JP2016211017A - Fe基合金組成物 - Google Patents
Fe基合金組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016211017A JP2016211017A JP2015092966A JP2015092966A JP2016211017A JP 2016211017 A JP2016211017 A JP 2016211017A JP 2015092966 A JP2015092966 A JP 2015092966A JP 2015092966 A JP2015092966 A JP 2015092966A JP 2016211017 A JP2016211017 A JP 2016211017A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amorphous
- soft magnetic
- coercive force
- powder
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】Fe基合金組成物を原子%でB:3.0〜6.0%,Si:≦8.0%,P:4.0〜8.0%,Cu:0.3〜1.0%,C:8.0〜12.0%,Cr:1.0〜4.0%,残部Fe及び不可避的不純物の組成からなるものとする。
【選択図】 なし
Description
軟磁性材料に求められる特性としては低損失化(低コアロス、低保磁力)が挙げられる。
例えば、磁芯材料として用いられている珪素鋼(Fe‐6.5Siの場合)は、高い飽和磁束密度(Bs=1.6(T))を有するものの、保磁力(Hc=119(A/m)(1.50(Oe)))が高く、軟磁気特性の点で不十分である。
また、一般的な結晶性の軟磁性材料の場合、飽和磁束密度と保磁力とはトレードオフの関係にあり、高い飽和磁束密度を保持しつつ保磁力を更に低くするといったことは難しい。
このFe基非晶質軟磁性合金の粉末を製造する方法としては、たとえば下記特許文献1に示すように、溶湯を高速回転するロール表面に落下させるロール急冷法にてアモルファス化(非晶質化)した帯状の急冷材を作成し、それを粉砕する技術が知られている。
また、下記特許文献2には、溶湯にガスを噴射して溶滴としそれを旋回冷却液に供給するガスアトマイズ法を用いた装置が記載されている。
一般にアトマイズ法は上記ロール急冷法に比べて冷却能力が劣るため、アモルファス状態が得られ難いが、水アトマイズ法によれば粉末の粒径を10μm程度に小さくすることができ且つガスアトマイズ法に比べて冷却能力も優れるためアモルファス化率を高くすることが期待できる。
しかしながらこの水アトマイズ法を用いた場合は、粉化の際に溶湯が直接水と接触するため得られた粉末に錆びが発生し、保磁力が悪化してしまう問題があった。
しかしながらこの特許文献3に記載のものは、Cu及びPが非添加であり、本発明とは合金成分が異なる別異のものである。
また高価なBが7〜14%(実施例)と多く用いられているため全体としてのコストが高くなっている。
しかしながらこの特許文献4に開示のものは、耐食性を向上させることで保磁力を低下させるといった着眼はなされておらず、またCr非添加であり本発明とは異なる。
そこで本発明者らは、Cr量と非晶質化された合金における保磁力との関係を追求したところ、保磁力はCrの添加により一旦低下し、その後Cr量が4%を越えると再び高くなる傾向を示すことが認められ、Cr量が1.0〜4.0原子%の範囲内ならば保磁力を低く抑えることができるとの知見を得た。本発明はこのような知見に基づいてなされたものである。
即ち本発明は、Cr量を高耐食性と低保磁力とが得られる範囲である1.0〜4.0原子%に最適化したもので、軟磁性粉末の製造条件や、その後の使用環境の如何に拘らず、錆びの発生を良好に防止し得て、長期に亘り保磁力を低く維持することができる軟磁性合金を実現可能としたものである。
溶湯を急冷する方法としては単ロール急冷法,双ロール急冷法等のロール急冷法やガスアトマイズ法,水アトマイズ法,遠心力アトマイズ法等のアトマイズ法を用いることが可能であるが、本発明のFe基合金組成物は溶湯から直接粉末を得ることができ製造性に優れたアトマイズ法に用いる材料として好適である。
特に水アトマイズ法によれば粉末の粒径を10μm程度にまで小さくでき且つ冷却能力にも優れるためアモルファス化率を高く維持することができる。
尚水アトマイズ法は、粉化の際に溶湯が直接水と接触するため粉末に錆びが発生し、保磁力を悪化させてしまう問題を有するが、本発明のFe基合金組成物は耐食性に優れており、水アトマイズ法を用いて粉化させた場合であっても錆びの発生を抑え保磁力を低く維持することが可能である。
従って本発明のFe基合金組成物によれば水アトマイズ法を用いて製造性高く、保磁力が低い、即ち軟磁気特性に優れた非晶質軟磁性粉末を製造することが可能である。
本発明者らは高価なBの含有量をできるだけ少なくすべく、安価なCの含有量を多くすることの可能性を追求したところ、従来よりもCを多く含有させること、具体的には8.0〜12.0原子%の範囲内とした場合においても、他の成分とのバランスを適正にすることでアモルファス化できることを知得した。
本発明では含有元素として高価なBを少なくし安価なCを8.0〜12.0原子%と多くすることでコストを安価とすることができる。
このようにアモルファス化率が高い軟磁性合金は、磁壁の移動を妨げる結晶粒界が存在しないため保磁力を効果的に低下させることができる。
Fe
Feは磁性を担う主元素で、高い飽和磁束密度を確保する上では多い方が望ましい。但しFe量が多くなると合金溶湯の冷却時に結晶化し易くなってしまう。
本発明では、アモルファス形成のための他元素を除いた残量がFe含有量となる。但し高い飽和磁束密度を確保する上でFeの含有量は74.0〜75.0原子%が望ましい。
Bはアモルファス形成元素で、他のアモルファス形成元素Si,Cとの相互作用でそれらと協働してアモルファス形成に寄与する。
またそれらの相互作用でアモルファス形成に寄与することから、各アモルファス形成元素の添加量に応じて特性が大きく左右される。但しBの含有量が3.0%未満であるとアモルファス形成能が著しく低下するため、本発明ではBを3.0%以上含有させる。
本発明は、高価なBの含有量を可及的に少なくすることを一つの目的としている。Cの多量含有によって可能なBの少量化を追求した結果、B含有量を3.0〜6.0%に低減できることを確認した。
本発明では、そのためにCを8.0%以上含有させるようにしている。その条件の下でSi,B,Cの比率の最適化を求めたところ、B含有量が3.0〜6.0%でもアモルファス化率をほぼ100%まで高めることが可能であることを確認した。
加えてBの含有量が6.0%を超えて多くなると、磁壁の移動を妨げるFe3BやFe2Bといった磁気的にハードな化合物相が析出し易くなり軟磁気特性が劣化する。本発明においてBの望ましい含有量は5.0%未満である。
Siもまたアモルファス形成元素で、B,Cとの相互作用でそれらと協働してアモルファス形成に寄与する。またそれぞれの含有量に応じて特性を大きく変化させる。
本発明ではB,Cの含有量に応じてSiの含有量を少なくすることができる。但しSiは2.0%以上添加することでアモルファス形成能が改善されるため、2.0%以上含有させることが望ましい。
一方8%よりも多く含有させると飽和磁束密度とアモルファス形成能が低下し、軟磁気特性が劣化するため、上限を8.0%とする。
Pはアモルファス形成元素である。但し他のアモルファス形成元素との相互作用はあまり無く、P単独の添加量増量でアモルファス形成能を高めることができる。
本発明において、Pの下限を4.0%としている理由は、4.0%未満であるとアモルファス形成能が著しく低下することによる。
一方Pの上限を8.0%としているのは、8.0%を超えて多量に含有させると飽和磁束密度が低下し、軟磁気特性が劣化することによる。
CuはPとともに結合してナノヘテロ構造のクラスターを形成してアモルファス中に微細に分散し析出する。このCuのクラスターは、bcc−Fe結晶が突然生じて一気に粗大化してしまうのを良好に防止できる。
但しCuの含有量が0.3%未満であるとbcc−Fe相の析出を抑制する効果が著しく低下してしまう。
一方Cuの上限を1.0%としているのは、1.0%を超えて多量に含有させると、保磁力が増加してしまうからである。その理由は、過剰なCuが他の元素と結合してCu化合物を形成すると考えられるからである。
Cはアモルファス形成元素であり、Si,B等他のアモルファス形成元素との相互作用でそれらと協働してアモルファス形成に寄与する。またそれぞれの添加量に応じて特性が大きく変化する。
本発明において、Cを8.0%を超える量で含有させる理由は、アモルファス形成能を維持しつつ高価なBの添加量を効果的に減量するためには、Cを8.0%超含有させる必要があるからであり、またその上限を12.0%としているのは、それ以上Cを多く含有させるとアモルファス相からの結晶化温度が300℃を下回るようになるからである。
本発明の非晶質軟磁性合金の粉末を用いて製造されたコア(磁芯)等の製品は高温環境下で使用されるため、結晶化温度の低下はこのような製品状態の非晶質軟磁性合金を結晶化させ軟磁気特性を劣化させる原因となる。
Crは耐食性を向上させる元素である。Crを1.0%以上含有させることで軟磁性粉末の製造時やその後の製品使用時における錆びの発生を有効に防止し得て、保磁力を低く維持することができる。
一方4.0%を超えて多量に含有されると、アモルファス形成能が阻害されアモルファス化率が低下し保磁力が悪化する。
尚、より低い保磁力を得る上でCrの範囲は1.8〜2.7%とすることが望ましく、更に望ましい範囲は2.0〜2.5%である。
本例では図1に示すリング状コア(圧粉磁芯)10(外径20mmφ×内径12mmφ×厚み6mmt)を製造した。
上記コア10は、たとえば図2に示す工程にしたがって製造される。
図2において、溶解工程P1では、たとえば電気溶解炉を用いて、表1から表3で示された各実施例又は比較例の化学成分となるように調合され且つ溶解された溶湯が生成される。
次の金属粉末生成工程P2では、水アトマイズ装置を用いて、上記溶湯が所定の容器内において水を用いて噴霧され、その溶湯が急速冷却されるとともに粉末化される。
その後、篩等によって粒径45μm以下の所定の粒度に分級される。これにより、圧粉磁芯用の非晶質軟磁性粉末が得られる。
単ロール急冷法では、溶湯をノズルから噴出させて高速回転するCu製のロール表面に接触凝固させ、アモルファス化させる。
凝固した合金からはリボン状のアモルファス合金薄帯が得られる。
このようなロール急冷法を用いた場合は、その後の粉砕処理も含めて水に接触することなく非晶質軟磁性粉末を製造することができる。
このようにして得られたアモルファス状態の粉末に対し、XRDによりX線結晶構造解析を実施し、相の同定を行った。
具体的には、結晶化したFe又は化合物のピーク(Ic:結晶性散乱積分強度,Ia:非晶性散乱積分強度)を読み取り、そのピーク強度から結晶化率を割り出し、先述の式(1)よりアモルファス化率を算出した。
同じくアモルファス状態の粉末に対し、Hcメーターを使用し保磁力Hcの測定を行った(東北特殊鋼(株)社製の型式:K−HC1000を使用)。尚、本実施例においては、従来より磁芯材料として用いられている珪素鋼の保磁力が1.5(Oe)であることから、保磁力の目標値を1.5(Oe)以下と設定した。
また、必要に応じて、潤滑剤混合工程P4において、ステアリン酸亜鉛等の潤滑剤が上記非晶質軟磁性粉末に対して0.1〜0.5wt%程度となるように混合される。
熱処理工程P6は、上記プレス成形工程P5により成形された成形体の成形歪みを除去すると共に絶縁バインダーを硬化させるために、上記成形体を不活性雰囲気たとえばアルゴンガス雰囲気内において200℃乃至結晶化温度、たとえば460℃程度の温度で1時間程度の熱処理を施す。
以上の工程を経ることによりリング状コア10が製造される。
耐食性試験は恒温恒湿試験によって行なった。上記工程により製造されたリング状コア10を温度85℃、相対湿度85%RHの恒温恒湿槽内に500時間保持した。そして保持後のコア表面について目視にて発錆の有無を確認した。評価は発錆が観察されなかったものを「○」、発錆が観察されたものを「×」とした。
比較例1はロール急冷法によりアモルファス化したものであり、アモルファス化率は99%以上、Hcも目標の1.5以下であり良好な結果であった。ただしCrが無添加であるため耐食性は×であり、粉末製造時において保磁力に問題ない場合でも、使用中の実製品に錆が生じ保磁力が悪化することが懸念される。
また比較例1はBの含有量が本発明の上限値よりも高い7.3%で、多量のBを含有することによりコストが高く、この点においても本発明の目的を達していないものである。
また粉末状態において保磁力Hcが1.83%と高い(悪い)。水アトマイズ法を用いたため粉末製造時に水と接触したことにより粉末に錆が生じ保磁力が悪化したものと考えられる。
これに対しCrを適量含有した実施例1は、水アトマイズ法により粉末を製造したにも拘らずアモルファス化率、Hc、耐食性とも良好な結果であった。
本表において、Cr無添加の比較例2は耐食性が×で、且つ粉末状態でのHcも高く目標値1.5を満足していない。
比較例3以降、Crの添加量を増加させていくとアモルファス化率に大きな変化はないが、粉末状態の保磁力は徐々に低下していく傾向が認められる。即ちCrの添加は保磁力低減にも有効である。
実施例2〜6については、Hcが1.5以下であり目標を満足している。
一方、Cr量が4%を超える比較例4ではアモルファス化率が低下するとともにHcも高く目標値を満足していない。
この表2の結果からも分かるようにCrの含有量を1.0〜4.0%とすることで、アモルファス化率、保磁力、耐食性の何れも良好な結果を得ることができる。
Cを8.0%以上含有させた実施例7〜実施例12では、アモルファス化率、保磁力Hc、耐食性とも良好な結果である。
この結果から明らかなようにCを8.0%以上含有させることでアモルファス形成能を維持しつつ高価なBの添加量を効果的に減量することができる。
尚、比較例5は、C量を本発明の上限値12.0%を超えて多量に含有させる一方、B量を下限値3.0%よりも少なくした例である。この例ではアモルファス化率が96.2%に低下し、Hcが目標値よりも高くなっている。アモルファス形成元素であるCを多量に含有させた場合でも、B量は少なくとも3.0%は必要であると推定される。
また本実施例の非晶質軟磁性粉末を用いた圧粉磁心は、良好な耐食性を備えており、使用環境下で錆びが生じるのを有効に防止できるので、長期にわたって保磁力を低く維持することができ、低いコアロスの特性が得られる。
上記実施例では、水アトマイズ法を用いてアモルファス合金粉末を製造したが、本発明の組成を有するFe基合金組成物は様々な方法で製造することができる。
例えばスパッタリング法,真空蒸着法等の気相急冷法にて製造することもできる。
また単ロール急冷法,双ロール急冷法等のロール急冷法や、ガスアトマイズ法,遠心力アトマイズ法等の水アトマイズ法以外のアトマイズ法を用いることが可能である。
更に本発明のFe基合金組成物はアモルファス合金、即ちアモルファス相を主相としたFe基合金組成物を窒素,Ar等の不活性ガス中若しくは真空中で加熱処理することで、アモルファス母相中にナノサイズの粒径のbcc−Fe結晶を析出させFe基ナノ結晶合金を得ることも可能であるなど、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲において種々変更を加えた態様で実施可能である。
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015092966A JP6471603B2 (ja) | 2015-04-30 | 2015-04-30 | Fe基非晶質合金組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015092966A JP6471603B2 (ja) | 2015-04-30 | 2015-04-30 | Fe基非晶質合金組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016211017A true JP2016211017A (ja) | 2016-12-15 |
JP6471603B2 JP6471603B2 (ja) | 2019-02-20 |
Family
ID=57550802
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015092966A Active JP6471603B2 (ja) | 2015-04-30 | 2015-04-30 | Fe基非晶質合金組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6471603B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3366803A1 (en) * | 2017-02-27 | 2018-08-29 | TDK Corporation | Soft magnetic alloy and magnetic device |
JPWO2018139518A1 (ja) * | 2017-01-27 | 2019-01-31 | Jfeスチール株式会社 | 軟磁性鉄粉の製造方法 |
JPWO2020241023A1 (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-03 | ||
KR20210004857A (ko) | 2019-07-04 | 2021-01-13 | 다이도 토쿠슈코 카부시키가이샤 | 나노 결정 연자성 재료 및, 그의 제조 방법, 이에 이용되는 Fe기 합금 |
US11401590B2 (en) | 2017-09-15 | 2022-08-02 | Tdk Corporation | Soft magnetic alloy and magnetic device |
US11996224B2 (en) * | 2017-09-29 | 2024-05-28 | Tokin Corporation | Method for manufacturing a powder core, the powder core and an inductor |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS514017A (en) * | 1974-07-01 | 1976-01-13 | Tohoku Daigaku Kinzoku Zairyo | Kokyodo taihiro taizenmenfushoku taikoshoku taisukimafushoku taioryokufushokuware taisuisozeiseiyo amorufuasutetsugokin |
WO2008129803A1 (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-30 | Nec Tokin Corporation | 軟磁性合金及びそれを用いた磁気部品並びにそれらの製造方法 |
JP2012012699A (ja) * | 2010-03-23 | 2012-01-19 | Nec Tokin Corp | 合金組成物、Fe基ナノ結晶合金及びその製造方法、並びに磁性部品 |
JP2013185162A (ja) * | 2012-03-06 | 2013-09-19 | Nec Tokin Corp | 合金組成物、Fe基ナノ結晶合金及びその製造方法、並びに磁性部品 |
JP2014005492A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Daido Steel Co Ltd | Fe基合金組成物 |
JP2016023340A (ja) * | 2014-07-22 | 2016-02-08 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | Fe基合金組成物、成形部材、成形部材の製造方法、圧粉コア、電子部品、電子機器、磁性シート、通信部品、通信機器および電磁干渉抑制部材 |
-
2015
- 2015-04-30 JP JP2015092966A patent/JP6471603B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS514017A (en) * | 1974-07-01 | 1976-01-13 | Tohoku Daigaku Kinzoku Zairyo | Kokyodo taihiro taizenmenfushoku taikoshoku taisukimafushoku taioryokufushokuware taisuisozeiseiyo amorufuasutetsugokin |
WO2008129803A1 (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-30 | Nec Tokin Corporation | 軟磁性合金及びそれを用いた磁気部品並びにそれらの製造方法 |
JP2012012699A (ja) * | 2010-03-23 | 2012-01-19 | Nec Tokin Corp | 合金組成物、Fe基ナノ結晶合金及びその製造方法、並びに磁性部品 |
JP2013185162A (ja) * | 2012-03-06 | 2013-09-19 | Nec Tokin Corp | 合金組成物、Fe基ナノ結晶合金及びその製造方法、並びに磁性部品 |
JP2014005492A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Daido Steel Co Ltd | Fe基合金組成物 |
JP2016023340A (ja) * | 2014-07-22 | 2016-02-08 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | Fe基合金組成物、成形部材、成形部材の製造方法、圧粉コア、電子部品、電子機器、磁性シート、通信部品、通信機器および電磁干渉抑制部材 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2018139518A1 (ja) * | 2017-01-27 | 2019-01-31 | Jfeスチール株式会社 | 軟磁性鉄粉の製造方法 |
JP2020056108A (ja) * | 2017-01-27 | 2020-04-09 | Jfeスチール株式会社 | 軟磁性鉄粉の製造方法 |
US11189408B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-11-30 | Tdk Corporation | Soft magnetic alloy and magnetic device |
CN108766704A (zh) * | 2017-02-27 | 2018-11-06 | Tdk株式会社 | 软磁性合金以及磁性部件 |
CN108766704B (zh) * | 2017-02-27 | 2020-03-24 | Tdk株式会社 | 软磁性合金以及磁性部件 |
EP3366803A1 (en) * | 2017-02-27 | 2018-08-29 | TDK Corporation | Soft magnetic alloy and magnetic device |
US11401590B2 (en) | 2017-09-15 | 2022-08-02 | Tdk Corporation | Soft magnetic alloy and magnetic device |
US11996224B2 (en) * | 2017-09-29 | 2024-05-28 | Tokin Corporation | Method for manufacturing a powder core, the powder core and an inductor |
WO2020241023A1 (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-03 | Tdk株式会社 | 軟磁性合金および磁性部品 |
CN113874529A (zh) * | 2019-05-31 | 2021-12-31 | Tdk株式会社 | 软磁性合金及磁性部件 |
CN113874529B (zh) * | 2019-05-31 | 2023-05-12 | Tdk株式会社 | 软磁性合金及磁性部件 |
JP7459873B2 (ja) | 2019-05-31 | 2024-04-02 | Tdk株式会社 | 軟磁性合金および磁性部品 |
JPWO2020241023A1 (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-03 | ||
KR20210004857A (ko) | 2019-07-04 | 2021-01-13 | 다이도 토쿠슈코 카부시키가이샤 | 나노 결정 연자성 재료 및, 그의 제조 방법, 이에 이용되는 Fe기 합금 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6471603B2 (ja) | 2019-02-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6471603B2 (ja) | Fe基非晶質合金組成物 | |
JP6309149B1 (ja) | 軟磁性粉末、圧粉磁芯、磁性部品及び圧粉磁芯の製造方法 | |
JP2611994B2 (ja) | Fe基合金粉末およびその製造方法 | |
CN110225801B (zh) | 软磁性粉末、Fe基纳米晶合金粉末、磁性部件及压粉磁芯 | |
JP5253781B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体における軟磁性膜層用合金ターゲット材 | |
JP6434828B2 (ja) | 希土類コバルト系永久磁石 | |
JP5305126B2 (ja) | 軟磁性粉末、圧粉磁心の製造方法、圧粉磁心、及び磁性部品 | |
JP5605787B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体における軟磁性膜層用合金を成膜するためのスパッタリングターゲット材とその製造方法 | |
JP2016104900A (ja) | 金属軟磁性合金と磁心、およびその製造方法 | |
WO2010063143A1 (en) | Modified nd-fe-b permanent magnet with high corrosion resistance | |
JP2016094651A (ja) | 軟磁性合金および磁性部品 | |
JP6756179B2 (ja) | Fe基合金組成物 | |
JP6210503B2 (ja) | 磁気記録用軟磁性用合金およびスパッタリングターゲット材 | |
TWI512120B (zh) | A magneto-magnetic alloy for magnetic recording, a sputtering target material, and a magnetic recording medium | |
JP6548059B2 (ja) | Fe基合金組成物、軟磁性材料、磁性部材、電気・電子関連部品および機器 | |
JP6094848B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体用Fe−Co系合金軟磁性膜の製造方法 | |
JP7326777B2 (ja) | 軟磁性合金および磁性部品 | |
JP6744238B2 (ja) | 軟磁性粉末、磁性部品及び圧粉磁芯 | |
JP2020186422A (ja) | Fe基ナノ結晶合金およびその製造方法 | |
JP2003328014A (ja) | ナノコンポジット磁石粉末の製造方法 | |
JP5650169B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体における軟磁性膜層用合金ターゲット材 | |
JP2020029576A (ja) | 磁気記録媒体の軟磁性層用Co系合金 | |
JP2023045961A (ja) | 合金粉末 | |
JP2020135907A (ja) | 垂直磁気記録媒体の軟磁性層形成用スパッタリングターゲット、並びに、垂直磁気記録媒体及びその軟磁性層 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170424 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6471603 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |