺動する時に、トレイがカセット１０２内の支持体によって支持されるまで、トレイは、支持体ＳＳ１、ＳＳ２、ＳＳ３、及びＳＳ４によって支持される。
上部スライダブロック１７６及び底部スライダブロックは、後退位置Ｐ１にあることに注意しなければならない。
図５Ｂは、カセット１０２内でトレイを挿入するトレイエンジン１０８の使用を示すシステム１９０の実施形態の等角投影図である。図示のように、上部駆動板１４４及び底部駆動板１４６は、後退位置Ｐ１から延長位置Ｐ２に摺動する。板１４４及び１４６が延長位置Ｐ２にある時に、板１４４及び１４６は、板１４４及び１４６が後退位置Ｐ１にある時に比べてアームＡ１１、Ａ１２、Ａ２１、及びＡ２２の縁部Ｅ１１、Ｅ１２、Ｅ２１、及びＥ２２（図５Ａ）により近くなる。
板１４４及び１４６が延長位置Ｐ２にある時に、上側グリップアセンブリ１８０及び下側グリップアセンブリ１８２は、トレイを置くことになり又はトレイを後退させることになるスロットＳＯ１内のレベルに向けて延長される。
ズームインウインドウに示すように、縁部Ｅ１１を先細にし、スライドテーパ１３１を形成してインデクサー１０４からのトレイの受け入れを容易にする。例えば、縁部Ｅ１１をスライドテーパ１３１で湾曲させ、トレイの滑らかな受け入れを可能にする。縁部Ｅ１１を通じてトレイを受け入れる時に、トレイは、上側スライド１２０のスライド面１３３で支持される。
いくつかの実施形態において、他の縁部Ｅ１２、Ｅ２１、及びＥ２２も、縁部Ｅ１１のものと類似の方式で先細にされる。
一部の実施形態において、スライド１２０及び１２２は、側部及び下側保持面に加えて上側保持面を有する。例えば、スライド面１３３及び側部面１３５に加えて、スライド１２０は、トレイの保持と、トレイ及び上面とスライド面１３３の間のトレイ蓋の保持とを容易にする上面を有する。上面は、スライド面１３５に実質的に直角及びスライド面１３３に実質的に平行にすることができる。
図６Ａは、カメラＣ１及びＣ２、並びにセンサＳＥ１及びＳＥ２の使用を示すＥＦＥＭ１５６（図４Ａ）の一部分２０２の実施形態の等角投影図である。その部分２０２は開口部Ｏ４を含む。
図示のように、カメラＣ１、Ｃ２、並びにセンサＳＥ１及びＳＥ２は、アタッチメント機構を通じてドア１２４の上面１４０に取り付けられる。
カセットＣ１がドア１２４に近づく時に、ドア１２４は、ドアモータによって押し下げられて開口部Ｏ４を形成する。開口部Ｏ４の形成と同時に、センサＳＥ１は、トレイがスロットＳＯ１の全てのレベルで存在するか又は存在しないかを感知し、センサＳＥ２は、トレイがスロットＳＯ２の全てのレベルで存在するか又は存在しないかを感知する。
一部の実施形態において、スロットのレベルは、スロットの２つの支持体、例えば、支持体ＳＵ１３１及びＳＵ１３２の水平レベルである。
センサＳＥ２は、トレイがスロットＳＯ２のレベルで感知されたという指標をコンピュータシステム１５２に送信する（図３）。コンピュータシステム１５２は、信号をカメラＣ２に送信して感知されたトレイを撮像する。
トレイ、例えば、トレイＴ１がスロットＳＯ２内のレベルで存在することを示す信号を受信すると、カメラＣ２はトレイを識別する情報を撮像する。カメラＣ２は、格納及び更に別の実行のためにコンピュータシステム１５２に画像を送信する。
図６Ｂは、トレイを識別するのに使用されるマークを識別する異なるタイプの情報を示すロードポート側の実施形態の図である。図示のように、センサＳＥ１は、カセットＣ１内のレベル２でトレイＴ２の有無を感知する。センサＳＥ１がレベル２でトレイＴ２の有無を検地する時に、カメラＣ１は、レベル１でトレイＴ１の側面ＳＳ１１上に識別マークＩＤ１の画像を取り込む。
一部の実施形態において、識別マークは、トレイの上面にトレイの側面の代わりに取り付けられる。様々な実施形態において、識別マークは、トレイの底面にトレイの上又は側面の代わりに取り付けられる。
いくつかの実施形態において、識別マークは、トレイの表面上に刷り込まれる。様々な実施形態において、識別マークは、トレイの表面に取り付けられたタグ上に刷り込まれる。
ドア１２４が垂直に下方へ移動すると、センサＳＥ１は、トレイＴ２の及びトレイＴ３の有無を感知する。更に、ドア１２４が垂直に下方へ移動すると、カメラＣ１は、トレイＴ２の側面に取り付けられた識別マークＩＤ２、及びレベル３でトレイＴ３の側面に取り付けられた識別マークＩＤ３を撮像する。
図示のように、カメラＣ１は、センサＳＥ１に対して傾斜し、センサＳＥ１がレベル２でトレイＴ２の有無を感知する時にカメラＣ１がレベル１で識別マークＩＤ１の画像を取り込むことを可能にする。
様々な実施形態において、カメラＣ１は、センサＳＥ１に対してある角度を形成し、センサＳＥ１が検出するレベルからいくつかのレベルを超えるレベルで画像を取り込む。例えば、カメラＣ１は、センサＳＥ１に対して傾斜し、センサＳＥ１がレベル３でトレイＴ３の有無を感知する時にカメラＣ１がレベル１で識別マークＩＤ１の画像を取り込むことを可能にする。別の例として、カメラＣ２は、センサＳＥ１に対してゼロ〜８９度の角度を形成する。
識別マークＩＤ３は、多くの識別マーク、数字識別マーク、例えば、番号、又はバーコード、例えば、バーコード２１２、又はバーコード及び番号の組合せ、例えば、識別マーク２１４又はＥＺコード、例えば、２次元コード２１６、又は英数字コード、例えば、コード２１８を含む識別マーク２１０とすることができる。他のタイプのバーコードは、「アステカ」シンボル、高容量カラーバーコード、クイックレスポンス（ＱＲ）コード、マキシコード、ショートコード、その他を含む。
図６Ｃは、カメラＣ１及びＣ２、並びにセンサＳＥ１及びＳＥ２の接写を示すＥＦＥＭ１５６（図４Ａ）の一部分２１６の実施形態の等角投影図である。
図６Ｄは、ＥＦＥＭ１５６（図４Ａ）の一部分２２０のロードポート側の実施形態の等角投影図である。カセットＣ１は、トレイを支持する支持体ＳＵ１１を含む。図示のように、カセットＣ１は、開口部Ｏ４の近くに位置決めされ、カセットＣ１からトレイをアンロードするか又はカセットＣ１へのトレイのロードを容易にする。一部の実施形態において、カセットＣ１は、開口部Ｏ４を取り囲むフィルム２２２の定められた距離内に置かれる。フィルム２２２は、可撓性材料、例えば、ポリエチレン、ナイロン、合成材料、熱可塑性物質、熱硬化性ポリマー、これらの組合せなどで作られる。
様々な実施形態において、ＥＦＥＭ１５６は、ＥＦＥＭ１５６のドアを開くことによって形成された開口部においてフィルムを取り除く。
図７Ａは、板１４４及び１４６が後退位置Ｐ１にある時のインデクサー側の一部分２３０の実施形態の上面図である。その部分２３０を使用して、ＥＦＥＭ１５６とインデクサー１０４の間のトレイの移送を示している。インデクサー１０４は、インデクサーベースＩＢ１の上に載っている。
シータモータ１１２（図１Ａ）は、縁部Ｅ１１及びＥ１２がＥＦＥＭ１５６のインデクサー側のスロットＳ１を通じてインデクサー１０４に直面するように、垂直駆動コラム１１４を回転させる。同様に、垂直駆動モータは、垂直駆動コラム１１４を駆動させてスロットＳ１のレベルで縁部Ｅ１１及びＥ１２を位置付ける。駆動板１４４及び１４６は、エンドエフェクタ駆動モータ１８４（図５Ａ）によって駆動され、スライドベース１８８及びスライドベース１８８に対向して位置付けられた別のスライドに沿って上部スライダブロック１７６（図５Ａ）及び底部スライダブロックを摺動させる。上部及び底部スライダブロックは、インデクサー１０４に向けて摺動する。スライド１２０及び１２２は、スロットＳ１を通って延びる。上側グリップアセンブリ１８０は、トレイ蓋Ｌ２で覆われたトレイＴ２を把持する。
駆動板１４４及び１４６が後退位置Ｐ１からインデクサーに向けて移動する時に、トレイＴ２及びトレイ蓋Ｌ２は、駆動板１４４及び１４６が延長位置Ｐ２に到達するまでスロットＳ１を通じてインデクサー１０４に向けて摺動し、これは図７Ｂに示されている。トレイＴ２は、インデクサー１０４において別のトレイの上で摺動することができる。同様に、グリップアセンブリ１８０及び１８２（図５Ａ）は、駆動板１４４及び１４６が後退位置Ｐ１から延長位置Ｐ２に移動する時にスロットＳ１を通過する。
図７Ｂは、板１４４及び１４６が延長位置Ｐ２にある時の部分２３０の実施形態の上面図である。延長位置Ｐ２において、グリップアセンブリ１８０及び１８２（図５Ａ）は、スロットＳ１を通じて延長されてインデクサー１０４に到達している。その板が後退位置Ｐ１から延長位置Ｐ２に到達する時に、トレイＴ１は、上側スライド１２０からインデクサー１０４においてトレイ蓋Ｌ１の上又はインデクサーモジュールＩＭ１のベースの上に置くべきインデクサー１０４まで摺動する。
同様に、一部の実施形態において、トレイＴ２は、インデクサー１０４から回収されてＥＦＥＭ１５６に置かれる。例えば、垂直駆動コラム１１４は、垂直駆動モータによって駆動され、グリップアセンブリ１８０及び１８２（図５Ａ）のレベルを変化させてインデクサー１０４から１つ又は２つのトレイを得る。グリップアセンブリ１８０及び１８２は、インデクサー支持体ＩＳ１１、ＩＳ１２、ＩＳ１３、及びＩＳ１４の間からトレイを把持する。エンドエフェクタ駆動モータ１８４（図５Ａ）は、上部スライダブロック１７６及び底部スライダブロックを駆動し、把持トレイは、スロットＳ１を通じてＥＦＥＭ１５６に向けてインデクサー１０４から摺動し、駆動板１４４及び１４６が延長位置Ｐ２から後退位置Ｐ１に到達するのを容易にする。同様に、グリップアセンブリ１８０及び１８２は、上部スライダブロック１７６及び底部スライダブロックがＥＦＥＭ１５６に向けて摺動する時にスロットＳ１を通じて通る。把持トレイは、インデクサー１０４からスライド１２０及び１２２（図５Ａ）に向けて摺動する。例えば、把持トレイは、スライド１２０及び１２２に向けてインデクサー１０４において別のトレイの上から摺動する。縁部Ｅ１１、Ｅ１２、Ｅ２１、及びＥ２２は、インデクサー１０４からスライド１２０及び１２２の上への把持トレイの受け入れを容易にする。駆動板１４４及び１４６は、延長位置Ｐ２から後退位置Ｐ１に到達する。
図７Ｃは、ＥＦＥＭ１５６（図４Ａ）とインデクサー１０４の間の読取器２４２の使用を示すインデクサー側の一部分２４０の実施形態の等角投影図である。読取器２４２は、コネクタ２４４を通じてインデクサー１０４に取り付けられる。例えば、コネクタ２４４は、インデクサーモジュールＩＭ１に取り付けられ、読取器２４２は、アタッチメント機構を通じてコネクタ２４４に取り付けられる。
トレイをインデクサー１０４とＥＦＥＭ１５６の間で移送する時、例えば、ＥＦＥＭ１５６からアンロードしてインデクサー１０４へ、インデクサー１０４からロードしてＥＦＥＭ１５６へなどの時に、読取器２４２は、トレイを識別する情報を読み取る。読取器２４２は、情報をコンピュータシステム１５２（図３）に情報を送信して、トレイの位置、例えば、トレイがインデクサー１０４にあるか又はＥＦＥＭ１５６にあるかの決定を容易にする。
図示のように、トレイは、スライド１２０及び１２２からインデクサー１０４の中にロードされることになる。
図７Ｄは、ＥＦＥＭ１５６（図４Ａ）とインデクサー１０４の間の読取器２４２の使用を示し、インデクサー１０４の中にトレイをロードするか又はインデクサー１０４からトレイをアンロードする間の駆動板１４４及び１４６の延長位置Ｐ２を示すインデクサー側の一部分２５０の実施形態の等角投影図である。図示のように、上部駆動板１４４は、位置Ｐ２にあり、トレイは、インデクサー１０４の中にロードされる。
一部の実施形態において、上部駆動板１４４が位置Ｐ２にある時に、トレイは、インデクサー１０４から回収されることになる。
図７Ｅは、ＥＦＥＭ１５６（図４Ａ）とインデクサー１０４の間の読取器２４２の使用を示すインデクサー側の一部分２６０の実施形態の平面等角投影図である。
図７Ｆは、ＥＦＥＭ１５６（図４Ａ）とインデクサー１０４の間の読取器２４２の使用を示し、インデクサー１０４の中にトレイをロードするか又はインデクサーからトレイをアンロードする間の駆動板１４４及び１４６の位置を示すインデクサー側の一部分２７０の実施形態の平面等角投影図である。
図７Ｇは、ＥＦＥＭ１５６（図４Ａ）とインデクサー１０４の間の読取器２４２の使用を示し、インデクサー１０４の中にトレイをロードする前の駆動板１４４及び１４６の位置を示すインデクサー側の一部分２８０の実施形態の側面等角投影図である。
図７Ｈは、ＥＦＥＭ１５６（図４Ａ）とインデクサー１０４の間の読取器２４２の使用を示し、インデクサー１０４の中にトレイをロードするか又はインデクサー１０４からトレイをアンロードする間の駆動板１４４及び１４６の位置を示すインデクサー側の一部分２７０の実施形態の側面等角投影図である。
図８Ａは、トレイを把持するところであるか又はトレイを解放したところである時のグリップアセンブリ３００の実施形態の上面図である。グリップアセンブリ３００は、カセット１０２（図１Ａ）とインデクサー１０４（図１Ａ）の間でトレイを把持してトレイを移送するのに使用される。グリップアセンブリ３００は、グリップアセンブリ１８０又はグリップアセンブリ１８２（図５Ａ）の例である。
グリップアセンブリ３００は、ファスナＦ１及びＦ２を通じて駆動板３０２に取り付けられる。駆動板３０２は、上部駆動板１４４又は底部駆動板１４６（図５Ａ）の例である。一部の実施形態において、別の他の数のファスナを使用して、グリップアセンブリ３００を駆動板３０２に取り付ける。
グリップアセンブリ３００は、グリップ本体３０４を含み、その一部分はカバー３０６によって覆われる。例えば、カバー３０６は、１つ又はそれよりも多くのスクリュー、例えば、スクリューＳＣ１、ＳＣ２、ＳＣ３、及びＳＣ４を通じてその部分に取り付けられる。グリップ本体３０４は、ファスナＦ１及びＦ２を通じて駆動板３０２に取り付けられる。
一部の実施形態において、グリップ本体３０４のその部分は、いずれのカバーによっても覆われない。
カバー３０６は、グリップ本体３０４に取り付けられたピストン機構３０８を覆う。ピストン機構３０８は、ピストンハウジング３１０及びピストンハウジング３１０の中と外で摺動するピストン３１２を含み、グリップ本体３０４の長さ「ｌｅ」に沿って移動する。
ピストン３１２は、アーム３１６に接続された捩りコネクタ３１４に取り付けられる。捩りコネクタ３１４は、ピボット機構３１６を通じてグリップ本体３０４に回転可能に取り付けられ、ピボット機構３１６を通じてグリップ本体３０４に対して回転する。例えば、ピボット機構３１６は、グリップ本体３０４に対してピボット回転し、グリップ本体３０４に対して捩りコネクタ３１４を回転させる。
アーム３１６は、複数のピボット機構及びクランプを通じてグリップアセンブリ３００のグリップ口部内に位置付けられたグリップクランプに接続される。ピボット機構、クランプ、グリップクレーム、及びグリップクランプは、以下に説明する。アーム３１６、ピボット機構、クランプ、グリップクランプ、及びグリップ口部を含むグリップ本体３０４の一部分は、グリップ機構３１８を形成する。
捩りコネクタ３１４が位置Ｐｏｓ１にある時に、グリップクランプは、トレイを解放したところであるか又はトレイを把持しょうとする。
ファイバケーブル３２０を使用して、グリップ機構３１８のグリップ口部のジョーの間の空間へのグリップアセンブリ３００内の光源及びセンサによって発生する光、例えば、光ビームなどの案内を容易にする。
ピストンハウジング３１０は、カバー３０６によって覆われ、かつブロックコネクタ３１９に接続される。ブロックコネクタ３１９は、アタッチメント機構を通じてグリップ本体３０４に接続される。
図８Ｂは、グリップアセンブリ３００がトレイを把持する時のグリップアセンブリ３００の実施形態の上面図である。ピストン３１２がピストンハウジング３１０から長さｌｅに沿ってグリップ機構３１８に向けて延びる時に、捩りコネクタ３１４は、グリップ本体３０４に対して回転し、位置ＰＯＳ１（図８Ａ）から位置ＰＯＳ２に捩る。
一部の実施形態において、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ２にある時に、捩りコネクタは、長さｌｅに実質的に直角である。これらの実施形態において、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ１にある時に、捩りコネクタは傾斜し、長さｌｅに対して実質的に直角ではない。
トレイＴ１は、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ２にある時に把持される。
図８Ｃは、グリップアセンブリ３００がトレイを把持し損なう時のグリップアセンブリ３００の実施形態の上面図である。ピストン３１２が長さｌｅに沿ってグリップ機構３１８に向けてピストンハウジング３１０内で延びる時に、捩りコネクタ３１４は、グリップ本体３０４に対してピボット回転し、位置ＰＯＳ２（図８Ｂ）から位置ＰＯＳ３に捩る。
同様に、捩りコネクタ３１４は、位置ＰＯＳ３から位置ＰＯＳ１に変化する。例えば、ピストン３１２は、ピストンハウジング３１０内で後退して、捩りコネクタ３１４の位置を位置ＰＯＳ３から位置ＰＯＳ１に変化させる。
一部の実施形態において、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ３にある時に、捩りコネクタは、傾斜して長さｌｅに対して実質的に直角ではない。
様々な実施形態において、長さｌｅに対して位置ＰＯＳ３において捩りコネクタ３１４によって形成される角度は、位置ＰＯＳ１に形成される角度が、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ３にある時に形成される角度の反対であることを除いて、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ１にある時に形成される角度のものと同じにすることができる。いくつかの実施形態において、長さｌｅに対して位置ＰＯＳ３において捩りコネクタ３１４によって形成される角度は、位置ＰＯＳ１に形成される角度が、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ３にある時に形成される角度の反対であることを除いて、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ１にある時に形成される角度とは異なる場合がある。
トレイＴ１の把持は、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ３にある時に損なわれる。
図８Ｄ−１は、捩りコネクタ３１４がトレイを把持する位置ＰＯＳ１にある時又はトレイの新たな解放後のグリップアセンブリ３００の一部分３５０の実施形態の側面図である。ピストン３１２がピストンハウジング３１０（図８Ａ）からある広がりＥＸ１まで延長される時に、捩りコネクタ３１４は、位置ＰＯＳ１にある。捩りコネクタ３１４は、アーム３１６を通じてピボット機構３５２に取り付けられる。ピボット機構３５２は、クランプ３５４に取り付けられ、クランプ３５４は、別のピボット機構３５６に取り付けられる。ピボット機構の例は、ロッド、バー、円筒体、その他を含む。ピボット機構３５６は、ピボット機構３５２に比べてクランプ３５４の反対端にある。
グリップクランプ３５８は、ピボット機構３５６に取り付けられ、グリップ本体３０４のグリップ口部３６０の中に延びる。一部の実施形態において、グリップクランプ３５８は、本明細書では把持器と呼ぶ。グリップクランプ３５８は、ピボット機構３５６の回転によってグリップ口部３６０内で上方及び下方に移動する。グリップ口部３０４は、グリップ本体３０４の縁部で形成される。
一部の実施形態において、グリップ口部３０４は、Ｃ字形状又はほぼＣ字形状を有する。
ピストン３１２は、ピストンハウジング３１０（図８Ａ）を出入りして水平に摺動し、ＰＯＳ１、ＰＯＳ２、及びＰＯＳ３の間で捩りコネクタ３１４の位置を変化させる。捩りコネクタ３１４がピボット機構３１６を使用してピボット回転する時に、アーム３１６は、移動して出入りし、例えば、延長及び後退するなどし、クランプ３５４の前方及び後方移動によりピストン機構３５６を水平に回転させる。ピストン機構３５６が回転すると、グリップクランプ３５８は垂直に上方及び下方に移動する。
ファイバケーブル３２０は、グリップ口部３６０の２つの対向するジョー３６４及び３６６の間のセンサビーム３６２の形成を容易にする。光源及びセンサが、ファイバケーブル３２０によってビームの中に案内される光をグリップ口部３６０に向けて発生させる時に、センサビーム３６２が発生する。トレイＴ１に取り付けられたトレイフックＨ１は、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ１にある時に、センサビーム３６２を遮断するところか又はセンサビーム３６２を遮断したところである。
様々な実施形態において、グリップアセンブリ３００は、ファイバケーブル３２０、並びに光センサ及び光源を取り除く。
一部の実施形態において、センサビーム３６２がトレイの縁部により、例えば、トレイフックなどによって遮断される時に、グリップ本体３０４内のセンサは、信号をエンドエフェクタ駆動モータ１８４（図５Ａ）内の符号器及び復号器に送信する。符号器及び復号器は、センサビーム３６２を遮断するグリップ機構３１８の水平位置を決定し、停止信号をエンドエフェクタ駆動モータ１８４（図５Ａ）に送信する。停止信号を受信すると、エンドエフェクタ駆動モータ１８４は、駆動板１４４及び１４６（図５Ａ）を通じてグリップアセンブリ３００の駆動を停止する。停止により、グリップクランプ３５８とトレイフックＨ１の係合を容易にする。
一部の実施形態において、エンドエフェクタ駆動モータ１８４は、センサビーム３６２を遮断するまでより速い速度でグリップアセンブリ３００を移動し、センサビーム３６２を遮断した後で移動を遅くし及び／又は停止する。
図８Ｄ−２は、捩りコネクタ３１４がトレイを把持する位置ＰＯＳ１にある時又はトレイの新たな解放後のグリップアセンブリ３００の位置３５０の実施形態の別の側面図である。
図８Ｄ−３は、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ２にある時及びトレイＴ１を把持した時に、グリップアセンブリ３００の位置３５０の実施形態の側面図である。ピストン３１２がピストンハウジング３１０（図３Ａ）からある広がりＥＸ２まで延長された時に、捩りコネクタ３１４は位置ＰＯＳ２にある。一部の実施形態において、広がりＥＸ２は、広がりＥＸ１よりも大きい（図８Ｄ−２）。
捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ２にある時に、グリップクランプ３５８は、トレイフックＨ１とのフック接続部、その他を把持し、例えば、それを形成し、トレイＴ１と係合する。捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ１から位置ＰＯＳ２に水平に移動すると、グリップクランプ３５８は垂直に上方へ移動してトレイフックＨ１を把持する。同様に、センサビーム３６２は、トレイフックＨ１によって遮断される。センサビーム３６２がトレイフックＨ１によって遮断される時に、グリップアセンブリ３００（図８Ａ）内のセンサは、トレイが把持されるところであることを感知する。
一部の実施形態において、ピストン３１２は、広がりＥＸ２から広がりＥＸ１（図８Ｄ−１）まで後退し、グリップクランプ３５８のグリップからトレイを解放する。
トレイフックＨ１がグリップクランプ３５８と係合した後に、エンドエフェクタ駆動モータ１８４が作動され、スライドベース１８８（図５Ａ）に沿って上部スライダブロック１７６及び底部スライダブロックを駆動することによって板１４４及び１４６（図５Ａ）を駆動し、スライド１２０及び１２２に向けてグリップアセンブリ３００を後退させる。トレイＴ１は、板１４４及び１４６が位置Ｐ２（図５Ｂ）から位置Ｐ１（図５Ａ）に摺動すると、カセット１０２又はインデクサー１０４から上側スライド１２０又は下側スライド１２２まで摺動する。
同様に、ピストン３１２が広がりＥＸ２から広がりＥＸ１まで後退すると（図８Ｄ−１）、捩りコネクタ３１４は、位置ＰＯＳ２から位置ＰＯＳ１までピボット機構３１６に対してピボット回転する。捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ２から位置ＰＯＳ１までピボット回転すると、グリップクランプ３５８は、垂直に下方へ移動し、トレイフックＨ１を解放してトレイＴ１を解放する。
図８Ｄ−４は、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ３にある時及びトレイを把持し損なった時のグリップアセンブリ３００の位置３５０の実施形態の側面図である。ピストン３１２がピストンハウジング３１０（図３Ａ）から広がりＥＸ３まで延長された時に、捩りコネクタ３１４は、位置ＰＯＳ３にある。一部の実施形態において、広がりＥＸ３は、広がりＥＸ２よりも大きい（図８Ｄ−３）。
捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ３にある時に、グリップクランプ３５８は、トレイフックを把持し損なってトレイに係合し損なっている。
図８Ｅは、捩りコネクタ３１４が位置ＰＯＳ１にあり、グリップアセンブリ３００がトレイＴ１を解放するところか又は解放されたばかりの時の部分３５０の実施形態の等角投影図である。
図８Ｆは、グリップアセンブリ３００がトレイフックＨ１を通じてトレイＴ１を把持した時のグリップ本体３０４の実施形態の等角底面図である。図示のように、トレイＴ１は、垂直方向にトレイＴ１の縁部３０７からトレイＴ１の底面３０９まで延びるスロット３０５を有する。
図８Ｇは、トレイＴ１を把持している部分３５０の実施形態の等角投影図である。
図８Ｈは、トレイＴ１を把持するところであるか又はトレイＴ１を解放したところである部分３５０の実施形態の別の等角投影図である。
図９Ａは、上側及び下側グリップアセンブリ１８０及び１８２の例として２つのグリップアセンブリ３００を含むトレイエンジン１０８の実施形態の側面図である。グリップアセンブリ１８０及び１８２は、トレイを把持している。図示のように、トレイは、カセット１０２内の交替するレベルで把持される。例えば、トレイは、下側グリップアセンブリ１８２によってレベルＬ１で把持され、別のトレイは、上側グリップアセンブリ１８２によってレベルＬ３で把持される。レベルＬ２は、レベルＬ１及びＬ３の間にある。
同様に、トレイが把持される時に、垂直コラム１１４は、シータモータ１１２によって回転され、グリップアセンブリ１８０及び１８２の縁部１及び２がカセット１０２に直面することを容易にする。
図９Ｂは、カセット１０２からトレイを把持する把持位置でのグリップアセンブリ１８０及び１８２の実施形態の等角投影図である。
図９Ｃは、カセット１０２からのトレイの把持を示すグリップアセンブリ１８０及び１８２の部分の実施形態の側面図である。
図９Ｄは、駆動板１４４及び１４６の後退位置Ｐ１を示すトレイエンジン１０８の実施形態の上面図である。駆動板は、カセット１０２からトレイを把持する前及びカセット１０２からトレイＴ３を把持した後の後退位置Ｐ１にある。
図９Ｅは、駆動板１４４及び１４６の後退位置Ｐ２を示すトレイエンジン１０８の実施形態の上面図である。駆動板は、カセット１０２からトレイＴ１を把持する間延長位置Ｐ２にある。
図９Ｆは、グリップアセンブリ３００（図８Ａ）の一部分の実施形態の等角投影図である。
様々な実施形態において、グリップアセンブリ３００は、トレイを把持するか又は解放するか否かを決定するセンサを含む。
図１０Ａは、トレイを把持するのに使用されるグリップアセンブリ４００の実施形態の側面図である。グリップアセンブリ４００は、グリップアセンブリ１８０又はグリップアセンブリ１８２（図５Ａ）の例である。
一部の実施形態において、グリップアセンブリ４００を使用してカセット１０２（図１Ａ）又はインデクサー１０４（図１Ａ）からスライド１２０及び１２２（図１Ａ）にトレイを回収する。様々な実施形態において、グリップアセンブリ４００を使用してスライド１２０及び１２２からカセット１０２又はインデクサー１０４にトレイを摺動させる。
グリップアセンブリ４００は、ファスナＦ１及びＦ２を通じて駆動板３０２に取り付けられたグリップ本体４０２を含む（図１０Ｅを参照）。
カバー４０４は、アタッチメント機構、例えば、スクリューＳＣ１、ＳＣ２、ＳＣ３、及びＳＣ４、その他を通じてグリップ本体４０２の一部分に取り付けられてグリップ本体４０２の部分を覆う。
一部の実施形態において、カバー４０４は、いくつかのスクリューを通じてグリップ本体４０２の部分に取り付けられる。
様々な実施形態において、グリップ本体４０２の部分は、いずれのカバーによっても覆われていない。
グリップ本体４０２の一部分は、グリップ本体４０２の上面４１２上にスロット４０６を含む。スライドタブ４０８はピストン４１０を備えつけ、ピストン４１０は、グリップ本体４０２の内と外に摺動して表面４１２の上を摺動する。
グリップアセンブリ４００はグリップ機構４１４を含み、グリップ機構４１４はスライドタブ４０６、表面４１２を有するグリップ本体４０２の一部分、及びスロット４０６を含む。
図１０Ｂは、トレイＴ１を把持するところであるグリップアセンブリ４００の実施形態の側面図である。スライダブロック１７６（図５Ａ）がスライドベース１８８（図５Ａ）に沿って摺動すると、駆動板３０２（図１０Ｅ）は、スライダブロック１７６と共に位置Ｐ１（図５Ａ）から位置Ｐ２（図５Ａ）に摺動する。グリップアセンブリ４００は、駆動板３０２と共に摺動してカセット１０２（図１Ａ）又はインデクサー１０４（図１Ａ）内にある可能性があるトレイＴ１に到達する。トレイＴ１は、トレイＴ１のスロット３０５（図８Ｆ）の境界を形成する縁部４１１を有する。グリップアセンブリ４００は、縁部４１１がスロット４０６内に受け入れられるまで摺動する。
スロット４０６は、グリップ本体４０２の２つの水平に延長された部分４０７及び４０９の間に形成される。延長部分４０７は、上面４１２を有する。
図１０Ｃは、トレイＴ１を把持しているグリップアセンブリ４００の実施形態の側面図である。トレイＴ１の底面３０９（図８Ｆ）にあるスロット３０５は、延長部分４０９と接触状態になって延長部分４０９と係合する。延長部分４０９がスロット３０５と係合し、トレイＴ１の縁部４１１をスロット４０６内に受け入れる時に、トレイＴ１は、グリップアセンブリ４００によって把持される。
様々な実施形態において、ファイバケーブル３２０は、グリップアセンブリ３００（図８Ａ）のものと類似の方式でグリップアセンブリ４００内に実施される。更に、センサビーム３６２（図８Ａ）の遮断は、上述したものと類似の方式で決定される。
同様に、一部の実施形態において、エンドエフェクタ駆動モータ１８４（図４Ａ）は、センサビーム３６２を遮断してスロット４０６へのトレイの縁部の受け入れを容易にした後に、センサビーム３６２が遮断されてグリップアセンブリ４００を抑制又は停止するまで、より速い速度で板１４４及び１４６（図５Ａ）を通じてグリップアセンブリ４００を移動する。
一部の実施形態において、用語把持及び係合は、本明細書では同義的に使用される。
図１０Ｄは、スライドタブ４０８がトレイ蓋Ｌ１の上方に延びてグリップ本体４０２でトレイＴ１をロックするグリップアセンブリ４００の実施形態の側面図である。ピストン４１０は、図１０Ａ〜１０Ｃに示す後退位置からグリップ本体４０２の長さ「ｌｅｎ」（図１０Ｅに示す）に沿って延長位置まで延び、スライドタブ４０８の突出部分４１６がトレイ蓋Ｌ１と接触してトレイＴ１をロックすることを可能にする。トレイＴ１は、突出部分４１６がトレイ蓋Ｌ１の上方に延びてグリップ本体４０２でトレイＴ１をロックする時に延長部分４０９と係合することに注意しなければならない。
トレイＴ１がグリップ本体４０２でロックされた後に、エンドエフェクタ駆動モータが作動させ、スライドベース１８８（図５Ａ）に沿って上部スライダブロック１７６及び底部スライダブロックを駆動することによって板１４４及び１４６（図５Ａ）を駆動し、グリップアセンブリ４００をスライド１２０及び１２２（図５Ａ）に向けて後退させる。トレイＴ１は、板１４４及び１４６が位置Ｐ２（図５Ｂ）から位置Ｐ１（図５Ａ）まで摺動すると、カセット１０２又はインデクサー１０４から上側スライド１２０又は下側スライド１２２まで摺動する。
図１０Ｅは、グリップアセンブリ４００の実施形態の上面図である。ピストン４００は、摺動位置でピストンハウジング４４０に接続される。ピストンハウジング４４０は、カバー４０４によって覆われ、ブロックコネクタ４４２に接続される。ブロックコネクタ４４２は、アタッチメント機構を通じてグリップ本体４０２に接続される。図示のように、スライドタブ４０８は、後退位置にある。
図１０Ｆは、グリップ本体４０２の延長部分４０９（図１０Ｂ）がトレイＴ１と係合する時のグリップアセンブリ４００の実施形態の上面図である。図示のように、延長部分４０９がトレイＴ１と係合する時に、ピストン４１０は後退位置にあり、スライドタブ４０８はトレイＴ１をロックしていない。
図１０Ｇは、グリップ本体４０２の延長部分４０９（図１０Ｂ）がトレイＴ１と係合し、スライドタブ４０８がトレイ蓋Ｌ１の上方に延びてトレイＴ１をロックする時のグリップアセンブリ４００の実施形態の上面図である。
図１１Ａは、カセット１０２においてトレイＴ１と係合しこれをロックするためのグリップアセンブリ４００の使用を示すシステム４５０の実施形態の側面図である。図示のように、トレイＴ１の底面３０９は、グリップ本体４０２の上面４１２（図１０Ａ）と接触する。
図１１Ｂは、カセット１０２からトレイを把持する時のグリップアセンブリ４００の実施形態の等角投影図である。
図１１Ｃは、上側及び下側グリップアセンブリ１８０及び１８２（図５Ａ）の例として２つのグリップアセンブリ４００を含むトレイエンジン１０８の実施形態の側面図である。
一部の実施形態において、グリップアセンブリ１８０及び１８２を使用して、カセット１０２及びインデクサー１０４内に位置付けられたトレイからトレイ蓋をアンロードするように、トレイの代わりにトレイ蓋を把持する。これらの実施形態において、グリップアセンブリ１８０及び１８２を使用して、カセット１０２及びインデクサー１０４内に位置付けられたトレイ上にトレイ蓋を置く。
図１１Ｄは、グリップアセンブリ４００の実施形態の等角投影図である。
様々な実施形態において、グリップアセンブリ４００は、トレイを把持するか又は解放するか否かを決定するセンサを含む。
図１２は、トレイに水平アクセスするグリップアセンブリ５００の実施形態の等角投影図である。グリップアセンブリ５００は、上側グリップアセンブリ１８０又は下側グリップアセンブリ１８２（図５Ａ）の例である。グリップアセンブリ５０２は、トレイＴ１の前面５０３に取り付けられる。グリップアセンブリ５００の把持クランプ５０４及び５０６は、グリップコネクタ５０９を通じてグリップベース５０８に取り付けられる。グリップベース５０８、グリップコネクタ５０９、並びに把持クランプ５０４及び５０６は、グリップアセンブリ５００の一部である。グリップベース５０８は、駆動板３０２（図８Ａ）に取り付けられる。
いくつかの実施形態において、把持クランプ５０４及び５０６は、Ｃ字形又はほぼＣ字形である。
一部の実施形態において、グリップコネクタ５０９は、摺動機構、例えば、把持クランプ５０４及び５０６がレールに沿って摺動することを可能にするレール、その他を含む。様々な実施形態において、グリップコネクタ５０９は、ピボット機構を含み、把持クランプ５０４及び５０６は、ピボット機構に対してピボット回転する。
位置Ｐ１（図５Ａ）から位置Ｐ２（図５Ｂ）への駆動板３０２（図８Ａ）の延長により、グリップアセンブリ５００は、駆動板３０２と共に延びる。把持クランプ５０４及び５０６は、グリップコネクタ５０９に対してピボット回転して係合し、例えば、グリップアタッチメント５０２を有するフック接続部を形成するなどしてトレイＴ１を把持する。スライドを使用して把持クランプ５０４及び５０６を摺動させる実施形態において、把持クランプ５０４及び５０６は、コネクタ５０９に沿って摺動してグリップアタッチメント５０２と係合する。
カセット１０２又はインデクサー１０４内の連続レベルで２つのトレイの間のピッチが低い時に、水平に摺動するか又はピボット回転する把持クランプ５０４及び５０６は、低ピッチの使用を容易にすることに注意しなければならない。例えば、把持クランプ５０４及び５０６は、グリップアタッチメント５０２のトレイ蓋Ｌ１のレベルＬＶＬ１と上面５１５のレベルＬＶＬ２との間の空間を使用しない。別の例として、把持クランプ５０４及び５０６は、グリップアタッチメント５０２の底面のレベルＬＶＬ３とトレイＴ１の底部のレベルＬＶＬ４との間の空間を使用しない。
図１３は、トレイに水平アクセスするグリップアセンブリ５５０の実施形態の等角投影図である。グリップアセンブリ５５０は、上側グリップアセンブリ１８０及び下側グリップアセンブリ１８２の例である（図５Ａ）。グリップアタッチメント５５２及び５５４は、トレイＴ１の前面５０３に取り付けられる。グリップアセンブリ５５０の把持クランプ５５６及び５５８は、グリップコネクタ５６０を通じてグリップベース５０８に取り付けられる。グリップベース５０８、グリップコネクタ５６０、並びに把持クランプ５５６及び５５８は、グリップアセンブリ５５０の一部である。グリップベース５０８は、駆動板３０２（図８Ａ）に取り付けられる。
一部の実施形態において、グリップコネクタ５６０は、把持クランプ５５６及び５５８がレールに沿って摺動することを可能にする摺動機構、例えば、レール、その他を含む。様々な実施形態において、グリップコネクタ５６０は、ピボット機構を含み、把持クランプ５５６及び５５８は、ピボット機構に対してピボット回転する。
いくつかの実施形態において、把持クランプ５５６及び５５８は、Ｃ字形又はほぼＣ字形である。様々な実施形態において、グリップアタッチメント５５２及び５５４は、Ｌ字形又はほぼＬ字形である。
位置Ｐ１から位置Ｐ２への駆動板３０２の延長により、グリップアセンブリ５５０は、駆動板３０２と共に延びる。把持クランプ５５６及び５５８は、グリップコネクタ５６０に対してピボット回転して係合し、例えば、対応するグリップアタッチメント５５２及び５５４を有するフック接続部を形成するなどしてトレイＴ１を把持する。スライドを使用して把持クランプ５５６及び５５８を摺動させる実施形態において、把持クランプ５５６及び５５８は、コネクタ５６０に沿って摺動してグリップアタッチメント５５２及び５５４と係合する。
把持クランプ５５２及び５５４は、把持クランプ５０４及び５０６（図１２）のものと同じ利点を提供することに注意しなければならない。
図１４Ａは、グリップアセンブリ６００の実施形態の等角投影図である。グリップアセンブリ６００は、アタッチメント機構を通じて駆動板６０３に固定される。グリップアセンブリ６００は、アタッチメント機構を通じて駆動板６０３に取り付けられたグリップ本体６０２を含む。駆動板６０３は、上部駆動板１４４又は底部駆動板１４６の例である（図５Ａ）。
グリップアセンブリ６００のカバー６０４は、グリップ本体６０２の一部分を覆う。例えば、カバー６０４は、ピストン機構６０６を覆う。ピストン機構６０６は、ピストンハウジング６１０とピストンハウジング６１０内で摺動可能なピストン６１０とを含む。
ピストンハウジング６１０は、ブロックコネクタ６１２を通じてグリップ本体６０２に取り付けられる。ブロックコネクタ６１２は、アタッチメント機構を通じてグリップ本体６０２に取り付けられる。
ピストン６１０は、ピストン「Ｐｏｓｔ１」にあるスライダ６１４に固定的に取り付けられる。スライダ１６４は、ピストン６１０が後退する時にピストンＰｏｓｔ１に後退する。
スライダ６１４は、平行移動機構Ｔ１を通じて左アーム６１６に取り付けられ、平行移動機構Ｔ２を通じて右アーム６１８に取り付けられる。一部の実施形態において、アーム６１６及び６１８は、本明細書では把持器と呼ぶ。平行移動機構Ｔ１は、スライダ６１４の貫通孔Ｈ１内を平行移動し、平行移動機構Ｔ２は、スライダ６１４の貫通孔Ｈ２内を平行移動する。図示のように、各平行移動機構Ｔ１及びＴ２は、スライダ６１４の端部Ｅｎ１にある。
左アーム６１６の一部分は、スライドブロック６２０内にあり、右アーム６１８の一部分は、スライドブロック６２２内にある。左延長部６２４は、図１４Ｆの下に示す左アーム６１６及び右延長部６２６の内面から延び、右アーム６１８の内面から延びる。
図示のように、左延長部６２４は、左アーム６１６の一部であり、右延長部６２６は、右アーム６１８の一部である。様々な実施形態において、対応するアーム６１６及び６１８に一体的である代わりに、左延長部６２４は、左アーム６１６に取り付けられ、右延長部６２６は、右アーム６１８に取り付けられる。
グリップ本体６０２、スライダ６１４、平行移動機構Ｔ１及びＴ２、スライドブロック６２０及び６２２、アーム６１６及び６１８、並びに延長部６２４及び６２６の一部分は、グリップアセンブリ６００の一部分であるグリップ機構６３０の一部である。
グリップアセンブリ６００によって把持されるところであるか又はグリップアセンブリ６００によって解放されたところであるトレイＴｒ１は、貫通孔Ｔｈ１及びＴｈ２を含む。貫通孔Ｔｈ１及びＴｈ２は、トレイＴｒ１の反対縁部に位置付けられる。
図１４Ｂは、グリップアセンブリ６００がトレイＴｒ１を把持した時のグリップアセンブリ６００の実施形態の等角投影図である。位置６１０がピストンハウジング６０８から延びて後退位置にない時に、平行移動機構Ｔ１は、貫通孔Ｈ１内で端部Ｅｎ１からスライダ６１４の反対縁部Ｅｎ２に近い位置まで平行移動し、平行移動機構Ｔ２は、貫通孔１２内で端部Ｅｎ１からスライダ６１４の反対縁部Ｅｎ２に近い位置に平行移動する。
スライダ６１４の端部Ｅｎ１から反対縁部Ｅｎ２により近い位置への対応する貫通孔Ｈ１及びＨ２内の平行移動機構Ｔ１及びＴ２の平行移動が、アーム６１６及び６１８を収縮させ、トレイＴｒ１の対応する貫通孔Ｔｈ１及びＴｈ２（図１４Ａ）内の延長部６２４及び６２６（図１４Ａ及び１４Ｆ）を延ばす。アーム６１６及び６１８が互いに向けて収縮して水平方向に移動すると、アーム６１６及び６１８は、対応するスライドブロック６２０及び６２２内で摺動する。
延長部６２４及び６２６がトレイＴｒ１の対応する貫通孔Ｔｈ１及びＴｈ２を通って延びる時に、トリップＴｒ１は、グリップアセンブリ６００によって把持される。
同様に、反対の運動において、ピストン６１０は、ピストンハウジング６０８の中に後退する。ピストン６１０がピストンハウジング６０８の中に後退する時に、スライダ６１４は、位置Ｐｏｓｔ２から位置Ｐｏｓｔ１に後退する。スライダ６１４が位置Ｐｏｓｔ２から位置Ｐｏｓｔ１に後退すると、平行移動機構Ｔ１及びＴ２は、スライダ６１４の端部Ｅｎ２から反対縁部Ｅｎ１に向けて対応する貫通孔Ｈ１及びＨ２内で摺動する。
平行移動機構Ｔ１及びＴ２が、端部Ｅｎ１に向けて対応する貫通孔Ｈ１及びＨ２内で摺動すると、アーム６１６及び６１８は、水平方向に外向きに延び、対応する貫通孔Ｔｈ１及びＴｈ２の外側で延長部６２４及び６２６を延ばしてグリップアセンブリ６００のグリップからトレイＴｒ１を解放する。アーム６１６及び６１８が互いに離れて外向きに延びると、アーム６１６及び６１８は、スライドブロック６２０及び６２２内で摺動する。
グリップアセンブリ６００が、トレイＴｒ１に向けて及びそれから離れてアーム６１６及び６１８の水平移動を使用することによってトレイＴｒ１を把持することに注意しなければならない。トレイを把持するアーム６１６及び６１８の水平移動は、トレイを把持するグリップアセンブリのアームの垂直移動に比べて、カセット１０２又はインデクサー１０４のレベルの間のより低いピッチを容易にすることができる。
図１４Ｃは、位置Ｐｏｓｔ３におけるグリップアセンブリ６００の実施形態の等角投影図である。ピストン６１０がピストンハウジング６０８から更に延び、スライダ６１４を位置Ｐｏｓｔ２から位置Ｐｏｓｔ３まで延ばす。スライダ６１４が平行移動し、例えば、位置Ｐｏｓｔ２からＰｏｓｔ３までグリップ本体６０２上で摺動すると、平行移動機構Ｔ１及びＴ２は、端部Ｅｎ２まで移動する。一部の実施形態において、端部Ｅｎ２への移動は、トレイＴｒ１の把持し損ないを示す場合がある。
図１４Ｄは、グリップアセンブリ６００の右アーム６１８の実施形態の等角投影図である。右アーム６１８は、トレイＴｒ１を把持するところであるか又はトレイＴｒ１を解放したところである。
図１４Ｅは、グリップアセンブリ６００の右アーム６１８の実施形態の等角投影図である。右アーム６１８は、トレイＴｒ１を把持するところであるか又はトレイＴｒ１を解放したところである。図示のように、右延長部６２６は、貫通孔Ｔｈ２内で延びるところであるか又は貫通孔Ｔｈ２から後退したところである。
図１４Ｆは、グリップ本体６０２、並びにアーム６１６及び６１８の実施形態の底面等角投影図である。図示のように、グリップ本体６０２は、トレイＴｒ１がカセット１０２又はインデクサー１０４（図１）から選別機１０６（図１）まで又は選別機１０６からカセット１０２又はインデクサー１０４まで摺動する時にトレイＴｒ１を支持するグリップタブ６４０を含む。アーム６１６及び６１８は、トレイＴｒ１を把持するところであるか又はトレイＴｒ１を解放したところである。
図１４Ｇは、グリップ本体６０２、並びにアーム６１６及び６１８の実施形態の底面等角投影図である。アーム６１６及び６１８は、右延長部６２６が貫通孔Ｔｈ２を通って延び、左延長部６２４が貫通孔Ｔｈ１を通って延びる時にトレイＴｒ１を把持する。
上述のいくつかの実施形態は、トレイ蓋で覆われたトレイを説明するが、一部の実施形態において、トレイは、トレイ蓋なしに使用される。例えば、トレイは、トレイ蓋で覆われていない。
上述のいくつかの実施形態は、選別機１０６（図１Ａ）又はＥＦＥＭ１５６内にトレイエンジン１０２を含むが、一部の実施形態において、トレイエンジン１０２は、図３を参照して説明するツール内に位置付けられることに注意しなければならない。
更に、様々な実施形態において、トレイを識別する情報を使用する代わりに、トレイ蓋を識別する情報を使用することができる。例えば、トレイ蓋は、トレイを識別するタグ又は印を有し、タグは、カメラによって取り込まれるか又はＲＦＩＤ読取器によって読み取られる。様々な実施形態において、トレイ及びトレイ蓋の両方は、トレイ及びトレイ蓋を識別するタグを有し、タグに関する情報は、カメラで又はＲＦＩＤ読取器で取り込まれる。
同じく、一部の実施形態において、選別機１０６は、トレイ及び／又はトレイ蓋がカセット１０２とインデクサー１０４の間で移送される時にトレイ及び／又はトレイ蓋をバッファに入れるストレージデバイスを有する。
本発明の開示は、いくつかの実施形態に関するものであるが、上述の明細書を読み、図面を調査すると、代替、追加、置換、及びその均等物が認識されることは当業者によって認められるであろう。従って、本発明の開示は、全てのそのような代替、追加、置換、及び均等物を本発明の精神及び範囲に該当するものとして含むことを意図している。
１０８ トレイエンジン
１１４ 垂直駆動コラム
１１６ エンドエフェクタ
１７４ トレイを移送するためのシステム
Ｐ１ 後退位置

Claims (23)

  1. 垂直駆動コラムと、
    前記垂直駆動コラムを回転させるための回転機構と、
    前記垂直駆動コラムに取り付けられ、
    前記垂直駆動コラムに取り付けられたエンドエフェクタベース、
    存在する時にトレイを支持し、かつ該トレイが前記エンドエフェクタベースの長さに沿って摺動することを可能にするように該エンドエフェクタベースに取り付けられたスライド、及び
    前記エンドエフェクタベースの前記長さに沿って移動するために該エンドエフェクタベースに取り付けられ、存在する時に前記トレイが該長さに沿って直線的に摺動することを可能にし、かつ前記スライドへ又はそこから該トレイをロード又はアンロードする駆動機構、
    を含むエンドエフェクタと、
    を含むことを特徴とするトレイエンジン。
  2. 前記回転機構は、３６０度運動で前記垂直駆動コラムを回転させるモータを含むことを特徴とする請求項１に記載のトレイエンジン。
  3. 前記エンドエフェクタベースに取り付けられ、前記トレイが前記スライドに沿って摺動する時に該トレイを支持するための複数のスライド支持体を更に含むことを特徴とする請求項１に記載のトレイエンジン。
  4. 前記スライドは、前記トレイを支持するためのレールを含むことを特徴とする請求項１に記載のトレイエンジン。
  5. 前記駆動機構は、前記エンドエフェクタベースに摺動可能に取り付けられたコネクタブロックと、該コネクタブロックに対して固定されたスライダブロックと、該スライダブロックに対して固定された駆動板とを含むことを特徴とする請求項１に記載のトレイエンジン。
  6. 前記駆動板に取り付けられたグリップアセンブリを更に含むことを特徴とする請求項５に記載のトレイエンジン。
  7. 前記グリップアセンブリは、
    前記駆動板に取り付けられたグリップ本体と、
    前記グリップ本体に取り付けられ、該グリップ本体の長さに沿って移動するためのピストン機構と、
    前記ピストン機構に取り付けられ、該ピストン機構が前記グリップ本体の前記長さに沿って移動する時にピボット回転するための捩りコネクタと、
    前記捩りコネクタに取り付けられたアームと、
    ピボット機構を通じて前記アームに取り付けられたクランプと、
    ピボット機構を通じて前記クランプに取り付けられたグリップクランプであって、前記ピストン機構が、前記グリップ本体に対して前記捩りコネクタをピボット回転させるためのものであり、前記アームが、該捩りコネクタの該ピボット回転と共に延長及び後退するためのものであり、該クランプが、該アームの該延長及び後退と共に前方及び後方に移動するためのものであり、該グリップクランプが、該クランプの前方及び後方移動と共に上方及び下方に移動するためのものである前記グリップクランプと、
    を含む、
    ことを特徴とする請求項６に記載のトレイエンジン。
  8. 前記グリップアセンブリは、
    グリップ口部と、
    光源から光を受け入れ、かつ該光を案内して前記グリップ口部内にセンサビームを形成する光ファイバケーブルと、
    を含む、
    ことを特徴とする請求項６に記載のトレイエンジン。
  9. 前記グリップアセンブリは、
    前記駆動板に取り付けられ、前記トレイの縁部を受け取って該トレイに係合するためのスロットを含むグリップ本体と、
    前記グリップ本体に取り付けられ、該グリップ本体と係合する時に前記トレイをロックするために該グリップ本体の長さに沿って移動するためのピストン機構と、
    を含む、
    ことを特徴とする請求項６に記載のトレイエンジン。
  10. 前記グリップアセンブリは、垂直運動してトレイを把持するように構成された把持器を含むことを特徴とする請求項６に記載のトレイエンジン。
  11. 前記グリップアセンブリは、水平運動してトレイを把持するように構成された把持器を含むことを特徴とする請求項６に記載のトレイエンジン。
  12. 直線方向に摺動するように構成された前記駆動機構を駆動するためのエンドエフェクタ駆動モータを更に含むことを特徴とする請求項１に記載のトレイエンジン。
  13. トレイを移送するための選別機であって、
    トレイをロードするか又はカセットからアンロードするためのロードポート側と、
    トレイをロードするか又はインデクサーからアンロードするためのインデクサー側と、
    存在する時にトレイを前記ロードポート側と前記インデクサー側の間で移送するためのトレイエンジンであって、該インデクサー側及び該ロードポート側が、該トレイエンジンの両側に位置付けられる前記トレイエンジンと、
    を含み、
    前記トレイエンジンは、
    回転機構と、
    前記回転機構に取り付けられた垂直駆動コラムと、
    垂直駆動コラムに取り付けられたエンドエフェクタと、
    を含み、
    前記エンドエフェクタは、
    エンドエフェクタベースと、
    前記エンドエフェクタベースに取り付けられたスライドと、
    前記エンドエフェクタベースに結合された直線駆動機構と、
    前記直線駆動機構に取り付けられたグリップアセンブリであって、該直線駆動機構が、前記スライドに沿って水平に移動して該グリップアセンブリを水平方向に移動するためのものであり、該グリップアセンブリが、存在する時に１つ又はそれよりも多くのトレイを前記ロードポート側又は前記インデクサー側でロード又はアンロードするために該水平方向に移動する前記グリップアセンブリと、
    を含む、
    ことを特徴とする選別機。
  14. 前記回転機構は、前記垂直駆動コラム及び前記エンドエフェクタを回転させるように構成されることを特徴とする請求項１３に記載の選別機。
  15. 前記垂直駆動コラムは、前記エンドエフェクタを垂直に上方及び下方に駆動するように構成されることを特徴とする請求項１３に記載の選別機。
  16. 前記スライドの上又は底に位置付けられた第２のスライドを更に含むことを特徴とする請求項１３に記載の選別機。
  17. 前記スライドは、２つのアームを含み、前記グリップアセンブリは、該スライドの該アーム間でトレイを摺動させてトレイをロード又はアンロードするために前記水平方向に移動することを特徴とする請求項１３に記載の選別機。
  18. 前記回転機構は、シータモータを含み、前記直線駆動機構は、駆動板を含むことを特徴とする請求項１３に記載の選別機。
  19. 前記ロードポート側は、選別機の壁及び選別機の棚を含み、
    前記インデクサー側は、選別機の壁及び選別機の棚を含む、
    ことを特徴とする請求項１３に記載の選別機。
  20. 前記ロードポート側のドアと、
    前記ドアに取り付けられて前記カセット内の前記トレイの有無を感知し、該ドアの移動により該有無を感知するためのものであるセンサと、
    前記ドアに取り付けられて前記カセット内の前記トレイに関する情報の画像を取り込み、該ドアの前記移動により該画像を取り込むためのものであるカメラと、
    を更に含むことを特徴とする請求項１３に記載の選別機。
  21. 前記インデクサーは、該インデクサー内の前記トレイ又は選別機内の該トレイを識別する情報を読み取る読取器に取り付けられることを特徴とする請求項１３に記載の選別機。
  22. トレイを移送するためのエンドエフェクタであって、
    エンドエフェクタベースと、
    前記エンドエフェクタベース内に位置付けられたスライドベースと、
    前記スライドベースを通じて前記エンドエフェクタベースに対して摺動可能な直線駆動機構と、
    存在する時にトレイを支持するために前記エンドエフェクタベースに取り付けられたスライドであって、前記直線駆動機構が、該スライド上で該トレイを移動するように構成される前記スライドと、
    を含むことを特徴とするエンドエフェクタ。
  23. 前記スライドベースは、レールを含み、
    前記直線駆動機構は、前記エンドエフェクタベースに摺動可能に取り付けられたスライダブロックと、該スライダブロックに取り付けられたコネクタブロックと、該コネクタブロックに取り付けられた駆動板とを含む、
    ことを特徴とする請求項２２に記載のエンドエフェクタ。
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